KR102298391B1 - Stage apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사체가 안착되고, 진행 방향을 따라 이동하는 몸체부 및 상기 몸체부의 하부에서 상기 진행 방향을 따르며 복수로 결합되고, 복수의 가이드 레일과 결합되어 상기 몸체부의 이동 시 상기 가이드 레일의 위치 변화를 보상하는 보상 가이드부를 포함한다.According to the present invention, a test body is seated, a body part moving along a traveling direction, and a plurality of couplings along the traveling direction at the lower part of the body part, and a plurality of guide rails are combined to change the position of the guide rail when the body part moves and a compensation guide unit for compensating for

Description

스테이지 장치{Stage apparatus}Stage apparatus

본 발명은 스테이지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가이드 레일을 따라 이동하는 리니어 가이드에 대한 직진성능이 향상되도록 하는 스테이지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage device, and more particularly, to a stage device for improving the straight-line performance with respect to a linear guide moving along a guide rail.

일반적으로, 스테이지 장치는 반도체의 웨이퍼(wafer) 및 액정 표시 패널 등에 대한 정밀 검사를 위한 스캐닝 장치와 반도체 가공기 및 정밀 가공기 등에 사용되는 장치로, 웨이퍼와 같은 기판을 지지하여 정밀하게 이송할 수 있도록 하는 장치이다.In general, a stage device is a device used for a scanning device for precise inspection of a semiconductor wafer and a liquid crystal display panel, a semiconductor processing machine, a precision processing machine, etc. it is a device

이와 같은, 스테이지 장치는 주로 기판을 지지하는 스테이지와, 스테이지를 이송하기 위한 구동 유닛을 포함하며, 또한 이러한 구동 유닛은 기어를 이용한 랙-피니언(Rack-pinion) 방식, 이송 스크류 방식, 스윙-암 방식, 리니어 모터 방식 등을 이용할 수 있다.Such a stage device mainly includes a stage for supporting a substrate, and a driving unit for transporting the stage, and the driving unit includes a rack-pinion method using a gear, a transfer screw method, and a swing-arm. method, a linear motor method, or the like can be used.

종래의 XYZ-축 테이블은 스테이지와, 스테이지를 이송하기 위한 구동 유닛으로 X-축/Y-축/Z-축 구동 리니어 모터를 포함하고 있으며, 리니어 모터는 전기자와, 전기자에 대해 상대적으로 이동하는 가동요소를 포함한다.The conventional XYZ-axis table includes a stage and an X-axis/Y-axis/Z-axis driving linear motor as a driving unit for transporting the stage, and the linear motor moves relative to the armature and the armature. Includes movable elements.

이에 따라, 리니어 모터는 가동요소가 전기자에 대해 이동하는 방향으로 스테이지의 단부를 가압함으로써, 스테이지를 이송하는 역할을 한다.Accordingly, the linear motor serves to transport the stage by pressing the end of the stage in a direction in which the movable element moves with respect to the armature.

이와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 스테이지 장치는 최근 디스플레이의 대형화 추세에 따라 대형 기판을 이송하기 위하여 스테이지의 사이즈 또한 크게 제작해야 한다.In the stage apparatus according to the prior art configured as described above, the size of the stage must also be large in order to transfer the large substrate according to the recent trend of enlargement of the display.

하지만, 스테이지의 사이즈를 크게 하는 경우, 이송하는 대형 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 스테이지의 두께 또한 증가시켜 견고하게 제작하여야 한다.However, when the size of the stage is increased, the thickness of the stage is also increased in order to stably support the large substrate to be transferred, and thus the stage must be manufactured robustly.

그러나, 대형 스테이지 자체가 대형화됨에 함께 중량이 커지기 때문에, 이를 구동시키는 구동 유닛에도 큰 구동력이 필요하게 되며, 이에 따라 장비의 비용이 증가하게 된다.However, since the large stage itself increases in weight as the size increases, a large driving force is also required for a driving unit that drives the large stage, thereby increasing the cost of equipment.

또한, 대형 스테이지를 지지하는 하부 가이드에 무거운 중력을 가하게 되기 때문에, 고가의 하부 가이드가 필요하며, 만일 고가의 하부 가이드를 사용한다 하더라도 스테이지가 이동하게 됨에 따라 마찰이 발생하므로, 파티클(particle)에 취약할 수 밖에 없고, 그에 따라 직진 성능이 저하될 수 밖에 없는 문제점이 있다.In addition, since heavy gravity is applied to the lower guide supporting the large stage, an expensive lower guide is required, and even if an expensive lower guide is used, friction occurs as the stage moves, so that particles Inevitably, there is a problem in that the straight-line performance is inevitably deteriorated accordingly.

