KR101901356B1 - 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치 - Google Patents

열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치 Download PDF

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이종수
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Abstract

개시되는 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치가 열 필라멘트 텐션 연결 유닛 및 유닛 이동 부재를 포함함에 따라, 열 필라멘트의 텐션 조절이 정밀하게 이루어질 수 있고, 작동 시간이 경과되더라도 상기 열 필라멘트에 대한 정확한 텐션 조절이 가능할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치{Tension maintaining apparatus of hot filament for hot filament chemical vapor deposition}
본 발명은 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치에 관한 것이다.
열 필라멘트 화학기상증착 장치(HFCVD, hot filament chemical vapor deposition)는 텅스텐 와이어 등의 열 필라멘트를 열원으로 이용하는 화학기상증착 장치를 말하고, 이러한 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
이러한 열 필라멘트 화학기상증착 장치에서는, 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 일정 수준으로 유지되는 것이 중요하고, 그에 따라 종래에는 스프링을 이용하여 그 열 필라멘트를 당겨주는 방식으로 텐션을 유지하는 방식에 의하였다.
그러나, 상기와 같은 종래 방식에 의하면, 스프링의 탄성에 단순히 의존하는 방식이기 때문에, 열 필라멘트의 텐션 조절이 정밀하지 못하고, 작동 시간이 경과할수록 스프링 자체의 탄성력이 떨어져서 열 필라멘트의 정확한 텐션 조절이 어려운 단점이 있었다.
등록특허 제 10-1252669호, 등록일자: 2013.04.03., 발명의 명칭: 다이아몬드 고속성장방법 및 장치
본 발명은 열 필라멘트의 텐션 조절이 정밀하게 이루어질 수 있고, 작동 시간이 경과되더라도 상기 열 필라멘트에 대한 정확한 텐션 조절이 가능할 수 있는 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치는 열 필라멘트 화학기상증착 장치(HFCVD)에 적용되어, 열 필라멘트의 텐션을 요구되는 일정 수준으로 유지시켜주는 것으로서,
상기 열 필라멘트가 연결되는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛; 및 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 상기 열 필라멘트를 당겨줌으로써, 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛에 연결된 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준을 유지하도록, 상기 열 필라멘트를 당기는 방향으로 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛을 이동시켜주는 유닛 이동 부재;를 포함하고,
상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛은 복수 개의 상기 열 필라멘트가 연결되는 열 필라멘트 연결 부재와, 상기 열 필라멘트 연결 부재를 지지하는 연결 지지 부재를 포함하고,
상기 열 필라멘트 연결 부재는 상기 연결 지지 부재에 대해 상대적으로 회동될 수 있도록 구성됨으로써, 복수 개의 상기 열 필라멘트가 상기 열 필라멘트 연결 부재에 일 측으로 편중된 경우, 그러한 편중 해소를 위하여 상기 열 필라멘트 연결 부재가 상기 연결 지지 부재에 대해 상대적으로 회동될 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치에 의하면, 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치가 열 필라멘트 텐션 연결 유닛 및 유닛 이동 부재를 포함함에 따라, 열 필라멘트의 텐션 조절이 정밀하게 이루어질 수 있고, 작동 시간이 경과되더라도 상기 열 필라멘트에 대한 정확한 텐션 조절이 가능할 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 결합된 모습을 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 결합된 모습을 보이는 정면도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 분리된 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 연결 부재를 보이는 사시도.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 연결 지지 부재를 보이는 사시도.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 연결 부재, 연결 지지 부재 및 이동 지지 부재가 결합된 모습을 보이는 평면도.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 연결 부재, 연결 지지 부재 및 이동 지지 부재가 결합된 모습을 보이는 정면도.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 이동 지지 부재를 보이는 정면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 결합된 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 결합된 모습을 보이는 정면도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 분리된 모습을 보이는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 연결 부재를 보이는 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 연결 지지 부재를 보이는 사시도이다.
도 1 내지 도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치(100)는 열 필라멘트 화학기상증착 장치(HFCVD)에 적용되어, 열 필라멘트의 텐션을 요구되는 일정 수준으로 유지시켜주는 것으로서, 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)과, 유닛 이동 부재(140)를 포함한다.
도면 번호 110은 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120) 등이 내부에 수용되는 케이스이다.
상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)은 상기 열 필라멘트가 연결되는 것이다.
상기 유닛 이동 부재(140)는 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)이 상기 열 필라멘트를 당겨줌으로써, 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)에 연결된 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준을 유지하도록, 상기 열 필라멘트를 당기는 방향으로 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)을 이동시켜주는 것이다.
상기 유닛 이동 부재(140)는 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)을 밀어주거나 당겨줄 수 있는 저마찰 실린더로 제시될 수 있고, 상기 유닛 이동 부재(140)는 실린더 몸체(141)와, 상기 실린더 몸체(141)로부터 돌출되거나 상기 실린더 몸체(141) 내로 수축될 수 있는 피스톤(142)을 포함한다.
도면 번호 143은 상기 피스톤(142) 이동을 위해 후술되는 전공 압력 조절 부재(150)로부터 상기 실린더 몸체(141)로 공압을 공급받는 공압 유입구이다.
저마찰 실린더인 상기 유닛 이동 부재(140) 내부에는 압력 감지 센서(미도시)가 내장되어 있어서, 상기 피스톤(142)이 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)에 의해 눌리는 압력을 감지하고, 그 감지된 압력값에 의한 압력 보정값을 전기 신호 형태로 변환하여, 직접 상기 전공 압력 조절 부재(150)로 전달하거나, 제어부(미도시)를 통해 간접적으로 상기 전공 압력 조절 부재(150)로 전달할 수 있다.
여기서, 상기 압력 보정값이란, 상기 압력 감지 센서에서 감지된 압력값과 미리 설정된 요구되는 수준의 압력값 사이의 차이값으로, 이러한 상기 압력 보정값에 대한 연산은 상기 유닛 이동 부재(140) 또는 상기 제어부에서 이루어질 수 있다.
상기 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치(100)는 상기 유닛 이동 부재(140)로 공압을 제공하는 전공 압력 조절 부재(150)를 포함한다.
상기 전공 압력 조절 부재(150)는 상기 케이스(110)의 외벽에 설치된다.
상기 전공 압력 조절 부재(150)는 전공 레귤레이터(151)를 포함한다.
상기 전공 레귤레이터(151)는 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준에 도달되기 위하여 상기 유닛 이동 부재(140)에 가해져야 하는 공압에 대응되는 전기 신호가 인가되면, 상기 전기 신호에 대응되는 공압을 상기 유닛 이동 부재(140)로 공급하는 것이다.
여기서, 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준에 도달되기 위하여 상기 유닛 이동 부재(140)에 가해져야 하는 공압에 대응되는 전기 신호란, 상기 압력 보정값에 대응되는 전기 신호이다.
상기 전공 압력 조절 부재(150)는 정밀 감압 레귤레이터(152)를 더 포함할 수 있는데, 상기 정밀 감압 레귤레이터(152)는 상기 전공 레귤레이터(151)와 저마찰 실린더인 상기 유닛 이동 부재(140) 사이에 배치되어, 상기 전공 레귤레이터(151)로부터 상기 유닛 이동 부재(140)로 공급되는 공압의 압력 변동을 억제시킴으로써, 상기 전공 레귤레이터(151)로부터 상기 유닛 이동 부재(140)로 공급되는 공압이 실시간으로 밸런스를 유지하면서 공급될 수 있도록 한다.
도면 번호 153은 상기 전공 압력 조절 부재(150)에서의 공압을 측정하고 표시할 수 있는 디지털 압력 게이지이다.
한편, 상기와 같이, 상기 전공 레귤레이터(151)로부터 상기 유닛 이동 부재(140)로 공급되는 공압의 밸런스가 상기 정밀 감압 레귤레이터(152)에 의해 실시간으로 밸런스 조절되면서 공급될 수도 있고, 상기 전공 압력 조절 부재(150), 상세히는 상기 전공 레귤레이터(151)에는 미리 설정된 테이블값에 따라 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준에 도달되기 위하여 상기 유닛 이동 부재(140)에 가해져야 하는 공압에 대응되는 전기 신호가 인가됨으로써, 상기 정밀 감압 레귤레이터(152) 없이도 상기 전공 레귤레이터(151)로부터 상기 유닛 이동 부재(140)로 공급되는 공압의 밸런스가 유지되면서 공급될 수도 있다.
한편, 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)은 복수 개의 상기 열 필라멘트가 연결되는 열 필라멘트 연결 부재(121)와, 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)를 지지하는 연결 지지 부재(130)를 포함한다.
상기 열 필라멘트 연결 부재(121)는 상기 연결 지지 부재(130)에 대해 상대적으로 회동될 수 있도록 구성됨으로써, 복수 개의 상기 열 필라멘트가 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)에 일 측으로 편중된 경우, 그러한 편중 해소를 위하여 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)가 상기 연결 지지 부재(130)에 대해 상대적으로 회동될 수 있게 된다.
상세히, 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)는 상기 케이스(110) 내에 배치되는 연결 부재 몸체(122)와, 상기 연결 부재 몸체(122)에서 상기 케이스(110) 외부로 연장되어 복수 개의 상기 열 필라멘트가 서로 이격되면서 연결되는 필라멘트 연결체(123)와, 상기 연결 부재 몸체(122)에서 상기 필라멘트 연결체(123)가 형성된 측의 타 측에 무게 밸런스 유지를 위하여 설치되는 무게추인 웨이트 밸런스 블럭(124)과, 상기 연결 부재 몸체(122)의 저면 일 측에 회전 가능하게 연결되는 일 측 회동 롤러 부재(125)와, 상기 연결 부재 몸체(122)의 저면 타 측에 회전 가능하게 연결되되 상기 일 측 회동 롤러 부재(125)와 이격되도록 설치되는 타 측 회동 롤러 부재(126)를 포함한다.
상기 일 측 회동 롤러 부재(125)와 상기 타 측 회동 롤러 부재(126) 중 적어도 하나는 복수 개로 구성된다. 예를 들어, 상기 일 측 회동 롤러 부재(125)는 단수 개로, 상기 타 측 회동 롤러 부재(126)는 두 개로 구성되어, 상기 일 측 회동 롤러 부재(125) 및 두 개의 상기 타 측 회동 롤러 부재(126)는 삼각형 형태로 배치됨으로써, 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)가 상기 연결 지지 부재(130) 상에서 안정적으로 회동되도록 한다.
상기 일 측 회동 롤러 부재(125)는 상기 연결 부재 몸체(122)의 저면 일 측에서 하방으로 돌출되는 일 측 회전축(125a)과, 상기 일 측 회전축(125a)의 말단부에 회전 가능하게 연결되는 일 측 회전 롤러(125b)를 포함하고, 상기 일 측 회전 롤러(125b)의 외곽을 따라서는 V자 형태 등의 일 측 롤러 홈(125c)이 형성된다.
상기 타 측 회동 롤러 부재(126)는 상기 연결 부재 몸체(122)의 저면 타 측에서 하방으로 돌출되는 타 측 회전축(126a)과, 상기 타 측 회전축(126a)의 말단부에 회전 가능하게 연결되는 타 측 회전 롤러(126b)를 포함하고, 상기 타 측 회전 롤러(126b)의 외곽을 따라서는 V자 형태 등의 타 측 롤러 홈(126c)이 형성된다.
상기 연결 지지 부재(130)는 상기 연결 부재 몸체(122)의 하방에 배치되는 연결 지지 몸체(131)와, 상기 연결 지지 몸체(131)의 일 측에서 상방으로 굽혀진 형태로 형성되는 일 측 굽힘부(132)와, 상기 일 측 굽힘부(132)에서 상기 일 측 롤러 홈(125c)과 맞물리도록 V자 단면 등으로 돌출되는 일 측 맞물림부(133)와, 상기 연결 지지 몸체(131)의 타 측에서 상방으로 굽혀진 형태로 형성되는 타 측 굽힘부(134)와, 상기 타 측 굽힘부(134)에서 상기 타 측 롤러 홈(126c)과 맞물리도록 V자 단면 등으로 돌출되는 타 측 맞물림부(135)와, 상기 연결 지지 몸체(131)의 저면에 형성되는 슬라이딩 이동체(136)와, 슬라이딩 이동체(136)와 맞물리되 상기 케이스(110)의 바닥에 고정되는 슬라이딩 고정체(137)와, 상기 유닛 이동 부재(140)의 상기 피스톤(142)과 접촉되도록 상기 연결 지지 몸체(131)로부터 연장된 형태를 이루는 피스톤 접촉체(138)를 포함한다.
상기 피스톤 접촉체(138)를 상기 피스톤(142)이 밀어줌으로써, 상기 슬라이딩 고정체(137)에 대해 상기 피스톤 접촉체(138)가 상대적으로 밀리게 되고, 그에 따라 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)에 연결된 상기 열 필라멘트가 당겨지면서 상기 열 필라멘트의 텐션이 보정될 수 있게 되고, 그에 따라 임의로 텐션이 떨어졌던 상기 열 필라멘트가 요구되는 수준의 텐션을 유지할 수 있게 된다.
상기 피스톤 접촉체(138)는 상기 피스톤(142)의 말단과 연결됨으로써, 상기 피스톤(142)이 상기 피스톤 접촉체(138)를 밀어주는 행위 이외에도 당겨주는 행위도 수행할 수도 있다. 특히, 미리 설정된 테이블값에 따라 상기 전공 압력 조절 부재(150), 상세히는 상기 전공 레귤레이터(151)에 전기 신호가 인가되는 경우에는, 상기 피스톤 접촉체(138)와 상기 피스톤(142)의 말단이 연결되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 일 측 맞물림부(133)와 상기 타 측 맞물림부(135)는 서로 대응되는 곡면 형태로 형성된다. 즉, 상기 연결 지지 부재(130) 상에서의 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)의 가상의 회전축을 중심으로 상기 일 측 맞물림부(133)는 상기 일 측 맞물림부(133)의 중심부가 상기 일 측 맞물림부(133)의 양 가장자리에 비해 상기 가상의 회전축으로부터 상대적으로 더 멀어지도록 일정 곡률로 만곡된 호 형태로 형성되면, 상기 타 측 맞물림부(135)는 상기 일 측 맞물림부(133)와 동일한 호 형태로 형성됨으로써, 상기 타 측 맞물림부(135)의 중심부는 상기 타 측 맞물림부(135)의 양 가장자리에 비해 상기 가상의 회전축으로부터 상대적으로 더 가까워지도록 일정 곡률로 만곡된 호 형태로 형성된다.
상기와 같이 형성되면, 상기 일 측 회동 롤러 부재(125)와 상기 타 측 회동 롤러 부재(126)가 각각 상기 일 측 맞물림부(133)와 상기 타 측 맞물림부(135)에 맞물린 상태로, 상기 가상의 회전축을 중심으로 상기 연결 지지 부재(130) 상에서 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)가 매끄럽게 회전될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)에 연결된 복수 개의 상기 열 필라멘트 중 상대적으로 텐션이 떨어지게 된 것이 당겨지도록, 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)가 회전될 수 있게 됨으로써, 복수 개의 상기 열 필라멘트의 텐션이 전체적으로 균일하게 보정되어 유지될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 복수 개의 상기 열 필라멘트가 상기 열 필라멘트 연결 부재(121)에 연결된 상태로, 상기 열 필라멘트 화학기상증착 장치가 작동된다.
이러한 상기 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 작동 중에, 상기 열 필라멘트가 늘어져서 상기 열 필라멘트의 텐션이 임의로 바뀌는 경우, 상기 유닛 이동 부재(140)의 상기 압력 감지 센서에서 감지된 압력값에 의한 압력 보정값이 상기 전공 압력 조절 부재(150)로 전달되고, 상기 전공 압력 조절 부재(150)가 작동되어, 상기 유닛 이동 부재(140)가 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120)을 밀어주게 되고, 그에 따라 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준으로 유지될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치(100)가 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛(120) 및 상기 유닛 이동 부재(140)를 포함함에 따라, 상기 열 필라멘트의 텐션 조절이 정밀하게 이루어질 수 있고, 작동 시간이 경과되더라도 상기 열 필라멘트에 대한 정확한 텐션 조절이 가능할 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 연결 부재, 연결 지지 부재 및 이동 지지 부재가 결합된 모습을 보이는 평면도이고, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 열 필라멘트 연결 부재, 연결 지지 부재 및 이동 지지 부재가 결합된 모습을 보이는 정면도이고, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치를 구성하는 이동 지지 부재를 보이는 정면도이다.
도 7 내지 도 9를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치는 이동 지지 부재(260)를 더 포함한다.
상기 이동 지지 부재(260)는 연결 지지 부재(230) 상에서 열 필라멘트 연결 부재(221)가 매끄럽게 이동될 수 있도록, 상기 열 필라멘트 연결 부재(221)에서 상기 연결 지지 부재(230)를 향해 연장되고, 그 저면이 상기 연결 지지 부재(230)에 접하게 되는 것이다.
상세히, 상기 이동 지지 부재(260)는 복수 개, 예를 들어 네 개가 상기 열 필라멘트 연결 부재(221)에 서로 이격되도록 설치되어, 상기 연결 지지 부재(230) 상에서 상기 열 필라멘트 연결 부재(221)가 안정적으로 이동되도록 한다.
또한, 상기 이동 지지 부재(260)는 상기 열 필라멘트 연결 부재(221)에서 상기 연결 지지 부재(230)를 향해 일정 길이로 길게 형성되는 봉 형태의 이동 지지 몸체(261)와, 상기 이동 지지 몸체(261)의 하부에 회전 가능하게 연결되어 상기 연결 지지 부재(230) 상에서 구를 수 있는 이동 지지 볼(262)을 포함한다.
상기와 같이 구성되면, 상기 열 필라멘트 연결 부재(221)가 상기 연결 지지 부재(230) 상에서 이동될 때, 상기 이동 지지 부재(260)에 의해 상기 열 필라멘트 연결 부재(221)의 매끄러운 이동이 가능해진다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시 예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치에 의하면, 열 필라멘트의 텐션 조절이 정밀하게 이루어질 수 있고, 작동 시간이 경과되더라도 상기 열 필라멘트에 대한 정확한 텐션 조절이 가능할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치
120 : 열 필라멘트 텐션 연결 유닛
140 : 유닛 이동 부재

Claims (5)

  1. 열 필라멘트 화학기상증착 장치(HFCVD)에 적용되어, 열 필라멘트의 텐션을 요구되는 일정 수준으로 유지시켜주는 것으로서,
    상기 열 필라멘트가 연결되는 열 필라멘트 텐션 연결 유닛; 및
    상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛이 상기 열 필라멘트를 당겨줌으로써, 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛에 연결된 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준을 유지하도록, 상기 열 필라멘트를 당기는 방향으로 상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛을 이동시켜주는 유닛 이동 부재;를 포함하고,
    상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛은
    복수 개의 상기 열 필라멘트가 연결되는 열 필라멘트 연결 부재와,
    상기 열 필라멘트 연결 부재를 지지하는 연결 지지 부재를 포함하고,
    상기 열 필라멘트 연결 부재는 상기 연결 지지 부재에 대해 상대적으로 회동될 수 있도록 구성됨으로써, 복수 개의 상기 열 필라멘트가 상기 열 필라멘트 연결 부재에 일 측으로 편중된 경우, 그러한 편중 해소를 위하여 상기 열 필라멘트 연결 부재가 상기 연결 지지 부재에 대해 상대적으로 회동될 수 있는 것을 특징으로 하는 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유닛 이동 부재는
    상기 열 필라멘트 텐션 연결 유닛을 밀어주거나 당겨줄 수 있는 저마찰 실린더이고,
    상기 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치는
    상기 유닛 이동 부재로 공압을 제공하는 전공 압력 조절 부재;를 포함하며,
    상기 전공 압력 조절 부재는
    상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준에 도달되기 위하여 상기 유닛 이동 부재에 가해져야 하는 공압에 대응되는 전기 신호가 인가되면, 상기 전기 신호에 대응되는 공압을 상기 유닛 이동 부재로 공급하는 전공 레귤레이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 전공 압력 조절 부재에는 미리 설정된 테이블값에 따라 상기 열 필라멘트의 텐션이 요구되는 수준에 도달되기 위하여 상기 유닛 이동 부재에 가해져야 하는 공압에 대응되는 전기 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치는
    상기 연결 지지 부재 상에서 상기 열 필라멘트 연결 부재가 매끄럽게 이동될 수 있도록, 상기 열 필라멘트 연결 부재에서 상기 연결 지지 부재를 향해 연장되고, 그 저면이 상기 연결 지지 부재에 접하게 되는 이동 지지 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치.
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