KR101853404B1 - 흄 배기장치 및 이를 갖는 기판식각장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 저장기에 설치되어, 기판을 식각한 후 낙하되는 식각액을 사방으로 흐르도록 안내하는 안내부; 및 상기 안내부에 설치되어, 상기 식각액이 안내되는 영역으로부터 벗어나는 위치에서 상기 식각시 발생되는 흄을 흡입하여 외부로 배기하는 흄 배기부를 포함하는 흄 배기장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 상기 흄 배기장치; 및 상기 저장기의 상부에 배치되며, 이송되는 기판에 대하여 식각액을 사용하여 습식식각처리를 수행하는 식각부를 포함하는 기판식각장치도 제공한다.

Description

흄 배기장치 및 이를 갖는 기판식각장치{APPARATUS FOR EXHAUSTING HUME AND SUBSTRATE ETCHING APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 흄 배기장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 식각시 발생되는 흄이 장치의 하부에 잔류되는 것을 효율적으로 방지할 수 있는 흄 배기장치 및 이를 갖는 기판식각장치에 관한 것이다.
일반적으로, 태양전지(Solar Cell)는 빛 에너지를 직접 전기 에너지로 변환하는 반도체 소자의 하나로서, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)를 가공하여 전자(electron)와 정공(hole)이 각각 구비되는 다른 극성의 N(negative)형 반도체 및 P(positive)형 반도체를 접합시키고 전극을 형성함으로써, P-N접합에 의한 태양광 발전의 원리를 이용하여 빛 에너지에 의한 전자의 이동을 통해 전기 에너지를 생산하게 되는 광전지이다.
상기와 같은 태양전지는 다수개가 서로 연결 설치되어 하나의 모듈(module)을 형성하게 되고, 상기 다수개의 모듈을 직렬과 병렬로 연결하여 태양전지 패널(panel)을 구성하여 전력을 생산하게 되는 태양전지 어레이(array)의 가장 최소 단위의 기본 소자이다.
통상, 태양전지 제조공정은 상기와 같이 제조된 기판의 광 흡수율을 높이기 위한 표면조직화공정, P-N접합을 형성시키는 도핑공정, 불순물을 제거하는 산화막 제거공정, 광반사 손실을 줄이기 위한 반사방지막 형성공정, P-N접합 분리공정, 전후면 전극 인쇄공정과 같은 다수의 단위 공정을 포함한다.
상기 제조공정 중, 도핑공정은 P-N접합을 형성하기 위해 의도적으로 첨가물을 고온에서 기판에 확산시켜 P층과 N층을 형성하는 단계이고, P-N접합 분리공정은 누설 전류의 발생을 방지하기 위해 기판 외측부의 N층 일부를 분리 제거하는 단계이다.
이는 레이저 빔을 이용한 레이저 분리법(laser isolation), 또는 플라즈마를 이용하여 다수매의 기판을 동시에 처리하는 플라즈마 식각법(plasma edge isolation), 또는 식각액을 이용한 습식 식각법(wet etch)을 통해 기판을 식각 처리한다.
상기와 같은 도핑공정이 완료된 기판은 P층 웨이퍼의 외주면 전체를 N층이 둘러싸고 있는 형태이기 때문에 N층의 일부를 분리 또는 제거함이 요구된다.
여기서, 종래에는 식각액을 기판의 하면에 공급하여, 기판의 하면을 식각한다.
그리고, 기판의 하면을 식각한 이후의 식각액은 하방에 위치된 베쓰에 낙하되고, 외부로 흐름이 안내되어 배출된다.
이와 동시에, 식각액의 공급을 통하여 기판의 하면을 식각하면서 또는 식각한 이후에 흄이 발생되고, 이는 장치의 측벽과 같은 벽체에 마련되는 배기홀을 통해 외부로 배기된다.
그러나, 종래에는 베쓰로 낙하하여 흐르는 동안에 기판의 하부에서 발생되는 흄은 장치의 내부에 그대로 잔류되는 문제점이 있다.
즉, 종래에는, 기판이 식각존을 통과하는 경우에 배기홀측으로의 기류 유동이 제한되므로 흄이 원활하게 배기되지 못하는 문제점이 있다.
종래의 기판식각장치에 구비되는 배기홀을 포함한 배기수단은 기판의 하부에서 발생된 흄이 기판 자체에 가로 막혀 배기홀측으로 유동되지 못하는 문제점을 갖는다.
본 발명의 목적은, 기판의 하면을 식각한 후 낙하되는 식각액을 사방으로 흐로도록 안내함과 아울러, 장치의 하부에 흄을 외부로 배출시킴으로써, 장치의 하부에 흄이 잔류되는 것을 방지할 수 있는 흄 배기장치 및 이를 갖는 기판식각장치를 제공함에 있다.
일 양태에 있어서, 본 발명은 저장기에 설치되어, 기판을 식각한 후 낙하되는 식각액을 사방으로 흐르도록 안내하는 안내부; 및 상기 안내부에 설치되어, 상기 식각액이 안내되는 영역으로부터 벗어나는 위치에서 상기 식각시 발생되는 흄을 흡입하여 외부로 배기하는 흄 배기부를 포함하는 흄 배기장치를 제공한다.
다른 양태에 있어서, 본 발명은 상기 흄 배기장치; 및 상기 저장기의 상부에 배치되며, 이송되는 기판에 대하여 식각액을 사용하여 습식식각처리를 수행하는 식각부를 포함하는 기판식각장치를 제공한다.
본 발명은 기판의 하면을 식각한 후 낙하되는 식각액을 사방으로 흐로도록 안내함과 아울러, 장치의 하부에 흄을 외부로 배출시킴으로써, 장치의 하부에 흄이 잔류되는 것을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 기판 식각 장치를 포함하는 기판 제조 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 흄 배기장치를 포함하는 식각영역을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따르는 안내부를 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 안내부를 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 흄 배기장치를 보여주는 측면도이다.
도 6은 본 발명에 따르는 안내면의 형상을 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따르는 안내면의 다른 형상을 보여주는 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따르는 흄 배기부의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따르는 흄 배기부의 또 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따르는 안내부의 승강 위치가 조절되는 예를 보여주는 사시도이다.
도 11은 승강조절수단의 일예를 보여주는 단면도이다.
도 12는 본 발명에 따르는 저장기의 경사에 따른 안내부를 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명에 따르는 안내부재가 탈착 가능한 예를 보여주는 도면이다.
도 14는 본 발명에 따르는 안내부의 다른 예를 보여주는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 흄 배기장치 및 이를 갖는 기판식각장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 기판 식각 장치를 포함하는 기판 제조 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
본 발명의 기판 식각 장치는 태양 전지를 제조하는 장치에 채택될 수 있다.
도 1을 참조 하면, 상기 기판 제조 장치는 로딩 영역과, 식각 영역과, 린스 영역과, 건조 영역 및 언로딩 영역을 포함한다.
상기 로딩 영역은 기판(10, 도 5참조)이 로딩되는 영역이다. 여기서, 상기 로딩되는 기판(10)의 하면에는 전기적 특성을 얻도록 반도체 불순물을 첨가된 영역, 즉 도핑 영역이 형성된다.
성기 식각영역은 본 발명의 기판식각장치가 설치되는 영역이고, 상기 기판식각장치는 상기 기판(10)의 하면에 식각액을 공급하여, 기판(10)의 하면에 형성된 도핑 영역을 제거한다. 상기 식각영역의 구성을 하기에 설명한다.
상기 식각액은 HF + HNO3 + DI로 구성된 약액일 수 있다.
상기 린스 영역은 제 1린스 영역과, 중화 영역 및 제 2린스 영역을 포함한다.
상기 제 1린스 영역에서는 도시되지 않은 제 1린스 장치를 통해 식각이 완료된 기판(10)의 하면에 순수를 공급하고, 기판(10)의 하면에서의 얼룩 및 오염을 방지한다.
상기 중화 영역에서는 KOH와 순수가 서로 혼합된 중화액을 기판(10)의 하면에 공급하여, 기판(10)의 하면을 중화시킨다.
그리고, 상기 제 2린스 영역에서는 도시되지 않은 제 2린스 장치를 통해 상기 중화가 완료된 기판(10)의 하면에 순수를 공급하여, 기판(10)의 하면을 2차 세정한다.
상기 건조 영역에서는 상기 2차 세정된 기판(10)을 전달 받아, 도시되지 않은 건조 장치를 통해 기판(10)의 표면을 건조시킨다.
상기 언로딩 영역에서는 상기 건조된 기판(10)을 전달 받아 이를 외부로 배출한다.
도 2는 본 발명의 흄 배기장치를 포함하는 식각영역을 보여준다.
도 2를 참조 하면, 본 발명의 흄 배기장치는 식각영역에 채택된다.
상기 식각영역은 본체(20)와, 식각부(30) 및 흄 배기장치를 갖는다.
상기 본체(20)에는 기판(10)이 인입되는 인입구(21)가 형성된다.
상기 식각부(30)는 본체(20)에 설치되며, 인입구(21)를 통해 인입된 기판(10)을 이송하면서, 식각액을 기판(10)의 하면에 공급한다.
상기 식각부(30)는 저장기(50)에 설치된다. 상기 저장기(50)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 일정 길이를 갖는다. 상기 식각부(30)는 상기 저장기(50)의 다수 위치에 설치된다.
상기 저장기(50)는 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF) 또는 PP수지 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
도면에 도시되지 않았지만, 상기 식각부(30)는 기판(10)의 하면에 식각액을 공급하도록 슬릿바 타입으로 형성된다.
그리고, 상기 기판(10)은 이송부인 별도의 구동롤러(미도시)에 하여 일정 속도로 이송될 수 있다.
또한, 상기 기판(10)의 하면을 식각한 이후의 식각액은 낙하하여, 저장기(50)에 의하여 유동이 안내된 이후에, 별도의 배출수단에 의해 외부로 배출된다.
상기 저장기(50)는 베쓰인 것이 바람직하다.
상기 저장기(50)는 상부가 개구되고 바닥면(51)과 사방이 에워싸이도록 형성된다.
상기 바닥면(51)은 상기 식각액이 일방향으로 유동될 수 있도록 경사지도록 형성된다.
상기 저장기(50)의 바닥면(51) 일측에는 유동되는 식각액을 외부로 배출하기 위한 다수의 식각액배출홀(미도시)이 형성된다. 상기 다수의 식각액배출홀은 외부의 배출수단(미도시)과 연결된다.
상기 배출수단은 상기 각 식각액배출홀과 연결되어 식각액의 배출을 안내하는 배출튜브와, 배출튜브 상에 설치되며, 상기 안내되는 식각액을 외부로 배출하는 배출펌프로 구성될 수 있다.
상기의 식각영역의 내부에는, 기판(10)의 하면을 식각한 이후에, 흄이 발생된다.
상기 흄은 본 발명에 따르는 흄 배기장치(1)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
도 2 및 도 3에 도시되는 바와 같이, 상기 흄 배기장치는 다수의 안내부(1)와, 흄 배기부(300, 도 4참조)로 구성될 수 있다.
상기 각 안내부(1)는 저장기(50)의 바닥면(51)에 일정 간격 또는 불규칙한 간격으로 배치된다.
상기 각 안내부(1)는 기판(10)의 하면을 식각한 이후에 낙하되는 식각액을 사방으로 흐르도록 안내한다.
상기 각 안내부(1)의 구성을 상세하게 설명한다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따르는 안내부의 구성을 보여준다.
도 3을 참조 하면, 본 발명에 따르는 안내부(1)는 저장기(50)의 바닥면(51)에 설치되는 지지부재(200)와, 상기 지지부재(200)의 상단에 설치되는 안내부재(100)로 구성된다.
상기 지지부재(200)는 원기둥 또는 원통 형상으로 형성되는 것이 좋다. 상기 지지부재(200)의 높이는 상기 저장기(50)의 내부에 낙하되어 일시적으로 저장되는 식각액의 저장 수위의 상부로 노출될 수 있는 높이로 설정되는 것이 좋다.
상기 안내부재(100)는 상기 지지부재(200)의 상단에 설치된다.
상기 안내부재(100)는 하면에 커버면(120)이 형성되고, 상단부에 상기 커버면(120)의 둘레를 잇고, 식각액의 유동을 하방으로 안내하는 안내면(110)을 갖는 몸체로 구성된다.
상기 커버면(120)은 상기 지지부재(200)의 상단과 연결되고, 지지부재(200)와 직교를 이루도록 형성된다.
상기 커버면(120)의 횡단면적은 지지부재(200) 둘레의 횡단면적보다 크게 형성된다. 상기 커버면(120)은 지지부재(200)의 상단을 커버하도록 형성된다.
상기 커버면(120)은 상기 흄 배기부(300)의 흄 배기홀(310)로 식각액이 유입되는 것을 방지한다.
한편, 상기 안내면(110)은 상방으로 볼록하도록 형성된다. 상기 안내면(110)은 상단에서 하단을 따라 점진적으로 퍼지도록 형성되어, 기판(10)의 하면에 공급된 후 낙하되는 식각액을 저장기(50)의 바닥면(51)으로 흐르도록 안내한다.
즉, 상기 안내면(110)은 상기 낙하되는 식각액을 지지부재(200)의 둘레로부터 외측으로 일정 거리를 이루는 위치로 흐르도록 안내한다.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따르는 안내면의 다양한 형상을 보여준다.
본 발명에 따르는 안내면(111)은 기판(10)의 하면을 식각한 이후에 낙하되는 식각액을 하방으로 유동되도록 안내하는 역할을 한다.
도 6에 도시되는 바와 같이, 안내면(111)은 상방으로 볼록한 형상으로 형성되며, 상단에서 하방을 따라 일정 곡률을 형성할 수 있다. 즉, 반구 형상으로 형성될 수도 있다.
도 7에 도시되는 바와 같이, 안내면(112)은 상단이 뾰족한 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 안내면(112)은 원뿔 형상으로 형성될 수 있다. 상기 원뿔 형상으로 형성되는 경우, 안내면은 직선을 이룰 수도 있고, 상방으로 볼록한 곡면으로 형성될 수도 있다.
본 발명에 따르는 안내면(111,112)은 식각액을 하방으로 유동시킬 수 있는 구조이면, 상기 구조 이외에 다른 구조로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르는 흄 배기부(300)는 식각액이 안내되는 영역으로부터 벗어나는 위치에서 기판(10)의 하면을 식각하는 경우 발생되는 흄을 흡입하여 외부로 배기한다.
도 3 및 도 4를 참조 하면, 상기 흄 배기부(300)는 저장기(50)의 바닥부 근방에 발생되는 흄을 흡입하는 흄 배기홀들(310)을 포함한다.
상기 흄 배기홀들(310)은 상술된 지지부재(200)의 둘레에 형성될 수 있다. 상기 흄 배기홀들(310)의 형성 위치는 서로 동일 레벨을 형성할 수도 있고, 서로 동일하지 않은 레벨로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 흄 배기홀들(310)의 홀 직경은 서로 동일할 수도 있고, 서로 다르게 형성될 수도 있다.
또한, 상기 흄 배기홀(310)의 형상은 원형 또는 타원형, 일정길이의 장홀 등의 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르는 지지부재(200)는 커버면(120)에 의해 상단이 커버될 수 있다. 따라서, 안내면(110)을 따라 흐르는 식각액은 안내면(110)을 따라 하방으로 퍼지도록 유동되고, 지지부재(200)의 둘레 측으로 유동되지 않을 수 있다.
따라서, 본 발명에 따르는 흄 배기홀들(310)을 지지부재(200)의 둘레에 형성함으로써, 흄 배기홀들(310)로 하방으로 유동되는 식각액에 유입되지 않도록 하여, 흄 만을 유입 및 배기할 수 있도록 한다.
또한, 도 8은 본 발명에 따르는 흄 배기부의 다른 예를 보여준다.
도 8을 참조 하면, 본 발명에 따르는 흄 배기홀(311)은 커버면(120)에 형성될 수도 있다.
상기 흄 배기홀(311)은 상기 커버면(120)의 다수 위치에 형성될 수도 있고, 하나의 링 형상으로 형성되는 홀로 형성될 수도 있다.
안내면(110)을 따라 흐르는 식각액은 커버면(120) 측으로 유동되지 않고, 커버면(120)에 형성되는 흄 배기홀(311)은 저장기(50)의 바닥부 근방에 형성되는 흄 만을 효율적으로 흡입 및 배기할 수 있다.
상기 흄 배기홀(311)의 타단은 지지부재(200)를 관통하여 배기라인(320)과 연결된다.
또한, 도 9는 본 발명에 따르는 흄 배기부의 또 다른 예를 보여준다.
도 9를 참조 하면, 본 발명에 따르는 흄 배기홀(310,311)은 지지부재(200)의 둘레 및 커버면(120)에 동시에 형성될 수 있다.
따라서, 상기 흄 배기홀은 지지부재(200)의 둘레에 형성되는 제 1흄 배기홀(310)과, 커버면(120)에 형성되는 제 2흄 배기홀(311)로 구성될 수 있다.
상기 제 1흄 배기홀들(310)의 형성 위치는 서로 동일 레벨을 형성할 수도 있고, 서로 동일하지 않은 레벨로 형성될 수도 있다. 후자의 경우, 서로 다른 레벨을 형성하는 경우, 저장기(50)의 바닥부 근방의 서로 다른 위치에서 골고루 흄을 흡입할 수 있다.
또한, 상기 제 1흄 배기홀들(310)의 홀 직경은 서로 동일할 수도 있고, 서로 다르게 형성될 수도 있다. 이는, 흄의 흡입 용량에 따라 미리 설계될 수 있다.
본 발명에 따르는 지지부재(200)는 커버면(120)에 의해 상단이 커버될 수 있다. 따라서, 안내면(110)을 따라 흐르는 식각액은 하방으로 퍼지도록 유동되고, 지지부재(200)의 둘레 측으로 유동되지 않을 수 있다.
또한, 상기 제 2흄 배기홀(311)은 상기 커버면(120)의 다수 위치에 형성될 수도 있고, 하나의 링 형상으로 형성되는 홀로 형성될 수도 있다.
안내면(110)을 따라 흐르는 식각액은 커버면(120) 측으로 유동되지 않고, 커버면(120)에 형성되는 제 2흄 배기홀(311)은 저장기(50)의 바닥부 근방에 형성되는 흄 만을 효율적으로 흡입 및 배기할 수 있다.
본 발명에서는 흄이 흡입되는 위치를 지지부재(200)의 둘레 및 커버면(120)에 형성하여, 낙하되는 식각액의 유입을 최대한 방지하면서, 최대한의 흄의 흡입을 효율적으로 유도할 수 있다.
한편, 본 발명에 따르는 흄 배기부(300)는 상술한 배기라인(320)과 배기펌프(330)를 포함한다.
상기 배기라인(320)은 일단이 상술한 흄 배기홀들(310,311)과 연결되고 타단이 장치의 외부로 연장된다.
상기 배기펌프(330)는 진공흡입력을 발생시키는 펌프이고, 상기 배기라인(320) 상에 설치되어, 상기 흄 배기홀(310,311)로 흡입되는 흄을 외부로 배기시키는 역할을 한다.
또 한편, 본 발명에 따르는 흄 배기부(300)는 식각영역에서의 기판(10)이 이송되고 식각이 이루어지는 위치 상부에 형성되는 측부흄배기홀(40, 도 2참조)을 포함할 수 있다.
상기 측부흄배기홀(40)은 기판식각장치의 식각영역의 측벽에 형성되고, 상술한 바와 같이 배기라인과 연결될 수 있다.
상기 측부흄배기홀(40)은 기판(10) 식각시 기판(10)의 상부에 발생되는 흄을 외부로 효율적으로 배기시키도록 한다.
따라서, 본 발명에서의 흄 배기부(300)는 기판(10)의 하면 식각시 발생되는 흄을 기판(10)의 저부 및 상부에서 흡입 및 배기시킴으로써, 장치 내부에 흄이 잔류되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.
도 10은 본 발명에 따르는 안내부의 승강 위치가 조절되는 예를 보여준다.
도 10을 참조 하면, 본 발명에 따르는 안내부(1)는 상술한 안내면(110)과 커버면(120)을 갖는 안내부재(100)와, 다단으로 구성되는 지지부재(201)로 구성된다.
상기 지지부재(201)는 저장기(50)의 바닥면(51)에 세워지는 상태로 설치되며, 다단의 단위파이프(210,220,230)로 구성될 수 있다.
상기 다단의 단위파이프(210,220,230)는 서로 끼워져 삽임 및 돌출 가능하도록 구성된다.
상기 다단의 단위파이프(210,220,230)는 승강조절수단에 의해 승강위치 조절이 가능하다.
도 11은 승강조절수단의 일예를 보여준다.
도 11을 참조 하면, 상기 승강조절수단은 상하를 따라 다수의 위치결정홀(h)이 형성되는 제 2단위파이프(220)와, 상기 제 2단위파이프에 끼워지고, 상기 위치결정홀들(h) 중 어느 하나에 끼워지는 돌기(212)를 갖는 제 1단위파이프(210)로 구성된다.
상기 돌기(212)는 상기 제 1단위파이프(210)의 둘레에 형성되는 홈(211)에 설치된 스프링(213)에 의해 탄성지지되도록 연결된다. 상기 돌기(212)는 제 2단위파이프(220)의 내측둘레에 의해 눌리는 경우, 홈(211)의 내부에 삽입되도록 배치될 수 있다.
상기의 구성을 참조하면, 본 발명에 따르는 지지부재(201)의 승강위치를 조절함으로써,흄을 흡입할수 있는 상하의 위치를 선택적으로 조절할 수 있다.
따라서, 저장기(50)에 일시적으로 저장되어 유동되는 식각액의 수위가 증가되거나 감소되는 경우에, 지지부재(201)를 승강시켜 흄 배기홀들(310)의 위치를 가변적으로 조절할 수 있다.
본 발명은 지지부재(200,201)의 둘레 또는 커버면(120), 또는 지지부재(200,201)의 둘레 및 커버면(120)에 형성되는 흄 배기홀(310,311)이 저장기(50)에 일시적으로 저장되는 식각액에 잠기는 등의 문제를 효율적으로 해결할 수 있다.
도 12는 본 발명에 따르는 흄 배기홀의 홀면적을 보여준다.
도 12를 참조하면, 본 발명에 따르는 저장기(50)의 바닥면은 일방향을 따라 일정 각도를 이루도록 경사지게 형성된다.
그리고,본 발명에 따르는 안내부(1)는 상기 바닥면(51)의 다수 위치에 설치되어, 저장기(50)의 바닥면(51) 인근에 발생된 흄을 흡입하여 외부로 배기한다.
여기서, 각 안내부(1)는 저장기(50) 바닥면(51)의 경사 방향을 따라 간격을 형성하여 설치된다.
그리고, 상기 각 안내부(1)에 포함되는 흄 배기홀(310)은 저장기(50)의 바닥면(51) 경사 방향을 따라 점진적으로 확정되는 홀면적(A1,A2,A3,A4)을 형성한다. 여기서, 경사방향을 따라 A1<A2<A3<A4의 관계를 갖는다.
본 발명은 저장기(50)의 경사를 따라 낙하되는 식각액을 일측으로 흐르게 하여 배출시킬 수 있다.
또한, 식각액은 저장기(50)의 바닥면(51)을 따라 일측으로 흐르면서 속도가 더 빨라 질수 있고, 이러한 경우, 본 발명은 흄 배기홀(310)의 홀면적을 경사지는 방향을 따라 점진적으로 커지도록 형성함으로써, 하방으로 갈수록 흡입되는 흄의 양이 증가되도록 할 수 있다.
도 13은 본 발명에 따르는 안내부재가 탈착 가능한 예를 보여준다.
도 13을 참조 하면, 본 발명에 따르는 안내부재(100)는 지지부재(200)의 상단에서 탈착 가능할 수 있다.
상기 탈착 방식은 스크류 결합 또는 끼움 결합 후 볼트 너트 결합 또는 압입 결합과 같은 방식이 적용될 수 있다.
도 13을 참조하면, 안내부재(100)의 하단에 끼움부(130)를 구성하고, 상기 끼움부(130)를 지지부재(200)의 상단에 끼워 고정할 수 있다.
상기 끼움부(130)는 돌기이며, 상기 지지부재(200)의 상단에는 상기 끼움부(130)가 끼워질 수 있는 홈부(210)가 형성된다.
이에 따라, 본 발명은 안내부재(100)를 지지부재(200)의 상단에서 탈착 가능하게 구성하여, 안내부재(100) 손상시 다른 안내부재로 용이하게 교체할 수 있게 함은 물론, 다른 안내면 형상을 갖는 안내부재로 교체할 수 있도록 할 수도 있다.
도 14는 본 발명에 따르는 안내부의 다른 예를 보여준다.
도 14를 참조 하면, 본 발명에 따르는 안내부(1')는 일정 길이를 갖는 안내부재(100')와, 지지부재(200')로 구성된다.
상기 안내부재(100')는 종단면이 삼각뿔형상으로 형성되고, 저장기(50)의 바닥면(51)의 경사방향을 따라 일정의 길이를 갖도록 형성된다.
또한, 상기 지지부재(200')는 상기 안내부재(100')의 하단에 형성되며, 저장기(50)의 바닥면(51)에 세워진 상태로 설치된다.
상기 지지부재(200')의 둘레의 다수 위치에는 다수의 흄 배기홀(310')이 일정 간격을 이루어 형성된다.
기판의 하면을 식각한 이후에 낙하되는 식각액은 저장기(50)의 바닥면(51)으로 일시 저장되고 경사방향을 따라 흐른다.
본 발명의 일정 길이의 안내부재(100')는 경사방향을 따라 낙하되는 식각액을 지지부재(200')의 외측으로 퍼지도록 안내하고, 일정 길이의 지지부재(200')에 형성된 다수의 흄 배기홀(310')은 저장기(50)의 바닥면(51) 경사방향을 따라 식각액이 흐르는 동안에 형성되는 흄을 연속적으로 흡입하여 배기할 수 있다.
1 : 안내부 50 : 저장기
51 : 바닥면 100, 100' : 안내부재
110 : 안내면 120 : 커버면
200, 200' : 지지부재 300 : 흄 배기부
310, 310', 311 : 흄 배기홀 320 : 배기라인
330 : 배기펌프

Claims (12)

  1. 저장기에 설치되어, 기판을 식각한 후 낙하되는 식각액을 사방으로 흐르도록 안내하는 안내부; 및
    상기 안내부에 설치되어, 상기 식각액이 안내되는 영역으로부터 벗어나는 위치에서 상기 식각시 발생되는 흄을 흡입하여 외부로 배기하는 흄 배기부;를 포함하며,
    상기 안내부는,
    상기 저장기의 바닥면에 설치되며, 상기 저장기에 일시 저장되는 식각액의 수위보다 높도록 일정의 높이를 형성하는 지지부재; 및
    상기 지지부재의 둘레를 커버하도록 상기 지지부재의 상단에 설치되며, 상단에서 하단을 따라 점진적으로 퍼지도록 형성되는 안내면을 구비하여, 낙하되는 상기 식각액을 상기 지지부재의 둘레로부터 일정 거리를 이루는 위치로 흐르도록 안내하고, 상기 흄 배기부를 커버하는 안내부재;
    를 구비하며,
    상기 흄 배기부는 상기 지지부재의 둘레에 형성되어 상기 흄을 외부로 배기하는 흄 배기홀을 포함하며,
    상기 저장기의 바닥면은 상기 식각액을 외부로 배출시키는 배출유로와 연결되도록 일정 각도 경사를 형성하고,
    상기 흄 배기홀의 홀면적은 상기 바닥면의 하향 경사지는 방향을 따라 점진적으로 커지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 안내부재는,
    상단에 상기 안내면이 형성되고, 하단에 상기 지지부재의 횡단면적보다 더 큰 면적을 갖는 커버면이 형성되는 몸체로 형성되되,
    상기 커버면은 상기 지지부재의 상단에 연결되고 상기 지지부재와 직교를 형성하여 상기 지지부재의 둘레를 상단부를 흐르는 식각액으로부터 커버하는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안내면은,
    상방으로 볼록한 형상 또는 뾰족한 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성되어 상기 식각액의 안내 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 커버면에 상기 흄 배기홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    높낮이 조절이 가능하도록 다단으로 형성되어, 상기 저장기의 바닥면에 낙하되는 식각액의 수위에 따라 상기 흄 배기홀의 형성 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 안내부재는,
    상기 지지부재의 상단에 탈착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 안내부는, 상기 저장기의 경사방향을 따라 일정 길이로 형성되고,
    상기 흄 배기부는, 상기 경사방향을 따라 다수의 흄 배기홀로 형성되어,
    상기 저장기의 경사방향을 따라 식각액이 흐르는 동안에 형성되는 흄을 다수의 위치에서 외부로 배기하는 것을 특징으로 하는 흄 배기장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 흄 배기장치; 및
    상기 저장기의 상부에 배치되며, 이송되는 기판에 대하여 식각액을 사용하여 습식식각처리를 수행하는 식각부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
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