KR101927191B1 - 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법 - Google Patents

집적회로 소자의 제조 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

적어도 두 개의 약액 저장부 및 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 각각으로부터 약액을 제공받는 적어도 두 개의 공정 챔버를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치에 있어서, 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하도록 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 제1 공급 라인; 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 두 번째 약액 저장부로 상기 약액이 공급되도록 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부 사이를 연결하는 제2 공급 라인; 및 상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액을 계속적으로 드레인하도록 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 드레인 라인을 구비하고, 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 상기 드레인을 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 상기 약액을 계속적으로 드레인시키고, 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 되면 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.

Description

집적회로 소자의 제조 장치 및 방법{Apparatus and Method for manufacturing integrated circuit device}
본 발명은 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 적어도 두 개의 약액 저장부 및 적어도 두 개의 공정 챔버 각각을 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 집적회로 소자의 제조에서는 약액을 사용한 단위 공정을 반복적으로 수행한다. 언급한 약액을 사용한 단위 공정의 예로서는 스트립 공정, 식각 공정, 세정 공정 등을 들 수 있다. 그리고 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 약액을 사용한 단위 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 즉, 적어도 두 개의 동일한 공정 챔버를 사용하여 연속적으로 단위 공정을 수행하는 것이다.
언급한 연속적인 단위 공정에서는 주로 적어도 두 개의 공정 챔버 및 적어도 두 개의 공정 챔버 각각에 약액을 공급하는 적어도 두 개의 약액 저장부를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치를 사용한다. 그리고 언급한 적어도 두 개의 약액 저장부를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치를 사용한 단위 공정에서는 약액 수명에 따라 약액을 교체하는 상황이 발생한다. 특히, 약액 중 스트립 공정에 사용되는 약액의 경우에는 언급한 교체 상황이 보다 빈번하게 발생한다. 이때, 언급한 약액의 교체는 집적회로 소자의 제조 장치의 가동을 중단시킨 상태에서 이루어진다. 그리고 약액을 공급을 위해서는 별도의 약액 공급 탱크를 구비할 필요도 있다.
이에, 종래의 집적회로 소자의 제조 장치는 언급한 약액의 교체를 위한 제조 장치 자체의 가동 중단으로 인하여 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성이 저하되는 상황을 초래할 수 있고, 그리고 별도의 약액 공급 탱크를 구비해야 하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 별도의 약액 공급 탱크를 생략할 수 있을 뿐만 아니라 약액 교체를 위한 제조 장치의 가동 중단 없이 계속적으로 새로운 약액을 공급할 수 있는 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 장치는 적어도 두 개의 약액 저장부 및 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 각각으로부터 약액을 제공받는 적어도 두 개의 공정 챔버를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치에 있어서, 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하도록 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 제1 공급 라인; 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 두 번째 약액 저장부로 상기 약액이 공급되도록 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부 사이를 연결하는 제2 공급 라인; 및 상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액을 계속적으로 드레인하도록 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 드레인 라인을 구비하고, 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 상기 드레인을 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 상기 약액을 계속적으로 드레인시키고, 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 되면 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 장치에서, 상기 제1 공급 라인에 구비되고, 상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액이 설정 온도를 갖도록 조정할 수 있는 온도 조정부를 더 구비할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 장치에서, 상기 드레인 라인은 상기 첫 번째 약액 저장부의 약액을 상기 제1 공급 라인으로 드레인시키도록 상기 제1 공급 라인과 연결되는 구조를 갖게 구비될 수 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 방법은 적어도 두 개의 약액 저장부 및 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 각각으로부터 약액을 제공받는 적어도 두 개의 공정 챔버를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치에 있어서, 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계; 상기 첫 번째 약액 저장부와 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 두 번째 약액 저장부와 연결되는 제2 공급 라인을 통하여 상기 두 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계; 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부로 상기 약액의 공급시 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 상기 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 드레인 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 상기 약액을 계속적으로 드레인시키는 단계; 및 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부로 상기 약액의 공급시 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 상기 약액이 일정 수위 이하가 되면 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 방법에서, 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액을 설정 온도를 갖도록 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법은 적어도 두 개의 약액 저장부를 구비할 때 첫 번째 약액 저장부 및 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 드레인을 라인을 통하여 첫 번째 약액 저장부로부터 약액을 계속적으로 드레인시키고, 첫 번째 약액 저장부 및 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 되면 제1 공급 라인을 통하여 첫 번째 약액 저장부로 약액을 공급하도록 구비된다. 이에, 본 발명에서의 집적회로 소자의 제조 장치는 별도의 약액 공급 탱크가 없어도 첫 번째 약액 저장부 및 두 번째 약액 저장부에 계속적으로 새로운 약액을 공급할 수 있다.
따라서 본 발명에 따른 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법은 별도의 약액 공급 탱크를 생략할 수 있을 뿐만 아니라 약액 교체를 위한 제조 장치의 가동 중단 없이 계속적으로 새로운 약액을 공급할 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 도모할 수 있을 뿐만 아니라 제조 공간의 효율성의 향상도 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자의 제조 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에서의 집적회로 소자의 제조 장치(100)는 3개의 공정 챔버(111, 113, 115) 및 3개의 약액 저장부(117, 119, 121)를 구비한다. 언급한 집적회로 소자의 제조 장치(100)의 경우 3개의 공정 챔버(111, 113, 115) 및 3개의 약액 저장부(117, 119, 121)를 구비하는 것에 대하여 한정하여 설명하고 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 즉, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)는 n(n은 2 이상의 자연수)개의 공정 챔버 및 n개의 약액 저장부를 구비할 수 있다. 아울러, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)는 3개의 공정 챔버(111, 113, 115)를 구비하는 것으로써, 스트립 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 그리고 3개의 공정 챔버(111, 113, 115) 각각에는 스트립 공정을 수행하기 위한 약액을 기판(101) 상에 분사하는 노즐(131a, 131b, 131c)을 구비할 수 있다. 이때, 노즐(131a, 131b, 131c)은 언급한 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 각각과 연결되고, 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 각각으로부터 약액을 제공받아 기판(101)으로 분사할 수 있다. 즉, 3개의 공정 챔버(111, 113, 115) 각각 및 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 각각과 연결되는 것으로써, 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 각각이 3개의 공정 챔버(111, 113, 115) 각각에 구비되는 노즐(131a, 131b, 131c)과 연결되는 것이다. 이에, 언급한 3개의 공정 챔버(111, 113, 115) 각각 및 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 각각은 제공 라인(133a, 133b, 133c) 각각을 사용하여 연결하도록 구비할 수 있다. 즉, 제1 공정 챔버(111) 및 제1 약액 저장부(117)는 제1 제공 라인(133a)과 연결되도록 구비되고, 제2 공정 챔버(113) 및 제2 약액 저장부(119)는 제2 제공 라인(133b)과 연결되도록 구비되고, 제3 공정 챔버(115) 및 제3 약액 저장부(121)는 제3 제공 라인(133c)과 연결되도록 구비된다. 또한, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)는 제3 공정 챔버(115)로부터 제1 공정 챔버(111)로 기판(101)을 이송함에 의해 연속 공정이 이루어지는 것으로 이해할 수 있다.
그리고 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)의 경우 3개의 약액 저장부(117, 119, 121)로의 약액의 공급은 외부에 구비되는 약액 공급 부재(도시되지 않음)로부터 달성될 수 있다. 이에, 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 중 제1 약액 저장부로(117)의 약액 공급은 언급한 약액 공급 부재 및 제1 약액 저장부(117)와 연결되는 제1 공급 라인(161)에 의해 달성될 수 있다. 아울러, 제2 약액 저장부(119)로의 약액 공급은 제1 약액 저장부(117) 및 제2 약액 저장부(119) 사이를 연결하는 제2 공급 라인(151)에 의해 달성될 수 있고, 제3 약액 저장부(121)로의 약액 공급은 제2 약액 저장부(119) 및 제3 약액 저장부(121) 사이를 연결하는 제3 공급 라인(153)에 의해 달성될 수 있다. 즉, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)에서 3개의 약액 저장부(117, 119, 121) 각각으로의 약액 공급은 언급한 제1 공급 라인(161)을 통하여 제1 약액 저장부(117)로 약액이 공급되고, 제2 공급 라인(151)을 통하여 제1 약액 저장부(117)로부터 제2 약액 저정부(119)로 약액이 공급되고, 제3 공급 라인(153)을 통하여 제2 약액 저장부(119)로부터 제3 약액 저장부(121)로 약액이 공급되는 것이다.
여기서, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)에서 제1 약액 저장부(117)에는 제1 약액 저장부(117)로 공급되는 약액을 계속적으로 드레인시키는 드레인 라인(167)을 구비한다. 이때, 드레인 라인(167)은 제1 약액 저장부(117)의 약액을 제1 공급 라인(161)으로 드레인시키도록 제1 공급 라인(161)과 연결되는 구조를 가질 수 있다.
또한, 제1 공급 라인(161) 및 드레인 라인(167) 각각에는 밸브(161a, 167a) 각각이 구비될 수 있고, 특히 드레인 라인(167)에 구비되는 밸브(167a)는 오토-밸브를 포함할 수 있다. 아울러, 제1 공급 라인(161)에는 제1 약액 저장부(117)로 공급되는 약액이 설정 온도를 갖도록 조정할 수 있는 온도 조정부(181)가 구비될 수 있다.
이에, 언급한 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)를 사용한 연속 공정을 수행할 때 제1 약액 공급부(117), 제2 약액 공급부(119) 및 제3 약액 공급부(121)로 약액이 공급되고, 그리고 제1 약액 공급부(117), 제2 약액 공급부(119) 및 제3 약액 공급부(121)에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 드레인 라인(167)을 통하여 제1 약액 저장부(117)의 약액을 계속적으로 드레인시킨다. 이에, 언급한 바와 같이 드레인 라인(167)을 통하여 제1 약액 저장부(117)의 약액을 계속적으로 드레인시킴에 따라 제1 약액 공급부(117), 제2 약액 공급부(119) 및 제3 약액 공급부(121)의 약액이 일정 수위 이하가 되면 다시 제1 공급 라인(161)을 통하여 제1 약액 저장부(117)로 약액을 공급한다. 즉, 본 발명에서의 집적회로 소자의 제조 장치(100)를 사용한 연속 공정에서는 약액의 공급, 드레인 및 공급을 계속적으로 반복하는 것이다.
이에, 언급한 바와 같이 약액의 공급, 드레인 및 공급의 계속적인 반복이 이루어짐에 따라 계속적으로 제1 약액 공급부(117), 제2 약액 공급부(119) 및 제3 약액 공급부(121)로 새로운 약액의 공급이 가능하다. 따라서 본 발명에서는 계속적으로 새로운 약액의 공급이 가능하기 때문에 약액 수명에 따라 약액을 교체할 필요가 없다. 즉, 언급한 바와 같이 약액의 공급, 드레인 및 공급의 계속적인 반복을 통하여 계속적으로 새로운 약액의 공급이 가능하기 때문에 약액을 교체할 필요가 없는 것이다. 그러므로 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치(100)를 사용할 경우에는 약액의 교체를 위하여 제조 장치 자체의 가동을 중단시킬 필요가 없는 것이다. 또한, 약액의 교체를 위한 별도의 약액 공급 탱크도 필요가 없는 것이다.
아울러, 제1 공급 라인(161)을 통하여 제1 약액 공급부(117)로 약액을 공급할 때 온도 조정부(181)를 사용하여 약액이 설정 온도를 갖도록 함으로써 보다 효율적으로 공정을 수행할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법은 약액의 공급, 드레인 및 공급의 계속적인 반복을 통하여 계속적으로 새로운 약액을 공급함으로써 약액을 교체할 필요가 없기 때문에 약액의 교체를 위하여 제조 장치 자체의 가동을 중단시킬 필요가 없고, 그리고 약액의 교체를 위한 별도의 약액 공급 탱크도 필요가 없다.
이에, 본 발명의 집적회로 소자의 제조 장치 및 방법은 별도의 약액 공급 탱크를 생략할 수 있을 뿐만 아니라 약액 교체를 위한 제조 장치의 가동 중단 없이 계속적으로 새로운 약액을 공급할 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 도모할 수 있을 뿐만 아니라 제조 공간의 효율성의 향상도 도모할 수 있고, 그 결과 비용 감소 및 제조 장치 제작에 따른 가격 절감까지도 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 집적회로 소자 제조 장치
101 : 기판 111 : 제1 공정 챔버
113 : 제2 공정 챔버 115 : 제3 공정 챔버
117 ; 제1 약액 저장부 119 : 제2 약액 저장부
121 : 제3 약액 저장부 151 : 제2 공급 라인
153 : 제3 공급 라인 161 : 제1 공급 라인
167 : 드레인 라인 181 : 온도 조정부

Claims (5)

  1. 적어도 두 개의 약액 저장부 및 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 각각으로부터 약액을 제공받는 적어도 두 개의 공정 챔버를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하도록 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 제1 공급 라인;
    상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 두 번째 약액 저장부로 상기 약액이 공급되도록 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부 사이를 연결하는 제2 공급 라인; 및
    상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액을 계속적으로 드레인하도록 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 드레인 라인을 구비하고,
    상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 상기 드레인을 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 상기 약액을 계속적으로 드레인시키고, 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 약액이 일정 수위 이하가 되면 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 공급 라인에 구비되고, 상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액이 설정 온도를 갖도록 조정할 수 있는 온도 조정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자의 제조 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 드레인 라인은 상기 첫 번째 약액 저장부의 약액을 상기 제1 공급 라인으로 드레인시키도록 상기 제1 공급 라인과 연결되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자의 제조 장치.
  4. 적어도 두 개의 약액 저장부 및 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 각각으로부터 약액을 제공받는 적어도 두 개의 공정 챔버를 구비하는 집적회로 소자의 제조 장치에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계;
    상기 첫 번째 약액 저장부와 상기 적어도 두 개의 약액 저장부 중 두 번째 약액 저장부와 연결되는 제2 공급 라인을 통하여 상기 두 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계;
    상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부로 상기 약액의 공급시 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 상기 약액이 일정 수위 이하가 될 때까지 상기 첫 번째 약액 저장부와 연결되는 드레인 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로부터 상기 약액을 계속적으로 드레인시키는 단계; 및
    상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부로 상기 약액의 공급시 상기 첫 번째 약액 저장부 및 상기 두 번째 약액 저장부에 공급되는 상기 약액이 일정 수위 이하가 되면 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자의 제조 방법.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 제1 공급 라인을 통하여 상기 첫 번째 약액 저장부로 공급되는 약액을 설정 온도를 갖도록 조정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자의 제조 방법.
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