KR101927607B1 - 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치 - Google Patents

스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 하부몸체(120)와 상부몸체(110)가 각각 좌우로 길게 형성되되 서로 일단이 결합되어 회동될 수 있도록 하부몸체(120)에 회동축(123)이 결합되고, 상기 상부몸체(110)는 하부몸체(120)보다 좌우길이가 짧으며 타단에는 다이아몬드 팁(20)이 하부방향으로 돌출되고,
상기 하부몸체(120)는 하면이 평평하고, 상면에는 상부몸체(110)가 닿을 수 있도록 코일스프링의 하면이 결합되고, 상기 코일스프링의 상면에는 상부몸체(110)의 하면 길이방향 사이에 결합되어 코일스프링에 의해 상부몸체(110)와 하부몸체(120)가 일정각도를 이루게 되는 것으로,
본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치는 스탬플러 방식으로 하부몸체의 회동축에 하부몸체의 일단이 결합되고 스프링으로 일정각도로 형성되어, 사용자가 상부몸체를 누르게 되면 회동 되면서 하부몸체의 다이아몬드 팁이 하부몸체의 웨이퍼 거치부에 거치된 웨이퍼에 일정각도로 닿게 되면서 힘을 가하여 웨이퍼를 절단시키는 현저한 효과가 있다.

Description

스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치{stamper type cutting device for wafer}
본 발명은 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스탬플러 방식으로 하부몸체의 회동축에 하부몸체의 일단이 결합되고 스프링으로 일정각도로 형성되어, 사용자가 상부몸체를 누르게 되면 회동 되면서 하부몸체의 다이아몬드 팁이 하부몸체의 웨이퍼 거치부에 거치된 웨이퍼에 일정각도로 닿게 되면서 힘을 가하여 웨이퍼를 절단시키는 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼(wafer)는 반도체의 얇은 판이다.
상기 웨이퍼는 세로 또는 가로로 결이 형성되어 있으며, 손으로도 쉽게 절단할 수 있으나 손으로 절단시 모양이 이상하게 절단되어 절단도구를 통해 절단하고 있다.
이때, 상기 웨이퍼를 절단하기 위해서는 직접 자를 이용하여 절단할 위치를 선정한 후 다이아몬드 톱(커터)를 이용하여 절단하거나, 다이아몬드 팁을 통해 해당위치에 45˚각도로 충격을 가하여 충격을 통해 절단되게 만드는 것이다.
종래기술로서 등록특허공보 등록번호 제10-0195838호의 웨이퍼 결함부의 실단면 형성을 위한 웨이퍼 절단방법및장치에 의하면, 웨이퍼 결함부의 실단면을 형성하기 위한 웨이퍼 절단방법에 있어서, 이온집속장치의 2차 전자상과 스테이지 컨트롤러를 이용하여 필요한 배율에서 결함부의 위치를 선정하는 단계와, 상기 웨이퍼 결함부의 주변에 상기 이온집속장치의 소정 주사방법을 이용하여 제1차 절단조건하에서 균열생성의 시발점이 될 거친 크랙을 형성하는 단계와, 상기 거친크랙의 인접부에 상기 이온집속장치의 소정 주사방법을 사용하여 제2차 절단조건하에서 균열전파의 시발점이 될 미세크랙을 형성하는 단계와, 상기 결함부와 트랙이 포함된 일정크기의 시편을 웨이퍼로부터 잘라내는 단계와, 상기 크랙이 형성된 부위에 외부하중을 가하여 결함부를 지나는 실단면을 형성하는 단계와 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 절단방법이라고 기재되어 있다.
다른 종래기술로서 등록실용신안공보 등록번호 제20-0127356호의 웨이퍼 절단용 톱날에 있어서, 톱날상에 관통된 복수개의 구멍을 형성하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 절단용 톱날이라고 기재되어 있다.
그러나 상기와 같은 종래의 구성은 실험실에서 사용시 웨이퍼에 힘을 가할 시 정확한 위치에 일정각도로 타격하지 못하는 단점이 있었다.
