KR101920754B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR101920754B1
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Abstract

본 발명은 수평방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되는 본체부 상에서 수평방향으로 회동 가능하도록 결합되고, 수직방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되어 기판을 하측에서 지지하여 이송시키는 기판 이송장치에 있어서, 상기 기판 이송 시, 상기 기판의 하측에 배치되어 상기 기판 하면을 지지하여 이송시키는 로봇 핸드; 및 상기 로봇 핸드의 일 단부를 상기 본체부 일 측에서 상하 방향으로 고정시키는 체결부를 포함하는 기판 이송장치를 제공한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치에 따르면, 첫째, 로봇 핸드의 저면이 테이퍼지도록 형성하여 기판 이송 시 처짐량을 현저히 감소시킬 수 있고, 둘째, 로봇 핸드의 처짐량을 감소시킴으로써 로봇 핸드의 변형 및 파손을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있으며, 셋째, 로봇 핸드의 결합부분을 보강할 수 있도록 체결부를 구비하여 진동 억제 및 처짐량을 보완할 수 있는 효과가 있고, 넷째, 기판을 수납하는 카셋트의 지지대 높이를 감소시켜 보다 많은 양의 기판을 적재할 수 있을 뿐만아니라, 로봇 핸드의 진동 억제로 인하여 기판의 파손을 방지하고, 가동시간을 단축하여 생산기간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 이송장치{TRANSPORTING APPARATUS FOR A GLASS}
본 발명은 액정표시소자 및 반도체 제조공정에서 카세트 내부에 기판을 수납 및 취출하는 기판 이송용 로봇 핸드에 관한 것으로서, 기판의 하중에 의해 로봇 핸드의 처짐 및 진동을 감소시킬 수 있는 기판 이송용 로봇 핸드에 관한 것이다.
최근 휴대폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다.
이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.
여기서 상기 액정표시소자의 제작을 위해 기판을 이송하는 로봇핸드는 기판을 흡착할 수 있는 흡착부가 마련되어 흡착력을 이용하여 기판을 이송 및 반송하게 된다.
따라서 흡착부는 동일한 높이를 유지하도록 배치되고, 로봇 핸드는 일직선 상에서 나란하게 기판을 흡착한 후, 기판이 수납되는 카셋트에 실장하거나 카세트에 수납된 기판을 취출하게 된다.
이때 상기 카세트는 내부의 양 측면에 기판을 걸쳐 수직방향으로 복수개 실장하거나, 실장된 기판을 취출하여 공급할 수 있도록 일시적으로 저장하는 기능을 갖는다.
그러나 상기와 같은 로봇 핸드는 일 측 단부만이 고정되고, 타 측 단부에 발생하는 중력 및 기판의 하중에 의해 로봇 핸드의 중심부분 이 후 부터 처짐이 발생하게 된다.
또한 이러한 처짐이 로봇핸드의 움직임에 따라서 진동으로 전환되기 때문에 기판에 변형 또는 파손이 발생하는 문제점이 발생한다.
게다가 이러한 진동으로 인하여 카셋트로부터 기판을 실장 또는 취출하는 시가간이 길어지고 이에 따른 제조시간이 증가할 수 밖에 없는 한계를 내포하고 있다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 액정표시소자 및 반도체 제조공정에서 카세트 내부에 기판을 수납 및 취출하는 기판 이송용 로봇 핸드에 관한 것으로서, 기판의 하중에 의해 로봇 핸드의 처짐 및 진동을 감소시킬 수 있는 기판 이송용 로봇 핸드를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 수행하기 위한 본 발명은 수평방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되는 본체부 상에서 수평방향으로 회동 가능하도록 결합되고, 수직방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되어 기판을 하측에서 지지하여 이송시키는 기판 이송장치에 있어서, 상기 기판 이송 시, 상기 기판의 하측에 배치되어 상기 기판 하면을 지지하여 이송시키는 로봇 핸드; 및 상기 로봇 핸드의 일 단부를 상기 본체부 일 측에서 상하 방향으로 고정시키는 체결부를 포함하는 기판 이송장치를 제공한다.
