KR101868392B1 - 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼척(20)에 거치된 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사하는 제1 센서(110)와, 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 수광하는 제2 센서(120)로 구성되어 상기 제2 센서(120)에서 수광되는 광량을 통해 전압을 검출하는 센서부(100)와, 상기 센서부(100)로부터 검출되는 전압을 아날로그 신호로 변환하는 컨버터(210)와, 상기 컨버터(210)로부터 변환된 아날로그 신호를 출력 가능한 신호값으로 변환하는 연산제어부(220)와, 상기 연산제어부(220)로부터 변환된 신호값을 식별 가능하게 표시하는 모니터(230)와, 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 가변저항을 이용하여 조절하는 트리머(240)로 구성되는 컨트롤러(200);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치에 관한 것이다.

Description

스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치{Equipment for converting wafer voltage of stepper device}
본 발명은 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치에 관한 것으로서, 웨이퍼척(20)에 거치된 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사하는 제1 센서(110)와, 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 수광하는 제2 센서(120)로 구성되어 상기 제2 센서(120)에서 수광되는 광량을 통해 전압을 검출하는 센서부(100)와, 상기 센서부(100)로부터 검출되는 전압을 아날로그 신호로 변환하는 컨버터(210)와, 상기 컨버터(210)로부터 변환된 아날로그 신호를 출력 가능한 신호값으로 변환하는 연산제어부(220)와, 상기 연산제어부(220)로부터 변환된 신호값을 식별 가능하게 표시하는 모니터(230)와, 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 가변저항을 이용하여 조절하는 트리머(240)로 구성되는 컨트롤러(200);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체장치를 제조하기 위한 반도체 소자인 웨이퍼는 세정 공정, 확산 공정, 포토레지스트 코팅 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정 및 이온주입 공정 등과 같은 공정 중 어느 하나의 공정을 거쳐 반도체장치에 이용 가능한 패턴이 형성된다.
이때, 전술한 공정의 과정별로 해당 공정을 수행하기 위한 설비가 사용되며, 이러한 설비 중 스테퍼설비는 광원으로부터 조사되는 광으로 웨이퍼 상에 코팅된 포토레지스트를 노광시키고 현상 공정 및 식각 공정을 거쳐 웨이퍼에 원하는 패턴을 형성되도록 하는 것이다.
한편, 이러한 스테퍼설비는 공정 이전에 웨이퍼의 전압이 스테퍼설비에서 요구하는 범주에 속하여야만 정상적으로 공정이 수행되며, 만약, 웨이퍼의 전압이 저항 따위로 인해 스테퍼설비에서 요구하는 범주를 벗어나는 경우 공정의 과정에서 에러가 발생하는 문제점이 있었다.
근래에는 이와 같이, 웨이퍼의 전압차이로 인하여 에러가 발생하면, 엔지니어가 웨이퍼의 전압값을 측정하여 에러의 원인을 확인할 수 있도록 하는 다양한 반도체 소자의 전압 측정 시스템 및 방법이 제안되고 있으며, 이 중 펄스 특정 측정 시스템을 이용한 전압 측정 시스템 및 방법이 하기 특허문헌 1의 “반도체 소자의 펄스 특성 측정 시스템 및 측정 방법(대한민국 등록특허공보 제10-0674972호)”에 개시되어 있다.
상기 특허문헌 1은 반도체 저항 소자의 단자들에 전기적 접촉이 가능한 적어도 한 쌍의 제 1 및 제 2 프로브들과, 상기 제 1 프로브에 펄스 전원을 공급할 수 있는 펄스 발생기와, 적어도 한 쌍의 제 1 및 제 2 채널들을 갖고, 상기 제 1 채널은 상기 펄스 전원을 상기 제 1 프로브와 병렬로 공급받을 수 있고, 상기 제 2 채널은 상기 제 2 프로브에 연결될 수 있는 오실로스코프를 포함하고, 상기 오실로스코프는 상기 제 2 채널을 이용하여 상기 반도체 저항 소자의 단자들을 흐르는 펄스 전류를 계산하고, 상기 제 1 및 제 2 채널들을 이용하여 상기 반도체 저항 소자의 다이나믹 저항을 측정하는 것을 특징으로 하는 반도체 저항 소자의 펄스 특성 측정 시스템으로서, 펄스 특성 측정 시스템을 이용하여 전압측정의 시간을 단축시키고, 정확한 전압측정을 가능하게 하는 장점이 있다.
