KR101846385B1 - Review measurement device that has both ends suporting structure - Google Patents

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Abstract

본 발명은 갠트리 형태로 형성된 초고속 리뷰 검사 장치에 있어서, X축 방향으로 이동하는 X축 리니어 스테이지와 Y축 방향으로 이동하는 Y축 리니어 스테이지 및 상기 X축 리니어 스테이지의 이동구간보다 작은 구간으로 이동하는 스몰 X축 리니어 스테이지 각각에 리니어 가이드 또는 구동부가 배치된 프레임이나 바를 구비하고, 상기 스몰 X축 리니어 스테이지에 스몰바에 배치된 구동부에는 측정프로브가 장착되어 구동함으로써 측정 대상물의 측정이 가능한 검사장치이다.The present invention relates to an ultra-high speed review inspecting apparatus formed in the form of a gantry, comprising: an X-axis linear stage moving in the X-axis direction; a Y-axis linear stage moving in the Y-axis direction; And a frame or bar in which a linear guide or a driving unit is disposed in each of the small X-axis linear stages, and a measurement probe is mounted on the driving unit arranged in the small bar on the small X-axis linear stage and driven to measure the measurement object.

Description

양단지지보 구조의 초고속 리뷰 검사장치{Review measurement device that has both ends suporting structure}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a double-

본 발명은 양단지지보 구조를 갖는 초고속 리뷰 검사장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 Linear Small X-Axis를 적용하여 외팔보 구조의 문제점을 보완하고 장비 내구성을 개선하여 정확하고 신속한 갠트리 시스템을 구성할 수 있는 리뷰 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high-speed review inspecting apparatus having a both-end support beam structure, more specifically, to solve problems of a cantilever structure by applying a Linear Small X-Axis and to improve the durability of the apparatus to construct an accurate and quick gantry system The present invention relates to a review inspection apparatus.

종래의 리뷰(Review) 검사장치는 Linear Grantry System으로 구성되어 구동되고 있다.Conventional Review Inspection System is composed of Linear Grantry System.

또한, 종래의 Small X-Axis Review 검사 장치는 외팔보 형식의 Linear Grantry System으로 구성되어 구동되고 있어 광학계의 처짐에 의한 떨림과 진동에 의해 생기는 문제점을 보완하기 위한 측정 범위를 늘릴 수 있는 한계가 있고 리니어 모터의 용량을 키움으로써 제작비용이 상승하고, 측정 시간이 증가한다는 문제점이 있었다.In addition, the conventional Small X-Axis Review inspection apparatus is constituted by a cantilever-type linear grantry system and is driven. Therefore, there is a limit to increase the measurement range to compensate for the problems caused by the vibration of the optical system and vibration. There is a problem that the manufacturing cost is increased by increasing the capacity of the motor and the measuring time is increased.

대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1540179호.Korean Registered Patent Publication No. 10-1540179.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 최적화 경로 알고리즘과 양단지지 보 구조의 Small X-Axis를 사용하여 보의 처짐 방지와 진동에 의한 떨림 문제 및 리니어 모터의 용량을 키우지 않고도 이동시간을 단축 시켜 측정시간 대비 측정 범위를 늘릴 수 있는 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention uses an optimization path algorithm and a Small X-Axis with both end support beams to prevent sagging of a beam, vibration problem due to vibration, and shortening the travel time without increasing the capacity of a linear motor It is an object of the present invention to provide a system capable of increasing the measurement range in comparison with the measurement time.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 갠트리 형태로 형성된 초고속 리뷰 검사 장치에 있어서, 상기 검사 장치는, X축 방향으로 이동하는 X축 리니어 스테이지와 Y축 방향으로 이동하는 Y축 리니어 스테이지 및 상기 X축 리니어 스테이지의 이동구간보다 작은 구간으로 이동하는 스몰 X축 리니어 스테이지를 포함하여 구성되고, 상기 X축 리니어 스테이지는 서로 이격되어 평행하게 배치된 X축 프레임과 상기 X축 프레임의 상면에 배치된 X축 리니어 가이드가 포함되며, 상기 Y축 리니어 스테이지는 Y축 메인바와 상기 메인바의 측면에 배치된 Y축 구동부가 포함된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting ultra-fast review formed in the form of a gantry, the apparatus comprising an X-axis linear stage moving in the X-axis direction, a Y-axis linear stage moving in the Y- And a small X-axis linear stage moving in a section smaller than a moving section of the axial linear stage, wherein the X-axis linear stage comprises an X-axis frame arranged in parallel and spaced apart from each other, Axis linear stage, and the Y-axis linear stage includes a Y-axis main bar and a Y-axis driving unit arranged on the side of the main bar.

