KR101878585B1 - Industrial robot - Google Patents

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KR101878585B1
KR101878585B1 KR20167033734A KR20167033734A KR101878585B1 KR 101878585 B1 KR101878585 B1 KR 101878585B1 KR 20167033734 A KR20167033734 A KR 20167033734A KR 20167033734 A KR20167033734 A KR 20167033734A KR 101878585 B1 KR101878585 B1 KR 101878585B1
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KR
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Grant
Patent type
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arm
portion
formed
motor
hand
Prior art date
Application number
KR20167033734A
Other languages
Korean (ko)
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KR20160141874A (en )
Inventor
다카유키 야자와
요시히사 마스자와
Original Assignee
니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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    • B25J9/02Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041Cylindrical coordinate type
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices

Abstract

본원은, 진공 중에 배치됨과 함께 내부 공간의 적어도 일부가 대기압으로 되어 있는 아암을 갖는 산업용 로봇에 있어서, 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. The present application is in the industrial robot having at least an arm which portion is at atmospheric pressure of the internal space with the placed in a vacuum, large even, to reduce the work miss of installing the seal member for securing air-tightness of the inner space of the arm it is possible to provide industrial robots. 이 산업용 로봇에서는, 아암(14)은 상면부(85a)와 하면부(85b)와 측면부(85c)로 둘러싸이는 내부 공간(45)을 갖는 중공형으로 형성되며, 진공 중에 배치됨과 함께, 내부 공간(45)은 대기압으로 되어 있다. In the industrial robot, the arm 14 when the upper surface portion (85a) surrounding a portion (85b) and the side surface portion (85c) which is formed in a hollow shape having an inner space (45), with disposed in a vacuum, the interior space 45 is the atmospheric pressure. 상면부(85a)에는, 내부 공간(45)으로 통하는 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되고, 관통 구멍(85g)은 덮개 부재(86)로 막히고, 상면부(85a)와 덮개 부재(86) 사이에는 시일 부재가 배치되어 있다. An upper surface portion (85a) includes, a plurality of through holes (85g) communicating with the internal space 45 is formed, and the through-hole (85g) is blocked by the lid member 86, the upper face portion (85a) and the cover member 86 It is disposed between the sealing members. 하면부(85b)의, 상면부(85a)와의 대향면에는, 상면부(85a)와 하면부(85b)의 대향 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍(85g)과 적어도 일부가 겹치는 복수의 오목부(85n)가 형성되어 있다. When part (85b) of the upper surface portion (85a), the opposite surfaces of the upper surface portion (85a) and when unit (85b) pass through as seen from the opposite direction of the hole (85g) and at least a plurality of the recess portion overlap (85n of ) it is formed.

Description

산업용 로봇{INDUSTRIAL ROBOT} Industrial robots {INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은 진공 중에서 사용되는 산업용 로봇에 관한 것이다. The present invention relates to an industrial robot used in a vacuum.

종래, 진공 중에서 기판을 반송하는 진공 로봇이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). There prior art, for transferring the substrate in vacuum the vacuum robot is known (for example, see Patent Document 1). 특허문헌 1에 기재된 진공 로봇은, 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단부측에 연결되는 아암과, 아암의 기단부측이 연결되는 본체부를 구비하고 있다. And hand-written that the vacuum robot, the substrate is mounted in the Patent Document 1, and the hand is provided with the arm being connected to the distal end, the body being connected to the proximal end side of the arm portion. 아암은, 본체부에 회동 가능하게 연결되는 아암 베이스와, 그 기단부측이 아암 베이스에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 그 기단부측이 제1 아암의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암을 구비하고 있다. Arm, that the arm base is rotatably connected to the main body portion, and a first arm to which the base end side is rotatably connected to the arm base, the base end rotatably connected to the distal end side of the first arm a second and it includes the arm. 또한, 아암은, 그 기단부측이 아암 베이스에 회동 가능하게 연결되는 제1 링크와, 그 기단부측이 제1 링크의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 제2 링크와, 제1 아암의 선단부측과 제1 링크의 선단부측을 연결하는 제1 연결 링크와, 제2 아암의 선단부측과 제2 링크의 선단부측을 연결하는 제2 연결 링크를 구비하고 있다. In addition, the arm, and the first link to which the base end side is rotatably connected to the arm base, the base end side and the second link being rotatably connected to the distal end side of the first link, and the distal end side of the first arm and a first connecting link connecting the distal end side of the first link, and a second connecting link connecting the distal end side of the second arm distal end side and a second link.

특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 아암 베이스 및 제1 아암은 중공형으로 형성되어 있다. The vacuum robot disclosed in Patent Document 1, the arm base and the first arm is formed in a hollow shape. 또한, 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크도 중공형으로 형성되어 있다. Further, the second arm, a first link, second link, the first connecting link and the second connecting link is also formed in a hollow shape. 아암 베이스의 내부에는, 아암을 구동하는 아암 구동용 모터와, 아암 구동용 모터의 회전을 감속하여 제1 아암에 전달하는 제1 감속기가 배치되어 있다. Inside the arm base, to the arm for driving the arm driving motor, the deceleration rotation of the arm drive motor is disposed a first reduction gear for transmitting to the first arm. 제1 감속기의 출력축에는, 제1 아암의 기단부측이 고정되어 있다. The output shaft of the first reduction gear is, the base end side of the first arm is fixed. 제1 아암의 선단부측에는, 아암 구동용 모터의 회전을 감속하여 제2 아암에 전달하는 제2 감속기가 배치되어 있다. First and a second reduction gear is arranged to pass the first arm a second arm to the front end side, the deceleration rotation of the drive motor for the arm of. 제2 감속기의 출력축에는, 제2 아암의 기단부측이 고정되어 있다. The output shaft of the second reduction gear is, the base end side of the second arm is fixed.

또한, 특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 본체부의 일부가 진공 용기의 저면에 고정되어 있고, 아암 및 핸드는 진공 중에 배치되어 있다. Further, in the vacuum robot disclosed in Patent Document 1, and the main body portion is fixed to the bottom surface of the vacuum chamber, the arm and hand are placed in a vacuum. 중공형으로 형성되는 아암 베이스 및 제1 아암의 내부 공간에서는 기밀성이 확보되어 있고, 아암 베이스 및 제1 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있다. The arm base and the inner space of the first arm formed in a hollow shape and is air-tightness is secured, the arm base and the inner space of the first arm is at atmospheric pressure. 즉, 아암 구동용 모터, 제1 감속기 및 제2 감속기는 대기 중에 배치되어 있다. That is, the motor, the first reduction gear and the second reduction gear for driving the arm is arranged in the air. 한편, 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크에는, 그들의 내부 공간으로 통하는 개구부가 형성되어 있고, 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크의 내부 공간은 진공으로 되어 있다. On the other hand, the second arm, a first link, second link, the first connecting link and the second connecting link, and the opening of them leading to the inner space is formed, the second arm, a first link, second link, the first the inner space of the connecting link and the second connecting link is in a vacuum. 즉, 아암 베이스와 제1 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링이나, 제1 링크와 제2 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링 등은 진공 중에 배치되어 있다. That is, the bearing that connects the arm base and the first link and rotatably, a bearing, such as rotatably connected to the first link and the second link is arranged in a vacuum. 또한, 이 진공 로봇에서는, 상하 방향으로 2분할되는 대략 바닥이 있는 원통형의 2개의 분할 케이스체가 서로 접합됨으로써 아암 베이스가 구성되어 있다. Further, in this vacuum robot, the arm base is configured by being divided into two approximately cylindrical bottom two divided case body adhered of which is in the vertical direction. 2개의 분할 케이스체의 접합부에는, 아암 베이스의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위해서, 환상의 시일 부재가 배치되어 있고, 이 시일 부재를 사이에 둔 상태에서, 2개의 분할 케이스체가 접합되어 있다. Junction of the two divided housing has, in order to ensure the airtightness of the internal space of the arm base, the annular sealing member of is disposed in a state sandwiching the sealing member, it is joined body two divided case.

일본 특허 공개 제2011-101912호 공보 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-101912 discloses

특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 2개의 분할 케이스체는 환상의 시일 부재를 사이에 둔 상태에서 접합되어 있다. The vacuum robot disclosed in Patent Document 1, the two divided housing is joined in a state sandwiching the sealing member of the annular. 따라서, 이 진공 로봇에서는, 로봇이 대형화되어, 아암 베이스가 대형화되면, 시일 부재도 대형화되기 때문에, 아암 베이스를 조립할 때의 시일 부재의 취급이 번잡해진다. Accordingly, in the vacuum robot, the robot is large, when the arm base is large, since the sealing member is also large, the handling of the seal member when assembling the arm base becomes complicated. 또한, 시일 부재의 취급이 번잡해지면, 2개의 분할 케이스체 사이에 시일 부재를 확실하게 끼울 수 없는 등의 작업 미스가 발생하여, 아암 베이스의 내부 공간의 기밀성을 확보할 수 없게 될 우려도 높아진다. Further, haejimyeon the handling of the sealing members complicated, and the two divided case by the work miss, such as between a body that can not be reliably inserting the sealing member occurs, the higher the risk of no longer possible to secure the airtightness of the internal space of the arm base.

따라서, 본 발명(제1 발명)의 과제는, 진공 중에 배치됨과 함께 그 내부 공간의 적어도 일부가 대기압으로 되어 있는 아암을 갖는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇이 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention (first invention), in the industrial robot, at least a part of the inner space with the placed in a vacuum has the arm which is at atmospheric pressure, even if the industrial robot larger, the air tightness of the inner space of the arm to reduce the miss operation of installing the sealing member for ensuring to provide a possible industrial robots.

또한, 특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 아암이 진공 중에 배치되어 있어도, 아암 베이스 및 제1 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있기 때문에, 아암 베이스의 내부에 배치되는 아암 구동용 모터를 냉각하는 것이 가능해진다. Further, it is the vacuum robot disclosed in Patent Document 1, which arm may be disposed in a vacuum, since the arm base and the inner space of the first arm is at atmospheric pressure, cooling of the arm driving motor disposed inside of the arm base It can be performed. 또한, 이 진공 로봇에서는, 핸드에 탑재되는 기판의 온도가 높아도, 아암 베이스 및 제1 아암을 내부로부터 냉각하여, 아암 베이스나 제1 아암의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. In addition, the vacuum in the robot, and the arm base and the first arm, the temperature of the substrate to be mounted on a hand nopahdo cooled from the inside, it is possible to suppress the temperature rise of the arm base and the first arm. 따라서, 아암 베이스나 제1 아암의 열팽창을 억제하는 것이 가능해진다. Therefore, it is possible to suppress the thermal expansion or the base arm of the first arm. 또한, 이 진공 로봇에서는, 아암이 진공 중에 배치되어 있어도, 아암 구동용 모터, 제1 감속기 및 제2 감속기가 대기 중에 배치되어 있기 때문에, 아암 구동용 모터, 제1 감속기 및 제2 감속기의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제를 사용할 필요가 없고, 대기압 중에서 사용되는 그리스 등의 윤활제를 사용하면 된다. Further, as this vacuum robot, it may be the arm is placed in a vacuum, the arm drive motor, the first reduction gear and the second because the speed reducer is disposed in the air, the arm drive motor, the first reduction gear, and the lubricant of the second reduction gear , eliminating the need for expensive and lubricants, such as vacuum grease, you can use the lubricant of grease or the like used in the atmospheric pressure. 따라서, 진공 로봇의 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다. Therefore, it is possible to reduce the initial cost and the running cost of the vacuum robot.

그러나, 이 진공 로봇에서는, 아암을 구성하는 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크의 내부 공간이 진공으로 되어 있기 때문에, 핸드에 탑재되는 기판의 온도가 높으면, 제2 아암, 제1 링크 및 제2 링크 등의 온도가 높아져, 제2 아암, 제1 링크 및 제2 링크 등의 열팽창량이 커질 우려가 있다. However, the vacuum robot, the second arm, a first link, second link, the first connecting link and the temperature of the substrate to be mounted on, hand, because the inner space of the second connection link is in a vacuum constituting the arm is higher, the higher the temperature of such second arm, the first link and the second link, there is a fear the large amount of thermal expansion, such as second arm, the first link and the second link. 제2 아암, 제1 링크 및 제2 링크 등의 열팽창량이 커지면, 핸드에 탑재되어 반송되는 기판이, 본래의 목표 도달 위치로부터 크게 어긋날 우려가 있다. The larger the amount of thermal expansion such as a second arm, the first link and the second link, there is a fear that the substrate is mounted on the conveying hand, largely deviated from the original target landing positions.

또한, 이 진공 로봇에서는, 아암 베이스와 제1 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링이나, 제1 링크와 제2 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링 등이 진공 중에 배치되어 있기 때문에, 핸드에 탑재되는 기판의 온도가 높으면, 이들 베어링의 온도가 상승하여, 이들 베어링의 수명이 저하될 우려가 있다. Further, since the in vacuum robot, the bearing such that the arm rotatably connected to the bearing or the first link and the second link rotatably connected to the base and the first link is disposed in a vacuum, the substrate is mounted on the hand the temperature is high, the temperature of these bearings, there is the possibility that degradation lifetime of these bearings. 또한, 이들 베어링이 진공 중에 배치되어 있기 때문에, 이들 베어링의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제를 사용해야만 한다. In addition, because these bearings are placed in a vacuum, as a lubricant for these bearings, you must use an expensive grease such as vacuum grease. 따라서, 이 진공 로봇에서는 초기 비용 및 러닝 코스트가 높아진다. Accordingly, in the vacuum robot increases the initial cost and running cost.

따라서, 본 발명(제2 발명)의 과제는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 반송 대상물의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것, 및, 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention (second invention), is mounted on the hand to increase the conveying accuracy of the conveying object nopahdo the temperature of the transfer object, to suppress the deviation from the target of the transfer object is reached where the transfer in a vacuum, and , to provide an industrial robot capable of reducing the initial cost and running cost.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명(제1 발명)의 산업용 로봇은, 평판 형상의 제1 평면부와, 제1 평면부와 소정의 간극을 두고 대략 평행하게 대향 배치되는 평판 형상의 제2 평면부와, 제1 평면부의 외주 단부와 제2 평면부의 외주 단부를 연결하는 측면부를 갖는 아암을 구비하고, 아암의 적어도 일부는, 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부로 둘러싸이는 내부 공간을 갖는 중공형으로 형성됨과 함께, 아암은 진공 중에 배치되고, 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있고, 제1 평면부에는 내부 공간으로 통하는 복수의 관통 구멍이 형성되고, 아암은, 제1 평면부에 고정되어 관통 구멍을 막는 복수의 덮개 부재와, 제1 평면부와 덮개 부재 사이에 배치되어 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 복수의 시일 부재를 구비하고, 제2 평면부의, 제1 평면 In order to solve the above problems, the present invention industrial robot, the second plane of the flat plate shape with a first plane surface, a first plane surface with a predetermined gap between the flat plate-like facing each other substantially parallel to the (first invention) unit, and a first and a arm having a side surface connecting the first plane portion outer end and the second plane to the outer peripheral end portion, at least a portion of the arm is, the first planar portion and a second planar portion and the enclosed inner space with the side hollow with formed with, the arm is disposed in a vacuum, the inner space of the arm and is at atmospheric pressure, a plurality of through holes communicating the interior space with a first flat portion is formed, and the arm is the liquid in the first planar portion a plurality of cover members is fixed to prevent a through-hole, and a first planar portion and a cover member is disposed between, and having a plurality of sealing members for preventing the outflow of air from the interior space, the second flat portion, the first planar 부와의 대향면에는, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍과 적어도 일부가 겹치는 복수의 오목부가 움푹 패이도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. Facing surface of the portion, the second and the first planar portion and a characterized in that at least some of the through-hole when viewed from the opposing direction of the second plane is formed to have a plurality of overlapping L recess cavity.

본 발명(제1 발명)의 산업용 로봇에서는, 진공 중에 배치됨과 함께 그 내부 공간이 대기압으로 되어 있는 아암을 구성하는 제1 평면부에, 내부 공간으로 통하는 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. In the present invention the industrial robot (the first invention), and a first flat portion constituting the arm with the inner space to the atmospheric pressure are arranged with a vacuum, a plurality of through-holes leading to the interior space is provided. 또한, 본 발명(제1 발명)에서는, 아암은, 제1 평면부에 고정되어 복수의 관통 구멍을 막는 복수의 덮개 부재와, 제1 평면부와 덮개 부재 사이에 배치되어 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 복수의 시일 부재를 구비하고 있다. Further, in the present invention (first invention), the arm is first fixed to the first planar portion is disposed between the plurality of cover members to block a plurality of through holes, the first planar portion and a cover member of the air from the interior space and a plurality of sealing members for preventing leakage. 그 때문에, 본 발명(제1 발명)에서는, 산업용 로봇이 대형화되어 아암이 대형화되어도, 복수의 시일 부재의 각각의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암을 조립할 때, 시일 부재를 용이하게 취급하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present invention (first invention), the industrial robot is large even if the arm is large, it is possible to reduce the size of each of the plurality of seal members, and as a result, when assembling the arm, to facilitate the sealing member it is possible to handle. 따라서, 본 발명(제1 발명)에서는, 산업용 로봇이 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present invention (first invention), even if the large-sized industrial robot, it is possible to reduce the miss operation of installing the seal member for securing air-tightness of the inner space of the arm.