따라서 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치를 통하여, 스탬플러 방식으로 하부몸체의 회동축에 하부몸체의 일단이 결합되고 스프링으로 일정각도로 형성되어, 사용자가 상부몸체를 누르게 되면 회동되면서 하부몸체의 다이아몬드 팁이 하부몸체의 웨이퍼 거치부에 거치된 웨이퍼에 일정각도로 닿게되면서 힘을 가하여 웨이퍼를 절단시키는 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은 하부몸체(120)와 상부몸체(110)가 각각 좌우로 길게 형성되되 서로 일단이 결합되어 회동될 수 있도록 하부몸체(120)에 회동축(123)이 결합되고, 상기 상부몸체(110)는 하부몸체(120)보다 좌우길이가 짧으며 타단에는 다이아몬드 팁(20)이 하부방향으로 돌출되고,
상기 하부몸체(120)는 하면이 평평하고, 상면에는 상부몸체(110)가 닿을 수 있도록 코일스프링의 하면이 결합되고, 상기 코일스프링의 상면에는 상부몸체(110)의 하면 길이방향 사이에 결합되어 코일스프링에 의해 상부몸체(110)와 하부몸체(120)가 일정각도를 이루게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치는 스탬플러 방식으로 하부몸체의 회동축에 하부몸체의 일단이 결합되고 스프링으로 일정각도로 형성되어, 사용자가 상부몸체를 누르게 되면 회동되면서 하부몸체의 다이아몬드 팁이 하부몸체의 웨이퍼 거치부에 거치된 웨이퍼에 일정각도로 닿게 되면서 힘을 가하여 웨이퍼를 절단시키는 현저한 효과가 있다.
도 1은 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치의 구성을 나타내는 정면도
도 2는 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치의 회동축을 나타내는 우측면도
도 3은 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치의 웨이퍼 거치부를 나타내는 좌측면도
본 발명은 하부몸체(120)와 상부몸체(110)가 각각 좌우로 길게 형성되되 서로 일단이 결합되어 회동될 수 있도록 하부몸체(120)에 회동축(123)이 결합되고, 상기 상부몸체(110)는 하부몸체(120)보다 좌우길이가 짧으며 타단에는 다이아몬드 팁(20)이 하부방향으로 돌출되고,
상기 하부몸체(120)는 하면이 평평하고, 상면에는 상부몸체(110)가 닿을 수 있도록 코일스프링의 하면이 결합되고, 상기 코일스프링의 상면에는 상부몸체(110)의 하면 길이방향 사이에 결합되어 코일스프링에 의해 상부몸체(110)와 하부몸체(120)가 일정각도를 이루게 되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부몸체(120)의 상면에는 웨이퍼(10)를 거치할 수 있도록 웨이퍼 거치부(121)가 부착되고, 상기 회동축(123)을 기준으로 상부몸체(110)가 회동되되, 상부몸체(110)에 사용자가 힘을 가하여 상부몸체(110)가 하부방향으로 회동될 시 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 하부몸체(120)의 상면에 고정된 웨이퍼(10)에 힘을 가할 수 있고, 상기 상부몸체(110)가 회동축(123)을 기준으로 하부방향으로 회동된 상태에서 사용자가 상부몸체(110)에 가하는 힘을 없애면 코일스프링이 원래대로 돌아가려는 성질에 의해 상부몸체(110)가 상부방향으로 일정각도까지 회동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부몸체(120)는 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 닿을 수 있게 상부몸체(110)의 길이보다 짧은 위치부터 하부몸체(120)의 좌측 가장자리까지 상부로 층(120-1)이 돌출되어 형성되고, 돌출된 상기 층(120-1)은 좌측이 낮고 우측이 높도록 경사면이 형성되고, 상기 경사면에는 웨이퍼 거치부(121)가 부착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부몸체(120)는 회동축(123)을 기준으로 좌측으로 이격된 상면에 세로방향의 코일스프링의 하측이 결합되고, 상기 상부몸체(110)에도 회동축(123)을 기준으로 좌측으로 이격된 하면에 코일스프링의 상측이 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 웨이퍼 거치부(121)는 웨이퍼(10)를 거치될 수 있도록 하부몸체(120)의 층(120-1)의 상면에 동일 높이의 전후로 가로형 막대(121-1)가 부착되고, 상기 가로형 막대(121-1)의 우측면, 즉 하부몸체(120)의 높이가 형성된 층(120-1)의 높이가 높아지는 방향의 면의 중앙에는 웨이퍼(10)가 거치되어 이동되지 않도록 밀림방지용 고무(121-2)가 부착되고, 상기 가로형 막대(121-1)의 길이방향 양단에는 가로형 막대(121-1)의 길이방향으로 이동될 수 있는 2개의 세로형 막대(121-3)가 결합되고, 상기 2개의 세로형 막대(121-3)의 사이에 웨이퍼(10)를 놓은 후, 2개의 세로형 막대(121-3)를 웨이퍼(10)에 밀착시키면 웨이퍼(10)가 고정되어 움직이지 않게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명을 첨부 도면에 의해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치의 구성을 나타내는 정면도, 도 2는 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치의 회동축을 나타내는 우측면도, 도 3은 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치의 웨이퍼 거치부를 나타내는 좌측면도이다.
본 발명에 대해 구체적으로 기술하면, 본 발명은 하부몸체(120)와 상부몸체(110)가 각각 좌우로 길게 형성되되 서로 일단이 결합되어 회동될 수 있도록 하부몸체(120)에 회동축(123)이 결합되고, 상기 상부몸체(110)는 하부몸체(120)보다 좌우길이가 짧으며 타단에는 다이아몬드 팁(20)이 하부방향으로 돌출되고,
상기 하부몸체(120)는 하면이 평평하고, 상면에는 상부몸체(110)가 닿을 수 있도록 코일스프링의 하면이 결합되고, 상기 코일스프링의 상면에는 상부몸체(110)의 하면 길이방향 사이에 결합되어 코일스프링에 의해 상부몸체(110)와 하부몸체(120)가 일정각도를 이루게 되고,
상기 하부몸체(120)의 상면에는 웨이퍼(10)를 거치할 수 있도록 웨이퍼 거치부(121)가 부착되고,
상기 회동축(123)을 기준으로 상부몸체(110)가 회동되되, 상부몸체(110)에 사용자가 힘을 가하여 상부몸체(110)가 하부방향으로 회동될 시 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 하부몸체(120)의 상면에 고정된 웨이퍼(10)에 힘을 가할 수 있고, 상기 상부몸체(110)가 회동축(123)을 기준으로 하부방향으로 회동된 상태에서 사용자가 상부몸체(110)에 가하는 힘을 없애면 코일스프링이 원래대로 돌아가려는 성질에 의해 상부몸체(110)가 상부방향으로 일정각도까지 회동되는 것이다.
상기 회동축(123)은 원형의 막대의 끝단에 볼트로 사용되는 외주연을 따라 나사면이 형성되고 너트(123-1)가 결합된 것으로, 상기 너트(123-1)를 분리할 경우 상부몸체와 하부몸체를 서로 분리할 수 있게 된다.
그러므로 상기 하부몸체(120)를 통체로 교체할 수 있다.
그리고 다이아몬드 팁(20)이 결합된 하부몸체(120)를 통체로 교체할 수 있어 비싼 다이아몬드 팁(20)만 교체하면, 충격을 가하는 위치가 어긋날 수 있기 때문에 하무몸체(120)를 전체적으로 교체하는 것이다.
상기 하부몸체(120)는 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 닿을 수 있게 상부몸체(110)의 길이보다 짧은 위치부터 하부몸체(120)의 좌측 가장자리까지 상부로 층(120-1)이 돌출되어 형성된다.
그리고 돌출된 상기 층(120-1)은 좌측이 낮고 우측이 높도록 경사면이 형성되며, 특히, 상기 경사면은 45˚로 형성되는 것이 적절하다.
그리고 상기 경사면에는 웨이퍼 거치부(121)가 부착된다.
상기 웨이퍼 거치부(121)는 웨이퍼(10)를 거치할 수 있되, 거치된 웨이퍼(10)는 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)에 닿을 수 있는 위치에 거치되는 것이다.
상기 웨이퍼 거치부(121)는 웨이퍼(10)를 거치될 수 있도록 하부몸체(120)의 층(120-1)의 상면에 동일 높이의 전후로 가로형 막대(121-1)가 부착된다.
그리고 상기 가로형 막대(121-1)의 우측면, 즉 하부몸체(120)의 높이가 형성된 층(120-1)의 높이가 높아지는 방향의 면의 중앙에는 웨이퍼(10)가 거치되어 이동되지 않도록 밀림방지용 고무(121-2)가 부착되는 것이다.
