KR101878585B1 - Industrial robot - Google Patents

Industrial robot Download PDF

Info

Publication number
KR101878585B1
KR101878585B1 KR1020167033734A KR20167033734A KR101878585B1 KR 101878585 B1 KR101878585 B1 KR 101878585B1 KR 1020167033734 A KR1020167033734 A KR 1020167033734A KR 20167033734 A KR20167033734 A KR 20167033734A KR 101878585 B1 KR101878585 B1 KR 101878585B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
arm
disposed
motor
arm portion
hand
Prior art date
Application number
KR1020167033734A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160141874A (en
Inventor
다카유키 야자와
요시히사 마스자와
Original Assignee
니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2013000541A external-priority patent/JP6007111B2/en
Application filed by 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 filed Critical 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Publication of KR20160141874A publication Critical patent/KR20160141874A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101878585B1 publication Critical patent/KR101878585B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Abstract

본원은, 진공 중에 배치됨과 함께 내부 공간의 적어도 일부가 대기압으로 되어 있는 아암을 갖는 산업용 로봇에 있어서, 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇에서는, 아암(14)은 상면부(85a)와 하면부(85b)와 측면부(85c)로 둘러싸이는 내부 공간(45)을 갖는 중공형으로 형성되며, 진공 중에 배치됨과 함께, 내부 공간(45)은 대기압으로 되어 있다. 상면부(85a)에는, 내부 공간(45)으로 통하는 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되고, 관통 구멍(85g)은 덮개 부재(86)로 막히고, 상면부(85a)와 덮개 부재(86) 사이에는 시일 부재가 배치되어 있다. 하면부(85b)의, 상면부(85a)와의 대향면에는, 상면부(85a)와 하면부(85b)의 대향 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍(85g)과 적어도 일부가 겹치는 복수의 오목부(85n)가 형성되어 있다.The present invention relates to an industrial robot having an arm that is disposed in a vacuum and at least a part of the internal space is at an atmospheric pressure and reduces an operation mistake when a seal member for securing the airtightness of the internal space of the arm is installed, The present invention provides an industrial robot that can be used as a robot. In this industrial robot, the arm 14 is formed in a hollow shape having an upper space portion 85a, an upper space portion 85b and an inner space 45 surrounded by a side portion 85c, and is arranged in a vacuum, (45) is at atmospheric pressure. The upper surface portion 85a is formed with a plurality of through holes 85g communicating with the inner space 45. The through hole 85g is blocked by the lid member 86 and the upper surface portion 85a and the lid member 86 are closed, A seal member is disposed. A plurality of recesses 85n overlapping at least a part of the through hole 85g when viewed from the opposite direction of the upper surface portion 85a and the lower surface portion 85b are formed on the surface of the lower surface portion 85b facing the upper surface portion 85a, Is formed.

Figure R1020167033734
Figure R1020167033734

Description

산업용 로봇{INDUSTRIAL ROBOT}INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 진공 중에서 사용되는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot used in a vacuum.

종래, 진공 중에서 기판을 반송하는 진공 로봇이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 진공 로봇은, 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단부측에 연결되는 아암과, 아암의 기단부측이 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 아암은, 본체부에 회동 가능하게 연결되는 아암 베이스와, 그 기단부측이 아암 베이스에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 그 기단부측이 제1 아암의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암을 구비하고 있다. 또한, 아암은, 그 기단부측이 아암 베이스에 회동 가능하게 연결되는 제1 링크와, 그 기단부측이 제1 링크의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 제2 링크와, 제1 아암의 선단부측과 제1 링크의 선단부측을 연결하는 제1 연결 링크와, 제2 아암의 선단부측과 제2 링크의 선단부측을 연결하는 제2 연결 링크를 구비하고 있다.BACKGROUND ART Conventionally, a vacuum robot for transporting a substrate in vacuum is known (see, for example, Patent Document 1). The vacuum robot described in Patent Document 1 has a hand on which a substrate is mounted, an arm connected to the distal end side of the hand, and a main body portion to which the proximal end side of the arm is connected. The arm is provided with an arm base rotatably connected to the main body, a first arm whose base end side is rotatably connected to the arm base, and a second arm whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm. And an arm. The arm includes a first link whose base end portion is rotatably connected to the arm base, a second link whose base end portion is rotatably connected to the distal end side of the first link, A first connection link connecting the distal end side of the first link and a second connection link connecting the distal end side of the second arm and the distal end side of the second link.

특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 아암 베이스 및 제1 아암은 중공형으로 형성되어 있다. 또한, 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크도 중공형으로 형성되어 있다. 아암 베이스의 내부에는, 아암을 구동하는 아암 구동용 모터와, 아암 구동용 모터의 회전을 감속하여 제1 아암에 전달하는 제1 감속기가 배치되어 있다. 제1 감속기의 출력축에는, 제1 아암의 기단부측이 고정되어 있다. 제1 아암의 선단부측에는, 아암 구동용 모터의 회전을 감속하여 제2 아암에 전달하는 제2 감속기가 배치되어 있다. 제2 감속기의 출력축에는, 제2 아암의 기단부측이 고정되어 있다.In the vacuum robot described in Patent Document 1, the arm base and the first arm are formed in a hollow shape. The second arm, the first link, the second link, the first connecting link, and the second connecting link are also formed in a hollow shape. Inside the arm base, an arm driving motor for driving the arm and a first reducer for transmitting rotation to the first arm by decelerating the rotation of the arm driving motor are disposed. On the output shaft of the first reduction gear, the base end side of the first arm is fixed. A second reducer for decelerating the rotation of the arm driving motor and transmitting the rotation to the second arm is disposed on the distal end side of the first arm. The base end side of the second arm is fixed to the output shaft of the second reduction gear mechanism.

또한, 특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 본체부의 일부가 진공 용기의 저면에 고정되어 있고, 아암 및 핸드는 진공 중에 배치되어 있다. 중공형으로 형성되는 아암 베이스 및 제1 아암의 내부 공간에서는 기밀성이 확보되어 있고, 아암 베이스 및 제1 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있다. 즉, 아암 구동용 모터, 제1 감속기 및 제2 감속기는 대기 중에 배치되어 있다. 한편, 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크에는, 그들의 내부 공간으로 통하는 개구부가 형성되어 있고, 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크의 내부 공간은 진공으로 되어 있다. 즉, 아암 베이스와 제1 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링이나, 제1 링크와 제2 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링 등은 진공 중에 배치되어 있다. 또한, 이 진공 로봇에서는, 상하 방향으로 2분할되는 대략 바닥이 있는 원통형의 2개의 분할 케이스체가 서로 접합됨으로써 아암 베이스가 구성되어 있다. 2개의 분할 케이스체의 접합부에는, 아암 베이스의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위해서, 환상의 시일 부재가 배치되어 있고, 이 시일 부재를 사이에 둔 상태에서, 2개의 분할 케이스체가 접합되어 있다.Further, in the vacuum robot described in Patent Document 1, a part of the main body is fixed to the bottom surface of the vacuum container, and the arm and the hand are arranged in vacuum. The airtightness is ensured in the hollow base of the arm base and the inner space of the first arm, and the inner space of the arm base and the first arm is at atmospheric pressure. That is, the arm driving motor, the first reducer, and the second reducer are disposed in the atmosphere. On the other hand, the second arm, the first link, the second link, the first connecting link, and the second connecting link have openings communicating with their inner spaces, and the second arm, the first link, the second link, The inner space of the connecting link and the second connecting link is in a vacuum. That is, a bearing that rotatably connects the arm base and the first link, a bearing that rotatably connects the first link and the second link, and the like are disposed in vacuum. Further, in this vacuum robot, two split case members each having substantially a bottom and divided into two in the vertical direction are joined to each other to constitute an arm base. An annular seal member is disposed at the junction of the two divided case members in order to ensure the airtightness of the internal space of the arm base. Two split case members are joined together with the seal member therebetween.

일본 특허 공개 제2011-101912호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-101912

특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 2개의 분할 케이스체는 환상의 시일 부재를 사이에 둔 상태에서 접합되어 있다. 따라서, 이 진공 로봇에서는, 로봇이 대형화되어, 아암 베이스가 대형화되면, 시일 부재도 대형화되기 때문에, 아암 베이스를 조립할 때의 시일 부재의 취급이 번잡해진다. 또한, 시일 부재의 취급이 번잡해지면, 2개의 분할 케이스체 사이에 시일 부재를 확실하게 끼울 수 없는 등의 작업 미스가 발생하여, 아암 베이스의 내부 공간의 기밀성을 확보할 수 없게 될 우려도 높아진다.In the vacuum robot described in Patent Document 1, the two split case members are joined together with the annular seal member therebetween. Therefore, in this vacuum robot, when the robot becomes large and the arm base becomes large, the seal member also becomes large, so handling of the seal member when assembling the arm base becomes troublesome. Further, when the handling of the seal member becomes complicated, there arises a possibility that a mistake such as failure to surely insert the seal member between the two split case members occurs, and the airtightness of the internal space of the arm base can not be ensured.

따라서, 본 발명(제1 발명)의 과제는, 진공 중에 배치됨과 함께 그 내부 공간의 적어도 일부가 대기압으로 되어 있는 아암을 갖는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇이 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention (first invention) is to provide an industrial robot having an arm that is disposed in a vacuum and at least a part of the internal space thereof is at atmospheric pressure, so that even when the industrial robot is enlarged, And an operation mistake when the seal member for securing the seal member is installed can be reduced.

또한, 특허문헌 1에 기재된 진공 로봇에서는, 아암이 진공 중에 배치되어 있어도, 아암 베이스 및 제1 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있기 때문에, 아암 베이스의 내부에 배치되는 아암 구동용 모터를 냉각하는 것이 가능해진다. 또한, 이 진공 로봇에서는, 핸드에 탑재되는 기판의 온도가 높아도, 아암 베이스 및 제1 아암을 내부로부터 냉각하여, 아암 베이스나 제1 아암의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. 따라서, 아암 베이스나 제1 아암의 열팽창을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 이 진공 로봇에서는, 아암이 진공 중에 배치되어 있어도, 아암 구동용 모터, 제1 감속기 및 제2 감속기가 대기 중에 배치되어 있기 때문에, 아암 구동용 모터, 제1 감속기 및 제2 감속기의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제를 사용할 필요가 없고, 대기압 중에서 사용되는 그리스 등의 윤활제를 사용하면 된다. 따라서, 진공 로봇의 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다.In the vacuum robot disclosed in Patent Document 1, since the internal space of the arm base and the first arm is atmospheric pressure even if the arm is disposed in vacuum, it is possible to cool the arm driving motor disposed inside the arm base It becomes possible. Further, in this vacuum robot, even if the temperature of the substrate mounted on the hand is high, it is possible to cool the arm base and the first arm from the inside, thereby suppressing the temperature rise of the arm base and the first arm. Therefore, thermal expansion of the arm base and the first arm can be suppressed. In this vacuum robot, even if the arm is disposed in vacuum, since the arm driving motor, the first reducer, and the second reducer are disposed in the atmosphere, the lubricant for the arm drive motor, the first reducer and the second reducer , Vacuum grease, or the like may be used, and a lubricant such as grease used in atmospheric pressure may be used. Therefore, it is possible to reduce the initial cost and the running cost of the vacuum robot.

그러나, 이 진공 로봇에서는, 아암을 구성하는 제2 아암, 제1 링크, 제2 링크, 제1 연결 링크 및 제2 연결 링크의 내부 공간이 진공으로 되어 있기 때문에, 핸드에 탑재되는 기판의 온도가 높으면, 제2 아암, 제1 링크 및 제2 링크 등의 온도가 높아져, 제2 아암, 제1 링크 및 제2 링크 등의 열팽창량이 커질 우려가 있다. 제2 아암, 제1 링크 및 제2 링크 등의 열팽창량이 커지면, 핸드에 탑재되어 반송되는 기판이, 본래의 목표 도달 위치로부터 크게 어긋날 우려가 있다.However, in this vacuum robot, since the internal spaces of the second arm, the first link, the second link, the first connecting link, and the second connecting link constituting the arm are vacuum, the temperature of the substrate mounted on the hand The temperature of the second arm, the first link, the second link, and the like becomes high, and the amount of thermal expansion of the second arm, the first link, the second link, and the like may increase. When the amount of thermal expansion of the second arm, the first link, the second link, and the like is increased, there is a risk that the substrate carried and carried on the hand deviates greatly from the original target position.

또한, 이 진공 로봇에서는, 아암 베이스와 제1 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링이나, 제1 링크와 제2 링크를 회동 가능하게 연결하는 베어링 등이 진공 중에 배치되어 있기 때문에, 핸드에 탑재되는 기판의 온도가 높으면, 이들 베어링의 온도가 상승하여, 이들 베어링의 수명이 저하될 우려가 있다. 또한, 이들 베어링이 진공 중에 배치되어 있기 때문에, 이들 베어링의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제를 사용해야만 한다. 따라서, 이 진공 로봇에서는 초기 비용 및 러닝 코스트가 높아진다.In this vacuum robot, since the bearing that rotatably connects the arm base and the first link or the bearing or the like that rotatably connects the first link and the second link is disposed in vacuum, The temperature of these bearings rises and there is a fear that the life of these bearings is lowered. Further, since these bearings are disposed in a vacuum, an expensive lubricant such as vacuum grease must be used as a lubricant for these bearings. Therefore, the initial cost and the running cost of the vacuum robot are increased.

따라서, 본 발명(제2 발명)의 과제는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 반송 대상물의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것, 및, 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것에 있다.Therefore, the object of the present invention (second invention) is to improve the conveying accuracy of the conveying object by suppressing the deviation of the conveying object from the target attainment position even if the temperature of the conveying object carried in vacuum is high, and , An initial cost, and a running cost.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명(제1 발명)의 산업용 로봇은, 평판 형상의 제1 평면부와, 제1 평면부와 소정의 간극을 두고 대략 평행하게 대향 배치되는 평판 형상의 제2 평면부와, 제1 평면부의 외주 단부와 제2 평면부의 외주 단부를 연결하는 측면부를 갖는 아암을 구비하고, 아암의 적어도 일부는, 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부로 둘러싸이는 내부 공간을 갖는 중공형으로 형성됨과 함께, 아암은 진공 중에 배치되고, 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있고, 제1 평면부에는 내부 공간으로 통하는 복수의 관통 구멍이 형성되고, 아암은, 제1 평면부에 고정되어 관통 구멍을 막는 복수의 덮개 부재와, 제1 평면부와 덮개 부재 사이에 배치되어 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 복수의 시일 부재를 구비하고, 제2 평면부의, 제1 평면부와의 대향면에는, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍과 적어도 일부가 겹치는 복수의 오목부가 움푹 패이도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention (first invention) comprises a first flat portion in the form of a flat plate, a second flat portion in the form of a flat plate which is arranged substantially parallel and opposite to the first flat portion, And an arm having a side portion connecting the outer peripheral end portion of the first planar portion and the outer peripheral end portion of the second planar portion, wherein at least a part of the arm has an inner space surrounded by the first planar portion, the second planar portion, Wherein the arm is disposed in a vacuum, the inner space of the arm is at atmospheric pressure, the first plane portion is formed with a plurality of through holes communicating with the inner space, and the arm is formed in the first plane portion And a plurality of seal members disposed between the first plane portion and the lid member to prevent air from flowing out from the internal space, wherein the plurality of seal members are arranged between the first plane portion and the lid member, And a plurality of concave portions overlapping at least a part of the through hole when viewed from the opposite direction of the first plane portion and the second plane portion are formed in a surface facing each other.

본 발명(제1 발명)의 산업용 로봇에서는, 진공 중에 배치됨과 함께 그 내부 공간이 대기압으로 되어 있는 아암을 구성하는 제1 평면부에, 내부 공간으로 통하는 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. 또한, 본 발명(제1 발명)에서는, 아암은, 제1 평면부에 고정되어 복수의 관통 구멍을 막는 복수의 덮개 부재와, 제1 평면부와 덮개 부재 사이에 배치되어 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 복수의 시일 부재를 구비하고 있다. 그 때문에, 본 발명(제1 발명)에서는, 산업용 로봇이 대형화되어 아암이 대형화되어도, 복수의 시일 부재의 각각의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암을 조립할 때, 시일 부재를 용이하게 취급하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명(제1 발명)에서는, 산업용 로봇이 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention (first invention), a plurality of through-holes communicating with the inner space are formed in a first plane portion constituting an arm which is arranged in a vacuum and whose inner space is at atmospheric pressure. Further, in the present invention (first invention), the arm is provided with a plurality of lid members which are fixed to the first plane portion and block the plurality of through holes, and a plurality of lid members which are arranged between the first plane portion and the lid member, And a plurality of seal members for preventing leakage. Therefore, in the present invention (first invention), it becomes possible to reduce the size of each of the plurality of seal members even if the size of the arm is increased by enlarging the size of the industrial robot. As a result, It becomes possible to handle. Therefore, in the present invention (first invention), even if the size of the industrial robot is increased, it is possible to reduce a mistake in the installation of the seal member for securing the airtightness of the internal space of the arm.

