KR101910352B1 - 컨베이어 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 컨베이어 모듈은, 프런트 워크존을 형성하는 한 쌍의 프런트 레일과, 상기 프런트 워크존과 나란히 형성되는 리어 워크존을 형성하는 한 쌍의 리어 레일을 구비하는 워크존 모듈, 상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈 및 상기 워크존 모듈과, 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합된 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

컨베이어 모듈{CONVEYOR MODULE}

본 발명은 컨베이어 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 듀얼 레인의 워크존 모듈 양측에 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 선택적으로 결합할 수 있는 컨베이어 모듈에 관한 것이다.

일반적으로 부품실장장치는 각종 전자 제품을 인쇄회로기판에　실장하는 장치로서, 인쇄회로기판은　컨베이어 장치에 의해 부품실장장치 내의 워크존(work zone)으로 이송되며, 워크존 내에서는 이송된 인쇄회로기판에 각종의 부품이 각자의 위치로 실장된다.

최근에는 생산성 향상을 위해 2개의 인쇄회로기판을 동시에 워크존에 진입시키고, 진입된 2개의 인쇄회로기판 상에 동시에 부품을 실장시켜 배출하는 듀얼 레인 방식이 사용되고 있다.

그러나, 싱글 레인 방식과 듀얼 레인 방식의 장단점으로 인해 아직까지 싱글 레인 방식의 장비와 듀얼 레인 방식의 장비가 함께 사용되고 있는 현실이다.

따라서 인라인 방식의 공정에서 싱글 레인 방식의 장비와 듀얼 레인 방식의 장비가 혼용되어 사용되는 경우, 듀얼 레인 방식의 장비는 하나의 레인 만을 사용하게 되어 다른 하나의 레인은 무용지물이 되는 상황이 발생한다.

따라서, 듀얼 레인을 모두 사용하기 위해, 싱글 레인 방식의 장비와 듀얼 레인 방식의 장비 사이에 기판 분배 장치를 추가로 구비하여, 싱글 레인 방식의 장비에서 배출된 기판을 듀얼 레인 방식의 장비의 2개의 레인으로 분배하거나, 듀얼 레인 방식의 장비에서 배출된 기판을 2개의 레인에서 수취하여 싱글 레인 방식의 장비로 공급하는 상황이다.

한국등록특허 제10-1178416호 (2012.08.24 공개)

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판을 전달받는 전처리 장치 또는 기판을 전달할 후처리 장치가 싱글 레인 방식인지 듀얼 레인 방식인지 여부에 따라 워크존의 일측 또는 양측에 모듈화 된 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 선택적으로 결합하여 범용으로 사용 가능한 컨베이어 모듈을 제공한다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈은, 프런트 워크존을 형성하는 한 쌍의 프런트 레일과, 상기 프런트 워크존과 나란히 형성되는 리어 워크존을 형성하는 한 쌍의 리어 레일을 구비하는 워크존 모듈, 상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈 및 듀얼 컨베이어 모듈을 포함하며,

상기 셔틀 컨베이어 모듈은, 상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 셔틀 레일 가이드부 및 상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 셔틀부를 포함하고,

상기 듀얼 컨베이어 모듈은, 상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 연장 레일 가이드부 및 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 적어도 하나의 일측 또는 양측에 결합되며, 상기 연장 레일 가이드에 이동 가능하게 지지되는 연장 레일을 포함한다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈은, 프런트 워크존을 형성하는 한 쌍의 프런트 레일과, 상기 프런트 워크존과 나란히 형성되는 리어 워크존을 형성하는 한 쌍의 리어 레일을 구비하는 워크존 모듈, 상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈 및 상기 워크존 모듈과, 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합된 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈을 제어하는 제어부를 포함한다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명에 따르면, 워크존을 모듈화하고 워크존의 양측에 모듈화된 셔틀 컨베이어와 듀얼 컨베이어를 선택적으로 결합할 수 있어 컨베이어의 활용성을 향상한다.

또한, 전처리 장비와 후처리 장비가 싱글 레인 방식인지 또는 듀얼 레인 방식인지 여부에 따라 장비 전체를 교체하는 등의 번거로움이 해소될 수 있다.

또한, 듀얼 레인 방식의 장비와 싱글 레인 방식의 장비 사이에 별도의 외부 셔틀을 구비할 필요없이 컨베이어 모듈 내에서 워크존 모듈의 일측에 싱글 컨베이어 모듈을 조립하는 것만으로 듀얼 레인 방식의 장비와 싱글 레인 방식의 장비를 연속적으로 사용할 수 있다.

또한, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부의 공용 포트를 이용하여 전원 및 제어 신호를 송수신하므로, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 간소화된다.

또한, 구동 제어가 상이한 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부 내의 동일한 컨트롤러를 이용하여 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 모두 제어할 수 있어, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 더욱 간소화된다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 제4 연장 레일 이송 유닛을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제1 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제2 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제3 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제4 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제5 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 8 및 9는 워크존 모듈의 프런트 레일 및/또는 리어 레일의 이동에 의해 듀얼 컨베이어 모듈의 연장 레일 종동 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 셔틀 구동부에 의해 셔틀부가 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 간격 구동부에 의해 제1 셔틀 레일과 제2 셔틀 레일 사이의 간격이 조정되는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 제어부 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 각 구동부와 워크존 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈(100)은 프런트 워크존을 형성하는 제1 프런트 레일(111)과 제2 프런트 레일(121), 리어 워크존을 형성하는 제1 리어 레일(141)과 제2 리어 레일(131), 그리고 베이스(101)를 포함한다.