상기 가로형 막대(121-1)의 길이방향 양단에는 가로형 막대(121-1)의 길이방향으로 이동될 수 있는 2개의 세로형 막대(121-3)가 결합되고, 상기 2개의 세로형 막대(121-3)의 사이에 웨이퍼(10)를 놓은 후, 2개의 세로형 막대(121-3)를 웨이퍼(10)에 밀착시키면 웨이퍼(10)가 고정되어 움직이지 않게 된다.
그리고 가로형 막대(121-1)와 세로형 막대(121-3)에는 각각 눈금선이 형성되어 웨이퍼(10)의 길이를 눈으로 확인할 수 있도록 하는 것이다.
그리고 상기 웨이퍼 거치부(121)는 하부몸체(120)의 층(120-1) 상면의 경사를 따라 이동할 수 있으며, 상기 웨이퍼 거치부(121)를 이동시킴으로써 다이아몬드 팁(20)에 닿는 웨이퍼(10)의 위치를 조절할 수 있는 것이다.
더욱 상세하게 설명하면, 상기 하부몸체(120)의 층(120-1)의 상면에는 경사를 따라 경사 홈(120-2)이 형성되되 입구가 좁고 내부가 넓게 된다.
그리고 상기 경사 홈(120-2)을 따라 이동될 수 있도록 상기 웨이퍼 거치부(121)의 가로형 막대(121-1)의 후면에는 후방으로 이동용 막대(121-4)가 돌출되어 형성된다.
이때, 상기 이동용 막대(121-4)는 경사 홈(120-2)에 삽입되고 끝단이 양방향으로 돌출되어 상기 이동용 막대(121-4)가 경사 홈(120-2)에서 빠지지 않도록 결합된다.
상기 경사 홈(120-2)에 결합된 이동용 막대(121-4)가 돌출되어 형성된 웨이퍼 거치부(121)는 경사 홈(120-2)을 따라 이동할 수 있게 된다.
그리고 상기 경사 홈(120-2)을 따라 이동할 시에 평상시에는 경사면 중 낮은 위치를 가지는 방향으로 무게에 의해 이동되지 않도록 결합 된다.
상기 결합 방법은 경사 홈(120-2) 내부에 길이방향으로 연속되는 톱니가 형성되고, 상기 이동용 막대(121-4)에는 관통 홀이 형성되고 상기 관통 홀을 통과하도록 삽입막대가 삽입된다.
그리고 상기 삽입막대는 이동용 막대(121-4)에 삽입되되 일단이 경사 홈(120-2) 내부에 형성된 톱니부의 톱니와 톱니 사이에 삽입되어 웨이퍼 거치부(121)가 이동되지 못하도록 하는 것이다.
이때, 톱니와 톱니 사이에 삽입된 삽입막대를 외부방향으로 빼게 되면 웨이퍼 거치부(121)가 경사 홈(120-2)을 따라 이동될 수 있다.
상기 하부몸체(120)의 상면 우측 가장자리에는 전후로 이격되되 서로 평행한 두 개의 돌출판(122)이 형성되고, 두 개의 돌출판(122) 사이를 연결하도록 원통 막대형상의 회동축(123)이 형성된다.
그리고 상기 회동축(123)에 결합되도록 상부몸체(110)의 우측 가장자리에는 전후면을 관통하는 관통홀(111)이 형성되고, 상기 관통홀(111)에 회동축(123)이 삽입되어 서로 결합된다.
그러므로 상기 상부몸체(110)는 하부몸체(120)의 회동축(123)을 기준으로 하여 시계방향 또는 반시계방향으로 회동될 수 있다.
그리고 서로 결합된 상기 하부몸체(120)와 상부몸체(110)에는 회동축(123)을 기준으로 좌측으로 일정간격 이격된 위치에 코일스프링이 결합된다.
더욱 상세하게 설명하면, 상기 하부몸체(120)는 회동축(123)을 기준으로 좌측으로 이격된 상면에 세로방향의 코일스프링의 하측이 결합되고, 상기 상부몸체(110)에도 회동축(123)을 기준으로 좌측으로 이격된 하면에 코일스프링의 상측이 결합된다.