본 발명의 목적은, 복수개의 가이드 레일을 따라 이동하는 가이드부 중 어느 하나의 기준 가이드부가 고정된 상태로 기준 가이드 레일에 결합되도록 함과 함께, 기준 가이드부와 이웃하게 배치된 복수의 보상 가이드부가 위치 변화를 보상할 수 있는 구조를 가지며 가이드 레일에 결합되도록 함으로써, 기준이 되는 기준 가이드 레일 이외에 복수개의 가이드 레일에 대한 직진 성능이 저하된다 하더라도, 보상 가이드부가 위치 변화를 보상하여 검사부가 안착되는 몸체부의 실제 직진 성능에는 영향을 주지 않도록 하는 스테이지 장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to ensure that any one of the reference guide portions of the guide portions moving along the plurality of guide rails is coupled to the reference guide rail in a fixed state, and a plurality of compensating guide portions disposed adjacent to the reference guide portion are provided. By having a structure capable of compensating for a change in position and being coupled to the guide rail, the compensating guide compensates for the change in position and the body in which the inspection unit is seated, even if the straight-line performance for a plurality of guide rails other than the reference guide rail is reduced. An object of the present invention is to provide a stage device that does not affect the actual straight-line performance of the part.

본 발명에 따른 스테이지 장치는 검사체가 안착되고, 진행 방향을 따라 이동하는 몸체부 및 상기 몸체부의 하부에서 상기 진행 방향을 따르며 복수로 결합되고, 복수의 가이드 레일과 결합되어 상기 몸체부의 이동 시 상기 가이드 레일의 위치 변화를 보상하는 보상 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the stage device according to the present invention, a test object is seated, a body portion moving along a traveling direction and a plurality of portions are coupled along the traveling direction at a lower portion of the body portion, and a plurality of guide rails are coupled to the guide when the body portion moves. It characterized in that it comprises a compensation guide for compensating for a change in the position of the rail.

여기서. 상기 보상 가이드부는 상기 몸체부에 마련된 제1결합 홈의 내부 중심에 복수로 결합되는 본체와, 상기 본체의 하부에 결합되며, 상기 제1결합 홈 내부에서 수평 방향을 따라 선택적으로 이동 가능하게 형성되는 수평 운동부재 및 상기 수평 운동부재에 고정 결합되며, 상기 가이드 레일에 레일 결합되어 상기 몸체부의 이동 경로를 가이드 하는 직선 운동부재를 구비한다.here. The compensation guide part includes a main body coupled to a plurality of inner centers of the first coupling grooves provided in the body part, coupled to a lower portion of the body, and selectively movable in a horizontal direction inside the first coupling grooves. A horizontal motion member and a linear motion member fixedly coupled to the horizontal motion member, the rail coupled to the guide rail, and guiding a movement path of the body portion.

이러한 상기 제1결합 홈은 상기 수평 운동부재가 내부에서 수평 방향을 따라 이동할 수 있도록 내부 폭 길이가 상기 본체 및 상기 수평 운동부재의 폭 길이 보다 긴 길이로 형성된다,The first coupling groove is formed to have an inner width length longer than the width length of the main body and the horizontal movement member so that the horizontal movement member can move in the horizontal direction therein.

그리고, 상기 제1결합 홈은 상기 본체의 양측단부로부터 마주하는 각 내벽과의 거리가 1.5mm 가 되도록 하는 폭 길이로 형성된다.In addition, the first coupling groove is formed with a width length such that a distance from both ends of the main body to each inner wall facing each other is 1.5 mm.

또한, 상기 보상 가이드부는 상기 본체의 단턱부 및 상기 수평 운동부재의 돌출부 사이에 배치되며, 상기 본체에 레일 결합된 상기 수평 운동부재의 이동을 가이드 하는 이동 가이드 부재를 더 구비한다.In addition, the compensation guide portion is disposed between the stepped portion of the main body and the protrusion of the horizontal movement member, further comprising a movement guide member for guiding the movement of the horizontal movement member rail-coupled to the main body.

한편, 본 발명에 따른 스테이지 장치는 상기 보상 가이드부의 결합 방향과 동일한 방향을 따르며 상기 제1결합 홈과 이격된 제2결합 홈에 결합되며, 기준 가이드 레일과 레일 결합되어 상기 몸체부의 이동을 위한 기준을 형성하는 기준 가이드부를 더 포함한다.On the other hand, the stage device according to the present invention follows the same direction as the coupling direction of the compensation guide part and is coupled to the second coupling groove spaced apart from the first coupling groove, and is coupled to the reference guide rail and the rail as a reference for movement of the body part. It further includes a reference guide portion forming a.

여기서, 상기 기준 가이드부는 상기 제2결합 홈의 내부에서 상기 보상 가이드부의 배열 위치 및 개수와 동일하게 결합된다.Here, the reference guide part is coupled to the same arrangement position and number of the compensation guide part inside the second coupling groove.

또한, 상기 기준 가이드부는 상기 제2결합 홈의 내부 폭 길이의 동일한 폭 길이를 가지며 상기 제2결합 홈의 내부에 고정 결합된다.In addition, the reference guide part has the same width length as the inner width length of the second coupling groove and is fixedly coupled to the inside of the second coupling groove.

