KR101907046B1 - 유체 제어 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 라인 지지 부재의 위치 결정을 용이하게 함으로써, 조립 시간의 단축화를 가능하게 하고, 유체 제어 기기를 지지하는 부분의 높이의 증가를 억제할 수 있는 유체 제어 장치를 제공한다.
이 유체 제어 장치에 있어서, 베이스 부재(2)는, 각각 소요 간격으로 나사 구멍이 형성된 제1 가로 프레임 부재(11) 및 제2 가로 프레임 부재(12)와 이들에 직교하는 제1 세로 프레임 부재(13) 및 제2 세로 프레임 부재(14)에 의해 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 각 라인 지지 부재(3)는, 절곡형으로 형성된 부착부(22)가 제1 가로 프레임 부재(11)의 외면에 중첩되고, 수나사 부재(10)가 부착부(22)의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재(11)의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제1 가로 프레임 부재(11)에 고정되어 있다.
이 유체 제어 장치에 있어서, 베이스 부재(2)는, 각각 소요 간격으로 나사 구멍이 형성된 제1 가로 프레임 부재(11) 및 제2 가로 프레임 부재(12)와 이들에 직교하는 제1 세로 프레임 부재(13) 및 제2 세로 프레임 부재(14)에 의해 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 각 라인 지지 부재(3)는, 절곡형으로 형성된 부착부(22)가 제1 가로 프레임 부재(11)의 외면에 중첩되고, 수나사 부재(10)가 부착부(22)의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재(11)의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제1 가로 프레임 부재(11)에 고정되어 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것으로서, 특히 복수 개의 유체 제어 기기가 집적화되어 형성되는 유체 제어 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에서 사용되는 유체 제어 장치에 있어서는, 복수 개의 유체 제어 기기가 직렬형으로 배치되어 파이프나 조인트를 통하지 않고 접속됨으로써 형성된 복수 개의 라인을 베이스 부재 상에 병렬형으로 설치하는 집적화가 진행되고 있다. 집적화 유체 제어 장치는, 하우징 내에 수직 상태로 설치되는 경우가 많으며, 특허문헌 1에는 이러한 유체 제어 장치로서, 복수 개의 유체 제어 기기가 하나의 가동 레일(라인 지지 부재)에 부착됨으로써 형성된 라인을 복수 개 갖고 있고, 복수 개의 라인의 각 가동 레일이 이들과 직교하는 방향을 향한 고정 레일(베이스 부재)에 슬라이딩 가능하게 부착되어 있는 것이 개시되어 있다.
상기 종래의 유체 제어 장치에 의하면, 복수 개의 유체 제어 기기를 가동 레일에 미리 조립 장착해 둠으로써, 하우징 내의 작업으로서는, 가동 레일을 고정 레일에 부착하기만 하면 되고, 라인의 증설(변경을 포함함)을 용이하게 행할 수 있다는 이점을 가지고 있다.
그러나, 가동 레일의 위치 결정과 체결 방법에 있어서, 위치 결정과 체결을 동시에 수행하기 때문에, 가동 레일(라인 지지 부재)을 위치 결정하는 데 시간이 걸린다는 문제가 있었다.
또한, 가동 레일의 단부가 고정 레일에 중첩되므로, 유체 제어 기기를 지지하는 부분의 높이가 가동 레일(라인 지지 부재)의 높이+고정 레일(베이스 부재)의 높이로 되고, 여기에 유체 제어 기기를 추가한 유체 제어 장치의 높이가 높은 것이 되어, 이를 수납하기 위한 스페이스(하우징)가 커진다는 문제도 있었다.
본 발명의 목적은, 라인 지지 부재의 위치 결정을 용이하게 함으로써, 조립 시간의 단축화를 가능하게 하고, 유체 제어 기기를 지지하는 부분의 높이의 증가를 억제할 수 있는 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 복수 개의 유체 제어 기기가 하나의 라인 지지 부재에 부착됨으로써 형성된 라인을 복수 개 갖고 있고, 각 라인 지지 부재가 서로 평행하게 되도록 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착되어 있는 유체 제어 장치에 있어서, 베이스 부재는, 각각 소요 간격으로 나사 구멍이 형성된 제1 가로 프레임 부재 및 제2 가로 프레임 부재와 이들에 직교하는 제1 세로 프레임 부재 및 제2 세로 프레임 부재에 의해 사각형의 프레임 형태로 형성되어 있고, 각 라인 지지 부재는, 기기 배치부와, 그 양단에 마련된 관통 구멍 형성 부착부를 가지며, 일단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 일단부가 절곡됨으로써 절곡형으로 형성되어 있고, 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제1 가로 프레임 부재의 외면으로부터 내면을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 절곡형으로 형성된 부착부가 제1 가로 프레임 부재의 외면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제1 가로 프레임 부재에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
각 라인 지지 부재의 타단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 타단부가 절곡됨으로써 절곡형으로 형성되어 있고, 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제2 가로 프레임 부재의 외면으로부터 내면을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 절곡형으로 형성된 부착부가 제2 가로 프레임 부재의 외면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 바깥쪽으로부터 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제2 가로 프레임 부재에 고정되어 있을 수가 있고(제1 실시형태), 또한 각 라인 지지 부재의 타단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 타단부와 동일 평면의 평판형으로 형성되어 있으며, 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제2 가로 프레임 부재의 정면측으로부터 후면측을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 평판형으로 형성된 부착부가 제2 가로 프레임 부재의 정면측의 면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 정면측으로부터 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제2 가로 프레임 부재에 고정되어 있을 수가 있다(제2 실시형태).