여기서, 진공 중에 배치되는 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있는 경우, 중공형으로 형성되는 아암은 내부의 압력에 의해 외측으로 불룩해지도록 변형된다. 본 발명(제1 발명)에서는, 제2 평면부의, 제1 평면부와의 대향면에, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍과 적어도 일부가 겹치는 복수의 오목부가 움푹 패이도록 형성되어 있기 때문에, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향의 양쪽 외측을 향하여 대략 균등하게 아암이 불룩해지도록 아암을 변형시키는 것이 가능해진다. 즉, 제2 평면부의 제1 평면부와의 대향면에 오목부가 형성되어 있지 않은 경우에는, 복수의 관통 구멍이 형성되는 제1 평면부의 강도가 제2 평면부의 강도보다도 낮아지기 때문에, 아암은, 내부의 압력에 의해, 아암의 제2 평면부측보다도 아암의 제1 평면부측이 외측을 향하여 크게 불룩해지도록 변형되기 쉬워지지만, 본 발명(제1 발명)에서는, 제2 평면부의 제1 평면부와의 대향면에, 복수의 오목부가 형성되어 있어, 제2 평면부의 강도를 제1 평면부의 강도에 가깝게 하는 것이 가능해지기 때문에, 제1 평면부측과 제2 평면부측의 양쪽 외측을 향하여 대략 균등하게 아암이 불룩해지도록 아암을 변형시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명(제1 발명)에서는, 제1 평면부에 복수의 관통 구멍이 형성되어 있어도, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향에 있어서의 일방측으로 기울도록 아암이 변형되거나, 비틀어지도록 아암이 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암의 선단부측의 위치 정밀도를 확보하는 것이 가능해진다.Here, when the internal space of the arm disposed in the vacuum is at atmospheric pressure, the arm formed in the hollow shape is deformed to bulge outward by the pressure inside. In the present invention (first invention), a plurality of concave portions, which are at least partially overlapped with the through holes when viewed from the opposite direction of the first plane portion and the second plane portion, of the second plane portion, It is possible to deform the arm so that the arms are bulged substantially evenly toward both sides in the opposite directions of the first plane portion and the second plane portion. That is, when the concave portion is not formed on the surface of the second flat surface portion facing the first flat surface portion, the strength of the first flat surface portion where the plurality of through holes are formed is lower than the strength of the second flat surface portion, The first flat portion side of the arm is more likely to be bulged outward than the second flat portion side of the arm due to the pressure of the first flat portion of the arm. However, in the present invention (first invention) It is possible to make the strength of the second flat surface portion close to the strength of the first flat surface portion so that the flat surface of the first flat surface portion and the flat surface portion of the second flat surface portion It becomes possible to deform the arm so as to be bulged. Therefore, in the present invention (first invention), even if a plurality of through holes are formed in the first plane portion, the arm is deformed or twisted so as to be tilted to one side in the direction opposite to the first plane portion and the second plane portion It is possible to suppress the deformation of the arm, and as a result, it is possible to secure the positional accuracy of the distal end side of the arm.

본 발명(제1 발명)에 있어서, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍의 내주면과 오목부의 내주면이 대략 일치하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명(제1 발명)에 있어서, 관통 구멍은 원형으로 형성되고, 오목부는 관통 구멍의 내경과 내경이 동일한 원형으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향의 양쪽 외측을 향하여 균등하게 아암이 불룩해지도록 아암을 변형시키기 쉬워진다. 따라서, 제1 평면부에 복수의 관통 구멍이 형성되어 있어도, 제1 평면부와 제2 평면부의 대향 방향에 있어서의 일방측으로 기울도록 아암이 변형되거나, 비틀어지도록 아암이 변형되거나 하는 것을 효과적으로 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암의 선단부측의 위치 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.In the present invention (first invention), it is preferable that the inner circumferential surface of the through-hole and the inner circumferential surface of the concave portion substantially coincide with each other when viewed from the opposite direction of the first plane portion and the second plane portion. In the present invention (first invention), it is preferable that the through hole is formed in a circular shape, and the concave portion is formed in a circle having the same inner diameter and inner diameter of the through hole. With this configuration, it is easy to deform the arm so that the arm bulges evenly toward both outer sides of the opposing directions of the first plane portion and the second plane portion. Therefore, even when a plurality of through holes are formed in the first plane portion, it is possible to effectively prevent the arm from being deformed or distorted such that the arm is tilted to one side in the direction opposite to the first plane portion and the second plane portion As a result, it becomes possible to increase the positional accuracy of the distal end side of the arm.

본 발명(제1 발명)에 있어서, 내부 공간은, 관통 구멍으로부터 삽입되는 절삭용 공구를 사용한 절삭 가공에 의해 형성되고, 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부가 일체로 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 서로 별체로 형성된 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부가 접합됨으로써 내부 공간이 형성되는 경우와 비교하여, 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하기 쉬워진다. 또한, 이와 같이 구성하면, 주물에 의해, 제1 평면부와 제2 평면부와 측면부가 일체로 형성되어 있는 경우와 비교하여, 제1 평면부, 제2 평면부 및 측면부로부터 진공 중으로 방출되는 가스(아웃 가스)의 방출량을 저감하는 것이 가능해진다.In the present invention (first invention), it is preferable that the inner space is formed by cutting using a cutting tool inserted from the through hole, and the first plane portion, the second plane portion and the side portion are integrally formed . With this configuration, it is easy to prevent the air from flowing out from the inner space, as compared with the case where the inner space is formed by joining the first planar portion, the second planar portion, and the side portions separately formed from each other. In addition, as compared with the case where the first plane portion, the second plane portion and the side portion are integrally formed by casting, the gas discharged into the vacuum from the first plane portion, the second plane portion, (Out gas) can be reduced.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명(제2 발명)의 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고, 핸드와 아암은 진공 중에 배치되고, 아암의 전체는 중공형으로 형성되고, 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention (second invention) comprises: a body; an arm rotatably connected to the proximal end side of the body; a hand rotatably connected to the distal end of the arm; And the hand and the arm are arranged in a vacuum, the entire arm is formed in a hollow shape, and the internal space of the arm is at atmospheric pressure.

본 발명(제2 발명)의 산업용 로봇에서는, 아암의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있다. 그 때문에, 본 발명(제2 발명)에서는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 아암의 내부로부터 아암의 전체를 냉각하여, 아암 전체의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명(제2 발명)에서는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 아암 전체의 열팽창을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 반송 대상물의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention (second invention), the entire arm is formed in a hollow shape, and the internal space of the arm is atmospheric pressure. Therefore, in the present invention (second invention), even if the temperature of the object to be transported carried in vacuum is high, the entire arm can be cooled from the inside of the arm, and the temperature rise of the entire arm can be suppressed. Therefore, in the present invention (second invention), it is possible to suppress the thermal expansion of the entire arm even if the temperature of the conveying object carried on the hand and conveyed in vacuum is high, and as a result, the deviation of the conveying object from the target attaining position It is possible to increase the conveying accuracy of the conveying object.

또한, 본 발명(제2 발명)에서는, 아암의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있기 때문에, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 아암의 내부에 배치되는 모든 베어링의 온도 상승을 억제하여, 이들 베어링의 수명 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명(제2 발명)에서는, 아암의 내부 공간이 대기압으로 되어 있기 때문에, 아암의 내부에 배치되는 모터나 감속기의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제가 아니라, 대기압 중에서 사용되는 그리스 등의 윤활제를 사용하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는 산업용 로봇의 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다.In the present invention (second invention), since the entire arm is formed in a hollow shape and the internal space of the arm is at atmospheric pressure, even if the temperature of the object to be carried on the hand and carried in vacuum is high, It is possible to suppress temperature rise of all the bearings disposed in the bearing, and suppress the deterioration of the service life of these bearings. In addition, in the present invention (second invention), since the internal space of the arm is atmospheric pressure, not as an expensive lubricant such as a vacuum grease, but as a lubricant for a motor or a speed reducer disposed in the arm, Or the like can be used. Therefore, in the present invention, the initial cost and the running cost of the industrial robot can be reduced.

본 발명(제2 발명)에 있어서, 예를 들면 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 복수의 아암부에 의해 구성되고, 복수의 아암부의 각각은 중공형으로 형성되어 있다. 이 경우에는, 예를 들면 아암은, 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암부로서의 제1 아암부와, 제1 아암부의 선단부측에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 그 선단부측에 핸드가 회동 가능하게 연결되는 아암부로서의 제2 아암부로 구성되어 있다.In the present invention (second invention), for example, the arm is constituted by a plurality of arm portions which are rotatably connected to each other, and each of the plurality of arm portions is formed into a hollow shape. In this case, for example, the arm has a first arm portion as an arm portion to which the proximal end side is pivotally connected to the main body portion, and a second arm portion which is rotatably connected to the proximal end side of the first arm portion, And a second arm portion as an arm portion rotatably connected to the hand.

본 발명(제2 발명)에 있어서, 산업용 로봇은, 제1 아암부에 대하여 제2 아암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 제2 아암부에 대하여 핸드를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제1 모터의 회전을 감속하여 제2 아암부에 전달하는 제1 감속기와, 제2 모터의 회전을 감속하여 핸드에 전달하는 제2 감속기를 구비하고, 제1 감속기는, 제1 아암부와 제2 아암부를 연결하는 제1 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 제1 아암부의 내부에 배치되고, 제2 감속기는, 제2 아암부와 핸드를 연결하는 제2 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 제2 아암부의 내부에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우에는, 제1 모터 및 제2 모터는 제1 아암부의 내부에 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention (second invention), the industrial robot includes: a first motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion; a second motor for rotating the hand with respect to the second arm portion; And a second reducer for reducing the rotation of the second motor to transmit the rotation to the hand, wherein the first reducer has a first arm and a second arm, And the second reducer constitutes at least a part of a second joint portion connecting the second arm portion and the hand, and the second reducer constitutes at least a part of the second joint portion connecting the second arm portion and the hand, And it is preferably arranged inside the arm portion. In this case, it is preferable that the first motor and the second motor are disposed inside the first arm portion.

이와 같이 구성하면, 제1 감속기가 제1 관절부의 적어도 일부를 구성하고, 제2 감속기가 제2 관절부의 적어도 일부를 구성하고 있기 때문에, 제1 관절부 및 제2 관절부의 강성을 높이는 것이 가능해진다. 또한, 이와 같이 구성하면, 제1 모터 및 제2 모터가 제1 아암부의 내부에 배치되어 있기 때문에, 제2 아암을 소형화하는 것이 가능해진다. 여기서, 제2 모터가 제1 아암부의 내부에 배치되어 있으면, 제2 모터로부터 핸드까지의 동력의 전달 경로가 길어지지만, 이와 같이 구성하면, 제2 감속기가 제2 관절부의 적어도 일부를 구성하고 있기 때문에, 제2 감속기의 출력측에 핸드를 직접 고정하는 것이 가능해진다. 따라서, 예를 들면 제2 감속기가 제1 관절부를 구성하도록 배치되고, 제2 감속기와 핸드가 벨트 및 풀리를 통하여 접속되는 경우와 비교하여, 핸드의 정지 정밀도를 높이는 것이 가능해지고, 그 결과, 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.With this configuration, since the first reducer constitutes at least a part of the first joint part and the second reducer constitutes at least a part of the second joint part, the rigidity of the first joint part and the second joint part can be enhanced. With this configuration, since the first motor and the second motor are disposed inside the first arm portion, the second arm can be downsized. Here, if the second motor is disposed inside the first arm portion, the transmission path of the power from the second motor to the hand becomes long. With this configuration, however, the second reducer constitutes at least a part of the second joint portion Therefore, it is possible to fix the hand directly to the output side of the second speed reducer. Therefore, for example, as compared with the case where the second reducer is arranged to constitute the first joint and the second reducer and the hand are connected through the belt and the pulley, it is possible to improve the stopping precision of the hand, The conveying accuracy of the object can be improved.

본 발명(제2 발명)에 있어서, 산업용 로봇은 아암의 내부 공간에 배치되는 냉각 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 아암의 내부로부터 아암의 전체를 효과적으로 냉각하여, 아암 전체의 온도 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다.In the present invention (second invention), it is preferable that the industrial robot includes a cooling mechanism disposed in the internal space of the arm. With this configuration, it is possible to effectively cool the entire arm from the inside of the arm, effectively suppressing the temperature rise of the entire arm.

이상과 같이, 본 발명(제1 발명)에서는, 진공 중에 배치됨과 함께 그 내부 공간의 적어도 일부가 대기압으로 되어 있는 아암을 갖는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇이 대형화되어도, 아암의 내부 공간의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능해진다.Industrial Applicability As described above, in the industrial robot according to the present invention (first invention), an industrial robot having an arm disposed in a vacuum and at least a part of the internal space of which is at atmospheric pressure has an airtightness of the internal space of the arm It is possible to reduce a mistake in the operation of installing the seal member for securing it.

이상과 같이, 본 발명(제2 발명)의 산업용 로봇에서는, 핸드에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 반송 대상물의 온도가 높아도, 반송 대상물의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 반송 대상물의 반송 정밀도를 높이는 것, 및, 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다.As described above, in the industrial robot of the present invention (second invention), even if the temperature of the conveying object carried on the hand and conveyed in vacuum is high, the deviation of the conveying object from the target attainment position is suppressed to improve the conveying accuracy of the conveying object And the initial cost and the running cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 산업용 로봇의 내부 구조를 측면으로부터 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시한 제1 아암부 및 관절부의 확대도이다.
도 5는 도 3에 도시한 제2 아암부 및 관절부의 확대도이다.
도 6은 도 5에 도시한 제2 아암부의 아암부 본체의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 (A)의 E-E 단면의 단면도이다.
도 7은 도 6의 (A)의 F부의 확대도이다.
도 8은 도 6의 (B)의 G부의 확대도이다.
도 9는 도 1에 도시한 프로세스 챔버로부터 기판을 반출하여 다른 프로세스 챔버에 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 도 1에 도시한 프로세스 챔버에 기판을 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.1 is a plan view showing a state in which an industrial robot according to an embodiment of the present invention is embedded in a manufacturing system of an organic EL display.
Fig. 2 is a view of the industrial robot shown in Fig. 1, wherein (A) is a plan view and (B) is a side view.
Fig. 3 is a sectional view for explaining the internal structure of the industrial robot shown in Fig. 2 from the side. Fig.
Fig. 4 is an enlarged view of the first arm portion and the joint portion shown in Fig. 3;
5 is an enlarged view of the second arm portion and the joint portion shown in Fig.
Fig. 6 is a plan view of the arm body of the second arm portion shown in Fig. 5, and Fig. 6 (B) is a sectional view of the EE section of Fig.
Fig. 7 is an enlarged view of part F in Fig. 6 (A).
8 is an enlarged view of a portion G in Fig. 6B.
Fig. 9 is a view for explaining the movement of the industrial robot when the substrate is taken out of the process chamber shown in Fig. 1 and brought into another process chamber.
10 is a view for explaining the movement of the industrial robot when the substrate is carried into the process chamber shown in Fig.
11 is a plan view of an industrial robot according to another embodiment of the present invention.
12 is a plan view of an industrial robot according to another embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Rough configuration of industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 도시하는 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇(1)의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 3은 도 2에 도시한 산업용 로봇(1)의 내부 구조를 측면으로부터 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view showing a state in which an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention is embedded in a manufacturing system 3 of an organic EL display. Fig. 2 is a view of the industrial robot 1 shown in Fig. 1, wherein (A) is a plan view and (B) is a side view. 3 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the industrial robot 1 shown in Fig. 2 from the side.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은 비교적 대형의 기판(2)의 반송에 적합한 로봇이다. 로봇(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어 사용된다.(Hereinafter referred to as " substrate 2 ") for an organic EL (organic electro luminescence) display, which is an object to be transported, Quot;). The robot (1) is a robot suitable for transporting a relatively large substrate (2). As shown in Fig. 1, the robot 1 is used in a manufacturing system 3 of an organic EL display.

제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(5 내지 10)(이하, 「 챔버(5 내지 10)」라 함)를 구비하고 있다. 챔버(4) 및 챔버(5 내지 10)의 내부는 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)을 구성하는 후술하는 포크부(21)가 챔버(5 내지 10) 내에 인입함으로써, 로봇(1)은 챔버(5 내지 10) 간에서 기판(2)을 반송한다. 즉, 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송한다. 챔버(5 내지 10)에는, 각종 장치 등이 배치되어 있고, 로봇(1)에 의해 반송된 기판(2)이 수용된다. 또한, 챔버(5 내지 10)에서는, 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다. 제조 시스템(3)의 보다 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as a " chamber 4 ") disposed centrally, a plurality of process chambers 5 to 10 , And " chambers 5 to 10 "). The inside of the chamber 4 and the chambers 5 to 10 are evacuated. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. The fork portion 21 which constitutes the robot 1 is inserted into the chambers 5 to 10 so that the robot 1 carries the substrate 2 between the chambers 5 to 10. [ That is, the robot 1 carries the substrate 2 in vacuum. In the chambers 5 to 10, various devices and the like are arranged, and the substrate 2 carried by the robot 1 is accommodated. In the chambers 5 to 10, the substrate 2 is subjected to various kinds of processing. A more specific configuration of the manufacturing system 3 will be described later.