본 발명은, 복수개의 가이드 레일을 따라 이동하는 가이드부 중 어느 하나의 기준 가이드부가 고정된 상태로 기준 가이드 레일에 결합되도록 함과 함께, 기준 가이드부와 이웃하게 배치된 복수의 보상 가이드부가 위치 변화를 보상할 수 있는 구조를 가지며 가이드 레일에 결합되도록 함으로써, 기준이 되는 기준 가이드 레일 이외에 복수개의 가이드 레일에 대한 직진 성능이 저하된다 하더라도, 보상 가이드부가 위치 변화를 보상하여 검사부가 안착되는 몸체부의 실제 직진 성능에는 영향을 주지 않도록 하는 효과를 갖는다.According to the present invention, any one of the guide parts moving along the plurality of guide rails is coupled to the reference guide rail in a fixed state, and the position of the plurality of compensation guides arranged adjacent to the reference guide part is changed. By having a structure capable of compensating for and being coupled to the guide rail, even if the straight-line performance for a plurality of guide rails other than the reference guide rail is deteriorated, the compensation guide compensates for the change in the position of the body part on which the inspection part is seated. It has the effect of not affecting the straight-line performance.

또한, 본 발명은 가이드 레일에 대한 정밀도와 관계없이 복수의 가이드 레일 따르며 이동하는 가이드부의 직진성이 향상될 수 있으므로, 본체부가 항상 일정한 평행도를 유지하며 이동하게 할 수 있고, 그에 따라 평행도 미보상에 따라 발생될 수 있는 가이드부의 손상을 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention can improve the straightness of the guide part moving along the plurality of guide rails regardless of the precision with respect to the guide rail, so that the body part can always move while maintaining a constant parallelism, and accordingly, according to the non-compensation for parallelism It has the effect of preventing the damage of the guide part that may occur in advance.

아울러, 본 발명은 정밀도가 훌륭한 고가의 가이드 레일을 구매해야 하거나, 또는 레일의 직진 성능 향상을 위해 투입되는 인원 및 작업 시간을 절약할 수 있기 때문에, 비용 및 생산성 측면에서 종래보다 뛰어난 효과를 갖는다.In addition, the present invention has an effect superior to the prior art in terms of cost and productivity, since it is necessary to purchase an expensive guide rail with excellent precision, or it can save the number of people and working time that are put in to improve the straight-line performance of the rail.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 다른 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 기준 가이드부를 보여주는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부를 보여주는 도면이다.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부의 구조를 보여주는 도면이다.
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부의 좌측 이동을 보여주는 도면이다.
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부의 우측 이동을 보여주는 도면이다.
도 8 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 위치 변화의 보상을 보여주는 도면이다.1 is a diagram schematically showing the structure of a stage device according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically showing another structure of a stage device according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a reference guide for the stage device according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a compensation guide for the stage device according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a structure of a compensation guide for a stage device according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing leftward movement of the compensation guide with respect to the stage device according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a right movement of the compensation guide with respect to the stage device according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing compensation of a position change for a stage device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving the same, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에 개시되는 실시 예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.However, the present invention is not limited by the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In addition, in the description of the present invention, if it is determined that related known technologies may obscure the gist of the present invention, detailed description thereof will be omitted.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 구조를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 다른 구조를 개략적으로 보여주는 도면이며, 도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 기준 가이드부를 보여주는 도면이고, 도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부를 보여주는 도면이다.1 is a diagram schematically showing a structure for a stage device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram schematically showing another structure for a stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a view showing the present invention is a view showing a reference guide part for the stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view showing a compensation guide part for the stage device according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부의 구조를 보여주는 도면이고, 도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부의 좌측 이동을 보여주는 도면이며, 도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 보상 가이드부의 우측 이동을 보여주는 도면이고, 도 8 은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 위치 변화의 보상을 보여주는 도면이다.5 is a view showing the structure of the compensation guide for the stage device according to the embodiment of the present invention, Figure 6 is a view showing the left movement of the compensation guide for the stage device according to the embodiment of the present invention, Fig. 7 is a view showing the right movement of the compensation guide with respect to the stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view showing compensation for position change with respect to the stage device according to the embodiment of the present invention.

일반적으로, 스테이지 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 소정의 크기를 가진 몸체부(100)의 상면에 글라스 패널을 적재한 후, 왕복 이동시켜 글라스 패널에 대한 패턴을 검사하거나, 불량을 찾는 등의 각종 공정을 수행한다.In general, as shown in FIG. 1 , the stage device loads a glass panel on the upper surface of the body part 100 having a predetermined size and then reciprocates to inspect the pattern for the glass panel or find a defect. Various processes are performed.

이러한 공정을 수행함에 있어서는, 몸체부(100)의 왕복 이동 구동에 대한 직진도, 즉 몸체부(100)가 직진 방향을 따르며 얼마나 곧은 방향으로 이동할 수 있는가에 대한 성능을 만족시켜야 하는 것이 중요하다.In performing this process, it is important to satisfy the straightness of the reciprocating driving of the body 100, that is, the performance of how straight the body 100 can move along the straight direction.