유체 제어 기기로는, 개폐 밸브(유체 통로의 차단 및 개방을 행하는 밸브), 감압 밸브, 압력 표시기, 유량 조정기(매스 플로우 컨트롤러) 등이 사용된다.
하나의 라인은, 예컨대 하단층이 되는 복수 개의 블록형 조인트 부재가 수나사 부재에 의해 라인 지지 부재에 부착되고, 인접하는 조인트 부재에 걸치도록 상단층이 되는 복수 개의 유체 제어 기기가 상방으로부터의 수나사 부재에 의해 조인트 부재에 부착된다. 이와 같이 하면, 상방으로부터의 수나사 부재를 풀어서, 상단층의 유체 제어 기기를 단독으로 상방으로 꺼낼 수 있다. 하나의 라인의 구성은 하단층과 상단층으로 이루어지는 것에 한정되지 않으며, 다양한 구성을 채용할 수 있다.
유체 제어 장치는, 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 베이스 부재가 수직(Y 방향)이 되도록 설치될 수 있고, 또한 사각형의 프레임 형상으로 형성된 베이스 부재가 수평(X 방향, Z 방향)이 되도록 설치될 수도 있다. 수직 상태로 설치되는 경우, 제1 가로 프레임 부재가 위에, 제2 가로 프레임 부재가 아래에, 각 라인 지지 부재가 좌우로 평행하게 병렬형으로 배치될 수 있고, 또한 제1 가로 프레임 부재가 좌우 중 어느 일측에, 제2 가로 프레임 부재가 그 타측에, 각 라인 지지 부재가 상하로 평행하게 병렬형으로 배치될 수 있다.
각 라인 지지 부재는, 예컨대 본체 부분이 U자 구조로 절곡된 판금으로 만들어지고, 가로 프레임 부재는, 예컨대 스테인리스강 등의 금속제 플랫 바로 이루어진다. 또한, 세로 프레임 부재는, 통상적으로 라인 지지 부재와 유사한 형상으로 이루어진다.
이 유체 제어 장치를 조립하려면, 먼저 상측에 배치된 제1 가로 프레임 부재의 외면에 절곡형으로 형성된 일단측의 부착부를 중첩함으로써, 라인 지지 부재를 제1 가로 프레임 부재에 지지시키고, 타단측의 부착부를 제2 가로 프레임 부재에 중첩시키며, 이 상태에서 수나사 부재를 일단측의 부착부의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합하여, 라인 지지 부재를 제1 가로 프레임 부재에 고정하고, 또한, 수나사 부재를 타단측의 부착부의 바깥쪽으로부터 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합하여, 라인 지지 부재를 제2 가로 프레임 부재에 고정하면 된다.
이와 같이 하면, 라인 지지 부재의 자중(自重)이 제1 가로 프레임 부재에 의해 지지되므로, 작업자에 대한 중량의 부담이 경감되어, 작업의 수고로움이나 작업 시간이 경감된다.
절곡형으로 형성된 부착부에 형성되는 관통 구멍은, 통상적으로 원형의 구멍으로 이루어지며, 그 크기는 수나사 부재를 탈락시키지 않도록 미리 감합하여 둘 수 있는 크기로 될 수도 있고, 이보다 클 수도 있다. 절곡형으로 형성된 부착부에 형성되는 관통 구멍은, 막힌 구멍이 아니라, 단부면에서 개구되도록 이루어져 있을 수도 있다.
평판형으로 형성된 부착부의 관통 구멍은, 절곡형으로 형성된 부착부에 형성되는 관통 구멍과 마찬가지로, 막힌 원형의 구멍일 수도 있고, 단부면에서 개구되는 구멍일 수도 있지만, 단부면에서 개구되도록 이루어져 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 제2 가로 프레임 부재에 수나사 부재를 가고정한 상태에서, 라인 지지 부재의 부착부에 형성된 단부면에서 개구된 관통 구멍을 상기 수나사 부재에 감합할 수 있어, 수나사 부재의 체결 작업 시간이 경감된다.