그러나, 상기 특허문헌 1은 반도체 소자의 전압을 측정하기 위하여 별도로 펄스 특성 측정 시스템을 준비해야 하는 번거로움이 있었고, 전압 측정 후 가변저항을 이용하여 반도체 소자의 전압을 일일이 반도체 공정에서 요구하는 전압의 범주내로 조절해야 하므로, 반도체 공정을 위한 반도체 소자의 전압 측정 및 조절과정이 비효율적이라는 문제점이 있었다.
또한, 오실로스코프를 이용하여 반도체 소자의 소정 지점의 전압을 일일이 확인하고, 전압값에 따라 가변저항을 이용하여 전압을 조절해야 하므로, 반도체 소자의 전압 조절에 너무 많은 시간이 소요되어 생산성이 감소된다는 문제점이 있었다.
또한, 반도체 공정에서 사용되는 반도체 소자가 사파이어 또는 글라스와 같은 소재로 이루어진 웨이퍼일 경우, 빛의 투과율이 높기 때문에 오실로스코프만을 이용하여 웨이퍼의 정확한 전압을 측정하기가 어렵다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1 : 대한민국 등록특허공보 제10-0674972호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 광센서를 이용하여 실리콘, 사파이어, 글라스 등의 소재 중 어느 하나로 이루어진 웨이퍼의 전압을 정확히 검출하고, 모니터를 통해 검출된 전압을 엔지니어가 식별 가능하도록 하며, 모니터를 통해 식별되는 전압을 트리머를 이용하여 간편하게 조절할 수 있도록 함으로써, 스테퍼공정의 전압 측정시간을 단축시키고, 전압 조절과정을 간소화시켜 효율적인 스테퍼설비의 운용이 가능한 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치는, 웨이퍼척(20)에 거치된 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사하는 제1 센서(110)와, 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 수광하는 제2 센서(120)로 구성되어 상기 제2 센서(120)에서 수광되는 광량을 통해 전압을 검출하는 센서부(100)와, 상기 센서부(100)로부터 검출되는 전압을 아날로그 신호로 변환하는 컨버터(210)와, 상기 컨버터(210)로부터 변환된 아날로그 신호를 출력 가능한 신호값으로 변환하는 연산제어부(220)와, 상기 연산제어부(220)로부터 변환된 신호값을 식별 가능하게 표시하는 모니터(230)와, 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 가변저항을 이용하여 조절하는 트리머(240)로 구성되는 컨트롤러(200);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센서부(100)는 상기 웨이퍼척(20)에 거치된 상기 웨이퍼(10)를 정위치 시키는 것이 가능하도록 상기 웨이퍼(10)의 소정 지점에 빛을 조사하여 상기 웨이퍼(10)의 위치를 감지하는 스팟센서(140)와, 상기 웨이퍼(10)의 플랫존(11)에 빛을 조사하여 상기 플랫존(11)의 위치를 감지하는 체크센서(150);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센서부(100)는 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 반사하는 반사경(130)이 더 구비되어, 상기 제2 센서(120)에서 상기 반사경(130)을 통해 반사되는 빛을 수광하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 반사경(130)은 빛을 반사하는 면적을 조절 가능하도록 상부에 반사경커버(131)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 트리머(240)는 가변저항을 이용하여 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 조절하는 것이 가능하도록 형성되되, 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전됨에 따라 가변저항을 조절하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 광센서를 이용하여 실리콘, 사파이어, 글라스 등의 소재 중 어느 하나로 이루어진 웨이퍼의 전압을 정확히 검출하고, 모니터를 통해 검출된 전압을 엔지니어가 식별 가능하도록 하며, 모니터를 통해 식별되는 전압을 트리머를 이용하여 간편하게 조절할 수 있도록 함으로써, 스테퍼공정의 전압 측정시간을 단축시키고, 전압 조절과정을 간소화시켜 효율적인 스테퍼설비의 운용이 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 모습을 보인 실시예도.