상기 하부몸체(120)의 상면과 상부몸체(110)의 하면에 코일스프링이 결합되는 실시예로서, 상기 하부몸체(120)의 상면에는 코일스프링의 하측 끝단이 삽입되어 결합될 수 있도록 고리가 형성되고, 상기 하부몸체(120)의 고리에 코일스프링의 하측 끝단을 삽입한 후, 코일스프링의 하측 끝단에는 하부몸체(120)의 고리에서 빠지지 않도록 고리를 형성한다.
그리고 상부몸체(110)의 하면에도 코일스프링의 상측 끝단이 삽입되어 결합될 수 있도록 고리가 형성되고, 상기 상부몸체(110)의 고리에 코일스프링의 상측 끝단을 삽입한 후, 코일스프링의 상측 끝단에도 상부몸체(110)의 고리에 빠지지 않도록 고리를 형성한다.
그러므로 코일스프링은 하부몸체(120)의 상면의 고리와, 상부몸체(110)의 하면의 고리에 각각 상측과 하측이 결합되는 것이다.
상기 코일스프링에 의해 상부몸체(110)와 하부몸체(120)는 일정각도를 유지시키며, 상기 코일스프링은 사용자가 힘을 가하면 줄어들거나 늘어날 수 있으며, 힘이 가해지지 않을 시 원래 길이로 돌아오게 되는 성질을 가지고 있다.
상기 상부몸체(110)를 사용자가 누르게 되면, 상부몸체(110)가 시계반대방향으로 회동되고, 동시에 상부몸체(110) 하부의 코일스프링은 줄어들게 된다.
이때, 상기 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 하부몸체(120)에 거치된 웨이퍼(10)에 일정각도로 힘을 가하게 되고, 상기 웨이퍼(10)는 힘이 가해진 방향을 따라 절단되는 것이다. 그리고 상기 웨이퍼에 힘을 가하는 일정각도는 30~60˚이며, 적당하게는 45˚가 되도록 하는 것이 적당하다.
그리고 상기 상부몸체(110)에서 사용자가 손을 떼면, 상부몸체(110)에 힘이 가해지지 않게 되어 코일스프링은 원래대로 돌아가려는 성질에 의해 일정길이로 늘어나게 되므로 상부몸체(110)를 밀어낸다.
그러므로 상기 상부몸체(110)와 하부몸체(120)는 일정각도가 유지되는 것이다.
따라서 본 발명 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치는 스탬플러 방식으로 하부몸체의 회동축에 하부몸체의 일단이 결합되고 스프링으로 일정각도로 형성되어, 사용자가 상부몸체를 누르게 되면 회동되면서 하부몸체의 다이아몬드 팁이 하부몸체의 웨이퍼 거치부에 거치된 웨이퍼에 일정각도로 닿게 되면서 힘을 가하여 웨이퍼를 절단시키는 현저한 효과가 있다.
10 : 웨이퍼
20 : 다이아몬드 팁
110 : 상부몸체
111 : 관통홀
120 : 하부몸체
120-1 : 층
120-2 : 경사 홈
121 : 웨이퍼 거치부
121-1 : 가로형 막대
121-2 : 밀림방지용 고무
121-3 : 세로형 막대
121-4 : 이동용 막대
122 : 돌출판
123 : 회동축
123-1 : 너트
300 : 코일스프링

Claims (3)

  1. 하부몸체(120)와 상부몸체(110)가 각각 좌우로 길게 형성되되 서로 일단이 결합되어 회동될 수 있도록 하부몸체(120)에 회동축(123)이 결합되고, 상기 상부몸체(110)는 하부몸체(120)보다 좌우길이가 짧으며 타단에는 다이아몬드 팁(20)이 하부방향으로 돌출되고,
    상기 하부몸체(120)는 하면이 평평하고, 상면에는 상부몸체(110)가 닿을 수 있도록 코일스프링(300)의 하면이 결합되고, 상기 코일스프링(300)의 상면에는 상부몸체(110)의 하면 길이방향 사이에 결합되어 코일스프링(300)에 의해 상부몸체(110)와 하부몸체(120)가 일정각도를 이루게 되는 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치에 있어서,