하지만, 복수의 가이드 레일(10, 20)의 경우, 기준이 되는 어느 하나의 기준 가이드 레일(10)에 대하여 나머지 가이드 레일(20)에 대한 휨 발생, 설치 상 오차 등로 인해 진행 방향을 따르며 그 사이 간격이 일정하지 않을 수 있는데, 이러한 문제로 인하여 몸체부(100)의 직진 성능이 저하될 수 있다.However, in the case of a plurality of guide rails 10 and 20, due to the occurrence of bending of the remaining guide rails 20 with respect to any one reference guide rail 10 serving as a reference, errors in installation, etc. The interval may not be constant, and due to this problem, the straight-line performance of the body part 100 may be deteriorated.

이를 위해, 본 실시예에 따른 스테이지 장치는 전술된 몸체부(100)의 구성과 함께 보상 가이드부(200)를 포함한다.To this end, the stage device according to the present embodiment includes the compensation guide part 200 together with the configuration of the body part 100 described above.

즉, 몸체부(100)는 적재 테이블에 해당하는 것으로 검사체가 안착되고, 진행 방향을 따라 이동 가능하게 형성된다.That is, the body part 100 corresponds to the loading table, the test object is seated, and is formed to be movable along the traveling direction.

이러한 몸체부(100)에는 복수개의 제1결합 홈(200a) 및 제2결합 홈(300a)이 구비된다.The body portion 100 is provided with a plurality of first coupling grooves 200a and second coupling grooves 300a.

여기서, 제1결합 홈(200a) 및 제2결합 홈(300a)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 이동 경로를 형성하는 기준 가이드 레일(10) 및 가이드 레일(20)의 방향과 동일한 방향을 따르며, 'ㄷ' 형상으로 몸체부(100)의 하부에 형성된다.Here, the first coupling groove 200a and the second coupling groove 300a are in the same direction as the reference guide rail 10 and the guide rail 20 forming a movement path as shown in FIGS. 3 and 4 . Along, it is formed in the lower portion of the body portion 100 in a 'c' shape.

그리고, 제1결합 홈(200a) 및 제2결합 홈(300a)은 도 2에 도시된 바와 같이 각 내부에 가이드 레일(20)의 위치 변화를 보상하도록 하는 보상 가이드부(200)만 결합되도록 동일한 폭 길이로 형성될 수도 있고, 또는 도 1에 도시된 바와 같이 보상 가이드부(200) 및 기준 가이드부(300)가 함께 결합됨에 따라 서로 다른 폭 길이를 가지도록 형성될 수도 있다.And, the first coupling groove 200a and the second coupling groove 300a are identical to each other so that only the compensation guide part 200 to compensate the position change of the guide rail 20 is coupled therein, as shown in FIG. 2 . It may be formed to have a width length, or may be formed to have different width lengths as the compensation guide part 200 and the reference guide part 300 are coupled together as shown in FIG. 1 .

다시 말해, 도 3에 도시된 바와 같이 기준 가이드 레일(10)과 레일 결합된 상태로 제2결합 홈(300a)의 내부에 결합된 기준 가이드부(300)는 제2결합 홈(300a) 내부 폭 길이와 동일한 폭 길이를 가지며 고정 결합되고, 도 4에 도시된 바와 같이 가이드 레일(20)과 레일 결합된 상태로 제1결합 홈(200a)의 내부에 결합된 보상 가이드부(200)는 제1결합 홈(200a)의 내부 폭 길이 보다 짧은 길이를 가지며 고정 결합된다.In other words, as shown in FIG. 3 , the reference guide part 300 coupled to the inside of the second coupling groove 300a in a state in which the reference guide rail 10 and the rail are coupled to each other has an inner width of the second coupling groove 300a. The compensation guide part 200 having the same width length as the length and being fixedly coupled, and coupled to the inside of the first coupling groove 200a in a rail-coupled state with the guide rail 20 as shown in FIG. 4 , is the first It has a length shorter than the inner width length of the coupling groove (200a) and is fixedly coupled.

이는, 몸체부(100)가 기준 가이드 레일(10) 및 복수개의 가이드 레일(20)에 결합되어 이동함에 있어서, 기준 가이드부(300)가 제2결합 홈(300a)에 일체로 고정 결합되어 기준 가이드 레일(10)에 대해 기준을 이룬 상태에서, 가이드 레일(20)의 위치가 변화하게 되는 경우 보상 가이드부(300)가 제1결합 홈(200a) 내부에서 수평 방향으로 이동하게 함으로써, 가이드 레일(20)에 대한 위치 변화를 보상할 수 있게 하기 위함이며, 결과적으로 몸체부(100)의 직진성을 향상시키도록 하기 위함이다.In this case, when the body part 100 is coupled to the reference guide rail 10 and the plurality of guide rails 20 to move, the reference guide part 300 is integrally fixedly coupled to the second coupling groove 300a to be the standard When the position of the guide rail 20 is changed in a state in which the guide rail 10 is referenced, the compensation guide part 300 moves in the horizontal direction inside the first coupling groove 200a, so that the guide rail This is in order to be able to compensate for the position change with respect to (20), and as a result, to improve the straightness of the body part (100).

기준 가이드부(300)는 전술된 바와 같이 제2결합 홈(300a)의 내부에 상부가 고정 결합되며, 그 하부가 기준 가이드 레일(10)에 레일 결합된다.The upper part of the reference guide part 300 is fixedly coupled to the inside of the second coupling groove 300a as described above, and the lower part thereof is rail-coupled to the reference guide rail 10 .

기준 가이드부(300)는 제2결합 홈(300a) 내부의 길이 방향, 즉 진행 방향을 따라 동일한 간격을 따르며 복수개로 결합되는데, 그 개수는 몸체부(100)의 직진 성능 향상을 위하여 필요한 개수로 설정될 수 있다.The reference guide part 300 is coupled in plurality along the same interval in the longitudinal direction, that is, along the progress direction, inside the second coupling groove 300a, the number of which is necessary for improving the straight-line performance of the body part 100 . can be set.

보상 가이드부(200)는 기준 가이드부(300)가 결합된 제2결합 홈(300a)을 제외한 나머지에 해당하는 복수개의 제1결합 홈(200a) 내부에 각각 고정 결합된다.The compensation guide part 200 is fixedly coupled to the inside of the plurality of first coupling grooves 200a corresponding to the remainder except for the second coupling groove 300a to which the reference guide part 300 is coupled.

더 바람직하게는, 보상 가이드부(200)는 제2결합 홈(300a)과 동일 형상으로 이루어진 제1결합 홈(200a)의 내부에서 기준 가이드부(300)의 배열 위치 및 개수와 동일한 배열 위치 및 개수로 결합된다.More preferably, the compensation guide part 200 has the same arrangement position and number as the arrangement position and number of the reference guide unit 300 inside the first coupling groove 200a having the same shape as the second coupling groove 300a, and combined into numbers.

보상 가이드부(200)는 기준 가이드 레일(10)과 이웃하게 배치된 복수개의 가이드 레일(20)에 레일 결합되며, 제1결합 홈(200a)의 내부에서 수평 방향을 따라 유동 가능한 구조로 이루어지기 때문에, 가이드 레일(20)에 대한 위치 변화를 보상하도록 형성된다.The compensation guide part 200 is rail-coupled to a plurality of guide rails 20 disposed adjacent to the reference guide rail 10, and has a structure capable of flowing in the horizontal direction inside the first coupling groove 200a. Therefore, it is formed to compensate for the position change with respect to the guide rail 20 .

이를 위해, 보상 가이드부(200)는 도 5에 도시된 바와 같이 본체(210), 수평 운동부재(220) 및 직선 운동부재(230)를 구비한다.To this end, the compensation guide unit 200 includes a main body 210 , a horizontal movement member 220 , and a linear movement member 230 as shown in FIG. 5 .

본체(210)는 제1결합 홈(200a) 내부에 결합되며, 수평 운동부재(220)가 초기 위치에서 수평 방향을 따르며 이동할 수 있도록 제1결합 홈(200a)의 내부 중심부에 결합되는 것이 바람직하다.The main body 210 is coupled to the inside of the first coupling groove 200a, and is preferably coupled to the inner center of the first coupling groove 200a so that the horizontal movement member 220 can move in the horizontal direction from the initial position. .

수평 운동부재(220)는 본체(210)의 하부에 결합되며, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 제1결합 홈(200a)의 내부에서 좌측 또는 우측 방향을 따라 선택적으로 이동 가능하게 형성된다.The horizontal movement member 220 is coupled to the lower portion of the main body 210 and is formed to be selectively movable along the left or right direction inside the first coupling groove 200a as shown in FIGS. 6 and 7 . .

다시 말해, 수평 운동부재(220)는 몸체부(100)에 대한 직진 이동 시 설치 오차 또는 휨 등으로 인하여 복수개의 가이드 레일(20)이 기준 가이드 레일(10)과 완벽하게 평행하지 않을 경우, 제1결합 홈(200a) 내부에서 수평 방향으로 유동하여 가이드 레일(20)의 위치 변화를 보상할 수 있도록 한다.In other words, when the horizontal movement member 220 is not perfectly parallel to the reference guide rail 10 due to an installation error or bending during straight movement with respect to the body portion 100, the plurality of guide rails 20 are 1 It flows in the horizontal direction inside the coupling groove (200a) to compensate for the position change of the guide rail (20).

이는, 제1결합 홈(200a)의 내부 폭 길이가 수평 운동부재(220)의 폭 길이 보다 긴 길이로 형성되어 수평 운동부재(220)가 제1결합 홈(200a) 내부에서 유동할 수 있는 공간을 제공하기 때문에 가능한 것으로, 수평 운동부재(220)는 어느 하나의 방향이 아닌 본체(210)의 중심에서 좌우(수평) 방향으로 유동할 수 있도록 본체(210)의 중심과 일치된 하부에 결합된다.This is a space in which the inner width length of the first coupling groove 200a is formed to be longer than the width length of the horizontal movement member 220 so that the horizontal movement member 220 can flow in the first coupling groove 200a. It is possible because it provides, and the horizontal movement member 220 is coupled to the lower portion coincident with the center of the body 210 so that it can flow in the left and right (horizontal) directions from the center of the body 210, not in any one direction. .