여기서, 진공 중에 배치되는 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있는 경우, 중공형으로 형성되는 아암은 내부의 압력에 의해 외측으로 불룩해지도록 변형된다. Here, when the inner space of the arm is disposed in a vacuum to atmospheric pressure, the arm is formed in a hollow shape is deformed so as to bulge outward by the inner pressure. 본 발명(제1 발명)에서는, 제2 평면부의, 제1 평면부와의 대향면에, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍과 적어도 일부가 겹치는 복수의 오목부가 움푹 패이도록 형성되어 있기 때문에, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향의 양쪽 외측을 향하여 대략 균등하게 아암이 불룩해지도록 아암을 변형시키는 것이 가능해진다. According to the present invention (first invention), a second flat portion, first at the opposite side of the flat portion, a first flat portion and the through and at least recessed portion is added a plurality of recesses overlaps the hole as viewed from the second plane opposite to the negative direction because it is formed to L, towards the first planar portion and a second planar outer sides of the opposite negative direction becomes possible to deform the arm such that the arm is evenly bulging substantially. 즉, 제2 평면부의 제1 평면부와의 대향면에 오목부가 형성되어 있지 않은 경우에는, 복수의 관통 구멍이 형성되는 제1 평면부의 강도가 제2 평면부의 강도보다도 낮아지기 때문에, 아암은, 내부의 압력에 의해, 아암의 제2 평면부측보다도 아암의 제1 평면부측이 외측을 향하여 크게 불룩해지도록 변형되기 쉬워지지만, 본 발명(제1 발명)에서는, 제2 평면부의 제1 평면부와의 대향면에, 복수의 오목부가 형성되어 있어, 제2 평면부의 강도를 제1 평면부의 강도에 가깝게 하는 것이 가능해지기 때문에, 제1 평면부측과 제2 평면부측의 양쪽 외측을 향하여 대략 균등하게 아암이 불룩해지도록 아암을 변형시키는 것이 가능해진다. That is, since the second flat portion of claim 1 when the plane is not part and the recess in the opposing face is formed of a first intensity first planar portion with a plurality of through-holes to be formed is lowered than the strength of the second plane, the arms, the inner by the pressure, than the second plane side of the arm is a first flat portion side of the arm, but tends to be larger such that the bulging deformation toward the outside, in the present invention (first invention), with the part 2 flat portion a first plane on the opposite side, since that it added a plurality of recesses are formed, close to the strength of two flat parts of the strength of the first plane possible, a first flat side and a substantially uniformly arm towards the sides outside of the second flat side it becomes possible to deform the arms so as to be bulged. 따라서, 본 발명(제1 발명)에서는, 제1 평면부에 복수의 관통 구멍이 형성되어 있어도, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향에 있어서의 일방측으로 기울도록 아암이 변형되거나, 비틀어지도록 아암이 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암의 선단부측의 위치 정밀도를 확보하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present invention (first invention), a first even when the plurality of through holes in the flat portion is formed, the arm is deformed so as to tilt the first plane portion and the side of one of the opposing directions of the second plane, or so twisted it is possible to suppress the deformation or the arm, and as a result, it is possible to secure the position accuracy of the distal end side of the arm.

본 발명(제1 발명)에 있어서, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍의 내주면과 오목부의 내주면이 대략 일치하고 있는 것이 바람직하다. In the present invention (first invention), it is preferable that the first plane section and a second plane as seen from the opposite direction of the inner peripheral surface and inner peripheral surface of the concave portion of the through-holes match approximately. 또한, 본 발명(제1 발명)에 있어서, 관통 구멍은 원형으로 형성되고, 오목부는 관통 구멍의 내경과 내경이 동일한 원형으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. In the present invention (first invention), a through hole is formed in a circular shape, the concave part may have an inner diameter as the inner diameter of the through hole is formed in the same round. 이와 같이 구성하면, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향의 양쪽 외측을 향하여 균등하게 아암이 불룩해지도록 아암을 변형시키기 쉬워진다. According to this structure, the first flat portion and is easy to deform the first arms such that the arms are uniformly bulging towards the two flat outer sides of the opposite negative direction. 따라서, 제1 평면부에 복수의 관통 구멍이 형성되어 있어도, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향에 있어서의 일방측으로 기울도록 아암이 변형되거나, 비틀어지도록 아암이 변형되거나 하는 것을 효과적으로 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암의 선단부측의 위치 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. Thus, the first even if the plurality of through holes in the flat portion is formed, the first planar portion and the or arm is deformed so as to tilt second plane toward the one of the opposite negative direction, to twist so that the arm is deformed, effectively inhibit the it becomes possible, as a result, it is possible to improve the positional accuracy of the tip end side of the arm.

본 발명(제1 발명)에 있어서, 내부 공간은, 관통 구멍으로부터 삽입되는 절삭용 공구를 사용한 절삭 가공에 의해 형성되고, 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부가 일체로 되어 있는 것이 바람직하다. In the present invention (first invention), an internal space is formed by cutting with a cutting tool for being inserted from the through hole, the first planar portion and a second flat portion and the side surface portion is preferably integrally . 이와 같이 구성하면, 서로 별체로 형성된 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부가 접합됨으로써 내부 공간이 형성되는 경우와 비교하여, 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하기 쉬워진다. According to this arrangement, the first bonding plane portion and the second flat portion and the side portions are formed separately from each other by being compared to the case where the internal space is formed, it becomes easier to prevent the leakage of air from the interior space. 또한, 이와 같이 구성하면, 주물에 의해, 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부가 일체로 형성되어 있는 경우와 비교하여, 제1 평면부, 제2 평면부 및 측면부로부터 진공 중으로 방출되는 가스(아웃 가스)의 방출량을 저감하는 것이 가능해진다. Furthermore, According to this structure, as compared with the case that by the casting, the first planar portion and a second flat portion and the side portion are integrally formed, the first planar portion, the gas released into the vacuum from the second flat portion and the side portions to reduce the emission amount of (out gas) can be performed.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명(제2 발명)의 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고, 핸드와 아암은 진공 중에 배치되고, 아암의 전체는 중공형으로 형성되고, 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있는 것을 특징으로 한다. In order to solve the above problems, is the industrial robot according to the invention (second invention), the main body portion and the arm in which the basal end side is rotatably connected to the main body portion and the hand is rotatably connected to the distal end side of the arm provided, and the hand and the arm is disposed in a vacuum, the whole of the arm is formed in a hollow shape, it characterized in that the inner space of the arm which is at atmospheric pressure.

본 발명(제2 발명)의 산업용 로봇에서는, 아암의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있다. The industrial robot according to the invention (second invention), and the whole of the arm is formed as a hollow, the internal space of the arm are at atmospheric pressure. 그 때문에, 본 발명(제2 발명)에서는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 아암의 내부로부터 아암의 전체를 냉각하여, 아암 전체의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present invention (second invention), it is mounted on the hand it is possible that the temperature of the conveying object is conveyed in a vacuum high, to cool the whole of the arms from the inside of the arm, suppressing the temperature increase of the arm overall. 따라서, 본 발명(제2 발명)에서는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 아암 전체의 열팽창을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 반송 대상물의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. Therefore, a deviation from the invention (second invention) In, is mounted on the hand it is possible that the temperature of the conveying object is conveyed in a vacuum high, suppressing the thermal expansion of the arm full, and as a result, the purpose of conveying the object to reach the location suppressed becomes possible to improve the conveying accuracy of the conveying object.

또한, 본 발명(제2 발명)에서는, 아암의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있기 때문에, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 아암의 내부에 배치되는 모든 베어링의 온도 상승을 억제하여, 이들 베어링의 수명 저하를 억제하는 것이 가능해진다. In addition, the interior of the invention (second invention), the and the whole of the arm is formed as a hollow, since the inner space of the arm is at atmospheric pressure, is mounted on the hand, the temperature of the conveying object is conveyed in a vacuum high, arm to suppress the temperature rise of any bearing is disposed, it is possible to suppress the reduction in the life of these bearings. 또한, 본 발명(제2 발명)에서는, 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있기 때문에, 아암의 내부에 배치되는 모터나 감속기의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제가 아니라, 대기압 중에서 사용되는 그리스 등의 윤활제를 사용하는 것이 가능해진다. Further, in the present invention (second invention), since the inner space of the arm it is at atmospheric pressure, as a motor or a reduction gear disposed in the interior of the arm a lubricant, not the expensive lubricant such as vacuum grease, grease is used in the atmospheric pressure it is possible to use a lubricant such as. 따라서, 본 발명에서는 산업용 로봇의 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present invention, it is possible to reduce the initial cost and the running cost of the industrial robot.

본 발명(제2 발명)에 있어서, 예를 들면 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 복수의 아암부에 의해 구성되고, 복수의 아암부의 각각은 중공형으로 형성되어 있다. In the present invention (second invention), for example, the arm is constituted by a plurality of arm parts relative to each other is rotatably connected, each of the plurality of the arm portions is formed in a hollow shape. 이 경우에는, 예를 들면 아암은, 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암부로서의 제1 아암부와, 제1 아암부의 선단부측에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 그 선단부측에 핸드가 회동 가능하게 연결되는 아암부로서의 제2 아암부로 구성되어 있다. In this case, for example, the arm, the first arm and the its leading end with the connected its base end side to the first arm leading end portion rotatably as an arm in which the basal end side is rotatably connected to the main body part It is composed of a second arm as the arm is rotatably connected to the hand side.

본 발명(제2 발명)에 있어서, 산업용 로봇은, 제1 아암부에 대하여 제2 아암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 제2 아암부에 대하여 핸드를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제1 모터의 회전을 감속하여 제2 아암부에 전달하는 제1 감속기와, 제2 모터의 회전을 감속하여 핸드에 전달하는 제2 감속기를 구비하고, 제1 감속기는, 제1 아암부와 제2 아암부를 연결하는 제1 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 제1 아암부의 내부에 배치되고, 제2 감속기는, 제2 아암부와 핸드를 연결하는 제2 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 제2 아암부의 내부에 배치되어 있는 것이 바람직하다. In the present invention (second invention), and industrial robots, with a first child and a first motor for rotating a second arm with respect to the arm portion, a second motor for rotating the hand with respect to the second arm, the first and the first reduction gear to pass the second arm portion to decelerate the rotation of the motor, the deceleration rotation of the second motor and a second reduction gear for transmitting the hand, the first speed reducer includes a first arm and a second arm portion with the box configuration at least a portion of the first joint the second joint part, which at least with the box form part is disposed on the interior of the first arm, the second speed reducer is connected to the second arm and the hand of connecting the second arm is preferably arranged on the inner portion. 또한, 이 경우에는, 제1 모터 및 제2 모터는 제1 아암부의 내부에 배치되어 있는 것이 바람직하다. Further, in this case, the first and second motors are preferably disposed in the interior of the first arm.

이와 같이 구성하면, 제1 감속기가 제1 관절부의 적어도 일부를 구성하고, 제2 감속기가 제2 관절부의 적어도 일부를 구성하고 있기 때문에, 제1 관절부 및 제2 관절부의 강성을 높이는 것이 가능해진다. According to this arrangement, the first reduction gear is configured at least a portion of the first joint, and it is the possible second reduction gear is the height of the first joint portions and the rigidity of the second joint part so that constitute at least a portion of the second joint. 또한, 이와 같이 구성하면, 제1 모터 및 제2 모터가 제1 아암부의 내부에 배치되어 있기 때문에, 제2 아암을 소형화하는 것이 가능해진다. In addition, it is possible to According to this structure, the first and second motors for a reduction in the size, since the second arm is arranged in the interior of the first arm. 여기서, 제2 모터가 제1 아암부의 내부에 배치되어 있으면, 제2 모터로부터 핸드까지의 동력의 전달 경로가 길어지지만, 이와 같이 구성하면, 제2 감속기가 제2 관절부의 적어도 일부를 구성하고 있기 때문에, 제2 감속기의 출력측에 핸드를 직접 고정하는 것이 가능해진다. Here, when the second motor is if it is placed in the interior of the first arm, but the transmission path of power to the hand extended from the second motor, this configuration, the second reduction gear is it constitutes at least a portion of the second joint. Therefore, it becomes possible to secure the hand directly to the output side of the second reduction gear. 따라서, 예를 들면 제2 감속기가 제1 관절부를 구성하도록 배치되고, 제2 감속기와 핸드가 벨트 및 풀리를 통하여 접속되는 경우와 비교하여, 핸드의 정지 정밀도를 높이는 것이 가능해지고, 그 결과, 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. Thus, for example, the second reduction gear is arranged to constitute the first joint, as compared with the case that the second reduction gear and the hand is connected via a belt and pulley, it is possible to increase the stopping precision of the hand, as a result, the transport it is possible to improve the conveying accuracy of the object.

본 발명(제2 발명)에 있어서, 산업용 로봇은 아암의 내부 공간에 배치되는 냉각 기구를 구비하는 것이 바람직하다. In the present invention (second invention), the industrial robot is preferably provided with a cooling mechanism disposed in the interior space of the arm. 이와 같이 구성하면, 아암의 내부로부터 아암의 전체를 효과적으로 냉각하여, 아암 전체의 온도 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다. According to this structure, it is possible to effectively cool the whole of the arms from the inside of the arm, effectively suppress the temperature rise of the whole arm.

이상과 같이, 본 발명(제1 발명)에서는, 진공 중에 배치됨과 함께 그 내부 공간의 적어도 일부가 대기압으로 되어 있는 아암을 갖는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇이 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능해진다. As described above, in the present invention (first invention), in the industrial robot, at least a part of the inner space with the placed in a vacuum has the arm which is at atmospheric pressure, even if the industrial robot larger, the air tightness of the inner space of the arm to reduce the miss operation of installing the sealing member for securing can be performed.

이상과 같이, 본 발명(제2 발명)의 산업용 로봇에서는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 반송 대상물의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것, 및, 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다. As described above, in the industrial robot according to the invention (second invention), is mounted on the hand, the temperature of the conveying object is conveyed in a vacuum high, to suppress the deviation from the target of the transfer object is reached where increasing the conveying accuracy of the conveying object would, and it becomes possible to reduce the initial cost and running cost.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 도시하는 평면도이다. 1 is a plan view of the industrial robot according to the embodiment of the present invention showing a state in the manufacturing system of an organic EL display.
도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. Figure 2 is a view of the industrial robot shown in Figure 1, (A) is a plan view, (B) is a side view.
도 3은 도 2에 도시한 산업용 로봇의 내부 구조를 측면으로부터 설명하기 위한 단면도이다. 3 is a sectional view illustrating the internal structure of the industrial robot shown in Figure 2 from a side.
도 4는 도 3에 도시한 제1 아암부 및 관절부의 확대도이다. Figure 4 is an enlarged view of a first arm portion and the joint portions shown in Fig.
도 5는 도 3에 도시한 제2 아암부 및 관절부의 확대도이다. Figure 5 is an enlarged view of the second arm and the joint portions shown in Fig.
도 6은 도 5에 도시한 제2 아암부의 아암부 본체의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 (A)의 EE 단면의 단면도이다. Figure 6 is a view of the arm body a second arm unit shown in Figure 5, (A) is a plan view, (B) is a cross-sectional view of a cross-section EE of (A).
도 7은 도 6의 (A)의 F부의 확대도이다. 7 is an enlarged view of F part (A) of FIG.
도 8은 도 6의 (B)의 G부의 확대도이다. Figure 8 is an enlarged view of a G portion (B) of FIG.
도 9는 도 1에 도시한 프로세스 챔버로부터 기판을 반출하여 다른 프로세스 챔버에 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 설명하기 위한 도면이다. 9 is a view for explaining the movement of the industrial robot to carry out another process chamber to the substrate from the process chamber shown in Fig.
도 10은 도 1에 도시한 프로세스 챔버에 기판을 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 설명하기 위한 도면이다. 10 is a view for explaining the movement of the industrial robot to carry a substrate in a process chamber shown in Fig.
도 11은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다. 11 is a plan view of the industrial robot according to another embodiment of the invention.
도 12는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다. 12 is a plan view of an industrial robot according to another embodiment of the invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다. Hereinafter, with reference to the drawings, a description will be given of an embodiment of the present invention.

(산업용 로봇의 개략 구성) (Outline structure of an industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 도시하는 평면도이다. 1 is a plan view of industrial robot 1 according to the embodiment of the present invention is shown a state where the manufacturing system 3 of the organic EL display. 도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇(1)의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. Figure 2 is a view of the industrial robot 1 shown in Figure 1, (A) is a plan view, (B) is a side view. 도 3은 도 2에 도시한 산업용 로봇(1)의 내부 구조를 측면으로부터 설명하기 위한 단면도이다. 3 is a sectional view illustrating the internal structure of the industrial robot 1 shown in Figure 2 from a side.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 반송하기 위한 로봇이다. The form of the industrial robot (1) (referred to as "robot 1" hereinafter) is a conveying object is an organic EL (organic electroluminescence) (2) The glass substrate for a display (hereinafter referred to as "substrate 2" a robot for transferring the term). 이 로봇(1)은 비교적 대형의 기판(2)의 반송에 적합한 로봇이다. The robot 1 is a robot suitable for transporting the substrate of a relatively large (2). 로봇(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어 사용된다. A robot (1) is 1, the used is built in the manufacture of the organic EL display system (3).