평판형으로 형성된 부착부의 관통 구멍이 단부면에서 개구되도록 이루어져 있음으로써, 유체 제어 장치가 수직 상태로 설치되고, 제1 가로 프레임 부재가 좌우 중 어느 일측에, 제2 가로 프레임 부재가 그 타측에, 각 라인 지지 부재가 상하로 평행하게 병렬형으로 배치되어 있고, 제2 가로 프레임 부재에 수나사 부재가 가고정된 상태에서, 라인 지지 부재의 부착부에 형성된 단부면에서 개구된 관통 구멍이 상기 수나사 부재에 감합되어 있는 구성으로 하기가 용이해진다.
이 구성으로 하면, 각 가로 프레임 부재가 좌우로 평행하게 병렬형으로 배치된 유체 제어 장치를 설치하는 경우라 하더라도, 각 라인 지지 부재 부착시에 자중에 의해 라인 지지 부재가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 유체 제어 장치의 설치 장소 및 설치 방법의 범용성을 높일 수 있다.
각 가로 프레임 부재가 좌우로 평행하게 병렬형으로 배치된 유체 제어 장치를 설치함에 있어서는, 상하로 인접하는 라인 지지 부재끼리가 연결 부재에 의해 연결되어 있을 수가 있고, 또한 적어도 하나의 라인 지지 부재는, 상기 라인 지지 부재의 하방에 있어서 양(兩) 가로 프레임 부재에 부착된 더미 부재에 지지되어 있을 수 있다.
연결 부재는, 예컨대 금속제 판재로 이루어져, 볼트(수나사 부재)에 의해 대응하는 라인 지지 부재에 부착된다.
더미 부재로는, 예를 들어 유체 제어 기기가 설치되지 않은 라인 지지 부재를 사용할 수 있으며, 또한 각 라인 지지 부재 중 어느 일측의 단부에 대응하는 짧은 부재로 할 수도 있다.
연결 부재 또는 더미 부재를 사용함으로써, 유체 제어 기기가 부착되어 무거워진 라인 지지 부재가 기울어지는 것이 방지되고, 각 가로 프레임 부재가 좌우로 평행하게 병렬형으로 배치될 때의 문제점(자중에 의해 기울어질 가능성)이 해소된다.
또한, 본 명세서에 있어서, 벽면에 고정된 사각형의 프레임에 유체 제어 기기가 부착된 라인 지지 부재를 유체 제어 기기를 바로 앞으로 해서 부착한 상태를 정면도라고 하기로 하고, 정면 및 후면은 이 상태(도 1)를 기준으로 하기로 한다.
본 발명의 유체 제어 장치에 의하면, 베이스 부재는, 각각 소요 간격으로 나사 구멍이 형성된 제1 가로 프레임 부재 및 제2 가로 프레임 부재와 이들에 직교하는 제1 세로 프레임 부재 및 제2 세로 프레임 부재에 의해 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있고, 각 라인 지지 부재는, 기기 배치부와, 그 양단에 설치된 관통 구멍 형성 부착부를 가지며, 일단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 일단부가 절곡됨으로써 절곡형으로 형성되어 있고, 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제1 가로 프레임 부재의 외면으로부터 내면을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 절곡형으로 형성된 부착부가 제1 가로 프레임 부재의 외면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제1 가로 프레임 부재에 고정되어 있으므로, 각 라인 지지 부재의 위치 결정은, 부착부의 관통 구멍과 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍을 맞추기만 하면 되므로, 간단하고 용이하게 행할 수 있어, 조립 시간의 단축화가 가능해진다. 또한, 각 라인 지지 부재의 절곡형으로 형성된 부착부가 제1 가로 프레임 부재의 외면에 중첩됨으로써, 유체 제어 장치에 있어서 유체 제어 기기를 지지하는 부분의 높이의 증가를 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태를 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 도면으로서, (a)는 일부 절취 확대 정면도이고, (b)는 라인 지지 부재만을 도시한 일부 절취 확대 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 일부 절취 확대 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태에서 사용되고 있는 제1 가로 프레임 부재를 도시한 도면으로서, (a)는 일부 절취 정면도, (b)는 그 측면도, (c)는 그 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태에서 사용되고 있는 라인 지지 부재를 도시한 일부 절취 확대 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태를 도시한 정면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 도면으로서, (a)는 일부 절취 확대 정면도이고, (b)는 라인 지지 부재만 도시한 일부 절취 확대 정면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 일부 절취 확대 측면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태에서 사용되고 있는 제2 가로 프레임 부재를 도시한 도면으로서, (a)는 일부 절취 정면도, (b)는 그 측면도, (c)는 그 평면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제3 실시형태를 도시한 정면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제4 실시형태를 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 도면으로서, (a)는 일부 절취 확대 정면도이고, (b)는 라인 지지 부재만을 도시한 일부 절취 확대 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 일부 절취 확대 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태에서 사용되고 있는 제1 가로 프레임 부재를 도시한 도면으로서, (a)는 일부 절취 정면도, (b)는 그 측면도, (c)는 그 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태에서 사용되고 있는 라인 지지 부재를 도시한 일부 절취 확대 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태를 도시한 정면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 도면으로서, (a)는 일부 절취 확대 정면도이고, (b)는 라인 지지 부재만 도시한 일부 절취 확대 정면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태의 하나의 라인 부분을 발췌한 일부 절취 확대 측면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태에서 사용되고 있는 제2 가로 프레임 부재를 도시한 도면으로서, (a)는 일부 절취 정면도, (b)는 그 측면도, (c)는 그 평면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제3 실시형태를 도시한 정면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제4 실시형태를 도시한 정면도이다.