이때, 상기 Y축 메인바는 상기 X축 리니어 가이드에 의해 X축 방향으로 이동하며, 상기 스몰 X축 리니어 스테이지는 스몰바와 상기 스몰바의 측면에 배치된 스몰 X축 구동부가 포함되되, 상기 스몰바의 일측은 상기 Y축 구동부에 장착되도록 배치되어 상기 Y축 구동부에 의해 상기 스몰바가 Y축 방향으로 이동한다.Here, the Y-axis main bar is moved in the X-axis direction by the X-axis linear guide, and the small X-axis linear stage includes a small bar and a small X-axis driving part disposed on the side of the small bar, And the small bar is moved in the Y-axis direction by the Y-axis driving unit.

또한, 상기 스몰 X축 구동부에는 측정프로브가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 측정프로브의 X축으로의 이동을 상기 X축 리니어 스테이지와 상기 스몰 X축 리니어 스테이지로 나누어 이동시킨다.In addition, since the measurement probe is mounted and driven in the small X axis drive unit, movement of the measurement probe in the X axis is divided into the X axis linear stage and the small X axis linear stage.

상기 Y축 메인바와 평행하게 배치되면서 상기 스몰바의 타측을 지지하도록 구비된 지지프레임이 더 구비된다.And a support frame disposed to be parallel to the Y-axis main bar and configured to support the other side of the small bar.

이때, 상기 스몰바의 일측에 배치된 Y 구동부는 리니어 가이드와 리니어 모터가 포함되고, 상기 지지프레임에는 리니어 가이드가 설치되어 상기 스몰바의 타측을 지지하도록 구성되어, 상기 Y축 구동부의 리니어 가이드와 상기 지지프레임의 리니어 가이드에 의해 상기 스몰바가 가이드 되어 이송될 수 있다.In this case, the Y driving unit disposed at one side of the small bar includes a linear guide and a linear motor, and the supporting frame is provided with a linear guide to support the other side of the small bar, The small bar can be guided and transported by the linear guide of the support frame.

더불어, 상기 Y축 메인바와 상기 지지프레임을 동시에 이송하도록 배치된 이송구동부를 더 구비된다.In addition, a feed driving unit configured to simultaneously feed the Y-axis main bar and the support frame is further provided.

상기 이송구동부는 상기 Y축 메인바의 양 단부에 배치된 메인바 컬럼과, 상기 지지프레임은 양 단부에 배치된 지지프레임 컬럼과, 상기 메인바 컬럼 및 상기 지지프레임 컬럼을 탑재한 하나의 베이스플레이트를 포함하여 이루어진다.The transport driving unit includes a main bar column disposed at both ends of the Y axis main bar, a support frame column disposed at both ends of the support frame, and a base plate on which the main bar column and the support frame column are mounted. .

또한, 상기 이송구동부는 상기 베이스 플레이트의 상면에 배치된 메인바 컬럼과 상기 지지프레임 컬럼이 서로 평행하게 형성되며, 상기 Y축 메인바와 상기 지지프레임이 평행하게 형성되고, 상기 Y축 메인바의 리니어 가이드와 상기 지지프레임의 리니어 가이드에 의해 이송되는 상기 스몰바는 상기 베이스 플레이트와 평행하게 배치되어, 상기 메인바 컬럼과 상기 지지프레임 컬럼은 평행하면서 상기 스몰바와 상기 베이스플레이트와 직각을 이루도록 배치되어, 상기 메인바 컬럼과 상기 지지프레임 컬럼과 상기 스몰바와 상기 베이스 플레이트는 사각형 구조를 이룬다.The feed drive unit may include a main bar column disposed on the upper surface of the base plate and the support frame column parallel to each other, the Y-axis main bar and the support frame being formed parallel to each other, The small bar and the support frame column are disposed in parallel to each other. The small bar and the support bar are arranged parallel to the base plate. The main bar column and the support frame column are parallel to each other, The main bar column, the support frame column, the small bar, and the base plate have a rectangular structure.

더불어, 상기 스몰바는 상기 Y축 메인바의 측면에 배치된 Y축 구동부에 복수 개로 형성될 수 있으며, 상기 스몰바를 장착한 상기 Y축 메인바도 상기 X축 프레임에 복수 개로 형성될 수 있다.In addition, the small bar may be formed in a plurality of Y-axis drive portions disposed on the side of the Y-axis main bar, and the Y-axis main bar on which the small bars are mounted may also be formed in the X-axis frame.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

본 발명에 따르면, 양단지지보 구조의 Linear Small X-Axis를 적용하여 외팔보 구조에 의해 발생하는 보의 처짐 방지와 진동에 의한 떨림으로 인한 문제점을 보완하고 측정 범위를 늘려 측정 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by applying the Linear Small X-Axis of both end support beams, it is possible to prevent deflection of the beam caused by the cantilever structure and compensate the problems due to vibration, It is effective.

