KR101961979B1

KR101961979B1 - 과산화수소의 제조 방법

Info

Publication number: KR101961979B1
Application number: KR1020147014893A
Authority: KR
Inventors: 앤드류 윌슨
Original assignee: 솔베이(소시에떼아노님)
Priority date: 2011-11-07
Filing date: 2012-11-07
Publication date: 2019-03-25
Also published as: US9056773B2; EP2776366B1; US20140255295A1; KR20140095081A; ES2721661T3; EP2776366A1; EP2589570A1; BR102012028529B1; BR102012028529A2; CA2856189C; CA2856189A1; WO2013068417A1

Abstract

본 발명은 과산화수소의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

과산화수소의 제조 방법{PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF HYDROGEN PEROXIDE}

본원은 2011년 11월 7월에 출원된 유럽특허출원 제11188044.9호의 우선권을 주장하며, 상기 출원의 전체 내용을 사실상 본원에 참조로 통합하였다.

여기에 참조로 통합된 모든 특허, 특허출원, 및 공개문헌의 개시물과 본원의 명세서가 상반되어 용어의 의미를 불명확하게 할 수 있을 정도인 경우, 본 명세서가 우선한다.

본 발명은 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소의 제조 방법에 관한 것이다.

안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소의 제조 방법들이 당해 기술분야에 알려져 있다. 통상 안트라퀴논 공정은 안트라퀴논 유도체-함유 용액의 순환적인 환원, 산화 및 추출을 포함한다. 이러한 안트라퀴논 유도체-함유 용액은 일반적으로 당해 기술분야에서 "작용액(working solution)"으로 알려져 있으며, 통상 적합한 비활성 용매, 전형적으로는 유기 용매, 또는 이들의 혼합물을 포함한다. 작용액은 1종 이상의 안트라퀴논 유도체를 더 포함하며, 이러한 유도체는 순환적 안트라퀴논 공정 동안 해당되는 안트라하이드로퀴논 유도체로 수소화된 후 안트라퀴논 유도체 상태에서 재산화된다.

수소화 단계에서는 안트라퀴논 유도체를, 보통 촉매적 수소화 반응에 의해, 해당되는 안트라하이드로퀴논 유도체로 환원시킨다. 후속의 산화 단계에서는, 그 전에 촉매를 제거한 수소화 작용액을 보통 산소 또는 산소-함유 가스 혼합물에 의한 가스 처리로 산화시킨다. 산화 단계 동안, 안트라하이드로퀴논 유도체를 해당되는 안트라퀴논 유도체로 산화시킴으로써, 과산화수소를 수득한다. 이러한 산화된 안트라퀴논 유도체 및 과산화수소를 함유한 작용액을 추출하여, 과산화수소를 분리하고, 재순환시켜 환원 단계에 재사용한다.

과산화수소를 제조하기 위한 안트라퀴논 공정의 추가 상세설명은 표준 교과서, 예컨대 Kirk-Othmer, Encyclopedia of Chemical Technology, 2001년 8월, Chapter "과산화수소"; 또는 Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, 1989년 5th 개정판, Volume A 13, 449 내지 454 페이지에 개시되어 있다.

당해 기술분야에서 안트라퀴논 공정의 산화 단계는 에너지 및 용매 소비 단계로 알려져 있다. 산화 단계 동안, 산화 가스를 충분한 과압으로 반응기에 공급해야 한다. 작용액과의 충분한 접촉 후, 반응기로부터 수득되는 산화 오프 가스는 산화 반응기에서 배출될 때 통상 여전히 상당한 과압 상태 하에 있다. 더욱이, 통상 많은 양의 용매가 여전히 산화 오프 가스 내에 존재한다. 이러한 단점들을 극복하기 위해 여러 해결방안이 제시되었다.

미국특허 제4,485,084호는 산화기로부터의 산화 오프 가스를 등온위(isentropic) 팽창시켜 용매를 회수하는 것에 대해 제시하고 있다. 터보 팽창기에서의 등온위 팽창을 통해, 과압 에너지의 일부를 회수할 수 있다.