상기 로봇 핸드는 상기 기판의 하측에서 흡착하여 고정할 수 있도록 상면에 복수개의 흡착부재가 마련될 수 있다.
상기 로봇 핸드는 상기 로봇 핸드의 일 단부로부터 타 단부를 향하여 저면이 상향 경사지도록 형성될 수 있다.
상기 로봇 핸드의 타 단부 두께는 상기 로봇 핸드의 일 단부 두께에 대하여 70~85% 범위로 형성될 수 있다.
상기 로봇 핸드의 일 단부 상측에 마련되는 제1체결부재 및 상기 로봇 핸드의 일 단부 하측에 마련되는 제2체결부재를 포함하며, 상기 제1체결부재와 제2체결부재 및 상기 로봇 핸드는 패스너 또는 본딩 방식으로 고정될 수 있다.
또한 본 발명은 수평방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되는 본체부 상에서 수평방향으로 회동 가능하도록 결합되고, 수직방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되어 기판을 하측에서 지지하여 이송시키는 기판 이송장치에 있어서, 상기 기판 이송 시, 상기 기판의 하측에 배치되어 상기 기판 하면을 지지하여 이송시키는 로봇 핸드; 상기 로봇 핸드의 일 단부를 상기 본체부 일 측에서 상하 방향으로 고정시키는 체결부; 및 상기 본체부의 측방향에 마련되어 내부에 수납공간이 형성되며, 상기 수납공간 내부에 수직방향으로 복수개의 기판이 이격되도록 배치되는 카셋트를 포함하는 기판 이송장치를 제공한다.
상기 카셋트는 상기 수납공간의 마주하는 양 측면에 각각 수평방향으로 대향하도록 돌출되는 복수개의 지지대를 포함할 수 있다.
상기 지지대는 상기 수납공간의 일 측면에 수직방향으로 30~34mm 간격으로 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치에 따르면,
첫째, 로봇 핸드의 저면이 경사지도록 형성하여 기판 이송 시 처짐량을 현저히 감소시킬 수 있고,
둘째, 로봇 핸드의 처짐량을 감소시킴으로써 로봇 핸드의 변형 및 파손을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있으며,
셋째, 로봇 핸드의 결합부분을 보강할 수 있도록 체결부를 구비하여 진동 억제 및 처짐량을 보완할 수 있는 효과가 있고,
넷째, 기판을 수납하는 카셋트의 지지대 높이를 감소시켜 보다 많은 양의 기판을 적재할 수 있을 뿐만아니라, 로봇 핸드의 진동 억제로 인하여 기판의 파손을 방지하고, 가동시간을 단축하여 생산기간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 기판 이송장치를 정면에서 도시하는 단면도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 기판 이송장치를 측면에서 도시하는 부분 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 단면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 진동테스트를 나타내는 그래프이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
최근 구동수단의 용이성과 고화질 구현을 위하여 현재에는 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display)가 각광을 받고 있다.
이러한 액정표시장치는 진공상태가 구현 가능한 챔버 내부에서 하부기판과 상부기판 및 하부기판과 상부기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되는 것이 일반적이다.
상기 하부기판은 구동소자 어레이(Array) 기판으로써, 상기 하부기판에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(thin film transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다.
상기 상부기판은 컬러 필터(color filter) 기판으로써, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러 필터층이 형성되어 있다.
그리고, 상기 하부기판 및 상부기판은 진공상태에서 실링재(sealing material)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층이 형성되어 상기 하부기판에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 화상 정보를 표시하게 된다.
상기와 같은 액정표시장치는 글라스(Glass)와 같은 투명한 기판 위에 소정의 반도체 공정을 통해 제작되며, 상기 기판은 카세트에 적재된 후, 작업자 또는 자동운반장치(automatic guided vehicle)와 같은 다른 이송수단에 의해서 타공정 장비로 이송된다.