도 1는 종래의 외팔보 구조의 검사장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 양단지지보 구조의 초고속 리뷰 검사장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 측정프로브가 구비된 스몰바를 지지하는 지지프레임을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 일체로 형성되는 이송구동부의 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 측정프로브가 구비된 스몰바가 복수 개로 설치된 검사장치의 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 스몰바가 복수 개 형성된 Y축 메인바가 복수 개 설치된 검사장치의 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional inspection apparatus of a cantilever structure.
FIG. 2 is a perspective view showing a super high-speed review inspecting apparatus having both end support beams according to the present invention.
3 is a perspective view illustrating a support frame for supporting a small bar provided with a measurement probe according to the present invention.
4 is a cross-sectional view of a conveyance driving unit formed integrally according to the present invention.
5 is a perspective view of a testing apparatus provided with a plurality of small bars equipped with a measuring probe according to the present invention.
6 is a perspective view of a testing apparatus provided with a plurality of Y-axis main bars each having a plurality of small bars according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.In addition, the following embodiments are not intended to limit the scope of the present invention, but merely as exemplifications of the constituent elements set forth in the claims of the present invention, and are included in technical ideas throughout the specification of the present invention, Embodiments that include components replaceable as equivalents in the elements may be included within the scope of the present invention.

본 발명은 양단 지지보 구조로 형성되어 외팔보 형태의 문제점을 보완하기 위한 갠트리 형태로 형성된 초고속 리뷰 검사장치이다.The present invention relates to a gantry-type ultra-high speed review inspecting apparatus for compensating for the problem of a cantilever shape formed by both end support beams.

본 발명을 설명하기 위해 도면들을 참조하여 설명하도록 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig.

도 1은 종래의 외팔보 구조를 갖는 검사장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 양단지지보 구조의 초고속 리뷰 검사장치를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 측정프로브가 구비된 스몰바를 지지하는 지지프레임을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 일체로 형성되는 이송구동부의 단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 측정프로브가 구비된 스몰바가 복수 개로 설치된 검사장치의 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a conventional inspection apparatus having a cantilever structure, FIG. 2 is a perspective view showing a super-high speed review inspecting apparatus having both end support beams according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view showing a small bar equipped with a measurement probe according to the present invention FIG. 4 is a cross-sectional view of a conveyance driving unit integrally formed according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view of a testing apparatus provided with a plurality of small bars equipped with a measuring probe according to the present invention.

상기 도 1은 본 발명에 따른 양단지지보 구조의 검사장치와의 차이를 보다 명확하게 설명하기 위해 첨부된 종래의 외팔보 구조를 갖는 검사장치를 나타낸 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a conventional inspection apparatus having a cantilever structure according to the present invention in order to more clearly explain a difference between the inspection apparatus and the inspection apparatus.

도 1을 참조하면, 상기 외팔보 구조를 갖는 검사장치는 외팔보 형식의 Linear Grantry System으로 구성되어 구동되고 있어 광학계의 처짐에 의한 떨림과 진동에 의해 생기는 문제점을 보완하기 위한 측정 범위를 늘릴 수 있는 한계가 있고 리니어 모터의 용량을 키움으로써 제작비용이 상승하고, 측정 시간이 증가한다는 문제점을 갖는다.Referring to FIG. 1, the inspection apparatus having the cantilever structure is driven by a cantilever-type linear grantry system, and the limit to increase the measurement range to compensate for the problems due to the deflection and vibration due to the optical system There is a problem that the manufacturing cost is increased by increasing the capacity of the linear motor and the measuring time is increased.

반면에, 종래의 외팔보 구조의 검사장치의 문제점을 보완하기 위해 형성된 본 발명의 양단지지보 구조의 초고속 리뷰 검사장치는 다음과 같다.On the other hand, a high-speed review inspecting apparatus of the double-end supporting beam structure of the present invention, which is formed to overcome the problems of the conventional inspection apparatus of the cantilever structure, is as follows.

도 2를 참조하면, 상기 검사 장치(100)는, X축 방향으로 이동하는 X축 리니어 스테이지(X) 와 Y축 방향으로 이동하는 Y축 리니어 스테이지(Y) 및 상기 X축 리니어 스테이지(X)의 이동구간보다 작은 구간으로 이동하는 스몰 X축 리니어 스테이지(SX)를 포함하여 구성된다.2, the inspection apparatus 100 includes an X-axis linear stage X moving in the X-axis direction, a Y-axis linear stage Y moving in the Y-axis direction, and an X- And a small X-axis linear stage SX which moves to a section smaller than the moving section of the small X-axis linear stage SX.

이때, 상기 X축 리니어 스테이지(X)는 서로 이격되어 평행하게 배치된 X축 프레임(110)과 상기 X축 프레임의 상면에 배치된 X축 리니어 가이드가 포함되며, X상기 Y축 리니어 스테이지는 Y축 메인바(120)와 상기 메인바(120)의 측면에 배치된 Y축 구동부(121)가 포함된다. The X-axis linear stage X includes an X-axis frame 110 arranged in parallel and spaced apart from each other, and an X-axis linear guide disposed on the upper surface of the X-axis frame. Axis main bar 120 and a Y-axis driving part 121 disposed on the side of the main bar 120. The Y-

또한, 상기 Y축 메인바(120)는 상기 X축 리니어 가이드에 의해 X축 방향으로 이동하며, 상기 스몰 X축 리니어 스테이지(SX)는 스몰바(130)와 상기 스몰바(130)의 측면에 배치된 스몰 X축 구동부가 포함되되, 상기 스몰바(130)의 일측은 상기 Y축 구동부(121)에 장착되도록 배치되어 상기 Y축 구동부에 의해 상기 스몰바(130)가 Y축 방향(Y)으로 이동한다.The small X-axis linear stage SX is moved in the X-axis direction by the X-axis linear guide, and the small X-axis linear stage SX is moved in the X- One side of the small bar 130 is disposed to be mounted on the Y axis driving unit 121 so that the small bar 130 moves in the Y axis direction Y by the Y axis driving unit, .

더불어, 상기 스몰 X축 구동부에는 측정프로브(P)가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 측정프로브(P)의 X축으로의 이동을 상기 X축 리니어 스테이지(X)와 상기 스몰 X축 리니어 스테이지(SX)로 나누어 이동시킨다.The measurement X-axis linear stage X and the small X-axis linear stage SX move the X-axis movement of the measurement probe P by driving the measurement probe P mounted on the small X- .

또한, 상기 Y축 메인바(120)와 평행하게 배치되면서 상기 스몰바(130)의 타측을 지지하도록 구비된 지지프레임(140)이 추가로 포함되고, 상기 스몰바(130)의 일측에 배치된 Y 구동부(121)는 리니어 가이드와 리니어 모터가 포함되며, 상기 지지프레임(140)에는 리니어 가이드가 설치되어 상기 스몰바의 타측을 지지하도록 구성되어, 상기 Y축 구동부(121)의 리니어 가이드와 상기 지지프레임(140)의 리니어 가이드에 의해 상기 스몰바(130)가 가이드 되어 이송될 수 있다.Further, a support frame 140, which is disposed to be parallel to the Y-axis main bar 120 and supports the other side of the small bar 130, is further included, and a support frame 140 disposed on one side of the small bar 130 The Y driving part 121 includes a linear guide and a linear motor. The supporting frame 140 is provided with a linear guide to support the other side of the small bar. The linear guide and the linear guide of the Y- The small bar 130 can be guided and conveyed by the linear guide of the support frame 140.

상기 도면에 도시된 'X'는 상기 도면에 함께 도시된 화살표의 방향(X축)으로 상기 Y축 메인바와 상기 지지프레임이 이동하는 것을 의미하고, 'Y'는 상기 도면에 함께 도시된 화살표의 방향(Y축)으로 상기 Y축 메인바(120)의 일측에 형성된 구동부(121)를 따라 스몰바(130)가 이동하는 것을 의미한다.'X' in the figure means that the Y-axis main bar and the support frame move in the direction of the arrow (X-axis) shown together with the figure, and 'Y' Means that the small bar 130 moves along a driving part 121 formed on one side of the Y-axis main bar 120 in the Y-axis direction (Y-axis).

또한, 상기 도면에 도시된 'SX(Small X-Axis)'는 상기 도면에 함께 도시된 화살표의 방향(SX)으로 이동하되, 상기 'X'의 이동구간보다 작은 구간으로 이동하는 것을 의미하고, 상기 스몰바(130)의 스몰 X축 구동부에 장착되어 구동되는 측정프로브(P)가 이동하는 것을 의미한다.Also, 'SX (Small X-Axis)' shown in the figure refers to movement in the direction of the arrow SX shown in the figure, moving to a section smaller than the movement interval of 'X' The measurement probe P mounted on the small X-axis driving unit of the small bar 130 moves.

따라서, 상기 'X'는 X축 리니어 스테이지의 이동방향을, 상기 'Y'는 Y축 리니어 스테이지의 이동방향을, 상기 'SX(Small X-Axis)'는 스몰 X축 리니어 스테이지를 의미한다.Therefore, 'X' denotes the moving direction of the X-axis linear stage, 'Y' denotes the moving direction of the Y-axis linear stage, and 'SX (Small X-Axis)' denotes the small X-axis linear stage.