제1 프런트 레일(111)은 도 1을 기준으로 전방에 구비되며, 베이스(101)에 고정 설치될 수 있다. 그리고, 제1 리어 레일(141)은 도 1을 기준으로 후방에 구비되어 제1 프런트 레일(111)과 평행하게 베이스(101)에 고정 설치될 수 있다.

제1 프런트 레일(111)과 제1 리어 레일(141) 사이에는 제2 프런트 레일(121)이 제1 프런트 레일(111)과 평행하게 구비되고, 제2 프런트 레일(121)과 제1 리어 레일(141) 사이에는 제2 리어 레일(131)이 제1 리어 레일(141)과 평행하게 구비된다.

제1 프런트 레일(111)과 제2 프런트 레일(121)은 프런트 워크존을 형성하고, 제1 리어 레일(141)과 제2 리어 레일(131)을 리어 워크존을 형성한다. 각 워크존은 적어도 하나의 기판이 이송되며 기판에 대한 처리 작업(예를 들면, 부품 실장 등)이 진행되는 영역이다.

따라서, 제2 프런트 레일(121)과 마주하는 제1 프런트 레일(111)의 내측에는 프런트 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제1 프런트 레일(111)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 프런트 워크존 이송 구동부(112)가 구비될 수 있다.

또한, 제1 프런트 레일(111)과 마주하는 제2 프런트 레일(121)의 내측에는 프런트 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제2 프런트 레일(121)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 프런트 워크존 이송 구동부(122)가 구비될 수 있다.

유사하게, 제1 리어 레일(141)과 마주하는 제2 리어 레일(131)의 내측에는 리어 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제2 리어 레일(131)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 리어 워크존 이송 구동부(132)가 구비될 수 있다.

또한, 제2 리어 레일(131)과 마주하는 제1 리어 레일(141)의 내측에는 리어 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제1 리어 레일(141)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 리어 워크존 이송 구동부(142)가 구비될 수 있다.

이송 유닛(미도시)에 대한 구체적인 실시예에 대해서는 후술한다.

한편, 제2 프런트 레일(121)은 제1 프런트 레일(111)과 제2 리어 레일(131) 사이를 왕복 이동 가능하도록 베이스(101) 상에 설치될 수 있으며, 제2 리어 레일(131)은 제2 프런트 레일(121)과 제1 리어 레일(141) 사이를 왕복 이동 가능하도록 베이스(101) 상에 설치될 수 있다.

이를 위해, 베이스(101) 상에는 제1 프런트 레일(111) 및 제1 리어 레일(141)에 대해 대략 수직하도록 제1 프런트 레일(111)과 제1 리어 레일(141)을 향해 연장 형성되는 가이드(미도시)가 구비될 수 있다. 그리고, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2 프런트 레일(121)에는 프런트 워크존 간격 구동부(123)가 구비되어 제2 프런트 레일(121)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시킬 수 있다. 또한, 제2 리어 레일(131)에는 리어 워크존 간격 구동부(133)가 구비되어 제2 리어 레일(131)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시킬 수 있다.

따라서, 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)의 이동에 의해 프런트 워크존 및/또는 리어 워크존의 폭은 가변될 수 있다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈(200)은 제1 연장 레일(211), 제2 연장 레일(221), 제3 연장 레일(231), 제4 연장 레일(241) 및 연장 레일 가이드부(201)를 포함한다.

제1 연장 레일(211)은 도 1을 기준으로 전방에 구비되며, 연장 레일 가이드부(201)에 고정 설치될 수 있다. 그리고, 제4 연장 레일(241)은 도 1을 기준으로 후방에 구비되어 제1 연장 레일(211)과 평행하게 연장 레일 가이드부(201)에 고정 설치될 수 있다.

제1 연장 레일(211)과 제4 연장 레일(241) 사이에는 제2 연장 레일(221)이 제1 연장 레일(211)과 평행하게 구비되고, 제2 연장 레일(221)과 제4 연장 레일(241) 사이에는 제3 연장 레일(231)이 제4 연장 레일(241)과 평행하게 구비된다.

따라서, 제1 연장 레일(211)과 제2 연장 레일(221)은 제1 기판 이송 영역을 형성하고, 제3 연장 레일(231)과 제4 연장 레일(241)은 제2 기판 이송 영역을 형성한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제1 기판 이송 영역은 프런트 워크존과 대응하도록 구비될 수 있으며, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 입구측에 설치되는 경우에는 제1 기판 이송 영역을 통해 기판을 프런트 워크존으로 이송하고, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 출구측에 설치되는 경우에는 제1 기판 이송 영역을 통해 기판을 프런트 워크존으로부터 수취할 수 있다.

이를 위해 제2 연장 레일(221)과 마주하는 제1 연장 레일(211)의 내측에는 제1 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제1 연장 레일(211)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 연장 레일 이송 구동부(212)가 구비될 수 있다.

또한, 제1 연장 레일(211)과 마주하는 제2 연장 레일(221)의 내측에는 제1 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제2 연장 레일(221)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 연장 레일 이송 구동부(222)가 구비될 수 있다.

한편, 제2 기판 이송 영역은 리어 워크존과 대응하도록 구비될 수 있으며, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 입구측에 설치되는 경우에는 제2 기판 이송 영역을 통해 기판을 리어 워크존으로 이송하고, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 출구측에 설치되는 경우에는 제2 기판 이송 영역을 통해 기판을 리어 워크존으로부터 수취할 수 있다.

