KR102012782B1 - 조정 가능한 자기 부력 중력 보상 장치 - Google Patents

조정 가능한 자기 부력 중력 보상 장치 Download PDF

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Abstract

자기 중력 보상 장치는 고정자(1), 회전자(2), 베이스(4) 및 조정 기구(6)를 포함한다. 상기 고정자(1)는 상기 베이스(4)상에 배치되고 상기 회전자(2)는 상기 고정자(1)에 대해 부양한다. 상기 고정자(1)는, 상기 조정 기구(6)에 의해 상기 베이스(4)에 고정되고 적어도 두 개의 아크 자석(111)으로 구성되는 실린더형 중심 자석(11)을 구비한다. 상기 조정 기구(6)는 상기 베이스(4)에 고정되는 제 1 단과 상기 적어도 두 개의 아크 자석(111)에 견고하게 연결되는 제 2 단을 가진다. 상기 조정 기구(6)는 상기 실린더형 중심 자석(11)과 상기 회전자(2) 사이의 자기 회로를 변화시켜 상기 고정자(1)와 상기 회전자(2) 사이의 자기 부상력을 조정하기 위해, 상기 적어도 두 개의 아크 자석(111)을 구동하여 상기 실린더형 중심 자석(11)의 중심 축에 대해 방사 방향으로 동시에 이동시키도록 구성된다.

Description

조정 가능한 자기 부력 중력 보상 장치
본 발명은 포토리소그래피에 이용되는 자기 중력 보상 장치에 관한 것으로서, 특히 조정 가능한 자기 부력 중력 보상 장치에 관한 것이다.
포토리소그래피 도구는 웨이퍼상에 마스크 패턴을 노광하기 위한 장치로서, 주로 집적 회로(IC)와 그 외 마이크로 소자를 제조하기 위해 사용된다. 마스크 패턴 노광시, 마스크와 웨이퍼는 투사 시스템과 투사 광 빔에 대해 동시에 이동한다.
대규모 IC 장치의 집적도 증가로 인해, 보다 높은 해상도와 보다 작은 임계 치수를 가지는 포토리소그래피 도구에 대한 수요가 생겨났다. 현재, 포토리소그래피 도구는 내부와 외부를 결합하는 방향으로 진화하고 있다. 이러한 포토리소그래피 도구에서, 웨이퍼 스테이지, 마스크 스테이지 및 이들을 위한 조명 시스템은 세 개의 독자적 영역으로서 댐핑된다. 미세 동작 모듈을 위해, 노광중 다른 시스템의 영향을 받지 않도록 하기 위해 웨이퍼 척이나 마스크 척을 효과적으로 댐핑할 필요가 있다. 이러한 상황에서, 능동 또는 수동 댐핑 기술을 사용하여 웨이퍼 척이나 마스크 척의 수평을 잡고 초점을 맞춰주는 새로운 장치로서 중력 보상 장치가 개발되었다.
기존의 자기 중력 보상 장치가 도 1에 도시되어 있으며, 이는 리프 스프링(1'), 이동 가능한 하부 플레이트(2'), 및 인장 스프링(미도시됨)으로 구성된 수직력 보상 모듈을 구비하는 기계적 중력 보상 구조를 채택하고 있다. 상기 구조는 또한 RX/RY 자유도로 조정을 실행할 수 있는 연결 블럭(3')을 구비하며, 상기 연결 블럭(3')은 미세 동작 스테이지(4')에 연결되어 상기 미세 동작 스테이지(4')를 댐핑한다. 그러나, 이러한 해결 방식에서는 상기 미세 동작 스테이지(4')의 지지를 위해 상기와 같은 자기 중력 보상 장치 세 개를 필요로 하기 때문에, 이들 사이에 중력 로드를 동일하게 분배하기 어렵다. 또한 상기 해결 방식은 높은 구조적 복잡성, 높은 강성 요건, 낮은 제어성, 그리고 낮은 정확도를 가진다.