도 2은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 구성을 보인 모식도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 모습을 보인 실시예도.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 구성을 보인 모식도.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 컨트롤러의 모습을 보인 사시도.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 반사경커버의 모습을 보인 전면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 동작 과정을 설명한 흐름도.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 동작 과정의 웨이퍼 정렬 과정을 설명한 흐름도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치는 웨이퍼(10)의 전압을 검출하고, 검출된 전압을 엔지니어가 육안으로 확인하면서 조절할 수 있도록 하는 것으로서, 크게 센서부(100), 컨트롤러(200)로 구성된다.
설명에 앞서, 후술할 제1 센서부(110) 또는 제2 센서부(120)는 본 발명의 기술분야에서 널리 사용되고 있는 통상적인 발광센서, 수광센서, CCD, 이미지센서, 레이져센서 등 중에 선택적으로 구성되는 것이 가능하다.
먼저, 센서부(100)에 대하여 설명한다. 상기 센서부(100)는 상기 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사하여 전압을 검출하는 장치로서, 제1 센서(110), 제2 센서(120)를 포함하여 구성된다.
상기 제1 센서(110)는 상기 웨이퍼(10)의 상측에 형성되어 상기 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사하는 센서로서, 빛의 투과율을 이용하여 상기 웨이퍼(10)의 전압을 검출함으로써, 투과성이 높은 사파이어 또는 글라스 소재 등으로 이루어진 상기 웨이퍼(10)의 경우에도 미세한 빛의 투과율을 감지하여 전압을 정확하게 검출하는 것이 특징이다.
상기 제2 센서(120)는 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 수광하는 센서로서, 상기 웨이퍼(10)를 투과하는 빛을 수광함으로써, 상기 센서부(100)에서 광센서를 이용하여 전압을 검출하는 것을 가능하게 한다.
또한, 상기 제2 센서(120)는 수광되는 광량을 통해 상기 웨이퍼(10)의 위치를 감지함으로써, 상기 웨이퍼(10)를 정위치로 정렬시키는 것을 가능하게 한다.
예를 들어 설명하면, 상기 제1 센서(110)가 상기 웨이퍼(10)의 플랫존(11)에 빛을 조사하는 경우, 상기 제2 센서(120)에서 수광되는 빛의 광량이 증가되고, 검출되는 전압이 높아지므로, 검출되는 전압의 차이를 통해 상기 센서부(100)에서 상기 웨이퍼(10)의 상기 플랫존(11)을 감지하여 상기 웨이퍼(10)를 정위치로 정렬시키는 것을 가능하게 한다.
다음으로, 컨트롤러(200)에 대하여 설명한다. 상기 컨트롤러(200)는 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 엔지니어가 육안으로 확인할 수 있도록 전압값으로 출력하고, 출력되는 전압값을 확인하며 전압을 조절할 수 있도록 하는 장치로서, 컨버터(210), 연산제어부(220), 모니터(230), 트리머(240)로 구성된다.
컨버터(210)는 상기 센서부(100)로부터 검출되는 상기 웨이퍼(10)의 전압을 수신하여 아날로그 신호로 변환시키는 장치로서, 상기 센서부(100)로부터 수신되는 다양한 형태의 신호를 상기 컨트롤러(200)에서 요구하는 아날로그 신호로 변환함으로써, 상기 컨트롤러(200)에서 상기 센서부(100)로부터 검출되는 전압을 인식할 수 있도록 하는 것이 특징이다.
연산제어부(220)는 상기 컨버터(210)에서 변환된 아날로그 신호를 출력 가능한 형태의 값으로 변환시키는 장치로서, 후술할 모니터(230)에서 변환된 값을 출력하는 것을 가능하게 한다.
모니터(230)는 상기 연산제어부(220)에서 변환된 값을 육안으로 식별 가능하게 표시하는 장치로서, 엔지니어에게 상기 센서부(100)에서 검출되는 상기 웨이퍼(10)의 전압을 표시해줌으로써, 엔지니어가 간편하게 상기 웨이퍼(10)의 전압값을 확인할 수 있도록 하는 것이 특징이다.