이를 위해 제4 연장 레일(241)과 마주하는 제3 연장 레일(231)의 내측에는 제2 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제3 연장 레일(231)에는 이송 유닛을 구동하는 제3 연장 레일 이송 구동부(232)가 구비될 수 있다.

또한, 제3 연장 레일(231)과 마주하는 제4 연장 레일(241)의 내측에는 제2 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제4 연장 레일(241)에는 이송 유닛을 구동하는 제4 연장 레일 이송 구동부(242)가 구비될 수 있다.

도 2는 제4 연장 레일 이송 유닛을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제4 연장 레일(241)의 이송 유닛은, 구동 롤러(244), 제1 종동 롤러(245), 제2 종동 롤러(246), 동력 전달 벨트(247), 기판 이송 벨트(248)를 포함한다.

동력 전달 벨트(247)는 구동 롤러(244)와 제1 종동 롤러(245)를 연결하는 폐루프를 형성하도록 구비되고, 기판 이송 벨트(248)는 제1 종동 롤러(245)와 제2 종동 롤러(246)를 연결하는 폐루프를 형성하도록 구비된다.

구동 롤러(244)는 제4 연장 레일 이송 구동부(242)의 회전축과 연결되어 동력 전달 벨트(247)를 통해 제4 연장 레일 이송 구동부(242)의 회전력을 제1 종동 롤러(245)에 전달한다. 제1 종동 롤러(245)가 회전함에 따라 기판 이송 벨트(248)는 제1 종동 롤러(245)와 제2 종동 롤러(246)에 의해 지지되며 폐루프를 따라 회전하게 된다.

기판의 타측은 기판 이송 벨트(248)의 상부면에 의해 지지되며 기판 진입 영역(10)을 따라 이송되고, 제4 연장 레일 이송 구동부(242)가 구동 롤러(244)를 회전 시키는 방향에 따라 기판의 이송 방향은 전환될 수 있다.

상술한 제4 연장 레일(241)의 이송 유닛은 기판의 타측을 지지하며 이송하기 위한 하나의 실시예이며, 추가적인 종동 롤러를 이용해 구동 롤러(244), 제1 종동 롤러(245) 및 제2 종동 롤러(246)를 하나의 폐루프로 연결하는 벨트 구조가 사용되는 등의 다른 실시예가 사용될 수 있다.

제1 프런트 레일(111), 제2 프런트 레일(121), 제1 리어 레일(141). 제2 리어 레일(131), 제1 연장 레일(211), 제2 연장 레일(221) 및 제3 연장 레일(231)의 이송 유닛은 전술한 제4 연장 레일(241)의 이송 유닛과은 유사하게 구성될 수 있으므로 중복 설명을 방지하기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

한편, 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 제2 연장 레일(221) 및 제3 연장 레일(231)은 각각 워크존 모듈(100)의 제2 프런트 레일(121) 및 제2 리어 레일(131)과 결합될 수 있다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제1 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 제3 연장 레일(231)의 일단에는 결합 철부(凸部)(233)가 형성되고, 제2 리어 레일(131)의 단부에는 결합 철부(凸部)(233)와 대응하는 결합 요부(凹部)(134)가 형성될 수 있다.

따라서, 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 설치 과정에서 제3 연장 레일(231)은 결합 철부(凸部)(233)가 결합 요부(凹部)(134)에 삽입되도록 조립되어, 제2 리어 레일(131)과 일직선을 형성하도록 결합될 수 있다.

듀얼 컨베이어 모듈(200)은 워크존 모듈(100)의 양측에 모두 결합될 수 있으므로, 결합 요부(凹部)(134)는 제 제2 리어 레일(131)의 양단에 형성되는 것이 바람직하다.

도시되진 않았지만, 제3 연장 레일(231)의 일단에는 복수 개의 결합 철부(凸部)(233)가 형성될 수 있고, 제2 리어 레일(131)의 단부에는 복수 개의 결합 철부와 대응하는 복수 개의 결합 요부(凹部)(134)가 형성될 수 있다.

또는 제3 연장 레일(231)의 일단에는 적어도 하나의 결합 요부(凹部)(134)가 형성되고, 제2 리어 레일(131)의 단부에는 복수 개의 결합 철부와 대응하는 복수 개의 결합 철부(凸部)(233)가 형성되어 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)이 결합될 수 있다.

한편, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제2 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 듀얼 컨베이어 모듈(200)은 제3 연장 레일(231)을 제2 리어 레일(131)에 결합하는 연결부재(251) 및 커버부재(252) 등을 더 포함할 수 있다.

본 실시예에서 제2 리어 레일(131)의 단부에는 연결부재 삽입홈(137) 및 커버부재 설치홈(136)이 형성된다.

리어 워크존을 통해 이동되는 기판과의 간섭을 피하기 위해, 연결부재 삽입홈(137) 및 커버부재 설치홈(136)은 리어 워크존의 외측을 향해 형성될 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 커버부재 설치홈(136)은 제2 리어 레일(131)의 전면으로부터 1차적으로 함몰 형성되고, 연결부재 삽입홈(137)은 커버부재 설치홈(136)과 단차를 형성하며 커버부재 설치홈(136)으로부터 2차적으로 함몰 형성된다. 커버부재 설치홈(136)의 바닥면에는 후술하는 커버부재(252)를 고정하기 위한 나사(253a)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하다.