여기서, 제1결합 홈(200a)의 경우, 보상 가이드부(200)에 대한 결합 위치의 양측단부에서 제1결합 홈(200a)의 각 내벽까지 1.5 mm 차이가 발생하도록 하는 폭 길이로 형성되는 것이 바람직하며, 이는 기준이 되는 기준 가이드 레일(10)의 위치를 0 으로 하였을 때, 실제 휘어지는 가이드 레일(20)의 최대 폭 범위는 기준 가이드 레일(10)의 위치에서 ± 3 mm 이내로 발생하기 때문이다.Here, in the case of the first coupling groove (200a), it is formed with a width and length such that a difference of 1.5 mm occurs from both ends of the coupling position with respect to the compensation guide part 200 to each inner wall of the first coupling groove (200a). Preferably, this is because, when the position of the reference guide rail 10 serving as a reference is 0, the maximum width range of the guide rail 20 that is actually bent occurs within ± 3 mm from the position of the reference guide rail 10. .

한편, 직선 운동부재(230)는 수평 운동부재(220)에 고정 결합되며, 가이드 레일(20)에 레일 결합되는 형상으로 형성되고, 진행 방향을 따르며 왕복 이동하는 몸체부(100)의 이동 경로를 가이드 한다.On the other hand, the linear motion member 230 is fixedly coupled to the horizontal motion member 220, is formed in a shape to be rail-coupled to the guide rail 20, and the movement path of the body part 100 reciprocating along the moving direction. guide

이러한 직선 운동부재(230)는 수평 운동부재(220)와 일체로 결합되며, 그에 따라 가이드 레일(20)에 대한 휨 발생 시, 이에 대응하며 수평 운동부재(220)가 제1결합 홈(200a)의 내부에서 수평 방향을 따라 왕복 이동하게 함으로써, 용이하게 가이드 레일(20)의 위치 변화를 보상할 수 있다.The linear motion member 230 is integrally coupled with the horizontal motion member 220, and accordingly, when bending occurs with respect to the guide rail 20, the horizontal motion member 220 corresponds to the first coupling groove 200a. By reciprocating in the horizontal direction, it is possible to easily compensate for the position change of the guide rail 20 .

여기서, 기준 가이드부(200)는 이동 가이드 부재(240)을 더 구비할 수 있고, 이러한 이동 가이드 부재(240)는 요철 형상으로 서로 맞물리게 결합된 본체(210)의 단턱부(212)와, 수평 운동부재(220)의 돌출부(222) 사이에 배치되어 본체(210)의 하부에 레일 결합된 수평 운동부재(220)의 수평 이동이 용이하게 이루어지게 할 수 있다.Here, the reference guide unit 200 may further include a movement guide member 240 , and the movement guide member 240 includes a stepped portion 212 of the main body 210 coupled to each other in an uneven shape, and is horizontal. It is disposed between the protrusions 222 of the moving member 220 to facilitate horizontal movement of the horizontal moving member 220 rail-coupled to the lower portion of the main body 210 .

더 바람직하게는, 이동 가이드 부재(240)는 볼 베어링 등으로 이루어지지만, 이는 정해진 것은 아니며, 동일한 역할을 할 수 있는 다른 부재로의 대체가 가능할 수도 있다.More preferably, the movement guide member 240 is made of a ball bearing or the like, but this is not limited and may be replaced with another member capable of performing the same role.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이 전술된 구조를 참조하여, 본 실시예에 따른 스테이지 장치에 대한 몸체부(100)의 이동 경로를 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, as shown in FIG. 8 , a movement path of the body part 100 with respect to the stage device according to the present embodiment will be described with reference to the above-described structure.

먼저, 몸체부(100)에 글라스 패널을 적재한 후, 이에 대한 패턴 검사, 또는 불량을 찾는 공정을 수행하는 경우, 기준이 되는 기준 가이드 레일(10)을 제외한 복수개의 가이드 레일(20)의 위치가 기준 가이드 레일(10)과 비교하여 변화될 수 있다.First, after loading the glass panel on the body part 100 , when performing a pattern inspection or defect finding process, the positions of the plurality of guide rails 20 excluding the reference guide rail 10 serving as a reference can be changed compared to the reference guide rail 10 .

이를 위해, 정밀도가 좋은 고가의 가이드 레일을 구매하거나, 또는 투입되는 인력 및 작업 시간을 더 투자할 수도 있으나, 생산적인 측면에서 어려움이 있기 때문에, 직선 운동부재(230)가 가이드 레일(20)의 휨, 설치 오차 등으로 인한 위치 변화에 대응하게 되면, 수평 운동부재(230)를 통해 제1결합 홈(200a) 내부에서 함께 수평 이동하도록 함으로써, 기준이 되는 기준 가이드 레일(10) 외에 한 쌍의 가이드 레일(20)에 대한 직진 성능이 저하된다 하더라도, 수평 운동부재(230)가 좌, 우측 방향으로 이동, 그 위치 변화를 보상하여 몸체부(100)의 실제 직진 성능에는 영향을 주지 않도록 할 수 있다.To this end, it is possible to purchase an expensive guide rail with good precision, or invest more manpower and work time, but since there is a difficulty in productivity, the linear motion member 230 is the guide rail 20 . When it responds to a change in position due to bending, installation error, etc., by horizontally moving together in the first coupling groove 200a through the horizontal movement member 230, a pair of Even if the straight-ahead performance with respect to the guide rail 20 is reduced, the horizontal movement member 230 moves in the left and right directions, and compensates for the position change so as not to affect the actual straight-line performance of the body part 100 . have.

만일, 보상 가이드부(200)가 기준 가이드부(300)와 동일하게 제1결합 홈(200a)과 동일한 폭 길이를 가지며 제1결합 홈(200a)의 내부에 결합되게 되면, 가이드 레일(20)의 직진성이 떨어질 경우 몸체부(100)의 직진성 또한 함께 떨어질 수 밖에 없으며, 아울러 이러한 직진성 저하에 대응할 수 없는 구조이기 때문에, 이러한 동작이 반복되면 모터의 구동에도 악영향을 미치게 된다.If the compensation guide part 200 has the same width and length as the first coupling groove 200a as the reference guide part 300 and is coupled to the inside of the first coupling groove 200a, the guide rail 20 When the straightness of the body part 100 is inevitably reduced, the straightness of the body part 100 is also inevitably reduced, and since it is a structure that cannot cope with such a decrease in straightness, if such an operation is repeated, it adversely affects the driving of the motor.

따라서, 본 실시예에서는 제1결합 홈(200a)의 내부에서 수평 방향으로 이동 가능하게 마련된 수평 운동부재(220)를 통해 기준이 되는 기준 가이드 레일(10)과 이웃하게 배치된 복수개의 가이드 레일(20)에 대한 직진성이 떨어지더라도 그 위치 변화를 보상하는 구조를 가지도록 함으로써, 몸체부(100)의 직진성을 향상시킴과 동시에, 기준 가이드 레일(10) 및 가이드 레일(20) 사이의 평행도 차이를 보상해줄 수 있고, 결과적으로 평행도 미보상에 따라 발생될 수 있는 보상 가이드부(200)의 손상을 미연에 방지할 수 있다.Therefore, in this embodiment, a plurality of guide rails ( 20) by having a structure that compensates for the change in position even if the straightness is low, thereby improving the straightness of the body part 100 and reducing the parallelism difference between the reference guide rail 10 and the guide rail 20 This can compensate, and as a result, it is possible to prevent in advance damage to the compensation guide unit 200 that may occur due to non-compensation of parallelism.

본 발명은, 복수개의 가이드 레일을 따라 이동하는 가이드부 중 어느 하나의 기준 가이드부가 고정된 상태로 기준 가이드 레일에 결합되도록 함과 함께, 기준 가이드부와 이웃하게 배치된 복수의 보상 가이드부가 위치 변화를 보상할 수 있는 구조를 가지며 가이드 레일에 결합되도록 함으로써, 기준이 되는 기준 가이드 레일 이외에 복수개의 가이드 레일에 대한 직진 성능이 저하된다 하더라도, 보상 가이드부가 위치 변화를 보상하여 검사부가 안착되는 몸체부의 실제 직진 성능에는 영향을 주지 않도록 하는 효과를 갖는다.According to the present invention, any one of the guide parts moving along the plurality of guide rails is coupled to the reference guide rail in a fixed state, and the position of the plurality of compensation guides arranged adjacent to the reference guide part is changed. By having a structure capable of compensating for and being coupled to the guide rail, even if the straight-line performance for a plurality of guide rails other than the reference guide rail is deteriorated, the compensation guide compensates for the change in the position of the body part on which the inspection part is seated. It has the effect of not affecting the straight-line performance.

또한, 본 발명은 가이드 레일에 대한 정밀도와 관계없이 복수의 가이드 레일 따르며 이동하는 가이드부의 직진성이 향상될 수 있으므로, 본체부가 항상 일정한 평행도를 유지하며 이동하게 할 수 있고, 그에 따라 평행도 미보상에 따라 발생될 수 있는 가이드부의 손상을 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention can improve the straightness of the guide part moving along the plurality of guide rails regardless of the precision with respect to the guide rail, so that the body part can always move while maintaining a constant parallelism, and accordingly, according to the non-compensation for parallelism It has the effect of preventing the damage of the guide part that may occur in advance.

아울러, 본 발명은 정밀도가 훌륭한 고가의 가이드 레일을 구매해야 하거나, 또는 레일의 직진 성능 향상을 위해 투입되는 인원 및 작업 시간을 절약할 수 있기 때문에, 비용 및 생산성 측면에서 종래보다 뛰어난 효과를 갖는다.In addition, the present invention has an effect superior to the prior art in terms of cost and productivity, since it is necessary to purchase an expensive guide rail with excellent precision, or it can save the number of people and working time that are put in to improve the straight-line performance of the rail.

이상의 본 발명은 도면에 도시된 실시 예(들)를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형이 이루어질 수 있으며, 상기 설명된 실시예(들)의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해여야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment(s) shown in the drawings, this is only exemplary, and various modifications may be made therefrom by those skilled in the art, and the above-described embodiment It will be understood that all or part of the (s) may optionally be combined. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the spirit of the appended claims.

