KR101926904B1 - 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치 - Google Patents

이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101926904B1
KR101926904B1 KR1020147022107A KR20147022107A KR101926904B1 KR 101926904 B1 KR101926904 B1 KR 101926904B1 KR 1020147022107 A KR1020147022107 A KR 1020147022107A KR 20147022107 A KR20147022107 A KR 20147022107A KR 101926904 B1 KR101926904 B1 KR 101926904B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
exchange resin
ion exchange
mixing tank
mixing
water
Prior art date
Application number
KR1020147022107A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140138623A (ko
Inventor
사토시 아베
신 사토
Original Assignee
쿠리타 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쿠리타 고교 가부시키가이샤 filed Critical 쿠리타 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20140138623A publication Critical patent/KR20140138623A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101926904B1 publication Critical patent/KR101926904B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J47/00—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor
    • B01J47/02—Column or bed processes
    • B01J47/04—Mixed-bed processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/50—Mixing liquids with solids
    • B01F23/59—Mixing systems, i.e. flow charts or diagrams
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B01F25/50—Circulation mixers, e.g. wherein at least part of the mixture is discharged from and reintroduced into a receptacle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/40—Mixers using gas or liquid agitation, e.g. with air supply tubes
    • B01F33/403—Mixers using gas or liquid agitation, e.g. with air supply tubes for mixing liquids
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
    • C02F2001/427—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange using mixed beds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
    • C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)

Abstract

청정도가 높은 이온 교환 장치를 제조하는 경우에 바람직한, 높은 품질이 안정적으로 얻어지는 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 혼합 장치가 제공된다. 계량이 완료된 복수 종의 이온 교환 수지와 물을 혼합조 (1) 에 넣고, 일단측 및 타단측이 각각 그 혼합조에 접속된 순환 라인 (10) 에 의해 이온 교환 수지와 물을 펌프 (11) 로 순환시켜 교반함과 함께, 불활성 가스를 그 혼합조 (1) 내에 산기관 (3) 에 의해 산기시키는 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치. 순환 라인 (10) 에 라인 믹서 (12) 가 형성되어 있다.