또한, 상기 측정프로브(P)는 측정하고자 하는 대상물에 따라 다양한 방법으로 측정할 수 있는 종류의 기기를 말하며, 본 발명의 검사장치에서는 카메라 같은 장치가 될 수 있다.In addition, the measurement probe P refers to a device that can be measured by various methods according to an object to be measured, and may be a device such as a camera in the inspection apparatus of the present invention.

도 3을 참조하면, 상기 도면은 상기 Y축 메인바와 평행하게 배치되면서 상기 스몰바의 타측을 지지하도록 구비된 지지프레임을 나타낸 것으로, 상기 지지프레임(140)의 일측에 리니어 가이드가 설치되어 있어, 상기 스몰바(130)의 타측을 지지하도록 구성되어 있다.3, the figure shows a support frame arranged to be parallel to the Y-axis main bar and to support the other side of the small bar, and a linear guide is installed on one side of the support frame 140, So as to support the other side of the small bar 130.

또한, 상기 지지프레임의 양단부에 지지프레임(140)을 지지하는 지지프레임 칼럼(212)이 형성되어 있는 것을 볼 수 있다.In addition, it can be seen that support frame columns 212 for supporting the support frames 140 are formed at both ends of the support frame.

도 4를 참조하면, 상기 도면은 상기 Y축 메인바(120)와 상기 지지프레임(140)을 동시에 X축 리니어 스테이지의 이동방향으로 이송하도록 배치된 이송구동부(200)의 측면을 나타낸 것이다.Referring to FIG. 4, the drawing shows a side view of the feed driving unit 200 arranged to feed the Y-axis main bar 120 and the support frame 140 simultaneously in the X-axis linear stage moving direction.

상기 이송구동부(200)는 상기 Y축 메인바(120)의 양 단부에 배치된 메인바 컬럼(211)과, 상기 지지프레임(140)은 양 단부에 배치된 지지프레임 컬럼(212)과, 상기 메인바 컬럼(211) 및 상기 지지프레임 컬럼(212)을 탑재한 하나의 베이스플레이트(210)를 포함하여 이루어진다.The feed driving unit 200 includes a main bar column 211 disposed at both ends of the Y-axis main bar 120, a support frame column 212 disposed at both ends of the support frame 140, And a base plate 210 on which the main bar column 211 and the support frame column 212 are mounted.

또한, 상기 이송구동부(200)는 상기 베이스플레이트(210)의 상면에 배치된 메인바 컬럼(211)과 상기 지지프레임 컬럼(212)이 서로 평행하게 형성되며, 상기 Y축 메인바(120)와 상기 지지프레임(140)이 평행하게 형성되고, 상기 Y축 메인바(120)의 리니어 가이드와 상기 지지프레임(140)의 리니어 가이드에 의해 이송되는 상기 스몰바(130)는 상기 베이스플레이트(210)와 평행하게 배치된다.The feed drive unit 200 includes a main bar column 211 and a support frame column 212 disposed on the upper surface of the base plate 210 and parallel to each other. The small bar 130, which is conveyed by the linear guide of the Y-axis main bar 120 and the linear guide of the support frame 140, is formed in parallel with the base plate 210, .

더불어, 상기 메인바 컬럼(211)과 상기 지지프레임 컬럼(212)은 평행하면서 상기 스몰바(130)와 상기 베이스플레이트(210)와 직각을 이루도록 배치되어, 상기 메인바 컬럼(211)과 상기 지지프레임 컬럼(212)과 상기 스몰바(130)와 상기 베이스 플레이트(210)는 사각형 구조를 이룬다.The main bar column 211 and the support frame column 212 are arranged in parallel to each other so as to be perpendicular to the small bar 130 and the base plate 210, The frame column 212, the small bar 130, and the base plate 210 have a rectangular structure.

이때, 상기 이송구동부의 베이스플레이트(210)의 하면에도 이송을 위한 리니어 가이드가 설치된다.At this time, a linear guide for feeding is provided on the lower surface of the base plate 210 of the feed driving unit.

상기 베이스플레이트(210)의 하면에 설치된 리니어 가이드는 상기 X축 리니어 스테이지에 서로 이격되어 평행하게 배치된 X축 프레임(110)의 상면에 배치된 X축 리니어 가이드와 서로 맞닿아 상기 베이스 플레이트(210)를 X축 방향으로 이동시키는 것이 가능하다.The linear guides provided on the lower surface of the base plate 210 are in contact with the X-axis linear guides disposed on the upper surface of the X-axis frame 110 arranged in parallel to the X-axis linear stage, Can be moved in the X-axis direction.

또한, 상기 베이스플레이트(210)의 폭은 상기 X축 리니어 스테이지(X)의 폭보다 넓은 폭으로 형성되어 배치될 수 있으며, 같은 폭으로 형성되어 배치될 수도 있다.The width of the base plate 210 may be greater than the width of the X-axis linear stage X, and may be formed to have the same width.

도 5를 참조하면, 상기 도 5는 측정프로브가 구비된 스몰바가 복수 개로 설치된 검사장치의 사시도로써, 상기 Y축 메인바(120)의 측면에 배치된 Y축 구동부(121)에 상기 스몰바(130)를 하나 더 구비하여 상기 Y축 구동부(121)에 장착되도록 배치한 것이다.5 is a perspective view of a testing apparatus provided with a plurality of small bars provided with measurement probes, wherein a Y-axis driving unit 121 disposed on the side of the Y-axis main bar 120 is connected to the small bar 130, and is arranged to be mounted on the Y-axis driving unit 121. [

상기 Y축 구동부(121)에 추가로 장착된 상기 스몰바(130)의 측면에는 스몰 X축 구동부가 포함되고, 상기 스몰 X축 구동부에는 측정프로브(P)가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 측정프로브(P)가 스몰 X축 리니어스테이지(SX) 방향으로 이동하는 것이 가능하다.The small X-axis driving unit is mounted on the side surface of the small bar 130 mounted on the Y-axis driving unit 121 and the measuring probe P is mounted on the small X-axis driving unit, P can move in the direction of the small X-axis linear stage SX.

또한, 상기 형성된 두 개의 스몰바(130)의 타측을 지지하도록 지지프레임(140)이 구비된다.Further, a support frame 140 is provided to support the other side of the two small bars 130 formed.

도 6은 본 발명에 따른 스몰바(130)가 복수 개 형성된 Y축 메인바(120)가 복수 개 설치된 검사장치의 사시도이다.6 is a perspective view of a testing apparatus provided with a plurality of Y-axis main bars 120 each having a plurality of small bars 130 according to the present invention.

이때, 상기 복수 개의 스몰바(130)가 구비되지 않은 Y축 메인바(120)도 상기 X축 프레임(110)의 상면에 복수 개로 구비되어 형성될 수 있다.In this case, a plurality of Y-axis main bars 120 without the plurality of small bars 130 may be formed on the upper surface of the X-axis frame 110.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the present invention. It is obvious that the modification or improvement is possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.It is intended that the present invention cover the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

100 : 검사장치 110 : X축 프레임
120 : Y축 메인바 121 : Y축 구동부
130 : 스몰바 140 : 지지프레임
200: 이송구동부 210 : 베이스플레이트
211 : 메인바 컬럼 212 : 지지프레임 컬럼
P : 측정프로브100: Inspection device 110: X-axis frame
120: Y-axis main bar 121: Y-axis driving section
130: Small bar 140: Support frame
200: feed drive part 210: base plate
211: main bar column 212: support frame column
P: Measuring probe

Claims (5)

갠트리 형태로 형성된 초고속 리뷰 검사 장치에 있어서,
상기 검사 장치는, X축 방향으로 이동하는 X축 리니어 스테이지; 와
Y축 방향으로 이동하는 제1 Y축 리니어 스테이지; 및
상기 X축 리니어 스테이지의 이동구간보다 작은 구간으로 이동하는 제1 스몰 X축 리니어 스테이지; 를 포함하여 구성되고,
상기 X축 리니어 스테이지는 서로 이격되어 평행하게 배치된 X축 프레임과 상기 X축 프레임의 상면에 배치된 X축 리니어 가이드가 포함되며,
상기 제1 Y축 리니어 스테이지는 제1 Y축 메인바와 상기 제1 Y축 메인바의 측면에 배치된 제1 Y축 구동부가 포함되고,
상기 제1 Y축 메인바는 상기 X축 리니어 가이드에 의해 X축 방향으로 이동하며, 상기 제1 스몰 X축 리니어 스테이지는 제1 스몰바와 상기 제1 스몰바의 측면에 배치된 제1 스몰 X축 구동부가 포함되되,
상기 제1 스몰바의 일측은 상기 제1 Y축 구동부에 장착되도록 배치되어 상기 제1 Y축 구동부에 의해 상기 제1 스몰바가 Y축 방향으로 이동하고,
상기 제1 스몰 X축 구동부에는 제1 측정프로브가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 제1 측정프로브의 X축으로의 이동을 상기 X축 리니어 스테이지와 상기 제1 스몰 X축 리니어 스테이지로 나누어 이동시키며
상기 제1 Y축 메인바와 평행하게 배치되면서 상기 제1 스몰바의 타측을 지지하도록 구비된 제1 지지프레임; 이 더 구비되어 상기 제1 스몰바를 양측에서 지지하도록 배치되고
상기 제1 스몰바의 일측에 배치된 상기 제1 Y축 구동부는 리니어 가이드와 리니어 모터가 포함되고,
상기 제1 지지프레임에는 리니어 가이드가 설치되어 상기 제1 스몰바의 타측을 지지하도록 구성되어,
상기 제1 Y축 구동부의 리니어 가이드와 상기 제1 지지프레임의 리니어 가이드에 의해 상기 제1 스몰바가 가이드 되어 이송되며
상기 제1 Y축 메인바와 상기 제1 지지프레임을 동시에 이송하도록 배치된 이송구동부를 더 구비되고
상기 이송구동부는 상기 제1 Y축 메인바의 양 단부에 배치된 제1 Y축 메인바 컬럼과, 상기 제1 지지프레임은 양 단부에 배치된 제1 지지프레임 컬럼과,
상기 제1 Y축 메인바 컬럼 및 상기 제1 지지프레임 컬럼을 탑재한 하나의 베이스플레이트를 포함하여 이루어지며
또한 상기 제1 Y축 메인바의 측면에 배치된 제1 Y축 구동부에 제2 스몰바를 구비하여 상기 제1 Y축 구동부에 장착되고
상기 제1 Y축 구동부에 추가로 장착된 상기 제2의 스몰바의 측면에는 제2의 스몰 X축 구동부가 포함되고, 상기 제2의 스몰 X축 구동부에는 제2의 측정프로브가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 제2의 측정프로브가 제2의 스몰 X축 리니어스테이지 방향으로 이동하도록 구비됨에 따라
상기 제1 및 제2의 스몰바의 타측에는 상기 제1 Y축 메인바와 평행하게 배치되면서 상기 제1 및 제2의 스몰바의 타측을 지지하도록 제1 지지프레임이 구비되고;
Y축 방향으로 이동하는 제2 Y축 리니어 스테이지;와
상기 X축 리니어 스테이지의 이동구간보다 작은 구간으로 이동하는 제3 스몰 X축 리니어 스테이지;와
상기 제2 Y축 리니어 스테이지에 포함되는 제2 Y축 메인바와 상기 제2 Y축 메인바의 측면에 배치된 제2 Y축 구동부;를 더 구비하여
상기 제2 Y축 메인바는 상기 X축 리니어 가이드에 의해 X축 방향으로 이동하며,
상기 제3 스몰 X축 리니어 스테이지는 제3 스몰바와 상기 제3 스몰바의 측면에 배치된 제3 스몰 X축 구동부가 포함되되,
상기 제3 스몰바의 일측은 상기 제2 Y축 구동부에 장착되도록 배치되어 상기 제2 Y축 구동부에 의해 상기 제3 스몰바가 Y축 방향으로 이동하고,
상기 제3 스몰 X축 구동부에는 제3 측정프로브가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 제3 측정프로브의 X축으로의 이동을 상기 X축 리니어 스테이지와 상기 제3 스몰 X축 리니어 스테이지로 나누어 이동시키며
상기 제2 Y축 메인바와 평행하게 배치되면서 상기 제3 스몰바의 타측을 지지하도록 구비된 제2 지지프레임; 이 더 구비되어 상기 제3 스몰바를 양측에서 지지하도록 배치되고
상기 제2 Y축 구동부의 리니어 가이드와 상기 제2 지지프레임의 리니어 가이드에 의해 상기 제3 스몰바가 가이드 되어 이송되며
상기 제2 Y축 메인바와 상기 제2 지지프레임을 동시에 이송하도록 배치된 이송구동부를 더 구비되고
상기 이송구동부는 상기 제2 Y축 메인바의 양 단부에 배치된 제2 Y축 메인바 컬럼과, 상기 제2 지지프레임은 양 단부에 배치된 제2 지지프레임 컬럼과,
상기 제2 Y축 메인바 컬럼 및 상기 제2 지지프레임 컬럼을 탑재한 하나의 베이스플레이트를 포함하여 이루어지며
또한 상기 제2 Y축 메인바의 측면에 배치된 제2 Y축 구동부에 제4 스몰바를 구비하여 상기 제2 Y축 구동부에 장착되고
상기 제2 Y축 구동부에 장착된 상기 제4의 스몰바의 측면에는 제4의 스몰 X축 구동부가 포함되고, 상기 제4의 스몰 X축 구동부에는 제4의 측정프로브가 장착되어 구동됨으로 인해 상기 제4의 측정프로브가 제4의 스몰 X축 리니어스테이지 방향으로 이동하도록 구비됨에 따라
상기 제3 및 제4의 스몰바의 타측에는 상기 제2 Y축 메인바와 평행하게 배치되면서 상기 제3 및 제4의 스몰바의 타측을 지지하도록 제2 지지프레임이 구비되어
상기 X축 프레임에는 상기 제1 및 제2 Y축 메인바가 구비되고 상기 제1 Y축 메인바에는 상기 제1 및 제2 스몰바가 설치되며, 상기 제2 Y축 메인바에는 상기 제3 및 제4 스몰바가 설치된 것을 특징으로 하는 검사장치.An ultra-high speed review inspecting apparatus formed in a gantry shape,
The inspection apparatus comprises: an X-axis linear stage moving in the X-axis direction; Wow
A first Y-axis linear stage moving in the Y-axis direction; And
A first small X-axis linear stage moving in a section smaller than a moving section of the X-axis linear stage; And,
The X-axis linear stage includes an X-axis frame arranged in parallel and spaced apart from each other, and an X-axis linear guide arranged on an upper surface of the X-axis frame,
The first Y-axis linear stage includes a first Y-axis driving section disposed on a side of a first Y-axis main bar and a first Y-axis main bar,
The first small X-axis linear bar is moved in the X-axis direction by the X-axis linear guide. The first small X-axis linear stage includes a first small bar and a first small X- A driving unit,
One side of the first small bar is arranged to be mounted on the first Y axis driving part, the first small bar moves in the Y axis direction by the first Y axis driving part,
The movement of the first measurement probe in the X-axis is divided into the X-axis linear stage and the first small X-axis linear stage by moving the first measurement probe mounted on the first small X-axis driving unit
A first support frame disposed to be parallel to the first Y-axis main bar and configured to support the other side of the first small bar; And are arranged to support the first small bar on both sides
The first Y-axis driving unit disposed at one side of the first small bar includes a linear guide and a linear motor,
The first support frame is provided with a linear guide to support the other side of the first small bar,
The first small bar is guided and conveyed by the linear guide of the first Y-axis driving part and the linear guide of the first supporting frame
And a feed driving unit arranged to simultaneously feed the first Y-axis main bar and the first support frame
The feed driving unit includes a first Y-axis main bar column disposed at both ends of the first Y-axis main bar, a first support frame column disposed at both ends of the first Y-
And a base plate on which the first Y-axis main bar column and the first support frame column are mounted
And a second small bar provided on a first Y axis driving part disposed on a side surface of the first Y axis main bar and mounted on the first Y axis driving part
The second small X-axis driving unit is mounted on the side surface of the second small bar mounted on the first Y-axis driving unit and the second measuring probe is mounted on the second small X-axis driving unit The second measuring probe is arranged to move in the direction of the second small X-axis linear stage
A first support frame is disposed on the other side of the first and second small bars so as to support the other side of the first and second small bars while being disposed in parallel with the first Y axis main bar;
A second Y-axis linear stage moving in the Y-axis direction;
A third small X-axis linear stage moving in a section smaller than a moving section of the X-axis linear stage;
And a second Y axis driving unit disposed on a side of a second Y axis main bar and a second Y axis main bar included in the second Y axis linear stage
The second Y-axis main bar moves in the X-axis direction by the X-axis linear guide,
The third small X-axis linear stage may include a third small X-axis driving part disposed on a side surface of the third small bar,
One side of the third small bar is arranged to be mounted on the second Y axis driving part, the third small bar moves in the Y axis direction by the second Y axis driving part,
And the movement of the third measuring probe in the X-axis is divided into the X-axis linear stage and the third small X-axis linear stage by moving the third measuring probe to the third small X-axis driving unit.
A second support frame arranged to be parallel to the second Y-axis main bar and to support the other side of the third small bar; Are arranged to support the third small bar on both sides
The third small bar is guided and conveyed by the linear guide of the second Y-axis driving part and the linear guide of the second supporting frame
And a conveyance driving unit arranged to simultaneously convey the second Y-axis main bar and the second support frame
The feed driving unit includes a second Y-axis main bar column disposed at both ends of the second Y-axis main bar, a second support frame column disposed at both ends of the second Y-
And a base plate on which the second Y-axis main bar column and the second support frame column are mounted
And a fourth small bar provided on a second Y axis driving part disposed on the side of the second Y axis main bar and mounted on the second Y axis driving part
A fourth small X axis driving unit is included in a side surface of the fourth small bar mounted on the second Y axis driving unit and a fourth measuring probe is mounted on the fourth small X axis driving unit, And the fourth measurement probe is arranged to move in the direction of the fourth small X-axis linear stage
And a second support frame is provided on the other side of the third and fourth small bars so as to support the other side of the third and fourth small bars while being disposed in parallel with the second Y axis main bar
The X-axis frame includes the first and second Y-axis main bars, the first Y-axis main bar is provided with the first and second small bars, and the second Y-axis main bar is provided with the third and fourth Wherein a small bar is provided. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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