트리머(240)는 가변저항을 이용하여 상기 센서부(100)에서 감지되는 전압을 조절하는 장치로서, 엔지니어가 상기 모니터(230)를 확인하여 상기 센서부(100)에서 검출되는 상기 웨이퍼(10)의 전압이 스테퍼설비(미도시)에서 요구하는 전압의 범주내에 속하지 않는 경우, 가변저항을 이용하여 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 조절 가능한 것이 특징이다.
도 5를 참조하여 더욱 상세히 설명하면, 상기 트리머(240)는 시계방향 또는 반시계방향으로 회전 가능한 형태의 회전식 스위치로서, 엔지니어가 상기 트리머(240)를 회전시킴에 따라, 가변저항값이 조절됨으로써, 간편하게 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 조절 가능한 것이 특징이다.
다음으로, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치는 상기 웨이퍼(10)를 더욱 정확하게 정렬시키고, 다양한 종류의 상기 웨이퍼(10)로부터 전압을 정밀하게 검출할 수 있도록 상기 센서부(100)에 반사경(130), 스팟센서(140), 체크센서(150)를 더 포함하여 구성된다.
반사경(130)은 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 상기 제2 센서(120)로 반사하는 장치로서, 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛의 경로를 조정 가능하게 하여, 다양한 크기의 상기 웨이퍼(10)로부터 전압을 검출할 수 있도록 하는 것이 특징이다.
도 6을 참조하여 더욱 상세히 설명하면, 상기 반사경(130)은 그 상부에 노출되는 면적을 조절 가능한 반사경커버(131)가 구비되며, 상기 웨이퍼(10)의 크기에 따라 상기 반사경(130)의 빛을 반사하는 면적을 조절함으로써, 상기 웨이퍼(10)의 크기에 따라 능동적으로 상기 웨이퍼(10)의 전압을 검출할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
스팟센서(140)는 상기 웨이퍼(10)의 플랫존(11)의 양끝단과 측면 일단의 위치를 감지하는 센서로서, 상기 웨이퍼(10)의 전압 조절이 완료된 후, 상기 웨이퍼(10)가 정렬되는 과정에서, 상기 웨이퍼(10)가 정확하게 정렬될 수 있도록 하는 것이 특징이다.
체크센서(150)는 상기 스팟센서(140)를 이용하여 상기 웨이퍼(10)가 정렬된 후, 상기 플랫존(11)의 정위치 여부를 감지하는 센서로서, 상기 플랫존(11)의 위치확인을 통해 상기 웨이퍼(10)의 정렬을 재확인하여 상기 스테퍼설비(미도시)의 공정 과정에서 상기 웨이퍼(10)의 위치 오류로 인한 에러가 발생되는 것을 방지함으로써, 스테퍼설비의 정확한 공정을 가능하게 하는 것이 특징이다.
이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 동작 과정을 설명하기로 한다.
이때, 도 7 및 도 8에 보인 본 발명의 일 실시예에 따른 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치의 동작 과정은 스테퍼공정 이전의 상기 웨이퍼(10)의 전압을 측정하고, 상기 웨이퍼(10)를 정위치로 정렬시키는 과정임에 유의하여야 한다.
먼저, 상기 웨이퍼(10)가 캐리어(미도시)내의 웨이퍼척(20)에 거치되면(S100), 상기 제1 센서(110)는 상기 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사한다(S200).
이어서, 상기 웨이퍼(10)의 테두리 영역을 투과한 빛은 상기 반사경(130)에 반사되어 상기 제2 센서(120)로 수광된다.
이때, 상기 제2 센서(120)는 수광되는 광량에 따라 전압을 검출한다(S200).
이어서, 상기 컨버터(210)는 상기 제2 센서(120)를 거쳐 검출되는 전압을 아날로그 신호로 변환(S400)하여 상기 연산제어부(220)로 송출하고, 상기 연산제어부(220)는 상기 컨버터(210)로부터 송출된 아날로그 신호를 출력 가능한 형태의 신호값으로 변환(S500)하여 상기 모니터(230)로 송출하며, 상기 모니터(230)는 상기 연산제어부(220)로부터 송출된 신호값을 화면으로 출력한다(S600).