그리고 이러한 상기 카세트로의 기판 수납 및 취출은 로봇 핸드(Robot Hand)에 의해서 이루어진다. 상기 기판을 이송하는 상기 로봇 핸드에 관하여 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치(100)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 기판 이송장치(100)를 정면에서 도시하는 단면도이며, 도 3은 도 2에 나타낸 기판 이송장치(100)를 측면에서 도시하는 부분 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치(100)는 기판을 들어올려 이송 또는 반송하는 로봇 핸드(110)와, 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부를 고정시키는 체결부(120)를 포함한다.
도면에 도시하지 않았지만, 상기 로봇 핸드(110)는 수평방향으로의 회전운동과, 수직방향으로의 왕복운동을 제공하는 본체부(미도시) 상단에 결합되어 있는 것을 일 예로 설명하며, 이 외에도 4축 구동방식의 텔레스코프 타입(Telescope )과, 링크타입(Link Type)과, 직교타입 및 6축 구동방식으로 다양한 각도의 이송 또는 반송에 대응이 가능한 다관절 타입 등으로 이용될 수 있음은 물론이다.
이때 상기 본체부는 수평방향으로 이송 가능하도록 배치되어 카셋트(130)(Cassette) 및 기판의 위치에 대응하여 위치 변경이 가능하다.
상기 로봇 핸드(110)는 단면이 사각형인 빔 형상으로 상기 본체부로부터 수평방향으로 연장되도록 마련되며, 상기 로봇 핸드(110)는 적어도 둘 이상이 나란히 연장되어 배치되는 것이 바람직하다. 여기서 상기 로봇 핸드(110)의 개수는 이에 한정되지 않으며, 상기 본체부로부터 상기 기판의 규모나 형상 또는 하중에 따라서 설계변경이 가능함은 물론이다.
상기 로봇 핸드(110)의 상면은 길이방향으로 길게 형성되어 소정의 넓이를 갖는 평면으로 형성된다. 이때 상기 로봇 핸드(110)의 상면에는 진공 흡입력을 이용하여 상기 기판을 흡착시킬 수 있도록 도 2에 도시된 바와 같이 흡착부재(111)가 마련된다.
상기 흡착부재(111)는 고무 재질로 형성된 단면이 원형 또는 다각형의 흡착패드로 내부에 진공홀(미도시)이 형성되어 상기 기판과 밀착력을 증대시켜주고, 상기 로봇 핸드(110)가 이송 시, 상기 로봇 핸드(110)의 상면으로부터 이탈되는 것을 방지하는 기능을 갖는다.
이때 상기 흡착부재(111)는 상기 로봇 핸드(110)의 상면 길이방향을 따라서 복수개가 배치되며, 상기 기판의 크기와 중량에 따라서 더 넓은 범위에 걸쳐 여러가지 패턴으로 형성될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 핸드(110)의 하면은 경사각도가 형성되어 상기 로봇 핸드(110)의 양 단부는 각각 단면의 넓이에 차이가 발생한다.
상기 로봇 핸드(110)의 일 단부 즉, 상기 체결부(120)가 배치되는 부분의 두께(t)는 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부의 두께(t′)에 비하여 두껍게 형성된다.
따라서 측면에서 살펴보면 사다리꼴 형상의 단면이 형성되어, 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부로부터 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부를 향하여 두께가 점차적으로 줄어들도록 형성된다.
이는 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부 중량을 감소시킴으로써 상기 로봇 핸드(110)의 전반적인 무게중심을 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부측으로 옮기는 효과를 불러일으켜 보다 안정적으로 상기 본체부상에 결합되는 효과를 갖는다.
따라서 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부로부터 진동이 억제되고, 또한 진동억제에 따른 상기 로봇 핸드(110)의 처짐량을 보상할 수 있게 된다.
도면에 도시하지는 않았지만, 상기 로봇 핸드(110)의 하면이 곡면지도록 형성될 수도 있다. 이는 전반적으로 상기 로봇 핸드(110)의 하면이 경사지도록 형성시키는 원리와 같은 맥락으로, 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부로부터 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부를 향하여 단면이 작아지도록 제작하여 상기 로봇 핸드(110)의 무게중심을 보다 안정적으로 이동시키는 효과를 불러일으킨다.