본 발명의 실시의 형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다.
이하의 설명에 있어서, 상하 좌우는 도 1의 상하 좌우를 말하며, 전후(정면 및 후면)에 대해서는 도 1의 지면(紙面) 겉쪽을 전(정면), 도 1의 지면 안쪽을 후(후면)라고 한다. 또한, 이 상하는 유체 제어 장치의 전형적인 설치 상태를 나타내는 것인데, 본 발명의 유체 제어 장치는 본 설치 상태에 한정되지 않으며, 수평(X, Z 방향) 및 수직(Y 방향) 어느 방향으로도 사용 가능하고, 그 때의 상하 좌우도 특별히 한정되지 않는다.
도 1 내지 도 5에 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태를 도시했다.
이 유체 제어 장치(1)는, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 하단층이 되는 복수 개의 블록형 조인트 부재(4)가 라인 지지 부재(3)에 부착되고, 인접하는 조인트 부재(4)에 걸치도록 상단층이 되는 복수 개의 유체 제어 기기(5)가 조인트 부재(4)에 부착되어 있음으로써 형성된 라인을 복수 개 가지고 있으며, 각 라인 지지 부재(3)가 서로 평행하게 되도록 베이스 부재(2)에 착탈 가능하게 부착되어 있다. 또한, 각 유체 제어 기기(5)는, 각각 서로 다른 기능을 가지고 있는 것인데, 공지의 것이므로, 부호 (5)로 총칭하고, 개별적인 설명은 생략하기로 한다.
베이스 부재(2)는, 예컨대 하우징의 수직한 벽면 등에 고정되어 있으며, 라인의 변경이나 증설은, 조인트 부재(4) 및 유체 제어 기기(5)가 합체된 라인 지지 부재(3)를 착탈함으로써 행해진다.
베이스 부재(2)는, 상측에 배치된 제1 가로 프레임 부재(11) 및 하측에 배치된 제2 가로 프레임 부재(12)와, 이들에 직교하는 좌측의 제1 세로 프레임 부재(13) 및 우측의 제2 세로 프레임 부재(14)에 의해, 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있다.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 각 유체 제어 기기(5)는, 정면으로부터의 수나사 부재(6)에 의해 대응하는 조인트 부재(4)에 고정되어 있다. 또한, 각 조인트 부재(4)는, 정면으로부터의 수나사 부재(도시하지 않음)에 의해 라인 지지 부재(3)에 고정되어 있다.
각 가로 프레임 부재(11)(12)는 스테인리스강제 플랫 바로 이루어져 있으며, 제1 가로 프레임 부재(11)에는, 도 4에 도시한 바와 같이, 이것을 상하로 관통하는 복수 개의 나사 구멍(15)이, 제1 가로 프레임 부재(11)의 상면(외면)으로부터 하면(내면)을 향하는 방향으로 소요 간격으로 형성되어 있다. 제2 가로 프레임 부재(12)는, 제1 가로 프레임 부재(11)와 동일한 형상으로 되어 있으며, 제2 가로 프레임 부재(12)에는, 도시는 생략하지만, 이것을 상하로 관통하는 복수 개의 나사 구멍이 제2 가로 프레임 부재(12)의 하면(외면)으로부터 상면(내면)을 향하는 방향으로 소요 간격으로 형성된다.
제1 가로 프레임 부재(11) 및 제2 가로 프레임 부재(12)의 복수 개의 나사 구멍(15)은, 라인 지지 부재(3)의 배치 피치보다 작은 간격으로 형성되어 있으며, 복수 개의 나사 구멍(15)을, 예컨대 1개 걸러, 2개 걸러 사용하여 라인 지지 부재(3)를 고정할 수 있게 되어 있다.
라인 지지 부재(3)는, 판금을 절곡함으로써 일체품으로서 형성된 것이며, 도 2, 도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 평판형의 기기 배치부(21)와, 그 양단에 있어서 평판형으로 이루어진 기기 배치부(21)의 상하단부가 각각 절곡됨으로써 절곡형으로 형성된 상하 부착부(22)(23)와, 기기 배치부(21)의 양 가장자리에 연속해 있는 보강부(24)로 이루어진다.
