JP2021021713A - サーモカメラ - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
11 保持台
12 回転軸
13 ノズル
14 カバー部材
W 基板
L 処理液
20 サーモカメラ
21 熱画像センサ
22 熱画像センサ制御回路の容器
23 筐体
24 筐体の前方端面
24A 筐体の前方端面の開口
25 C字状の溝
26 C字状の溝の一端
27 C字状の溝の他端
28 第1供給路
29 第2供給路
31 雄ねじ部
32 Oリング溝
33 Oリング
40 シャッター機構
41 シャッター駆動子
42A、42B 駆動ピン
43 シャッター駆動子カバー
44A、44B 支点孔
45A、45B 長穴
46A、46B シャッター
47A、47B 支点ピン
48A、48B 駆動ピン受け
50 保護部
51 キャップ
52 当接面
53 第1雌ねじ部
54 第2雌ねじ部
55 窓
56 赤外線透過部材
59 固定枠
60 制御器
61 電源
62 気体供給源
70 ケーブルカバー
71 ケーブル
72 第1供給管
73 第2供給管
Claims (5)
- 基板上の処理液の温度を可視化する熱画像センサと、
前記熱画像センサを内部に収容する筐体と、
前記筐体の前記熱画像センサの受光面側に設けられ、駆動用気体によって開閉するシャッターと、
を有するサーモカメラ。 - 前記駆動用気体が、前記基板が存在する処理室に入ることなく前記筐体から排気される、
請求項1に記載のサーモカメラ。 - 前記駆動用気体が一定の温度に調節され、該駆動用気体が前記筐体内を流通する、
請求項1または2に記載のサーモカメラ。 - 前記駆動用気体は、前記シャッターを開くための開駆動用気体が第1供給路、前記シャッターを閉じるための閉駆動用気体が第2供給路を通じて供給され、
前記筐体内に前記開駆動用気体または前記閉駆動用気体のいずれかが常時供給される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載のサーモカメラ。 - 前記シャッターの前記熱画像センサと反対側に保護部が設けられ、
前記駆動用気体が前記保護部の内面に当たる、
請求項1〜4のいずれか一項に記載のサーモカメラ。
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WO2018110301A1 (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
JP2018523138A (ja) * | 2015-06-12 | 2018-08-16 | トータル サーマル ヴィジョン ソチエタ レスポンサビリタ リミタータTotal Thermal Vision S.R.L. | 検出装置 |
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- 2019-07-30 JP JP2019140342A patent/JP2021021713A/ja active Pending
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