제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(5 내지 10)(이하, 「 챔버(5 내지 10)」라 함)를 구비하고 있다. Manufacturing system 3, the transfer chamber 4 is disposed at the center (hereinafter referred to as "chamber (4)" hereinafter) and a plurality of process chambers (5-10) disposed so as to surround the chamber 4 (the , and a referred to as "chamber (5-10)"). 챔버(4) 및 챔버(5 내지 10)의 내부는 진공으로 되어 있다. The interior of the chamber 4 and the chamber (5 to 10) is a vacuum. 챔버(4)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. The interior of the chamber (4) is arranged in a part of the robot (1). 로봇(1)을 구성하는 후술하는 포크부(21)가 챔버(5 내지 10) 내에 인입함으로써, 로봇(1)은 챔버(5 내지 10) 간에서 기판(2)을 반송한다. By a fork portion 21 which will be described later constituting the robot 1 it is drawn into the chamber (5 to 10), the robot 1 is to transport the substrate (2) between the chamber (5 to 10). 즉, 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송한다. That is, the robot 1 carries the substrate 2 in a vacuum. 챔버(5 내지 10)에는, 각종 장치 등이 배치되어 있고, 로봇(1)에 의해 반송된 기판(2)이 수용된다. The chamber (5 to 10), and the various devices are disposed, that the carrying board 2 by the robot 1 is accommodated. 또한, 챔버(5 내지 10)에서는, 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다. In addition, the various types of processing is performed with respect to the chamber (5 to 10) and the substrate (2). 제조 시스템(3)의 보다 구체적인 구성에 대해서는 후술한다. Will be described later in more concrete configuration of the manufacturing system (3).

도 2, 도 3에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(13)와, 핸드(13)가 그 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 아암(14)과, 아암(14)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(15)와, 본체부(15)를 승강시키는 승강 기구(16)를 구비하고 있다. And, a robot (1) includes a substrate (2), the arm being hand 13, the hand 13 is rotatably connected to the distal end side 14, which is mounted as shown in Fig. 2, 3, and a base end and a main body portion 15, which is rotatably connected to the arm 14, the lifting mechanism 16 to lift the body part 15. 본체부(15) 및 승강 기구(16)는 대략 바닥이 있는 원통 형 케이스체(17) 내에 수용되어 있다. Body part 15 and lifting mechanism 16 are accommodated in a substantially cylindrical-shaped case body 17 having a bottom. 케이스체(17)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(18)가 고정되어 있다. In the upper end of the case body 17, a flange 18 formed in a disc shape is fixed. 플랜지(18)에는, 본체부(15)의 상단부측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다. Flange (18), the through holes are the upper end side portion of the body part 15 is arranged is formed. 또한, 도 2의 (A)에서는, 본체부(15), 승강 기구(16) 및 케이스체(17) 등의 도시를 생략하고 있다. In (A) of Figure 2, it is not shown, such as the main body portion 15, the lifting mechanism 16 and the case body 17.

핸드(13) 및 아암(14)은 본체부(15)의 상측에 배치되어 있다. Hand 13 and the arm 14 is arranged on the upper side of the body part 15. 또한, 핸드(13) 및 아암(14)은 플랜지(18)의 상측에 배치되어 있다. Further, the hand 13 and the arm 14 is disposed on the upper side of the flange 18. 상술한 바와 같이, 로봇(1)의 일부는 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. As described above, a portion of the robot 1 is disposed in the interior of the chamber (4). 구체적으로는, 로봇(1)의, 플랜지(18)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. Specifically, a portion of the top view of the lower end than cotton of the robot 1, the flange 18 is disposed in the interior of the chamber (4). 즉, 로봇(1)의, 플랜지(18)의 하단부면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 중에 배치되어 있고, 핸드(13) 및 아암(14)은 진공 중에 배치되어 있다. In other words, the lower end portion than cotton also on the upper side of the robot 1, the flange 18 is being disposed in the vacuum region VR, hand 13 and arm 14 are arranged in a vacuum. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(18)의 하단부면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 중(대기 중)에 배치되어 있다. On the other hand, the lower end than cotton also part of the lower side of the robot 1, flange 18 is disposed on the atmosphere region AR (in the atmosphere).

핸드(13)는, 아암(14)에 연결되는 기초부(20)와, 기판(2)이 탑재되는 4개의 포크부(21)를 구비하고 있다. Hand 13 is provided with four fork portion 21 which is the base portion 20 to be connected to the arm 14, the substrate 2 is mounted. 포크부(21)는 직선형으로 형성되어 있다. Fork part 21 is formed in a straight line. 4개의 포크부(21) 중 2개의 포크부(21)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. Four fork portion 2 of the fork 21, section 21, is arranged in parallel to each other in a state placed a predetermined distance. 이 2개의 포크부(21)는, 기초부(20)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출되도록 기초부(20)에 고정되어 있다. The two fork portions 21, is fixed to the base portion 20 so as to project toward the one of the horizontal direction from the base portion (20). 나머지 2개의 포크부(21)는, 기초부(20)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)와 반대측을 향하여 기초부(20)로부터 돌출되도록 기초부(20)에 고정되어 있다. The other two fork portions 21, is fixed to the base portion 20 so as to project from the base portion 20 toward the two fork part 21 and the opposite side is protruded toward one of the horizontal direction from the base portion 20 have.

아암(14)은, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. Arm 14 is constituted by the two arms of the first arm 23 and second arm 24. 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)는 중공형으로 형성되어 있다. The first arm 23 and second arm portion 24 is formed in a hollow shape. 즉, 아암(14)의 전체는 중공형으로 형성되어 있다. That is, all of the arm 14 is formed in a hollow shape. 제1 아암부(23)의 기단부측은, 본체부(15)에 회동 가능하게 연결되어 있다. The base end side of the first arm 23, and is rotatably connected to the main body portion (15). 제1 아암부(23)의 선단부측에는, 제2 아암부(24)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. The first arm has a front end side 23, a second O proximal end side of the arm 24 is rotatably connected. 즉, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)는 서로 상대 회동 가능하게 연결되어 있다. That is, the first arm 23 and second arm 24 are connected to each other to enable relative rotation. 제2 아암부(24)의 선단부측에는 핸드(13)가 회동 가능하게 연결되어 있다. Claim 2 has been hand-ah 13 side of the front end of the arm 24 is rotatably connected.

아암(14)과 본체부(15)의 연결부(즉, 제1 아암부(23)와 본체부(15)의 연결부)는 관절부(25)로 되어 있다. (Connection of the words, the first arm 23 and the body part 15) the arm 14 and the body part 15 of the connection part is a joint (25). 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 연결부는 관절부(26)로 되어 있다. Connection of the first arm 23 and second arm 24 is a joint part (26). 아암(14)과 핸드(13)의 연결부(즉, 제2 아암부(24)와 핸드(13)의 연결부)는 관절부(27)로 되어 있다. (Connection of the words, the second arm 24 and the hand 13), arm 14 and hand 13 of the connecting portion is a joint (27). 제1 아암부(23)에 대한 제2 아암부(24)의 회동 중심과 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 중심의 거리는, 제1 아암부(23)에 대한 제2 아암부(24)의 회동 중심과 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 중심의 거리와 동일하게 되어 있다. The second to the first arm 23 second arm 24 rotating center and the main body portion 15 the first arm rotating center distance, the first arm 23 of the 23 for the for 2 the arm is equal to the distance of the rotational center of the 24 rotating center and a second arm the hand 13 to the 24 in. 본 형태에서는, 관절부(26)는 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)를 연결하는 제1 관절부이고, 관절부(27)는 제2 아암부(24)와 핸드(13)를 연결하는 제2 관절부이다. In this embodiment, the joint part 26 is a first arm 23 and second arm, and (24) a first joint part for connecting, joint portions 27 of the second arm 24 and the hand 13 a second joint for connecting.

제1 아암부(23)는, 본체부(15)로부터 수평 방향의 일방측으로 신장되도록, 본체부(15)에 설치되어 있다. The first arm 23, so that the height toward the one of the horizontal direction from the main body portion 15, is provided on the body part 15. 제1 아암부(23)에는, 제1 아암부(23)가 신장되는 방향과 반대측(즉, 수평 방향의 타방측)으로 본체부(15)로부터 신장되는 카운터 웨이트(28)가 설치되어 있다. The a first arm (23), the first arm 23 are (the other side of that is, horizontal direction) as the counterweight (28) extending from the body portion (15) extending direction and the opposite side is provided. 제2 아암부(24)는, 제1 아암부(23)보다도 상측에 배치되어 있다. The second arm portion 24, and the is disposed at the upper side than the first arm (23). 또한, 핸드(13)는 제2 아암부(24)보다도 상측에 배치되어 있다. Further, the hand 13 is disposed on the image side than the second arm (24).

본체부(15)에는, 본체부(15)에 대하여 제1 아암부(23)를 회동시키기 위한 모터(31)가 설치되어 있다. Body portion 15 is provided with a motor 31 for rotating the first arm 23 is installed with respect to the body portion 15. 또한, 본체부(15)는, 제1 아암부(23)의 기단부측이 고정되는 중공 회전축(32)과, 모터(31)의 회전을 감속하여 제1 아암부(23)에 전달하는 감속기(33)와, 감속기(33)의 케이스체를 유지함과 함께 중공 회전축(32)을 회동 가능하게 유지하는 대략 원통형 유지 부재(34)를 구비하고 있다. Further, the main body portion 15, a reduction gear for transmitting the first arm the hollow rotary shaft that is the base end side is fixed (23) (32), a first arm (23) to slow down the rotation of the motor 31 ( 33), and a substantially cylindrical holding members 34 for the hollow rotary shaft (32) with maintaining the housing of a reduction gear (33) held rotatably.

감속기(33)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. Reducer (33) is a hollow reduction gear having a through hole at the center of the radial direction. 이 감속기(33)는, 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(32)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. The reduction gear 33, the axis of the through shaft and the hollow center of the rotation axis 32 of the holes are arranged to match. 감속기(33)의 입력측에는, 풀리 및 벨트를 통하여 모터(31)가 연결되어 있다. The motor 31 via the input side pulley and the belt of the reducer 33 is connected. 감속기(33)의 출력측에는, 중공 회전축(32)의 하단부가 고정되어 있다. The output side of the reduction gear 33, and is fixed to the lower end of the hollow rotary shaft 32. 중공 회전축(32)의 상단부에는, 제1 아암부(23)의 기단부측의 하면이 고정되어 있다. In the upper end portion of the hollow rotary shaft 32, a proximal end side of the lower face of the first arm 23 is fixed. 중공 회전축(32)은, 유지 부재(34)의 내주측에 배치되어 있고, 중공 회전축(32)의 외주면과 유지 부재(34)의 내주면 사이에는 베어링이 배치되어 있다. The hollow rotary shaft 32, is disposed on the inner peripheral side of the holding member 34, and there is a bearing disposed between the inner peripheral surface of the outer surface and the holding member 34 of the hollow rotary shaft 32.

관절부(25)에는, 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(35)이 배치되어 있다. Joint portions (25), the magnetic fluid seal 35 for preventing leakage of air into the vacuum region VR are arranged. 자성 유체 시일(35)은, 중공 회전축(32)의 외주면과 유지 부재(34)의 내주면 사이에 배치되어 있다. The magnetic fluid seal 35 is disposed between the inner peripheral surface of the outer surface and the holding member 34 of the hollow rotary shaft 32. 또한, 관절부(25)에는, 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하기 위한 벨로즈(36)가 배치되어 있다. In addition, the joint part 25 is provided with a bellows 36 for preventing the leakage of air into the vacuum region VR are arranged. 구체적으로는, 자성 유체 시일(35)의 외주측이며, 또한, 유지 부재(34)의 외주측에 벨로즈(36)가 배치되어 있다. Specifically, an outer circumferential side of the magnetic fluid seal 35, and also, is disposed a bellows 36 on the outer peripheral side of the holding member (34). 벨로즈(36)의 하단부는 유지 부재(34)에 고정되고, 벨로즈(36)의 상단부는 플랜지(18)에 고정되어 있다. The upper end of the lower end of the bellows 36 is fixed to the holding member 34, the bellows 36 is fixed to the flange 18. 승강 기구(16)를 구성하는 후술하는 모터(40)가 회전하여 본체부(15)가 승강하면, 벨로즈(36)가 신축한다. If the lifting mechanism is rotated by the main body portion 15 the motor 40 to be described later to configure the (16) is elevated, and the elastic bellows (36).

승강 기구(16)는, 상하 방향을 축 방향으로 하여 배치되는 나사 부재(38)와, 나사 부재(38)에 걸림 결합하는 너트 부재(39)와, 나사 부재(38)를 회전시키는 모터(40)를 구비하고 있다. The lifting mechanism 16 includes a motor (40 that with the screw member 38 is disposed in the vertical direction in the axial direction, a nut member 39 that engages with the screw member 38, rotate the screw member 38 ) and a. 나사 부재(38)는 케이스체(17)의 저면측에 회전 가능하게 설치되어 있다. The screw member 38 is rotatably mounted on the bottom side of the case body 17. 모터(40)는 케이스체(17)의 저면측에 설치되어 있다. Motor 40 is provided at the bottom side of the case body 17. 나사 부재(38)는, 풀리 및 벨트를 통하여 모터(40)에 연결되어 있다. The screw member 38, and is connected to motor 40 through a pulley and a belt. 너트 부재(39)는 소정의 브래킷을 통하여 본체부(15)에 설치되어 있다. Nut member 39 is provided on the body part 15 through a predetermined bracket. 본 형태에서는, 모터(40)가 회전하면, 나사 부재(38)가 회전하여, 본체부(15)가 너트 부재(39)와 함께 승강한다. In this embodiment, when the rotation motor 40, and the screw member 38 rotates, the body portion 15 is to lift with the nut member 39. 또한, 승강 기구(16)는, 본체부(15)를 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드축과, 이 가이드축에 걸림 결합하여 상하 방향으로 슬라이드하는 가이드 블록을 구비하고 있다. In addition, the lifting mechanism 16, a guide shaft for guiding the body part 15 in the vertical direction and, by engaging on the guide shaft and has a guide block slides up and down.

(제1 아암부, 제2 아암부의 내부의 구성 및 관절부의 구성) (First arm, second arm portion of the internal configuration and configuration of the joint)

도 4는 도 3에 도시한 제1 아암부(23) 및 관절부(26)의 확대도이다. Figure 4 is an enlarged view of a first arm 23 and the joint part 26 shown in FIG. 도 5는 도 3에 도시한 제2 아암부(24) 및 관절부(27)의 확대도이다. Figure 5 is an enlarged view of the second arm 24 and the joint part 27 shown in FIG.

상술한 바와 같이, 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)는 중공형으로 형성되어 있다. As described above, the first arm 23 and second arm portion 24 is formed in a hollow shape. 중공형으로 형성되는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에는, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)를 회동시키기 위한 제1 모터로서의 모터(46)와, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)를 회동시키기 위한 제2 모터로서의 모터(47)가 배치되어 있다. And the interior space 45 of the first arm portion 23 is formed in a hollow, the first arm 23, second arm 24, a motor as a first motor (46) to rotate with respect to, a first motor 47 as a second motor for rotating the hand 13 is disposed with respect to the second arm (24). 관절부(26)는, 모터(46)의 회전을 감속하여 제2 아암부(24)에 전달하는 제1 감속기로서의 감속기(48)를 구비하고 있다. Joint 26 is provided with a reduction gear 48 as a first reduction gear for transmitting the second arm 24 to slow the rotation of the motor 46. 감속기(48)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. Reducer (48) is a hollow reduction gear having a through hole at the center of the radial direction. 또한, 관절부(26)는, 중공 회전축(50)과, 중공 회전축(50)의 외주측에, 또한, 중공 회전축(50)과 동축상에 배치되는 중공 회전축(51)을 구비하고 있다. In addition, the joint part 26 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 50 and the hollow rotary shaft 50, and also, provided with a hollow rotary shaft 51 is disposed in the hollow rotary shaft 50 and the same axis. 또한, 중공 회전축(50)의 외주면과 중공 회전축(51)의 내주면 사이에는, 베어링이 배치되어 있다. Further, between the outer surface and the inner circumferential surface of the hollow rotary shaft 51 of the hollow rotary shaft 50, it is the bearing arrangement.