    상기 하부몸체(120)의 상면에는 웨이퍼(10)를 거치할 수 있도록 웨이퍼 거치부(121)가 부착되고, 상기 회동축(123)을 기준으로 상부몸체(110)가 회동되되, 상부몸체(110)에 사용자가 힘을 가하여 상부몸체(110)가 하부방향으로 회동될 시 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 하부몸체(120)의 상면에 고정된 웨이퍼(10)에 힘을 가할 수 있고, 상기 상부몸체(110)가 회동축(123)을 기준으로 하부방향으로 회동된 상태에서 사용자가 상부몸체(110)에 가하는 힘을 없애면 코일스프링(300)이 원래대로 돌아가려는 성질에 의해 상부몸체(110)가 상부방향으로 일정각도까지 회동되는 것이며,
    상기 하부몸체(120)는 상부몸체(110)의 다이아몬드 팁(20)이 닿을 수 있게 상부몸체(110)의 길이보다 짧은 위치부터 하부몸체(120)의 좌측 가장자리까지 상부로 층(120-1)이 돌출되어 형성되고, 돌출된 상기 층(120-1)은 좌측이 낮고 우측이 높도록 경사면이 형성되고, 상기 경사면에는 웨이퍼 거치부(121)가 부착되는 것이며,
    상기 웨이퍼 거치부(121)는 웨이퍼(10)를 거치될 수 있도록 하부몸체(120)의 층(120-1)의 상면에 동일 높이의 전후로 가로형 막대(121-1)가 부착되고, 상기 가로형 막대(121-1)의 우측면인 하부몸체(120)의 높이가 형성된 층(120-1)의 높이가 높아지는 방향의 면의 중앙에는 웨이퍼(10)가 거치되어 이동되지 않도록 밀림방지용 고무(121-2)가 부착되는 것이며,
    상기 가로형 막대(121-1)의 길이방향 양단에는 가로형 막대(121-1)의 길이방향으로 이동될 수 있는 2개의 세로형 막대(121-3)가 결합되고, 상기 2개의 세로형 막대(121-3)의 사이에 웨이퍼(10)를 놓은 후, 2개의 세로형 막대(121-3)를 웨이퍼(10)에 밀착시키면 웨이퍼(10)가 고정되어 움직이지 않게 되고, 가로형 막대(121-1)와 세로형 막대(121-3)에는 각각 눈금선이 형성되어 웨이퍼(10)의 길이가 확인되는 것이며,
    상기 웨이퍼 거치부(121)는 하부몸체(120)의 층(120-1) 상면의 경사를 따라 이동할 수 있으며, 상기 웨이퍼 거치부(121)를 이동시킴으로써 다이아몬드 팁(20)에 닿는 웨이퍼(10)의 위치를 조절하는 것이며,
    상기 하부몸체(120)의 층(120-1)의 상면에는 경사를 따라 경사 홈(120-2)이 형성되되 입구가 좁고 내부가 넓게 되고, 상기 경사 홈(120-2)을 따라 이동될 수 있도록 상기 웨이퍼 거치부(121)의 가로형 막대(121-1)의 후면에는 후방으로 이동용 막대(121-4)가 돌출되어 형성되되, 상기 이동용 막대(121-4)는 경사 홈(120-2)에 삽입되고 끝단이 양방향으로 돌출되어 상기 이동용 막대(121-4)가 경사 홈(120-2)에서 빠지지 않도록 결합되는 것이며,
    상기 경사 홈(120-2)에 결합된 이동용 막대(121-4)가 돌출되어 형성된 웨이퍼 거치부(121)는 경사 홈(120-2)을 따라 이동할 수 있게 되고, 상기 경사 홈(120-2)을 따라 이동할 시에 평상시에는 경사면 중 낮은 위치를 가지는 방향으로 무게에 의해 이동되지 않도록 결합되는 것이며,
    상기 경사 홈(120-2) 내부에 길이방향으로 연속되는 톱니가 형성되고, 상기 이동용 막대(121-4)에는 관통 홀이 형성되고 상기 관통 홀을 통과하도록 삽입막대가 삽입되고, 상기 삽입막대는 이동용 막대(121-4)에 삽입되되 일단이 경사 홈(120-2) 내부에 형성된 톱니부의 톱니와 톱니 사이에 삽입되어 웨이퍼 거치부(121)가 이동되지 못하도록 하는 것이되, 상기 톱니와 톱니 사이에 삽입된 삽입막대를 외부방향으로 빼게 되면 웨이퍼 거치부(121)가 경사 홈(120-2)을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 스탬플러 방식 웨이퍼 절단장치
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