기기 배치부(21)에는, 조인트 부재(4)를 부착하기 위한 나사 구멍(21a)이 소요 간격으로 형성되어 있다.
라인 지지 부재(3)의 각 부착부(22)(23)는, 기기 배치부(21)의 단부와 동일 평면의 평판형으로 형성된 평판부(22a)(23a)와, 여기에 직각으로 연속해 있는 직각부(22b)(23b)에 의해, 대략 L자형으로 이루어져 있으며, 직각부(22b)(23b)에 이것을 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(25)(26)이 형성되어 있다. 보강부(24)는, 각 부착부(22)(23)의 평판부(22a)(23a)에 걸리지 않도록 마련되어 있으며, 보강부(24)의 각 단부면과 각 부착부(22)(23)의 직각부(22b)(23b)에 의해, 각 가로 프레임 부재(11)(12)가 협지되도록 되어 있다.
도 1에 있어서는, 라인 지지 부재(3)로서, 두 종류의 폭을 갖는 것(폭이 넓은 것과 폭이 좁은 것)이 사용되고 있으며[폭 이외에는 동일한 형상이므로 부호 (3)으로 총칭함], 베이스 부재(2)의 우측 부분에는, 추가 라인을 설치하기 위한 스페이스가 확보되어 있다.
각 라인 지지 부재(3)는, 도 1, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상측 부착부(22)의 직각부(22b)가 제1 가로 프레임 부재(11)의 상면(외면)에 중첩되고, 수나사 부재(10)가 상측 부착부(22)의 직각부(22b)의 상방(외방)으로부터 제1 가로 프레임 부재(11)의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 그 상단부가 제1 가로 프레임 부재(11)에 고정되어 있으며, 또한 하측 부착부(23)의 직각부(23b)가 제2 가로 프레임 부재(12)의 하면(외면)에 중첩되고, 수나사 부재(10)가 하측 부착부(23)의 직각부(23b)의 하방(외방)으로부터 제2 가로 프레임 부재(12)의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 그 하단부가 제2 가로 프레임 부재(12)에 고정되어 있다.
상기한 각 라인 지지 부재(3)를 고정함에 있어서, 각 라인 지지 부재(3)의 위치 결정은, 그 부착부(22)(23)의 관통 구멍(25)(26)과 각 가로 프레임 부재(11)(12)의 나사 구멍(15)을 맞추기만 하면 되므로, 간단하고 용이하게 행할 수 있어 조립 시간의 단축화가 가능해진다. 또한, 각 라인 지지 부재(3)에 있어서 절곡형으로 형성된 부착부(22)(23)의 직각부(22b)(23b)가 각 가로 프레임 부재(11)(12)의 외면에 중첩되므로, 베이스 부재(2)[가로 프레임 부재(11)(12)]와 라인 지지 부재(3)를 합한 높이는, 베이스 부재(2)의 높이+라인 지지 부재(3)의 높이가 아니라, 베이스 부재(2)의 높이+라인 지지 부재(3)의 기기 배치부(21)의 높이가 되어, 종래 구조의 고정 레일(베이스 부재)의 높이+가동 레일(라인 지지 부재)의 높이에 비해 높이를 낮출 수 있다.
도 6 내지 도 9에, 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태를 도시한다. 이 유체 제어 장치(1)는, 제1 실시형태의 것에 비해, 라인 지지 부재(40) 및 제2 가로 프레임 부재(51)의 구성에서 차이점이 있다. 이하의 설명에 있어서, 제1 실시형태와 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
본 실시형태의 라인 지지 부재(40)는, 판금을 절곡함으로써 일체품으로서 형성된 것으로서, 제1 실시형태의 것과 공통의 구성으로서, 평판형의 기기 배치부(41)와, 그 양단에 있어서 평판형으로 이루어진 기기 배치부(41)의 상하단부가 각각 절곡됨으로써 절곡형으로 형성된 상하측 부착부(42)(43)와, 기기 배치부(41)의 양 가장자리에 연속되어 있는 보강부(44)를 포함한다. 기기 배치부(41)에는, 조인트 부재(4)를 부착하기 위한 나사 구멍(41a)이 소요 간격으로 형성되어 있다.
여기서, 라인 지지 부재(40)의 상측 부착부(42)는, 제1 실시형태의 것과 동일하게, 기기 배치부(41)의 단부와 동일 평면의 평판형으로 형성된 평판부(42a)와, 여기에 직각으로 이어지는 직각부(42b)에 의해 대략 L자형으로 이루어져 있으며, 직각부(42b)에 이것을 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(45)이 형성되어 있다. 그리고 보강부(44)는, 상측 부착부(42)의 평판부(42a)에 걸리지 않도록 마련되어 있으며, 보강부(44)의 상단면과 상측 부착부(42)의 직각부(42b)에 의해, 제1 가로 프레임 부재(11)가 협지되도록 되어 있다.