감속기(48)의 입력측에는, 풀리(52, 53) 및 벨트(54)를 통하여 모터(46)가 연결되어 있다. The motor 46 via the input side, the pulley 52 and 53 and belt 54 of the speed reducer 48 is connected. 감속기(48)의 출력측에는, 중공 회전축(51)의 하단부가 고정되어 있다. The output side of the reduction gear 48, there is fixed the lower end portion of the hollow rotary shaft 51. 감속기(48)는, 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(51)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. Reduction gear 48 is, the shaft center of the through shaft and the hollow center of the rotation axis 51 of the holes are arranged to match. 중공 회전축(51)의 상단부는, 제2 아암부(24)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. The upper end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the lower face of the base end side of the second arm (24). 감속기(48)의 케이스체는, 대략 원통형으로 형성되는 유지 부재(55)에 고정되어 있다. A housing of the speed reducer 48 is fixed to the holding member 55 formed in an approximately cylindrical shape. 유지 부재(55)는, 제1 아암부(23)의 선단부측에 고정되어 있다. Holding member 55 is fixed to the distal end side of the first arm (23). 또한, 유지 부재(55)는, 중공 회전축(51)의 외주측에 배치되어 있다. Further, the holding member 55 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 51. 모터(46)가 회전하면, 풀리(52, 53), 벨트(54) 및 감속기(48) 등을 통하여 모터(46)의 동력이 제2 아암부(24)의 기단부측에 전달되어, 제2 아암부(24)가 회동한다. When rotation of the motor 46, the power of the motor 46 is transmitted to the base end side of the second arm 24 via the like pulleys 52 and 53, belt 54 and the reduction gear 48, a second the arm 24 rotates.

중공 회전축(50)의 하단부측에는 풀리(57)가 고정되어 있다. The lower end side pulley 57 of the hollow rotary shaft 50 is fixed. 모터(47)의 출력축에는 풀리(58)가 고정되어 있다. The output shaft of the motor 47 has a pulley 58 is fixed. 풀리(57)와 풀리(58)에는 벨트(59)가 걸쳐져 있다. Pulley 57 and the pulley 58 has a belt 59 spans. 중공 회전축(50)의 상단부에는 풀리(60)가 고정되어 있다. The upper end of the hollow rotating shaft 50 has a pulley 60 is fixed. 풀리(60)는, 중공형으로 형성되는 제2 아암부(24)의 기단부측의 내부에 배치되어 있다. Pulley 60 is disposed inside the base end side of the second arm 24 formed into a hollow. 관절부(27)는, 모터(47)의 회전을 감속하여 핸드(13)에 전달하는 제2 감속기로서의 감속기(61)와, 중공 회전축(62)을 구비하고 있다. Joint (27) is provided with a reduction gear 61, and a hollow rotary shaft 62 as a second reduction gear for transmitting the hand 13 to slow the rotation of the motor 47. 감속기(61)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. Reducer (61) is a hollow reduction gear having a through hole at the center of the radial direction.

감속기(61)의 입력측에는, 풀리(63)가 고정되어 있다. The input side pulley 63 of the speed reducer 61 is fixed. 풀리(60)와 풀리(63)에는, 벨트(64)가 걸쳐져 있다. In the pulley 60 and the pulley 63, a belt 64 spans. 감속기(61)의 출력측에는, 중공 회전축(62)의 하단부가 고정되어 있다. The output side of the reduction gear 61, there is fixed the lower end portion of the hollow rotary shaft 62. 감속기(61)는, 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(62)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. Reducer 61, the axis of the through shaft and the hollow center of the rotation axis 62 of the holes are arranged to match. 중공 회전축(62)의 상단부는, 핸드(13)의 기초부(20)의 하면에 고정되어 있다. The upper end of the hollow rotary shaft 62 is fixed to the lower face of the base portion 20 of the hand 13. 감속기(61)의 케이스체는, 대략 원통형으로 형성되는 유지 부재(65)에 고정되어 있다. A housing of the speed reducer 61 is fixed to the holding member 65 formed in an approximately cylindrical shape. 유지 부재(65)는 제2 아암부(24)의 선단부측에 고정되어 있다. Holding member 65 is fixed to the distal end side of the second arm (24). 또한, 유지 부재(65)는 중공 회전축(62)의 외주측에 배치되어 있다. Further, the holding member 65 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 62. 모터(47)가 회전하면, 풀리(57, 58, 60, 63), 벨트(59, 64) 및 감속기(61) 등을 통하여 모터(47)의 동력이 핸드(13)의 기초부(20)에 전달되어, 핸드(13)가 회동한다. Base portions 20 of the lower rotating the motor 47, a pulley (57, 58, 60, 63), the belt (59, 64) and the reduction gear 61, the power of the motor 47, the hand 13 via the like It is transmitted to the hand 13 rotates.

제1 아암부(23)의 내부 공간(45)은 밀폐되어 있고, 내부 공간(45)의 압력은 대기압으로 되어 있다. The inner space 45 of the first arm portion 23 and is sealed, the pressure in the space 45 is at atmospheric pressure. 또한, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)도 밀폐되어 있고, 내부 공간(66)의 압력도 대기압으로 되어 있다. Further, the pressure is also the atmospheric pressure of the second arm 24 inside the space 66 is also closed, and the interior space (66). 즉, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)은 대기압으로 되어 있다. That is, the inner space (45, 66) of the arm 14 is at atmospheric pressure. 또한, 내부 공간(45)과 내부 공간(66)은, 중공 회전축(50)의 내주측을 거쳐 통하고 있다. Further, the internal space 45 and the internal space 66, and through the cylindrical inner peripheral side of the hollow rotary shaft 50. 또한, 제1 아암부(23)의 기단부측의 하면에는, 중공 회전축(32)의 내주측으로 통하는 관통 구멍(도시 생략)이 형성되어 있고, 내부 공간(45)은, 대기압으로 되어 있는 본체부(15)의 내부로 통하고 있다. Further, the first arm base end side when, the through-hole (not shown) through the side of the inner periphery of the hollow rotary shaft 32 is formed, and the inner space 45 of the 23 is the main body that is to the atmospheric pressure part ( and the inside of the barrel 15).

상술한 바와 같이, 모터(46, 47)는 내부 공간(45)에 배치되어 있다. As described above, the motors 46 and 47 are disposed in the interior space (45). 또한, 감속기(48)는, 제1 아암부(23)의 선단부측에 있어서, 내부 공간(45)에 배치되고, 감속기(61)는, 제2 아암부(24)의 선단부측에 있어서, 내부 공간(66)에 배치되어 있다. In addition, it passages 48, in the distal end side of the first arm 23, is disposed within the space 45, passages 61, in the distal end side of the second arm portion 24, the inner It is disposed in the space (66). 즉, 모터(46, 47) 및 감속기(48, 61)는 대기 중에 배치되어 있다. That is, the motors 46 and 47 and the reduction gear (48, 61) is disposed in the atmosphere. 모터(46)에는, 모터(46)를 냉각하기 위한 냉각용 파이프(70)가 권회되어 있다. Motor 46 is provided with a cooling pipes 70 for cooling the motor 46 is wound. 이 냉각용 파이프(70)에는, 압축 공기가 공급 가능하게 되어 있고, 냉각용 파이프(70)의 내부를 통과하는 압축 공기에 의해, 모터(46)가 냉각된다. In this cooling pipe (70), by the compressed air to the compressed air and is capable of supplying, through the inside of the cooling pipe (70), the cooling motor (46). 또한, 본 형태에서는, 모터(47)의 발열량은 모터(46)의 발열량에 비해 작기 때문에, 모터(47)에는 냉각용 파이프가 권회되어 있지 않다. In this embodiment, the heat value of motor 47 is so small compared to the heat value of motor 46, motor 47 is not equipped with a cooling pipe is wound.

관절부(26)에는, 내부 공간(45)의 밀폐 상태를 확보하기 위한 자성 유체 시일(71)이 배치되고, 관절부(27)에는, 내부 공간(66)의 밀폐 상태를 확보하기 위한 자성 유체 시일(72)이 배치되어 있다. In joint portions 26, the magnetic fluid seal (71) for securing a sealed state of the inner space (45) is disposed, joint portions 27, and the magnetic fluid seal for securing a sealed state of the inner space (66) ( 72) it is arranged. 즉, 관절부(26)에는, 내부 공간(45)으로부터 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(71)이 배치되고, 관절부(27)에는, 내부 공간(66)으로부터 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(72)이 배치되어 있다. That is, the joint part 26 is provided, in the magnetic fluid seal 71 for preventing leakage of air into the vacuum region VR from the inner space (45) is disposed, joint 27, to the vacuum region VR from the inner space (66) there is a magnetic fluid seal 72 for preventing the outflow of air are provided. 자성 유체 시일(71)은, 중공 회전축(51)의 외주면과 유지 부재(55)의 내주면 사이에 배치되고, 자성 유체 시일(72)은, 중공 회전축(62)의 외주면과 유지 부재(65)의 내주면 사이에 배치되어 있다. Of the magnetic fluid seal 71 is disposed between the inner peripheral surface of the hollow rotary shaft 51, the outer surface and the holding member 55 of the magnetic fluid seal 72, the outer surface and the maintenance of the hollow rotary shaft 62, member 65 It is disposed between the inner peripheral surface. 또한, 내부 공간(66)에는, 벨트(64)의 장력을 조정하기 위한 텐션 풀리(73)가 배치되어 있다. Further, in the inner space 66, the tension pulley 73 are arranged for adjusting the tension of the belt 64.

(제1 아암부 및 제2 아암부의 구성) (The first arm and the second arm portion configured)

도 6은 도 5에 도시한 제2 아암부(24)의 아암부 본체(80)의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 (A)의 EE 단면의 단면도이다. Figure 6 is a view of a second arm 24, the arm main body 80 shown in FIG. 5, (A) is a plan view, (B) is a cross-sectional view of a cross-section EE of (A). 도 7은 도 6의 (A)의 F부의 확대도이다. 7 is an enlarged view of F part (A) of FIG. 도 8은 도 6의 (B)의 G부의 확대도이다. Figure 8 is an enlarged view of a G portion (B) of FIG.

제2 아암부(24)는 아암부 본체(80)와 복수의 덮개 부재(81)를 구비하고 있다. The second arm 24 is provided with an arm main body 80 and a plurality of cover member 81. 아암부 본체(80)는, 아암부 본체(80)의 상면을 구성하는 상면부(80a)와, 아암부 본체(80)의 하면을 구성함과 함께 상면부(80a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행하게 대향 배치되는 하면부(80b)와, 상면부(80a)의 외주 단부와 하면부(80b)의 외주 단부를 연결하는 측면부(80c)로 구성되어 있다. The arm main body 80, the arm and the upper face portion (80a) constituting a top surface of the main body 80, the arm with the structure also with the upper face portion (80a) with a predetermined gap with the lower face of the main body 80 If the unit is composed of (80b) and a side face portion (80c) which when connected to the outer end of the portion (80b) and the outer end portion of the upper surface portion (80a) disposed substantially parallel to the counter. 상면부(80a) 및 하면부(80b)는, 가늘고 긴 대략 장원형의 평판 형상으로 형성되어 있고, 상하 방향에서 대향하고 있다. An upper surface portion (80a) and lower portion (80b) is an elongated substantially flat sheet is formed into a circular shape, and opposite in the vertical direction. 측면부(80c)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 장원형으로 되는 통 형상으로 형성되어 있다. Side portion (80c) has substantially the shape of a sheet as viewed from the vertical direction is formed in an elongated cylindrical shape that is circular. 상면부(80a)와 하면부(80b)와 측면부(80c)에 의해 둘러싸인 공간은, 내부 공간(66)으로 되어 있다. When the upper face portion (80a), a space surrounded by the portion (80b) and the side surface portion (80c) has, and is an interior space (66). 본 형태의 상면부(80a)는 제1 평면부이고, 하면부(80b)는 제2 평면부이다. An upper surface portion (80a) of this embodiment is a first flat portion, when the portion (80b) is a second flat portion. 이하의 설명에서는, 상면부(80a) 및 하면부(80b)의, 제2 아암부(24)의 기단부측을 「기단부측」이라 하고, 상면부(80a) 및 하면부(80b)의, 제2 아암부(24)의 선단부측을 「선단부측」이라 한다. In the following description, the upper face portion (80a) and lower portion (80b), the second arm 24 side to the base end referred to as "base end", and the upper face portion (80a) and the lower face of the portion (80b), the the distal end side of the second arm portion 24 is referred to as "distal end side".

상면부(80a)의 선단부측에는, 중공 회전축(62)이나 유지 부재(65)가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(80d)이 형성되어 있다. Side distal end portion of the upper surface portion (80a), the hollow rotary shaft 62 and the holding member insertion through-hole (80d) (65) is to be inserted is formed. 상면부(80a)의 기단부측에는, 관절부(26)를 조립하기 위한 작업용 구멍(80e)이 형성되어 있다. Side of the base end portion of the upper surface portion (80a), a work hole (80e) for assembling the joint portions 26 are formed. 삽입 관통 구멍(80d) 및 작업용 구멍(80e)은, 상면부(80a)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. The through hole (80d) and a work hole (80e) is formed in a round hole shape passing through the upper surface portion (80a). 상면부(80a)의, 삽입 관통 구멍(80d)과 작업용 구멍(80e) 사이에는, 내부 공간(66)으로 통하는 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되어 있다. Between the upper face portion (80a), through holes (80d) and a work hole (80e), a plurality of through-holes (80f) leading to the interior space 66 is formed. 본 형태에서는, 4개의 관통 구멍(80f)이 일정한 피치로 상면부(80a)에 형성되어 있다. In this embodiment, the four through-holes (80f) is formed on an upper surface portion (80a) at a constant pitch. 관통 구멍(80f)은 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. The through hole (80f) is formed in a round hole shape. 즉, 관통 구멍(80f)은 원형으로 형성되어 있다. That is, the through-hole (80f) is formed in a circular shape. 또한, 본 형태에서는, 작업용 구멍(80e)의 내경과 관통 구멍(80f)의 내경이 동일하게 되어 있다. In this form, the inner diameter of the inner diameter of the through hole (80f) of the working hole (80e) are the same.

상면부(80a)의 상면에는, 원환상의 홈부(80g)가 하측으로 움푹 패이도록 형성되어 있다. On the upper surface of the upper face portion (80a), it has a groove (80g) of the annular cavity is formed to the lower side panel. 본 형태에서는, 5개의 홈부(80g)가 형성되어 있다. In this embodiment, there are five grooves (80g) are formed. 5개의 홈부(80g) 중 4개의 홈부(80g)의 각각은, 4개의 관통 구멍(80f)의 각각을 둘러싸도록 형성되고, 나머지 1개의 홈부(80g)는 작업용 구멍(80e)을 둘러싸도록 형성되어 있다. Each of the four grooves (80g) of the five groove (80g) is formed so as to surround the four respective through-hole (80f), the remaining one groove (80g) is formed so as to surround the work hole (80e) have.

하면부(80b)의 기단부측에는, 중공 회전축(50)이 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(80k)이 형성되어 있다. If the unit is (80b) is inserted into the through hole (80k) is a hollow rotating shaft 50 is inserted is formed on the base end side, of the. 하면부(80b)의 선단부측에는, 관절부(27)를 조립하기 위한 작업용 구멍(80m)이 형성되어 있다. If the unit has a work hole (80m) are formed for assembly of the front end side, joint portions 27 of (80b). 삽입 관통 구멍(80k) 및 작업용 구멍(80m)은, 하면부(80b)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. The through hole (80k) and a work hole (80m) is, when it is formed in a round hole shape that passes through a portion (80b). 삽입 관통 구멍(80k)은, 상면부(80a)에 형성되는 작업용 구멍(80e)의 하측에 형성되고, 작업용 구멍(80m)은, 상면부(80a)에 형성되는 삽입 관통 구멍(80d)의 하측에 형성되어 있다. Inserting the lower side of the through hole (80k) is formed at a lower side of a work hole (80e) formed on the top portion (80a), a work hole (80m) is inserted into the through-hole (80d) formed on the top portion (80a) a is formed.

하면부(80b)의 상면(즉, 상면부(80a)와의 대향면)에는, 하측으로 움푹 패이는 복수의 오목부(80n)가 형성되어 있다. If (with the facing surface that is, the upper face portion (80a)) of the upper surface portion (80b), the cavity to the lower side panel, which has a plurality of the recesses (80n) are formed. 오목부(80n)는, 하면부(80b)를 관통하지 않도록 형성되어 있다. The concave portion (80n), when it is formed so as not to pass through the section (80b). 본 형태에서는, 4개의 오목부(80n)가 일정한 피치로 형성되어 있다. In this embodiment, the four concave portions (80n) are formed at a constant pitch. 오목부(80n)는 원형으로 형성되어 있다. The concave portion (80n) is formed in a circular shape. 구체적으로는, 오목부(80n)는, 관통 구멍(80f)의 내경과 내경이 동일한 원형으로 형성되어 있다. Specifically, the concave portion (80n) is, the inner diameter and the inner diameter of the through hole (80f) is formed in the same round. 4개의 오목부(80n)는, 4개의 관통 구멍(80f)의 피치와 동일한 피치로 형성되어 있다. Four concave portion (80n) is formed at the same pitch as the pitch of the four through-holes (80f). 또한, 오목부(80n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 대략 일치하고 있다. In addition, the concave portion (80n) is, as viewed from the vertical direction, are formed so as to overlap the through-hole (80f), when viewed from the vertical direction, the inner peripheral surface of the through hole (80f) the inner circumferential surface and a concave portion (80n) of approximately and match. 또한, 가장 기단부측에 배치되는 오목부(80n)에는, 텐션 풀리(73)를 설치하기 위한 설치 시트(80p)가 형성되어 있다. Further, in the concave portion (80n) disposed at the proximal end side, it is formed in the installation seat (80p) for installing a tension pulley (73).