이들 문제를 해결하기 위해, 도 2에 도시된 바와 같이, 이후 자기 중력 보상이 가능한 음성 코일 모터가 제안되었다. 움직임 성분의 중력의 균형을 위해, 상기 모토를 이용하여 고정자 자석군(5')과 회전자 자석군(6') 사이에 정전력을 발생한다. 또한 상기 강력한 음성 코일 모터는 추력을 조정하기 위해 중력 보상을 조정할 수 있다. 그러나 이 해결 방식은 상기 음성 코일 모터에 의한 보상시, 심한 열 발생, 조정 범위 제한과 같은 많은 문제와 연관되어 있다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은, 중력 보상시, 심한 열 발생을 현저히 줄이고 보다 넓은 조정 범위를 가지는, 조정 가능한 자기 중력 보상장치를 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 자기 중력 보상장치를 제공한다. 상기 자기 중력 보상장치는 고정자, 회전자, 베이스 및 조정 기구를 포함한다. 상기 고정자는 상기 베이스상에 배치되고 상기 회전자는 상기 고정자에 대해 부양된다. 상기 고정자는, 상기 조정 기구에 의해 상기 베이스에 고정되고 적어도 두 개의 아크 자석으로 구성되는 실린더형 중심 자석을 구비한다. 상기 조정 기구는 상기 베이스에 고정되는 제 1 단과 상기 적어도 두 개의 아크 자석에 견고하게 연결되는 제 2 단을 가진다. 상기 조정 기구는, 상기 실린더형 중심 자석과 상기 회전자 사이의 자기 회로를 변화시켜 상기 고정자와 상기 회전자 사이의 자기 부상력을 조정하기 위해, 상기 적어도 두 개의 아크 자석을 구동하여 상기 실린더형 중심 자석의 중심 축에 대해 방사 방향으로 동시에 이동시키도록 구성된다.
또한, 상기 회전자는 내부 자석 링과 외부 자석 링을 구비하되, 상기 고정자는 음성 코일 모터의 코일을 더 구비할 수 있고, 상기 실린더형 중심 자석, 상기 내부 자석 링, 상기 음성 코일 모터의 코일, 및 상기 외부 자석 링은 최내측에서 최외측으로 동심원 방향으로 배치된다.
또한, 상기 내부 자석 링과 상기 외부 자석 링은 회전자 프레임에 의해 고정될 수 있다.
또한, 상기 음성 코일 모터의 코일은 코일 프레임에 의해 상기 베이스에 고정될 수 있다.
또한, 상기 조정 기구는 구동부, 상기 구동부에 연결된 적어도 두 개의 추적자, 및 조정부를 구비할 수 있고, 상기 구동부는 상기 베이스에 연결되고, 상기 적어도 두 개의 추적자는 상기 적어도 두 개의 아크 자석에 고정 연결되고, 상기 조정부는 상기 적어도 두 개의 추적자와 상기 적어도 두 개의 아크 자석의 위치를 조정하기 위해 상기 구동부를 구동하도록 구성된다.
또한, 상기 적어도 두 개의 추적자의 수는 상기 적어도 두 개의 아크 자석의 수에 해당될 수 있다.
또한, 상기 구동부는 상기 적어도 두 개의 추적자가 나사 결합되는 나사형 원판일 수 있고, 상기 조정부는 상기 나사형 원판이 상기 조정부와 함께 회전하도록 상기 베이스상에 배치됨으로써, 상기 적어도 두 개의 추적자와 상기 적어도 두 개의 아크 자석이 동시에 상기 실린더형 중심 자석의 중심축에 대해 방사 방향으로 이동한다.
또한, 상기 구동부는 원추대일 수 있고, 상기 적어도 두 개의 추적자는 상기 원추대에 해당하는 쐐기형 블럭이며, 상기 조정부는 상기 조정부의 회전으로 인해 상기 원추대가 수직 이동하여 상기 적어도 두 개의 추적자와 상기 적어도 두 개의 아크 자석이 동시에 상기 실린더형 중심 자석의 중심축에 대해 방사 방향으로 이동하도록 상기 베이스상에 배치된다.
또한, 상기 구동부는 중심 돌기를 가진 실린더형 베이스일 수 있고, 상기 적어도 두 개의 추적자는 이동 가능한 힌지에 의해 상기 구동부에 연결된 슬라이드 블럭이며, 상기 조정부는 조정 너트와 상기 조정 너트와 결합된 스크루 막대를 구비하고, 상기 스크루 막대는 상기 실린더형 베이스의 단들이 이동가능 힌지와 베이스에 각각 연결된 상태로 상기 실린더형 베이스 내부에 배치된다.
또한, 상기 실린더형 중심 자석은 6개 또는 8개의 아크 자석으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 실린더형 중심 자석은 자신의 중심축을 따라 자화될 수 있다.
또한, 상기 적어도 두 개의 아크 자석, 상기 내부 자석 링, 및 상기 외부 자석 링 각각은 NdFeB로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 조정 가능한 자기 중력 보상장치는, 조정 기구 및 상기 조정 기구의 구동력에 의해 동심원 방향을 따라 내, 외측으로 이동 가능한 상당수의 아크 자석으로 구성되는 실린더형 중심 자석을 포함한다. 이로써, 상기 실린더형 중심 자석의 내측 반경과 외측 반경이 변화하여 실린더형 중심 자석과 회전자 사이의 자기 회로가 변화할 수 있게 되어, 기본 부상력을 조정할 수 있게 되고 따라서, 자기 중력 보상장치의 자기 중력 보상시 소정 범위에서 기계적인 조정이 가능하게 된다. 또한 음성 코일 모터에 의한 능동적 보상과 함께 부상력에 의한 수동적 보상을 실시함으로써, 상기 자기 중력 보상 장치는 보다 더 넓은 조정 범위를 가지게 된다.
도 1은 기존의 기계적 자기 중력 보상 장치를 나타내는 개략적 구조도이다.
도 2는 자기 중력 보상이 가능한 음성 코일 모터를 나타내는 개략적인 구조도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 조정 가능한 자기 중력 보상장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 상기 조정 가능한 자기 중력 보상장치를 나타내는 개략적인 구조도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 아크 자석과 추적자를 나타내는 개략적인 구조도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 조정 기구를 나타내는 개략적인 구조도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 아크 자석과 내, 외부 자석링 사이 자력선의 변화를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 내,외 자석링에 작용하는 기본 부상력의 진화도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른, 조정 기구를 나타내는 개략적인 구조도이다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른, 조정 기구를 나타내는 개략적인 구조도이다.
첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 하기에 상세히 설명한다.
실시예 1
도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 조정 가능한 자기 중력 보상장치는 고정자(1), 회전자(2), 베이스(4) 및 조정 기구(6)를 포함한다. 상기 고정자는 베이스(4)상에 배치되고, 상기 회전자(2)는 고정자(1)에 대해 자기 부상한다. 상기 고정자(1)는 음성 코일 모터의 코일(12) 및 실린더형 중심 자석(11)을 포함한다. 상기 코일(4)은 코일 프레임(5)에 의해 베이스(4)에 고정되고, 상기 실린더형 중심 자석(11)은 적어도 두 개의 아크 자석(111)을 구비하며, 상기 아크 자석 각각은 실린더형 중심 자석(11)의 축을 따라 자화된다. 상기 아크 자석은 안정적이고 보다 덜 강력한 기본 부상력을 제공하기 위해 상기 회전자(2)와 공조한다. 상기 아크 자석(111)이 실린더형 중심 자석(11)의 중심에 대해 동심원 방향으로, 즉 방사 방향으로 내, 외측으로 이동 가능하게 아크 자석(11)을 구동하기 위해, 상기 조정 기구(6)는 아래로는 베이스(4)에 고정되고 위로는 고정적으로 아크 자석(111)에 연결된다. 상기 회전자(2)는 방사 방향으로 자화된다. 조정 기구(6)에 의해 구동된 실린더형 중심 자석(11)의 중심에 대한 아크 자석(111)의 동심원 방향 이동에 의해, 실린더형 중심 자석(11)의 내측 반경과 외측 반경이 변화하여 실린더형 중심 자석(11)과 회전자 사이의 자기 회로에 변화를 유발한다. 이로써, 상기 기본 부상력을 조정할 수 있게 됨으로써, 자기 중력 보상장치의 자기 중력 보상시 소정 범위에서 기계적인 조정을 가능케 한다. 상기 음성 코일 모터에 의한 능동적 보상과 함께 부상력에 의한 수동적 보상을 실시함으로써, 상기 자기 중력 보상 장치는 보다 더 넓은 조정 범위를 가지게 된다.
상기 회전자(2)는 내부 자석링(201)과 외부 자석링(202)을 포함하는 것이 바람직하다. 도 4에 도시된 바와 같이, 실린더형 중심 자석(11), 내부 자석링(201), 음성 코일 모터의 코일(12), 및 외부 자석링(202)은 최내측에서 최외측으로 동심원 형태로 배열된다. 아크 자석(111), 내부 자석링(201) 및 외부 자석링(202)은 모두 NdFeB 자석이다. 상기 내부 자석링(201)과 외부 자석링(202)은 반전된 U 모양의 단면을 가진 회전자 프레임(203)에 의해 고정된다. 안정적이고 보다 덜 강력한 기본 부상력을 제공하기 위해, 내부 자석링(201) 및 외부 자석링(202)은 각각 실린더형 중심 자석(11)과 공조한다. 동시에, 안정적인 방사형 자기장이 내부 자석링(201) 및 외부 자석링(202) 사이에 발생한다. 상기 자기장의 영향을 받아, 상기 코일(12)은 능동적 댐핑 및 중력 보상 효과를 주는 로렌쯔력을 발생한다.
계속 도 3을 참조하면, 상기 조정 기구(6)는 구동부(601), 구동부(601)와 연결된 상당수의 추적자(602), 및 조정부(603)를 포함한다. 상기 추적자(602)가 아크 자석(111)과 고정적으로 연결된 상태에서, 상기 구동부(601)는 하부가 베이스(4)에 부착된다. 상기 조정부(603)는 구동부(601)가 추적자(602)와 자석(111)의 위치를 조정하도록 한다. 추적자(602)의 수는 아크 마그넷(111)의 수에 해당한다. 상기 아크 자석(111)이 동심원 방향으로 내, 외측 이동시, 수평 방향으로 낮은 기생 인장 강성을 유발하는, 축방향으로 자화되는 훌륭한 실린더형 자기장을 형성하기 위해, 아크 자석(111)의 수는 적용 가능한 만큼의 수가 된다. 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 6개 또는 8개의 아크 자석(111)이 사용될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 구동부(601)는 상기 추적자들(602)과 나사 결합하는 나사형 원판이다. 상기 조정부(603)는 베이스(4)상에 배치되어 상기 나사형 원판에 연결된다. 상기 나사형 원판이 조정부(603)와 함께 회전함으로써, 추적자(602) 및 아크 자석(111)이 동심원 방향을 따라 내, 외측으로 이동한다. 구체적으로, 상기 나사형 원판은 베이스(4)내의 전송 기구(미도시)에 연결되고, 상기 조정부(603)는 렌치나 스크류 드라이버에 의해 회전될 수 있다. 상기 회전은 전송 기구에 의해 나사형 원판으로 전송될 수 있다. 상기 추적자(602)가 나사형 원판과 나사 결합하기 때문에, 상기 나사형 원판의 회전으로 인해 추적자(602)와 나사형 원판 상의 아크 자석(111)은 동심원 방향을 따라 내,외측으로 이동하여 기본 부상력 뿐만 아니라 실린더형 중심 자석(11)의 내측 반경과 외측 반경을 변화시킨다.
아크 자석(111)이 동심원 방향을 따라 내,외측으로 이동시, 상기 자기 중력 보상 장치에서 상기 아크 자석들(111), 상기 내부 자석링(201), 및 상기 외부 자석링(202)간의 자기 회로가 구조적으로 변화하고, 자기력 라인은 도 7a 및 도 7b에 나타난 바와 같이 변화한다. 아크 자석(111)이 상기 내, 외부 자석링(201 및 202)을 향해 이동할 경우, 즉 실린더형 중심 자석(11)의 내측 반경과 외측 반경이 확장되는 경우, 실린더형 중심 자석(11)과 상기 내, 외부 자석링(201 및 202) 사이에 있는 자기 회로의 부분이 줄어들어 결과적으로 축에 따른 부상력이 증가된다. 그리고 그 반대의 경우도 가능하다.
도 8은 상기 아크 자석들(111)이 동시에 2mm 범위내의 거리만큼 이동할 경우, 상기 내, 외부 자석링(201 및 202)에 작용하는 기본 부상력과 -2mm 내지 2mm 범위내의 상기 내, 외부 자석링(201 및 202)의 축방향 이동간의 관계를 나타낸다. 상기 도면에서, dr1, dr2, dr3 및 dr4는 아크 자석들(111)이 이동하는 거리를 나타낸다. 상기 도면에 도시된 바와 같이, 상기 내, 외부 자석링(201 및 202)이 -2mm 내지 2mm 범위내에서 축방향 이동할 경우, 상기 내, 외부 자석링(201 및 202)에 작용하는 기본 부상력은 상기 아크 자석들(111)의 서로 다른 이동 거리에 따라 변화한다. 따라서, 조정 기구(6)의 조정 능력으로 인해, 상기 부상력에 따른 수동적 자기 중력 보상이 가능하다.
실시예 2
도 9에 도시된 바와 같이, 본 실시예는, 본 실시예에 따른 조정 기구(6)에서 구동부(601)는 원추대이고 상기 추적자(602)는 원추대에 해당하는 쐐기형 블럭이라는 점에서 실시예 1과 차이 난다. 조정부(603)는 베이스(4) 상에 배치되고, 상기 조정부(603)가 회전하면 상기 원추대는 상하 이동하며 추적자(602)와 아크 자석(111)이 동심원 방향을 따라 내,외측으로 이동하도록 구동한다. 원추대와 쐐기들간의 끼워 맞춤으로 이내, 보다 더 높은 조정 정확도를 달성한다.
실시예 3
도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시예는, 본 실시예에 따른 조정 기구(6)에서 구동부(601)는 중심 돌기를 구비한 실린더형 베이스이고 상기 추적자(602)는 슬라이드 블럭이라는 점에서 실시예 1 및 실시예 2와 차이 난다. 이들은 이동 가능한 힌지(604)에 의해 서로 연결된다. 상기 조정부(603)는 조정 너트(6031)와 상기 조정 너트(6031)와 결합된 스크류 막대(6032)를 포함한다. 상기 스크류 막대(6032)는 상기 실린더형 베이스내에 구비되고, 상하로 각각 이동 가능 힌지(604)와 베이스(4)에 연결된다. 조정 너트(6031)와 스크류 막대(6032)간의 결합으로 인해, 보다 더 높은 유연성을 달성한다.
여기에 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 이들 실시예는 단지 예시적이며 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다. 본 발명의 주제를 벗어나지 않는 모든 생략, 대체 및 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
도 1 및 도 2에서, 1'은 리프 스프링, 2'는 이동 가능한 하부 플레이트, 3'은 연결 블럭, 4'는 미세 동작 스테이지, 5'는 고정자 자석군, 6'은 회전자 자석군을 나타낸다.
도 3 내지 도 10에서, 1은 고정자, 11은 실린더형 중심 자석, 111은 아크 자석, 12는 음성 코일 모터의 코일, 2는 회전자, 201은 내부 자석링, 202는 외부 자석링, 203은 회전자 프레임, 4는 베이스, 5는 코일 프레임, 6은 조정 기구, 601은 구동부, 602는 추적자, 603은 조정부, 6031은 조정 너트, 6032는 스크류 막대, 604는 이동 가능한 힌지를 나타낸다.

Claims (12)

  1. 자기 중력 보상장치에 있어서,
    고정자, 회전자, 베이스 및 조정 기구를 포함하고, 상기 고정자는 상기 베이스상에 배치되고 상기 회전자는 상기 고정자에 대해 부양하되,
    상기 고정자는, 상기 조정 기구에 의해 상기 베이스에 연결되고 적어도 두 개의 아크 자석으로 구성되는 실린더형 중심 자석을 구비하고,
    상기 조정 기구는 상기 베이스에 고정되는 제 1 단과 상기 적어도 두 개의 아크 자석에 견고하게 연결되는 제 2 단을 가지고, 상기 실린더형 중심 자석과 상기 회전자 사이의 자기 회로를 변화시켜 상기 고정자와 상기 회전자 사이의 자기 부상력을 조정하기 위해, 상기 적어도 두 개의 아크 자석을 구동하여 상기 실린더형 중심 자석의 중심 축에 대해 방사 방향으로 동시에 이동시키도록 구성되며,
    상기 회전자는 내부 자석 링과 외부 자석 링을 구비하되, 상기 고정자는 음성 코일 모터의 코일을 더 구비하고, 상기 실린더형 중심 자석, 상기 내부 자석 링, 상기 음성 코일 모터의 코일, 및 상기 외부 자석 링은 최내측에서 최외측으로 동심원 방향으로 배치됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 내부 자석 링과 상기 외부 자석 링은 회전자 프레임에 의해 고정됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 음성 코일 모터의 코일은 코일 프레임에 의해 상기 베이스에 고정됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 조정 기구는 구동부, 상기 구동부에 연결된 적어도 두 개의 추적자, 및 조정부를 구비하고, 상기 구동부는 상기 베이스에 연결되고, 상기 적어도 두 개의 추적자는 상기 적어도 두 개의 아크 자석에 고정 연결되고, 상기 조정부는 상기 적어도 두 개의 추적자와 상기 적어도 두 개의 아크 자석의 위치를 조정하기 위해 상기 구동부를 구동하도록 구성됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 추적자의 수는 상기 적어도 두 개의 아크 자석의 수에 해당함을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 적어도 두 개의 추적자가 나사 결합되는 나사형 원판이고, 상기 조정부는 상기 나사형 원판이 상기 조정부와 함께 회전하도록 상기 베이스상에 배치됨으로써, 상기 적어도 두 개의 추적자와 상기 적어도 두 개의 아크 자석이 동시에 상기 실린더형 중심 자석의 중심축에 대해 방사 방향으로 이동함을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 구동부는 원추대이고, 상기 적어도 두 개의 추적자는 상기 원추대에 해당하는 쐐기형 블럭이며, 상기 조정부는 상기 조정부의 회전으로 인해 상기 원추대가 수직 이동하여 상기 적어도 두 개의 추적자와 상기 적어도 두 개의 아크 자석이 동시에 상기 실린더형 중심 자석의 중심축에 대해 방사 방향으로 이동하도록 상기 베이스상에 배치됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 구동부는 중심 돌기를 가진 실린더형 베이스이고, 상기 적어도 두 개의 추적자는 이동 가능한 힌지에 의해 상기 구동부에 연결된 슬라이드 블럭이며, 상기 조정부는 조정 너트와 상기 조정 너트와 결합된 스크루 막대를 구비하고, 상기 스크루 막대는 상기 실린더형 베이스의 단들이 이동가능 힌지와 베이스에 각각 연결된 상태로 상기 실린더형 베이스 내부에 배치됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 실린더형 중심 자석은 6개 또는 8개의 아크 자석으로 구성됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 실린더형 중심 자석은 자신의 중심축을 따라 자화됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 아크 자석, 상기 내부 자석 링, 및 상기 외부 자석 링 각각은 NdFeB로 형성됨을 특징으로 하는, 자기 중력 보상장치.
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