Description

이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR BLENDING ION-EXCHANGE RESINS}
본 발명은, 종류가 상이한 이온 교환 수지 (예를 들어, 아니온 교환 수지와 카티온 교환 수지) 를 균일하게 또한 청정도를 유지한 상태에서 혼합하는 방법에 관한 것이다.
종래의 이온 교환 수지의 혼합 방법으로는, 혼합조 내의 이온 교환 수지 및 물을 가스 또는 공기로 버블링함으로써 유동을 주어 혼합하는 방법이 있다 (일본 공개특허공보 평7-116526호).
초순수 제조 공정에 사용되는 이온 교환 장치는 청정도를 높게 유지할 필요가 있어, 이온 교환 수지의 컨디셔닝 (세정 또는 정제) 방법으로서 일본 공개특허공보 2011-50898호의 방법이 제안되어 있고, 또 이온 교환 수지를 용기에 충전하는 이온 교환 장치의 제조 방법으로서 일본 공개특허공보 2011-11120호의 방법이 제안되어 있다.
일본 공개특허공보 평7-116526호 일본 공개특허공보 2011-50898호 일본 공개특허공보 2011-11120호
특허문헌 1 의 이온 교환 수지의 혼합 방법은, 대기 중의 먼지나 미립자가 혼합 공정에서 혼입될 우려가 있어, 청정도가 높은 이온 교환 장치를 제조하기 위해서는 적절하지 않았다.
본 발명은, 청정도가 높은 이온 교환 장치를 제조하는 경우에 바람직한, 높은 품질이 안정적으로 얻어지는 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 혼합 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 이온 교환 수지의 혼합 방법은, 계량이 완료된 복수 종의 이온 교환 수지와 물을 혼합조에 넣고, 일단측 및 타단측이 각각 그 혼합조에 접속된 순환 라인에 의해 상기 이온 교환 수지와 상기 물을 펌프로 순환시켜 교반함과 함께, 불활성 가스를 그 혼합조 내에 산기시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 이온 교환 수지의 혼합 장치는, 계량이 완료된 복수 종의 이온 교환 수지와 물을 받아들이는 혼합조와, 일단측 및 타단측이 그 혼합조에 접속된 순환 라인과, 그 순환 라인에 형성된 펌프와, 그 혼합조 내에 불활성 가스를 산기시키는 산기 수단을 갖는 것이다.
그 순환 라인에 라인 믹서를 형성하는 것이 바람직하다.
그 혼합조를 덮개가 있는 것으로 하고, 가스 배출 수단을 형성하는 것이 바람직하다.
불활성 가스로는 질소 가스가 바람직하다.
본 발명에서는, 혼합조로부터 혼합이 완료된 이온 교환 수지를 배출 이송하고 있을 때에도 상기 순환 라인에 의해 이온 교환 수지와 물을 순환시키는 것이 바람직하다.
본 발명의 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치에 있어서는, 순환 라인의 펌프에 의해 혼합조 내의 하부로부터 물과 함께 이온 교환 수지가 인발되고, 순환 라인을 경유하여 혼합조의 상부로 되돌려진다. 이것을 반복함으로써 혼합조 내의 복수 종의 이온 교환 수지는 유동이 주어지고, 혼합조 내에서 교반·혼합된다. 또한, 본 발명에서는 불활성 가스를 혼합조 내의 수중에 산기 (버블링) 시킴으로써, 더욱 복잡한 유동이 주어지고, 교반의 효율이 오르기 때문에, 단시간에 균일한 이온 교환 수지의 혼합 상태를 얻는 것이 가능해진다.
본 발명에서는, 혼합조를 덮개가 있는 가스 배출 수단이 형성된 반밀폐 상태의 것으로 하고, 이 혼합조 내에서 불활성 가스를 산기시킴으로써, 혼합조 내에는 일정한 압력이 가해지고, 항상 불활성 가스가 혼합조 내로부터 가스 배출 수단을 통하여 외부로 방출되게 되기 때문에, 대기 중에 포함되는 먼지나 미립자의 혼입을 방지할 수 있다.