아암부 본체(80)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. The arm body 80 is formed of an aluminum alloy. 이 아암부 본체(80)는, 알루미늄 합금의 블록을 절삭 가공함으로써 형성되어 있고, 상면부(80a)와 하면부(80b)와 측면부(80c)는 일체로 되어 있다. The arm main body 80, when a block of aluminum alloy is formed by cutting machining, and the upper face portion (80a) portion (80b) and the side surface portion (80c) is integral. 즉, 내부 공간(66)은, 관통 구멍(80f), 삽입 관통 구멍(80d, 80k) 및 작업용 구멍(80e, 80m)으로부터 삽입되는 절삭 공구를 사용한 절삭 가공에 의해 형성되어 있고, 절삭 가공에 의해 내부 공간(66)이 형성됨으로써, 상면부(80a), 하면부(80b) 및 측면부(80c)도 형성된다. That is, the inner space 66, through-holes (80f), through holes (80d, 80k), and a work hole is formed by cutting with a cutting tool which is inserted from the (80e, 80m), by cutting whereby the interior space 66 is formed, the upper surface portion (80a), when part (80b) and the side face (80c) is also formed.

덮개 부재(81)는, 관통 구멍(80f)의 내경보다도 외경이 큰 원판형으로 형성되어 있다. Cover member 81, it may all be formed of a large outer diameter of the disk-shaped inner diameter of the through hole (80f). 덮개 부재(81)의 외경은, 원환상으로 형성되는 홈부(80g)의 외경보다도 크게 되어 있다. The outer diameter of the cover member 81, is larger than the outer diameter of the groove (80g) formed by the annular. 덮개 부재(81)는, 관통 구멍(80f)을 막도록 상면부(80a)의 상면에 고정되어 있다. Cover member 81 is fixed to the upper surface of the upper face portion (80a) to prevent the through-hole (80f). 상면부(80a)와 덮개 부재(81) 사이에는, 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. An upper surface portion (80a) and the lid member 81 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the interior space (66) is disposed. 이 시일 부재는 관통 구멍(80f)을 둘러싸도록 형성되는 홈부(80g)에 끼워 넣어져 있다. The seal member is fitted in the groove (80g) formed so as to surround the through hole (80f).

작업용 구멍(80e)은, 덮개 부재(81)와 동일 형상으로 형성되는 덮개 부재(82)에 의해 덮여 있다. A work hole (80e) is covered by the cover member 81 and the cover member 82 is formed in the same shape. 즉, 덮개 부재(82)는, 작업용 구멍(80e)을 막도록 상면부(80a)의 상면에 고정되어 있다. That is, the cover member 82 is fixed to the upper surface of the upper face portion (80a) to prevent a work hole (80e). 상면부(80a)와 덮개 부재(82) 사이에는, 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. An upper surface portion (80a) and the lid member 82 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the interior space (66) is disposed. 이 시일 부재는, 작업용 구멍(80e)을 둘러싸도록 형성되는 홈부(80g)에 끼워 넣어져 있다. The seal member, and fitted in the groove (80g) formed so as to surround the work hole (80e). 하면부(80b)의 하면에는, 작업용 구멍(80m)을 막도록 원판형 덮개 부재(83)가 고정되어 있다. If the unit is (80b) that is, a disk-shaped lid member 83 to prevent a work hole (80m) are fixed when the. 하면부(80b)와 덮개 부재(83) 사이에는, 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. When a portion (80b) and the lid member 83 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the interior space (66) is arranged. 이 시일 부재는 덮개 부재(83)의 외주측에 형성되는 원환상의 홈부에 끼워 넣어져 있다. The seal member is fitted in the groove of the annular formed on the outer peripheral side of the cover member 83.

제1 아암부(23)는, 제2 아암부(24)와 마찬가지로, 아암부 본체(85)와 복수의 덮개 부재(86)를 구비하고 있다. The first arm 23 is, similar to the second arm 24, and a main arm 85 and the plurality of cover member 86. 아암부 본체(85)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 아암부 본체(85)의 상면을 구성하는 상면부(85a)와, 아암부 본체(85)의 하면을 구성함과 함께 상면부(85a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행하게 대향 배치되는 하면부(85b)와, 상면부(85a)의 외주 단부와 하면부(85b)의 외주 단부를 연결하는 측면부(85c)로 구성되어 있다. The arm body 85 is, as shown in Figure 4, the arm portion and the upper face portion (85a) constituting a top surface of the main body 85, the arm portion upper surface portion with the box constituting the lower face of the main body 85 ( 85a) and is composed of when section (85b), and a top portion (side surface portion (85c) which when connected to the outer end of the portion (85b) and the outer ends of 85a) is disposed substantially parallel to the counter with a predetermined gap. 상면부(85a) 및 하면부(85b)는, 가늘고 긴 대략 장원형의 평판 형상으로 형성되어 있다. An upper surface portion (85a) and lower portion (85b) is formed in a flat plate shape of an elongated substantially circular section. 측면부(85c)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 장원형으로 되는 통 형상으로 형성되어 있다. Side portion (85c) has substantially the shape of a sheet as viewed from the vertical direction is formed in an elongated cylindrical shape that is circular. 상면부(85a)와 하면부(85b)와 측면부(85c)에 의해 둘러싸인 공간은, 내부 공간(45)으로 되어 있다. When the upper face portion (85a), a space surrounded by the portion (85b) and the side surface portion (85c) has, and is an interior space (45). 본 형태의 상면부(85a)는 제1 평면부이고, 하면부(85b)는 제2 평면부이다. An upper surface portion (85a) of this embodiment is a first flat portion, when the portion (85b) is a second flat portion. 이하의 설명에서는, 상면부(85a) 및 하면부(85b)의, 제1 아암부(23)의 기단부측을 「기단부측」이라 하고, 상면부(85a) 및 하면부(85b)의, 제1 아암부(23)의 선단부측을 「선단부측」이라 한다. In the following description, the upper face portion (85a) and lower portion (85b), the first arm 23, proximal end side of the referred, and "proximal end side", the upper face portion (85a) and lower portion (85b), the the front end side of the first arm portion 23 is referred to as "distal end side".

상면부(85a)의 선단부측에는, 중공 회전축(50, 51)이나 유지 부재(55)가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(85d)이 형성되어 있다. Side distal end portion of the upper surface portion (85a), has a hollow rotary shaft (50, 51) or the holding member 55 is inserted into the through-hole (85d) is inserted through is formed. 또한, 상면부(85a)의 선단부측에는, 모터(46, 47)를 설치하기 위한 작업용 구멍(85e)이 형성되고, 상면부(85a)의 기단부측에는, 관절부(25)를 조립하기 위한 작업용 구멍(85f)이 형성되어 있다. In addition, a work hole for assembling the work hole (85e) is formed in the side of the base end portion of the upper surface portion (85a), joint (25) for installing a motor (46, 47) side of the leading end of the upper surface portion (85a), ( the 85f) is formed. 삽입 관통 구멍(85d) 및 작업용 구멍(85e, 85f)은, 상면부(85a)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. The through hole (85d) and a work hole (85e, 85f) is formed in a round hole shape passing through the upper surface portion (85a).

상면부(85a)의, 작업용 구멍(85e)과 작업용 구멍(85f) 사이에는, 내부 공간(45)으로 통하는 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되어 있다. Between the upper face portion (85a), a work hole (85e) and a work hole (85f), a plurality of through holes (85g) communicating with the internal space 45 it is formed. 본 형태에서는, 2개의 관통 구멍(85g)이 소정의 피치로 상면부(85a)에 형성되어 있다. In this embodiment, the two through holes (85g) are formed on the upper surface portion (85a) at a predetermined pitch. 관통 구멍(85g)은 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. Through-hole (85g) is formed in a round hole shape. 즉, 관통 구멍(85g)은 원형으로 형성되어 있다. That is, the through-hole (85g) is formed in a circular shape. 또한, 본 형태에서는, 작업용 구멍(85e, 85f)의 내경과 관통 구멍(85g)의 내경이 동일하게 되어 있다. In this form, the inner diameter of the inner diameter of the through-hole (85g) is equal to the work hole (85e, 85f). 상면부(85a)의 상면에는, 원환상의 홈부가 하측으로 움푹 패이도록 형성되어 있다. On the upper surface of the upper face portion (85a), the annular groove portion is formed to be of the hollow panel to the lower side. 본 형태에서는, 5개의 홈부가 형성되어 있다. In this embodiment, the addition of five grooves are formed. 5개의 홈부의 각각은, 삽입 관통 구멍(85d), 작업용 구멍(85e, 85f) 및 2개의 관통 구멍(85g)의 각각을 둘러싸도록 형성되어 있다. 5, each depressed portion is formed so as to surround the respective through hole (85d), a work hole (85e, 85f) and two through holes (85g).

하면부(85b)의 선단부측에는, 관절부(26)를 조립하거나, 모터(46, 47)를 설치하거나 하기 위한 작업용 구멍(85m)이 형성되어 있다. When portion (85b) distal end side, the joint assembly 26, or of, a working hole (85m) for the installation or the motor (46, 47) is formed. 작업용 구멍(85m)은, 하면부(85b)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. A work hole (85m) is, when it is formed in a round hole shape that passes through a portion (85b). 또한, 작업용 구멍(85m)은, 상면부(85a)에 형성되는 삽입 관통 구멍(85d) 및 작업용 구멍(85e)의 하측에 형성되어 있다. In addition, the work hole (85m) is formed on the lower side of the through hole (85d) and a work hole (85e) formed on the top portion (85a).

하면부(85b)의 상면(즉, 상면부(85a)와의 대향면)에는, 하측으로 움푹 패이는 복수의 오목부(85n)가 형성되어 있다. If (with the facing surface that is, the upper face portion (85a)) of the upper surface portion (85b), the cavity to the lower side panel, which has a plurality of the recesses (85n) are formed. 오목부(85n)는, 하면부(85b)를 관통하지 않도록 형성되어 있다. The concave portion (85n), when it is formed so as not to pass through the section (85b). 본 형태에서는, 2개의 오목부(85n)가 소정의 피치로 형성되어 있다. In this embodiment, two concave portion (85n) is formed at a predetermined pitch. 오목부(85n)는 원형으로 형성되어 있다. The concave portion (85n) is formed in a circular shape. 구체적으로는, 오목부(85n)는, 관통 구멍(85g)의 내경과 내경이 동일한 원형으로 형성되어 있다. Specifically, the concave portion (85n) is, the inner diameter and the inner diameter of the through-hole (85g) is formed in the same round. 2개의 오목부(85n)는, 2개의 관통 구멍(85g)의 피치와 동일한 피치로 형성되어 있다. Two concave portion (85n) is formed at the same pitch as the pitch of the two through holes (85g). 또한, 오목부(85n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 대략 일치하고 있다. In addition, the concave portion (85n) is, as viewed from the vertical direction, are formed so as to overlap the through-hole (85g), as viewed from the vertical direction, the inner peripheral surface of the inner peripheral surface and a concave portion (85n) of the through-hole (85g) substantially and match.

아암부 본체(85)는, 아암부 본체(80)와 마찬가지로, 알루미늄 합금의 블록을 절삭 가공함으로써 형성되어 있고, 상면부(85a)와 하면부(85b)와 측면부(85c)는 일체로 되어 있다. The arm body 85 is, as in the arm body 80, and when a block of aluminum alloy is formed by machining the cutting, and the upper face portion (85a) portion (85b) and the side surface portion (85c) is integrally . 즉, 내부 공간(45)은, 관통 구멍(85g), 삽입 관통 구멍(85d) 및 작업용 구멍(85e, 85f, 85m)으로부터 삽입되는 절삭 공구를 사용한 절삭 가공에 의해 형성되어 있고, 절삭 가공에 의해 내부 공간(45)이 형성됨으로써, 상면부(85a), 하면부(85b) 및 측면부(85c)도 형성된다. That is, the internal space 45, the through-hole (85g), it is formed by the insertion through the cutting process using a cutting tool that is inserted into a hole (85d), and from a work hole (85e, 85f, 85m), by cutting whereby the interior space 45 is formed, the upper surface portion (85a), when part (85b) and the side face (85c) is also formed.

덮개 부재(86)는, 관통 구멍(85g)의 내경보다도 외경이 큰 원판형으로 형성되어 있다. Cover member 86, there is formed in the outer diameter than the inner diameter of the large disk-shaped through-hole (85g). 덮개 부재(86)의 외경은, 상면부(85a)의 상면에 형성되는 원환상의 홈부 외경보다도 크게 되어 있다. The outer diameter of the cover member 86, than the outer diameter of the annular groove formed on the top of the upper surface portion (85a) is larger. 덮개 부재(86)는, 관통 구멍(85g)을 막도록 상면부(85a)의 상면에 고정되어 있다. The lid member 86 is fixed to the upper surface of the upper face portion (85a) to prevent the through-hole (85g). 상면부(85a)와 덮개 부재(86) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. An upper surface portion (85a) and the lid member 86 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the internal space 45 are arranged. 이 시일 부재는, 관통 구멍(85g)을 둘러싸도록 형성되는 홈부에 끼워 넣어져 있다. The seal member is fitted in the groove may be formed so as to surround the through-hole (85g).

또한, 상면부(85a)의 상면에는, 덮개 부재(86)와 동일 형상으로 형성되는 덮개 부재(87)가 작업용 구멍(85f)을 막도록 고정되어 있다. In addition, the top surface of the upper face portion (85a), a lid member 86 and the cover member 87 is formed in the same shape is fixed to prevent a work hole (85f). 상면부(85a)와 덮개 부재(87) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. An upper surface portion (85a) and the lid member 87 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the internal space 45 are arranged. 이 시일 부재는, 작업용 구멍(85f)을 둘러싸도록 형성되는 홈부에 끼워 넣어져 있다. The seal member is fitted in the groove may be formed so as to surround the work hole (85f). 또한, 상면부(85a)의 상면에는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되는 덮개 부재(88)가 작업용 구멍(85e)을 막도록 고정되어 있다. In addition, the top surface of the upper face portion (85a), a cover member 88 formed in a cylindrical shape with a bottom is fixed substantially to prevent a work hole (85e). 상면부(85a)와 덮개 부재(88) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. An upper surface portion (85a) and the lid member 88 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the internal space 45 are arranged. 이 시일 부재는, 작업용 구멍(85e)을 둘러싸도록 형성되는 홈부에 끼워 넣어져 있다. The seal member is fitted in the groove may be formed so as to surround the work hole (85e).

하면부(85b)의 하면에는, 작업용 구멍(85m)을 막도록 원판형 덮개 부재(89)가 고정되어 있다. If the unit is (85b) that is, a disk-shaped lid member 89 to prevent a work hole (85m) are fixed when the. 하면부(85b)와 덮개 부재(89) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. When a portion (85b) and the lid member 89 between the seal member (not shown) of cyclic to prevent the leakage of air from the internal space 45 it is arranged. 이 시일 부재는 덮개 부재(89)의 외주측에 형성되는 원환상의 홈부에 끼워 넣어져 있다. The seal member is fitted in the groove of the annular formed on the outer peripheral side of the cover member 89.

(제조 시스템의 구성) (Configuration of Manufacturing System)

상술한 바와 같이, 제조 시스템(3)은 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 챔버(5 내지 10)를 구비하고 있다. , The manufacturing system as described above (3) is provided with a plurality of chambers (5-10) disposed so as to surround the chamber 4. 본 형태의 제조 시스템(3)에서는, 챔버(4)를 둘러싸도록 6개의 챔버(5 내지 10)가 배치되어 있다. In the production system 3 of this embodiment, six chamber (5 to 10) so as to define the chamber (4) is arranged. 이하에서는, 도 1에 있어서, 서로 직교하는 3개의 방향의 각각을 X 방향, Y 방향 및 Z 방향이라 한다. Hereinafter, as in Fig., Each of the three direction, the direction of the X direction, Y direction and Z perpendicular to each other in Fig. 로봇(1)은, 그 상하 방향이 Z 방향과 일치하도록 배치되어 있다. Robot 1 is disposed such that the vertical direction matches the Z direction. 따라서, 이하에서는, Z 방향을 상하 방향이라 한다. Therefore, in the following, the Z direction as the vertical direction. 또한, 이하에서는, X1 방향측을 「우」측, X2 방향측을 「좌」측, Y1 방향측을 「전방」측, Y2 방향측을 「후방」측이라 한다. In addition, in the following, referred to as an X1 direction side "right" side, an X2 direction side, "left" side, a Y1 direction side, "front" side, a Y2 direction side side "rear".