이때, 상기 모니터(230)를 통해 확인되는 상기 웨이퍼(10)의 전압이 스테퍼설비(미도시)에서 요구하는 전압의 범주내에 충족(S700)하는 경우, 상기 웨이퍼(10)를 정위치로 정렬(S900)시킨다.
만약, 상기 모니터(230)를 통해 확인되는 상기 웨이퍼(10)의 전압이 스테퍼설비(미도시)에서 요구하는 전압의 범주내를 벗어나는 경우, 상기 트리머(240)를 이용하여 상기 웨이퍼(10)의 전압을 상기 스테퍼설비(미도시)에서 요구하는 전압의 범주내로 조절(S800)함으로써, 상기 웨이퍼(10)가 정상적으로 정렬되는 것을 가능하게 한다.
한편, 도 8을 참조하면, 상기 웨이퍼(10)가 정위치로 정렬(S900)되는 과정에서, 상기 스팟센서(140)가 상기 웨이퍼(10)의 상기 플랫존(11)의 양끝단과 측면 일단의 위치가 정위치 되었는 지를 감지하고(S910), 상기 웨이퍼(10)가 정위치 된 후, 상기 체크센서(150)에서 상기 웨이퍼(10)의 상기 플랫존(11)의 위치가 정위치 되었는 지를 다시한번 감지(S920)함으로써, 상기 스테퍼설비(미도시)의 공정 과정에서 상기 웨이퍼(10)의 위치 오류로 인한 에러가 발생되는 것을 방지함으로써, 스테퍼설비의 정확한 공정을 가능하게 한다.
이상에서는 도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 웨이퍼 11 : 플랫존
20 : 웨이퍼척 100 : 센서부
110 : 제1 센서 120 : 제2 센서
130 : 반사경 131 : 반사경커버
140 : 스팟센서 150 : 체크센서
200 : 컨트롤러 210 : 컨버터
220 : 연산제어부 230 : 모니터
240 : 트리머

Claims (5)

  1. 웨이퍼척(20)에 거치된 웨이퍼(10)의 테두리 영역에 빛을 조사하는 제1 센서(110)와, 상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 수광하는 제2 센서(120)로 구성되어 상기 제2 센서(120)에서 수광되는 광량을 통해 전압을 검출하는 센서부(100);
    상기 센서부(100)로부터 검출되는 전압을 아날로그 신호로 변환하는 컨버터(210)와, 상기 컨버터(210)로부터 변환된 아날로그 신호를 출력 가능한 신호값으로 변환하는 연산제어부(220)와, 상기 연산제어부(220)로부터 변환된 신호값을 식별 가능하게 표시하는 모니터(230)와, 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 가변저항을 이용하여 조절하는 트리머(240)로 구성되는 컨트롤러(200);를 포함하여 구성되고,
    상기 센서부(100)는
    상기 제1 센서(110)로부터 조사되는 빛을 반사하는 반사경(130)이 더 구비되고,
    상기 제2 센서(120)에서 상기 반사경(130)을 통해 반사되는 빛을 수광하도록 구성되며, 상기 반사경(130)의 상부에는 웨이퍼의 크기에 따라 빛을 반사하는 면적을 조절 가능하도록 반사경커버(131);가 형성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치.
  2. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 센서부(100)는
    상기 웨이퍼척(20)에 거치된 상기 웨이퍼(10)를 정위치 시키는 것이 가능하도록 상기 웨이퍼(10)의 소정 지점에 빛을 조사하여 상기 웨이퍼(10)의 위치를 감지하는 스팟센서(140)와, 상기 웨이퍼(10)의 플랫존(11)에 빛을 조사하여 상기 플랫존(11)의 위치를 감지하는 체크센서(150);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 트리머(240)는 가변저항을 이용하여 상기 센서부(100)에서 검출되는 전압을 조절하는 것이 가능하도록 형성되되, 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전됨에 따라 가변저항을 조절하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼설비의 웨이퍼 전압 조절 장치.
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