또한 상기 로봇 핸드(110)의 하면이 단차지도록 형성될 수도 있다. 이 또한 상기 로봇 핸드(110)의 하면이 경사지도록 또는 곡면지도록 형성시키는 원리와 같은 맥락으로, 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부로부터 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부를 향하여 단면이 작아지도록 제작하여 상기 로봇 핸드(110)의 무게중심을 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부측으로 이동시키는 효과를 기대할 수 있다.
여기서 상기 로봇 핸드(110)의 타 단부 두께(t′)는 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부 두께(t)에 대하여 70~85% 범위로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 상기 로봇 핸드(110) 타 단부에 최소한의 강성을 유지하기 위함이며, 또한 강성 대비 최대한의 중량을 감소시킬 수 있는 효과를 갖는다.
상기 로봇 핸드(110)의 재질은 고강성을 확보하기 위한 탄소 섬유 강화 플라스틱(CFRP; Carbon Fiberglass Reinforced Plastics) 또는 유리 섬유 강화 플라스틱(GFRP; Glass Fiber Reinforced Plastics)이주로 사용되며, 보다 바람직하게는 유리 섬유 강화 플라스틱이 탄소 섬유 강화 플라스틱과 혼합하여 사용될 수 있다. 이에 따른 효과적인 비교 데이터는 후기한다.
상기 체결부(120)는 상기 로봇 핸드(110)의 일 단부를 상기 본체부에 고정시키는 기능을 가지며, 상기 로봇 핸드(110)의 상면에 배치되는 제1체결부재(121)와, 상기 로봇 핸드(110)의 하면에 배치되는 제2체결부재(122)를 포함한다.
상기 체결부(120)는 기존에 사용하던 바와 같이 상기 로봇 핸드(110)의 하측에 배치되는 상기 제2체결부재(122)만을 사용할 수도 있다.
이때 상기 제2체결부재(122)만 사용하는 경우와 상기 제1체결부재(121) 및 제2체결부재(122)를 모두 사용하는 경우를 비교해 보면, 전자 대비 후자가 약 7~18%의 처짐량을 보완할 수 있는 효과를 갖는다.
예컨대 상기 로봇 핸드(110)의 재질을 탄소 섬유 강화 플라스틱으로 제작하여 상기 제2체결부재(122)만을 사용하여 체결하는 경우에 비하여, 동일 재질로 제작된 상기 로봇 핸드(110)에 상기 제1체결부재(121) 및 제2체결부재(122)를 동시에 체결하는 경우에는 약 7~8%의 처짐량을 보완할 수 있다.
또한 상기 로봇 핸드(110)의 재질을 탄소 섬유 강화 플라스틱과 유리 섬유 강화 플라스틱을 혼합하여 제작하고 상기 제2체결부재(122)만을 사용하여 체결하는 경우에 비하여, 동일 재질로 제작된 상기 로봇 핸드(110)에 상기 제1체결부재(121) 및 제2체결부재(122)를 동시에 체결하는 경우에는 약 16~18%의 처짐량을 보완할 수 있는 효과가 있다.
상기 체결부(120)는 상기 로봇 핸드(110)의 상하면에서 패스너를 이용하여 체결할 수도 있고, 접착제를 이용하여 본딩할 수도 있다. 여기서 상기 로봇 핸드(110)와 상기 체결부(120)의 고정은 본딩방식으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이는 패스너를 이용하여 고정하는 경우, 상기 제1체결부재(121) 및 제2체결부재(122)와 상기 로봇 핸드(110)와의 사이에서 미끄러짐(Slip) 발생으로 인하여 원위치 시 복원 위치에 미치지 못하는 한계가 발생하기 때문에 상기 체결부(120)의 고정은 본딩방식으로 이루어지는 것이 유리하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치(200)를 나타내는 단면도이다. 이하 전기한 참조번호와 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 지칭한다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 이송장치(200)는 상기 로봇 핸드(110)와, 상기 체결부(120) 및 카셋트(130)를 포함한다.
여기서 상기 로봇 핸드(110)와 상기 체결부(120)의 구성은 동일한 구조를 가지므로 전기한 내용과 중복되는 내용은 생략한다.