챔버(4)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 팔각형으로 되도록 형성되어 있다. Chamber 4, there is a shape as viewed from the vertical direction is formed so as to be substantially octagonal. 챔버(5)는 챔버(4)의 좌측 단부에 연결되도록 배치되고, 챔버(6)는 챔버(4)의 우측 단부에 연결되도록 배치되어 있다. Chamber (5) has been arranged to be connected to the left end of the chamber 4, the chamber 6 is arranged to be connected to the right end of the chamber (4). 또한, 챔버(7) 및 챔버(8)는 챔버(4)의 후단부에 연결되도록 배치되어 있다. In addition, the chamber 7 and the chamber 8 is arranged to be connected to a rear end of the chamber 4. 챔버(7)와 챔버(8)는 좌우 방향으로 인접하고 있다. Chamber 7 and chamber 8 are adjacent to each other in the left-right direction. 본 형태에서는, 챔버(7)가 좌측에 배치되고, 챔버(8)가 우측에 배치되어 있다. In this embodiment, there is a chamber (7) is disposed on the left side, the chamber (8) is disposed on the right side. 또한, 챔버(9) 및 챔버(10)는 챔버(4)의 전단부에 연결되도록 배치되어 있다. Further, the chamber 9 and the chamber 10 is arranged to be connected to a front end portion of the chamber 4. 챔버(9)와 챔버(10)는 좌우 방향으로 인접하고 있다. The chamber 9 and the chamber 10 are adjacent to each other in the left-right direction. 본 형태에서는, 챔버(9)가 좌측에 배치되고, 챔버(10)가 우측에 배치되어 있다. In this embodiment, the chamber 9 is disposed on the left side, a chamber 10 is disposed on the right side.

챔버(5, 6)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 중심 C1을 통과하는 좌우 방향에 평행한 가상선이 챔버(5, 6)의 전후 방향의 중심 위치를 통과하도록 배치되어 있다. Of the chamber (5, 6) is, when viewed from the vertical direction, the main body portion 15. The first arm 23 rotating center C1 by a phantom line is a chamber (5, 6) parallel to the horizontal direction passing through the on It is arranged to pass through the center position in the longitudinal direction. 챔버(7, 8)는, 회동 중심 C1을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선이 챔버(7, 8) 사이의 좌우 방향의 중심 위치를 통과하도록 배치되어 있다. Chamber (7, 8), there is parallel to the virtual line in the front-rear direction that passes through the rotating center C1 is arranged to pass through the center position in the horizontal direction between the chambers (7,8). 즉, 좌우 방향에 있어서의 챔버(7, 8)의 중심 위치는, 회동 중심 C1에 대하여 오프셋하고 있다. That is, the center position of the chamber (7,8) in the right and left direction, are offset with respect to the rotating center C1. 마찬가지로, 챔버(9, 10)는, 회동 중심 C1을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선이 챔버(9, 10) 사이의 좌우 방향의 중심 위치를 통과하도록 배치되어 있다. Similarly, the chamber (9,10), there is parallel to the virtual line in the front-rear direction that passes through the rotating center C1 is arranged to pass through the center position in the horizontal direction between the chambers (9, 10). 즉, 좌우 방향에 있어서의 챔버(9, 10)의 중심 위치는, 회동 중심 C1에 대하여 오프셋하고 있다. That is, the center position of the chamber (9,10) in the right and left direction, are offset with respect to the rotating center C1. 또한, 좌우 방향에 있어서, 챔버(7)와 챔버(9)가 동일 위치에 배치되고, 챔버(8)와 챔버(10)가 동일 위치에 배치되어 있다. Further, in the left-right direction, the chamber 7 and the chamber 9 are disposed at the same position, the chamber 8 and the chamber 10 is disposed at the same position.

(산업용 로봇의 개략 동작) (Outline operation of industrial robots)

도 9는 도 1에 도시한 프로세스 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출하여 프로세스 챔버(6)에 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 설명하기 위한 도면이다. Figure 9 is a view for describing a movement of an industrial robot (1) when brought to the substrate (2) in a process chamber (6) and out the substrate 2 from the process chamber (5) shown in Fig. 도 10은 도 1에 도시한 프로세스 챔버(7)에 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 설명하기 위한 도면이다. 10 is a view for describing a movement of an industrial robot (1) at the time of importing the substrate (2) in a process chamber (7) shown in Fig.

로봇(1)은 모터(31, 40, 46, 47)를 구동시켜, 챔버(5 내지 10) 간에서 기판(2)을 반송한다. The robot 1 is to transport the substrate (2) in the liver to drive the motor (31, 40, 46, 47), the chamber (5 to 10). 예를 들면, 도 9에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출하여 챔버(6)에 기판(2)을 반입한다. For example, as shown in Figure 9, the robot 1 is taken out to the substrate (2) from the chamber (5) to carry the substrates (2) in the chamber (6). 즉, 로봇(1)은 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이, 아암(14)을 신장하여 챔버(5) 내에서 기판(2)을 탑재한 후, 도 9의 (B)에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)가 상하 방향에서 겹칠 때까지 아암(14)을 수축시켜 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출한다. That is, the robot 1 is shown in (B) of after mounting the substrate (2) in the chamber (5), by extending the arm 14 as shown in FIG. 9 (A), 9 , it is transported to the first arm 23 and second arm 24, a substrate (2) from the chamber (5) to retract the arm 14 until the overlap in the vertical direction as described. 그 후, 로봇(1)은, 핸드(13)를 180° 회동시키고 나서, 아암(14)을 신장하여, 도 9의 (C)에 도시한 바와 같이, 챔버(6)에 기판(2)을 반입한다. Then, the robot 1 is, after the hand 13 and 180 ° pivoting, by extending the arm 14, as shown in FIG. 9 (C), the substrate (2) in the chamber (6) imports.

또한, 예를 들면 로봇(1)은 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(7)에 반입한다(도 10 참조). Also, for example, the robot 1 is brought to the substrate 2 taken out from the chamber 5 to the chamber 7 (see Fig. 10). 이때에는, 로봇(1)은, 먼저, 도 10의 (A)에 도시한 바와 같이, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 도 10의 (B)에 도시한 바와 같이, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 후단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(7)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. At this time, the robot (1) is, first, as shown in (A) 10, from the state in which contraction of the arm 14, by driving the motor (31, 46, 47), as shown in FIG. 10 (B ) as shown in, the fork portion 21 is such that the substrate (2) with parallel becomes the longitudinal direction placed at the rear end side of the hand 13, and, in the left-right direction, and the second arm (24 ) at the center of the chamber (7) in the rotating center C2 and the left-right direction of the hand 13, the hand (13, so as to substantially match on), the first arm 23 and the second pivoting the arm 24 thereby. 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 도 10의 (C)에 도시한 바와 같이, 챔버(7)에 기판(2)을 반입한다. Then, the robot 1 is, by extending the arm 14, as shown in FIG. 10 (C), to bring the substrate (2) to the chamber (7).

마찬가지로, 로봇(1)은, 예를 들면 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(9)에 반입한다. Similarly, the robot 1 is, for example, bring the substrate 2 is carried out of the chamber 5 to the chamber 9. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 전단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(9)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. In this case, the robot 1 is, first, from the state in which contraction of the arm 14, by driving the motor (31, 46, 47), the fork portion (21) of the substrate (2) with parallel becomes the front-rear direction so as to locate the front end portion side of the hand 13, and, in the left-right direction, the hand 13, a first arm 23, to the center of the chamber (9) is matched approximately in the rotating center C2 and the left and right directions and the thereby pivoting the second arm (24). 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 챔버(9)에 기판(2)을 반입한다. Then, the robot 1 is, by extending the arm 14, to bring the substrate (2) to the chamber (9).

또한, 로봇(1)은, 예를 들면 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(8)에 반입한다. In addition, the robot 1 is, for example, bring the substrate 2 is carried out of the chamber (5) in the chamber (8). 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 후단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(8)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. In this case, the robot 1 is, first, from the state in which contraction of the arm 14, by driving the motor (31, 46, 47), the fork portion (21) of the substrate (2) with parallel becomes the front-rear direction so as to be disposed at the rear end side of the hand 13, and, in the left-right direction, the hand 13, so as to match substantially the center of the chamber 8 in the rotating center C2 and the left and right directions, the first arm (23 ) and the thereby pivoting the second arm (24). 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 챔버(8)에 기판(2)을 반입한다. Then, the robot 1 is, by extending the arm 14, to bring the substrate (2) to the chamber (8).

또한, 로봇(1)은, 예를 들면 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(10)에 반입한다. In addition, the robot 1 is, for example, bring the substrate 2 is carried out of the chamber 5 to chamber 10. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 전단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(10)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. In this case, the robot 1 is, first, from the state in which contraction of the arm 14, by driving the motor (31, 46, 47), the fork portion (21) of the substrate (2) with parallel becomes the front-rear direction so as to locate the front end portion side of the hand 13, and, in the left-right direction, the hand 13, a first arm 23, to the center of the chamber 10 matches approximately at the rotating center C2 and the left and right directions and the thereby pivoting the second arm (24). 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 챔버(10)에 기판(2)을 반입한다. Then, the robot 1 is, by extending the arm 14, to bring the substrate (2) to the chamber (10).

기판(2)의 반출 시 및 반입 시에는, 핸드(13) 및 제1 아암부(23)는, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 각도와, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 각도가 동일하고, 또한, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 방향과, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 방향이 역방향으로 되도록 회동한다. When taken out and during transfer of the substrate 2, the hand 13 and the first arm 23, and the rotation angle of the first arm 23 of the body portion 15, a second arm ( 24) the turning angle of the hand 13 is identical to, and, of the first arm (rotating direction, the hand (13 for the second arm 24 of the 23)) for the body part 15 rotates so that the rotational direction in the reverse direction. 즉, 모터(31, 47)는, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 각도와, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 각도가 동일하고, 또한, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 방향과, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 방향이 역방향으로 되도록 회전한다. That is, the same rotation angle of the motor (31, 47), the first arm (23) turning angle, and a hand 13 to the second arm 24 of the body part 15, and further , rotational directions of the hand 13 with respect to the rotation direction, and a second arm portion 24 of the first arm 23 with respect to the main body portion 15 is rotated to the opposite direction. 그 때문에, 기판(2)의 반출 시 및 반입 시에 있어서의 핸드(13)의 방향이 일정하게 유지된다. Therefore, the orientation of the hand 13 at the time when the export and import of the substrate 2 remains constant.

(본 형태의 주된 효과) (Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암부 본체(80)에 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되어 있고, 관통 구멍(80f)을 막는 덮개 부재(81)와 아암부 본체(80)의 상면부(80a) 사이에, 대기압으로 되어 있는 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재가 배치되어 있다. As described above, in the present form (according to the first embodiment), the arm has a plurality of through-holes (80f) are formed in the main body 80 is, awa cover member 81 prevent the through hole (80f), the arm between the upper surface portion (80a) of the main body 80, an annular sealing member for preventing leakage of air from the interior space (66) that is the atmospheric pressure are arranged. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 대형화되어 제2 아암부(24)가 대형화되어도, 복수의 시일 부재의 각각의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 제2 아암부(24)를 조립할 때 시일 부재를 용이하게 취급하는 것이 가능해진다. Therefore, in this embodiment, the robot 1 is larger second arm even 24 is enlarged, it is possible to reduce the size of each of the plurality of seal members, and as a result, the second arm 24 assembling the it is possible to easily handle the seal member. 마찬가지로, 본 형태에서는, 아암부 본체(85)에 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되어 있고, 관통 구멍(85g)을 막는 덮개 부재(86)와 아암부 본체(85)의 상면부(85a) 사이에, 대기압으로 되어 있는 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재가 배치되어 있다. Similarly, the upper surface portion (85a) of this, the arm main body cover member a plurality of through holes (85g) to (85) are formed, and to prevent a through-hole (85g) (86) and the arm main body 85 in the form , an annular sealing member for preventing leakage of air from the interior space 45 which is at atmospheric pressure is disposed between. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 대형화되어 제1 아암부(23)가 대형화되어도, 복수의 시일 부재의 각각의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 제1 아암부(23)를 조립할 때 시일 부재를 용이하게 취급하는 것이 가능해진다. For this reason, in this embodiment, the robot 1 is large it is possible to reduce the size of each of the first arm 23 is even larger, a plurality of seal members, and as a result, the first arm 23 assembling the it is possible to easily handle the seal member. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)이 대형화되어도, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, it is possible to reduce the operation of the miss when the robot 1 is large even when, to install the seal member for securing air-tightness of the inner space (45, 66) of the arm (14).

여기서, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 진공 중에 배치되는 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 중공형으로 형성되는 제2 아암부(24)는, 내부의 압력에 의해 외측으로 불룩해지도록 변형되지만, 본 형태에서는, 아암부 본체(80)의 하면부(80b)의 상면에, 상하 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍(80f)과 겹치는 오목부(80n)가 형성되어 있기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제2 아암부(24)가 불룩해지도록 제2 아암부(24)를 변형시키는 것이 가능해진다. Here, in the present embodiment (according to the first invention), since the internal space 66 of the second arm 24, which is disposed in the vacuum is set to atmospheric pressure, the second O is formed in a hollow arm 24 is , modified so as to be bulged outward by an internal pressure, but in this embodiment, the arm main body 80 when unit (80b) through-hole (80f) as viewed on the upper surface, from the vertical direction overlaps the recess (80n of since) is formed, it becomes possible to substantially uniformly second arm 24 is deformed so as to swell the second arm 24 towards the upper and lower sides.

즉, 하면부(80b)의 상면에 오목부(80n)가 형성되어 있지 않은 경우에는, 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되는 상면부(80a)의 강도가 하면부(80b)의 강도보다도 낮아지기 때문에, 제2 아암부(24)는, 내부의 압력에 의해, 하측보다도 상측이 크게 불룩해지도록 변형되기 쉬워지지만, 본 형태에서는, 하면부(80b)의 상면에 오목부(80n)가 형성되어 있고, 하면부(80b)의 강도를 상면부(80a)의 강도에 가깝게 하는 것이 가능해지기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제2 아암부(24)가 불룩해지도록 제2 아암부(24)를 변형시키는 것이 가능해진다. That is, when no concave portion (80n) on the upper surface of the portion (80b) is formed in, when the strength of the upper surface portion (80a) with a plurality of through-holes (80f) to be formed is lowered than the strength of the portion (80b) Therefore, the second arm 24, by the inner pressure, lower than, but tends to be such that the upper side is largely bulging deformation, in this embodiment, when the concave portion (80n) on the upper surface of the portion (80b) is formed since, and, if to close to the strength of the portion (80b) on the strength of the upper surface portion (80a) enabled, so that an approximately evenly second arm (24) bulging toward the upper and lower sides the second arm 24 it is possible to transform. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(80a)에 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 제2 아암부(24)가 변형되거나, 비틀어지도록 제2 아암부(24)가 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, may be a plurality of through-holes (80f) formed on an upper surface portion (80a), or the second arm portion 24 is deformed so as to tilt toward the vertical one, such that twisting the second arm (24 ) it is it is possible to suppress the deformation or.

마찬가지로, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 진공 중에 배치되는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 중공형으로 형성되는 제1 아암부(23)는, 내부의 압력에 의해 외측으로 불룩해지도록 변형되지만, 본 형태에서는, 아암부 본체(85)의 하면부(85b)의 상면에, 상하 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍(85g)과 겹치는 오목부(85n)가 형성되어 있기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제1 아암부(23)가 불룩해지도록 제1 아암부(23)를 변형시키는 것이 가능해진다. Similarly, in the present embodiment (according to the first invention), since the internal space 45 of the first arm (23) disposed in the vacuum is set to atmospheric pressure, the first arm 23 is formed in a hollow shape is , modified so as to be bulged outward by an internal pressure, but in this embodiment, the arm main body 85. when portion (85b) through-hole (85g) when viewed in the upper surface, from the vertical direction overlaps the recess (85n of since) is formed, it becomes possible to substantially uniformly the first arm 23 is deformed so as to swell the first arm 23 toward the upper and lower sides. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(85a)에 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 제1 아암부(23)가 변형되거나, 비틀어지도록 제1 아암부(23)가 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, even if there are a plurality of through holes (85g) are formed on the upper surface portion (85a), the first arm 23 so as to tilt toward the vertical direction either modified or, such that twisting the first arm (23 ) it is it is possible to suppress the deformation or.

이와 같이, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 상면부(80a, 85a)에 복수의 관통 구멍(80f, 85g)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 아암(14)이 변형되거나, 비틀어지도록 아암(14)이 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해지기 때문에, 아암(14)의 선단부측의 위치 정밀도를 확보하는 것이 가능해진다. Thus, in the present embodiment (according to the first invention), the upper surface portion (80a, 85a) on even if there is formed a plurality of through holes (80f, 85g), or the arm 14 is deformed so as to tilt toward the vertical direction one-way , it is possible to twist so that the arm 14, since it is possible to suppress the deformation or, ensuring the positional accuracy of the tip end side of the arm 14. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(80a, 85a)에 복수의 관통 구멍(80f, 85g)이 형성되어 있어도, 챔버(5 내지 10)의 소정의 위치로 기판(2)을 고정밀도로 반송하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, even if the upper surface portion (80a, 85a) with a plurality of through holes (80f, 85g) is formed on, it is possible to transport the substrate (2) with high accuracy to a predetermined position of the chamber (5 to 10) it becomes. 즉, 본 형태에서는, 기판(2)의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 기판(2)의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. That is, in this embodiment, it is possible to suppress the deviation from the target incident position of the substrate (2) to increase the conveying accuracy of the substrate (2).