순환 라인에 라인 믹서를 형성함으로써, 이온 교환 수지의 혼합 효율이 향상된다.
불활성 가스로는, 입수의 용이성이나 청정도 및 비용의 면에서 고순도의 질소 가스를 사용하는 것이 바람직하다.
순환 라인에 사용되는 펌프로는, 수지제의 에어드 펌프가 바람직하다. 수지제의 에어드 펌프를 사용함으로써, 펌프로부터의 불순물의 용출을 억제할 수 있는 것에 추가하여, 가스 혼입액의 송액도 가능하다. 또, 압축 에어로 구동시키기 때문에 오버로드에 의한 발열도 없다. 또, 에어 레귤레이터의 조절로 토출 압력을 용이하게 제어할 수 있어 안전하다.
도 1 은 본 발명의 설명도이다.
이하, 본 발명에 대해 더욱 상세하게 설명한다. 도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 이온 교환 수지의 혼합 장치의 계통도이다.
혼합조 (1) 는 천개 (1a) 를 갖고, 그 천개 (1a) 에 가스 배출 수단으로서의 가스 유출구 (2) 가 형성되어 있다. 이 가스 유출구 (2) 에는, 필터나, 혼합조 (1) 내로부터의 가스 유출만을 허용하는 역지 밸브를 형성해도 된다.
혼합조 (1) 내의 하부에 산기관 (3) 이 형성되고, 불활성 가스로서의 질소 가스가 질소 봄베 등의 가스원으로부터 가스 배관 (4) 및 밸브 (5) 를 통하여 공급 가능하게 되어 있다. 혼합조 (1) 내의 상부에 이온 교환 수지의 통과를 저지하고, 물의 통과를 허용하는 스트레이너 (6) 가 설치되고, 그 스트레이너 (6) 에 배수 배관 (7) 이 접속되어 있다.
혼합조 (1) 의 바닥부에 순환 라인 (10) 의 유입단이 접속되어 있고, 그 순환 라인 (10) 의 유출단이 혼합조 (1) 의 상부에 접속되어 있다. 그 순환 라인 (10) 에 에어드 펌프 (11) 와 라인 믹서 (12) 가 형성되어 있다. 에어드 펌프 (11) 보다 유입단측의 순환 라인 (10) 으로부터 이송 배관 (13) 이 분기되어 있고, 그 이송 배관 (13) 에 형성된 에어드 펌프 (14) 에 의해 혼합이 완료된 이온 교환 수지가 충전 장치 (도시 생략) 로 이송 가능하게 되어 있다.
이 혼합이 완료된 이온 교환 수지의 이송 배관으로는, 라인 믹서의 출구 배관에 분기된 배관을 형성하여 충전 장치로 이송하도록 해도 된다. 이 경우, 에어드 펌프가 1 대면 되는 점에서 바람직하다.
혼합조 (1) 의 천개 (1a) 를 관통하도록 하여, 아니온 교환 수지의 도입 배관 (16) 과 카티온 교환 수지의 도입 배관 (17) 과, 물의 도입 배관 (18) 이 설치되어 있다.
본 발명에 있어서 혼합되는 복수 종의 이온 교환 수지란, 카티온 교환 수지와 아니온 교환 수지와 같이 이온기가 카티온 교환성을 갖는지 아니온 교환성을 갖는지의 차이 외에, 동일한 카티온 교환 수지라도 강산성형 카티온 교환 수지와 약산성형 카티온 교환 수지의 경우이거나, 동일한 아니온 교환 수지라도 강염기성형 아니온 교환 수지와 약염기성형 아니온 교환 수지의 조합과 같이 이온기의 해리성이 상이한 이온 교환 수지끼리의 경우여도 된다.
이와 같이 구성된 혼합 장치에 의한 이온 교환 수지의 혼합 순서는 이하와 같다.
ⅰ) 빈 혼합조 (1) 내에 산기관 (3) 으로부터 질소를 유출시키고, 혼합조 (1) 내의 공기를 가스 유출구 (2) 로부터 유출시켜, 혼합조 (1) 내를 청정한 질소 가스 분위기로 한다.
ⅱ) 계량된 아니온 교환 수지와 카티온 교환 수지를 물과 함께 배관 (16, 17) 으로부터 혼합조 (1) 내에 도입한다.
ⅲ) 스트레이너 (6) 로부터 물이 오버플로우할 때까지 배관 (18) 으로부터 혼합조 (1) 내에 물을 도입한다. 이온 교환 수지의 혼합에 사용되는 물은 초순수 레벨의 물이기 때문에, 전극식의 레벨계로는 수위를 계측할 수 없다. 그 때문에, 이 실시형태에서는, 스트레이너 (6) 를 이용한 오버플로우 형식으로 함으로써 수위를 결정하도록 하고 있다.