따라서 상기 카셋트(130)의 주요 특징을 살펴보면, 상기 카셋트(130)는 일 측면이 개구된 박스 형상의 프레임 구조로 내부에는 수납공간이 마련된다.
상기 수납공간 내측에서 상기 개구된 일 측면에 인접하는 양 측면에는 상기 기판을 실장할 수 있도록 복수개의 지지대(131)가 마련된다.
상기 지지대(131)는 상기 카셋트(130)의 양 측면에서 수평방향으로 서로 대향하도록 돌출되며, 수직방향으로는 동일 간격으로 그 높이가 낮게 배치되는 것이 바람직하다.
여기서 상기 지지대(131)는 수직방향으로 30~34mm 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 이는 상기 수납공간 내부에 상기 지지대(131)가 많으면 많을수록 상기 기판을 더 많이 실장 할 수 있는 효과가 있고, 이는 상기 로봇 핸드(110)의 진동을 최대한 감소시킴으로써 구현이 가능하며, 상기 로봇 핸드(110)의 진동 억제로 인하여 상기 로봇 핸드(110)가 가동 시작할 수 있는 시간이 최대한 단축되기 때문에 상기 카셋트(130)의 수직 간격을 보다 축소시킬 수 있다.
따라서 상기 카셋트(130)에는 종전에 비하여 보다 많은 상기 기판을 실장 할 수 있어 생산성이 증대되고, 상기 로봇 핸드(110)의 진동 억제로 인하여 로스타임(Loss Time)을 단축시킬 수 있으며, 상기 로봇 핸드(110)의 진동으로 인하여 상기 카셋트(130)로 상기 로봇 핸드(110) 진입 시 상기 기판에 파손을 일으키는 문제점을 해소할 수 있을 것으로 기대된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 이송용 로봇 핸드(110)의 작용효과에 대하여 상세히 설명한다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)의 진동테스트를 나타내는 그래프이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 도 5는 상기 기판이 없는 상태에서 상기 제1체결부재(121)와 제2체결부재(122)를 본딩 고정하여 실시한 진동테스트 결과이고, 도 6은 상기 기판을 상기 로봇 핸드(110) 상에 올려놓은 상태에서 상기 제1체결부재(121)와 제2체결부재(122)를 본딩 고정하여 실시한 진동테스트 결과이다.
이때 상기 로봇 핸드(110)는 탄소 섬유 강화 플라스틱으로 제작된 상태로 상기 기판의 실장 유무의 차이점을 갖는다.
도 5의 그래프 상에서 상하진폭은 2.1mm로 기존 사용되던 로봇 핸드(110)의 상하진폭인 2.2mm에 대하여 약 4.5% 이상의 진동 감소폭을 나타내는 것을 볼 수 있다.
도 6의 그래프는 상기 기판을 실장한 상태로 상하진폭은 1.8mm로 기존 사용되던 로봇 핸드(110)의 상하진폭인 2.2mm에 대하여 약 18% 이상의 진동 감소폭을 나타내는 것을 볼 수 있다.
따라서 상기 로봇 핸드(110)의 하면을 경사지도록 형성하여 기판 이송 시 처짐량을 현저히 감소시킬 수 있고, 또한 로봇 핸드(110)의 처짐량을 감소시킴으로써 로봇 핸드(110)의 변형 및 파손을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
게다가 상기 로봇 핸드(110)의 결합부분에 상기 체결부(120)를 구비함으로써 진동 억제 및 처짐량을 보완할 수 있는 효과가 있고, 또한 상기 기판을 수납하는 상기 카셋트(130)의 지지대 간격을 감소시켜 보다 많은 양의 기판을 적재할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 로봇 핸드(110)의 진동 억제로 인하여 기판의 파손을 방지하고, 가동시간을 단축하게 되어, 생산기간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100, 200 : 기판 이송장치 110 : 로봇 핸드
111 : 흡착부재 120 : 체결부
121 : 제1체결부재 122 : 제2체결부재
130 : 카셋트 131 : 지지대

Claims (10)

  1. 수평방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되는 본체부 상에서 수평방향으로 회동 가능하도록 결합되고, 수직방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되어 기판을 하측에서 지지하여 이송시키는 기판 이송장치에 있어서,
    상기 기판 이송 시, 상기 기판의 하측에 배치되어 상기 기판 하면을 지지하여 이송시키는 로봇 핸드; 및
    상기 로봇 핸드의 일 단부를 상기 본체부 일 측에서 상하 방향으로 고정시키는 체결부;를 포함하고,
    상기 로봇 핸드는 상기 기판의 하측에서 흡착하여 고정할 수 있도록 상면에 복수개의 흡착부재가 마련되며, 상기 흡착부재는 고무 재질로 형성되어 상기 기판과 밀착력을 증대시키도록 내부에 진공홀이 형성되고,
    상기 로봇 핸드는,
    상면이 수평방향으로 평행하게 평면으로 이루어지고, 하면은 상기 로봇 핸드의 일 단부로부터 타 단부를 향하여 단면이 감소하도록 곡면 또는 단차가 구비되며, 상기 로봇 핸드의 일 단부 두께에 대해서 타 단부 두께는 70~85% 범위로 이루어지는 기판 이송장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 로봇 핸드는,
    상기 로봇 핸드의 일 단부로부터 타 단부를 향하여 저면이 상향 경사지도록 형성되는 기판 이송장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 체결부는,
    상기 로봇 핸드의 일 단부 상측에 마련되는 제1체결부재 및 상기 로봇 핸드의 일 단부 하측에 마련되는 제2체결부재를 포함하며,
    상기 제1체결부재와 제2체결부재 및 상기 로봇 핸드는 패스너 또는 본딩 방식으로 고정되는 기판 이송장치.
  6. 수평방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되는 본체부 상에서 수평방향으로 회동 가능하도록 결합되고, 수직방향으로 왕복 이송이 가능하도록 마련되어 기판을 하측에서 지지하여 이송시키는 기판 이송장치에 있어서,
    상기 기판 이송 시, 상기 기판의 하측에 배치되어 상기 기판 하면을 지지하여 이송시키는 로봇 핸드;
    상기 로봇 핸드의 일 단부를 상기 본체부 일 측에서 상하 방향으로 고정시키는 체결부; 및
    상기 본체부의 측방향에 마련되어 내부에 수납공간이 형성되며, 상기 수납공간 내부에 수직방향으로 복수개의 기판이 이격되도록 배치되는 카셋트;를 포함하고,
    상기 로봇 핸드는 상기 기판의 하측에서 흡착하여 고정할 수 있도록 상면에 복수개의 흡착부재가 마련되며, 상기 흡착부재는 고무 재질로 형성되어 상기 기판과 밀착력을 증대시키도록 내부에 진공홀이 형성되고,
    상기 로봇 핸드는,
    상면이 수평방향으로 평행하게 평면으로 이루어지고, 하면은 상기 로봇 핸드의 일 단부로부터 타 단부를 향하여 단면이 감소하도록 곡면 또는 단차가 구비되며, 상기 로봇 핸드의 일 단부 두께에 대해서 타 단부 두께는 70~85% 범위로 이루어지는 기판 이송장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 카셋트는,
    상기 수납공간의 마주하는 양 측면에 각각 수평방향으로 대향하도록 돌출되는 복수개의 지지대를 포함하는 기판 이송장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 지지대는,
    상기 수납공간의 일 측면에 수직방향으로 30~34mm 간격으로 배치되는 기판 이송장치.
  9. 청구항 6 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로봇 핸드는,
    상기 로봇 핸드의 일 단부로부터 타 단부를 향하여 저면이 상향 경사지도록 형성되는 기판 이송장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 로봇 핸드의 일 단부 상측에 마련되는 제1체결부재 및 상기 로봇 핸드의 일 단부 하측에 마련되는 제2체결부재를 포함하며,
    상기 제1체결부재와 제2체결부재 및 상기 로봇 핸드는 패스너 또는 본딩 방식으로 고정되는 기판 이송장치.
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