도 2, 도 3에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(13)와, 핸드(13)가 그 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 아암(14)과, 아암(14)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(15)와, 본체부(15)를 승강시키는 승강 기구(16)를 구비하고 있다. 본체부(15) 및 승강 기구(16)는 대략 바닥이 있는 원통 형 케이스체(17) 내에 수용되어 있다. 케이스체(17)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(18)가 고정되어 있다. 플랜지(18)에는, 본체부(15)의 상단부측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다. 또한, 도 2의 (A)에서는, 본체부(15), 승강 기구(16) 및 케이스체(17) 등의 도시를 생략하고 있다.2 and 3, the robot 1 includes a hand 13 on which the substrate 2 is mounted, an arm 14 rotatably connected to the distal end of the hand 13, A body portion 15 to which the proximal end side of the arm 14 is rotatably connected and a lifting mechanism 16 for lifting and lowering the body portion 15. [ The main body portion 15 and the lifting mechanism 16 are housed in a substantially cylindrical cylindrical housing 17. At the upper end of the case body 17, a flange 18 formed in a disk shape is fixed. The flange 18 is formed with a through hole through which the upper end side portion of the body portion 15 is disposed. 2 (A), the main body portion 15, the lifting mechanism 16, the case body 17, and the like are not shown.

핸드(13) 및 아암(14)은 본체부(15)의 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(13) 및 아암(14)은 플랜지(18)의 상측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이, 로봇(1)의 일부는 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 로봇(1)의, 플랜지(18)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(18)의 하단부면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 중에 배치되어 있고, 핸드(13) 및 아암(14)은 진공 중에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(18)의 하단부면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 중(대기 중)에 배치되어 있다.The hand 13 and the arm 14 are arranged on the upper side of the main body 15. Further, the hand 13 and the arm 14 are disposed on the upper side of the flange 18. As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. More specifically, a portion of the robot 1 on the upper side than the lower end face of the flange 18 is disposed inside the chamber 4. As shown in Fig. That is, the upper portion of the robot 1 on the upper side than the lower end face of the flange 18 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 13 and the arm 14 are disposed in vacuum. On the other hand, a portion of the robot 1 which is lower than the lower end face of the flange 18 is disposed in the waiting area AR (in the air).

핸드(13)는, 아암(14)에 연결되는 기초부(20)와, 기판(2)이 탑재되는 4개의 포크부(21)를 구비하고 있다. 포크부(21)는 직선형으로 형성되어 있다. 4개의 포크부(21) 중 2개의 포크부(21)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 이 2개의 포크부(21)는, 기초부(20)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출되도록 기초부(20)에 고정되어 있다. 나머지 2개의 포크부(21)는, 기초부(20)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)와 반대측을 향하여 기초부(20)로부터 돌출되도록 기초부(20)에 고정되어 있다.The hand 13 has a base portion 20 connected to the arm 14 and four forks 21 on which the substrate 2 is mounted. The fork portion 21 is formed in a straight line. Two forks 21 of the four forks 21 are arranged in parallel with a predetermined spacing therebetween. These two fork portions 21 are fixed to the base portion 20 so as to project from the base portion 20 in one direction in the horizontal direction. The remaining two fork portions 21 are fixed to the base portion 20 so as to protrude from the base portion 20 toward the opposite side of the two forks 21 projecting from the base portion 20 in one direction in the horizontal direction have.

아암(14)은, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)는 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 아암(14)의 전체는 중공형으로 형성되어 있다. 제1 아암부(23)의 기단부측은, 본체부(15)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 아암부(23)의 선단부측에는, 제2 아암부(24)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 즉, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)는 서로 상대 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(24)의 선단부측에는 핸드(13)가 회동 가능하게 연결되어 있다.The arm 14 is constituted by two arm portions, that is, a first arm portion 23 and a second arm portion 24. The first arm portion 23 and the second arm portion 24 are formed in a hollow shape. That is, the entire arm 14 is formed in a hollow shape. The proximal end side of the first arm portion 23 is rotatably connected to the main body portion 15. The proximal end side of the second arm portion 24 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 23. That is, the first arm portion 23 and the second arm portion 24 are connected to each other so as to be rotatable relative to each other. A hand 13 is rotatably connected to the distal end side of the second arm 24.

아암(14)과 본체부(15)의 연결부(즉, 제1 아암부(23)와 본체부(15)의 연결부)는 관절부(25)로 되어 있다. 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 연결부는 관절부(26)로 되어 있다. 아암(14)과 핸드(13)의 연결부(즉, 제2 아암부(24)와 핸드(13)의 연결부)는 관절부(27)로 되어 있다. 제1 아암부(23)에 대한 제2 아암부(24)의 회동 중심과 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 중심의 거리는, 제1 아암부(23)에 대한 제2 아암부(24)의 회동 중심과 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 중심의 거리와 동일하게 되어 있다. 본 형태에서는, 관절부(26)는 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)를 연결하는 제1 관절부이고, 관절부(27)는 제2 아암부(24)와 핸드(13)를 연결하는 제2 관절부이다.The connecting portion between the arm 14 and the main body portion 15 (that is, the connecting portion between the first arm portion 23 and the main body portion 15) is the joint portion 25. The connecting portion between the first arm portion 23 and the second arm portion 24 is a joint portion 26. [ The connecting portion between the arm 14 and the hand 13 (that is, the connecting portion between the second arm portion 24 and the hand 13) is the joint portion 27. The distance between the center of rotation of the second arm portion 24 with respect to the first arm portion 23 and the center of rotation of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 2 arm portion 24 and the center of rotation of the hand 13 with respect to the second arm portion 24. As shown in Fig. The joint portion 26 is a first joint portion connecting the first arm portion 23 and the second arm portion 24 and the joint portion 27 is a joint portion connecting the second arm portion 24 and the hand 13 It is the second joint that connects.

제1 아암부(23)는, 본체부(15)로부터 수평 방향의 일방측으로 신장되도록, 본체부(15)에 설치되어 있다. 제1 아암부(23)에는, 제1 아암부(23)가 신장되는 방향과 반대측(즉, 수평 방향의 타방측)으로 본체부(15)로부터 신장되는 카운터 웨이트(28)가 설치되어 있다. 제2 아암부(24)는, 제1 아암부(23)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(13)는 제2 아암부(24)보다도 상측에 배치되어 있다.The first arm portion 23 is provided on the main body portion 15 so as to extend from the main body portion 15 to one side in the horizontal direction. The first arm portion 23 is provided with a counterweight 28 extending from the main body portion 15 on the side opposite to the direction in which the first arm portion 23 is extended (i.e., on the other side in the horizontal direction). The second arm portion (24) is disposed above the first arm portion (23). In addition, the hand 13 is disposed above the second arm 24.

본체부(15)에는, 본체부(15)에 대하여 제1 아암부(23)를 회동시키기 위한 모터(31)가 설치되어 있다. 또한, 본체부(15)는, 제1 아암부(23)의 기단부측이 고정되는 중공 회전축(32)과, 모터(31)의 회전을 감속하여 제1 아암부(23)에 전달하는 감속기(33)와, 감속기(33)의 케이스체를 유지함과 함께 중공 회전축(32)을 회동 가능하게 유지하는 대략 원통형 유지 부재(34)를 구비하고 있다.The body portion 15 is provided with a motor 31 for rotating the first arm portion 23 with respect to the body portion 15. The main body portion 15 includes a hollow rotary shaft 32 to which the proximal end side of the first arm portion 23 is fixed and a speed reducer 24 to decelerate the rotation of the motor 31 to transmit the rotation to the first arm portion 23 And a substantially cylindrical holding member 34 for holding the casing of the speed reducer 33 and holding the hollow rotary shaft 32 rotatably.

감속기(33)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(33)는, 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(32)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. 감속기(33)의 입력측에는, 풀리 및 벨트를 통하여 모터(31)가 연결되어 있다. 감속기(33)의 출력측에는, 중공 회전축(32)의 하단부가 고정되어 있다. 중공 회전축(32)의 상단부에는, 제1 아암부(23)의 기단부측의 하면이 고정되어 있다. 중공 회전축(32)은, 유지 부재(34)의 내주측에 배치되어 있고, 중공 회전축(32)의 외주면과 유지 부재(34)의 내주면 사이에는 베어링이 배치되어 있다.The speed reducer (33) is a hollow speed reducer having a through hole at the center in the radial direction. The speed reducer 33 is arranged so that the axial center of the through hole and the axial center of the hollow rotary shaft 32 coincide with each other. On the input side of the speed reducer 33, a motor 31 is connected via a pulley and a belt. A lower end of the hollow rotary shaft 32 is fixed to the output side of the speed reducer 33. On the upper end of the hollow rotary shaft 32, the lower surface of the proximal end side of the first arm portion 23 is fixed. The hollow rotary shaft 32 is disposed on the inner peripheral side of the holding member 34. A bearing is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34. [

관절부(25)에는, 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(35)이 배치되어 있다. 자성 유체 시일(35)은, 중공 회전축(32)의 외주면과 유지 부재(34)의 내주면 사이에 배치되어 있다. 또한, 관절부(25)에는, 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하기 위한 벨로즈(36)가 배치되어 있다. 구체적으로는, 자성 유체 시일(35)의 외주측이며, 또한, 유지 부재(34)의 외주측에 벨로즈(36)가 배치되어 있다. 벨로즈(36)의 하단부는 유지 부재(34)에 고정되고, 벨로즈(36)의 상단부는 플랜지(18)에 고정되어 있다. 승강 기구(16)를 구성하는 후술하는 모터(40)가 회전하여 본체부(15)가 승강하면, 벨로즈(36)가 신축한다.The joint portion 25 is provided with a magnetic fluid seal 35 for preventing the outflow of air to the vacuum region VR. The magnetic fluid seal 35 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34. [ A bellows 36 for preventing the outflow of air to the vacuum region VR is disposed in the joint portion 25. [ Concretely, the bellows 36 is disposed on the outer peripheral side of the magnetic fluid seal 35 and on the outer peripheral side of the holding member 34. The lower end of the bellows 36 is fixed to the holding member 34 and the upper end of the bellows 36 is fixed to the flange 18. When the main body 15 is lifted and lowered by the motor 40, which will be described later, which constitutes the lifting mechanism 16, the bellows 36 expands and contracts.

승강 기구(16)는, 상하 방향을 축 방향으로 하여 배치되는 나사 부재(38)와, 나사 부재(38)에 걸림 결합하는 너트 부재(39)와, 나사 부재(38)를 회전시키는 모터(40)를 구비하고 있다. 나사 부재(38)는 케이스체(17)의 저면측에 회전 가능하게 설치되어 있다. 모터(40)는 케이스체(17)의 저면측에 설치되어 있다. 나사 부재(38)는, 풀리 및 벨트를 통하여 모터(40)에 연결되어 있다. 너트 부재(39)는 소정의 브래킷을 통하여 본체부(15)에 설치되어 있다. 본 형태에서는, 모터(40)가 회전하면, 나사 부재(38)가 회전하여, 본체부(15)가 너트 부재(39)와 함께 승강한다. 또한, 승강 기구(16)는, 본체부(15)를 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드축과, 이 가이드축에 걸림 결합하여 상하 방향으로 슬라이드하는 가이드 블록을 구비하고 있다.The lifting mechanism 16 includes a screw member 38 arranged in the vertical direction as an axial direction, a nut member 39 engaged with the screw member 38, and a motor 40 . The screw member (38) is rotatably provided on the bottom surface side of the case body (17). The motor 40 is provided on the bottom surface side of the case body 17. The screw member 38 is connected to the motor 40 through a pulley and a belt. The nut member 39 is provided in the main body portion 15 through a predetermined bracket. In this embodiment, when the motor 40 rotates, the screw member 38 rotates so that the main body portion 15 moves up and down with the nut member 39. The lifting mechanism 16 includes a guide shaft for guiding the main body 15 in the up and down direction and a guide block engaged with the guide shaft and slidable in the up and down direction.

(제1 아암부, 제2 아암부의 내부의 구성 및 관절부의 구성)(Configuration of the inside of the first arm portion and the second arm portion, and configuration of the joint portion)

도 4는 도 3에 도시한 제1 아암부(23) 및 관절부(26)의 확대도이다. 도 5는 도 3에 도시한 제2 아암부(24) 및 관절부(27)의 확대도이다.4 is an enlarged view of the first arm portion 23 and the joint portion 26 shown in Fig. 5 is an enlarged view of the second arm portion 24 and the joint portion 27 shown in Fig.

상술한 바와 같이, 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)는 중공형으로 형성되어 있다. 중공형으로 형성되는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에는, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)를 회동시키기 위한 제1 모터로서의 모터(46)와, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)를 회동시키기 위한 제2 모터로서의 모터(47)가 배치되어 있다. 관절부(26)는, 모터(46)의 회전을 감속하여 제2 아암부(24)에 전달하는 제1 감속기로서의 감속기(48)를 구비하고 있다. 감속기(48)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 또한, 관절부(26)는, 중공 회전축(50)과, 중공 회전축(50)의 외주측에, 또한, 중공 회전축(50)과 동축상에 배치되는 중공 회전축(51)을 구비하고 있다. 또한, 중공 회전축(50)의 외주면과 중공 회전축(51)의 내주면 사이에는, 베어링이 배치되어 있다.As described above, the first arm portion 23 and the second arm portion 24 are formed in a hollow shape. A motor 46 as a first motor for rotating the second arm portion 24 with respect to the first arm portion 23 and a motor 46 as a second motor for rotating the second arm portion 24 are provided in the inner space 45 of the hollow first arm portion 23, And a motor 47 as a second motor for rotating the hand 13 with respect to the second arm portion 24 is disposed. The joint portion 26 is provided with a speed reducer 48 as a first reducer which decelerates the rotation of the motor 46 and transfers the rotation to the second arm portion 24. [ The reducer (48) is a hollow reducer having a through hole formed in the center in the radial direction. The joint portion 26 is provided with a hollow rotary shaft 50 and a hollow rotary shaft 51 disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 50 and coaxially arranged with the hollow rotary shaft 50. A bearing is disposed between the outer circumferential surface of the hollow rotary shaft 50 and the inner circumferential surface of the hollow rotary shaft 51.

감속기(48)의 입력측에는, 풀리(52, 53) 및 벨트(54)를 통하여 모터(46)가 연결되어 있다. 감속기(48)의 출력측에는, 중공 회전축(51)의 하단부가 고정되어 있다. 감속기(48)는, 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(51)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. 중공 회전축(51)의 상단부는, 제2 아암부(24)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 감속기(48)의 케이스체는, 대략 원통형으로 형성되는 유지 부재(55)에 고정되어 있다. 유지 부재(55)는, 제1 아암부(23)의 선단부측에 고정되어 있다. 또한, 유지 부재(55)는, 중공 회전축(51)의 외주측에 배치되어 있다. 모터(46)가 회전하면, 풀리(52, 53), 벨트(54) 및 감속기(48) 등을 통하여 모터(46)의 동력이 제2 아암부(24)의 기단부측에 전달되어, 제2 아암부(24)가 회동한다.A motor 46 is connected to the input side of the speed reducer 48 via pulleys 52 and 53 and a belt 54. [ The lower end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the output side of the speed reducer 48. The speed reducer 48 is disposed so that the axial center of the through hole and the axial center of the hollow rotary shaft 51 coincide with each other. The upper end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the lower surface of the proximal end side of the second arm portion 24. The case body of the speed reducer 48 is fixed to a holding member 55 formed into a substantially cylindrical shape. The holding member 55 is fixed to the distal end side of the first arm portion 23. The holding member 55 is disposed on the outer circumferential side of the hollow rotary shaft 51. When the motor 46 rotates, the power of the motor 46 is transmitted to the proximal end side of the second arm portion 24 via the pulleys 52 and 53, the belt 54 and the speed reducer 48, The arm portion 24 rotates.

중공 회전축(50)의 하단부측에는 풀리(57)가 고정되어 있다. 모터(47)의 출력축에는 풀리(58)가 고정되어 있다. 풀리(57)와 풀리(58)에는 벨트(59)가 걸쳐져 있다. 중공 회전축(50)의 상단부에는 풀리(60)가 고정되어 있다. 풀리(60)는, 중공형으로 형성되는 제2 아암부(24)의 기단부측의 내부에 배치되어 있다. 관절부(27)는, 모터(47)의 회전을 감속하여 핸드(13)에 전달하는 제2 감속기로서의 감속기(61)와, 중공 회전축(62)을 구비하고 있다. 감속기(61)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다.A pulley 57 is fixed to the lower end side of the hollow rotary shaft 50. A pulley 58 is fixed to the output shaft of the motor 47. A belt 59 is wound around the pulley 57 and the pulley 58. A pulley 60 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 50. The pulley 60 is disposed inside the base end side of the second arm portion 24 formed in a hollow shape. The joint part 27 includes a speed reducer 61 as a second speed reducer that transmits the rotation of the motor 47 to the hand 13 and a hollow rotary shaft 62. The speed reducer (61) is a hollow speed reducer having a through hole at the center in the radial direction thereof.

감속기(61)의 입력측에는, 풀리(63)가 고정되어 있다. 풀리(60)와 풀리(63)에는, 벨트(64)가 걸쳐져 있다. 감속기(61)의 출력측에는, 중공 회전축(62)의 하단부가 고정되어 있다. 감속기(61)는, 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(62)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. 중공 회전축(62)의 상단부는, 핸드(13)의 기초부(20)의 하면에 고정되어 있다. 감속기(61)의 케이스체는, 대략 원통형으로 형성되는 유지 부재(65)에 고정되어 있다. 유지 부재(65)는 제2 아암부(24)의 선단부측에 고정되어 있다. 또한, 유지 부재(65)는 중공 회전축(62)의 외주측에 배치되어 있다. 모터(47)가 회전하면, 풀리(57, 58, 60, 63), 벨트(59, 64) 및 감속기(61) 등을 통하여 모터(47)의 동력이 핸드(13)의 기초부(20)에 전달되어, 핸드(13)가 회동한다.On the input side of the speed reducer 61, a pulley 63 is fixed. A belt 64 is provided on the pulley 60 and the pulley 63. On the output side of the speed reducer 61, the lower end of the hollow rotary shaft 62 is fixed. The speed reducer 61 is arranged so that the axial center of the through hole and the axial center of the hollow rotary shaft 62 coincide with each other. The upper end of the hollow rotary shaft 62 is fixed to the lower surface of the base portion 20 of the hand 13. The case body of the reducer 61 is fixed to a holding member 65 formed in a substantially cylindrical shape. The holding member 65 is fixed to the distal end side of the second arm portion 24. The holding member 65 is disposed on the outer circumferential side of the hollow rotary shaft 62. When the motor 47 rotates, the power of the motor 47 is transmitted to the base portion 20 of the hand 13 through the pulleys 57, 58, 60, 63, the belts 59, 64 and the speed reducer 61, And the hand 13 is rotated.

제1 아암부(23)의 내부 공간(45)은 밀폐되어 있고, 내부 공간(45)의 압력은 대기압으로 되어 있다. 또한, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)도 밀폐되어 있고, 내부 공간(66)의 압력도 대기압으로 되어 있다. 즉, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)은 대기압으로 되어 있다. 또한, 내부 공간(45)과 내부 공간(66)은, 중공 회전축(50)의 내주측을 거쳐 통하고 있다. 또한, 제1 아암부(23)의 기단부측의 하면에는, 중공 회전축(32)의 내주측으로 통하는 관통 구멍(도시 생략)이 형성되어 있고, 내부 공간(45)은, 대기압으로 되어 있는 본체부(15)의 내부로 통하고 있다.The inner space 45 of the first arm portion 23 is sealed and the pressure of the inner space 45 is at atmospheric pressure. Also, the inner space 66 of the second arm portion 24 is also hermetically closed, and the pressure of the inner space 66 is also at atmospheric pressure. That is, the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure. The inner space 45 and the inner space 66 communicate with each other through the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 50. A through hole (not shown) communicating with the inner circumferential side of the hollow rotary shaft 32 is formed on the bottom surface of the base end side of the first arm portion 23. The inner space 45 is communicated with a main body portion 15).

상술한 바와 같이, 모터(46, 47)는 내부 공간(45)에 배치되어 있다. 또한, 감속기(48)는, 제1 아암부(23)의 선단부측에 있어서, 내부 공간(45)에 배치되고, 감속기(61)는, 제2 아암부(24)의 선단부측에 있어서, 내부 공간(66)에 배치되어 있다. 즉, 모터(46, 47) 및 감속기(48, 61)는 대기 중에 배치되어 있다. 모터(46)에는, 모터(46)를 냉각하기 위한 냉각용 파이프(70)가 권회되어 있다. 이 냉각용 파이프(70)에는, 압축 공기가 공급 가능하게 되어 있고, 냉각용 파이프(70)의 내부를 통과하는 압축 공기에 의해, 모터(46)가 냉각된다. 또한, 본 형태에서는, 모터(47)의 발열량은 모터(46)의 발열량에 비해 작기 때문에, 모터(47)에는 냉각용 파이프가 권회되어 있지 않다.As described above, the motors 46 and 47 are disposed in the inner space 45. [ The speed reducer 48 is disposed in the inner space 45 on the distal end side of the first arm portion 23 and the speed reducer 61 is disposed on the distal end side of the second arm portion 24, And is disposed in the space 66. That is, the motors 46 and 47 and the speed reducers 48 and 61 are disposed in the atmosphere. A cooling pipe 70 for cooling the motor 46 is wound around the motor 46. In the cooling pipe 70, compressed air can be supplied, and the motor 46 is cooled by compressed air passing through the inside of the cooling pipe 70. Further, in this embodiment, since the amount of heat generated by the motor 47 is smaller than the amount of heat generated by the motor 46, the cooling pipe is not wound around the motor 47.

관절부(26)에는, 내부 공간(45)의 밀폐 상태를 확보하기 위한 자성 유체 시일(71)이 배치되고, 관절부(27)에는, 내부 공간(66)의 밀폐 상태를 확보하기 위한 자성 유체 시일(72)이 배치되어 있다. 즉, 관절부(26)에는, 내부 공간(45)으로부터 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(71)이 배치되고, 관절부(27)에는, 내부 공간(66)으로부터 진공 영역 VR로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(72)이 배치되어 있다. 자성 유체 시일(71)은, 중공 회전축(51)의 외주면과 유지 부재(55)의 내주면 사이에 배치되고, 자성 유체 시일(72)은, 중공 회전축(62)의 외주면과 유지 부재(65)의 내주면 사이에 배치되어 있다. 또한, 내부 공간(66)에는, 벨트(64)의 장력을 조정하기 위한 텐션 풀리(73)가 배치되어 있다.A magnetic fluid seal 71 for ensuring the closed state of the internal space 45 is disposed in the joint part 26 and a magnetic fluid seal 71 for securing the closed state of the internal space 66 is provided in the joint part 27. [ 72 are disposed. The magnetic fluid seal 71 for preventing air from flowing out from the internal space 45 to the vacuum region VR is disposed in the joint portion 26 and the magnetic fluid seal 71 for preventing the air from flowing from the internal space 66 to the vacuum region VR A magnetic fluid seal 72 for preventing the outflow of air is disposed. The magnetic fluid seal 71 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 51 and the inner peripheral surface of the retaining member 55 and the magnetic fluid seal 72 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 62 and the outer peripheral surface of the holding member 65 And is disposed between the inner peripheral surfaces. A tension pulley 73 for adjusting the tension of the belt 64 is disposed in the inner space 66.

(제1 아암부 및 제2 아암부의 구성) (Configuration of first arm portion and second arm portion)

도 6은 도 5에 도시한 제2 아암부(24)의 아암부 본체(80)의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 (A)의 E-E 단면의 단면도이다. 도 7은 도 6의 (A)의 F부의 확대도이다. 도 8은 도 6의 (B)의 G부의 확대도이다.6 is a plan view of the arm body 80 of the second arm portion 24 shown in Fig. 5, and Fig. 6 (B) is a sectional view taken along the line E-E of Fig. Fig. 7 is an enlarged view of part F in Fig. 6 (A). 8 is an enlarged view of a portion G in Fig. 6B.

제2 아암부(24)는 아암부 본체(80)와 복수의 덮개 부재(81)를 구비하고 있다. 아암부 본체(80)는, 아암부 본체(80)의 상면을 구성하는 상면부(80a)와, 아암부 본체(80)의 하면을 구성함과 함께 상면부(80a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행하게 대향 배치되는 하면부(80b)와, 상면부(80a)의 외주 단부와 하면부(80b)의 외주 단부를 연결하는 측면부(80c)로 구성되어 있다. 상면부(80a) 및 하면부(80b)는, 가늘고 긴 대략 장원형의 평판 형상으로 형성되어 있고, 상하 방향에서 대향하고 있다. 측면부(80c)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 장원형으로 되는 통 형상으로 형성되어 있다. 상면부(80a)와 하면부(80b)와 측면부(80c)에 의해 둘러싸인 공간은, 내부 공간(66)으로 되어 있다. 본 형태의 상면부(80a)는 제1 평면부이고, 하면부(80b)는 제2 평면부이다. 이하의 설명에서는, 상면부(80a) 및 하면부(80b)의, 제2 아암부(24)의 기단부측을 「기단부측」이라 하고, 상면부(80a) 및 하면부(80b)의, 제2 아암부(24)의 선단부측을 「선단부측」이라 한다.The second arm portion 24 includes an arm body 80 and a plurality of lid members 81. The arm portion main body 80 includes an upper surface portion 80a constituting the upper surface of the arm portion main body 80 and a lower surface of the arm portion main body 80 and has a predetermined clearance with the upper surface portion 80a And a side surface portion 80c that connects the outer peripheral edge portion of the upper surface portion 80a and the outer peripheral edge portion of the lower surface portion 80b. The upper surface portion 80a and the lower surface portion 80b are formed in the shape of a flat plate having a substantially elongated circular shape and facing each other in the vertical direction. The side surface portion 80c is formed into a tubular shape having a generally elongated circular shape when viewed from the top and bottom. The space enclosed by the upper surface portion 80a, the lower surface portion 80b and the side surface portion 80c is an internal space 66. [ The upper surface portion 80a of this embodiment is a first flat surface portion, and the lower surface portion 80b is a second flat surface portion. In the following description, the side of the base portion of the second arm portion 24 of the upper surface portion 80a and the lower surface portion 80b is referred to as " base end side ", and the upper surface portion 80a and the lower surface portion 80b 2 The front end side of the arm portion 24 is referred to as " distal end side ".

상면부(80a)의 선단부측에는, 중공 회전축(62)이나 유지 부재(65)가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(80d)이 형성되어 있다. 상면부(80a)의 기단부측에는, 관절부(26)를 조립하기 위한 작업용 구멍(80e)이 형성되어 있다. 삽입 관통 구멍(80d) 및 작업용 구멍(80e)은, 상면부(80a)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. 상면부(80a)의, 삽입 관통 구멍(80d)과 작업용 구멍(80e) 사이에는, 내부 공간(66)으로 통하는 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되어 있다. 본 형태에서는, 4개의 관통 구멍(80f)이 일정한 피치로 상면부(80a)에 형성되어 있다. 관통 구멍(80f)은 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. 즉, 관통 구멍(80f)은 원형으로 형성되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 작업용 구멍(80e)의 내경과 관통 구멍(80f)의 내경이 동일하게 되어 있다.An insertion through hole 80d through which the hollow rotation shaft 62 and the holding member 65 are inserted is formed on the tip end side of the upper surface portion 80a. A working hole 80e for assembling the joint portion 26 is formed on the base end side of the upper surface portion 80a. The insertion through hole 80d and the working hole 80e are formed in the shape of a round hole penetrating the upper surface portion 80a. A plurality of through holes 80f communicating with the inner space 66 are formed between the insertion through hole 80d and the working hole 80e of the upper surface portion 80a. In this embodiment, four through holes 80f are formed in the upper surface portion 80a at a constant pitch. The through hole 80f is formed in a round hole shape. That is, the through hole 80f is formed in a circular shape. In this embodiment, the inner diameter of the working hole 80e and the inner diameter of the through hole 80f are the same.

상면부(80a)의 상면에는, 원환상의 홈부(80g)가 하측으로 움푹 패이도록 형성되어 있다. 본 형태에서는, 5개의 홈부(80g)가 형성되어 있다. 5개의 홈부(80g) 중 4개의 홈부(80g)의 각각은, 4개의 관통 구멍(80f)의 각각을 둘러싸도록 형성되고, 나머지 1개의 홈부(80g)는 작업용 구멍(80e)을 둘러싸도록 형성되어 있다.On the upper surface of the upper surface portion 80a, an annular groove portion 80g is formed so as to be recessed downward. In this embodiment, five groove portions 80g are formed. Each of the four groove portions 80g of the five groove portions 80g is formed so as to surround each of the four through holes 80f and the other one groove portion 80g is formed so as to surround the working hole 80e have.

하면부(80b)의 기단부측에는, 중공 회전축(50)이 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(80k)이 형성되어 있다. 하면부(80b)의 선단부측에는, 관절부(27)를 조립하기 위한 작업용 구멍(80m)이 형성되어 있다. 삽입 관통 구멍(80k) 및 작업용 구멍(80m)은, 하면부(80b)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. 삽입 관통 구멍(80k)은, 상면부(80a)에 형성되는 작업용 구멍(80e)의 하측에 형성되고, 작업용 구멍(80m)은, 상면부(80a)에 형성되는 삽입 관통 구멍(80d)의 하측에 형성되어 있다.An insertion through hole 80k through which the hollow rotary shaft 50 is inserted is formed at the base end side of the lower surface portion 80b. A working hole 80m for assembling the joint portion 27 is formed on the tip end side of the lower surface portion 80b. The insertion hole 80k and the working hole 80m are formed into a round hole shape penetrating the lower surface 80b. The insertion hole 80k is formed below the work hole 80e formed in the upper face portion 80a and the work hole 80m is formed below the insertion hole 80d formed in the upper face portion 80a As shown in Fig.

하면부(80b)의 상면(즉, 상면부(80a)와의 대향면)에는, 하측으로 움푹 패이는 복수의 오목부(80n)가 형성되어 있다. 오목부(80n)는, 하면부(80b)를 관통하지 않도록 형성되어 있다. 본 형태에서는, 4개의 오목부(80n)가 일정한 피치로 형성되어 있다. 오목부(80n)는 원형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 오목부(80n)는, 관통 구멍(80f)의 내경과 내경이 동일한 원형으로 형성되어 있다. 4개의 오목부(80n)는, 4개의 관통 구멍(80f)의 피치와 동일한 피치로 형성되어 있다. 또한, 오목부(80n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 대략 일치하고 있다. 또한, 가장 기단부측에 배치되는 오목부(80n)에는, 텐션 풀리(73)를 설치하기 위한 설치 시트(80p)가 형성되어 있다.A plurality of concave portions 80n are formed on the upper surface of the lower surface portion 80b (i.e., the surface facing the upper surface portion 80a). The concave portion 80n is formed so as not to penetrate the lower surface portion 80b. In this embodiment, four concave portions 80n are formed at a constant pitch. The concave portion 80n is formed in a circular shape. Concretely, the recess 80n is formed in a circle having the same inner diameter and inner diameter as the through hole 80f. The four concave portions 80n are formed at the same pitch as the pitches of the four through holes 80f. The concave portion 80n is formed so as to overlap the through hole 80f when viewed from the top and bottom directions and the inner circumferential surface of the through hole 80f and the inner circumferential surface of the concave portion 80n are approximately It is consistent. Further, a mounting seat 80p for mounting a tension pulley 73 is formed in the concave portion 80n disposed at the proximal end side.

아암부 본체(80)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 이 아암부 본체(80)는, 알루미늄 합금의 블록을 절삭 가공함으로써 형성되어 있고, 상면부(80a)와 하면부(80b)와 측면부(80c)는 일체로 되어 있다. 즉, 내부 공간(66)은, 관통 구멍(80f), 삽입 관통 구멍(80d, 80k) 및 작업용 구멍(80e, 80m)으로부터 삽입되는 절삭 공구를 사용한 절삭 가공에 의해 형성되어 있고, 절삭 가공에 의해 내부 공간(66)이 형성됨으로써, 상면부(80a), 하면부(80b) 및 측면부(80c)도 형성된다.The arm main body 80 is formed of an aluminum alloy. The arm portion main body 80 is formed by machining a block of an aluminum alloy, and the upper face portion 80a, the lower face portion 80b, and the side face portion 80c are integrally formed. That is, the inner space 66 is formed by a cutting process using a cutting tool inserted from the through hole 80f, the insertion through holes 80d and 80k, and the working holes 80e and 80m, The upper surface portion 80a, the lower surface portion 80b and the side surface portion 80c are also formed by forming the inner space 66. [

덮개 부재(81)는, 관통 구멍(80f)의 내경보다도 외경이 큰 원판형으로 형성되어 있다. 덮개 부재(81)의 외경은, 원환상으로 형성되는 홈부(80g)의 외경보다도 크게 되어 있다. 덮개 부재(81)는, 관통 구멍(80f)을 막도록 상면부(80a)의 상면에 고정되어 있다. 상면부(80a)와 덮개 부재(81) 사이에는, 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는 관통 구멍(80f)을 둘러싸도록 형성되는 홈부(80g)에 끼워 넣어져 있다.The lid member 81 is formed in a disc shape having an outer diameter larger than the inner diameter of the through hole 80f. The outer diameter of the cover member 81 is larger than the outer diameter of the groove portion 80g formed in an annular shape. The lid member 81 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 80a so as to cover the through hole 80f. An annular seal member (not shown) is disposed between the upper surface portion 80a and the lid member 81 to prevent air from flowing out of the internal space 66. [ The seal member is sandwiched in a groove portion 80g formed so as to surround the through hole 80f.

작업용 구멍(80e)은, 덮개 부재(81)와 동일 형상으로 형성되는 덮개 부재(82)에 의해 덮여 있다. 즉, 덮개 부재(82)는, 작업용 구멍(80e)을 막도록 상면부(80a)의 상면에 고정되어 있다. 상면부(80a)와 덮개 부재(82) 사이에는, 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는, 작업용 구멍(80e)을 둘러싸도록 형성되는 홈부(80g)에 끼워 넣어져 있다. 하면부(80b)의 하면에는, 작업용 구멍(80m)을 막도록 원판형 덮개 부재(83)가 고정되어 있다. 하면부(80b)와 덮개 부재(83) 사이에는, 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는 덮개 부재(83)의 외주측에 형성되는 원환상의 홈부에 끼워 넣어져 있다.The working hole 80e is covered with a lid member 82 formed in the same shape as the lid member 81. [ That is, the lid member 82 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 80a so as to cover the working hole 80e. An annular seal member (not shown) for preventing the outflow of air from the internal space 66 is disposed between the upper surface portion 80a and the lid member 82. [ The seal member is sandwiched in a groove portion 80g formed so as to surround the working hole 80e. A disk-shaped lid member 83 is fixed to the lower surface of the lower surface portion 80b so as to cover the working hole 80m. An annular seal member (not shown) is disposed between the lower surface portion 80b and the lid member 83 to prevent the air from flowing out of the internal space 66. The seal member is fitted in a circular groove formed on the outer peripheral side of the lid member 83.

제1 아암부(23)는, 제2 아암부(24)와 마찬가지로, 아암부 본체(85)와 복수의 덮개 부재(86)를 구비하고 있다. 아암부 본체(85)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 아암부 본체(85)의 상면을 구성하는 상면부(85a)와, 아암부 본체(85)의 하면을 구성함과 함께 상면부(85a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행하게 대향 배치되는 하면부(85b)와, 상면부(85a)의 외주 단부와 하면부(85b)의 외주 단부를 연결하는 측면부(85c)로 구성되어 있다. 상면부(85a) 및 하면부(85b)는, 가늘고 긴 대략 장원형의 평판 형상으로 형성되어 있다. 측면부(85c)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 장원형으로 되는 통 형상으로 형성되어 있다. 상면부(85a)와 하면부(85b)와 측면부(85c)에 의해 둘러싸인 공간은, 내부 공간(45)으로 되어 있다. 본 형태의 상면부(85a)는 제1 평면부이고, 하면부(85b)는 제2 평면부이다. 이하의 설명에서는, 상면부(85a) 및 하면부(85b)의, 제1 아암부(23)의 기단부측을 「기단부측」이라 하고, 상면부(85a) 및 하면부(85b)의, 제1 아암부(23)의 선단부측을 「선단부측」이라 한다.The first arm portion 23 includes an arm portion main body 85 and a plurality of lid members 86 like the second arm portion 24. 4, the arm main body 85 includes an upper surface portion 85a constituting the upper surface of the arm main body 85 and a lower surface of the arm main body 85, And a side portion 85c connecting the outer peripheral end portion of the upper surface portion 85a and the outer peripheral end portion of the lower surface portion 85b with a predetermined gap therebetween. The upper surface portion 85a and the lower surface portion 85b are formed into an elongated, substantially oblong flat plate shape. The side surface portion 85c is formed into a tubular shape having an elongated circular shape with an elongated shape when viewed from the top and bottom. The space surrounded by the upper surface portion 85a, the lower surface portion 85b and the side surface portion 85c serves as the internal space 45. [ The upper surface portion 85a of the present embodiment is a first flat surface portion, and the lower surface portion 85b is a second flat surface portion. In the following description, the side of the base portion of the first arm portion 23 of the upper face portion 85a and the lower face portion 85b is referred to as the base end side and the side of the upper face portion 85a and the lower face portion 85b The front end side of the one arm portion 23 is referred to as " distal end side ".

상면부(85a)의 선단부측에는, 중공 회전축(50, 51)이나 유지 부재(55)가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(85d)이 형성되어 있다. 또한, 상면부(85a)의 선단부측에는, 모터(46, 47)를 설치하기 위한 작업용 구멍(85e)이 형성되고, 상면부(85a)의 기단부측에는, 관절부(25)를 조립하기 위한 작업용 구멍(85f)이 형성되어 있다. 삽입 관통 구멍(85d) 및 작업용 구멍(85e, 85f)은, 상면부(85a)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다.An insertion through hole 85d through which the hollow rotation shafts 50 and 51 and the holding member 55 are inserted is formed on the tip end side of the upper surface portion 85a. A working hole 85e for mounting the motors 46 and 47 is formed on the tip end side of the upper surface portion 85a and a working hole 85e for assembling the joint portion 25 is formed on the proximal end side of the upper surface portion 85a 85f are formed. The insertion hole 85d and the working holes 85e and 85f are formed in the shape of a round hole penetrating the upper surface portion 85a.

상면부(85a)의, 작업용 구멍(85e)과 작업용 구멍(85f) 사이에는, 내부 공간(45)으로 통하는 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되어 있다. 본 형태에서는, 2개의 관통 구멍(85g)이 소정의 피치로 상면부(85a)에 형성되어 있다. 관통 구멍(85g)은 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. 즉, 관통 구멍(85g)은 원형으로 형성되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 작업용 구멍(85e, 85f)의 내경과 관통 구멍(85g)의 내경이 동일하게 되어 있다. 상면부(85a)의 상면에는, 원환상의 홈부가 하측으로 움푹 패이도록 형성되어 있다. 본 형태에서는, 5개의 홈부가 형성되어 있다. 5개의 홈부의 각각은, 삽입 관통 구멍(85d), 작업용 구멍(85e, 85f) 및 2개의 관통 구멍(85g)의 각각을 둘러싸도록 형성되어 있다.A plurality of through holes 85g communicating with the inner space 45 are formed in the upper surface portion 85a between the working hole 85e and the working hole 85f. In this embodiment, two through holes 85g are formed in the upper surface portion 85a at a predetermined pitch. The through hole 85g is formed in a round hole shape. That is, the through hole 85g is formed in a circular shape. In this embodiment, the inner diameters of the working holes 85e and 85f and the inner diameter of the through hole 85g are the same. On the upper surface of the upper surface portion 85a, an annular groove portion is formed so as to be recessed downward. In this embodiment, five grooves are formed. Each of the five grooves is formed so as to surround each of the insertion through hole 85d, the working holes 85e and 85f, and the two through holes 85g.

하면부(85b)의 선단부측에는, 관절부(26)를 조립하거나, 모터(46, 47)를 설치하거나 하기 위한 작업용 구멍(85m)이 형성되어 있다. 작업용 구멍(85m)은, 하면부(85b)를 관통하는 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. 또한, 작업용 구멍(85m)은, 상면부(85a)에 형성되는 삽입 관통 구멍(85d) 및 작업용 구멍(85e)의 하측에 형성되어 있다.A working hole 85m for assembling the joint portion 26 or for installing the motors 46 and 47 is formed on the tip end side of the lower surface portion 85b. The working hole 85m is formed in a round hole shape penetrating the lower surface portion 85b. The working hole 85m is formed below the insertion hole 85d and the working hole 85e formed in the upper surface portion 85a.

하면부(85b)의 상면(즉, 상면부(85a)와의 대향면)에는, 하측으로 움푹 패이는 복수의 오목부(85n)가 형성되어 있다. 오목부(85n)는, 하면부(85b)를 관통하지 않도록 형성되어 있다. 본 형태에서는, 2개의 오목부(85n)가 소정의 피치로 형성되어 있다. 오목부(85n)는 원형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 오목부(85n)는, 관통 구멍(85g)의 내경과 내경이 동일한 원형으로 형성되어 있다. 2개의 오목부(85n)는, 2개의 관통 구멍(85g)의 피치와 동일한 피치로 형성되어 있다. 또한, 오목부(85n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 대략 일치하고 있다.A plurality of depressions 85n are formed on the upper surface of the lower surface portion 85b (that is, the surface facing the upper surface portion 85a). The concave portion 85n is formed so as not to penetrate the lower surface portion 85b. In this embodiment, two concave portions 85n are formed at a predetermined pitch. The concave portion 85n is formed in a circular shape. Concretely, the recess 85n is formed in a circle having the same inner diameter and inner diameter as the through hole 85g. The two concave portions 85n are formed at the same pitch as the pitches of the two through holes 85g. The concave portion 85n is formed so as to overlap with the through hole 85g when viewed from the top and bottom directions and the inner circumferential surface of the through hole 85g and the inner circumferential surface of the concave portion 85n It is consistent.

아암부 본체(85)는, 아암부 본체(80)와 마찬가지로, 알루미늄 합금의 블록을 절삭 가공함으로써 형성되어 있고, 상면부(85a)와 하면부(85b)와 측면부(85c)는 일체로 되어 있다. 즉, 내부 공간(45)은, 관통 구멍(85g), 삽입 관통 구멍(85d) 및 작업용 구멍(85e, 85f, 85m)으로부터 삽입되는 절삭 공구를 사용한 절삭 가공에 의해 형성되어 있고, 절삭 가공에 의해 내부 공간(45)이 형성됨으로써, 상면부(85a), 하면부(85b) 및 측면부(85c)도 형성된다.The arm portion main body 85 is formed by machining a block of an aluminum alloy like the arm portion main body 80. The upper surface portion 85a and the lower surface portion 85b and the side surface portion 85c are integrally formed . That is, the inner space 45 is formed by cutting using a cutting tool inserted from the through hole 85g, the insertion hole 85d, and the working holes 85e, 85f, and 85m, By forming the internal space 45, the upper surface portion 85a, the lower surface portion 85b and the side surface portion 85c are also formed.

덮개 부재(86)는, 관통 구멍(85g)의 내경보다도 외경이 큰 원판형으로 형성되어 있다. 덮개 부재(86)의 외경은, 상면부(85a)의 상면에 형성되는 원환상의 홈부 외경보다도 크게 되어 있다. 덮개 부재(86)는, 관통 구멍(85g)을 막도록 상면부(85a)의 상면에 고정되어 있다. 상면부(85a)와 덮개 부재(86) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는, 관통 구멍(85g)을 둘러싸도록 형성되는 홈부에 끼워 넣어져 있다.The cover member 86 is formed in a disc shape having an outer diameter larger than the inner diameter of the through hole 85g. The outer diameter of the lid member 86 is larger than the outer diameter of the annular groove formed on the upper surface of the upper surface portion 85a. The lid member 86 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 85a so as to cover the through hole 85g. An annular sealing member (not shown) for preventing the outflow of air from the internal space 45 is disposed between the upper surface portion 85a and the lid member 86. This seal member is sandwiched in a groove portion formed so as to surround the through hole 85g.

또한, 상면부(85a)의 상면에는, 덮개 부재(86)와 동일 형상으로 형성되는 덮개 부재(87)가 작업용 구멍(85f)을 막도록 고정되어 있다. 상면부(85a)와 덮개 부재(87) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는, 작업용 구멍(85f)을 둘러싸도록 형성되는 홈부에 끼워 넣어져 있다. 또한, 상면부(85a)의 상면에는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되는 덮개 부재(88)가 작업용 구멍(85e)을 막도록 고정되어 있다. 상면부(85a)와 덮개 부재(88) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는, 작업용 구멍(85e)을 둘러싸도록 형성되는 홈부에 끼워 넣어져 있다.A lid member 87 formed in the same shape as the lid member 86 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 85a so as to cover the working hole 85f. An annular seal member (not shown) is disposed between the upper surface portion 85a and the lid member 87 to prevent air from flowing out of the internal space 45. [ This seal member is sandwiched in a groove portion formed so as to surround the working hole 85f. On the upper surface of the upper surface portion 85a, a lid member 88, which is formed in a substantially cylindrical shape with a bottom, is fixed so as to cover the working hole 85e. An annular seal member (not shown) is disposed between the upper surface portion 85a and the lid member 88 to prevent air from flowing out of the internal space 45. [ The seal member is sandwiched in a groove portion formed so as to surround the working hole 85e.

하면부(85b)의 하면에는, 작업용 구멍(85m)을 막도록 원판형 덮개 부재(89)가 고정되어 있다. 하면부(85b)와 덮개 부재(89) 사이에는, 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 시일 부재는 덮개 부재(89)의 외주측에 형성되는 원환상의 홈부에 끼워 넣어져 있다.A disk-shaped lid member 89 is fixed to the lower surface of the lower surface portion 85b so as to cover the working hole 85m. An annular seal member (not shown) is disposed between the lower surface portion 85b and the lid member 89 to prevent the air from flowing out of the internal space 45. The seal member is fitted in a circular groove formed on the outer peripheral side of the lid member 89.

(제조 시스템의 구성) (Configuration of Manufacturing System)

상술한 바와 같이, 제조 시스템(3)은 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 챔버(5 내지 10)를 구비하고 있다. 본 형태의 제조 시스템(3)에서는, 챔버(4)를 둘러싸도록 6개의 챔버(5 내지 10)가 배치되어 있다. 이하에서는, 도 1에 있어서, 서로 직교하는 3개의 방향의 각각을 X 방향, Y 방향 및 Z 방향이라 한다. 로봇(1)은, 그 상하 방향이 Z 방향과 일치하도록 배치되어 있다. 따라서, 이하에서는, Z 방향을 상하 방향이라 한다. 또한, 이하에서는, X1 방향측을 「우」측, X2 방향측을 「좌」측, Y1 방향측을 「전방」측, Y2 방향측을 「후방」측이라 한다.As described above, the manufacturing system 3 has a plurality of chambers 5 to 10 arranged so as to surround the chamber 4. In the manufacturing system 3 of this embodiment, six chambers 5 to 10 are arranged so as to surround the chamber 4. [ Hereinafter, in FIG. 1, three directions orthogonal to each other are referred to as X direction, Y direction and Z direction. The robot 1 is arranged so that its vertical direction coincides with the Z direction. Therefore, in the following, the Z direction is referred to as a vertical direction. In the following description, the X1 direction side is referred to as a "right" side, the X2 direction side as a "left" side, the Y1 direction side as a "forward" side, and the Y2 direction side as a "rear" side.

챔버(4)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 팔각형으로 되도록 형성되어 있다. 챔버(5)는 챔버(4)의 좌측 단부에 연결되도록 배치되고, 챔버(6)는 챔버(4)의 우측 단부에 연결되도록 배치되어 있다. 또한, 챔버(7) 및 챔버(8)는 챔버(4)의 후단부에 연결되도록 배치되어 있다. 챔버(7)와 챔버(8)는 좌우 방향으로 인접하고 있다. 본 형태에서는, 챔버(7)가 좌측에 배치되고, 챔버(8)가 우측에 배치되어 있다. 또한, 챔버(9) 및 챔버(10)는 챔버(4)의 전단부에 연결되도록 배치되어 있다. 챔버(9)와 챔버(10)는 좌우 방향으로 인접하고 있다. 본 형태에서는, 챔버(9)가 좌측에 배치되고, 챔버(10)가 우측에 배치되어 있다.The chamber 4 is formed so as to have a substantially octagonal shape when viewed from above and below. The chamber 5 is arranged to be connected to the left end of the chamber 4 and the chamber 6 is arranged to be connected to the right end of the chamber 4. [ In addition, the chamber 7 and the chamber 8 are arranged to be connected to the rear end of the chamber 4. The chamber 7 and the chamber 8 are adjacent to each other in the left-right direction. In this embodiment, the chamber 7 is disposed on the left side and the chamber 8 is disposed on the right side. Further, the chamber 9 and the chamber 10 are arranged so as to be connected to the front end of the chamber 4. The chamber (9) and the chamber (10) are adjacent to each other in the lateral direction. In this embodiment, the chamber 9 is disposed on the left side, and the chamber 10 is disposed on the right side.

챔버(5, 6)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 중심 C1을 통과하는 좌우 방향에 평행한 가상선이 챔버(5, 6)의 전후 방향의 중심 위치를 통과하도록 배치되어 있다. 챔버(7, 8)는, 회동 중심 C1을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선이 챔버(7, 8) 사이의 좌우 방향의 중심 위치를 통과하도록 배치되어 있다. 즉, 좌우 방향에 있어서의 챔버(7, 8)의 중심 위치는, 회동 중심 C1에 대하여 오프셋하고 있다. 마찬가지로, 챔버(9, 10)는, 회동 중심 C1을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선이 챔버(9, 10) 사이의 좌우 방향의 중심 위치를 통과하도록 배치되어 있다. 즉, 좌우 방향에 있어서의 챔버(9, 10)의 중심 위치는, 회동 중심 C1에 대하여 오프셋하고 있다. 또한, 좌우 방향에 있어서, 챔버(7)와 챔버(9)가 동일 위치에 배치되고, 챔버(8)와 챔버(10)가 동일 위치에 배치되어 있다.The chambers 5 and 6 are arranged such that a virtual line parallel to the left and right direction passing through the rotation center C1 of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 as viewed from the up and down direction is formed in the chambers 5 and 6 So as to pass through the center position in the forward and backward directions. The chambers 7 and 8 are arranged so that imaginary lines parallel to the longitudinal direction passing through the rotation center C1 pass through the center positions in the right and left directions between the chambers 7 and 8. [ That is, the center positions of the chambers 7 and 8 in the left-right direction are offset with respect to the rotation center C1. Likewise, the chambers 9, 10 are arranged such that imaginary lines parallel to the front-rear direction passing through the rotation center C1 pass through the center position in the left-right direction between the chambers 9, That is, the center position of the chambers 9, 10 in the left-right direction is offset with respect to the rotation center C1. The chamber 7 and the chamber 9 are disposed at the same position in the left and right directions and the chamber 8 and the chamber 10 are disposed at the same position.

(산업용 로봇의 개략 동작)(Rough operation of industrial robot)

도 9는 도 1에 도시한 프로세스 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출하여 프로세스 챔버(6)에 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 설명하기 위한 도면이다. 도 10은 도 1에 도시한 프로세스 챔버(7)에 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining the movement of the industrial robot 1 when the substrate 2 is taken out of the process chamber 5 shown in Fig. 1 and the substrate 2 is carried into the process chamber 6. Fig. Fig. 10 is a view for explaining the movement of the industrial robot 1 when the substrate 2 is carried into the process chamber 7 shown in Fig.

로봇(1)은 모터(31, 40, 46, 47)를 구동시켜, 챔버(5 내지 10) 간에서 기판(2)을 반송한다. 예를 들면, 도 9에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출하여 챔버(6)에 기판(2)을 반입한다. 즉, 로봇(1)은 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이, 아암(14)을 신장하여 챔버(5) 내에서 기판(2)을 탑재한 후, 도 9의 (B)에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)가 상하 방향에서 겹칠 때까지 아암(14)을 수축시켜 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출한다. 그 후, 로봇(1)은, 핸드(13)를 180° 회동시키고 나서, 아암(14)을 신장하여, 도 9의 (C)에 도시한 바와 같이, 챔버(6)에 기판(2)을 반입한다.The robot 1 drives the motors 31, 40, 46 and 47 to transport the substrate 2 between the chambers 5 to 10. [ For example, as shown in Fig. 9, the robot 1 takes out the substrate 2 from the chamber 5 and loads the substrate 2 into the chamber 6. As shown in Fig. 9 (A), after the arm 14 is extended to mount the substrate 2 in the chamber 5, the robot 1 is moved to the position shown in Fig. 9 (B) The arm 14 is retracted until the first arm portion 23 and the second arm portion 24 overlap each other in the vertical direction and the substrate 2 is taken out of the chamber 5 as shown in FIG. Thereafter, the robot 1 rotates the hand 13 by 180 degrees and then extends the arm 14 to move the substrate 2 to the chamber 6 as shown in Fig. 9 (C) Import it.

또한, 예를 들면 로봇(1)은 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(7)에 반입한다(도 10 참조). 이때에는, 로봇(1)은, 먼저, 도 10의 (A)에 도시한 바와 같이, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 도 10의 (B)에 도시한 바와 같이, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 후단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(7)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 도 10의 (C)에 도시한 바와 같이, 챔버(7)에 기판(2)을 반입한다.Further, for example, the robot 1 loads the substrate 2 taken out of the chamber 5 into the chamber 7 (see Fig. 10). At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the state in which the arm 14 is retracted, as shown in Fig. 10 (A) The fork portion 21 is parallel to the front and rear direction and the substrate 2 is disposed on the rear end side of the hand 13 and the second arm portion 24 The first arm portion 23 and the second arm portion 24 are rotated so that the center of rotation C 2 of the hand 13 and the center of the chamber 7 in the left and right directions with respect to the hand 13, . Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 to carry the substrate 2 into the chamber 7, as shown in Fig. 10 (C).

마찬가지로, 로봇(1)은, 예를 들면 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(9)에 반입한다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 전단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(9)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 챔버(9)에 기판(2)을 반입한다.Similarly, the robot 1 carries the substrate 2 taken out of the chamber 5 into the chamber 9, for example. At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the state in which the arm 14 is contracted so that the fork portion 21 becomes parallel to the front and rear direction, Hand 13 and the first arm 23 so that the rotation center C2 and the center of the chamber 9 in the left and right directions are substantially aligned in the left and right direction so as to be disposed on the front end side of the hand 13, And the second arm portion 24 are rotated. Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 to bring the substrate 2 into the chamber 9.

또한, 로봇(1)은, 예를 들면 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(8)에 반입한다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 후단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(8)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 챔버(8)에 기판(2)을 반입한다.The robot 1 carries the substrate 2 taken out of the chamber 5 into the chamber 8, for example. At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the state in which the arm 14 is contracted so that the fork portion 21 becomes parallel to the front and rear direction, Hand 13 and the first arm portion 23 so that the center of the rotation center C2 and the center of the chamber 8 in the right and left direction are substantially coincident with each other so as to be disposed on the rear end side of the hand 13, And the second arm portion 24 are rotated. Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 to bring the substrate 2 into the chamber 8.

또한, 로봇(1)은, 예를 들면 챔버(5)로부터 반출된 기판(2)을 챔버(10)에 반입한다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 아암(14)을 수축시킨 상태로부터, 모터(31, 46, 47)를 구동시켜, 포크부(21)가 전후 방향과 평행해짐과 함께 기판(2)이 핸드(13)의 전단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 회동 중심 C2와 좌우 방향에 있어서의 챔버(10)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(13), 제1 아암부(23) 및 제2 아암부(24)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 아암(14)을 신장하여, 챔버(10)에 기판(2)을 반입한다.The robot 1 carries the substrate 2 taken out from the chamber 5 into the chamber 10, for example. At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the state in which the arm 14 is contracted so that the fork portion 21 becomes parallel to the front and rear direction, The hand 13 and the first arm portion 23 are arranged so that the center of the rotation center C2 and the chamber 10 in the left and right directions are substantially aligned in the left- And the second arm portion 24 are rotated. Thereafter, the robot 1 stretches the arm 14 to bring the substrate 2 into the chamber 10.

기판(2)의 반출 시 및 반입 시에는, 핸드(13) 및 제1 아암부(23)는, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 각도와, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 각도가 동일하고, 또한, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 방향과, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 방향이 역방향으로 되도록 회동한다. 즉, 모터(31, 47)는, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 각도와, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 각도가 동일하고, 또한, 본체부(15)에 대한 제1 아암부(23)의 회동 방향과, 제2 아암부(24)에 대한 핸드(13)의 회동 방향이 역방향으로 되도록 회전한다. 그 때문에, 기판(2)의 반출 시 및 반입 시에 있어서의 핸드(13)의 방향이 일정하게 유지된다.The hand 13 and the first arm portion 23 are positioned at the same positions as the rotation angle of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the rotation angle of the second arm portion 23 with respect to the main body portion 15, 24 of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 is equal to the rotation angle of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the direction of rotation of the first arm portion 23 with respect to the second arm portion 24 So that the rotation direction is reversed. That is, the motors 31 and 47 are arranged such that the rotation angle of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 is the same as the rotation angle of the hand 13 with respect to the second arm portion 24, So that the rotation direction of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the rotation direction of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 are opposite to each other. Therefore, the direction of the hand 13 at the time of carrying out the board 2 and at the time of carrying-in is kept constant.

(본 형태의 주된 효과) (Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암부 본체(80)에 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되어 있고, 관통 구멍(80f)을 막는 덮개 부재(81)와 아암부 본체(80)의 상면부(80a) 사이에, 대기압으로 되어 있는 내부 공간(66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재가 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 대형화되어 제2 아암부(24)가 대형화되어도, 복수의 시일 부재의 각각의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 제2 아암부(24)를 조립할 때 시일 부재를 용이하게 취급하는 것이 가능해진다. 마찬가지로, 본 형태에서는, 아암부 본체(85)에 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되어 있고, 관통 구멍(85g)을 막는 덮개 부재(86)와 아암부 본체(85)의 상면부(85a) 사이에, 대기압으로 되어 있는 내부 공간(45)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재가 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 대형화되어 제1 아암부(23)가 대형화되어도, 복수의 시일 부재의 각각의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 제1 아암부(23)를 조립할 때 시일 부재를 용이하게 취급하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)이 대형화되어도, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)의 기밀성을 확보하기 위한 시일 부재를 설치할 때의 작업 미스를 저감하는 것이 가능해진다.As described above, in the present embodiment (according to the first aspect of the invention), a plurality of through holes 80f are formed in the arm main body 80, and a lid member 81 for covering the through holes 80f, An annular seal member is disposed between the upper surface portion 80a of the main body 80 to prevent air from flowing out from the internal space 66 at atmospheric pressure. Therefore, in this embodiment, even when the robot 1 is enlarged and the second arm portion 24 is enlarged, the size of each of the plurality of seal members can be reduced. As a result, the second arm portion 24, The seal member can be easily handled. Similarly, in this embodiment, a plurality of through holes 85g are formed in the arm main body 85, and the lid member 86 covering the through hole 85g and the upper surface 85a of the arm main body 85 are formed, An annular seal member for preventing the outflow of air from the internal space 45, which is atmospheric pressure, is disposed. Therefore, in this embodiment, even when the robot 1 is enlarged and the first arm portion 23 is enlarged, the size of each of the plurality of seal members can be reduced. As a result, the first arm portion 23, The seal member can be easily handled. Therefore, in this embodiment, even when the robot 1 is enlarged, it is possible to reduce a mistake in the installation of the seal member for securing the airtightness of the internal spaces 45 and 66 of the arm 14.

여기서, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 진공 중에 배치되는 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 중공형으로 형성되는 제2 아암부(24)는, 내부의 압력에 의해 외측으로 불룩해지도록 변형되지만, 본 형태에서는, 아암부 본체(80)의 하면부(80b)의 상면에, 상하 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍(80f)과 겹치는 오목부(80n)가 형성되어 있기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제2 아암부(24)가 불룩해지도록 제2 아암부(24)를 변형시키는 것이 가능해진다.In this embodiment, since the internal space 66 of the second arm portion 24 disposed in the vacuum is at atmospheric pressure, the second arm portion 24, which is formed in a hollow shape, The concave portions 80n overlapping the through holes 80f when seen from the up and down direction are formed on the upper face of the lower face portion 80b of the arm body 80 in this embodiment, It is possible to deform the second arm portion 24 so that the second arm portion 24 is bulged substantially uniformly toward both the upper and lower sides.

즉, 하면부(80b)의 상면에 오목부(80n)가 형성되어 있지 않은 경우에는, 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되는 상면부(80a)의 강도가 하면부(80b)의 강도보다도 낮아지기 때문에, 제2 아암부(24)는, 내부의 압력에 의해, 하측보다도 상측이 크게 불룩해지도록 변형되기 쉬워지지만, 본 형태에서는, 하면부(80b)의 상면에 오목부(80n)가 형성되어 있고, 하면부(80b)의 강도를 상면부(80a)의 강도에 가깝게 하는 것이 가능해지기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제2 아암부(24)가 불룩해지도록 제2 아암부(24)를 변형시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(80a)에 복수의 관통 구멍(80f)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 제2 아암부(24)가 변형되거나, 비틀어지도록 제2 아암부(24)가 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.That is, when the concave portion 80n is not formed on the upper surface of the lower surface portion 80b, the strength of the upper surface portion 80a in which the plurality of through holes 80f are formed is lower than the strength of the lower surface portion 80b The second arm portion 24 is easily deformed so that the upper side is bulged more than the lower side due to the internal pressure. In this embodiment, the concave portion 80n is formed on the upper surface of the lower surface portion 80b The strength of the lower surface 80a can be made closer to the strength of the upper surface 80a so that the second arm 24 is bulged substantially equally toward both the upper and lower sides, Can be deformed. Therefore, even if the plurality of through holes 80f are formed in the upper surface portion 80a, the second arm portion 24 is deformed or twisted so as to be inclined to one side in the vertical direction, Can be suppressed from being deformed or deformed.

마찬가지로, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 진공 중에 배치되는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 중공형으로 형성되는 제1 아암부(23)는, 내부의 압력에 의해 외측으로 불룩해지도록 변형되지만, 본 형태에서는, 아암부 본체(85)의 하면부(85b)의 상면에, 상하 방향으로부터 보았을 때 관통 구멍(85g)과 겹치는 오목부(85n)가 형성되어 있기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제1 아암부(23)가 불룩해지도록 제1 아암부(23)를 변형시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(85a)에 복수의 관통 구멍(85g)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 제1 아암부(23)가 변형되거나, 비틀어지도록 제1 아암부(23)가 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.Likewise, in the present embodiment (according to the first invention), since the internal space 45 of the first arm portion 23 disposed in the vacuum is at atmospheric pressure, the first arm portion 23 formed in a hollow shape In the upper surface of the lower surface portion 85b of the arm body 85 in the shape of a depression 85n overlapping the through hole 85g when viewed from above and below, It is possible to deform the first arm portion 23 so that the first arm portion 23 bulges substantially uniformly toward both the upper and lower sides. Therefore, even if the plurality of through holes 85g are formed in the upper surface portion 85a, the first arm portions 23 are deformed or twisted so as to be inclined to one side in the up-and-down direction, Can be suppressed from being deformed or deformed.

이와 같이, (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 상면부(80a, 85a)에 복수의 관통 구멍(80f, 85g)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 아암(14)이 변형되거나, 비틀어지도록 아암(14)이 변형되거나 하는 것을 억제하는 것이 가능해지기 때문에, 아암(14)의 선단부측의 위치 정밀도를 확보하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(80a, 85a)에 복수의 관통 구멍(80f, 85g)이 형성되어 있어도, 챔버(5 내지 10)의 소정의 위치로 기판(2)을 고정밀도로 반송하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 기판(2)의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 기판(2)의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.In this manner, even if the plurality of through holes 80f and 85g are formed in the upper surface portions 80a and 85a (according to the first invention), the arm 14 is deformed so as to be tilted to one side in the vertical direction It is possible to prevent the arm 14 from being deformed so as to be twisted, so that it is possible to secure the positional accuracy of the distal end side of the arm 14. [ Therefore, in this embodiment, even if the plurality of through holes 80f and 85g are formed in the upper surface portions 80a and 85a, it is possible to carry the substrate 2 to a predetermined position of the chambers 5 to 10 with high accuracy It becomes. In other words, in this embodiment, deviation from the target position of the substrate 2 can be suppressed, and the conveyance accuracy of the substrate 2 can be improved.

특히 (제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 대략 일치하고, 또한, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 대략 일치하고 있기 때문에, 상하 양측을 향하여 대략 균등하게 제1 아암부(23), 제2 아암부(24)가 불룩해지도록 제1 아암부(23), 제2 아암부(24)를 변형시키기 쉬워진다. 따라서, 본 형태에서는, 상면부(80a, 85a)에 복수의 관통 구멍(80f, 85g)이 형성되어 있어도, 상하 방향의 일방측으로 기울도록 아암(14)이 변형되거나, 비틀어지도록 아암(14)이 변형되거나 하는 것을 효과적으로 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 아암(14)의 선단부측의 위치 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.In particular, in the present embodiment (according to the first aspect of the invention), the inner peripheral surface of the through hole 80f and the inner peripheral surface of the recess 80n substantially coincide when viewed from the top and bottom, The first arm portion 23 and the second arm portion 24 are formed so that the first arm portion 23 and the second arm portion 24 are bulged substantially vertically toward both the upper and lower sides, (24). Therefore, even if the plurality of through holes 80f and 85g are formed in the upper surface portions 80a and 85a, the arm 14 is deformed or twisted so as to be tilted to one side in the vertical direction It is possible to effectively suppress deformation of the arm 14. As a result, it is possible to improve the positional accuracy of the distal end side of the arm 14. [

(제1 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암부 본체(80, 85)는, 알루미늄 합금의 블록을 절삭 가공함으로써 형성되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 서로 별체로 형성된 상면부(80a, 85a)와 하면부(80b, 85b)와 측면부(80c, 85c)가 접합됨으로써 아암부 본체(80, 85)가 형성되어 있는 경우와 비교하여, 내부 공간(45, 66)으로부터의 공기의 유출을 방지하기 쉬워진다. 또한, 본 형태에서는, 아암부 본체(80, 85)가 주물에 의해 형성되어 있는 경우와 비교하여, 아암부 본체(80, 85)로부터 진공 중으로 방출되는 가스(아웃 가스)의 방출량을 저감하는 것이 가능해진다.(According to the First Aspect of the Invention) In this embodiment, the arm portions 80 and 85 are formed by cutting a block of an aluminum alloy. Therefore, in this embodiment, the case where the upper and lower surface portions 80a and 85a, the lower surface portions 80b and 85b and the side surface portions 80c and 85c are joined to each other to form the arm body portions 80 and 85 It becomes easier to prevent the outflow of air from the internal spaces 45 and 66. [ In this embodiment, as compared with the case where the arm portions 80 and 85 are formed by casting, it is possible to reduce the amount of gas (out gas) discharged from the arm portions 80 and 85 into the vacuum It becomes possible.

이상 설명한 바와 같이, (제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암(14)의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 진공 중에서 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 아암(14)의 내부로부터 아암(14)의 전체를 냉각하여, 아암(14) 전체의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 아암(14) 전체의 열팽창을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 챔버(5 내지 10)의 소정의 위치로 기판(2)을 고정밀도로 반송하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 기판(2)의 목표 도달 위치로부터의 어긋남을 억제하여 기판(2)의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.As described above, in the present embodiment (according to the second invention), the entire arm 14 is formed in a hollow shape, and the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure. Therefore, even if the temperature of the substrate 2 mounted on the hand 13 and carried in vacuum is high, the whole of the arm 14 is cooled from the inside of the arm 14, The temperature rise can be suppressed. Therefore, in this embodiment, thermal expansion of the entire arm 14 can be suppressed even if the temperature of the substrate 2 carried on the hand 13 is high. As a result, It is possible to transport the substrate 2 with high accuracy. That is, in this embodiment, even if the temperature of the substrate 2 carried on the hand 13 is high, deviation from the target position of the substrate 2 can be suppressed and the conveying accuracy of the substrate 2 can be enhanced .

또한, (제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암(14)의 전체가 중공형으로 형성되고, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 아암(14)의 내부에 배치되는 모든 베어링의 온도 상승을 억제하여, 이들 수명의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 핸드(13)에 탑재되어 반송되는 기판(2)의 온도가 높아도, 모터(46, 47), 감속기(48, 61) 및 텐션 풀리(73) 등을 구성하는 모든 베어링의 수명의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 아암(14)의 내부에 배치되는 모터(46, 47)나 감속기(48, 61)의 윤활제로서, 진공 그리스 등의 고가의 윤활제가 아니라, 대기압 중에서 사용되는 그리스 등의 윤활제를 사용하면 된다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)의 초기 비용 및 러닝 코스트를 저감하는 것이 가능해진다.In the present embodiment, since the entire arm 14 is formed in a hollow shape and the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, It is possible to suppress the temperature rise of all the bearings disposed inside the arm 14 even if the temperature of the substrate 2 to be carried and carried is high, and the deterioration of these life spans can be suppressed. That is, in this embodiment, even if the temperature of the substrate 2 carried on the hand 13 is high, the rotation speed of the bearings constituting the motors 46, 47, the speed reducers 48, 61, the tension pulley 73, It is possible to suppress the deterioration of the service life. In this embodiment, since the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, the lubricant of the motors 46 and 47 and the reducers 48 and 61 disposed inside the arm 14 , Vacuum grease, or the like, but a lubricant such as grease used in atmospheric pressure may be used. Therefore, in this embodiment, the initial cost and the running cost of the robot 1 can be reduced.

또한, (제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있기 때문에, 진공 영역 VR에 있어서, 모터(46, 47), 감속기(48, 61), 풀리(52, 53, 57, 58, 60, 63) 및 벨트(54, 59, 64)로부터의 가스(아웃 가스)의 발생을 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 아암(14)의 내부 공간(45, 66)이 대기압으로 되어 있어, 진공 영역 VR 내에 배치되는 아암(14)의 표면적을 저감하는 것이 가능해지기 때문에, 진공 영역 VR에 있어서, 아암(14)으로부터의 아웃 가스의 발생량을 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 기판(2)의 제조 공정에 있어서, 아웃 가스에 기인하는 장해의 발생을 억제하는 것이 가능해진다.In the present embodiment, since the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, the motors 46 and 47, the speed reducers 48 and 61 It is possible to prevent the generation of gas (out gas) from the pulleys 52, 53, 57, 58, 60, 63 and the belts 54, 59, In this embodiment, since the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, the surface area of the arm 14 disposed in the vacuum region VR can be reduced. Therefore, in the vacuum region VR, The amount of outgas generated from the arm 14 can be reduced. Therefore, in the present embodiment, it is possible to suppress the occurrence of an obstacle caused by the outgas in the manufacturing process of the substrate 2.

(제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 감속기(48)에 의해 관절부(26)의 일부가 구성되고, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 관절부(26, 27)의 강성을 높이는 것이 가능해진다.In this embodiment, a portion of the joint portion 26 is constituted by the speed reducer 48, and a part of the joint portion 27 is constituted by the speed reducer 61. [ Therefore, in this embodiment, the rigidity of the joint portions 26 and 27 can be increased.

(제2 발명에 따른) 본 형태에서는, 모터(47)는 제1 아암부(23)의 내부에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 모터(47)가 제2 아암부(24)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제2 아암부(24)를 소형화하는 것이 가능해진다. 또한, 모터(47)가 제1 아암부(23)의 내부에 배치되어 있는 경우에는, 모터(47)로부터 핸드(13)까지의 동력의 전달 경로가 길어지지만, 본 형태에서는, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되고, 감속기(61)의 출력측에 핸드(13)가 직접 고정되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들면 감속기(61)가 관절부(26)를 구성하도록 배치되고, 감속기(61)와 핸드(13)가 벨트 및 풀리를 통하여 접속되는 경우와 비교하여, 핸드(13)의 정지 정밀도를 높이는 것이 가능해지고, 그 결과, 기판(2)의 반송 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. 즉, 감속기(61)가 관절부(26)를 구성하도록 배치되고, 감속기(61)와 핸드(13)가 벨트 및 풀리를 통하여 접속되는 경우에는, 감속기(61)와 핸드(13)를 접속하기 위한 벨트에 감속 후의 부하가 가해지기 때문에, 핸드(13)가 정지할 때, 이 벨트가 신장되어 핸드(13)의 정지 정밀도가 저하되기 쉬워지지만, 본 형태에서는, 감속 전의 부하가 벨트(64)에 가해지기 때문에, 핸드(13)가 정지할 때의 벨트(64)의 신장을 억제하여, 핸드(13)의 정지 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.In the present embodiment, the motor 47 is disposed inside the first arm portion 23 (according to the second invention). Therefore, in this embodiment, the second arm portion 24 can be downsized as compared with the case where the motor 47 is disposed inside the second arm portion 24. [ When the motor 47 is disposed inside the first arm portion 23, the transmission path of the power from the motor 47 to the hand 13 becomes longer. In this embodiment, the speed reducer 61, And the hand 13 is directly fixed to the output side of the speed reducer 61. [0050] As shown in Fig. Therefore, in this embodiment, for example, as compared with the case where the speed reducer 61 is arranged so as to constitute the joint portion 26 and the speed reducer 61 and the hand 13 are connected via a belt and a pulley, It is possible to increase the stopping accuracy of the substrate 2. As a result, it is possible to improve the conveyance accuracy of the substrate 2. [ That is, when the speed reducer 61 is arranged to constitute the joint portion 26 and the speed reducer 61 and the hand 13 are connected to each other through the belt and the pulley, When the hand 13 is stopped, the belt is elongated and the stopping accuracy of the hand 13 is likely to be lowered. In this embodiment, however, the load before deceleration is applied to the belt 64 The elongation of the belt 64 when the hand 13 is stopped can be suppressed and the stopping accuracy of the hand 13 can be enhanced.

(산업용 로봇의 변형예 1)(Modification example 1 of industrial robot)

도 11은 본 발명(제2 발명)의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다.11 is a plan view of an industrial robot 1 according to another embodiment of the present invention (second invention).

상술한 형태에서는, 아암(14)은, 하나의 제1 아암부(23)와 하나의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 도 11에 도시한 바와 같이, 아암(14)은, 하나의 제1 아암부(23)와, 2개의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어도 된다. 이 경우에는, 제1 아암부(23)는, 대략 V형 혹은 직선형으로 형성되어 있고, 그 중심부가 본체부(15)에 회동 가능하게 연결되는 기단부로 되어 있다. 또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 제2 아암부(24)가 회동 가능하게 연결되어 있고, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 관절부(26)가 형성되어 있다.In the above-described embodiment, the arm 14 is constituted by one first arm portion 23 and one second arm portion 24. 11, the arm 14 may be constituted by one first arm portion 23 and two second arm portions 24, for example. In this case, the first arm portion 23 is formed in a substantially V-shape or a straight shape, and its central portion is a proximal end portion rotatably connected to the main body portion 15. 11, the second arm portion 24 is rotatably connected to each of the two distal end portions of the first arm portion 23, and two of the first arm portions 23 And joint portions 26 are formed on the distal end side.

이 경우라도, 상술한 형태와 마찬가지로, 감속기(48)에 의해 관절부(26)의 일부가 구성되고, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되어 있다. 또한, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 있어서, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 모터(46, 47) 및 감속기(48)가 배치되고, 2개의 제2 아암부(24)의 선단부측의 각각에 있어서, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 감속기(61)가 배치되어 있다. 또한, 내부 공간(45, 66)은 대기압으로 되어 있다. 또한, 이 경우에는, 핸드(13)의 기초부(20)에는, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. 또한, 도 8에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.In this case, a part of the joint part 26 is constituted by the speed reducer 48 and a part of the joint part 27 is constituted by the speed reducer 61, similarly to the above-described embodiment. The motors 46 and 47 and the speed reducer 48 are disposed in the inner space 45 of the first arm portion 23 and the two motors 46 and 47 and the speed reducer 48 are disposed on the two front end sides of the first arm portion 23, The speed reducer 61 is disposed in the internal space 66 of the second arm portion 24 on each of the distal end sides of the second arm portion 24. [ The internal spaces 45 and 66 are at atmospheric pressure. In this case, the base portion 20 of the hand 13 is provided with only two forks 21 protruding from one side in the horizontal direction. In Fig. 8, the same reference numerals are attached to the same configuration as that of the above-described configuration, or the configuration corresponding to the configuration of the above-described configuration.

(산업용 로봇의 변형예 2)(Variation Example 2 of Industrial Robot)

도 12는 본 발명(제2 발명)의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다.12 is a plan view of an industrial robot 1 according to another embodiment of the present invention (second invention).

상술한 형태에서는, 로봇(1)은 하나의 아암(14)을 구비하고 있다. 이 밖에도 예를 들면, 12에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은 본체부(15)에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 2개의 아암(14)을 구비하고 있어도 된다. 이 경우라도, 상술한 형태와 마찬가지로, 감속기(48)에 의해 관절부(26)의 일부가 구성되고, 감속기(61)에 의해 관절부(27)의 일부가 구성되어 있다. 또한, 제1 아암부(23)의 선단부측에 있어서, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 모터(46, 47) 및 감속기(48)가 배치되고, 제2 아암부(24)의 선단부측의 각각에 있어서, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 감속기(61)가 배치되어 있다. 또한, 내부 공간(45, 66)은 대기압으로 되어 있다. 또한, 이 경우에는, 핸드(13)의 기초부(20)에는, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. 또한, 도 12에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.In the above-described aspect, the robot 1 has one arm 14. In addition, for example, as shown in FIG. 12, the robot 1 may be provided with two arms 14 to which the proximal end side of the robot 1 is rotatably connected. In this case, a part of the joint part 26 is constituted by the speed reducer 48 and a part of the joint part 27 is constituted by the speed reducer 61, similarly to the above-described embodiment. The motors 46 and 47 and the reducer 48 are disposed in the inner space 45 of the first arm portion 23 at the tip end side of the first arm portion 23 and the second arm portion 24 The speed reducer 61 is disposed in the internal space 66 of the second arm portion 24. In this case, The internal spaces 45 and 66 are at atmospheric pressure. In this case, the base portion 20 of the hand 13 is provided with only two forks 21 protruding from one side in the horizontal direction. In Fig. 12, the same reference numerals are given to the same configuration as the above-described configuration, or to the configuration corresponding to the configuration of the above-described configuration.

(다른 실시 형태) (Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양하게 변형 실시가 가능하다.The above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에서는, 아암(14)은, 하나의 제1 아암부(23)와 하나의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 도 11에 도시한 바와 같이, 아암(14)은 하나의 제1 아암부(23)와, 2개의 제2 아암부(24)에 의해 구성되어도 된다. 이 경우에는, 제1 아암부(23)는, 대략 V형 혹은 직선형으로 형성되어 있고, 그 중심부가 본체부(15)에 회동 가능하게 연결되는 기단부로 되어 있다. 또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 제2 아암부(24)가 회동 가능하게 연결되어 있고, 제1 아암부(23)의 2개의 선단부측의 각각에 관절부(26)가 형성되어 있다. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 핸드(13)의 기초부(20)에, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. 또한, 도 11에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.In the above-described embodiment, the arm 14 is constituted by one first arm portion 23 and one second arm portion 24. 11, the arm 14 may be composed of one first arm portion 23 and two second arm portions 24, for example. In this case, the first arm portion 23 is formed in a substantially V-shape or a straight shape, and its central portion is a proximal end portion rotatably connected to the main body portion 15. 11, the second arm portion 24 is rotatably connected to each of the two distal end portions of the first arm portion 23, and two of the first arm portions 23 And joint portions 26 are formed on the distal end side. In this case, for example, only the two fork portions 21 protruding to one side in the horizontal direction are provided on the base portion 20 of the hand 13. In Fig. 11, the same reference numerals are given to the same configuration as the above-described configuration, or to the configuration corresponding to the configuration of the above-described configuration.

또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 하나의 아암(14)을 구비하고 있지만, 도 12에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은, 본체부(15)에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 2개의 아암(14)을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면 핸드(13)의 기초부(20)에, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크부(21)만이 설치된다. 또한, 도 12에서는, 상술한 형태의 구성과 동일한 구성, 또는, 상술한 형태의 구성에 대응하는 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 있다.12, the robot 1 is configured such that the proximal end side of the robot 1 is rotatably attached to the main body portion 15, And may have two arms 14 connected thereto. In this case, for example, only the two fork portions 21 projecting to one side in the horizontal direction are provided on the base portion 20 of the hand 13. In Fig. 12, the same reference numerals are given to the same configuration as that of the above-described configuration, or to the configuration corresponding to the configuration of the above-described configuration.

상술한 형태에서는, 오목부(80n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 대략 일치하고 있다. 이 밖에도 예를 들면, 오목부(80n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 오목부(80n)의 일부가 관통 구멍(80f)과 겹치도록 형성되고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(80f)의 내주면과 오목부(80n)의 내주면이 어긋나 있어도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에서는, 오목부(85n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)과 겹치도록 형성되어 있고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 대략 일치하고 있지만, 오목부(85n)는, 상하 방향으로부터 보았을 때, 오목부(85n)의 일부가 관통 구멍(85g)과 겹치도록 형성되고, 상하 방향으로부터 보았을 때, 관통 구멍(85g)의 내주면과 오목부(85n)의 내주면이 어긋나 있어도 된다.The concave portion 80n is formed so as to overlap the through hole 80f when viewed from the top and bottom directions and is formed so as to be in contact with the inner circumferential surface of the through hole 80f and the concave portion 80n The inner circumferential surface roughly coincides. In addition, for example, the concave portion 80n is formed so that a part of the concave portion 80n overlaps the through hole 80f when viewed from the top and bottom direction, The inner circumferential surface and the inner circumferential surface of the concave portion 80n may be shifted. Likewise, in the above-described embodiment, the recess 85n is formed so as to overlap with the through hole 85g when viewed from the top and bottom, and the inner peripheral surface of the through hole 85g and the recess 85n The concave portion 85n is formed in such a manner that a part of the concave portion 85n overlaps the through hole 85g when viewed from the top and bottom direction, 85g may be offset from the inner circumferential surface of the recess 85n.

상술한 형태에서는, 오목부(80n)의 내경은, 관통 구멍(80f)의 내경과 동일하게 되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 오목부(80n)의 내경은, 관통 구멍(80f)의 내경보다 커도 되고, 관통 구멍(80f)의 내경보다 작아도 된다. 마찬가지로, 오목부(85n)의 내경은, 관통 구멍(85g)의 내경과 동일하게 되어 있지만, 오목부(85n)의 내경은, 관통 구멍(85g)의 내경보다 커도 되고, 관통 구멍(85g)의 내경보다 작아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 관통 구멍(80f, 85g)은 원형으로 형성되어 있지만, 관통 구멍(80f, 85g)은 다각형으로 형성되어도 되고, 타원형 또는 장원형으로 형성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 오목부(80n, 85n)는, 원형으로 형성되어 있지만, 오목부(80n, 85n)는 다각형으로 형성되어도 되고, 타원형 또는 장원형으로 형성되어도 된다.In the above-described embodiment, the inner diameter of the recess 80n is the same as the inner diameter of the through hole 80f. In addition, for example, the inner diameter of the recess 80n may be larger than the inner diameter of the through hole 80f or smaller than the inner diameter of the through hole 80f. Similarly, the inner diameter of the recess 85n is equal to the inner diameter of the through hole 85g, but the inner diameter of the recess 85n may be larger than the inner diameter of the through hole 85g, It may be smaller than the inner diameter. Although the through holes 80f and 85g are formed in a circular shape in the above-described embodiment, the through holes 80f and 85g may be polygonal, elliptical, or oblong. In the above-described embodiment, the concave portions 80n and 85n are formed in a circular shape, but the concave portions 80n and 85n may be formed in a polygonal shape or an elliptical shape or an oblong shape.

상술한 형태에서는, 오목부(80n, 85n)는, 하면부(80b, 85b)를 관통하지 않도록 형성되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 오목부(80n, 85n)는, 하면부(80b, 85b)를 관통하도록 형성되어도 된다. 이 경우에는, 하면부(80b, 85b)의 하면에, 오목부(80n, 85n)를 막는 덮개 부재가 고정된다. 또한, 이 덮개 부재와 하면부(80b, 85b) 사이에는, 내부 공간(45, 66)으로부터의 공기의 유출을 방지하는 시일 부재가 배치된다.In the above-described embodiment, the recesses 80n and 85n are formed so as not to penetrate the lower surface portions 80b and 85b. In addition, for example, the concave portions 80n and 85n may be formed so as to penetrate the lower surface portions 80b and 85b. In this case, a lid member for covering the recesses 80n and 85n is fixed to the lower surface of the lower surface portions 80b and 85b. Between the lid member and the lower surface portions 80b, 85b, a seal member for preventing the outflow of air from the internal spaces 45, 66 is disposed.

상술한 형태에서는, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45) 및 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)이 대기압으로 되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 내부 공간(45) 또는 내부 공간(66)이 진공으로 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 아암(14)은, 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있지만, 아암(14)은 하나의 아암부에 의해 구성되어도 되고, 3개 이상의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 아암(14)이 3개 이상의 아암부에 의해 구성되는 경우에는, 모든 아암부의 내부 공간이 대기압으로 되어 있어도 되고, 내부 공간이 진공으로 되어 있는 아암부가 있어도 된다.The inner space 45 of the first arm portion 23 and the inner space 66 of the second arm portion 24 are at atmospheric pressure. In addition, for example, the internal space 45 or the internal space 66 may be a vacuum. In the above-described embodiment, the arm 14 is composed of two arm portions, that is, the first arm portion 23 and the second arm portion 24, but the arm 14 is formed by one arm portion Or may be constituted by three or more arm portions. In the case where the arm 14 is constituted by three or more arm portions, the internal space of all the arm portions may be at atmospheric pressure, or an arm portion whose internal space is at a vacuum may be provided.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)를 회동시키기 위한 모터(46)와, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)를 회동시키기 위한 모터(47)를 구비하고 있다. 이 밖에도 예를 들면, 1대의 모터에 의해, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)가 회동하고, 또한, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)가 회동하도록, 모터로부터 아암(14)으로의 동력의 전달 기구가 구성되어도 된다.The robot 1 is provided with the motor 46 for rotating the second arm 24 relative to the first arm 23 and the motor 46 for rotating the hand 13 relative to the second arm 24, And a motor 47 for rotating the motor. In addition, for example, the second arm portion 24 is rotated with respect to the first arm portion 23 by one motor, and the hand 13 is rotated with respect to the second arm portion 24 , And a mechanism for transmitting power from the motor to the arm 14 may be configured.