ⅳ) 에어드 펌프 (11) 를 작동시켜 순환 라인 (10) 에 이온 교환 수지 및 물의 혼합 슬러리를 통과시키고, 혼합조 (1) 내에 유동을 일으켜 이온 교환 수지를 혼합 및 교반한다.
ⅴ) 소정 시간, 상기 ⅳ) 의 혼합을 실시한 후, 에어드 펌프 (11) 를 정지시키고, 에어드 펌프 (14) 를 작동시켜 충전 장치로 혼합이 완료된 이온 교환 수지를 이송한다. 이 이송 공정에 있어서도 혼합조 (1) 내에 외기가 혼입되지 않도록 질소 가스가 가스 유출구 (2) 로부터 방출되도록 산기관 (3) 으로의 질소 가스 공급을 계속한다. 또한, 이온 교환 수지의 분리가 발생하기 쉬운 경우에는, 이온 교환 수지를 충전 장치로 이송하고 있는 동안에도 에어드 펌프 (11) 를 작동시켜 이온 교환 수지의 혼합을 계속하도록 해도 된다.
이러한 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 혼합 장치에 의하면, 이온 교환 수지의 혼합 공정에 있어서 공기 중의 먼지나 미립자가 혼합조 (1) 내에 혼입되는 것이 방지된다. 그 때문에, 높은 청정도의 혼합 이온 교환 수지가 이온 교환 수지탑에 충전된다. 이로써, 수질이 양호한 초순수 등의 이온 교환수를 제조할 수 있다. 본 발명은, 초순수 제조 장치 중에서도 특히 서브 시스템 (2 차 순수 시스템) 의 이온 교환 폴리셔 (비재생형 이온 교환 장치) 의 제조 (이온 교환 수지의 충전) 에 사용하기에 바람직하다. 본 발명은, 특히 고순도의 초순수를 제조하기 위한 초순수 제조 장치, 예를 들어 웨이퍼 제조, 반도체 제조 등에 사용되는 초순수 제조 장치의 이온 교환 장치의 제조 (이온 교환 수지의 충전) 에 사용하기에 바람직하다. 본 발명에 의해 혼합된 이온 교환 수지를 충전한 이온 교환 장치를 갖는 초순수 제조 장치에 의하면, 금속 농도가 1 ppt 이하 나아가서는 0.1 ppt 이하가 되는 초순수를 제조하는 것이 용이해진다.
실시예
이하, 실시예 및 비교예에 대해 설명한다.
[실시예 1]
도 1 에 나타내는 혼합 장치를 사용하여 상기 순서에 따라, 아니온 교환 수지와 카티온 교환 수지를 용적비로 1 : 1 로 혼합한 후, 클린룸 내에서 이온 교환 수지의 용기 (72 ℓ) 에 충전하여 이온 교환 장치를 제조하였다. 이 이온 교환 장치에 표 1 에 나타내는 금속 이온 농도의 초순수를 SV ＝ 60/h 로 24 시간 통수하였다. 24 시간째에 채취한 이온 교환 장치 유출수의 수질을 표 1 에 나타낸다.
[비교예 1]
이온 교환 수지의 혼합 공정에 있어서 질소 가스의 산기를 실시하지 않은 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 이온 교환 장치를 제조하고, 통수 시험하였다. 24 시간째에 채취한 이온 교환 장치 유출수의 수질을 표 1 에 나타낸다.
Figure 112014074704977-pct00001
표 1 로부터 분명한 바와 같이, 본 발명의 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 혼합 장치를 사용함으로써, 높은 수질의 초순수를 얻을 수 있다.
본 발명을 특정한 양태를 사용하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 의도와 범위를 벗어나지 않고 여러 가지 변경이 가능한 것은 당업자에게 분명하다.
또한, 본 출원은, 2012년 3월 23일자로 출원된 일본 특허출원 (일본 특허출원 2012-067279호) 에 기초하고 있고, 그 전체가 인용에 의해 원용된다.