듀얼 컨베이어 모듈(200)은 워크존 모듈(100)의 양측에 모두 결합될 수 있으므로, 연결부재 삽입홈(137) 및 커버부재 설치홈(136)은 제2 리어 레일(131)의 양단에 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 제3 연장 레일(231)의 단부에는 연결부재 설치홈(234)이 형성된다. 여기서 연결부재 설치홈(234)이 형성되는 제3 연장 레일(231)의 단부는 제2 리어 레일(131)과 마주하는 단부를 의미한다.

연결부재 설치홈(234)의 바닥면에는 연결부재(251)를 고정하기 위한 나사(253b, 253c)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 구비되는 경우, 제3 연장 레일(231)은 단부에 구비된 연결부재(251)를 제2 리어 레일(131)의 연결부재 삽입홈(137)에 위치시켜서, 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)을 일렬로 정렬하고, 커버부재(252)를 커버 설치홈(136)에 설치하고 나사(253a)를 이용해 커버부재(252)를 제2 리어 레일(131)에 고정하여 연결부재(251)를 측방 지지하고 동시에 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)을 결합할 수 있다.

또는 커버부재(252)는 제2 리어 레일(131)에 고정된 상태로 설치되고, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 구비되는 경우, 제3 연장 레일(231)은 단부에 구비된 연결부재(251)를 제2 리어 레일(131)의 연결부재 삽입홈(137)으로 삽입하여 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)을 결합할 수 있다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제3 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 전술한 제2실시예와 달리 본 실시예에서는, 제3 연장 레일(231)의 단부에 연결부재 설치홈(234)이 형성되지 않는다. 즉, 본 실시예는 연결부재(251)가 제3 연장 레일(231)의 전면에 돌출되도록 설치되는 예이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제4 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 전술한 제2실시예와 달리 본 실시예에서는 제2 리어 레일(131)의 단부에 연결부재 삽입홈(137)만 형성되고 커버부재 설치홈(136)이 형성되지 않는다.

본 실시예에는 별도의 커버부재(252) 없이 연결부재(251)만으로 제2 리어 레일(131)과 제3 연장 레일(231)을 결합한다. 이를 위해 연결부재 삽입홈(137)의 바닥면에는 나사(253a)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되어 수시로 연결부재(251)를 고정/제거할 수 있도록 구성됨이 바람직하다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제5 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 전술한 제4실시예와 달리 본 실시예에서는 제2 리어 레일(131)의 단부에 연결부재 삽입홈(137)이 형성되지 않고, 제3 연장 레일(231)의 단부에 연결부재 설치홈(234)이 형성되지 않는다.

즉, 본 실시예는 연결부재(251)가 제2 리어 레일(131)과 제3 연장 레일(231)의 전면에 돌출되도록 설치되는 예이다. 본 실시예 역시 연결부재 삽입홈(137)의 바닥면에는 나사(253a)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되어 수시로 연결부재(251)를 고정/제거할 수 있도록 구성됨이 바람직하다.

도 3 내지 도 7을 참고하여 제2 리어 레일(131)과 제3 연장 레일(231) 결합 구조에 대한 다양한 실시예들에 대해 설명하였지만, 제2 연장 레일(221)과 제2 프런트 레일(121) 역시 유사한 방법으로 결합될 수 있다.

또한, 제1 연장 레일(211)과 제1 프런트 레일(111) 및 제4 연장 레일(241)과 제1 리어 레일(141) 역시 유사한 방법으로 결합될 수 있다.

프런트 워크존 및/또는 리어 워크존의 폭이 가변되도록 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)이 이동 가능하게 구비되는 경우에는, 제2 연장 레일(221)과 제3 연장 레일(231)은 연장 레일 가이드부(201)를 따라 제1 연장 레일(211)과 제4 연장 레일(241) 사이를 왕복 이동 가능하게 설치될 수 있다.

제2 연장 레일(221)과 제3 연장 레일(231)은 각각 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)에 결합되어 왕복 이동을 위한 별도의 구동원이 없이 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)의 이동에 종동 이동할 수 있다.

도 8 및 9는 워크존 모듈의 프런트 레일 및/또는 리어 레일의 이동에 의해 듀얼 컨베이어 모듈의 연장 레일 종동 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 8은 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)이 도 1에 도시된 상태에서 각각 제1 프런트 레일(111)과 제1 리어 레일(141) 방향으로 이동한 상태를 도시한 것이고, 도 9는 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)이 도 1에 도시된 상태에서 제1 리어 레일(141) 방향으로 이동한 상태를 도시한 것이다.

프런트 워크존 및 리어 워크존에서 처리하는 기판이 소형 기판인 경우에는, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판의 폭에 대응하여 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)을 이동할 수 있다.

또한, 프런트 워크존에서 단일의 대형 기판을 처리하거나, 리어 워크존에서는 소형의 기판을 처리하고 동시에 프런트 워크존에서는 대형의 기판을 처리하는 경우에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 기판의 폭에 대응하여 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)을 이동할 수 있다.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)의 이동에 따라 제2 연장 레일(221)과 제3 연장 레일(231)이 함께 이동하여 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 제1 기판 이송 영역과 제2 기판 이송 영역이 각각 프런트 워크존과 리어 워크존의 폭에 대응하게 된다.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 대해 설명한다.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 10에 도시된 워크존 모듈(100)은 전술하였으므로 이에 대한 설명은 생략한다.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 셔틀부 및 셔틀 레일 가이드부(301)를 포함한다. 셔틀부는 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)를 포함하며, 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)은 셔틀 레일 가이드부(301)를 따라 이동 가능하게 구비된다.

