JP2011017656A - Defect inspection apparatus for metal material - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を検査する、金属材料の欠陥検査装置に関する。 The present invention relates to a defect inspection apparatus for a metal material that inspects defects generated on the surface or inside of the metal material.
金属材料の欠陥検査装置は、金属材料の表面や内部に生じる傷や異物等の欠陥を検査する。一般的には、金属材料の送り方向と直角な方向に検出器が一走査する毎に、検出器は所定の時間停止する。検出器が所定の時間停止している間に、金属材料を載置している機台は、検出器の停止時間に同期して、金属材料の表面に対し間欠的に検出器の幅の長さだけ移動する。これを繰り返すことで、金属材料の欠陥検査装置は、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を検査することができる。 A metal material defect inspection apparatus inspects defects such as scratches and foreign matters generated on the surface or inside of a metal material. In general, each time the detector scans in a direction perpendicular to the feeding direction of the metal material, the detector stops for a predetermined time. While the detector is stopped for a predetermined time, the machine base on which the metal material is placed is intermittently extended with respect to the surface of the metal material in synchronization with the detector stop time. Just move. By repeating this, the defect inspection apparatus for a metal material can inspect defects generated on the surface or inside of the metal material.
特許文献1には、金属面の欠陥を検査する検出器を、検査方向に対し直交する方向に往復移動させると共に、一つの走査毎に走査端にて短時間停止し、検出器が走査端に停止する時間に同期して検出器の幅長さ分だけ金属面と検出器とを相対的に移動させる金属面の欠陥検出方法が開示されている。 In Patent Document 1, a detector for inspecting a defect on a metal surface is reciprocated in a direction orthogonal to the inspection direction, and stopped for a short time at the scanning end for each scan. A defect detection method for a metal surface is disclosed in which the metal surface and the detector are relatively moved by the width of the detector in synchronization with the stop time.
特許文献1に開示されている方法によれば、検出器を検査方向に対し直交する方向に往復移動させる動作と、金属材料の検査方向に金属面と検出器を相対的に移動させる動作とを交互に行うことで、金属材料を載置している機台の走行に伴う振動が、検査データに影響することがなく、ノイズの少ない検査データを得ることが可能となる。 According to the method disclosed in Patent Document 1, the operation of reciprocating the detector in a direction orthogonal to the inspection direction and the operation of relatively moving the metal surface and the detector in the inspection direction of the metal material are performed. By carrying out alternately, the vibration accompanying the running of the machine base on which the metal material is placed does not affect the inspection data, and inspection data with less noise can be obtained.
特許文献1に開示されている方法によれば、検出器は次の一連の動作を繰り返す。まず機台が停止した状態で、金属材料の送り方向と直角な方向に検出器は走査する。検出器が走査を終えた後、検出器は停止する。検出器が停止した後、機台は走行する。機台が所定の距離だけ走行した後、機台は停止する。再び、機台が停止した状態で、金属材料の送り方向と直角な方向に検出器は走査する。 According to the method disclosed in Patent Document 1, the detector repeats the following series of operations. First, the detector scans in a direction perpendicular to the feeding direction of the metal material while the machine base is stopped. After the detector finishes scanning, the detector stops. After the detector stops, the platform will run. After the machine has traveled a predetermined distance, the machine stops. Again, the detector scans in a direction perpendicular to the feeding direction of the metal material while the machine base is stopped.
この一連の動作は、検査対象である金属材料が連続的に送られる場合には、適用することができない。この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、金属材料を連続的に送りながら、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を検査することができる金属材料の欠陥検査装置を提供することを目的とする。 This series of operations cannot be applied when the metal material to be inspected is continuously fed. The present invention has been made to solve the above-described problem, and provides a defect inspection apparatus for a metal material capable of inspecting defects generated on the surface or inside of the metal material while continuously feeding the metal material. For the purpose.
この発明に基づいた金属材料の欠陥検査装置は、金属材料を表面に載置して、上記金属材料を連続して第1の方向に搬送する搬送装置と、上記金属材料の欠陥を検出するため、上記金属材料の表面と対向するように列状に配置された複数の検出器を有する検出ヘッドと、上記金属材料の上方において上記検出ヘッドを支持すると共に、上記第1の方向に略直交する第2の方向に上記検出ヘッドを往復移動させる支持装置と、を備え、上記支持装置は、上記第1の方向と平行な方向である第1の姿勢と、上記第1の姿勢と略直交する第2の姿勢とに上記検出ヘッドを回転可能に支持する回転機構を含んでいる。 In order to detect a defect in the metal material, a defect inspection apparatus for a metal material according to the present invention is configured to place the metal material on the surface and continuously convey the metal material in the first direction. A detection head having a plurality of detectors arranged in a row so as to face the surface of the metal material, and supports the detection head above the metal material and is substantially orthogonal to the first direction. A support device that reciprocates the detection head in a second direction, and the support device is substantially orthogonal to the first posture, which is a direction parallel to the first direction, and the first posture. A rotation mechanism for rotatably supporting the detection head is included in the second posture.
上記発明の他の形態においては、上記金属材料の表面と上記検出器との間の距離を検知する位置センサと、上記位置センサにより得られた情報に基づいて、上記検出ヘッドを上下方向に移動させ、上記距離が一定になるように上記検出ヘッドを制御する昇降機構とをさらに備えている。 In another aspect of the invention, a position sensor that detects a distance between the surface of the metal material and the detector, and the detection head is moved in the vertical direction based on information obtained by the position sensor. And an elevating mechanism for controlling the detection head so that the distance is constant.
上記発明の他の形態においては、上記搬送装置は、上記検出ヘッドの、上記金属材料が搬送される上記第1の方向の前方および後方に配置され、上記金属材料を上下方向から挟み込むローラーである。 In another aspect of the invention, the transport device is a roller that is disposed in front of and behind the first direction in which the metal material is transported and sandwiches the metal material from above and below in the detection head. .
上記発明の他の形態においては、上記ローラーの回転角度を検出するためのエンコーダをさらに備えている。 In the other form of the said invention, the encoder for detecting the rotation angle of the said roller is further provided.
本発明によれば、金属材料を連続的に送りながら、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を検査することができる金属材料の欠陥検査装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the defect inspection apparatus of the metal material which can test | inspect the defect which arises on the surface and inside of a metal material can be provided, feeding a metal material continuously.
本発明に基づいた各実施の形態における金属材料の欠陥検査装置について、以下、図を参照しながら説明する。なお、以下に説明する各実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。 A metal material defect inspection apparatus according to each embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each embodiment described below, when referring to the number, amount, and the like, the scope of the present invention is not necessarily limited to the number, amount, and the like unless otherwise specified. The same parts and corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description may not be repeated.
(実施の形態1)
(金属材料の欠陥検査装置の構成)
図1および図2を参照して、本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置の構成について説明する。図1は、本実施の形態における検出ヘッド3が、第1の姿勢P1に支持された状態を示している。図2は、本実施の形態における検出ヘッド3が、第2の姿勢P2に支持された状態を示している。検出ヘッド3、第1の姿勢P1、および第2の姿勢P2について、詳細は後述する。
(Embodiment 1)
(Configuration of defect inspection equipment for metal materials)
With reference to FIG. 1 and FIG. 2, the structure of the defect inspection apparatus of the metal material in this Embodiment is demonstrated. FIG. 1 shows a state in which the
まず図1を参照して、本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置は、搬送装置9と、検出ヘッド3と、支持装置8とを備えている。搬送装置9は、金属材料1を表面に載置する。搬送装置9は、金属材料1を表面に載置した状態で、金属材料1を連続して第1の方向D1(紙面左下方向)に搬送する。本実施の形態にかかる第1の方向D1は、金属材料1の長手方向に相当している。以下、第1の方向D1を、長手方向と称する。
First, referring to FIG. 1, the defect inspection apparatus for a metal material in the present embodiment includes a transport apparatus 9, a
検出ヘッド3は、金属材料1の欠陥を検出するための複数の検出器2、2を有している。検出器2、2は、下面において金属材料1の欠陥を検出することができる。検出ヘッド3は、金属材料1の表面と検出器2、2の下面とを対向させるように、検出器2、2を列状に配置する。検出器2、2は1列に配置されていてもよいが、列状であれば2列以上であってもよい。金属材料1の表面だけでなく内部も含めて欠陥を検出するため、検出器2、2には、渦電流探傷(ET)または超音波(UT)等の非破壊検査方式の検出器を用いる。
The
支持装置8は、金属材料1の上方において検出ヘッド3を支持する。検出ヘッド3が支持されることで、検出器2、2は金属材料1の表面と所定の間隔を空けて対向することができる。支持装置8は、長手方向(第1の方向D1)に略直交する第2の方向D2に、検出ヘッド3を往復移動させる。本実施の形態にかかる第2の方向D2は、金属材料1の幅方向に相当している。以下、第2の方向D2を、幅方向と称する。
The
支持装置8は、検出ヘッド3を回転可能に支持する。支持装置8は、検出ヘッド3を長手方向(第1の方向D1)と平行な方向である第1の姿勢P1に支持する。また、支持装置8は、検出ヘッド3を第1の姿勢P1と略直交する第2の姿勢P2(図2参照)に支持する。第2の姿勢P2では、検出ヘッド3は幅方向(第2の方向D2)と平行に支持される(図2参照)。
The
再び図1を参照して、支持装置8の構成について、より具体的に説明する。支持装置8は、回転機構4と、梁5と,リニアガイド6、6と、支持台7とを含んでいる。
With reference to FIG. 1 again, the configuration of the
回転機構4は、金属材料表面と直交する方向に、回転の中心軸を有している。回転機構4は、検出ヘッド3を回転可能に支持している。回転機構4は、金属材料1の表面と平行な面上に、検出ヘッド3を回転させる。より具体的には、回転機構4は、金属材料1の表面と平行な面上に、列状に配置される検出器2、2を回転させる。回転機構4は、検出ヘッド3を第1の姿勢P1および第2の姿勢P2に回転させる。回転機構4は、検出ヘッド3を回転させる動力としてモータなどを含んでいるとよい。
The
梁5は、金属材料1の長手方向(第1の方向D1)と平行な方向に延びて設けられている。回転機構4は、梁5の中央部側面に支持されている。
The
リニアガイド6、6は、金属材料1の幅方向(第2の方向D2)と平行な方向に、並んで設けられている。梁5は、リニアガイド6、6の間の上方において橋を形成するように設けられている。リニアガイド6,6は、梁5を摺動可能に支持している。リニアガイド6、6は、長手方向に所定の間隔を空けて並んで設けられている。リニアガイド6、6が長手方向に所定の間隔を空けて並んで設けられているため、検出ヘッド3は幅方向に往復移動でき、かつ回転機構によって回転することができる。
The
支持台7は、金属材料1を跨ぐように、金属材料1の上方においてリニアガイド6、6を上面に支持している。支持台7が金属材料1を跨ぐように、金属材料1の上方においてリニアガイド6、6を支持することにより、検出器2、2の下面は、検出ヘッド3、回転機構4、梁5、リニアガイド6、6を介して金属材料1の表面と所定の間隔を空けて対向することができる。
The
(動作:第1の姿勢)
図1〜図4を参照して、本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置の動作について説明する。まず図1および図3を参照して、検出ヘッド3が第1の姿勢P1に支持された状態について説明する。図1を参照して、金属材料1の表面全体を検査する場合には、検出器2、2が並ぶ方向と金属材料1の長手方向とが平行になるように、支持装置8は検出ヘッド3を第1の姿勢P1に支持する。
(Operation: 1st posture)
The operation of the metal material defect inspection apparatus in the present embodiment will be described with reference to FIGS. First, a state where the
このとき、検出ヘッド3が金属材料1の表面全体を検査できるようにする。具体的には図1および図3を参照して、金属材料1の幅W(mm)、金属材料1の送り速度S(mm/s)、複数の検出器2、2の長手方向の検出可能長さL(mm)を用いた場合、検出ヘッド3が幅方向に往復運動する速度Sp(mm/s)は、Sp=2×S×W/Lの式を満足するようにする。
At this time, the
図3を参照して、金属材料1の表面全体を検査した場合、検出器2、2の軌跡群R1が描かれる。この軌跡群R1は、長手方向(第1の方向D1)に搬送される金属材料1に対して、幅方向(第2の方向D2)にのみ往復移動する検出ヘッド3によって金属材料1の表面に描かれる軌跡を模式的に表している。このとき、検出ヘッド3は、第1の姿勢P1に支持されている。
With reference to FIG. 3, when the entire surface of the metal material 1 is inspected, the locus group R <b> 1 of the
図3の中では、説明の便宜上、4つの検出器2、2から構成される検出ヘッド3を示しているが、検出器2、2は4つに限られない。検出器2、2の軌跡を線状に記載しているが、実際は検出器2、2の大きさの分だけ所定の幅を持った軌跡が描かれる。検出ヘッド3の幅を、検出器2、2の検出可能長さLと表している。また、検出ヘッド3が等速度運動で往復移動している場合を示しているが、実際には加減速、S字近似等のパターンで往復移動している。
In FIG. 3, for the sake of convenience of explanation, the
上述のような構成によれば、支持装置8が、検出ヘッド3を第1の姿勢P1に支持しつつ、速度Spで往復移動させることにより、検出器2、2が金属材料1の表面全体を検査できるようになる。特に、幅Wが長い場合や、配置する検出器2、2の数が少ない場合であっても、上述のような構成によれば、検出ヘッド3が金属材料1の表面全体を検査できるようになる。
According to the above configuration, the
換言すると、上述のような構成によれば、配置する検出器2、2の数が少なくてもよい。たとえば、金属材料1の幅W(mm)<検出器2、2の長手方向の検出可能長さL(mm)となるように検出器2、2の数を少なくする。この場合であっても、検出ヘッド3が速度Spで往復移動することにより、検出ヘッド3が金属材料1の表面全体を検査することができる。結果として、設備規模を小さくしたり、製造コストを削減したりすることが可能となる。
In other words, according to the configuration as described above, the number of
(動作:第2の姿勢)
次に図2および図4を参照して、検出ヘッド3が第2の姿勢P2に支持された状態について説明する。図2を参照して、金属材料1の表面の部分的な領域を検査する場合には、検出器2、2の並び方向と金属材料1の幅方向とが平行になるように、支持装置8は検出ヘッド3を第2の姿勢P2に支持する。
(Operation: 2nd posture)
Next, a state in which the
このとき、図2および図4を参照して、金属材料1の幅W(mm)、複数の検出器2、2の長手方向の検出可能長さL(mm)を用いた場合、検出ヘッド3は、距離W−L(mm)だけ幅方向に往復運動すればよい。
At this time, with reference to FIGS. 2 and 4, when the width W (mm) of the metal material 1 and the detectable length L (mm) in the longitudinal direction of the plurality of
図4を参照して、金属材料1の表面の部分的な領域を検査する場合、検出器2、2の軌跡群R2が描かれる。この軌跡群R2は、長手方向(第1の方向D1)に搬送される金属材料1に対して、幅方向(第2の方向D2)にのみ往復移動する検出ヘッド3によって金属材料1の表面に描かれる軌跡を模式的に表している。このとき、検出ヘッド3は、第2の姿勢P2に支持されている。
Referring to FIG. 4, when a partial region on the surface of the metal material 1 is inspected, a locus group R2 of the
図3と同様に、図4の中でも、説明の便宜上、検出器2、2の軌跡を線状に記載しているが、実際は検出器2、2の大きさの分だけ所定の幅を持った軌跡が描かれる。検出ヘッド3の幅を、検出器2、2の検出可能長さLと表している。また、検出ヘッド3が等速度運動で往復移動している場合を示しているが、実際には加減速、S字近似等のパターンで往復移動している。
As in FIG. 3, in FIG. 4, the locus of the
第2の姿勢P2によれば、第1の姿勢P1に比べて検出ヘッド3が往復移動する距離が短い。より具体的には、検出ヘッド3の往復移動に必要な距離は、片道の場合、全域検出時と比べて、W−(W−L)=L(mm)、つまり検出ヘッド3の長さ分だけ短い距離で済むことになる。したがって、第2の姿勢P2によれば、金属材料1の表面の部分的な領域を検査する場合、第1の姿勢P1に比べてより短い時間で検査をすることが可能となる。
According to the second posture P2, the distance that the
再び図4を参照して、金属材料1の表面のより限定的な領域を検査する場合には、支持装置8が検出ヘッド3を第2の姿勢P2に支持した状態で、検出器2、2のうち一部の検出器2(2A)のみを使用(いわゆる間引き使用)すればよい。一部の検出器2Aのみを使用することで、部分検査において欠陥を検出し、欠陥の位置を特定するために必要な時間を短くすることができる。
Referring to FIG. 4 again, when a more limited area on the surface of the metal material 1 is to be inspected, the
この間引き使用は、支持装置8が検出ヘッド3を第1の姿勢P1に支持した状態で適用してもよい。具体的には、再び図3を参照して、金属材料1の表面の部分的な領域を検査する場合には、支持装置8が検出ヘッド3を第1の姿勢P1に支持した状態で、検出器2、2のうち一部の検出器2(2A)のみを使用すればよい。一部の検出器2Aのみを使用することで、部分検査において欠陥を検出し、欠陥の位置を特定するために必要な時間を短くすることができる。
This thinning use may be applied in a state where the
(効果)
本実施の形態にかかる金属材料の欠陥検査装置によれば、搬送装置9が金属材料1を連続して長手方向(第1の方向D1)に搬送している。支持装置8は、金属材料1の連続的なこの動きと同期させることなく、検出ヘッド3を幅方向(第2の方向D2)に往復移動させる。このため、金属材料1を連続的に送りながら、金属材料1の表面や内部に生じる欠陥を検査することができる。
(effect)
According to the defect inspection apparatus for a metal material according to the present embodiment, the transport device 9 continuously transports the metal material 1 in the longitudinal direction (first direction D1). The
さらに、本実施の形態にかかる金属材料の欠陥検査装置によれば、支持装置8が第1の姿勢P1と第2の姿勢P2とに検出ヘッド3を回転可能に支持している。このため、目的に応じてこれらを自由に選択し、金属材料1の表面全体を検査したり、部分的な領域を検査したりすることが可能となる。
Further, according to the defect inspection apparatus for metal material according to the present embodiment, the
なお、支持装置8は、第1の姿勢P1と第2の姿勢P2とに検出ヘッド3を支持すると説明したが、これら以外の姿勢に検出ヘッド3を支持してもよい。第1の姿勢P1において、検出器2、2が金属材料1の表面を検出できる範囲は最も広く、金属材料1の表面の全体を検出することもできる。第2の姿勢P2において、検出器2、2が金属材料1の表面を検出できる範囲は最も小さくなる。したがって、所望の検出範囲に応じて、支持装置8は、第1の姿勢P1と第2の姿勢P2との間の任意の姿勢に検出ヘッド3を支持してもよい。
The
(実施の形態2)
図5を参照して、本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置の構成について説明する。本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置は、実施の形態1の構成に加え、位置センサ11と昇降機構10とをさらに備えている。
(Embodiment 2)
With reference to FIG. 5, the structure of the defect inspection apparatus of the metal material in this Embodiment is demonstrated. The metal material defect inspection apparatus in the present embodiment further includes a
位置センサ11は、金属材料1の表面と検出器2、2との間の距離を検知する。位置センサ11は、検出ヘッド3に埋設されているとよい。昇降機構10は、位置センサ11により得られた情報に基づいて、上下方向D3に検出ヘッド3を移動させる。このとき、検出ヘッド3は、昇降機構10を介して梁5に取り付けられているとよい。昇降機構10は、金属材料1の表面と検出器2、2との間の距離が一定になるように、検出ヘッド3の高さを制御する。
The
上述のとおり、金属材料の送り方向(検査方向)とは直交する方向へ検出器を往復移動させる動作と、金属材料の送り方向(検査方向)に金属面と検出器を相対的に移動させる動作とを交互に行うと、金属材料を載置している機台の走行に伴う振動が、検査データに影響することがなく、ノイズの少ない検査データを得ることが可能となる(特許文献1)。この検査方法によれば、検出器が往復移動するときには機台が走行していないため、ノイズの影響が少ない欠陥の検出が可能とされている。ところが、検出器自身の走査により発生するノイズに対する影響は残る。 As described above, the operation of reciprocating the detector in a direction orthogonal to the feeding direction (inspection direction) of the metal material and the operation of moving the metal surface and the detector relatively in the feeding direction (inspection direction) of the metal material Are alternately performed, vibration associated with the running of the machine base on which the metal material is placed does not affect the inspection data, and inspection data with less noise can be obtained (Patent Document 1). . According to this inspection method, since the machine base does not travel when the detector reciprocates, it is possible to detect defects with little influence of noise. However, the effect on the noise generated by the scanning of the detector itself remains.
本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置によれば、位置センサ11の検出値に応じて昇降機構10を駆動させ、検出器2と金属材料1のすき間(クリアランス)を一定に保つようにする。このため、検出ヘッド3が往復移動したときに、リニアガイド6から受ける振動によるノイズを抑えることが可能となる。結果として、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を、より精度良く検査することが可能となる。
According to the defect inspection apparatus for metal material in the present embodiment, the lifting mechanism 10 is driven according to the detection value of the
(実施の形態3)
図6を参照して、本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置の構成について説明する。本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置と、実施の形態1または実施の形態2とは、搬送装置9において相違する。本実施の形態にかかる搬送装置9は、ローラー12、12である。
(Embodiment 3)
With reference to FIG. 6, the structure of the defect inspection apparatus of the metal material in this Embodiment is demonstrated. The metal material defect inspection apparatus according to the present embodiment is different from the first embodiment or the second embodiment in the transport device 9. The transport device 9 according to the present embodiment is
ローラー12、12は、金属材料1が搬送される長手方向(第1の方向D1)において、検出ヘッド3の前方および後方に配置するとよい。ローラー12、12は、金属材料1を上下方向D3から挟み込みながら、金属材料を連続して第1の方向D1に搬送する。
The
ローラー12、12は、金属材料1を上下方向D3から挟み込むことで、金属材料1の高さ方向の動きを拘束する。このため、金属材料1が搬送されるときに、搬送装置9(ローラー12、12)から受ける振動によるノイズを押させることが可能となる。結果として、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を、より精度高く検査することが可能となる。
The
特に、実施の形態2にかかる搬送装置9に対して、ローラー12、12を適用することで、位置センサ11により検出ヘッド3が往復移動したときにリニアガイド6から受ける振動によるノイズを抑えることが可能となるだけでなく、搬送装置9(ローラー12、12)から受ける振動によるノイズを押させることも可能となる。結果として、金属材料の表面や内部に生じる欠陥を、より精度良く検査することが可能となる。
In particular, by applying the
(実施の形態3の他の構成)
再び図6を参照して、本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置の構成について説明する。本実施の形態における金属材料の欠陥検査装置は、実施の形態3の構成に加え、ローラー12、12の回転角度を検出するためのエンコーダ13をさらに備えている。
(Other configuration of the third embodiment)
Referring to FIG. 6 again, the configuration of the metal material defect inspection apparatus in the present embodiment will be described. In addition to the configuration of the third embodiment, the metal material defect inspection apparatus in the present embodiment further includes an
エンコーダ13には、サーボモータに使用されるような回転軸に設置する光学式位置検出センサを用いるとよい。エンコーダ13は、ローラー12、12の回転位置(もしくは回転量)を検出する。
The
エンコーダ13を備えていない場合について考える。たとえば、上記の各実施の形態の構成によれば、欠陥の有無、検出ヘッド3や金属材料1の送り速度、および欠陥を発見した時間などから、欠陥の位置情報を算出し、実際の欠陥の位置を特定することができる。これは、検出を開始した位置から、経過した時間と送り速度とを基に、相対的な位置情報として欠陥の位置情報を算出し、実際の欠陥の位置を特定することができる。
Consider the case where the
一方、本実施の形態のようなエンコーダ13を用いることで、検出器2、2によって検出した欠陥の有無情報と、ローラー12、12の回転位置から算出される欠陥の位置情報とを結びつけることで、実際の欠陥の位置を特定することができる。エンコーダ13を用いることで、上記の各実施の形態の構成に比べてより迅速かつより高精度に欠陥の位置を特定することができる。
On the other hand, by using the
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
1 金属材料、2,2A 検出器、3 検出ヘッド、4 回転機構、5 梁、6 リニアガイド、7 支持台、8 支持装置、9 搬送装置、10 昇降機構、11 位置センサ、12 ローラー、13 エンコーダ、D1 長手方向(第1の方向)、D2 幅方向(第2の方向)、D3 上下方向、P1 第1の姿勢、P2 第2の姿勢、R1,R2 軌跡群、S,Sp 速度、W 幅。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal material, 2, 2A detector, 3 detection head, 4 rotation mechanism, 5 beam, 6 linear guide, 7 support stand, 8 support apparatus, 9 conveyance apparatus, 10 raising / lowering mechanism, 11 position sensor, 12 roller, 13 encoder , D1 longitudinal direction (first direction), D2 width direction (second direction), D3 vertical direction, P1 first posture, P2 second posture, R1, R2 trajectory group, S, Sp speed, W width .
Claims (4)
前記金属材料の欠陥を検出するため、前記金属材料の表面と対向するように列状に配置された複数の検出器を有する検出ヘッドと、
前記金属材料の上方において前記検出ヘッドを支持すると共に、前記第1の方向に略直交する第2の方向に前記検出ヘッドを往復移動させる支持装置と、
を備え、
前記支持装置は、前記第1の方向と平行な方向である第1の姿勢と、前記第1の姿勢と略直交する第2の姿勢とに前記検出ヘッドを回転可能に支持する回転機構を含む、
金属材料の欠陥検査装置。 A transport device that places the metal material on the surface and continuously transports the metal material in the first direction;
In order to detect a defect in the metal material, a detection head having a plurality of detectors arranged in a row so as to face the surface of the metal material;
A support device for supporting the detection head above the metal material and reciprocating the detection head in a second direction substantially orthogonal to the first direction;
With
The support device includes a rotation mechanism that rotatably supports the detection head in a first posture that is parallel to the first direction and a second posture that is substantially orthogonal to the first posture. ,
Metal material defect inspection equipment.
前記位置センサにより得られた情報に基づいて、前記検出ヘッドを上下方向に移動させ、前記距離が一定になるように前記検出ヘッドを制御する昇降機構と、
をさらに備える、請求項1に記載の金属材料の欠陥検査装置。 A position sensor for detecting a distance between the surface of the metal material and the detector;
Based on information obtained by the position sensor, the elevating mechanism that moves the detection head in the vertical direction and controls the detection head so that the distance becomes constant;
The metal material defect inspection apparatus according to claim 1, further comprising:
請求項1または2に記載の金属材料の欠陥検査装置。 The transport device is a roller that is disposed in front and rear in the first direction in which the metal material is transported of the detection head and sandwiches the metal material from above and below.
The defect inspection apparatus for a metal material according to claim 1 or 2.
請求項3に記載の金属材料の欠陥検査装置。 An encoder for detecting a rotation angle of the roller;
The metal material defect inspection apparatus according to claim 3.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011017656A true JP2011017656A (en) | 2011-01-27 |
JP5181298B2 JP5181298B2 (en) | 2013-04-10 |
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Country Status (1)
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Publication number | Publication date |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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