라인 지지 부재(40)의 하측 부착부(43)는, 제1 실시형태의 것과 차이가 있으며, 평판형으로 이루어진 기기 배치부(41)의 하단부와 동일 평면의 평판형으로 형성되어 있다. 즉, 제1 실시형태의 하측 부착부(23)로부터 직각부(23b)를 삭제한 형상으로 되어 있다. 하측 부착부(43)에는, 이것을 전후로 관통하고(정면측으로부터 후면측으로 연장된다), 하단부에서 개구되는 관통 구멍(46)이 형성되어 있다.
이에 대응하여, 제2 가로 프레임 부재(51)에는, 제2 가로 프레임 부재(51)의 정면측으로부터 후면측을 향하는 방향으로 연장되는 나사 구멍(52)이 형성되어 있다.
그리고, 각 라인 지지 부재(40)는, 상측 부착부(42)의 직각부(42b)가 제1 가로 프레임 부재(11)의 상면(외면)에 중첩되고, 수나사 부재(10)가 상측 부착부(42)의 직각부(42b)의 상방(외방)으로부터 제1 가로 프레임 부재(11)의 나사 구멍(15)에 나사 결합됨으로써, 그 상단부가 제1 가로 프레임 부재(11)에 고정되어 있고, 또한 평판형으로 형성된 하측 부착부(43)가 제2 가로 프레임 부재(51)의 전면(정면측의 면)에 중첩되고, 수나사 부재(53)가 하측 부착부(43)의 정면측으로부터 제2 가로 프레임 부재(51)의 나사 구멍(52)에 나사 결합됨으로써, 제2 가로 프레임 부재(5l)에 고정되어 있다.
본 실시형태의 유체 제어 장치(1)에서는, 각 라인 지지 부재(40)의 고정 시에, 각 라인 지지 부재(40)의 위치 결정은, 그 부착부(42)(43)의 관통 구멍(45)(46)과 각 가로 프레임 부재(11)(51)의 나사 구멍(15)(52)을 맞추기만 하면 되므로, 간단하고 용이하게 행할 수 있어, 조립 시간의 단축화가 가능해진다. 또한, 각 라인 지지 부재(40)의 절곡형으로 형성된 상측 부착부(42)의 직각부(42b)가 제1 가로 프레임 부재(11)의 외면에 중첩되므로, 베이스 부재(2)[가로 프레임 부재(11)(51)]와 라인 지지 부재(40)를 합한 높이는, 베이스 부재(2)의 높이+라인 지지 부재(40)의 높이가 아니라, 베이스 부재(2)의 높이+라인 지지 부재(40)의 기기 배치부(41)의 높이가 되어, 종래 구조의 고정 레일(베이스 부재)의 높이+가동 레일(라인 지지 부재)의 높이에 비해 높이를 낮출 수 있다.
또한, 본 실시형태의 유체 제어 장치(1)에 의하면, 상측 부착부(42)와 하측 부착부(43)에서 형상이 다르므로, 조립 장착시에 상하를 반대로 하는 등의 부착 오류가 확실하게 방지된다.
게다가, 본 실시형태의 유체 제어 장치(1)에 의하면, 수나사 부재(10)(11)의 체결 방향이 상측 부착부(42) 측에서 상하 방향, 하측 부착부(43) 측에서 전후 방향으로 되어 있으므로, 상하측 부착부(22)(23)를 모두 상하 방향으로부터의 수나사 부재(10)로 부착하는 제1 실시형태의 것에서는, 상하의 수나사 부재(10)가 동일 축선 상에 있고, 체결하는 방향이 반대로 되어 있어, 일측의 수나사 부재(10)를 체결한 후에, 타측의 수나사 부재(10)를 체결했을 때, 먼저 체결한 수나사 부재(1O)의 체결력(축력)이 저하할 가능성이 있는 데 반해, 상하의 수나사 부재(10)(53)의 축선이 서로 다른 방향에 있어, 이와 같이 축력이 저하할 가능성을 없앨 수 있다.
본 실시형태의 유체 제어 장치(1)에서는, 또한 제1 가로 프레임 부재(11)와 제2 가로 프레임 부재(51)에서, 수나사 부재(10)(53)의 고정 위치의 중심이 어긋나도록 되어 있어, Z 방향의 기울어짐[라인 지지 부재(40)의 회전] 방지에 기여하고 있다.
앞서 설명한 바에 있어서, 하측 부착부(43)에 형성되어 있는 관통 구멍(46)은, 하단부에서 개구되어 있지 않은 원형의 구멍일 수도 있다. 하단부에서 개구되어 있는 관통 구멍(46)으로 이루어져 있음으로써, 하기와 같은 순서로 유체 제어 장치(1)를 부착하는 것이 가능해진다.
먼저, 제1 가로 프레임 부재(11) 및 제2 가로 프레임 부재(51)에 수나사 부재(10)(53)를 가고정한 상태에서, 라인 지지 부재(40)의 하측 부착부(43)의 관통 구멍(46)을 제2 가로 프레임 부재(51)의 수나사 부재(53)에 감합하고, 이어서 상측 부착부(42)를 제1 가로 프레임 부재(11)의 외면에 중첩하며, 사전에 끼워넣은 수나사 부재(10)로 라인 지지 부재(40)를 위치 결정하여 가고정하고, 제1 가로 프레임 부재(1l) 및 제2 가로 프레임 부재(51)의 순으로 수나사 부재(10)(53)를 더 체결하여 고정한다.
이와 같이 하여, 하측 부착부(43)를 제2 가로 프레임 부재(51)에 감합할 수 없는 제2 실시형태에 있어서, 관통 구멍(46)을 수나사 부재(53)에 감합함으로써, 그 위치 결정이 보다 용이해진다.
여기서, 도 6의 상하를 상하로 하여 라인 지지 부재(40)를 부착할 때에는, 상측 부착부(42)의 직각부(42b)를 제1 가로 프레임 부재(11)의 외면에 중첩함으로써, 라인 지지 부재(40)의 어긋남(낙하)이 방지되므로, 하측 부착부(43)에 직각부가 마련되지 않아서 조립 시간이 증가할 일은 없다. 그러나, 도 6의 상하를 좌우로 하여[각 가로 프레임 부재(11)(51)가 좌우에 배치된 상태에서], 라인 지지 부재(40)를 부착하는 경우, 상측 부착부(42)를 제1 가로 프레임 부재(11)에 고정할 때, 하측 부착부(43)가 하방으로 어긋남(낙하함)으로써, 고정 작업이 어려워진다. 상기한 바와 같이, 하측 부착부(43)의 관통 구멍(46)을 수나사 부재(53)에 감합하도록 하면, 각 가로 프레임 부재(11)(51)가 좌우에 배치된 상태라 하더라도, 라인 지지 부재(40)의 부착을 간단하고 용이하게 행할 수 있어, 유체 제어 장치(1)의 설치 장소 및 설치 방법의 범용성을 높일 수 있다.
각 가로 프레임 부재(11)(51)가 좌우에 배치된 상태에서, 라인 지지 부재(40)를 부착하는 경우, 수나사 부재(10)(53)가 좌우에 1개씩만 사용되어 있으므로, 복수 개의 조인트 부재(4) 및 복수 개의 유체 제어 기기(5)를 포함한 자중에 의해 라인 지지 부재(40)가 기울어질 가능성이 있다. 이 기울어짐을 방지하려면, 예컨대 도 11에 도시한 바와 같이, 인접하는 라인 지지 부재(40)끼리를 연결 부재(61)로 연결하면 된다. 여기서, 연결 부재(61)는, 예컨대 스테인리스강제 판재로 이루어지며, 볼트(62)에 의해 각 라인 지지 부재(40)에 부착된다. 라인 지지 부재(40)의 기기 배치부(41)에는, 유체 제어 기기 배치면(41a)의 연장부로서의 연결 부재 배치면(41b)이 마련되며, 연결 부재 배치면(41b)을 사용하여 연결 부재(61)가 부착된다.
인접하는 라인 지지 부재(40)가 없는 경우에는, 도 12에 도시한 바와 같이, 더미 부재(63)를 사용하여, 더미 부재(63)를 제2 가로 프레임 부재(51)에 고정하고, 이 더미 부재(63)와 라인 지지 부재(40)를 연결 부재(64)로 연결하면 된다. 도 12에서 더미 부재(63)는, 제2 가로 프레임 부재(51)에 고정하도록 되어 있으나, 제1 가로 프레임 부재(11)에 고정하도록 할 수도 있다. 또한, 더미 부재로서, 조인트 부재(4) 및 유체 제어 기기(5)가 합체되지 않은 라인 지지 부재(40)[도 7(b)]를 사용할 수도 있다.