제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321)은 워크존 모듈(100)의 제1 프런트 레일(111), 제2 프런트 레일(121), 제1 리어 레일(141) 및 제2 리어 레일(131)과 평행하게 구비되고, 도 10을 기준으로 제1 셔틀 레일(311)은 제2 셔틀 레일(321)의 전방에 위치한다.

제1 셔틀 레일(311)은 제1 프런트 레일(111) 등과 유사하게, 제2 셔틀 레일(321)과 마주하는 내측에 이송 유닛(미도시)이 구비되어, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송한다. 이를 위해 제1 셔틀 레일(311)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 셔틀 레일 이송 구동부(312)가 구비될 수 있다.

또한, 제2 셔틀 레일(321)은 제1 셔틀 레일(311)과 마주하는 내측에 이송 유닛(미도시)이 구비되어, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송한다. 이를 위해 제2 셔틀 레일(321)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 셔틀 레일 이송 구동부(322)가 구비될 수 있다.

제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)의 이송 유닛은 전술한 제4 연장 레일 이송 유닛과 유사하게 구성될 수 있으므로 중복 설명을 방지하기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 셔틀 구동부(332) 및 간격 구동부(342)를 포함할 수 있다.

도 11은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 셔틀 구동부에 의해 셔틀부가 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 11에 도시된 바와 같이, 셔틀 구동부(332)는 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)이 서로 간의 간격을 유지한 채 프런트 워크존의 측부와 리어 워크존의 측부를 이동하도록 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)을 구동한다.

즉, 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 워크존 모듈(100)의 입구측에 설치되는 경우에는, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 기판을 수취한 이후, 셔틀 구동부(332)가 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)을 이동시켜 수취된 기판을 프런트 워크존 또는 리어 워크존으로 분배한다.

또한, 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 워크존 모듈(100)의 출구측에 설치되는 경우에는, 셔틀 구동부(332)가 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)을 프런트 워크존과 리어 워크존 사이를 왕복 이동시키며 프런트 워크존 및 리어 워크존에서 처리된 기판을 순차적으로 수취한다.

도 12는 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 간격 구동부에 의해 제1 셔틀 레일과 제2 셔틀 레일 사이의 간격이 조정되는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 12에 도시된 바와 같이, 간격 구동부(342)는 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이의 간격을 프런트 워크존 또는 리어 워크존의 간격에 대응하도록 조절한다. 이를 위해 간격 구동부(342)는 제2 셔틀 레일(321)에 구비되어, 제1 셔틀 레일(311)과는 별도로 제2 셔틀 레일(321)을 셔틀 레일 가이드부(301)를 따라 이동시켜 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이의 간격을 가변시킨다. 또는 간격 구동부(342)는 제1 셔틀 레일(311)에 구비되어 동일한 기능을 할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 워크존 모듈(100)과 독립적인 구성을 가지고 있다. 따라서, 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 간편하게 조립 또는 제거될 수 있다.

지금까지 워크존 모듈(100)의 양측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 구비되거나 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 구비되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 필요에 따라 워크존 모듈(100)의 일측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 구비하고 타측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 구비하는 경우도 가능하다.

도 13은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.

도 13을 기준으로 워크존 모듈(100)의 좌측을 기판이 공급되는 입구측이라 하고, 워크존 모듈(100)의 우측을 기판이 배출되는 출구측이라 할 때,

워크존 모듈(100)의 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되고, 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합될 수 있다.

이와 같은 배치는, 워크존 모듈(100)로 기판을 공급하는 전처리 장비(미도시)가 싱글 레인 방식이고, 워크존 모듈(100)이 기판을 공급할 후처리 장비(미도시)가 듀얼 레인 방식인 경우에 활용될 수 있다.

즉, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 결합하여 전처리 장비가 싱글 레일 방식으로 제공하는 기판을 수취하여 워크존 모듈(100)의 프런트 워크존과 리어 워크존으로 공급하고, 워크존 모듈(100)의 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 결합하여 워크존 모듈(200)에서 프런트 워크존 및 리어 워크존을 통해 처리된 기판을 듀얼 레인 방식으로 후처리 장비로 제공하여 공정의 연계성을 확보할 수 있다.

도 14는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.

도 14를 기준으로 워크존 모듈(100)의 좌측을 기판이 공급되는 입구측이라하고, 워크존 모듈(100)의 우측을 기판이 배출되는 출구측이라 할 때, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되고, 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합될 수 있다.

이와 같은 배치는, 워크존 모듈(100)로 기판을 공급하는 전처리 장비(미도시)가 듀얼 레인 방식이고, 워크존 모듈(100)이 기판을 공급할 후처리 장비(미도시)가 싱글 레인 방식인 경우에 활용될 수 있다.

즉, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 결합하여 전처리 장비가 듀얼 레일 방식으로 제공하는 기판을 듀얼 레인 방식으로 수취하고, 워크존 모듈(100)의 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 결합하여 워크존 모듈(100)에서 프런트 워크존 및 리어 워크존을 통해 처리된 기판을 싱글 레인 방식으로 후처리 장비로 제공하여 공정의 연계성을 확보할 수 있다.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈/셔틀 컨베이어 모듈의 선택적 결합에 따른 각 모듈의 제어부 연결에 대해 설명한다.

도 15는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 제어부 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 15에 도시된 바와 같이, 제어부(400)는 워크존 제어부(410), 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)를 포함한다.

워크존 모듈(100)은 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)과 달리 고정식으로 설치되므로, 워크존 제어부(410)와 워크존 모듈(100)을 연결하는 워크존 제어 라인(410a) 역시 고정식으로 구성된다. 워크존 제어 라인(410a)은 워크존 모듈(100)에 포함된 각 구동부(112, 122, 132, 142, 123, 133)에 대한 전원 및 제어 신호를 제공하며, 각 구동부(112, 122, 132, 142, 123, 133)와의 연결 상태를 유지한다.

반면, 워크존 모듈(100)의 입구측 및 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)가 선택적으로 결합되므로, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)가 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300) 중 어느 하나와 고정식으로 연결될 수 없다.

듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 구성을 워크존 모듈(100)과 독립적으로 구성하여 모듈화하였지만, 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 작동하기 위한 전원 공급 케이블 및 데이터 케이블 등을 각 모듈(200, 300)마다 개별적으로 구성한다면 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 워크존 모듈(100)에 조립/분해하는 과정이 번거롭게 될 수 있다.

따라서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 각각 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 전원 및 제어 신호를 제공하는 포트(420a, 430a)를 각각 구비한다. 포트(420a, 430a)는 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 공용으로 사용할 수 있는 것일 수 있다.

그리고, 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 포트(420a, 430a)에 대응하는 듀얼 컨베이어 포트(202) 및 셔틀 컨베이어 포트(302)를 각각 구비하여, 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 결합 시에 포트(420a, 430a)와 연결된다.

따라서, 도 15에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측 및 출구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 결합되는 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 출구측에 결합되는 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결한다.

입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 입구측 및 출구측에 결합된 것을 인식하고 듀얼 컨베이어 모듈(200)에 적합한 제어 신호를 생성할 수 있다.

또는, 사용자가 현재 모드가 듀얼-워크존-듀얼 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.

도 16은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 16에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측 및 출구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 출구측에 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결한다.

입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 입구측 및 출구측에 결합된 것을 인식하고 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 적합한 제어 신호를 생성할 수 있다.

또는, 사용자가 현재 모드가 셔틀-워크존-셔틀 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.

도 17은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 17에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되고, 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결한다.

입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되고 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합된 것을 인식하고 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.

또는, 사용자가 현재 모드가 셔틀-워크존-듀얼 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.

도 18은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 18에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되고, 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결한다.

입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되고 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합된 것을 인식하고 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.

또는, 사용자가 현재 모드가 듀얼-워크존-셔틀 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.

도 19는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 각 구동부와 워크존 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 19에 도시된 바와 같이, 워크존 제어부(410)는 제1 워크존 컨트롤러(412), 제2 워크존 컨트롤러(411), 제3 워크존 컨트롤러(414), 제4 워크존 컨트롤러(415), 제5 워크존 컨트롤러(413) 및 제6 워크존 컨트롤러(416)를 포함한다.

6개의 워크존 컨트롤러(411, 412, 413, 414, 415, 416)는 워크존 모듈(100)의 6개의 구동부(112, 122, 132, 142, 123, 133)를 각각 제어할 수 있다.

즉, 제1 워크존 컨트롤러(412)는 제1 프런트 워크존 이송 구동부(112)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제2 워크존 컨트롤러(411)는 제2 프런트 워크존 이송 구동부(122)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 프런트 워크존 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다.

또한, 제3 워크존 컨트롤러(414)는 제2 리어 워크존 이송 구동부(132)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제4 워크존 컨트롤러(415)는 제1 리어 워크존 이송 구동부(142)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 리어 워크존 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다.

또한, 제5 워크존 컨트롤러(413)는 프런트 워크존 간격 구동부(123)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제2 프런트 레일(121)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시키고, 프런트 워크존의 폭을 조절한다.

또한, 제6 워크존 컨트롤러(416)는 리어 워크존 간격 구동부(133)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제2 리어 레일(131)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시키고, 리어 워크존의 폭을 조절한다.

도 20은 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 21은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 20 및 도 21에 도시된 바와 같이, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 제1 컨트롤러(421, 431), 제2 컨트롤러(422, 432), 제3 컨트롤러(423, 433) 및 제4 컨트롤러(424, 434)를 포함한다.

4개의 컨트롤러(421(431), 422(431), 423(433), 424(434))는 포트(420a, 430a)를 통해 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 4개의 구동부(212, 222, 232, 242)와 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 4개의 구동부(312, 322, 332, 342)를 각각 제어할 수 있다.

즉, 도 20에 도시된 바와 같이, 입구모듈 제어부(420) 또는 출구모듈 제어부(430)에 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 연결된 경우에는, 제3 컨트롤러(423(433))는 제1 연장 레일 이송 구동부(212)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제1 컨트롤러(421(431))는 제2 연장 레일 이송 구동부(222)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제1 기판 이송 영역 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다.

또한, 제2 컨트롤러(422(432))는 제3 연장 레일 이송 구동부(232)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제4 컨트롤러(424(434))는 제4 연장 레일 이송 구동부(242)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제2 기판 이송 영역 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다.

한편, 도 21에 도시된 바와 같이, 입구모듈 제어부(420) 또는 출구모듈 제어부(430)에 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 연결된 경우에는, 제1 컨트롤러(421(431))는 제1 셔틀 레일 이송 구동부(312)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제2 컨트롤러(422(432))는 제2 셔틀 레일 이송 구동부(322)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다.

또한, 제3 컨트롤러(423(433))는 셔틀 구동부(332)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)가 프런트 워크존과 리어 워크존을 왕복하도록 제어하고, 제4 컨트롤러(424(434))는 간격 구동부(342)에 전원을 공급하고 구동을 제어하여, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이의 간격을 프런트 워크존 또는 리어 워크존의 간격에 대응하도록 제어한다.

제1 컨트롤러(421(431)) 및 제2 컨트롤러(422(432))는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 제어하는 경우와 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 제어하는 경우에 모두 기판을 이송하는 구동부를 제어한다. 그러나, 제3 컨트롤러(423(433)) 및 제4 컨트롤러(424(434))는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 제어하는 경우에는 기판을 이송하는 구동부를 제어하지만, 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 제어하는 경우에는 제1 셔틀 레일(311) 및/또는 제2 셔틀 레일(321)을 이동시키는 셔틀 구동부(332) 와 간격 구동부(342)을 각각 제어한다.

따라서, 제3 컨트롤러(423(433)) 및 제4 컨트롤러(424(434))는 기판을 이송하는 구동부 및 레일(311, 321)을 이동시키는 구동부를 범용으로 제어할 수 있도록 구성될 수 있다.

설명의 편의를 위해 제1 컨트롤러(421, 431), 제2 컨트롤러(422, 432), 제3 컨트롤러(423, 433) 및 제4 컨트롤러(424, 434)와 각 구동부(212, 222, 232, 242, 312, 322, 332, 342)의 대응관계를 구체화하였으나, 제1 컨트롤러(421, 431), 제2 컨트롤러(422, 432), 제3 컨트롤러(423, 433) 및 제4 컨트롤러(424, 434)와 각 구동부(212, 222, 232, 242, 312, 322, 332, 342)의 대응관계는 설계 편의에 따라 변화할 수 있다.

상술한 구성에 의해 프런트 워크존과 리어 워크존을 갖는 듀얼 레인 방식의 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합 가능한 모듈화된 셔틀 컨베이어 모듈(300)과 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 제공하여, 컨베이어를 이용한 장비의 활용의 가능성을 확장할 수 있다.

즉, 워크존 모듈(100)이 포함되는 장비로 기판을 공급하는 전처리 장비가 싱글 레인 방식으로 기판을 제공하는 경우에는 워크존 모듈(100)의 입구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 장착하고, 전처리 장비가 듀얼 레인 방식으로 기판을 제공하는 경우에는 워크존 모듈(100)의 입구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 장착하며, 워크존 모듈(100)이 포함되는 장비가 기판을 제공해야 하는 후처리 장비가 싱글 레인 방식으로 운영되는 경우에는 워크존 모듈(100)의 출구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 장착하고, 후처리 장비가 듀얼 레인 방식으로 운영되는 경우에는 워크존 모듈(100)의 출구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 장착하는 것만으로 공정의 연계성을 확보할 수 있다.

또한, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부의 공용 포트를 이용하여 전원 및 제어 신호를 송수신하므로, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 간소화된다.

또한, 구동 제어가 상이한 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부 내의 동일한 컨트롤러를 이용하여 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 모두 제어할 수 있어, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 더욱 간소화된다.

따라서 본 발명에 따른 컨베이어 모듈에 의해 전처리 장비와 후처리 장비가 싱글 레인 방식인지 또는 듀얼 레인 방식인지 여부에 따라 장비 전체를 교체하는 등의 번거로움이 해소될 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

10: 기판 진입 영역 100: 워크존 모듈
101: 베이스 111: 제1 프런트 레일
121: 제2 프런트 레일 131: 제2 리어 레일
122: 제2 프런트 워크존 이송 구동부
123: 프런트 워크존 간격 구동부
124, 125, 134, 135: 결합 요부
132: 제2 리어 워크존 이송 구동부
136: 커버부재 설치홈 137: 연결부재 삽입홈
141: 제1 리어 레일 142: 제1 리어 워크존 이송 구동부
200: 듀얼 컨베이어 모듈 201: 연장 레일 가이드부
202: 듀얼 컨베이어 포트 211: 제1 연장 레일
212: 제1 연장 레일 이송 구동부 221: 제2 연장 레일
222: 제2 연장 레일 이송 구동부 223, 233: 결합 철부
231: 제3 연장 레일 232: 제3 연장 레일 이송 구동부
234: 연결부재 설치홈 241: 제4 연장 레일
242: 제4 연장 레일 이송 구동부 244: 구동 롤러
245: 제1 종동 롤러 246: 제2 종동 롤러
247: 동력 전달 벨트 248: 기판 이송 벨트
251: 연결부재 252: 커버부재
253a, 253b, 253c: 나사 300: 셔틀 컨베이어 모듈
301: 셔틀 레일 가이드부 302: 셔틀 컨베이어 포트
311: 제1 셔틀 레일 312: 제1 셔틀 레일 이송 구동부
312: 제2 셔틀 레일 322: 제2 셔틀 레일 이송 구동부
332: 셔틀 구동부 342: 간격 구동부
400: 제어부 410: 워크존 제어부
410a: 워크존 제어 라인 420: 입구모듈 제어부
420a, 430a: 포트 430: 출구모듈 제어부

Claims (20)

1. 프런트 워크존을 형성하는 한 쌍의 프런트 레일과, 상기 프런트 워크존과 나란히 형성되는 리어 워크존을 형성하는 한 쌍의 리어 레일을 구비하는 워크존 모듈;
   상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈 및 듀얼 컨베이어 모듈을 포함하며,
   상기 셔틀 컨베이어 모듈은,
   상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 셔틀 레일 가이드부 및
   상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 셔틀부를 포함하고,
   상기 듀얼 컨베이어 모듈은,
   상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 연장 레일 가이드부 및
   상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 적어도 하나의 일측 또는 양측에 결합되며, 상기 연장 레일 가이드에 이동 가능하게 지지되는 연장 레일을 포함하는, 컨베이어 모듈.
2. 제1항에 있어서,
   상기 셔틀부는,
   상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 제1 셔틀 레일;
   상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하며 상기 제1 셔틀 레일과 평행하게 구비되는 제2 셔틀 레일 및
   상기 제1 셔틀 레일 및 상기 제2 셔틀 레일을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 측부로 이동시키는 셔틀 구동부를 포함하는, 컨베이어 모듈.
3. ◈청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