10 : 기준 가이드 레일 20 : 가이드 레일
100 : 몸체부 200 : 보상 가이드부
200a : 제1결합 홈 210 : 본체
212 : 단턱부 220 : 수평 운동부재
222 : 돌출부 230 : 직선 운동부재
240 : 이동 가이드 부재 300 : 기준 가이드부10: reference guide rail 20: guide rail
100: body part 200: compensation guide part
200a: first coupling groove 210: body
212: step portion 220: horizontal movement member
222: protrusion 230: linear motion member
240: movement guide member 300: reference guide part

Claims (8)

검사체가 안착되고, 진행 방향을 따라 이동하는 몸체부; 및
상기 몸체부의 하부에서 상기 진행 방향을 따르며 복수로 결합되고, 복수의 가이드 레일과 결합되어 상기 몸체부의 이동 시 상기 가이드 레일의 위치 변화를 보상하는 보상 가이드부;를 포함하고,
상기 보상 가이드부는,
상기 몸체부에 마련된 제1결합 홈의 내부 중심에 복수로 결합되고, 내측으로 절곡된 요철 형상의 단턱부가 형성되는 본체;
상기 본체의 하부에 결합되며, 상기 제1결합 홈 내부에서 수평 방향을 따라 선택적으로 이동 가능하게 형성되는 수평 운동부재; 및
상기 수평 운동부재에 고정 결합되며, 상기 가이드 레일에 레일 결합되어 상기 몸체부의 이동 경로를 가이드 하는 직선 운동부재;를 구비하며,
상기 보상 가이드부의 결합 방향과 동일한 방향을 따르며 상기 제1결합 홈과 이격된 제2결합 홈에 결합되며, 기준 가이드 레일과 레일 결합되어 상기 몸체부의 이동을 위한 기준을 형성하는 기준 가이드부를 더 포함하고,
상기 제1결합 홈은,
상기 수평 운동부재가 내부에서 수평 방향을 따라 이동할 수 있도록 내부 폭 길이가 상기 본체 및 상기 수평 운동부재의 폭 길이 보다 긴 길이로 형성되며,
상기 제1결합 홈은,
상기 본체의 양측단부로부터 마주하는 각 내벽과의 거리가 1.5mm 가 되도록 하는 폭 길이로 형성되고, 상기 제2결합 홈보다 3mm가 더 넓게 형성되어, 상기 제1결합홈 내측으로 결합되는 상기 수평 운동부재가 수평 방향으로 유동가능한 공간을 제공하며,
상기 수평 운동부재는 중심이 상방으로 돌출된 돌출부가 형성되어 상기 본체의 단턱부에 결합되고,
상기 보상 가이드부는,
상기 본체의 단턱부 및 상기 수평 운동부재의 돌출부 사이에 배치되며, 상기 본체에 레일 결합된 상기 수평 운동부재의 이동을 가이드 하는 볼베이링으로 이루어진 이동 가이드 부재를 더 구비하고,
상기 기준 가이드부는,
상기 제2결합 홈의 내부에서 상기 보상 가이드부의 배열 위치 및 개수와 동일하게 결합되며,
상기 기준 가이드부는,
상기 제2결합 홈의 내부 폭 길이의 동일한 폭 길이를 가지며 상기 제2결합 홈의 내부에 고정 결합되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
a body part on which the test object is seated and moving along a moving direction; and
A compensation guide part coupled with a plurality of guide rails in the lower portion of the body part along the traveling direction, and compensating for a change in the position of the guide rail when the body part moves, includes;
The compensation guide unit,
a body coupled to a plurality of inner centers of the first coupling grooves provided in the body portion and formed with a stepped portion bent inwardly;
a horizontal movement member coupled to a lower portion of the main body and formed to be selectively movable in a horizontal direction within the first coupling groove; and
and a linear motion member fixedly coupled to the horizontal motion member and rail coupled to the guide rail to guide the movement path of the body portion;
It follows the same direction as the coupling direction of the compensation guide part and is coupled to a second coupling groove spaced apart from the first coupling groove, and further comprises a reference guide part coupled to the reference guide rail and rail to form a reference for movement of the body part, ,
The first coupling groove,
The inner width length is formed to be longer than the width length of the main body and the horizontal movement member so that the horizontal movement member can move in the horizontal direction from the inside,
The first coupling groove,
It is formed with a width length such that a distance from both ends of the main body to each inner wall facing is 1.5 mm, is formed to be 3 mm wider than the second coupling groove, the horizontal movement coupled to the inside of the first coupling groove Provides a space in which the member can move in the horizontal direction,
The horizontal movement member is coupled to the stepped portion of the main body is formed with a protrusion protruding upward from the center,
The compensation guide unit,
It is disposed between the step portion of the main body and the protrusion of the horizontal movement member, further comprising a movement guide member consisting of a ball bearing for guiding the movement of the horizontal movement member rail-coupled to the main body,
The reference guide part,
The second coupling groove is coupled to the same arrangement position and number of the compensation guide part,
The reference guide part,
The stage device, characterized in that it has the same width length as the inner width length of the second coupling groove and is fixedly coupled to the inside of the second coupling groove.
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