1 : 유체 제어 장치
2 : 베이스 부재
3 : 라인 지지 부재
5 : 유체 제어 기기
10 : 수나사 부재
11 : 제1 가로 프레임 부재
12 : 제2 가로 프레임 부재
13 : 제1 세로 프레임 부재
14 : 제2 세로 프레임 부재
15 : 나사 구멍
21 : 기기 배치부
22 : 상측 부착부
23 : 하측 부착부
25, 26 : 관통 구멍
40 : 라인 지지 부재
41 : 기기 배치부
42 : 상측 부착부
43 : 하측 부착부
45 : 관통 구멍
46 : 관통 구멍
51 : 제2 가로 프레임 부재
52 : 나사 구멍
53 : 수나사 부재
61 : 연결 부재
63 : 더미 부재
64 : 연결 부재
2 : 베이스 부재
3 : 라인 지지 부재
5 : 유체 제어 기기
10 : 수나사 부재
11 : 제1 가로 프레임 부재
12 : 제2 가로 프레임 부재
13 : 제1 세로 프레임 부재
14 : 제2 세로 프레임 부재
15 : 나사 구멍
21 : 기기 배치부
22 : 상측 부착부
23 : 하측 부착부
25, 26 : 관통 구멍
40 : 라인 지지 부재
41 : 기기 배치부
42 : 상측 부착부
43 : 하측 부착부
45 : 관통 구멍
46 : 관통 구멍
51 : 제2 가로 프레임 부재
52 : 나사 구멍
53 : 수나사 부재
61 : 연결 부재
63 : 더미 부재
64 : 연결 부재
Claims (7)
- 복수 개의 유체 제어 기기가 하나의 라인 지지 부재에 부착됨으로써 형성된 라인을 복수 개 갖고 있고, 각 라인 지지 부재가 서로 평행하게 되도록 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착되어 있는 유체 제어 장치에 있어서,
베이스 부재는, 각각 소요(所要) 간격으로 나사 구멍이 형성된 제1 가로 프레임 부재 및 제2 가로 프레임 부재와 이들에 직교하는 제1 세로 프레임 부재 및 제2 세로 프레임 부재에 의해 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있고, 각 라인 지지 부재는, 기기 배치부와, 그 양단부에 마련된 관통 구멍 형성 부착부를 가지며, 일단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 일단부가 절곡됨으로써 절곡형으로 형성되어 있고, 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제1 가로 프레임 부재의 외면으로부터 내면을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 절곡형으로 형성된 부착부가 제1 가로 프레임 부재의 외면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제1 가로 프레임 부재에 고정되어 있고,
유체 제어 장치가 수직 상태로 설치되어 있으며, 각 라인 지지 부재의 타단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 타단부와 동일 평면의 평판형으로 형성되어 있고, 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제2 가로 프레임 부재의 정면측으로부터 후면측을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 평판형으로 형성된 부착부가 제2 가로 프레임 부재의 정면측의 면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 정면측으로부터 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제2 가로 프레임 부재에 고정되어 있고,
평판형으로 형성된 부착부의 관통 구멍은, 단부면에서 개구되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치. - 복수 개의 유체 제어 기기가 하나의 라인 지지 부재에 부착됨으로써 형성된 라인을 복수 개 갖고 있고, 각 라인 지지 부재가 서로 평행하게 되도록 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착되어 있는 유체 제어 장치에 있어서,
베이스 부재는, 각각 소요(所要) 간격으로 나사 구멍이 형성된 제1 가로 프레임 부재 및 제2 가로 프레임 부재와 이들에 직교하는 제1 세로 프레임 부재 및 제2 세로 프레임 부재에 의해 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있고, 각 라인 지지 부재는, 기기 배치부와, 그 양단부에 마련된 관통 구멍 형성 부착부를 가지며, 일단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 일단부가 절곡됨으로써 절곡형으로 형성되어 있고, 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제1 가로 프레임 부재의 외면으로부터 내면을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 절곡형으로 형성된 부착부가 제1 가로 프레임 부재의 외면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 바깥쪽으로부터 제1 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제1 가로 프레임 부재에 고정되어 있고,
유체 제어 장치가 수평 상태로 설치되어 있으며, 각 라인 지지 부재의 타단측의 부착부는, 평판형으로 이루어진 기기 배치부의 타단부와 동일 평면의 평판형으로 형성되어 있고, 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍이 제2 가로 프레임 부재의 상측으로부터 하측을 향하는 방향으로 형성되어 있으며, 각 라인 지지 부재는, 평판형으로 형성된 부착부가 제2 가로 프레임 부재의 상측의 면에 중첩되고, 수나사 부재가 부착부의 상측으로부터 제2 가로 프레임 부재의 나사 구멍에 나사 결합됨으로써, 제2 가로 프레임 부재에 고정되어 있고,
평판형으로 형성된 부착부의 관통 구멍은, 단부면에서 개구되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치. - 제1항에 있어서, 제1 가로 프레임 부재가 좌우 중 어느 일측에, 제2 가로 프레임 부재가 그 타측에, 각 라인 지지 부재가 상하로 평행하게 병렬형으로 배치되어 있으며, 제2 가로 프레임 부재에 수나사 부재가 가고정된 상태에서, 라인 지지 부재의 부착부에 형성된 단부면에서 개구된 관통 구멍이 상기 수나사 부재에 감합될 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
- 제3항에 있어서, 상하로 인접하는 라인 지지 부재끼리가 연결 부재에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
- 제3항에 있어서, 적어도 하나의 라인 지지 부재는, 상기 라인 지지 부재의 하방에 있어서 적어도 일측의 가로 프레임 부재에 부착된 더미 부재에 인접해 있고, 상기 라인 지지 부재와 더미 부재가 연결 부재에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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Patent Citations (2)
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