   제2항에 있어서,
   상기 셔틀부는, 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 조절하는 간격 구동부를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.
4. ◈청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

   제3항에 있어서,
   상기 간격 구동부는 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 폭에 대응하여 조절하는, 컨베이어 모듈.
5. ◈청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

   제3항에 있어서,
   상기 간격 구동부는 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이로 진입하는 기판의 폭에 대응하여 조절하는, 컨베이어 모듈.
6. 제1항에 있어서,
   상기 듀얼 컨베이어 모듈의 상기 연장 레일은 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 상기 연장 레일과 결합되는 레일과 일직선 상에 위치하도록 결합되는, 컨베이어 모듈.
7. ◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

   제6항에 있어서,
   상기 연장 레일은 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 상기 연장 레일과 결합되는 레일의 이동에 의해 종동 이동하는, 컨베이어 모듈.
8. ◈청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

   제6항에 있어서,
   상기 연장 레일의 일단에는 적어도 하나의 결합 철부(凸部)(233)가 형성되고, 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일의 단부에는 상기 결합 철부와 대응하는 적어도 하나의 결합 요부(凹部)(134)가 형성되고, 상기 결합 요부와 상기 결합 철부의 맞물림에 의해 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일 중 적어도 하나와 상기 연장 레일이 결합되는, 컨베이어 모듈.
9. ◈청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

   제6항에 있어서,
   상기 듀얼 컨베이어 모듈은,
   상기 연장 레일을 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일의 일측 또는 양측 중 적어도 하나에 고정하는 연결 부재를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.
10. ◈청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

    제9항에 있어서,
    상기 연결 부재의 일단은 상기 연장 레일을 지지하고, 상기 연결 부재의 타단은 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일 중 상기 연장 레일과 결합되는 레일을 지지하는, 컨베이어 모듈.
11. 제1항에 있어서,
    상기 워크존 모듈의 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일을 제어하고,
    상기 워크존 모듈에 결합된 상기 셔틀 컨베이어 모듈의 상기 셔틀부 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈의 연장 레일 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.
12. ◈청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

    제11항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합되는 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈에 전원 및 제어 신호를 제공하는 포트를 포함하고,
    상기 셔틀 컨베이어 모듈을 상기 포트와 연결되는 셔틀 컨베이어 포트를 더 포함하고,
    상기 듀얼 컨베이어 모듈은 상기 포트와 연결되는 듀얼 컨베이어 포트를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.
13. ◈청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

    제11항에 있어서,
    상기 셔틀부는,
    상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 제1 셔틀 레일;
    상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하며 상기 제1 셔틀 레일과 평행하게 구비되는 제2 셔틀 레일;
    상기 제1 셔틀 레일에 구비되어, 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제1 셔틀 레일 이송 구동부;
    상기 제2 셔틀 레일에 구비되어, 상기 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제2 셔틀 레일 이송 구동부;
    상기 제1 셔틀 레일 및 상기 제2 셔틀 레일을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 측부로 이동시키는 셔틀 구동부 및
    상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 조절하는 간격 구동부를 포함하고,
    상기 제어부는, 제1 컨트롤러, 제2 컨트롤러, 제3 컨트롤러 및 제4 컨트롤러를 포함하며,
    상기 셔틀 컨베이어 모듈이 상기 워크존 모듈에 결합되는 때에는,
    상기 제1 컨트롤러는 상기 제1 셔틀 레일 이송 구동부를 제어하고, 상기 제2 컨트롤러는 상기 제2 셔틀 레일 이송 구동부를 제어하고, 상기 제3 컨트롤러는 상기 셔틀 구동부를 제어하고, 상기 제4 컨트롤러는 상기 간격 구동부를 제어하는, 컨베이어 모듈.
14. ◈청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈

    제13항에 있어서,
    상기 듀얼 컨베이어 모듈의 상기 연장 레일은,
    상기 한 쌍의 프런트 레일에 결합되는 제1 연장 레일과 제2 연장 레일;
    상기 제1 연장 레일에 구비되어, 상기 제1 연장 레일과 상기 제2 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제1 연장 레일 이송 구동부;
    상기 제2 연장 레일에 구비되어, 상기 제1 연장 레일과 상기 제2 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제2 연장 레일 이송 구동부;
    상기 한 쌍의 리어 레일에 결합되는 제3 연장 레일과 제4 연장 레일;
    상기 제3 연장 레일에 구비되어, 상기 제3 연장 레일과 상기 제4 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제3 연장 레일 이송 구동부 및
    상기 제4 연장 레일에 구비되어, 상기 제3 연장 레일과 상기 제4 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제4 연장 레일 이송 구동부를 포함하고,
    상기 듀얼 컨베이어 모듈이 상기 워크존 모듈에 결합되는 때에는,
    상기 제1 컨트롤러, 상기 제2 컨트롤러, 상기 제3 컨트롤러 및 상기 제4 컨트롤러 중, 어느 하나가 상기 제1 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 다른 하나가 상기 제2 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 또 다른 하나가 상기 제3 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 또 다른 하나가 상기 제4 연장 레일 이송 구동부를 제어하는, 컨베이어 모듈.
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