특히 (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 대략 일치하고, 또한, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 대략 일치하고 있기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제1 아암부(23), 제2 아암부(24)가 불룩해지도록 제1 아암부(23), 제2 아암부(24)를 변형시키기 쉬워진다. In particular, in the present form (according to the first invention), when viewed from the vertical direction, and the inner peripheral surface of the through hole (80f), the inner peripheral surface and a concave portion (80n) in the matched approximately, In addition, the part inner surface and the recess of the through-hole (85g) since the inner circumferential surface of the (85n) match substantially, so that a substantially uniformly the first arm 23, second arm 24 bulges toward the upper and lower sides the first arm 23 and second arm transforming (24) easier. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(80a, 85a)에 복수의 관통 구멍(80f, 85g)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 아암(14)이 변형되거나, 비틀어지도록 아암(14)이 변형되거나 하는 것을 효과적으로 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암(14)의 선단부측의 위치 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, even if there are formed a plurality of through holes (80f, 85g), or the arm 14 is deformed so as to tilt toward the vertical direction one-way, so that twists the arm 14 to the upper surface portion (80a, 85a) is it is possible to effectively suppress the deformation or, as a result, it is possible to improve the positional accuracy of the tip end side of the arm 14.

(제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암부 본체(80, 85)는, 알루미늄 합금의 블록을 절삭 가공함으로써 형성되어 있다. In the present embodiment (according to the first embodiment), the arm body (80, 85) include a block of aluminum alloy is formed by cutting machining. 그 때문에, 본 형태에서는, 서로 별체로 형성된 상면부(80a, 85a)와 하면부(80b, 85b)와 측면부(80c, 85c)가 접합됨으로써 아암부 본체(80, 85)가 형성되어 있는 경우와 비교하여, 내부 공간(45, 66)으로부터의 공기의 유출을 방지하기 쉬워진다. Therefore, if in this embodiment, is formed when the upper surface portion (80a, 85a) are formed separately from each other portion (80b, 85b) and the side portions (80c, 85c) are joined whereby the arm body (80, 85) and comparison, it is easy to prevent leakage of air from the interior space (45, 66). 또한, 본 형태에서는, 아암부 본체(80, 85)가 주물에 의해 형성되어 있는 경우와 비교하여, 아암부 본체(80, 85)로부터 진공 중으로 방출되는 가스(아웃 가스)의 방출량을 저감하는 것이 가능해진다. In addition, it is in this form, the arm and the body (80, 85) compared to the case that are formed by casting, the arm to reduce the discharge amount of the main gas (out gas) is discharged into the vacuum from the (80, 85) It can be performed.

이상 설명한 바와 같이, (제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암(14)의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있다. As described above, it is in this form (according to the second invention), the entirety of the arm 14 is formed in a hollow shape, it is in the interior space (45, 66) of the arm (14) at atmospheric pressure. 그 때문에, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 아암(14)의 내부로부터 아암(14)의 전체를 냉각하여, 아암(14) 전체의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. For this reason, in this embodiment, and is mounted on a hand (13) cooling the whole of the temperature of the substrate 2 is conveyed in a vacuum high, arm arm (14) from the interior of 14, the entire arm 14 it is possible to suppress the temperature rise. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 아암(14) 전체의 열팽창을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 챔버(5 내지 10)의 소정의 위치로 기판(2)을 고정밀도로 반송하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, predetermined in the temperature of the substrate (2) to be mounted is conveyed to the hand 13 is high, it is possible to suppress the total thermal expansion of the arm 14, and as a result, the chamber (5 to 10) it is possible to transport the substrate (2) with high accuracy in position. 즉, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 기판(2)의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 기판(2)의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. That is, in this embodiment, the temperature of the substrate 2 which is conveyed with the hand 13 is high, it is possible to suppress the deviation from the target incident position of the substrate (2) to increase the conveying accuracy of the substrate 2 .

또한, (제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암(14)의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 아암(14)의 내부에 배치되는 모든 베어링의 온도 상승을 억제하여, 이들 수명의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. Further, since in the present form (according to the second invention), the entirety of the arm 14 is formed in a hollow shape, is the atmospheric pressure inside the space (45, 66) of the arm 14, the hand 13 the temperature of the substrate (2) to be mounted is conveyed high, to suppress the temperature rise of the bearings all being disposed in the interior of the arm 14, it is possible to suppress the reduction of the service life thereof. 즉, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 모터(46, 47), 감속기(48, 61) 및 텐션 풀리(73) 등을 구성하는 모든 베어링의 수명의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. That is, in this embodiment, the temperature of the substrate (2) to be mounted is conveyed to the hand 13 is high, all the bearing constituting the motor (46, 47), passages (48, 61) and the tension pulley 73, etc. it is possible to suppress the reduction in life. 또한, 본 형태에서는, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 아암(14)의 내부에 배치되는 모터(46, 47)나 감속기(48, 61)의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제가 아니라, 대기압 중에서 사용되는 그리스 등의 윤활제를 사용하면 된다. Also, as a lubricant for the motor (46, 47) or reducer (48, 61) disposed in the interior of the According to the present form in, is in the interior space (45, 66) of the arm (14) at atmospheric pressure, the arm 14 , not the expensive lubricant such as vacuum grease, you can use the lubricant of grease or the like used in the atmospheric pressure. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)의 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, it is possible to reduce the initial cost and the running cost of the robot 1.

또한, (제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 진공 영역 VR에 있어서, 모터(46, 47), 감속기(48, 61), 풀리(52, 53, 57, 58, 60, 63) 및 벨트(54, 59, 64)로부터의 가스(아웃 가스)의 발생을 방지하는 것이 가능해진다. In this form (first according to the second invention), because it is in the internal space (45, 66) of the arm (14) at atmospheric pressure, in the vacuum area VR, the motor (46, 47), passages (48, 61 ), it is possible to prevent the generation of gases (outgas) from the pulley (52, 53, 57, 58, 60, 63) and belts (54, 59, 64). 또한, 본 형태에서는, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있어, 진공 영역 VR 내에 배치되는 아암(14)의 표면적을 저감하는 것이 가능해지기 때문에, 진공 영역 VR에 있어서, 아암(14)으로부터의 아웃 가스의 발생량을 저감하는 것이 가능해진다. In this form, it is in the internal space (45, 66) of the arm (14) at atmospheric pressure, because it possible to reduce the surface area of ​​the arm 14 disposed in the vacuum region VR, in the vacuum area VR, to reduce the amount of out gas from the arm 14 can be performed. 따라서, 본 형태에서는, 기판(2)의 제조 공정에 있어서, 아웃 가스에 기인하는 장해의 발생을 억제하는 것이 가능해진다. Therefore, in the present embodiment, a manufacturing process of the substrate 2, it is possible to suppress the occurrence of interference due to out gas.

(제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 감속기(48)에 의해 관절부(26)의 일부가 구성되고, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되어 있다. A portion of the joint part 27 is formed of a In the present embodiment (according to the second invention), a part of the joint part 26 is constituted by a speed reducer 48, a reduction gear 61. 그 때문에, 본 형태에서는, 관절부(26, 27)의 강성을 높이는 것이 가능해진다. Therefore, in this embodiment, it is possible to increase the rigidity of the joint portions (26, 27).

(제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 모터(47)는 제1 아암부(23)의 내부에 배치되어 있다. In the present embodiment (according to the second invention), the motor 47 is disposed in the interior of the first arm (23). 그 때문에, 본 형태에서는, 모터(47)가 제2 아암부(24)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제2 아암부(24)를 소형화하는 것이 가능해진다. For this reason, in this embodiment, it is possible to have the motor 47 compared to a case that is disposed in the interior of the second arm 24, and reduce the size of the second arm (24). 또한, 모터(47)가 제1 아암부(23)의 내부에 배치되어 있는 경우에는, 모터(47)로부터 핸드(13)까지의 동력의 전달 경로가 길어지지만, 본 형태에서는, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되고, 감속기(61)의 출력측에 핸드(13)가 직접 고정되어 있다. Further, in case the motor 47 that is disposed inside the first arm (23) has, but the longer the transmission path of power to the hand 13 from the motor 47, this embodiment, the reduction gear 61 part of the joint part 27 is constituted by, and is a hand (13) directly fixed to the output side of the reduction gear (61). 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들면 감속기(61)가 관절부(26)를 구성하도록 배치되고, 감속기(61)와 핸드(13)가 벨트 및 풀리를 통하여 접속되는 경우와 비교하여, 핸드(13)의 정지 정밀도를 높이는 것이 가능해지고, 그 결과, 기판(2)의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. Therefore, as compared with the case in this embodiment, that is, for example reduction gear 61 is arranged to constitute a joint part 26, a reduction gear 61 and the hand 13 is connected through a belt and pulley, the hand (13 ) of it becomes possible to increase the stopping precision, and as a result, it is possible to improve the conveying accuracy of the substrate (2). 즉, 감속기(61)가 관절부(26)를 구성하도록 배치되고, 감속기(61)와 핸드(13)가 벨트 및 풀리를 통하여 접속되는 경우에는, 감속기(61)와 핸드(13)를 접속하기 위한 벨트에 감속 후의 부하가 가해지기 때문에, 핸드(13)가 정지할 때, 이 벨트가 신장되어 핸드(13)의 정지 정밀도가 저하되기 쉬워지지만, 본 형태에서는, 감속 전의 부하가 벨트(64)에 가해지기 때문에, 핸드(13)가 정지할 때의 벨트(64)의 신장을 억제하여, 핸드(13)의 정지 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. That is, passages 61 are arranged to constitute a joint part 26, a reduction gear 61 and the hand 13 is in the case which is connected through a belt and pulley, for connecting the reduction gear 61 and the hand 13 since the load after the deceleration applied to the belt, the hand 13 is in when stopped, the belt is stretched, but tends to be a stop precision of the hand 13 is lowered, in the present embodiment, the load prior to deceleration of the belt 64 since the applied, to suppress the elongation of the belt 64 when the hand 13 is stopped, it is possible to increase the stopping precision of the hand 13.

(산업용 로봇의 변형예 1) (Modified Example 1 of the industrial robot)

도 11은 본 발명(제2 발명)의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 11 is a plan view of the industrial robot 1 according to another embodiment of the invention (second invention).

상술한 형태에서는, 아암(14)은, 하나의 제1 아암부(23)와 하나의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어 있다. In the above-described embodiment, arm 14 is configured by a first arm 23 and a second arm (24). 이 밖에도 예를 들면, 도 11에 도시한 바와 같이, 아암(14)은, 하나의 제1 아암부(23)와, 2개의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어도 된다. In addition, for example, the arm 14, as shown in Figure 11, with a first arm 23, or may be constituted by two second arms (24). 이 경우에는, 제1 아암부(23)는, 대략 V형 혹은 직선형으로 형성되어 있고, 그 중심부가 본체부(15)에 회동 가능하게 연결되는 기단부로 되어 있다. In this case, the first arm 23 is formed in a substantially V-shaped or straight, and that the heart is in a base end portion that is rotatably connected to the main body portion (15). 또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 제2 아암부(24)가 회동 가능하게 연결되어 있고, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 관절부(26)가 형성되어 있다. Also, two of the first arm portion 23 2 and the second arm 24 is rotatably connected to each of the distal end side, the first arm 23 of the as shown in Fig. 11 a joint part 26 is formed in each of the distal end side.

이 경우라도, 상술한 형태와 마찬가지로, 감속기(48)에 의해 관절부(26)의 일부가 구성되고, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되어 있다. In this case, even if, as in the above-described embodiment, a part of the joint part 26 is constituted by a reduction gear 48, a portion of the joint part 27 is composed of a reduction gear (61). 또한, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 있어서, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 모터(46, 47) 및 감속기(48)가 배치되고, 2개의 제2 아암부(24)의 선단부측의 각각에 있어서, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 감속기(61)가 배치되어 있다. Further, in the second, each of the two distal end side of the first arm (23), a motor (46, 47) and the speed reducer 48 is disposed in the inner space 45 of the first arm 23, the two in the second, each of the distal end side of the arm 24, there is disposed a first reduction gear 61 to the inner space 66 of the second arm (24). 또한, 내부 공간(45, 66)은 대기압으로 되어 있다. Further, the inner space (45, 66) is at atmospheric pressure. 또한, 이 경우에는, 핸드(13)의 기초부(20)에는, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. Also, in this case, the base portion 20 of the hand 13, is provided only the two fork portions 21, which project toward the horizontal one. 또한, 도 8에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다. In Figure 8, it is denoted by the same reference numerals for the same configuration as that of the aforementioned type, or a configuration corresponding to the configuration of the above-described form.

(산업용 로봇의 변형예 2) (Modified Example 2 of the industrial robot)

도 12는 본 발명(제2 발명)의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 12 is a plan view of the industrial robot 1 according to another embodiment of the invention (second invention).

상술한 형태에서는, 로봇(1)은 하나의 아암(14)을 구비하고 있다. In the above embodiment, the robot 1 is provided with a single arm 14. 이 밖에도 예를 들면, 12에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은 본체부(15)에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 2개의 아암(14)을 구비하고 있어도 된다. In addition, for example, as shown at 12, the robot (1) is optionally provided with two arms 14, which is the base end side is rotatably connected to the main body portion (15). 이 경우라도, 상술한 형태와 마찬가지로, 감속기(48)에 의해 관절부(26)의 일부가 구성되고, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되어 있다. In this case, even if, as in the above-described embodiment, a part of the joint part 26 is constituted by a reduction gear 48, a portion of the joint part 27 is composed of a reduction gear (61). 또한, 제1 아암부(23)의 선단부측에 있어서, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 모터(46, 47) 및 감속기(48)가 배치되고, 제2 아암부(24)의 선단부측의 각각에 있어서, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 감속기(61)가 배치되어 있다. Further, in the distal end side of the first arm 23, a second, and the internal space (45) motor (46, 47) and the reduction gear 48 to the first arm 23 it is arranged, a second arm (24 ) in each of the distal end side of the reduction gear it is disposed 2 O 61 in the inner space 66 of the arm 24. 또한, 내부 공간(45, 66)은 대기압으로 되어 있다. Further, the inner space (45, 66) is at atmospheric pressure. 또한, 이 경우에는, 핸드(13)의 기초부(20)에는, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. Also, in this case, the base portion 20 of the hand 13, is provided only the two fork portions 21, which project toward the horizontal one. 또한, 도 12에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다. Further, in Fig. 12, it is designated by the same reference numerals for the same configuration as the above-described form of construction, or, the configuration corresponding to the configuration of the above-described form.

(다른 실시 형태) (Other embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양하게 변형 실시가 가능하다. The above-described type, but a form suitable example of the present invention, there is no limitation to this it is possible to variously modified embodiments within a range not does not change the gist of the present invention.

상술한 형태에서는, 아암(14)은, 하나의 제1 아암부(23)와 하나의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어 있다. In the above-described embodiment, arm 14 is configured by a first arm 23 and a second arm (24). 이 밖에도 예를 들면, 도 11에 도시한 바와 같이, 아암(14)은 하나의 제1 아암부(23)와, 2개의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어도 된다. In addition, for example, the arm 14, as shown in Figure 11 may be constituted by one of the first arm (23), two second arms (24). 이 경우에는, 제1 아암부(23)는, 대략 V형 혹은 직선형으로 형성되어 있고, 그 중심부가 본체부(15)에 회동 가능하게 연결되는 기단부로 되어 있다. In this case, the first arm 23 is formed in a substantially V-shaped or straight, and that the heart is in a base end portion that is rotatably connected to the main body portion (15). 또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 제2 아암부(24)가 회동 가능하게 연결되어 있고, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 관절부(26)가 형성되어 있다. Also, two of the first arm portion 23 2 and the second arm 24 is rotatably connected to each of the distal end side, the first arm 23 of the as shown in Fig. 11 a joint part 26 is formed in each of the distal end side. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 핸드(13)의 기초부(20)에, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. Also, in this case, for example, the base portions 20 of the hand 13, is provided only the two fork portions 21 projecting toward the one of the horizontal direction. 또한, 도 11에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다. In Figure 11, designated by the same references for the same configuration as that of the aforementioned type, or a configuration corresponding to the configuration of the above-described form.

또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 하나의 아암(14)을 구비하고 있지만, 도 12에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은, 본체부(15)에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 2개의 아암(14)을 구비하고 있어도 된다. In the above embodiment, the robot 1 is as previously provided, but, as shown in FIG. 12 the single arm 14, the robot 1 is to the proximal end side is capable of pivoting on the body part 15 is optionally provided with two arms 14 are connected. 이 경우에는, 예를 들면 핸드(13)의 기초부(20)에, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. In this case, for example, the base portions 20 of the hand 13, is provided only the two fork portions 21 projecting toward the one of the horizontal direction. 또한, 도 12에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 있다. For addition, in Figure 12, the same configuration as that of the aforementioned type, or a configuration corresponding to the configuration of the above-described embodiment, are given the same reference numerals.

