KR101866709B1 - 복수의 스퍼터 소스를 구비한 반응성 스퍼터링 - Google Patents

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Abstract

반응성 스퍼터링에 의한 기판(14) 코팅용 장치(1)는, 축(8), 상기 축(8)에 대칭적으로 배열되는 최소 두 개의 타겟들(11,12), 기판(14)을 운송하는 기판 캐리어(5) 및 상기 기판 캐리어(5)를 상기 축(8) 주위로 회전시키는 수단 및 상기 타겟들(11,12)에 연결되는 전원(15)을 포함하며, 상기 타겟들은 음극 및 양극으로 선택적으로 운전 가능하다. 본 발명의 방법은 축(8)을 포함하는 장치(1) 내에서 반응성 스퍼터링에 의해 기판(14)을 코팅함으로써 코팅된 기판(14)을 제조하는 방법이다. 상기 방법은 a) 코팅될 기판(14)을 제공하는 단계; b) 상기 축(8)에 대칭적 배열인 최소 두 개 이상의 타겟들(11,12)을 제공하는 단계; 및 c) 코팅 동안에 상기 타겟들(11,12)을 음극 및 양극으로 선택적으로 운전하는 단계를 포함한다. 바람직하게는 타겟들(11,12)은 스퍼터링 동안에 회전하며 및/또는 타겟들은 가장 안쪽의 원형 타겟이 최소 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상으로 배열된다.

Description

복수의 스퍼터 소스를 구비한 반응성 스퍼터링{REACTIVE SPUTTERING WITH MULTIPLE SPUTTER SOURCE}
본 발명은 기판의 반응성 스퍼터-코팅 분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반응성 마그네트론 스퍼터 코팅에 관한 것이다. 본 발명은 개시되는 청구함에 따른 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명은 도파관, 특히 광학 도파관의 제조에 응용되거나 이를 포함할 수 있다.
이러한 예에서 시작하여, 반응성 스퍼터 코팅의 잠재하는 문제점들이 이러한 문제점들의 공지된 해결책과 함께 논의될 것이다.
도파관은 좁은 공간에서 빛을 전도하기 위하여 사용된다. 이는 광섬유와 유사하게 작용한다. 빛은 저굴절율 매체에 둘러싸인 고굴절율 매체 내에서 전도된다. 전반사는 빛이 고굴절율 매체에 존재하는 것을 방지한다. 동일한 원리가 저굴절율 층들 사이에 샌드위치 된 고굴절율의 박막에 적용된다. 광학적 박막들은 특히 광전자분야의 응용에 적합한데, 여기에서 이들은 반도체 칩의 제조로 통합될 수 있다. 박막 도파관의 특수한 요건은 빛의 최소 흡수 및 분산이다. 전형적인 박막 도파관은 SiO2 또는 Al2O3 피복층들 사이에 샌드위치된 Ta2O5 필름으로 이루어져 있다. 알루미나 필름 또한 도파관에 양호한 기계적 보호를 제공한다.
다른 많은 유전체들과 같이, 알루미나도 산소의 존재하에 금속 알루미늄 타겟을 스퍼터링하여 증착될 수 있다. 가장 간단한 방법으로 펄스 DC전원(직류)이 소정의 전력레벨로 설정된다. 산소의 흐름에 따라서, 반응성 공정결과는“금속성”모드 또는 “산화”모드로 기울어질 수 있다. 이러한 거동은 일정한 스퍼터 전력에서 산소흐름에 대한 목표전압을 기록한 잘 알려진 반응성 스퍼터 히스테리시스 곡선에 의해 도시된다. 도1은 이러한 반응성 스퍼터 히스테리시스(hysteresis) 곡선을 도시한다.
기판들(즉 유리기판들)을 알루미늄과 같은 금속성 코딩으로 코팅할 때 타켓을 전극으로 포함하는 스퍼터링 장치들이 자주 사용된다. 금속성 타겟은 전기적으로 하전된 입자들이(Ar 작업가스로부터의 Ar 이온들) 그 위에 충돌하기 때문에 스퍼터 된다. 공정중에서 스퍼터된 입자들은 산소나 질소같은 가스와 반응후에 궁극적으로 기판상에 증착된다. 타겟이 자장에 의하여 관통되는 전극, 타겟 및 자석의 특정한 배열을 마그네트론이라고 칭한다. 타겟에서 스퍼터링된 물질입자들이 상기 기판상에 증착되기 전에 가스와 반응을 하면, 이러한 공정을 반응성 스퍼터링이라고 칭한다. 예를 들어 SiO2가 기판상에 기상증착되려면 Si 원자들이 Si 타겟으로부터 스퍼터되며, 이는 다시 공정챔버 내로 도입된 산소와 반응한다. 고정 전력하에서 도입된 산소는 공정챔버 음극(들)에서의 방전전압에 영향을 미친다. 고정 전력에서 02흐름에 대한 방전전압을 점 찍으면 히스테리시스 곡선이 얻어진다(도1)
산소흐름을 증가시키면(도1에서 화살표 A), 타겟 또는 방전전압은 처음에 약간 감소했다가 이어서 스퍼터 속도의 급격한 하강 및 산소분압의 증가와 함께 낮은 수치로 급격하게 떨어지는데, 낮은 스퍼터 속도에서는 증착된 필름을 산화시키는데 보다 적은 산소가 필요하기 때문이다(도1에서 화살표B). 이 수치로부터, 산소흐름의 증가에 따른 방전전압은 단지 무시할 정도만큼 감소한다.
만일 산소흐름이 감소하면(도1에서 화살표 C), 타겟 전압은 오직 서서히 증가할 것이다. 그러나 방전전압은 특정한 저산소흐름에서 급격하게 증가할 것이다(도1의 화살표D). 전압이 (급격히)감소하고 (급격히)증가하는 지점들의 산소흐름은 동일하지 않으므로, 히스테리시스가 생성된다.
산소 흐름 및/또는 공급전력의 단지 미세한 변화가 방전전압의 갑작스런 “점프”를 야기할 수 있기 때문에, 이러한 거동으로 인하여 안정된 운전 포인트를 설정하는 것이 어렵다.
산소흐름을 증가함에 따라, 타겟이 낮은 스퍼터 속도를 가지는 산화물로 부분적으로 덮히기 때문에 히스테리시스가 발생한다. 낮은 산소흐름에서(도1에서 화살표 A), 대부분의 산소는 기판상에 알루미나 필름을 형성하기 위하여 소모되며 차폐된다. 일정한 한계를 넘어서면, 스퍼터 속도는 떨어지며, 공정챔버 내에 더욱 많은 산소를 남기며, 이는 매우 낮은 스퍼터 속도에서 타겟이 완전히 산화물로 덮힐 때까지 타겟상에 보다 많은 산화물을 유도한다(도1에서 화살표 B). 이는 산화물 모드라고 불리운다.
산소흐름을 감소시키면, 타겟에서 산화물이 제거될 때까지(도1에서 화살표 C) 높은 산소분압은 유지된다(즉, 저항함). 그 지점에서, 스퍼터 속도는 증가하며, 남은 산소를 소진하고, 타겟은 다시 금속성 모드가 된다.(도1에서 화살표 D)
대부분의 적용에서는 단연코 알루미나의 순수한 유전특성, 즉 낮은 광흡수 및 높은 유전강도를 요구한다. 이는 타겟표면이 아직 금속성이며 성장하는 필름의 오직 일정정도만의 산화가 기판상에서 발생하는 금속성 영역에서는 달성될 수 없다. 한편, 산화물 모드에서 작업 포인트를 설정하면 흡수가 되지 않는 필름을 만들 것이다. 그러나, 이 모드에서는 타겟표면이 완전히 산화되기 때문에, 결과적인 증착 속도는 매우 낮으며, 성장하는 필름의 조성도 조정할 수 없다.
조성의 제어 가능성 및 높은 증착속도를 가지는 완전한 유전체 필름의 증착을 위하여는, 금속성 및 산화를 모드 사이 중간영역에서의 운전이 필요하며, 이는 적극적인 피드백 메커니즘을 요구한다. 알루미늄 옥사이드의 중간 모드 스퍼터링을 위하여 스퍼터 전압제어를 선택하는 것이 가능하며, 본 발명자들을 상응하는 실험을 수행하였다. 광학적 방출(emission) 및 분압 제어 등과 같은 검증된 방법들과 비교하여 전력공급을 고정전압원으로(적절한 전압공급장치를 사용)사용하는 것은 장치의 운전모드의 변화를 의미한다.
전압을 안정시킴에 의하여, 공정을 금속성 모드나 산화물 모드에서 운전하지 않고, 재연성있는 방식으로 점프들 사이의 영역(중간영역)에 도달할 수 있다.
이하 발명의 내용 섹션에서 반응성 스퍼터코팅의 추가적인 문제점들이 당업계의 관련된 자료들과 함께 논의될 것이다.
따라서, 본 발명의 하나의 목적은, 전술한 바와 같은 문제점을 가지지 않는 장치 및 방법을 창출하는 것이다. 반응성 스퍼터링에 의해 기판을 코팅하는 장치가 제공될 것이며, 이는 반응성 스퍼터코팅에 의한 스퍼터-코팅된 기판들의 제조에 개선된 방법을 가능케 한다. 또한, 관련된 방법이 제공될 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 반응성 스퍼터 코팅에서 균질한 증착을 달성하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 반응성 스퍼터코팅에 의해 생산된 코팅의 균일한 두께분포를 달성하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 보다 잘 정의된 방법으로 코팅의 조성을 조정하는 것이 가능한 반응성 스퍼터 코팅방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 보다 안정적인 증착조건 특히 보다 고정적인 증착속도를 보다 간단하게 가능하게 하는 반응성 스퍼터 코팅방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 특히 코팅의 재연성있는 특성을 얻는 것을 보다 간단하게 가능하게 하는 반응성 스퍼터 코팅방법을 제공하는 것이다.
추가적인 목적들은 아래의 기술 및 구현예로부터 나타난다.
이러한 목적들의 적어도 하나는 특허청구범위에 따른 장치들 및 방법들에 의해 적어도 부분적으로 달성된다.
반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치는, 축, 상기 축에 대칭적으로 배열되는 적어도 두 개의 타켓들 및 상기 타켓들에 연결되는 전원(power supply)을 포함하며, 상기 타겟들은 선택적으로(alternatively) 음극(cathod) 및 양극(anode)으로 운전될 수 있다.
이 방법에서,“소멸 양극(disappearing anode)” 문제가 취급되며, 동시에 우수한 코팅 균일성이 달성될 수 있다.
일 구현예에서, 상기 장치는 진공증착 시스템이다.
전술한 구현예와 선택적으로 관련되는 일 구현예에서, 상기 타겟들은 상기 전원을 이용하여 음극 및 양극으로 선택적으로 운전될 수 있다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기전원은 상기 타겟들이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전될 수 있도록 상기 타겟들에 연결된다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 전원은 상기 타겟들이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되도록 구조되어지고 구성되어진다(structured and configured).
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 타겟들은 음극 및 양극으로 선택적으로 운전된다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기전원은 DC전원이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 장치는 상기 기판을 축 주위로 회전시키는 수단 특히 상기 기판을 코팅 중에 축 주위로 회전시키는 수단을 포함한다. 이는 코팅의 균질성 및 두께 균일성을 크게 향상시킨다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 장치는 상기 기판을 운송하기 위한 기판 캐리어 및 상기 기판 캐리어를 상기 축 주위로 회전시키는 수단을 포함한다. 이는 기판을 회전가능하게 하는 방법이다.
이 구현예는, 스퍼터링 동안에 기판의 회전이 가능한 것은 특히 균일성 측면에서 매우 우수한 코팅을 가능하게 하기 때문에, 특히 중요하다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기축에 대칭적인 상기 배열은 상기 타겟들이 그를 각각의 타겟 중심이 상기 축 주위의 서클(circle)상에 배열되는 것을 포함한다. 여기에서, 그리고 이하 기술되는 구현예와 관련하여, 상기 서클은 제로 반경을 가질 수도 있다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 축에 대칭적인 상기 배열은 상기 타겟들이 그를 각각의 타겟 중심이 상기 축 주위의 서클 상에 배열되어 상기 축에 대칭적으로 배열되는 것을 의미한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 축에 대칭적인 상기 배열은, 특히 상기 타겟들이 상기 축 주위의 소정의 반경 위에 배열되는 것을 포함하거나 의미한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 장치는 기판코팅용 장치 특히 유전체 코팅(dielectric coating)의 단일기판(single substrate) 코팅용 장치이며, 특히 펄스 DC 스퍼터링(pulsed DC sputtering)에 의한 금속 산화물의 반응성 마그네트론 스퍼터링용 장치이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 타겟들은 금속성 타겟들이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기장치는 단일기판 스퍼터링 시스템이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 장치는 고압 스위칭 요소들을 포함하며, 상기 전원은 상기 고압 스위칭 요소들을 통하여 상기 타겟들이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되도록 상기 타겟들에 연결된다. 이것이 타겟들에 적절한 타겟 전압을 제공하는 우아하고 간단하며 비용 효과적인 방법이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기전원은 상기 타겟들에 연결된 단일 전원이며, 특히 단일 DC 전원이다. 이것이 특히 이를 전술한 고압스위칭 요소들과 결합했을 때 타겟들에 적절한 타겟전압을 제공하는 우아하고 간단하며 비용 효과적인 방법이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기타겟들은 스퍼터되지 않은(unsputtered) 각각의 타겟들의 전면(front plane)에 의해 정의되는 평면이 상기 축에 수직인 평면과 각을 이루도록 배열되며, 특히 2° 내지 20° 사이의 각을 이루도록 배열된다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 타겟들은 원형 타겟들이다.
마지막 두 개의 구현예를 제외하고 전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 타겟들은 가장 안쪽의 원형 타겟이 적어도 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상(concentrically)으로 배열되며, 특히 상기 외측 타겟은 동일한 스퍼터링 면적을 가진다. 이 방법에 의해, 고정기판(비-회전)일지라도 우수한 균일성을 달성할 수 있다. 상기 외측 타겟들 각각이 상기 가장 안쪽의 타겟과 대략 동일한 스퍼터 면적을 가질 때, 전극 면적은 교차적인 음극-양극 운전 동안에 실질적으로 동일하게 유지되며, 이는 시스템의 전기적 안정성에 기여한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 일 구현예에서, 상기 최소 하나의 외측 타겟은 콘 표면의 회전적-대칭부를 형성하며(describes a rotationally-symmetric portion of a surface of a cone), 상기 최소 하나의 외측 타겟의 스퍼터되지 않은 전면에 수직한 표면은 상기 축에 대하여 각을 이루고 있다. 이는 향상된 타겟 활용도를 가져온다.
축을 포함하는 장치 내에서 반응성 스퍼터링에 의해 기판을 코팅하여 코팅된 기판을 제조하는 방법은,
a) 코팅될 기판을 제공하는 단계;
b) 상기 축에 대칭적 배열인 적어도 두 개 이상의 타겟들을 제공하는 단계;
c) 코팅 동안에 상기 타겟들을 음극 및 양극으로 선택적으로 운전하는 단계를 포함한다.
이 방법에 의해 “소멸 양극”문제가 해결될 수 있으며, 동시에 우수한 코팅균일성을 달성할 수 있다.
본 방법의 일 구현예에서, 상기 축에 대칭적인 상기 배열은 상기 타겟들이 그들 각각의 타겟 중심이 상기 축 주위의 소정의 반경 위에 배열되는 것을 포함한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 방법은
d) 상기 기판을 상기 코팅 동안에 상기 축 주위로 회전시키는 단계를 포함하며, 특히 상기 d)단계는 상기 c)단계 동안에 수행된다. 이는 코팅 균일성을 매우 향상시킨다. 따라서, 이 구현예는 스퍼터링 동안에 기판을 회전시킬 수 있는 가능성은 우수한 코팅, 특히 균일성 측면에서 우수한 코팅의 제조를 가능하게 하기 때문에 특히 중요하다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 본 방법은 상기 기판, 특히 유전체 코팅의 단일 기판을 코팅하는 단계를 포함하며, 특히 단일 기판을 펄스 DC 스퍼터링에 의한 금속 산화물의 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의한 코팅 단계를 포함한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 단계 c)는 상기 타겟들을 선택적으로 음극 및 양극으로 운전하기 위하여 상기 타겟들 및 전원에 연결되는 고압 스위칭 요소들을 사용하는 것을 포함하며, 특히 상기 전원은 단일 전원이며, 보다 특별하게는 단일 DC 전원이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 방법은 상기 전원을 고정전압 모드에서 운전하는 것을 포함한다. 이는 매우 안정적인 공정 조건을 달성하는 것을 가능하게 한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 코팅은 고정전압 스퍼터링에 의해 달성된다. 이 방법으로 안정적인 운전이 달성될 수 있다. 스퍼터링 동안에 특정 타겟에 인가된 전압이 변화하지 않으면, 우수한 공정 안정성이 달성될 수 있다. 여기에서, 각각의 타겟에 있어서, 스퍼터링은 타겟이 오직 음극으로 운전될 때에만 발생하며, 타겟이 양극으로 운전될 때에는 스퍼터링이 발생하지 않는다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 단계 c)는 타겟전압을 상기 타겟들에 인가하는 단계를 포함하며, 상기 방법은 기판의 내측 및 외측 영역에서 제조된 코팅 두께의 미세한 조정을 위하여 상기타겟전압의 펄스폭을 조정하는 단계를 포함한다. 펄스폭은 타겟이 음극으로 운전되는 시간간격(즉 타겟의 스퍼터링이 이루어지는 시간간격)의 비율을 결정한다. 통상적으로, 하나의 타겟이 양극으로 운전되는 동안, 하나 또는 그 이상의 타겟들은 음극으로 운전된다. 펄스폭을 조정하는 것은 최적의 균일성(제조된 코팅의)을 달성하기 위한 비교적 간단한 방법이 될 수 있다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 타겟들은 40 kHz의 주파수에서 음극 및 양극으로 선택적으로 운전된다. 상기 40 kHz와 같이 충분히 높은 스위칭 주파수는 타겟들에서의 아크를 방지한다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 타겟들은 스퍼터되지 않은 각각의 타겟들의 전면에 의해 정의되는 평면이 상기 축에 수직인 평면과 각을 이루도록 배열되며, 특히 2° 내지 20° 사이의 각을 이루도록 배열된다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 타겟들은 원형 타겟들이다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 타겟들은 대략 동일한 크기 및 형상이며, 그들 각각의 중심이 서클 상에 대략 균일하게 분포하도록 배열되고, 상기 타겟들 각각은 상기 축에 대하여 실질적으로 균등하게 배열된다.
상기 마지막 세 개의 구현예를 제외하고 전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 타겟들은 가장 안쪽의 원형 타겟이 적어도 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상으로 배열되며, 특히 상기 적어도 하나의 외측 타겟은 유사한 스퍼터 면적을 가진다.
전술한 구현예의 하나 또는 그 이상과 결합될 수 있는 본 방법의 일 구현예에서, 상기 방법에 의해 제조된 코팅은 다음으로 이루어진 그룹의 적어도 하나를 포함한다.
- 저 흡수 필름;
- 광학적 유전체 필터;
- 도파관;
- 광학적 박막;
- Al2O3 필름;
- Ta2O5 필름, 특히 SiO2 또는 Al2O3 클래딩층들에 샌드위치된 Ta2O5 필름;
- 특히 상이한 조성의 금속성 타겟들로부터의 혼합 산화물 필름.
본 발명은 본 발명에 따른 장치에 대응하는 구성을 가지는 방법을 포함하며, 그 역도 역시 포함한다.
본 방법의 장점은 대응하는 장치의 장점에 상당하며, 그 역도 역시 성립한다.
지금 기술할 특정한 관점에서 바라보면, 본 발명은 단일 기판 스퍼터링 시스템에서 안정된 필름 조성 및 우수한 균일성을 가지고 높은 스퍼터 속도를 달성하기 위하여 펄스 DC 스퍼터링에 의한 금속 산화물의 반응성 마그네트론 스퍼터링에 관한 것이다. 목표는 일반적으로 관학성 유전체 필터 또는 특히 도파관에 응용하기 위한 Al2O3 의 저 흡수 필름을 생산하는 것이다. 이는 이중 마그네트론 등과 같은 대면적 코팅 기술에서 알려진 기술을 사용하며 이를 회전 기판들 상에서의 다중 소스 증착과 결합시키며, 이는 매우 우수한 균일성 및 화학양론을 가져온다. 이는 또한 단일 음극 스퍼터링에서의 소멸 양극 문제를 방지하며, 단일 기판 스퍼터링에서 많이 사용되며, 재연성 및 안정적인 공정을 가져온다.
상기 특정한 관점으로부터, 본 발명은 다음과 같은 배경을 가진다.
금속성 타겟으로부터의 반응성 DC 스퍼터링을 위하여, 반응성 가스가 스퍼터(작업) 가스(아르곤 또는 비활성 가스)에 추가된다. 반응성 가스(산소 또는 질소와 같은)의 추가는 기본적으로 스퍼터 챔버의 모든 내부 표면을 유전체 필름으로 덮는 경향을 가지며 따라서 절연 필름을 형성한다. 이는 다시 카운터 전극의 유효 면적을 감소시킨다. 이러한 현상을 "소멸 양극"이라 부르며 안정적 운전을 위한 고정전압 모드에서 전압 범위의 드리프트(drift)를 초래하며 따라서 스퍼터 속도 및 필름 특성의 드리프트를 초래한다. 동시에, 타겟 면적 상에 유전체 물질의 일부 증착도 발생한다(타겟 오염(poisoning)). 이들 층들은 전체적인 전기적 회로에서 용량성 코팅으로 작용한다. 이는 아크를 초래하며 반응성 가스 흐름의 광범위한 범위에서 불안정한 운전을 초래한다. 산화된 타겟에서의 아크는 US 5,948,224 및 US 5,427,669에 기술된 바와 같이 타겟에서의 DC 전압을 펄스함에 의하여 극복될 수 있다. 그러나, 이 방법들은 소멸 양극의 문제점을 해결하지 못한다.
이 문제점을 해결하기 위하여, US 5,169,509에 도시된 바와 같이 AC 전압으로 운전되는 두 개의 타겟을 가지는, 따라서 양 타겟들이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되는, 이중 마그네트론이 제안되었다. 양극 상에 산화물의 퇴적은 타겟이 음극으로 스퍼터되는 동안에 제거된다. 동일한 목표가 US 5,917,286에 기재된 바와 같이 둘 또는 그 이상의 스퍼터 소스 및 전원의 스위칭에 의해 달성될 수 있다. 따라서, US 5,169,509 및 US 5,917,286 모두가 타겟들을 선택적으로 음극 및 양극으로 운전하는 것에 대한 보다 상세한 내역을 제공하기 위해 그들 전체로서 본 출원에 참조로 병합된다.
반응성 스퍼터링에서의 이들 문제점은 또한 반도체 산업에서도 만나게 되는데, 여기에서 단일 기판들은 높은 절연성 유전체에 의해 균일하게 코팅되어야 하며 광학적 코팅을 위하여 가시관 파장에서 UV에 이르기까지 낮은 흡수율을 가지는 필름이 요구된다.
평평한 마그네트론 및 반응성 펄스 DC 스퍼터링에 의한 기존의 단일 음극 스퍼터링 솔루션은, "소멸 양극"의 문제점, 얇은 산화층에 의한 타겟의 덮힘으로 인한 낮은 스퍼터 속도 및 높은 스퍼터 속도의 금속성 모드와 매우 낮은 스퍼터 속도의 산화물 모드 사이에서의 커다란 히스테리시스를 가지는 공정의 불안정 문제를 겪는다.
복잡한 공정제어 없이는 스퍼터 속도 및 필름 조성, 굴절율 및 흡수율과 같은 관련된 필름 특성의 우수한 공정 안정성을 달성하기 어렵다
고정전압에서 스퍼터하는 것이 제안되었으며(R. Mac Mahon et.al. in J. Vac. Sci. Technol. 20(1982), p376), 이는 추가적인 가스흐름 제어와 함께 어느정도 도움이 되었으나 양극에서의 변화하는 조건의 문제점을 제거하지는 못하였다. 따라서 종래기술은 실질적인 스퍼터링 전에 전압 또는 전력의 조정을 제안하며, 이는 공정을 재연성있는 자동화 방법에 의해 운전하는 것을 어렵게 한다.
고정식의 음극 대 기판 배열(stationary cathod-to-substrate arrangement)에서, 기판상의 두께 균일성에 유익한 침식 프로파일은 산화된 타겟층과 스퍼터된 금속성 타겟영역 사이의 경계에서 아크를 초래하는 산화층의 부분적 증착을 최소화시키는 침식 프로파일과 충돌한다.
상기 특정한 관점에서 볼 때 본 발명의 제1양상에서, 이러한 문제점들의 해결은 다음 요소들의 적어도 두 개의 결합에 기초한다.
● 소멸양극의 문제점은, 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되는 적어도 두 개의 스퍼터 소스들(타겟들)에 의해 해결된다. 단일 전원이 고압 스위칭 요소들에 의해 양쪽 스퍼터 소스들에 연결되며, 따라서 이들을 선택적으로 음극 및 양극으로 운전 가능하게 한다. 충분히 높은 스위칭 주파수에 의해 타겟 전압의 아크가 방지된다.
● 우수한 균일성은 처리된 기판의 회전 및 음극들의 회전축에 대한 대칭적 배치에 의해 해결된다. 우수한 균일성은 타겟중심과 회전축 사이의 거리, 타겟중심과 기판 표면 사이의 거리 및 타겟표면과 기판표면 또는 회전축 사이의 각도의 적절한 선택에 의해 달성된다.
● 기판을 향하여 음극들의 각을 이루는 배열은, 코팅될 기판으로 스퍼터된 물질의 이송의 높은 효율에 대해 추가적인 이점을 가진다.
● 타겟의 완전한 침식(full erosion)을 위하여 디자인된 회전 마그넷 시스템의 회전 타겟 상에서 깨끗한 타겟표면이 달성되며, 따라서 산화물이 퇴적되지 않는다. 이는 균일성이 침식 프로파일과는 독립적으로, 스퍼터소스 배열의 기하학적 구조에 의해 제어되기 때문에 가능하다.
● 타겟들을 높은 전력밀도(기판 크기보다 상당히 큰 단일 타겟과 비교하여 작은 전체 타겟 면적으로 인하여)에서 운전함에 의하여, 기판을 완전히 산화시키거나 반응성 스퍼터 층을 증착하기에 충분한 반응성 가스분압을 가지고도 타겟의 산화가 더욱 감소된다.
● 커다란 펌프 단면적 및 고정전압 스퍼터링의 사용에 의하여 산화물의 반응성 스퍼터링에 내재하는 히스테리시스가 방지된다.
● 시스템은 높은 스퍼터 속도를 위하여, 원형배열로 된 두 개 이상의 음극들을 사용함으로써 더욱 최적화될 수 있다. 최대 스퍼터 속도는 열 전도도 및 단위 음극 면적의 비출력(specific power)에 의해 결정되는 타겟들의 온도에 의해 일반적으로 제한된다. 이 경우에 있어서, 하나의 스퍼터 소스가 음극으로 운전되고 다른 것들은 양극으로 운전되도록 스위칭이 수정되어야 한다. 이는 산화상태에서 서로 다른 음극들 사이의 스퍼터 속도의 불균형을 방지하는데 도움을 준다.
● 기판측에서 반응성 가스의 대칭적 인입(inlet)은 높은 스퍼터 속도에서 낮은 흡수율의 화학양론적 필름을 달성하는데 도움을 준다. 이는 또한 모든 타겟들에서 유사한 스퍼터 조건들을 유지하는데 도움을 준다.
● 증착의 초기부터 안정적인 조건을 달성하기 위하여는, 바람직하게는 로드락(load lock) 및/또는 이송챔버를 통하여 기판들을 투입함에 의하여 우수한 진공이 유지되어야만 한다. 선택적으로 또는 추가적으로, 셔터가 타겟과 기판 사이에 삽입될 수 있으며 셔터 뒤에서 스퍼터링함에 의하여 안정적인 운전이 달성될 수 있다. 스퍼터 전력 및 타겟 산화가 안정되자마자, 셔터가 개방될 수 있으며, 필름이 기판상에 증착될 수 있다. 우수한 진공은 또한 스퍼터 챔버나 이송챔버 내에서 마이스너 트랩(Meissner traps)을 사용함에 의해 달성될 수 있다.
상기 특정한 관점에서 볼 때 본 발명의 제 2 양상에서, 상기 기술된 배열(제1 양상)에 대안적으로, 다음의 배열이 제안된다.
● 타겟들을 서클상에 배열하고 기판을 회전하는 대신에, 타겟들은 가장 안쪽의 원형 타겟이 유사한 스퍼터 면적을 가지는 적어도 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸여 동심원상으로 배열된다.
● 단일전원이 고압 스위칭 요소들에 의해 스위치된다. 타겟전압의 아크가 충분히 높은 스위칭 주파수에 의해 방지된다.
● 모든 타겟상에 동일한 전력밀도를 가지도록 우수한 균일성을 제공하는 기하학적 구조(타겟 기판 거리, 타겟반경)를 선정함에 의해 우수한 공정안정성이 달성된다. 최적의 균일성을 달성하기 위해, 기판의 내측 및 외측 영역에서 필름두께의 미세한 조정을 위하여 서로 다른 타겟상에서 펄스폭이 조정될 수 있다.
● 이러한 배열의 장점은, 비록 비대칭적 가스 인입 및 펌프 구조에 의해 야기되는 불균형한 반응성 가스공급에 의한 두께편차의 감소에는 도움이 될 수 있지만, 기판의 회전이 필요 없다는 것이다.
● 타겟의 완전한 침식을 위하여 디자인된 회전 마그넷 시스템의 회전 타겟 상에서 깨끗한 타겟표면이 달성되며, 따라서 산화물이 퇴적되지 않는다. 이는 균일성이 침식 프로파일과는 독립적으로, 스퍼터소스 배열 및 펄스폭의 기하학적 구조에 의해 제어되기 때문에 가능하다.
● 비교적 작은 타겟들을 사용함에 의한 높은 전력 밀도, 고정전압 스퍼터링의 사용, 보다 낳은 균일성 제어를 위하여 대칭적 가스 인입 및 둘 이상의 음극의 사용 등과 같은 제1 양상의 다른 양상들 또한 본 배열에서 유효하다.
● 기판에 평행한 평면에서 동심원상으로 타겟들이 배열될 수 있다. 보다 낳은 물질 활용을 위하여, 외측 타겟들은 기판 중심을 향하여 수직으로 면하는 타겟을 가지는 콘 형상(콘 표면이 회전적-대칭부를 형성하는)일 수 있다.
● US 4,622,121에 기재된 바와 같이 기계적 설치를 단순화하기 위하여 회전 마그넷 시스템이 단일 회전 플랫폼 상에 장착될 수 있다.
따라서, 회전 마그넷 시스템의 보다 상세한 내역을 제공하기 위하여 US 4,622,121은 전체로서 본 출원에 통합된다.
다수의 음극의 사용은, 상이한 조성의 금속성 타겟들로부터 혼합 산화물의 반응성 스퍼터링을 가능하도록 한다. 그러나 이 경우에 있어서, 단순한 고정전압 스퍼터링은 작동하지 않을 수 있으며(또는 만족스럽게 작동하지 않음), 분압 조정, 전력 또는 펄스폭의 조정에 의한 각각의 물질에 대한 펄스 당 에너지의 조정 등과 같은 다른 공정 제어와 결합되어야만 한다.
추가적인 구현예 및 장점들이 종속 청구항 및 도면들로부터 도출된다.
도 1은 반응성 스퍼터 히스테리시스 곡선이다(고정 전력에서 방전 전압 대 O2 흐름).
도 2는 진공 증착 시스템의 단면도이다.
도 3은 타겟 전압 생성과 관련된 측면을 강조하는 본 장치의 블록-다이아그램적인 도시이다.
도 4는 고정 전력에서 DC 전원에 의한 예비-실험 결과를 도시한 것이다.
도 5는 고정 전압 스퍼터링의 결과를 도시한 것이다.
도 6은 실험적 샘플들의 필름 특성(파장의 함수로서 굴절율 n)이다.
도 7은 실험적 샘플들의 필름 특성(파장의 함수로서 k)이다.
기술된 구현예들은 예시의 목적이며 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
도2는 진공증착 시스템의 단면을 도시한다. 진공증착 시스템(다중소스)은 펌프들(미도시) 및 웨이퍼 핸들러나 기판 로봇등과 같은 로드/언로드(load/unload) 수단들(생략)을 위한 포트들(3, 4)을 구비한 로드/언로드 용기(enclosure, 2)를 포함한다. 기판 캐리어(substrate carrier, 5)는 원형 또는 직사각형 또는 정사각형 형상의 웨이퍼들(실리콘, 유리 등)과 같은 기판들(14)을 수용할 수 있는 형상으로 이루어져 있다. 기판 캐리어(5)는 도 2에 도시된 바와 같이 기판들(14)을 낮은 위치에서 수용하거나 이송하고 상승된 위치에서 클램프(clamp)하여 공정챔버(7)로 노출하기 위하여, 리프팅 메커니즘에 의하여 화살표 6으로 표시된 바와 같이 이동가능하도록 디자인될 수 있다. 기판캐리어(5)는 스프링이나 웨이트 링(weight ring)과 같은 기계적 클램핑 수단일 수 있으며 또는 정전기적 척(electrostatic chuck)으로 디자인 될 수도 있다. 특정한 구현예에서, 기판캐리어(5)는 기판을 회전시킬 수 있는 수단을 제공할 수 있다. 이는 기판캐리어 위에서 작동하여 이를 중심축(8) 주위로 회전시키는 모터에 의하여 달성될 수 있다. 이 모터와 리프팅 메커니즘은 하나의 유닛으로 제작되는 것이 바람직하다.
공정챔버(7)는 기본적으로 바닥부(기판캐리어, 5), 측벽 요소들(sidewall elements, 9) 및 상부 또는 커버(10)에 의해 형성되어 있다. 상부(10)에는 셋 또는 그 이상의 스퍼터 음극들이 배열된다(11, 12, ...)(도2에는 2개의 단면을 도시). 상부(10)의 내측 표면(13)은 모든 타겟들에서 동일하며 각각의 타겟중심과 관련있는, 회전 대칭축(8)을 가지는 평평한 콘(cone) 형상을 나타낸다. 음극들(11, 12, ..)은 대칭축(8) 주위 소정의 반경 위에 배열된다. 도2에서 가스 인입구와 전기배선은 생략되었다.
기판크기의 일 예는 8“웨이퍼(약 20cm)이나, 기판 캐리어(5)(및 전체 시스템)는 30cm의 웨이퍼 또는 유리기판을 수용할 수 있도록 해석될 수 있다. 시스템은 10cm 기판(4”)과 같은 작은 기판들에 적합하도록 디자인될 수 있으며, 당업자는 여기에서 제시된 원리에 따라 시스템의 크기를 선택할 수 있다.
200mm 기판크기에서, 타겟-기판 거리를 100 내지 170mm 사이에서 선택하는 것이 바람직하다. 음극들(11, 12)에서 사용되는 타겟들의 직경은 150mm가 바람직하나, 70 내지 160mm 사이일 수도 있다. 타겟중심(음극에서)과 대칭축(타겟편심) 사이의 최소거리는 통상적으로 기판 반경보다 다소 크며, 최적의 균일도 또는 최적의 증착효율을 위하여 타겟 기판 거리 및 경사각도와 함께 변경될 수 있다. 최적의 기하학적 구조가 컴퓨터 시뮬레이션에 의하여 계산되었으며 측정된 균일도와 양호한 일치를 나타낸다. 대칭축(8)에 수직인 평면과 스퍼터되지 않을 타겟 전면에 의해 정의되는 평면 사이의 타겟각도는 15°로 선정되었으나, 2° 내지 20° 사이에서 조정될 수 있다.
150mm의 타겟직경, 140mm의 타겟편심, 130mm의 타겟 기판 거리 및 15°의 타겟각도를 가지는 3개의 음극을 구비한 일 구현예에서, ±1%의 균일도가 달성되었다.
도3은 타겟전압의 생성과 관련된 면을 강조한 특히 고압 스위칭 요소들을 가지는 스퍼터 전원을 표시한, 장치의 불럭-다이아그램을 도시한다. 도 3에 도시된 바와 같은 스위칭 스킴(scheme)을 가지는 정규 DC 전원(15)이 사용될 수 있다. 40kHz로 스위치된 두 개의 Al 타겟들에서 스퍼터링이 수행되었다. 스위치된 두 개의 Al 타겟들에서 1.3 nm/sec/kW의 스퍼터 속도가 달성되었다.
도3은 DC 전원을 도시하며, 여기에서 4개의 스위치들에 의해 두 개의 타겟들(11, 12)이 음극 또는 양극 또는 전체가 음극들 또는 양극들로 스위치 될 수 있다.
이러한 스킴은 둘 이상의 타겟들에 용이하게 확장될 수 있으며, 특히 4개의 타겟들이 차례로 스위치 될 수 있는데, 하나 또는 그 이상의 나머지 타겟들은 양극으로 스위치된다. 4개의 타겟들을 낮은 듀티싸이클로 높은 피크 전력에서 운전하는 것이 우수한 타겟 침식을 위하여 바람직하다. 넓은 양극 면적 역시 바람직할 것이다. 공정 안정성을 달성하기 위하여, 전원은 고정전압 모드에서 운전되어야 한다. 도4는 고정전력에서 DC전원에 의한 사전-실험결과를 도시하며, 특히 전압 및 압력 대 반응성 가스 흐름의 그래프를 도시한다. 이러한 실험들은 DVD 스프린터(상업적으로 구입가능한 시스템)상에 다중소스 콰트로(quattro)에 의해 수행되었다. Al의 스퍼터 속도는 1.5 nm/sec/kW(DC)이었다. 산화물 모드에서의 DC 스퍼터링이 고정전력 0.08 nm/sec/kW 에서 수행되었다.
도 5는 고정전압 스퍼터링의 결과를 도시한다. 고정전압 스퍼터링은 총 전력 < 2 kW로 제한되었다. 420V 및 12 sccm O2 흐름에서, 높은 속도의 산화물 모드가 존재허였다. 안정적인 운전이 달성되었다. 0.6 nm/sec의 스퍼터 속도는 0.8-0.9 kW의 전력을 필요로 하였다. 전압, 전력 관계는 세틀링 타임을 필요로 하였다(대략 10분의 시간정수)
도 6은 실험적 샘플들, 특히 도 2 내지 5와 관련하여 논의된 방법으로 마련된 샘플들의 필름 특성(파장의 함수로서의 굴절율 n)을 도시한다. 도 7은 동일한 실험적 샘플들의 필름특성(파장의 함수로서 k)을 도시한다. 특정한 스퍼터는 예견된 수치범위 내에 있으며, 특히 산화물에서 0.8 nm/sec/kW이었다. 1 kW까지 안정적인 운전이 달성되었다. 120 mm의 직경에서 최소 +/- 3.2%의 균일도가 달성되었다. 633 nm에서 반사율 n은 n=1.63-1.65, k는 k<le-3에 상당하였으며, 후자는 공정에 의하여 최적화 될 수 있다(예를들어, 펌프 시간을 조절하는 등으로).

Claims (30)

  1. 축(8), 상기 축(8)에 대칭적으로 배열되는 최소 두 개의 타겟들(11,12), 기판(14)을 운송하는 기판 캐리어(5), 상기 기판 캐리어(5)를 상기 축(8) 주위로 회전시키는 수단, 고정전압 스퍼터링을 사용하여 기판의 반응성 스퍼터링을 안정화하도록 구성된 안정화 메카니즘 및 상기 타겟들(11,12)에 연결되는 전원(15)을 포함하는 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치(1)로서, 상기 코팅은 고정전압 스퍼터링에 의해 수행되고, 상기 전원(15)은 상기 타겟들을 음극 및 양극으로 선택적으로 운전하도록 구성되며, 상기 스퍼터링 동안, 타겟이 음극으로 운전될 때 특정 타겟에 인가된 전압은 변하지 않으며, 상기 타겟들(11,12)의 전면들은, 스퍼터되지 않을 때, 상기 전면들이 상기 축(8)에 수직인 평면에 대하여 각지게 배열되고, 상기 축(8)에 수직인 평면에 대한 상기 타겟들(11,12)의 각진 스퍼터되지 않은 전면의 각은 2°내지 20°사이인 것을 특징으로 하는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 축(8)에 대칭적인 배열은 상기 타겟들(11,12) 각각의 타겟 중심이 상기 축(8) 주위의 서클 위에 배열되는 것을 포함하는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 장치(1)는 기판(14) 코팅용 장치인, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 고압 스위칭 요소들을 포함하며, 상기 전원(15)은 상기 타겟들(11,12)이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전 가능하도록 상기 고압 스위칭 요소들에 의해 상기 타겟들(11,12)에 연결되는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전원(15)은 상기 타겟들(11,12)에 연결되는 단일 전원(15)인, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 각각의 타겟(11,12)의 스퍼터되지 않은 전면에 의해 정의되는 평면이 상기 축(8)에 수직인 평면과 각을 이루도록 배열되는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 원형 타겟들인, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 가장 안쪽의 원형 타겟이 최소 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상으로 배열되는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 최소 하나의 외측 타겟은 콘 표면의 회전적-대칭부를 형성하며, 상기 최소 하나의 외측 타겟의 스퍼터되지 않은 전면에 수직한 표면은 상기 축(8)에 대하여 각을 이루는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  10. 축(8)을 포함하는 장치(1) 내에서 반응성 스퍼터링에 의해 기판(14)을 코팅함으로써 코팅된 기판(14)을 제조하는 방법에 있어서, 상기 방법은
    a) 코팅될 기판(14)을 제공하는 단계;
    b) 상기 축(8)에 대칭적 배열인 최소 두 개 이상의 타겟들(11,12)을 제공하는 단계;
    c) 코팅 동안에 상기 타겟들(11,12)을 음극 및 양극으로 선택적으로 운전하는 단계;
    d) 상기 코팅 동안에 상기 축(8) 주위로 상기 기판(14)을 회전시키는 단계; 및
    e) 고정 전압 스퍼터링을 사용한 안정화 메카니즘에 의해 기판의 반응성 스퍼터링을 안정화하는 단계를 포함하고, 상기 코팅은 고정전압 스퍼터링에 의해 수행되며, 상기 스퍼터링 동안, 타겟이 음극으로 운전될 때, 특정 타겟에 인가된 전압은 변하지 않으며, 상기 타겟들(11,12)의 전면들은, 스퍼터되지 않을 때, 상기 전면들이 상기 축(8)에 수직인 평면에 대하여 각지게 배열되고, 상기 축(8)에 수직인 평면에 대한 상기 타겟들(11,12)의 각진 스퍼터되지 않은 전면의 각은 2°내지 20°사이인 것을 특징으로 하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 축에 대칭적 배열은 상기 타겟들(11,12) 각각의 타겟 중심이 상기 축(8) 주위 소정의 반경 위에(on a defined radius) 배열되는 것을 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 기판(14)을 코팅하는 단계를 포함하며, 펄스 DC 스퍼터링에 의한 금속 산화물의 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의해 기판(14)을 코팅하는 단계를 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  13. 제10항 또는 제11항에 있어서, 단계 c)는 코팅 동안에 상기 타겟들(11,12)이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되도록 상기 타겟들(11,12) 및 전원(15)에 연결되는 고압 스위칭 요소들을 사용하는 것을 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  14. 제10항 또는 제11항에 있어서, 단계 c)는 타겟전압을 상기 타겟들(11,12)에 인가하는 단계를 포함하며, 상기 방법은 기판의 내측 및 외측 영역에서 제조된 코팅 두께의 미세한 조정을 위하여 상기 타겟전압의 펄스폭을 조정하는 단계를 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  15. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 40 kHz 의 주파수에서 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  16. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 원형 타겟인, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  17. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 각각의 타겟(11,12)의 스퍼터되지 않은 전면에 의해 정의되는 평면이 상기 축(8)에 수직인 평면과 각을 이루도록 배열되는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  18. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 가장 안쪽의 원형 타겟이 최소 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상으로 배열되는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  19. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 방법에 의해 제조된 코팅은 다음으로 이루어진 그룹의 적어도 하나를 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
    - 저 흡수 필름;
    - 광학적 유전체 필터;
    - 도파관;
    - 광학적 박막;
    - Al2O3 필름;
    - Ta2O5 필름;
    - 상이한 조성의 금속성 타겟들로부터의 혼합 산화물 필름.
  20. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 장치(1)는 유전체 코팅의 단일기판(14) 코팅용 장치인, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  21. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 장치(1)는 펄스 DC 스퍼터링에 의한 금속 산화물의 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치(1)인, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  22. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전원(15)은 상기 타겟들(11,12)에 연결되는 단일 DC 전원(15)인, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  23. 삭제
  24. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 가장 안쪽의 원형 타겟이 최소 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상으로 배열되며, 상기 외측 타겟은 유사한 스퍼터 면적을 가지는, 반응성 스퍼터링에 의한 기판 코팅용 장치.
  25. 제10항 또는 제11항에 있어서, 유전체 코팅의 단일기판(14)을 코팅하는 단계를 포함하며, 펄스 DC 스퍼터링에 의한 금속 산화물의 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의해 단일기판(14)을 코팅하는 단계를 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  26. 제10항 또는 제11항에 있어서, 단계 c)는 코팅 동안에 상기 타겟들(11,12)이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되도록 상기 타겟들(11,12) 및 전원(15)에 연결되는 고압 스위칭 요소들을 사용하는 것을 포함하며, 상기 전원(15)은 단일 전원(15)인, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  27. 제10항 또는 제11항에 있어서, 단계 c)는 코팅 동안에 상기 타겟들(11,12)이 선택적으로 음극 및 양극으로 운전되도록 상기 타겟들(11,12) 및 전원(15)에 연결되는 고압 스위칭 요소들을 사용하는 것을 포함하며, 상기 전원(15)은 단일 DC 전원(15)인, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  28. 삭제
  29. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 타겟들(11,12)은 가장 안쪽의 원형 타겟이 최소 하나의 링-형상 외측 타겟에 둘러싸인 동심원상으로 배열되며, 상기 최소 하나의 외측 타겟은 유사한 스퍼터 면적을 가지는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
  30. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 방법에 의해 제조된 코팅은 다음으로 이루어진 그룹의 적어도 하나를 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법.
    - 저 흡수 필름;
    - 광학적 유전체 필터;
    - 도파관;
    - 광학적 박막;
    - Al2O3 필름;
    - SiO2 또는 Al2O3 클래딩 층들(cladding layers)에 샌드위치된 Ta2O5 필름;
    - 상이한 조성의 금속성 타겟들로부터의 혼합 산화물 필름.
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