독일특허 제4029784호는 산화 오프 가스의 생성을 막기 위해 공기 대신에 순수 산소를 사용하여 산화 단계를 수행하는 것에 대해 제시하고 있다. 순수 산소는 고가이므로, 이러한 방법은 경제적으로 매우 비효율적이며, 따라서 통상 공기를 산화 가스로 사용하는 연속식 산업 공정에 적합하지 않다. 이에 따라, 본 발명은 순수 공기를 산화 가스로 적용하지 않음으로써 산화 오프 가스를 생성하는 연속식 과산화수소 제조 방법에 관한 것이다.

미국 특허출원 제2003/0165422 A1호는 여전히 가압 상태 하의 오프 가스 내에 존재하는 에너지를 회수하기 위해 산화 오프 가스를 하나 이상의 가스 제트(가스 이젝터)의 추진 가스(propellant gas)로서 공급하는 것에 대해 제시하고 있다.

산화 반응기로부터 수득된, 여전히 과압 상태 하에 있는 산화 오프 가스를 가스 이젝터용 추진 가스로 사용하는 경우, 가스 이젝터의 효율성이 오히려 낮다는 것이 밝혀졌으며, 이러한 이젝터를 기계적으로 신뢰할 수 없다는 것과, 이젝터로 인해 공정 오프 타임(비작동 시간)이 종종 초래된다는 것이 드러났다.

놀랍게도, 안트라퀴논 공정을 통해 과산화수소를 제조하는 과정에서 산화 반응기로부터 수득된 산화 오프 가스가 공급되는 가스 이젝터의 효율성 및 기계적 신뢰성은 상기 산화 오프 가스를 제무 처리(demist) 한 후에 가스 이젝터에 공급하면 현저하게 향상될 수 있다는 것이 발견되었다. 이론에 구속되고자 함은 아니지만, 산화 오프 가스에 존재하는, 통상 산화 반응기 내에 존재하였던 작용액으로 구성된 소액적들이, 구체적으로는 산업 규모의 연속식 공정에서, 가스 이젝터의 효율성 및 특히 기계적 신뢰도를 저하시키는 것으로 이해되고 있다. 본원에 따르면, 당해 기술분야에 공지된 바와 같은 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소 제조 방법은, 여전히 과압 상태로 있으며 유리하게는 가스 이젝터에 공급되는 추진 가스로 유리하게 사용가능한 산화 오프 가스를 제무 상태로 얻기 위해, 산화 오프 가스를 제무 처리하는 추가 단계를 포함한다. 유리하게는 가스 이젝터에 의해 생성되는 진공을 바람직하게는 안트라퀴논 공정의 하나 이상의 공정 단계에서 이용할 수 있다.

따라서 본 발명은 (i) 1종 이상의 안트라퀴논 유도체를 함유한 유기 작용액을 비균질 촉매의 존재 하에 수소화시켜 수소화 작용액을 형성하는 단계, (ii) 산소-함유 산화 가스를 과압 하에 산화 반응기 내에 도입하고, 산화 가스를 수소화 작용액과 접촉시켜 산화 작용액을 형성함으로써 수소화 작용액을 산화시켜 과산화수소를 형성하는 단계, (iii) 산화 반응기로부터 산화 오프 가스를 배출시키는 단계, 및 (iv) 산화 작용액으로부터 과산화수소를 회수하는 단계를 포함하는 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소의 연속식 제조 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 (v) 산화 반응기로부터 빠져나오는, 대기압을 초과한 과압 상태의 산화 오프 가스를 제무 처리하여, 제무 상태의 산화 오프 가스를 수득하는 단계, 및 (vi) 제무 상태의 산화 오프 가스를 추진 가스로서 가스 이젝터 내에 공급하여 진공을 생성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 방법에 사용가능한 작용액은 당해 기술분야에 공지되어 있다. 적합한 작용액은 안트라퀴논 유도체 및 사용된 안트라하이드로퀴논 유도체를 용해시키는 용매, 또는 용매 혼합물을 통상 포함하며, 이때, 예를 들면, 한 용매는 안트라퀴논 유도체를 용해시키고, 또 다른 용매는 사용된 안트라하이드로퀴논 유도체를 용해시킨다. 해당되는 안트라하이드로퀴논 유도체로 전환될 수 있고, 해당되는 안트라퀴논 유도체로 가역적으로 산화될 수 있는 적합한 안트라퀴논 유도체, 특히 알킬 안트라퀴논이 알려져 있다. 바람직하게는 2-알킬 안트라퀴논이 사용되며, 더 바람직하게 알킬기는 선형 또는 분지형 C₂-C₆ 알킬기이다. 적합한 안트라퀴논 유도체가 미국특허 제6,153,169호에 개시되어 있다.

(i) 수소화 단계는 당해 기술분야에 공지되어 있으며, 통상 비균질 촉매의 존재 하에 수행된다. 수소화 단계에서, 안트라퀴논 유도체는 예컨대 수소 기체에 의해 해당되는 안트라하이드로퀴논 유도체로 수소화된다. 적합한 공정 변수 및 촉매는 당해 기술분야에 공지되어 있다.

본 발명에 따른 방법의 (ii) 산화 단계에서는, 통상 공기 또는 산소 함유량이 높은 공기인 산소-함유 산화 가스를 도입함으로써, (i) 단계에서 수득된 수소화 작용액을 산화시킨다. 산화 가스는 반응기 내의 압력에 비해 높은 과압으로 산화 반응기 내에 공급된다. 과압은 반응기 내의 압력에 비해 통상 약 200 mbar 이상, 바람직하게는 약 400 mbar 이상, 특히 약 0.5 bar 내지 약 5 bar 범위이다.

산화 가스는, 수소화 작용액과 산화 가스가 충분히 접촉하도록 적합하게 구성된 산화 반응기 내에 공급되어, 산화 작용액을 형성한다. 산화 반응기 내의 압력은 대기압보다 통상 약 500 mbar 이상, 바람직하게는 약 1 bar 이상, 특히 약 2 bar 내지 약 15 bar 초과의 범위이다.

산화 반응기 내에서 작용액과 충분히 접촉된 후, 산소 함량이 감소된 산화 가스는 본 발명에 따른 방법의 (iii) 단계에서 산화 반응기로부터 산화 오프 가스로서 배출된다. 반응기 전체에 걸친 압력 감소로 인해, 산화 오프 가스의 과압은 반응기에 공급되었던 산화 가스의 과압보다 낮다. 반응기로부터 나올 때, 바람직하게 산화 오프 가스의 초과 압력(excess pressure)은 여전히 대기압보다 약 0.5 bar 내지 약 15 bar, 바람직하게는 약 1 bar 내지 약 10 bar, 특히 약 1.5 bar 내지 약 8 bar 초과의 범위이다.

통상, 산화 반응기로부터는 산화된 작용액이 배출되며, 형성된 과산화수소는 본 발명에 따른 방법의 (iv) 단계에서 당해 기술분야에 공지된 바와 같이 회수한다.

본 발명의 방법에 따르면, (v) 단계에서는 산화 반응기로부터 빠져나오는 산화 오프 가스를 제무 처리하여 제무 상태의 산화 오프 가스를 수득한다. 본 발명에 따른 제무 처리는 산화 오프 가스 내에 비말동반된 액적을 제거하는 것을 뜻한다. 산화 반응기로부터 배출된 산화 오프 가스 내 액적 형태의 액체 함량은 통상 약 300 내지 2000 mg/m³이다. 본 발명에 따른 제무 처리에서는, 산화 오프 가스 내 비말동반된 액적 형태의 액체 함량의 통상 50% 이상, 더 바람직하게는 80% 이상, 특히 95% 이상이 제거된다. 제무 상태의 산화 오프 가스의 액체 함량은 바람직하게 1000　mg/m³미만, 더 바람직하게는 400　mg/m³미만, 특히 100　mg/m³ 미만으로, 예컨대 20　mg/m³미만이며, 바람직하게는 150 내지 1000　mg/m³ 범위, 더 바람직하게는 60 내지 400　mg/m³ 범위, 특히 15 내지　100　mg/m³범위이다. 가스로부터 액적을 제거하는데 적합한 장치는 당해 기술분야에서 제무기(demister) 또는 액적 분리기로 알려져 있다. 본 발명에 따른 제무기 장치는 사이클론형 장치 또는 제무기로 알려져 있는 장치이다. 당해 기술분야에서 제무기는 연무(mist)를 기체 스트림으로부터 분리되기에 충분히 무거운 액적으로 응집시키도록 의도된 메쉬형 코얼레서(coalescer), 베인 팩(vane pack) 또는 유사한 구조체를 통상 구비한 장치로 알려져 있다. 적합한 장치는 예컨대 MECS, Inc.에서 구입가능한 연무 제거 유형의 HE"PLUS"2450EFR가 시판 중에 있다. 바람직하게는 제무기와 사이클론의 복합 형태를 사용하며, 더 바람직하게는 제무기를 산화 반응기 내에 설치하고, 사이클론을 반응기 하류측에 설치한다. 또한 제무기를 반응기 외부에 설치할 수도 있으며; 응축기를 사이클론의 상류측에 설치함으로써 유기 물질의 분리를 개선할 수 있다.

산화 오프 가스를 제무 처리한 후, (vi) 단계에서는 이러한 제무 상태의 산화 오프 가스를 가스 이젝터에 추진 가스로서 공급한다. 당해 기술분야에서 제트 펌프, 가스 인젝터, 증기 이젝터 또는 열압축기로 또한 지칭되는 가스 이젝터는 펌프와 유사한 장치로 알려져 있다. 이들 장치는 축소-확대 노즐의 벤츄리(Venturi) 효과를 이용하여 구동 유체의 압력 에너지를 속도 에너지로 전환시켜, 흡입 유체를 끌어들이고 비말동반시키는 저압 영역을 형성한다. 이젝터의 목(throat) 부분을 통과한 후, 혼합 유체는 팽창하고, 속도가 감소되며, 그 결과로 속도 에너지는 다시 압력 에너지로 전환됨으로써 혼합 유체가 재압축된다. 비말동반된 흡입 유체는 기체, 액체, 슬러리 또는 함진(dust-laden) 기체 스트림일 수 있다.

제무 상태의 산화 오프 가스가 공급된 가스 이젝터에 의해 생성된 진공을, 유리하게는, 대기압보다 낮은 압력이 요구되는 과산화수소 제조 방법에 사용할 수 있다. 바람직하게는 약 50 mbar 내지 약 900 mbar (절대압력)의 진공이 생성된다. 바람직하게는, 상기 진공을 이용하여 작용액을 건조하거나 (예컨대, 과산화수소의 정제를 위한 증류탑에서의) 증류 공정을 위한 용매 증기를 저장조(예컨대, 용매 저장조)로부터 배출하고/하거나, 대기압 산화 반응기로부터 배기 가스를 배출하기 위한 진공을 생성하기 위해 용매 증기를 저장조(예컨대, 용매 저장조)로부터 배출한다. 그런 후에는, 추진 가스로 사용된 산화 오프 가스와 배출된 흡입 가스의 혼합물을 폐가스 정제기에 전달할 수 있다. 적합한 폐가스 정제기는 당해 기술분야에 알려져 있다.

용매 증기를 예컨대 용매 저장조 또는 대기압 산화 반응기로부터 배출하기 위해, 200 mbar 내지 900 mbar(절대압력)의 진공이면 충분하다.

작용액을 건조시키기 위해, 10 내지 300 mbar(절대압력), 특히 20 내지 100 mbar(절대압력) 범위 내의 진공이면 충분하며, 이러한 진공은 제무 상태의 산화 오프 가스가 공급된 가스 이젝터가 제공할 수 있다.

예컨대, 본 발명의 방법에서 제조된 과산화수소 수용액을 농축시키기 위해 증류탑에 진공을 사용할 때, 일반적으로 20 내지 200 mbar, 특히 50 내지 150 mbar 범위의 진공이면 충분하며, 이러한 진공은 가스 이젝터가 제공한다.

본 발명의 방법에서, 바람직하게, 가스 이젝터로부터 방출된 제무 상태의 산화 오프 가스는 흡입 가스와 혼합된 상태로 폐가스 처리부로 공급된다. 바람직하게 폐가스 처리부는 추진 가스와 배출 가스의 가스 혼합물로부터 유기 물질을 제거하기 위한 흡착 단계를 포함한다. 바람직한 일 구현예에서, 흡착 단계는 상기 가스 혼합물을 유기 구성 성분들로부터 분리하기 위해, 가스 혼합물을 흡착 물질, 바람직하게는 활성탄소 또는 제올라이트의 층을 통과시키면서 공급하는 조작을 포함한다. 용매가 제거된 가스를 배출시키거나 또는 본 발명의 방법에 추가 사용하기 위해 재순환시킬 수 있다.

본 발명은 또한 본 발명에 따른 방법을 수행하기에 적합한, 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소 제조 공장에 관한 것이다. 바람직하게, 상기 공장은 산화 반응기를 포함하며, 산화 반응기 내부 또는 외부에는 제무기가 설치되어 있다. 더 바람직하게, 상기 공장은 사이클론, 및 선택적으로는 산화 반응기 하류측에 설치되는 응축기를 추가로 포함한다.

도 1은 본 발명에 따른 바람직한 방법의 개략도를 나타낸다.

도 1의 개략도에 의하면, 산화 가스(A)를 산화 반응기(1) 내에 공급한다. 산화 반응기(1)로부터 산화된 작용액(B)이 배출된다. 여전히 대기압보다 높은 과압 상태 하의 산화 오프 가스(C)가 산화 반응기(1)로부터 배출되어, 제무기(2) 내에 공급된다. 제무기(2)로부터 수득된 제무 상태의 산화 오프 가스(D)는 가스 이젝터(3)용 추진 가스로 사용된다. 가스 이젝터는 흡입 가스(F)를 배출함으로써 진공을 생성한다. 이러한 진공은 과산화수소 제조 방법에서, 특히 저장조로부터 용매 증기를 배출시키거나, 작용액을 건조하거나, 증류탑을 구동시키거나, 또는 대기압 산화 반응기로부터 배기 가스를 배출시키기 위해 사용될 수 있다.

제무 상태의 산화 오프 가스와 배출 가스(E)의 혼합물은 통상 폐가스 처리부(4) 내에 공급되며, 이때 폐가스 처리부는 바람직하게 잔류 유기 구성 성분들로부터 가스를 분리하기 위한 흡착 단계들을 포함한다.

본 발명에 따른 방법은, 최종 정제 단계에 앞서, 산화 오프 가스를 가스 이젝터 내에 공급하기 전에, 작용액의 비말동반된 액적을 제거함으로써 산화 오프 가스의 과압을 효율적으로 이용할 수 있게 한다. 이에 따라, 가스 이젝터는 보다 효율적이고 신뢰할 만한 방식으로 구동될 수 있다. 이렇게 얻은 진공을 전체 공정의 다양한 시점에서 사용하여, 과산화수소 제조 방법에서의 전체 에너지 소비를 줄일 수 있다.

이하 실시예들을 통해 본 발명을 더 설명하기로 한다.

실시예 1

과산화수소 제조를 위한 연속식 테스트 공장에서는, 산화 반응기로부터 수득된, 약 7 bar abs의 절대압력을 지닌 산화 오프 가스를 시판용 가스 이젝터의 추진 가스로 사용하였다. 가스 이젝터로부터 생성된 진공은 유기 용매를 함유한 반응기 내의 압력을 대기압보다 낮은 압력에 유지하는데 사용되었다.

이젝터에 도입시키기 전에, 상기 산화 오프 가스를 산화기 내부에 설치된 제무기에 통과시켰다. 예비 제무 처리가 이루어지지 않은 상황에서는, 가스 이젝터의 고장으로 인해, 테스트 시스템의 스위치를 반복적으로 꺼야 했다.

가스 스트림으로부터 액적을 제거한 덕분에, 테스트 공장은 가스 이젝터의 고장 없이 연속식으로 가동될 수 있다.

실시예 2

과산화수소 제조를 위한 연속식 테스트 공장에서는, 산화 반응기로부터 수득된, 약 7.7 bar abs의 절대압력을 지닌 산화 오프 가스의 일부를 시판용 가스 이젝터의 추진 가스로 사용하였다. 가스 이젝터로부터 생성된 진공은 유기 용매를 함유한 반응기 내의 압력을 대기압보다 낮은 압력에 유지하는데 사용되었다.

이젝터에 도입시키기 전에, 먼저 상기 오프 가스를 산화기 내부에 설치된 제무기에 통과시켰다. 그런 후에는 이렇게 얻은 오프 가스를 열교환기에서 냉각시키고, 응축된 액적들을 사이클론에서 분리하였다.

오프 가스의 일부를 두 시판용 이젝터에 공급하여, 추출탑과 두 용기를 진공 하에 유지함으로써, 어떤 유기 물질도 방출될 수 없게 하였다.

제무기와 사이클론의 복합 처리 덕분에, 테스트 시스템은 보수점검을 위한 개입 작업 없이 안정적이면서 일정한 진공에서 꾸준히 가동될 수 있었다.

Claims

(i) 1종 이상의 안트라퀴논 유도체를 함유한 유기 작용액(working solution)을 비균질 촉매의 존재 하에 수소화시켜 수소화 작용액을 형성하는 단계,
(ii) 산소-함유 산화 가스를 과압 하에 산화 반응기 내에 도입하고, 산화 가스를 수소화 작용액과 접촉시켜 산화 작용액을 형성함으로써 수소화 작용액을 산화시켜 과산화수소를 형성하는 단계,
(iii) 산화 반응기로부터 산화 오프 가스를 배출시키는 단계, 및
(iv) 산화 작용액으로부터 과산화수소를 회수하는 단계
를 포함하는, 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소의 연속식 제조 방법이며,
(v) 산화 반응기로부터 빠져나오는, 대기압을 초과한 과압 상태의 산화 오프 가스를 제무 처리(demisting treatment)하여, 제무 상태의 산화 오프 가스를 수득하는 단계, 및
(vi) 제무 상태의 산화 오프 가스를 추진 가스로서 가스 이젝터 내에 공급하여 진공을 생성하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소의 연속식 제조 방법.
제1항에 있어서, 산화 반응기 내에 공급되는 산화 가스의 과압은 반응기 내의 압력에 비해 200 mbar 이상인 방법.
제2항에 있어서, 산화 반응기 내에 공급되는 산화 가스의 과압은 0.5 bar 내지 5 bar 범위 내인 방법.
제1항에 있어서, 산화 반응기에서 빠져나오는 산화 오프 가스는 대기압보다 1 bar 내지 10 bar 초과의 범위 내의 과압을 갖는 것인 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 추진 가스와 가스 이젝터의 출구로부터 배출되어 수득된 가스의 혼합물로부터 유기 물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 방법.
제5항에 있어서, 유기 물질을 제거하는 단계는, 추진 가스와 가스 이젝터의 출구로부터 배출되어 수득된 가스의 혼합물을 흡착 물질층에 통과시키고, 유기 구성 성분으로부터 상기 혼합물을 분리함으로써 수행되는 것인 방법.
제6항에 있어서, 상기 흡착 물질층은 활성탄소 또는 제올라이트인 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 저장조로부터 용매 증기를 배출시키기 위해 제무 상태의 산화 오프 가스를 가스 이젝터에 공급하는 단계를 포함하는 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 작용액을 건조시키기 위한 진공을 생성하기 위해 제무 상태의 산화 오프 가스를 가스 이젝터에 공급하는 단계를 포함하는 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 증류탑을 위한 진공을 생성하기 위해 제무 상태의 산화 오프 가스를 가스 이젝터에 공급하는 단계를 포함하는 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 대기압 산화 반응기로부터 배기 가스를 배출시키기 위한 진공을 생성하기 위해 제무 상태의 산화 오프 가스를 가스 이젝터에 공급하는 단계를 포함하는 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
저장조로부터 용매 증기를 배출시키기 위한 진공을 생성하기 위해 산화 오프 가스의 제1 부분을 제1 가스 이젝터에 공급하는 단계, 및
작용액을 건조시키기 위한 진공을 생성하고/하거나, 증류탑을 위한 진공을 생성하고/하거나, 대기압 산화 반응기로부터 배기 가스를 배출시키기 위한 진공을 생성하기 위해, 제무 상태의 산화 오프 가스의 제2 부분 및/또는 제3 부분 및/또는 제4 부분을 제2 및/또는 제3 및/또는 제4 가스 이젝터에 공급하는 단계
를 포함하는 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 방법을 수행하기에 적합한, 안트라퀴논 공정에 의한 과산화수소 제조 공장.
제13항에 있어서, 산화 반응기, 및 산화 반응기 내부에 설치된 제무기(demister)를 포함하는 공장.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 제무기와 사이클론의 복합 형태를 사용하는 방법.
제15항에 있어서, 제무기가 산화 반응기 내에 설치되고, 사이클론이 반응기 하류측에 설치되는 것인 방법.