상술한 형태에서는, 오목부(80n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 대략 일치하고 있다. In the above embodiment, the concave portion (80n) is, as viewed from the vertical direction, are formed so as to overlap the through-hole (80f), when viewed from the vertical direction, of the through hole (80f) the inner circumferential surface and a concave portion (80n) of the inner circumferential surface is substantially equal. 이 밖에도 예를 들면, 오목부(80n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 오목부(80n)의 일부가 관통 구멍(80f)과 겹치도록 형성되고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 어긋나 있어도 된다. In addition, for example, the concave portion (80n) is, as viewed from the vertical direction, and a portion of the concave portion (80n) is formed so as to overlap the through-hole (80f), when viewed from the vertical direction, of the through hole (80f) the inner surface and the inner peripheral surface of the concave portion (80n) is optionally shifted. 마찬가지로, 상술한 형태에서는, 오목부(85n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 대략 일치하고 있지만, 오목부(85n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 오목부(85n)의 일부가 관통 구멍(85g)과 겹치도록 형성되고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 어긋나 있어도 된다. Similarly, in the above embodiment, the concave portion (85n) is, as viewed from the vertical direction, are formed so as to overlap the through-hole (85g), as viewed from the vertical direction, the through-hole (85g) inner peripheral surface and a concave portion (85n of ), but is substantially equal, the concave portion (85n), the inner circumferential surface of the can, when viewed from the vertical direction, a portion of the concave portion (85n) is formed so as to overlap the through-hole (85g),, the through holes seen from a vertical direction ( the inner peripheral surface of the inner peripheral surface and a concave portion (85n) of 85g) is optionally shifted.

상술한 형태에서는, 오목부(80n)의 내경은, 관통 구멍(80f)의 내경과 동일하게 되어 있다. In the above-described form, the inner diameter of the concave portion (80n) is, is the same as the inner diameter of the through hole (80f). 이 밖에도 예를 들면, 오목부(80n)의 내경은, 관통 구멍(80f)의 내경보다 커도 되고, 관통 구멍(80f)의 내경보다 작아도 된다. In addition, for example, the inner diameter of the concave portion (80n) is, is larger than the inner diameter of the through hole (80f), is smaller than the inner diameter of the through hole (80f). 마찬가지로, 오목부(85n)의 내경은, 관통 구멍(85g)의 내경과 동일하게 되어 있지만, 오목부(85n)의 내경은, 관통 구멍(85g)의 내경보다 커도 되고, 관통 구멍(85g)의 내경보다 작아도 된다. Similarly, the inner diameter of the concave portion (85n), the inner diameter of the through hole, but is equal to the inner diameter of (85g) concave portion (85n) is, is larger than the inner diameter of the through-hole (85g), the through-hole (85g) It is smaller than the inner diameter. 또한, 상술한 형태에서는, 관통 구멍(80f, 85g)은 원형으로 형성되어 있지만, 관통 구멍(80f, 85g)은 다각형으로 형성되어도 되고, 타원형 또는 장원형으로 형성되어도 된다. In the above embodiment, the through hole (80f, 85g), but is formed in a circular shape, the through hole (80f, 85g) is may be formed as a polygon, or may be formed into an oval or round section. 또한, 상술한 형태에서는, 오목부(80n, 85n)는, 원형으로 형성되어 있지만, 오목부(80n, 85n)는 다각형으로 형성되어도 되고, 타원형 또는 장원형으로 형성되어도 된다. In the above embodiment, the concave portion (80n, 85n) is, but is formed in a circular shape, the recess (80n, 85n) is may be formed as a polygon, or may be formed into an oval or round section.

상술한 형태에서는, 오목부(80n, 85n)는, 하면부(80b, 85b)를 관통하지 않도록 형성되어 있다. In the above embodiment, the concave portion (80n, 85n), when it is formed so as not to pass through the portion (80b, 85b). 이 밖에도 예를 들면, 오목부(80n, 85n)는, 하면부(80b, 85b)를 관통하도록 형성되어도 된다. In addition, for example, when the concave portion (80n, 85n) may be formed to pass through the portion (80b, 85b). 이 경우에는, 하면부(80b, 85b)의 하면에, 오목부(80n, 85n)를 막는 덮개 부재가 고정된다. In this case, when the lower face of the portion (80b, 85b), a cover member blocking the concave portion (80n, 85n) is fixed. 또한, 이 덮개 부재와 하면부(80b, 85b) 사이에는, 내부 공간(45, 66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 시일 부재가 배치된다. Further, when provided between part (80b, 85b) and the cover member, a sealing member for preventing leakage of air from the interior space (45, 66) are arranged.

상술한 형태에서는, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45) 및 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)이 대기압으로 되어 있다. In the above-described type, the first ah internal space 66 of the arm 23 inside the space 45 and the second arm 24 of the is set to the atmospheric pressure. 이 밖에도 예를 들면, 내부 공간(45) 또는 내부 공간(66)이 진공으로 되어 있어도 된다. In addition, for example, the inner space 45 or the internal space (66) is or may be a vacuum. 또한, 상술한 형태에서는, 아암(14)은, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있지만, 아암(14)은 하나의 아암부에 의해 구성되어도 되고, 3개 이상의 아암부에 의해 구성되어도 된다. In the above embodiment, arm 14 includes a first arm portion 23 and the second arm 2, but are composed of two arms, the arm 14 of the 24 by one of the arm and it may be configured, or may be configured by three or more arms. 아암(14)이 3개 이상의 아암부에 의해 구성되는 경우에는, 모든 아암부의 내부 공간이 대기압으로 되어 있어도 되고, 내부 공간이 진공으로 되어 있는 아암부가 있어도 된다. When the arm 14 is configured by at least three arms, then the arm portion, even if all of the internal space is the atmospheric pressure, and may add the arm with the interior space it is in vacuum.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)를 회동시키기 위한 모터(46)와, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)를 회동시키기 위한 모터(47)를 구비하고 있다. In the above embodiment, the robot 1 has a first arm 23, second arm the hand 13 with respect to the motor 46, and a second arm (24) to rotate (24) with respect to the a and a motor 47 to rotate. 이 밖에도 예를 들면, 1대의 모터에 의해, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)가 회동하고, 또한, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)가 회동하도록, 모터로부터 아암(14)으로의 동력의 전달 기구가 구성되어도 된다. In addition, for example, such that the hand 13 is rotated relative to the first arm rotates the second arm 24 with respect to the 23, and also, the second arm 24 by a single motor , the transmission mechanism of the power of the arm 14 from the motor may be configured.

상술한 형태에서는, 제1 아암부(23)의 선단부측에 있어서의 내부 공간(45)에 감속기(48)가 배치되어 있다. In the above-described type, the speed reducer 48 is disposed in the interior space 45 in the distal end side of the first arm (23). 이 밖에도 예를 들면, 제2 아암부(24)의 기단부측에 있어서의 내부 공간(66)에 감속기(48)가 배치되어도 된다. In addition, for example, the speed reducer 48 may be disposed in the inner space 66 of the base end side of the second arm (24). 또한, 상술한 형태에서는, 모터(47)는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 배치되어 있지만, 모터(47)는 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 배치되어도 된다. Further, in the above-mentioned type, arranged on the motor 47 of the first arm, but is disposed in the inner space 45 of the 23 motor 47 is an internal space 66 of the second arm 24 It may be. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(46)는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 배치되어 있지만, 모터(46)는 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 배치되어도 된다. Further, in the above-mentioned type, arranged on the motor 46 of the first arm, but is disposed in the inner space 45 of the 23 motor 46 is an internal space 66 of the second arm 24 It may be. 또한, 상술한 형태에서는, 감속기(61)는, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 배치되어 있지만, 감속기(61)는, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 배치되어도 된다. In the above embodiment, reduction gear 61, the second arm is arranged in the inner space 66 of 24, but the reduction gear 61, the internal space of the first arm (23) (45) It may be disposed on. 이 경우에는, 관절부(26)에 있어서, 감속기(48)와 감속기(61)가 축 방향으로 겹치도록 배치된다. In this case, in the joint 26, a reduction gear 48 and the reduction gear 61 is arranged so as to overlap in the axial direction.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)를 회동시키기 위한 모터(46)와, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)를 회동시키기 위한 모터(47)를 구비하고 있다. In the above embodiment, the robot 1 has a first arm 23, second arm the hand 13 with respect to the motor 46, and a second arm (24) to rotate (24) with respect to the a and a motor 47 to rotate. 이 밖에도 예를 들면, 1대의 모터에 의해, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)가 회동하고, 또한, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)가 회동하도록, 모터로부터 아암(14)으로의 동력의 전달 기구가 구성되어도 된다. In addition, for example, such that the hand 13 is rotated relative to the first arm rotates the second arm 24 with respect to the 23, and also, the second arm 24 by a single motor , the transmission mechanism of the power of the arm 14 from the motor may be configured.

상술한 형태에서는, 아암(14)는 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. In the above-described embodiment, the arm 14 is constituted by two arm portions of the first arm 23 and second arm 24. 이 밖에도 예를 들면, 아암(14)는 3개 이상의 아암부에 의해 구성되어도 된다. In addition, for example, the arm 14 may be configured by three or more arms. 이 경우에는, 3개 이상의 아암부의 각각은 중공형으로 형성됨과 함께, 3개 이상의 아암부의 각각의 내부 공간은 대기압으로 되어 있다. In this case, each of at least three arm parts are each formed with an internal space in the hollow, at least three arm portions are at atmospheric pressure.

상술한 형태에 있어서, 내부 공간(45, 66)에, 공냉식 또는 수냉식의 냉각 기구가 배치되어도 된다. In the above-described form, the inner space (45, 66), an air-cooled or water-cooled cooling mechanism may be disposed. 예를 들면, 냉각용 압축 공기 분출구를 갖는 냉각용 파이프가 내부 공간(45, 66)에 배치되어도 된다. For example, the cooling pipe having a compressed air outlet for the cooling may be disposed in the interior space (45, 66). 이 경우에는, 예를 들면 감속기(48, 61) 등의 베어링이나 자성 유체 시일(71, 72)의 배치 개소에 압축 공기가 공급되도록 냉각용 파이프가 배치된다. In this case, for example, reduction gear (48, 61) bearing, the magnetic fluid seal for the cooling such that the compressed air is supplied to the arrangement positions of the pipes 71 and 72 such as are arranged. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 내부 공간(45, 66)에 배치되는 냉각용 파이프는, 케이스체(17)의 내부 혹은 케이스체(17)의 외부의 대기 중에 배치되는 압축 공기의 공급원에 접속된다. Also, in this case, for example, a cooling pipe disposed in the interior space (45, 66) is connected to a source of compressed air is arranged in the external air of the case body (17) inside or housing 17 of the do. 또한, 이 냉각 파이프와 압축 공기의 공급원은, 제1 아암부(23)의 기단부측의 하면에 형성되는 관통 구멍 및 중공 회전축(32)의 내주측에 배설되는 배관에 의해 접속된다. In addition, the source of compressed air and the cooling pipe is connected by a pipe which is disposed on the inner peripheral side of the first arm 23, the proximal end side through holes and the hollow rotary shaft 32 which is formed on the lower surface of the. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 케이스체(17)의 내부에 전자 밸브가 배치되어 있고, 이 전자 밸브를 온 오프함으로써, 냉각용 파이프의 분출구로부터 압축 공기가 공급되거나, 냉각용 파이프의 분출구로부터 공급되는 압축 공기의 양이 조정되거나 한다. Also, in this case, for example, the case that the solenoid valve is arranged in the interior of the body 17, from the outlet of the by the solenoid valve on and off, or compressed air is supplied from the air outlet of the cooling pipe, the cooling pipe or to adjust the amount of compressed air supplied. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 내부 공간(45, 66)의 온도를 검출하는 온도 센서 등의 검출 수단이 내부 공간(45, 66)의 적당한 위치에 배치되어 있고, 이 검출 수단의 검출 결과에 기초하여, 전자 밸브가 온 오프된다. Further, in this case, for example, and detection means such as a temperature sensor for sensing the temperature of the inner space (45, 66) is disposed at a proper position of the inner space (45, 66), a detection result of the detection means and, the solenoid valve is turned off on the basis. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 내부 공간(45, 66)에 공급되는 압축 공기는, 내부 공간(45, 66)의 전체를 순환한 후, 본체부(15)측으로 배출된다. Also, in this case, for example, compressed air supplied to the internal space (45, 66), and then circulating the whole of the inner space (45, 66), and is discharged toward the main body portion 15. 이 경우에는, 아암(14)의 내부로부터 아암(14)의 전체를 효과적으로 냉각하여, 아암(14) 전체의 온도 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다. In this case, to effectively the entirety of the arm 14 from the interior of the arm 14 the cooling, it is possible to effectively suppress the arm 14 the total temperature rise of the.

상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. In the above-described type, the conveying object is conveyed by the robot 1 will be either transported object is a glass substrate for a liquid crystal display which is carried by but the substrate 2, an organic EL display, the robot 1, may be a semiconductor wafer do. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 반송 대상물을 반송하기 위한 로봇이지만, 로봇(1)은 용접 로봇 등의 다른 용도로 사용되는 로봇이어도 된다. In addition, in the above-described form, but the robot 1 is a robot for conveying a conveying object, the robot 1 may be a robot that is used for other purposes, such as a welding robot.

1 : 로봇(산업용 로봇) 1: Robots (Industrial Robot)
13 : 핸드 13: Hand
14 : 아암 14: arm
15 : 본체부 15: main body portion
23 : 제1 아암부(아암부) 23: the first arm (arm)
24 : 제2 아암부(아암부) 24: second arm (arm portion)
26 : 관절부(제1 관절부) 26: joint (first joint)
27 : 관절부(제2 관절부) 27: joint part (second joint)
45, 66 : 내부 공간 45, 66: inner space
46 : 모터(제1 모터) 46: motor (first motor)
47 : 모터(제2 모터) 47: motor (second motor)
48 : 감속기(제1 감속기) 48: speed reducer (first reducer)
80a, 85a : 상면부(제1 평면부) 80a, 85a: upper surface (first flat portion)
80b, 85b : 하면부(제2 평면부) 80b, 85b: If part (second flat portion)
80c, 85c : 측면부 80c, 85c: side
80f, 85g : 관통 구멍 80f, 85g: through hole
80n, 85n : 오목부 80n, 85n: concave portion
81, 86 : 덮개 부재 81, 86: cover member

Claims (1)

  1. 본체부와, 상기 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고, And a body portion, an arm in which the basal end side is rotatably connected to said body portion and provided with a hand which is rotatably connected to the distal end side of the arm,
    상기 핸드와 상기 아암은 진공 중에 배치되고, The hand and the arm is disposed in a vacuum,
    상기 아암의 전체는 중공형으로 형성되고, Whole of the arm is formed in a hollow shape,
    상기 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있고, The inner space of the arm may be at atmospheric pressure,
    상기 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 복수의 아암부에 의해 구성되고, The arm is formed by a plurality of arm parts relative to each other is rotatably connected,
    복수의 상기 아암부의 각각은 중공형으로 형성되어 있고, Each of the plurality of the arm portions is formed in a hollow shape,
    상기 아암의 적어도 일부에는, 관절부를 조립하거나 모터를 설치하기 위한 작업용 구멍이 형성되어 있고, At least a portion of the arm, the assembly of the joint, or a work hole is formed for installing the motor,
    상기 아암은, 상기 작업용 구멍을 막는 덮개 부재와, 상기 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재를 구비하고, The arm is provided with a cover member to prevent the working hole of the annular seal member for preventing leakage of air from the interior space,
    상기 아암은, 상기 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 상기 아암부로서의 제1 아암부와, 상기 제1 아암부의 선단부측에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 그 선단부측에 상기 핸드가 회동 가능하게 연결되는 상기 아암부로서의 제2 아암부로 구성되어 있고, The arms, the said arm as a first arms and, the distal end side is the first side of the base end to the first arm leading end portion with a rotatably connected whose base end side is rotatably connected to said body portion and the hand is composed of a second arm as said arm is rotatably connected,
    상기 제1 아암부에 대하여 상기 제2 아암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 상기 제2 아암부에 대하여 상기 핸드를 회동시키기 위한 제2 모터와, 상기 제1 모터의 회전을 감속하여 상기 제2 아암부에 전달하는 제1 감속기와, 상기 제2 모터의 회전을 감속하여 상기 핸드에 전달하는 제2 감속기를 구비하고, And the first O with respect to the arm with a first motor for rotating parts of the second arm, the second O slow the second motor, and a rotation of the first motor to rotate the hand with respect to the arm portion and the second and the arm first speed reducer for transmitting to, and to decelerate the rotation of the second motor and a second reduction gear for transmitting the said hand,
    상기 제1 감속기는, 상기 제1 아암부와 상기 제2 아암부를 연결하는 제1 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 상기 제1 아암부의 내부에 배치되고, The first reduction gear is arranged inside the first arm and the second arm with the first arm and also configure at least a portion of the first joint portion connecting portion,
    상기 제2 감속기는, 상기 제2 아암부와 상기 핸드를 연결하는 제2 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 상기 제2 아암부의 내부에 배치되어 있고, The second reduction gear is disposed inside the second arm and the second joint part and the second arm at least with the box constituting a part of connecting the hand portion,
    상기 제1 모터 및 상기 제2 모터는 상기 제1 아암부의 내부에 배치되어 있고, The first motor and the second motor is arranged inside of said first arm,
    상기 내부 공간에 배치되는 냉각 기구를 구비하고, And a cooling mechanism disposed in the interior space,
    상기 제1 감속기와 상기 제2 감속기는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성되는 중공 감속기인 것을 특징으로 하는 산업용 로봇. The first reduction gear and the second reduction gear is the diameter of the industrial robot, it characterized in that the hollow speed reducer is a through hole formed at the center of the direction.
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