상술한 형태에서는, 제1 아암부(23)의 선단부측에 있어서의 내부 공간(45)에 감속기(48)가 배치되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 제2 아암부(24)의 기단부측에 있어서의 내부 공간(66)에 감속기(48)가 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(47)는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 배치되어 있지만, 모터(47)는 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(46)는 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 배치되어 있지만, 모터(46)는 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 감속기(61)는, 제2 아암부(24)의 내부 공간(66)에 배치되어 있지만, 감속기(61)는, 제1 아암부(23)의 내부 공간(45)에 배치되어도 된다. 이 경우에는, 관절부(26)에 있어서, 감속기(48)와 감속기(61)가 축 방향으로 겹치도록 배치된다.In the above-described embodiment, the speed reducer 48 is disposed in the inner space 45 at the distal end side of the first arm portion 23. [ In addition, for example, the speed reducer 48 may be disposed in the internal space 66 at the proximal end side of the second arm 24. The motor 47 is disposed in the inner space 66 of the second arm portion 24 while the motor 47 is disposed in the inner space 45 of the first arm portion 23 in the above- . The motor 46 is disposed in the inner space 66 of the second arm portion 24 while the motor 46 is disposed in the inner space 45 of the first arm portion 23 in the above- . The speed reducer 61 is disposed in the inner space 45 of the first arm portion 23 and the speed reducer 61 is disposed in the inner space 66 of the second arm portion 24 in the above- As shown in FIG. In this case, the reducer 48 and the speed reducer 61 are arranged so as to overlap in the axial direction in the joint portion 26. [

상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)를 회동시키기 위한 모터(46)와, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)를 회동시키기 위한 모터(47)를 구비하고 있다. 이 밖에도 예를 들면, 1대의 모터에 의해, 제1 아암부(23)에 대하여 제2 아암부(24)가 회동하고, 또한, 제2 아암부(24)에 대하여 핸드(13)가 회동하도록, 모터로부터 아암(14)으로의 동력의 전달 기구가 구성되어도 된다.The robot 1 is provided with the motor 46 for rotating the second arm 24 relative to the first arm 23 and the motor 46 for rotating the hand 13 relative to the second arm 24, And a motor 47 for rotating the motor. In addition, for example, the second arm portion 24 is rotated with respect to the first arm portion 23 by one motor, and the hand 13 is rotated with respect to the second arm portion 24 , And a mechanism for transmitting power from the motor to the arm 14 may be configured.

상술한 형태에서는, 아암(14)는 제1 아암부(23)와 제2 아암부(24)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 아암(14)는 3개 이상의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 이 경우에는, 3개 이상의 아암부의 각각은 중공형으로 형성됨과 함께, 3개 이상의 아암부의 각각의 내부 공간은 대기압으로 되어 있다.In the above-described embodiment, the arm 14 is constituted by two arm portions, that is, the first arm portion 23 and the second arm portion 24. In addition, for example, the arm 14 may be constituted by three or more arm portions. In this case, each of the three or more arm portions is formed in a hollow shape, and the inner space of each of the three or more arm portions is at atmospheric pressure.

상술한 형태에 있어서, 내부 공간(45, 66)에, 공냉식 또는 수냉식의 냉각 기구가 배치되어도 된다. 예를 들면, 냉각용 압축 공기 분출구를 갖는 냉각용 파이프가 내부 공간(45, 66)에 배치되어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면 감속기(48, 61) 등의 베어링이나 자성 유체 시일(71, 72)의 배치 개소에 압축 공기가 공급되도록 냉각용 파이프가 배치된다. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 내부 공간(45, 66)에 배치되는 냉각용 파이프는, 케이스체(17)의 내부 혹은 케이스체(17)의 외부의 대기 중에 배치되는 압축 공기의 공급원에 접속된다. 또한, 이 냉각 파이프와 압축 공기의 공급원은, 제1 아암부(23)의 기단부측의 하면에 형성되는 관통 구멍 및 중공 회전축(32)의 내주측에 배설되는 배관에 의해 접속된다. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 케이스체(17)의 내부에 전자 밸브가 배치되어 있고, 이 전자 밸브를 온 오프함으로써, 냉각용 파이프의 분출구로부터 압축 공기가 공급되거나, 냉각용 파이프의 분출구로부터 공급되는 압축 공기의 양이 조정되거나 한다. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 내부 공간(45, 66)의 온도를 검출하는 온도 센서 등의 검출 수단이 내부 공간(45, 66)의 적당한 위치에 배치되어 있고, 이 검출 수단의 검출 결과에 기초하여, 전자 밸브가 온 오프된다. 또한, 이 경우에는, 예를 들면 내부 공간(45, 66)에 공급되는 압축 공기는, 내부 공간(45, 66)의 전체를 순환한 후, 본체부(15)측으로 배출된다. 이 경우에는, 아암(14)의 내부로부터 아암(14)의 전체를 효과적으로 냉각하여, 아암(14) 전체의 온도 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다.In the above-described aspect, an air-cooling type or water-cooling type cooling mechanism may be disposed in the internal spaces 45 and 66. For example, a cooling pipe having a cooling air jet port for cooling may be disposed in the inner space 45, 66. In this case, for example, a cooling pipe is arranged so that compressed air is supplied to the bearings such as the speed reducers 48 and 61 or the locations where the magnetic fluid seals 71 and 72 are disposed. In this case, for example, the cooling pipes arranged in the internal spaces 45 and 66 are connected to a supply source of compressed air arranged in the inside of the case body 17 or outside the case body 17 do. The cooling pipe and the supply source of the compressed air are connected to each other by a through hole formed on the lower surface of the proximal end side of the first arm portion 23 and a pipe arranged on the inner circumferential side of the hollow rotary shaft 32. In this case, for example, a solenoid valve is disposed inside the case body 17, and by opening and closing the solenoid valve, compressed air is supplied from the air outlet of the cooling pipe, or air is supplied from the air outlet of the cooling pipe Or the amount of compressed air supplied may be adjusted. In this case, for example, detection means such as a temperature sensor for detecting the temperature of the internal spaces 45 and 66 are disposed at appropriate positions in the internal spaces 45 and 66, Based on this, the solenoid valve is turned on and off. In this case, for example, compressed air supplied to the internal spaces 45 and 66 is circulated through the entire internal spaces 45 and 66, and then discharged to the body portion 15 side. In this case, it is possible to effectively cool the entire arm 14 from the inside of the arm 14, effectively restraining the temperature rise of the entire arm 14.

상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 반송 대상물을 반송하기 위한 로봇이지만, 로봇(1)은 용접 로봇 등의 다른 용도로 사용되는 로봇이어도 된다.In the above-described embodiment, the object to be transported by the robot 1 is the substrate 2 for the organic EL display, but the object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display, do. In the above-described embodiment, the robot 1 is a robot for transporting the object to be transported, but the robot 1 may be a robot for other purposes such as a welding robot.

1 : 로봇(산업용 로봇)
13 : 핸드
14 : 아암
15 : 본체부
23 : 제1 아암부(아암부)
24 : 제2 아암부(아암부)
26 : 관절부(제1 관절부)
27 : 관절부(제2 관절부)
45, 66 : 내부 공간
46 : 모터(제1 모터)
47 : 모터(제2 모터)
48 : 감속기(제1 감속기)
80a, 85a : 상면부(제1 평면부)
80b, 85b : 하면부(제2 평면부)
80c, 85c : 측면부
80f, 85g : 관통 구멍
80n, 85n : 오목부
81, 86 : 덮개 부재 1: Robot (industrial robot)
13: Hand
14:
15:
23: first arm portion (arm portion)
24: second arm portion (arm portion)
26: Joint (first joint)
27: joint (second joint)
45, 66: interior space
46: motor (first motor)
47: motor (second motor)
48: Reducer (1st Reducer)
80a, 85a: upper surface portion (first plane portion)
80b, 85b: a lower surface portion (second flat surface portion)
80c, 85c:
80f, 85g: through hole
80n, 85n:
81, 86: lid member

Claims (1)

본체부와, 상기 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고,
상기 핸드와 상기 아암은 진공 중에 배치되고,
상기 아암의 전체는 중공형으로 형성되고,
상기 아암의 내부 공간은 대기압으로 되어 있고,
상기 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 복수의 아암부에 의해 구성되고,
복수의 상기 아암부의 각각은 중공형으로 형성되어 있고,
상기 아암의 적어도 일부에는, 관절부를 조립하거나 모터를 설치하기 위한 작업용 구멍이 형성되어 있고,
상기 아암은, 상기 작업용 구멍을 막는 덮개 부재와, 상기 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 환상의 시일 부재를 구비하고,
상기 아암은, 상기 본체부에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 상기 아암부로서의 제1 아암부와, 상기 제1 아암부의 선단부측에 그 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 그 선단부측에 상기 핸드가 회동 가능하게 연결되는 상기 아암부로서의 제2 아암부로 구성되어 있고,
상기 제1 아암부에 대하여 상기 제2 아암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 상기 제2 아암부에 대하여 상기 핸드를 회동시키기 위한 제2 모터와, 상기 제1 모터의 회전을 감속하여 상기 제2 아암부에 전달하는 제1 감속기와, 상기 제2 모터의 회전을 감속하여 상기 핸드에 전달하는 제2 감속기를 구비하고,
상기 제1 감속기는, 상기 제1 아암부와 상기 제2 아암부를 연결하는 제1 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 상기 제1 아암부의 내부에 배치되고,
상기 제2 감속기는, 상기 제2 아암부와 상기 핸드를 연결하는 제2 관절부의 적어도 일부를 구성함과 함께 상기 제2 아암부의 내부에 배치되어 있고,
상기 제1 모터 및 상기 제2 모터는 상기 제1 아암부의 내부에 배치되어 있고,
상기 내부 공간에 배치되는 냉각 기구를 구비하고,
상기 제1 감속기와 상기 제2 감속기는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성되는 중공 감속기인 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.An arm rotatably connected to the proximal end side of the main body part; and a hand rotatably connected to the distal end side of the arm,
Wherein the hand and the arm are disposed in a vacuum,
Wherein the entire arm is formed in a hollow shape,
The internal space of the arm is at atmospheric pressure,
Wherein the arm is constituted by a plurality of arm portions connected to each other so as to be rotatable relative to each other,
Each of the plurality of arm portions is formed in a hollow shape,
Wherein at least a part of the arm is provided with a work hole for assembling a joint part or installing a motor,
Wherein the arm includes a cover member for sealing the working hole and an annular seal member for preventing air from flowing out of the internal space,
Wherein the arm has a first arm portion as an arm portion to which the proximal end side of the base portion is rotatably connected to the main body portion and a second arm portion to which a proximal end side of the first arm portion is rotatably connected, And a second arm portion as the arm portion to which the hand is rotatably connected,
A first motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion, a second motor for rotating the hand with respect to the second arm portion, and a second motor for decelerating the rotation of the first motor, And a second reducer for reducing the rotation of the second motor and transmitting the rotation to the hand,
Wherein the first reducer comprises at least a part of a first joint part connecting the first arm part and the second arm part and is disposed inside the first arm part,
Wherein the second reducer comprises at least a part of a second joint part connecting the second arm part and the hand and is disposed inside the second arm part,
Wherein the first motor and the second motor are disposed inside the first arm portion,
And a cooling mechanism disposed in the internal space,
Wherein the first reducer and the second reducer are hollow reducers in which a through hole is formed at the center in the radial direction.
KR1020167033734A 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot KR101878585B1 (en)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361749547P 2013-01-07 2013-01-07
JP2013000541A JP6007111B2 (en) 2013-01-07 2013-01-07 Industrial robot
US61/749,547 2013-01-07
JPJP-P-2013-000541 2013-01-07
JPJP-P-2013-000542 2013-01-07
JP2013000542 2013-01-07
PCT/JP2013/077920 WO2014106914A1 (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147027371A Division KR20140133894A (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160141874A KR20160141874A (en) 2016-12-09
KR101878585B1 true KR101878585B1 (en) 2018-07-13

Family

ID=51062236

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020167008103A KR101642678B1 (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot
KR1020167033734A KR101878585B1 (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot
KR1020147027371A KR20140133894A (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020167008103A KR101642678B1 (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147027371A KR20140133894A (en) 2013-01-07 2013-10-15 Industrial robot

Country Status (4)

Country Link
KR (3) KR101642678B1 (en)
CN (2) CN105127985B (en)
TW (2) TWI531452B (en)
WO (1) WO2014106914A1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018021178A1 (en) * 2016-07-28 2018-02-01 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
CN107717955B (en) * 2017-09-29 2024-03-19 中国科学院空间应用工程与技术中心 Space four-degree-of-freedom inspection mechanical arm and control system and control method thereof
JP7195111B2 (en) * 2018-10-31 2022-12-23 日本電産サンキョー株式会社 industrial robot
JP2020069577A (en) * 2018-10-31 2020-05-07 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
CN111361977A (en) * 2018-12-26 2020-07-03 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 SCARA type carrying manipulator
JP2021019071A (en) * 2019-07-19 2021-02-15 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot and control method of the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0585584U (en) * 1992-04-21 1993-11-19 新明和工業株式会社 Robot device for vacuum chamber
JP2007118123A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Toshiba Mach Co Ltd Arm mechanism of industrial robot
KR20080002818A (en) * 2005-04-11 2008-01-04 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 Multi-joint robot
JP2008264980A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd Substrate carrier robot

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01216786A (en) * 1988-02-24 1989-08-30 Toshiba Corp Horizontal multiple joint robot
JPH05318350A (en) * 1992-05-18 1993-12-03 Ebara Corp Lifting mechanism of robot for vacuum use
JPH08309681A (en) * 1995-05-17 1996-11-26 Ulvac Japan Ltd Multiarticulated substrate conveying robot
US5794487A (en) * 1995-07-10 1998-08-18 Smart Machines Drive system for a robotic arm
JP3030392B2 (en) * 1995-10-02 2000-04-10 ゼテック株式会社 Robot for corrosive atmosphere
US6126381A (en) * 1997-04-01 2000-10-03 Kensington Laboratories, Inc. Unitary specimen prealigner and continuously rotatable four link robot arm mechanism
JP2002534820A (en) * 1999-01-15 2002-10-15 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド Workpiece handling robot
JP2002307365A (en) * 2001-04-11 2002-10-23 Aitec:Kk Arm of scalar robot
CN100461363C (en) * 2004-12-10 2009-02-11 株式会社爱发科 Transfer robot and transfer apparatus
JP4731267B2 (en) * 2005-09-29 2011-07-20 日本電産サンキョー株式会社 Robot hand and workpiece transfer robot using the same
JP4605560B2 (en) * 2005-12-05 2011-01-05 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP4617278B2 (en) * 2006-06-29 2011-01-19 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP5082885B2 (en) * 2008-01-25 2012-11-28 株式会社安川電機 Horizontal articulated robot and manufacturing apparatus including the same
JP5253145B2 (en) * 2008-12-26 2013-07-31 株式会社アルバック Method of manufacturing vacuum transfer device and vacuum transfer device
JP5549129B2 (en) * 2009-07-06 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 Position control method, robot
JP5304601B2 (en) * 2009-11-10 2013-10-02 株式会社安川電機 Arm mechanism and vacuum robot equipped with the same
JP5462064B2 (en) * 2010-04-28 2014-04-02 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
CN104647363B (en) * 2010-07-14 2016-04-20 日本电产三协株式会社 The control method of industrial robot, industrial robot and the indicating means of industrial robot

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0585584U (en) * 1992-04-21 1993-11-19 新明和工業株式会社 Robot device for vacuum chamber
KR20080002818A (en) * 2005-04-11 2008-01-04 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 Multi-joint robot
JP2007118123A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Toshiba Mach Co Ltd Arm mechanism of industrial robot
JP2008264980A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd Substrate carrier robot

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
일본 공개특허공보 특개2007-118123호(2007.05.17.) 1부. *

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160141874A (en) 2016-12-09
TW201603978A (en) 2016-02-01
TWI583516B (en) 2017-05-21
CN104271321A (en) 2015-01-07
WO2014106914A1 (en) 2014-07-10
TW201429656A (en) 2014-08-01
CN105127985B (en) 2017-09-01
KR20140133894A (en) 2014-11-20
KR20160040318A (en) 2016-04-12
CN104271321B (en) 2016-04-20
TWI531452B (en) 2016-05-01
KR101642678B1 (en) 2016-07-25
CN105127985A (en) 2015-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101878585B1 (en) Industrial robot
JP6313963B2 (en) Industrial robot
KR101623665B1 (en) Industrial robot
TWI597141B (en) Industrial robots
JP6499826B2 (en) Industrial robot
JP2014034106A (en) Industrial robot
TWI551411B (en) Industrial robots
KR102260097B1 (en) industrial robot
JP2015123551A (en) Multijoint robot
JP6007111B2 (en) Industrial robot
TWI485339B (en) Sealing mechanism and processing device
KR102328513B1 (en) industrial robot
US11554493B2 (en) Transfer apparatus
US20190372417A1 (en) Motor, actuator, semiconductor manufacturing apparatus, and flat display manufacturing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant