JP6244431B2 - スクライブ装置 - Google Patents
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12 オリフラ
20,21,22,24 スクライビングホイール
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- オフ角が形成されたSiC基板をスクライブするためのスクライブ装置であって、刃先の稜線に対する左右の刃先角度を異ならせたスクライビングホイールを取付けられたスクライブヘッドを備えたスクライブ装置。
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