Claims (7)

  1. 카티온 교환 수지와 아니온 교환 수지, 강산성형 카티온 교환 수지와 약산성형 카티온 교환 수지, 혹은 강염기성형 아니온 교환 수지와 약염기성형 아니온 교환 수지의 조합으로 이루어지는 복수 종의 이온 교환 수지를 혼합하는 방법으로서,
    계량이 완료된 상기 복수 종의 이온 교환 수지와 물을 혼합조에 넣고, 일단측 및 타단측이 각각 그 혼합조에 접속된 순환 라인에 의해 상기 이온 교환 수지와 상기 물을 펌프로 순환시켜 교반함과 함께, 불활성 가스를 그 혼합조 내에 산기시키는 것을 특징으로 하는 이온 교환 수지의 혼합 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 순환 라인에 라인 믹서를 형성한 것을 특징으로 하는 이온 교환 수지의 혼합 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 불활성 가스가 질소 가스인 것을 특징으로 하는 이온 교환 수지의 혼합 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 혼합조로부터 혼합이 완료된 이온 교환 수지를 배출 이송하고 있을 때에도 상기 순환 라인에 의해 이온 교환 수지와 물을 순환시키는 것을 특징으로 하는 이온 교환 수지의 혼합 방법.
  5. 카티온 교환 수지와 아니온 교환 수지, 강산성형 카티온 교환 수지와 약산성형 카티온 교환 수지, 혹은 강염기성형 아니온 교환 수지와 약염기성형 아니온 교환 수지의 조합으로 이루어지는, 복수 종의 이온 교환 수지를 혼합하는 장치로서,
    계량이 완료된 상기 복수 종의 이온 교환 수지와 물을 받아들이는 혼합조와,
    일단측 및 타단측이 그 혼합조에 접속된 순환 라인과,
    그 순환 라인에 형성된 펌프와,
    그 혼합조 내에 불활성 가스를 산기시키는 산기 수단을 갖는 이온 교환 수지의 혼합 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 순환 라인에 라인 믹서를 형성한 것을 특징으로 하는 이온 교환 수지의 혼합 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 혼합조는 덮개가 있는 것이고, 또한 상부에 가스 배출 수단이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 이온 교환 수지의 혼합 장치.
KR1020147022107A 2012-03-23 2013-03-22 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치 KR101926904B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2012-067279 2012-03-23
JP2012067279A JP5966489B2 (ja) 2012-03-23 2012-03-23 イオン交換樹脂の混合方法及び装置
PCT/JP2013/058268 WO2013141352A1 (ja) 2012-03-23 2013-03-22 イオン交換樹脂の混合方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140138623A KR20140138623A (ko) 2014-12-04
KR101926904B1 true KR101926904B1 (ko) 2018-12-07

Family

ID=49222801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147022107A KR101926904B1 (ko) 2012-03-23 2013-03-22 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5966489B2 (ko)
KR (1) KR101926904B1 (ko)
CN (1) CN104105547B (ko)
TW (1) TWI635906B (ko)
WO (1) WO2013141352A1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105126688A (zh) * 2015-08-13 2015-12-09 四川虹视显示技术有限公司 一种用于oled有机材料喷印的溶液混合系统
KR102029403B1 (ko) 2019-05-27 2019-10-07 박재영 감수능력이 극대화된 포러스형 이온교환수지의 제조방법, 그 방법에 의한 이온교환수지, 및 이를 포함하는 레미콘용 감수제

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080074944A1 (en) 2006-09-21 2008-03-27 Basf Aktiengesellschaft Process for mixing a liquid or mixture of a liquid and a fine solid present in an essentially self-containing vessel
JP2011050898A (ja) * 2009-09-03 2011-03-17 Kurita Water Ind Ltd イオン交換樹脂のコンディショニング方法及び装置
CN202143823U (zh) 2011-07-18 2012-02-15 沈阳化工大学 无搅拌混合装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1076101A (en) * 1975-12-30 1980-04-22 Kenneth C. Yi Apparatus for blending granular materials
US4990260A (en) * 1988-01-28 1991-02-05 The Water Group, Inc. Method and apparatus for removing oxidizable contaminants in water to achieve high purity water for industrial use
JPH02135148A (ja) * 1988-11-15 1990-05-24 Japan Organo Co Ltd イオン交換樹脂の洗浄装置
FI103501B1 (fi) * 1990-11-09 1999-07-15 Ebara Corp Sekakerrossuodatus- ja -demineralisointimenetelmä epäpuhtauksien poistamiseksi voimalan jäähdytysvedestä
JPH06106165A (ja) * 1992-09-30 1994-04-19 Toshiba Corp 復水脱塩装置
JP3369725B2 (ja) * 1994-05-31 2003-01-20 東芝エンジニアリング株式会社 復水脱塩装置
TW313531B (ko) * 1995-10-12 1997-08-21 Dow Chemical Co
JP3614995B2 (ja) * 1996-09-19 2005-01-26 株式会社東芝 復水脱塩装置
JP3976128B2 (ja) * 2002-02-13 2007-09-12 株式会社荏原製作所 脱塩装置の水質向上方法
JP4406916B2 (ja) * 2003-08-04 2010-02-03 栗田工業株式会社 カチオン交換樹脂の再生方法
TWI255277B (en) * 2003-10-17 2006-05-21 Inst Nuclear Energy Res Aec Processing method for spent ion-exchange resins
CN201410368Y (zh) * 2009-04-27 2010-02-24 宁波阿里山胶粘制品科技有限公司 密封混合设备
JP5391874B2 (ja) * 2009-06-30 2014-01-15 栗田工業株式会社 イオン交換装置の製作方法
CN102228811B (zh) * 2011-07-18 2013-04-03 沈阳化工大学 无搅拌混合装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080074944A1 (en) 2006-09-21 2008-03-27 Basf Aktiengesellschaft Process for mixing a liquid or mixture of a liquid and a fine solid present in an essentially self-containing vessel
JP2011050898A (ja) * 2009-09-03 2011-03-17 Kurita Water Ind Ltd イオン交換樹脂のコンディショニング方法及び装置
CN202143823U (zh) 2011-07-18 2012-02-15 沈阳化工大学 无搅拌混合装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI635906B (zh) 2018-09-21
WO2013141352A1 (ja) 2013-09-26
KR20140138623A (ko) 2014-12-04
JP2013198838A (ja) 2013-10-03
CN104105547A (zh) 2014-10-15
JP5966489B2 (ja) 2016-08-10
CN104105547B (zh) 2016-08-17
TW201400187A (zh) 2014-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1446117A (zh) 用来混合加工材料的方法和装置
US6224252B1 (en) Chemical generator with controlled mixing and concentration feedback and adjustment
TWI418398B (zh) 在處理環境中之液體環式泵送及回收系統
JPH09148286A (ja) 化学機械研磨のためスラリをダイナミックに混合する装置および方法
WO2008141206A2 (en) Systems and methods for material blending and distribution
TWI454682B (zh) 用於管理使用液體環式泵之流體的系統及方法
JP2015536239A (ja) スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置
KR101926904B1 (ko) 이온 교환 수지의 혼합 방법 및 장치
US20120061328A1 (en) Process and Apparatus for Treating Water With Hydrated Lime Slurry and for Dissolving Scale
CN110898700A (zh) 新型絮凝剂药剂制备装置
KR101634667B1 (ko) 전자기장을 이용한 고농도 오존수 생성 장치
JP2010155754A (ja) オゾン水の製造装置及び製造方法
CN115121005A (zh) 液-液提取单元和使用其的多级液-液提取设备
CN219849015U (zh) 一种半导体化学研磨液输送混料装置
JPH10273193A (ja) 高純度薬液輸送用大型容器
US20230249993A1 (en) Apparatus and methods for treating water for removal of pfas
CN219798855U (zh) 一种研磨液混配取样阀箱
CN216273273U (zh) Pam粉末自动加药装置
US2039950A (en) Apparatus for effecting intimate contact between liquids and gases
CN220197353U (zh) 一种研磨液混合循环系统
CN220280052U (zh) 泥浆水利用智能化一体设备
CN218290482U (zh) 一种智能自动化加药的化学加药装置
CN215822878U (zh) 一种冷轧废水石灰加药搅拌装置
CN107868676B (zh) 一种石脑油二级酸洗脱硫装置
CN202129150U (zh) 多级浮选设备

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant