KR101844055B1 - 롤와이퍼 클리닝 장치 - Google Patents

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KR101844055B1
KR101844055B1 KR1020170108938A KR20170108938A KR101844055B1 KR 101844055 B1 KR101844055 B1 KR 101844055B1 KR 1020170108938 A KR1020170108938 A KR 1020170108938A KR 20170108938 A KR20170108938 A KR 20170108938A KR 101844055 B1 KR101844055 B1 KR 101844055B1
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송병열
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Abstract

롤와이퍼 클리닝 장치가 개시된다. 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는, 구동부를 구비하는 몸체부, 상기 몸체부에 구비되고 권취된 와이퍼가 풀어지는 언와인더부, 상기 몸체부에 구비되어 상기 언와인더부를 통해 풀어진 와이퍼가 감겨지는 리와인더부, 상기 언와인더부로부터 상기 리와인더부까지의 구간 동안 상기 와이퍼를 가이드하는 적어도 하나의 가이드롤러부, 상기 구동부의 일 영역에 연결되고 클리닝대상물의 표면측으로 와이퍼를 밀착시켜 상기 와이퍼에 의해 상기 클리닝대상물의 이물질이 제거되도록 하는 스퀴지부, 상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 감지하여 밸런스 위치 데이터를 출력하는 텐션 감지부, 상기 텐션 감지부로부터 밸런스 위치 데이터를 입력받고, 상기 밸런스 위치 데이터에 따라 상기 언와인더부를 제어하여 상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시키는 제어부, 및 상기 스퀴지부의 일측에 구비되어 상기 스퀴지부 쪽으로 이송되는 와이퍼에 세정액을 공급하는 세정액 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

롤와이퍼 클리닝 장치{ROLL WIPER CLEANING APPARATUS}
본 발명은 롤와이퍼 클리닝 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 패드형의 와이퍼를 이용하여 반도체 표면이나 렌즈, Display Panel과 Flexible OLED와 같은 제품 표면을 클리닝할 때 와이퍼의 텐션을 동일하게 유지하고 와이퍼의 평행유지는 물론 와이퍼의 공급량을 일정하게 유지하고 세정액의 공급을 원활히 할 수 있는 롤와이퍼 클리닝 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자나 렌즈, Display Panel과 Flexible OLED와 같은 제품의 표면에는 제조 과정에서 발생되는 이물질이 잔류하게 되는데, 이와 같이 표면에 잔류하는 이물질을 클리닝 장치로 제거하고 있다.
종래 표면 이물질을 제거하기 위한 수단으로 와이퍼 클리닝 장치가 있으며, 패드형 와이퍼(wiper)를 이용하여 표면에 묻은 이물질을 제거하고 있다. 이러한 와이퍼 클리닝 장치는 패드형 와이퍼를 풀어주는 언와인더(un-winder)와 풀어진 와이퍼가 감기는 리와인더(re-winder)를 구비하며, 와이퍼가 언와인더로부터 풀어지고 리와인더측으로 감겨지는 과정에서 제품의 표면에 접촉되어 표면에 잔류하는 이물질을 클리닝하고 있다.
그러나 종래의 클리닝 장치는, 와이퍼가 풀어지고 감기는 동작을 반복적으로 진행함에 따라 와이퍼에 대한 텐션(장력)이 저하되는 현상은 물론 와이퍼의 평행유지가 이루어지지 않게 되어 와이퍼와 표면과의 밀착력이 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 종래의 클리닝 장치는 와이퍼의 공급량이 일정하지 않게 되어 과다하게 와이퍼가 사용되거나 또는 와이퍼에 의해 표면 클리닝이 제대로 이루어지지 않는 문제점과 함께 클리닝대상물에 대한 지지 유무를 확인할 수 없는 문제점이 있었다.
KR 10-0904395 B1 KR 20-0190472 Y1
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 패드형의 와이퍼를 이용하여 반도체 표면이나 렌즈, Display Panel과 Flexible OLED와 같은 제품 표면을 클리닝할 때 와이퍼의 텐션을 동일하게 유지하고 와이퍼의 평행유지는 물론 와이퍼의 공급량을 일정하게 유지하고 세정액의 공급을 원활히 할 수 있는 롤와이퍼 클리닝 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치는, 구동부를 구비하는 몸체부, 상기 몸체부에 구비되고 권취된 와이퍼가 풀어지는 언와인더부, 상기 몸체부에 구비되어 상기 언와인더부를 통해 풀어진 와이퍼가 감겨지는 리와인더부, 상기 언와인더부로부터 상기 리와인더부까지의 구간 동안 상기 와이퍼를 가이드하는 적어도 하나의 가이드롤러부, 상기 구동부의 일 영역에 연결되고 클리닝대상물의 표면측으로 와이퍼를 밀착시켜 상기 와이퍼에 의해 상기 클리닝대상물의 이물질이 제거되도록 하는 스퀴지부, 상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 감지하여 밸런스 위치 데이터를 출력하는 텐션 감지부, 상기 텐션 감지부로부터 밸런스 위치 데이터를 입력받고, 상기 밸런스 위치 데이터에 따라 상기 언와인더부를 제어하여 상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시키는 제어부, 및 상기 스퀴지부의 일측에 구비되어 상기 스퀴지부 쪽으로 이송되는 와이퍼에 세정액을 공급하는 세정액 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 텐션 감지부는, 상기 몸체부에 통공되어 형성되는 가이드홈에 삽입되어 상기 와이퍼를 가이드하며, 상기 와이퍼의 텐션에 따라 상기 가이드홈 내에서 위치가 이동되는 이동식 가이드롤러, 및 상기 이동식 가이드롤러의 위치를 감지하여 상기 밸런스 위치 데이터를 생성하는 위치감지모듈을 포함할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 텐션 감지부는, 상기 이동식 가이드롤러 및 상기 위치감지모듈에 결합되고, 상기 이동식 가이드롤러가 상기 가이드홈을 따라 이동함에 따라 상기 위치감지모듈을 중심으로 회전하는 회전 바를 더 구비하고, 상기 위치감지모듈은 상기 회전 바의 회전 각도를 측정한 결과에 따라 상기 밸런스 위치 데이터를 생성할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 텐션 감지부는, 상기 회전 바의 회전 각도가 소정 범위 이내인지를 판단하는 이동 리미트 센서를 더 구비할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 이동식 가이드롤러가 상기 언와인더부로부터 원점 위치보다 먼 곳에 위치하면, 상기 언와인더부가 와이퍼를 권취하여 상기 와이퍼에 의해 상기 이동식 가이드롤러가 상기 원점 위치로 이동하도록 상기 언와인더부를 제어하고, 상기 이동식 가이드롤러가 상기 언와인더부로부터 원점 위치보다 가까운 곳에 위치하면, 상기 언와인더부의 와이퍼가 풀리도록 제어하여 상기 이동식 가이드롤러가 상기 원점 위치로 이동하도록 할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시켜 상기 이동식 가이드롤러가 동일한 위치로 이동하도록 제어할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 세정액 공급부는, 일 영역에 형성되는 세정액 주입구를 통해 주입된 세정액이 공급되는 메인공급라인, 및 상기 메인공급라인과 각각 연결되어 상기 메인공급라인을 통해 공급되는 세정액을 상기 와이퍼측으로 공급하는 적어도 하나의 노즐을 구비할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 세정액 공급부는, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 메인공급라인의 일측 또는 타측으로 이동되고 내부 유로를 포함하는 슬라이드 바를 더 구비하고, 상기 슬라이드 바가 상기 메인공급라인의 일측으로 이동되면 상기 메인공급라인과 상기 적어도 하나의 노즐이 상기 내부 유로를 통해 서로 연결되어 상기 메인공급라인을 통해 공급되는 세정액이 상기 적어도 하나의 노즐을 통해 상기 와이퍼측으로 공급되고, 상기 슬라이드 바가 상기 메인공급라인의 타측으로 이동되면 상기 적어도 하나의 노즐과 상기 내부 유로가 서로 어긋나게 되어 상기 메인공급라인을 통해 공급되는 세정액이 상기 적어도 하나의 노즐로 공급되는 것이 차단될 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는, 상기 세정액 공급부의 일측에 배치되고 상기 세정액 공급부로부터 상기 와이퍼로 공급되는 세정액을 감지하여 세정액 감지 신호를 생성하며 상기 세정액 감지 신호를 상기 제어부로 출력하는 세정액 감지부를 더 포함할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는, 상기 언와인더부가 탈착되는 제1 와인더 탈착부, 및 상기 리와인더부가 탈착되는 제2 와인더 탈착부를 더 포함할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는, 상기 언와인더부에 의해 풀어져 상기 리와인더부에 감겨지는 와이퍼의 공급량을 감지하는 엔코더부를 더 포함할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는, 상기 클리닝대상물이 올려지는 스테이지부, 및 상기 스테이지부에 구비되고, 상기 스퀴지부에 의한 압력 정보를 측정하여 상기 제어부로 출력하는 로드셀을 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 로드셀로부터 전달받은 상기 압력 정보에 따라 상기 스퀴지부가 상기 와이퍼를 누르는 압력을 조절할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치는, 클리닝대상물의 표면을 스퀴지부로 공급되는 와이퍼에 의해 클리닝하기 때문에 클리닝대상물의 클리닝작업이 용이하게 이루어질 수 있으며, 와이퍼가 풀어져 공급되면서 와이퍼의 외경이 변경될 때 와이퍼의 텐션이 변경되는 경우에도 텐션 감지부에 의해 와이퍼의 평행을 유지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기와 같은 본 발명에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치는, 와이퍼의 풀림 및 감김 동작시에 와이퍼에 대한 텐션을 동일하게 유지하도록 하여 클리닝대상물 표면과의 밀착성을 향상시켜 클리닝 작업성을 크게 향상시킬 수 있으므로, 와이퍼에 대한 텐션이 저하되는 현상은 물론 와이퍼의 평행유지가 이루어지지 않아 와이퍼와 클리닝대상물의 표면과의 밀착력이 떨어지는 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 상기와 같은 본 발명에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치는, 와이퍼의 공급량을 일정하게 유지함은 물론 하나의 세정액 공급부에 구비되는 복수 개의 노즐을 통해 세정액이 공급될 수 있어 세정액 공급성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기와 같은 본 발명에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치는, 로드셀에 의해 스퀴지부가 누르는 와이퍼의 압력을 실시간 감지하여 측정할 수 있어 반도체 표면이나 렌즈, Display Panel과 Flexible OLED와 같은 제품 표면 클리닝과 특히 플렉시블 OLED 제조공정 중 레이저 커팅 시 발생하는 HUM 제거에 탁월한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치를 나타내는 일측사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치를 나타내는 타측사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치를 나타내는 정면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 텐션 감지부를 나타내는 도면이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 텐션 감지부의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 세정액 공급부를 나타내는 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 세정액 공급부를 나타내는 도면이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 세정액 감지부 주변을 확대 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 스테이지부를 나타내는 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 실질적으로 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결”되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치를 나타내는 일측사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치를 나타내는 타측사시도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치를 나타내는 정면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는, 몸체부(10), 언와인더부(20), 리와인더부(30), 적어도 하나의 가이드롤러부(40), 스퀴지부(50), 텐션 감지부(60), 제어부(미도시) 및 세정액 공급부(70)를 포함할 수 있다. 또한 실시예에 따라, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 엔코더부(80)를 더 구비할 수 있다.
몸체부(10)는, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)의 기본 프레임 및 지지 구조 등을 포함하는 구성으로서 제1 영역에 구동부(11)를 구비할 수 있다. 일례로서, 구동부(11)는 몸체부(10)의 중앙부에 배치될 수 있다. 상기 구동부(11)는 스퀴지부(50)를 구동하여 스퀴지부(50)가 와이퍼(1)를 누르는 압력을 조절할 수 있다.
일례로서, 상기 와이퍼(1)는 폴리에스테르와 나일론이 혼용된 초미세극세사로 직조된 원단일 수 있다. 와이퍼(1)는 일반적인 굵기의 원사보다 넓은 접지면적을 제공할 수 있다. 와이퍼(1)는 섬유조직 내부에 무수한 미세홀이 구성될 수 있으며, 많은 양의 오염물을 흡수할 수 있다. 일례로서, 상기 와이퍼(1)는 Display Panel과 Flexible OLED나 광학렌즈, 반도체 FAB 제조공정에서 사용되는 클리닝용 롤 타입의 와이퍼로 이루어질 수 있다.
언와인더부(20)는, 상기 몸체부(10)의 제2 영역에 구비될 수 있다. 일례로서, 언와인더부(20)는 몸체부(10)의 상부 좌측에 구비될 수 있고, 언와인더부(20)에 권취된 와이퍼(1)가 풀어지면서 적어도 하나의 롤러부(40), 스퀴지부(50) 등으로 제공될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 언와인더부(20)가 탈착되는 제1 와인더 탈착부(12)를 더 구비할 수 있다. 일례로서, 제1 와인더 탈착부(12)를 이용하여 언와인더부(20)를 끼움결합방식으로 끼우거나 분리시킬 수 있다.
리와인더부(30)는, 상기 몸체부(10)의 제3 영역에 구비될 수 있다. 일례로서, 상기 리와인더부(30)는 몸체부(10)의 상부 우측에 구비될 수 있고, 언와인더부(20)를 통해 풀어진 와이퍼(1)가 리와인더부(30)에 감겨질 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 리와인더부(30)가 탈착되는 제2 와인더 탈착부(13)를 더 구비할 수 있다. 일례로서, 제2 와인더 탈착부(13)를 이용하여 리와인더부(30)를 끼움결합방식으로 끼우거나 분리시킬 수 있다.
적어도 하나의 가이드롤러부(40)는, 언와인더부(20)로부터 리와인더부(30)까지의 구간 동안 와이퍼(1)를 가이드할 수 있다. 일례로서, 상기 가이드롤러부(40)는 원기둥 형태로 형성될 수 있고, 상기 언와인더부(20)와 리와인더부(30)의 하측에 적어도 하나가 구비될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 가이드롤러부(40)는 언와인더부(20)로부터 풀린 와이퍼(1)가 스퀴지부(50)를 지나 리와인더부(30)로 권취되는 동안 와이퍼(1)가 지정된 경로를 벗어나지 않도록 가이드할 수 있다.
스퀴지부(50)는, 구동부(11)의 일 영역에 연결될 수 있고, 클리닝대상물의 표면측으로 와이퍼(1)를 접촉 밀착시킬 수 있다. 이를 통해 스퀴지부(50)는 상기 와이퍼(1)에 의해 클리닝대상물의 이물질이 제거되도록 할 수 있다. 일례로서, 상기 스퀴지부(50)의 재질은 클리닝대상물의 종류 또는 와이퍼의 종류에 따라 달라질 수 있다.
텐션 감지부(60)는, 언와인더부(20)에 의해 풀어지는 와이퍼(1)의 텐션을 감지하여 밸런스 위치 데이터를 출력할 수 있다. 언와인더부(20)에 의해 자동으로 와이퍼(1)가 풀어지면서 리와인더부(30)측으로 와이퍼(1)가 감겨지는 과정이 반복되는 과정에서 언와인더부(20)로부터 풀어지는 와이퍼(1)의 외경이 점차적으로 축소되면서 와이퍼(1)의 외경에 대한 변화가 발생되는 것 등에 의해 와이퍼(1)의 텐션이 고르게 유지되지 않을 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여, 텐션 감지부(60)는 언와인더부(20)에 의해 풀어지는 와이퍼(1)의 텐션을 감지하여 제어부로 피드백할 수 있다. 텐션 감지부(60)의 구체적인 구성 및 동작에 대해서는 도 4a 내지 도 5c를 참조하여 상술하기로 하고 여기에서는 자세한 설명은 생략한다.
제어부는, 텐션 감지부(60)로부터 입력받은 밸런스 위치 데이터를 분석하여 언와인더부(20)에 의해 풀어지는 와이퍼(1)의 텐션을 일정하게 제어할 수 있다. 제어부는 몸체부(10)의 일영역에 배치될 수 있으며, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)의 다양한 구성요소들을 제어할 수 있다. 일례로서, 제어부(10)는 데이터의 입출력 및 데이터 처리가 가능한 프로세서 등으로 구현될 수 있다.
세정액 공급부(70)는, 스퀴지부(50)의 일측에 구비되어 상기 스퀴지부(50) 쪽으로 이송되는 와이퍼(1)에 세정액을 공급할 수 있다. 세정액은 와이퍼(1)에 흡수될 수 있고 와이퍼(1)는 클리닝대상물의 이물질을 제거할 수 있다. 세정액 공급부(70)의 구체적인 구성 및 동작에 대해서는 도 6 내지 도 8b를 참조하여 상술하기로 하고 여기에서는 자세한 설명은 생략한다.
엔코더부(80)는, 언와인더부(20)에 의해 풀어져 리와인더부(30)에 감겨지는 와이퍼(1)의 공급량을 감지할 수 있다. 스퀴지부(50)측으로 공급되는 와이퍼(1)의 공급량을 엔코더부(80)로 확인할 수 있기 때문에 작업자가 설정하는 공급량 예컨대, 5mm, 10mm, 15mm와 같이 작업자가 설정한 공급 길이만큼 와이퍼(1)를 공급할 수 있다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 몸체부(10)에 대해 언와인더부(20), 리와인더부(30), 가이드롤러부(40), 스퀴지부(50), 텐션 감지부(60), 세정액 공급부(70) 및 엔코더부(80) 등이 몸체부(10)의 전면과 배면 양측에 각각 대응되게 구비될 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 텐션 감지부를 나타내는 도면이다. 도 4a는 본 발명의 일실시예에 따른 텐션 감지부(60)를 나타내는 사시도이고, 도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 텐션 감지부(60)를 나타내는 정면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 상기 텐션 감지부(60)는 위치감지모듈(61) 및 이동식 가이드롤러(62)를 포함할 수 있으며, 실시예에 따라, 회전 바(63), 결합부(64) 및 이동 리미트 센서(65)를 더 포함할 수 있다.
위치감지모듈(61)은, 이동식 가이드롤러(62)의 위치를 감지하여 상기 밸런스 위치 데이터를 생성할 수 있다. 상기 밸런스 위치 데이터는 이동식 가이드롤러(62)의 위치나 회전 바(63)의 회전 각도 등을 포함할 수 있다. 일례로서, 상기 위치감지모듈(61)은 내부에 자이로 센서를 구비할 수 있다. 상기 자이로 센서는 회전 바(63)와 축으로 연결될 수 있고, 이동식 가이드롤러(62)의 위치가 이동되어 회전 바(63)가 회전하는 경우 회전 바(63)의 회전 각도를 측정할 수 있다. 위치감지모듈(61)은 자이로 센서 이외에도 이동식 가이드롤러(62)의 위치를 감지하기 위한 다양한 형태의 감지 센서에 의해 구현될 수 있다.
이동식 가이드롤러(62)는, 몸체부(10)의 제4 영역에 통공되어 형성되는 가이드홈(도 5a의 66)에 삽입되어 상기 와이퍼(1)를 가이드할 수 있다. 이동식 가이드롤러(62)는 와이퍼(1)의 텐션에 따라 상기 가이드홈(66) 내에서 위치가 이동될 수 있다.
회전 바(63)는, 이동식 가이드롤러(62) 및 위치감지모듈(61)에 결합될 수 있다. 일례로서, 회전 바(63)는 직사각형의 판 형태로 구현될 수 있다. 회전 바(63)는 이동식 가이드롤러(62)가 가이드홈(66)을 따라 이동함에 따라 상기 위치감지모듈(61)을 중심으로 회전할 수 있다. 상술한 바와 같이, 상기 위치감지모듈(61)은 회전 바(63)의 회전 각도를 측정한 결과에 따라 상기 밸런스 위치 데이터를 생성할 수 있다. 제어부는, 텐션 감지부(60)로부터 밸런스 위치 데이터를 입력받을 수 있고, 상기 밸런스 위치 데이터에 따라 상기 언와인더부(20)를 제어하여 언와인더부(20)에 의해 풀어지는 와이퍼(1)의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시킬 수 있다.
결합부(64)는, 몸체부(10)와 결합되어 고정될 수 있다. 이에 따라 이동식 가이드롤러(62)가 가이드홈(66)을 따라 이동하는 경우 회전 바(63)가 위치감지모듈(61)을 중심으로 회전하더라도 위치감지모듈(61) 및 결합부(64)의 위치는 고정될 수 있다.
이동 리미트 센서(65)는, 회전 바(63)의 회전 각도가 소정 범위 이내인지를 판단할 수 있다. 일례로서, 이동 리미트 센서(65)는 회전 바(63)의 일측에 2개가 배치될 수 있고 각각 회전 바(65)가 상한 회전 각도 및 하한 회전 각도로 회전되는 경우 이를 감지하여 제어부로 출력할 수 있다. 일례로서, 위치감지모듈(61)의 자이로 센서에 문제가 발생한 경우, 제어부는 이동 리미트 센서(65)로부터 감지된 감지 신호에 따라 언와인드부(20)를 제어할 수 있다. 회전 바(63)의 회전 각도가 상한 회전 각도와 하한 회전 각도 사이의 범위를 벗어나는 경우, 이동 리미트 센서(65)가 이를 감지하여 제어부로 출력할 수 있고 제어부는 이동 리미트 센서(65)로부터 전달받은 회전 바(63)의 회전 각도에 따라 언와인드부(20)를 제어하여 이동식 가이드롤러(62)의 평행위치를 유지할 수 있다. 실시예에 따라, 상기 이동 리미트 센서(65)는 마이크로형 포토센서 등으로 구현될 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 텐션 감지부의 동작 상태를 나타내는 도면이다. 도 5a 내지 도 5c는 도 3의 좌측 하단 부분을 확대 도시한 것이다.
도 5a를 참조하면, 위치감지모듈(61)은 결합부(64)를 통해 몸체부(10)에 결합될 수 있고, 이동식 가이드롤러(62)는 가이드홈(66)에 삽입되어 전방으로 돌출될 수 있다. 도 5a에 도시된 바와 같이, 가이드홈(66)은 회전 바(63)의 회전에 따라 이동식 가이드롤러(62)가 이동할 수 있도록 원호(circular arc)와 같은 형태로 형성될 수 있다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 상단에 배치된 가이드롤러부(40)로부터 제공되는 와이퍼(1)가 이동식 가이드롤러(62)에 감길 수 있다. 이동식 가이드롤러(62)가 가이드홈(66)의 중앙에 위치하는 경우 회전 바(63)가 수평으로 유지되는데, 이러한 가이드홈(66)의 중앙 위치를 원점 위치로 정의할 수 있다. 제어부는 이동식 가이드롤러(62)가 원점 위치에서 벗어나는 경우 다시 원점 위치로 복귀되도록 제어할 수 있다.
도 5b를 참조하면, 리와인더부(30)에서 와이퍼(1)가 강하게 권취되거나 언와인더부(20)에서 와이퍼(1)가 약하게 풀리는 경우 또는 언와인더부(20)에서 와이퍼(1)를 권취하는 경우 등에 와이퍼(1)의 텐션에 의해 이동식 가이드롤러(62)가 가이드홈(66)의 위쪽으로 이동될 수 있다. 이동식 가이드롤러(62)가 언와인더부(20)로부터 원점 위치보다 가까운 곳에 위치하면, 위치감지모듈(61)은 회전 바(63)가 위쪽으로 회전된 것을 감지하여 밸런스 위치 데이터를 생성하고 제어부로 출력할 수 있다.
제어부는 위치감지모듈(61)로부터 전달받은 밸런스 위치 데이터를 분석하여 이동식 가이드롤러(62)가 언와인더부(20)로부터 원점 위치보다 가까운 곳에 위치하는 것으로 판단되면, 언와인더부(20)의 와이퍼(1)가 풀리도록 제어하여 이동식 가이드롤러(62)가 상기 원점 위치로 이동하도록 할 수 있다. 언와인더부(20)의 와이퍼(1)가 풀리게 되면 중력에 의해 이동식 가이드롤러(62)는 아래 방향으로 이동하게 되고 원점 위치로 복귀할 수 있다.
다음으로, 도 5c를 참조하면, 리와인더부(30)에서 와이퍼(1)가 약하게 권취되거나 언와인더부(20)에서 와이퍼(1)가 강하게 풀리는 경우 등에 와이퍼(1)의 텐션이 약해지면서 이동식 가이드롤러(62)가 가이드홈(66)의 아래쪽으로 이동될 수 있다. 이동식 가이드롤러(62)가 언와인더부(20)로부터 원점 위치보다 먼 곳에 위치하면, 위치감지모듈(61)은 회전 바(63)가 아래쪽으로 회전된 것을 감지하여 밸런스 위치 데이터를 생성하고 제어부로 출력할 수 있다.
제어부는 위치감지모듈(61)로부터 전달받은 밸런스 위치 데이터를 분석하여 이동식 가이드롤러(62)가 언와인더부(20)로부터 원점 위치보다 먼 곳에 위치하는 것으로 판단되면, 언와인더부(20)의 와이퍼(1)가 권취되도록 제어하여 상기 와이퍼(1)에 의해 이동식 가이드롤러(62)가 상기 원점 위치로 이동하도록 할 수 있다. 언와인더부(20)의 와이퍼(1)가 권취되면 와이퍼(1)의 텐션에 의해 이동식 가이드롤러(62)가 위쪽으로 이동하게 되고 원점 위치로 복귀할 수 있다. 실시예에 따라, 상기 제어부는 이동식 가이드롤러(62)가 언와인더부(20)로부터 원점 위치보다 먼 곳에 위치하는 것으로 판단되면, 리와인더부(30)에서 와이퍼(1)를 권취하는 것보다 언와인더부(20)에서 와이퍼(1)가 약하게 풀리도록 제어하여 이동식 가이드롤러(62)가 상기 원점 위치로 이동하도록 할 수도 있다.
이와 같이, 상기 제어부는 언와인더부(20)에 의해 풀어지는 와이퍼(1)의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시켜 이동식 가이드롤러(62)가 동일한 위치로 이동하도록 제어할 수 있다. 텐션 감지부(60)는 밸런스 위치 데이터를 제어부에 피드백하여 이동식 가이드롤러(62)가 평행위치를 유지하고 와이퍼(1)의 텐션이 유지되어 고른 텐션이 가능하도록 한다.
본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 도 5b, 도 5c에 도시된 동작 상태가 반복적으로 수행되어 도 5a에 도시된 바와 같이 이동식 가이드롤러(62)가 원점 위치로 복귀될 수 있다. 일례로서, 회전 바(63)가 회전하는 각도는 상향, 하향 각각 최대 15도 또는 7.5도가 될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 세정액 공급부를 나타내는 분해 사시도이다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 세정액 공급부(70)는, 에어 실린더(71_1), 조인트 블록(71_2), 실린더 블록(71_3), 레벨 챔버 블록(72_1), 매니폴드 블록(72_2), 세정액 주입구(72_3), 오링(73), 디스크(74), 개스킷(75), 슬라이드 바(76), 내부 유로(76_1), 노즐 결합 블록(77) 및 적어도 하나의 노즐(78)을 포함할 수 있다. 도 6에 도시된 세정액 공급부(70)의 구성은 예시적인 것으로서 실시예에 따라 일부 구성이 생략되거나 추가될 수도 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 에어 실린더(71_1), 조인트 블록(71_2) 및 실린더 블록(71_3)은 레벨 챔버 블록(72_1) 및 매니폴드 블록(72_2)의 일측면에 결합될 수 있다. 레벨 챔버 블록(72_1)은 매니폴드 블록(72_2)과 결합될 수 있고, 매니폴드 블록(72_2)의 하단에는 슬라이드 바(76) 및 노즐 결합 블록(77)이 차례대로 결합될 수 있다. 레벨 챔버 블록(72_1)의 상단 일 영역에는 세정액 주입구(72_3)가 형성될 수 있다. 세정액 주입구(72_3)로 유입된 와이퍼(1)의 세정액은 레벨 챔버 블록(72_1) 및 매니폴드 블록(72_2) 중 적어도 하나에 형성되는 메인공급라인(72_4)에 제공될 수 있다. 메인공급라인(72_4)에 공급된 세정액은 슬라이드 바(76)의 내부 유로(76_1)를 통해 적어도 하나의 노즐(78)로 제공될 수 있고, 적어도 하나의 노즐(78)로부터 낙하하여 와이퍼(1)로 공급될 수 있다.
오링(73) 및 디스크(74)는 세정액의 누출을 방지하기 위하여 슬라이드 바(76)의 상단 및 노즐 결합 블록(77)에 각각 결합될 수 있다. 개스킷(75)은 슬라이드 바(76)의 상단에 결합될 수 있다.
적어도 하나의 노즐(78)은 노즐 결합 블록(77)에 결합될 수 있고, 쉽게 탈부착이 가능하다. 따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 세정액 공급부(70)는 노즐(78)에 이상이 발생하는 경우 해당 노즐(78)만을 쉽게 교환하여 사용할 수 있는 장점이 있다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 세정액 공급부를 나타내는 도면이다. 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 세정액 공급부(70)를 일측면에서 바라본 것으로서 내부의 구성을 투시하여 표시한 것이다.
세정액 공급부(70)의 일 영역에 형성되는 세정액 주입구(72_3)를 통해 주입된 세정액은 메인공급라인(72_4)으로 공급될 수 있다. 세정액 주입구(72_3)에는 세정액 주입장치(W)가 삽입될 수 있다.
적어도 하나의 노즐(78)은 메인공급라인(72_4)과 각각 연결되어 상기 메인공급라인(72_4)을 통해 공급되는 세정액을 와이퍼(1)측으로 공급할 수 있다.
슬라이드 바(76)는 제어부의 제어에 따라 메인공급라인(72_4)의 일측 또는 타측으로 이동될 수 있고, 적어도 하나의 노즐(78)에 대응되는 내부 유로(76_1)를 포함할 수 있다. 일례로서, 상기 슬라이드 바(76)는 상술한 에어 실린더(71_1)에 의해 이동될 수 있다. 상기 슬라이드 바(76)의 이동 여부에 따라 적어도 하나의 노즐(78)이 메인공급라인(72_4)과 연결되거나 연결되지 않을 수 있다.
일례로서, 슬라이드 바(76)가 메인공급라인(72_4)의 일측으로 이동되면 메인공급라인(72_4)과 적어도 하나의 노즐(78)이 내부 유로(76_1)를 통해 서로 연결되어 메인공급라인(72_4)을 통해 공급되는 세정액이 적어도 하나의 노즐(78)을 통해 와이퍼(1)측으로 공급될 수 있다. 또한, 슬라이드 바(76)가 메인공급라인(72_4)의 타측으로 이동되면 적어도 하나의 노즐(78)과 내부 유로(76_1)가 서로 어긋나게 되어 메인공급라인(72_4)을 통해 공급되는 세정액이 적어도 하나의 노즐(78)로 공급되는 것이 차단될 수 있다. 도 7은 편의상 메인공급라인(72_4)을 기준으로 좌측에는 슬라이드 바(76)가 메인공급라인(72_4)의 일측으로 이동하여 메인공급라인(72_4)과 적어도 하나의 노즐(78)이 내부 유로(76_1)를 통해 서로 연결된 상태를 표시하였고, 우측에는 슬라이드 바(76)가 메인공급라인(72_4)의 타측으로 이동하여 적어도 하나의 노즐(78)과 내부 유로(76_1)가 서로 어긋난 상태를 표시한 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 하나의 메인공급라인(72_4)을 통해 공급되는 세정액이 복수 개의 노즐(78)을 통해 공급될 수 있기 때문에, 동일한 양의 세정액을 와이퍼(1)로 공급할 수 있을 뿐만 아니라 각각의 디스펜서를 사용하지 않고 하나의 세정액 공급부(70)를 구비하여 세정액을 동일한 양으로 공급할 수 있기 때문에 세정액 공급부(70)의 구성을 단순화할 수 있는 장점이 있다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 세정액 감지부 주변을 확대 도시한 사시도 및 정면도이다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는, 세정액 감지부(79)를 더 구비할 수 있다.
세정액 감지부(79)는, 세정액 공급부(70)의 일측에 배치될 수 있다. 세정액 감지부(79)는 세정액 공급부(70)로부터 와이퍼(1)로 공급되는 세정액을 감지하여 세정액 감지 신호를 생성할 수 있고, 상기 세정액 감지 신호를 제어부로 출력할 수 있다. 세정액 감지부(79)는 세정액이 낙하하여 와이퍼(1)에 흡수되었는지를 감지할 수 있는 센서로 구현될 수 있으며, 포토센서, 적외선센서 등 다양한 센서로 변경될 수 있다.
제어부가 세정액 감지부(79)로부터 입력받은 세정액 감지 신호를 분석하여 세정액(79)이 와이퍼(1)에 제공되지 않은 것으로 판단되면, 제어부는 슬라이드 바(76)를 메인공급라인(72_4)의 일측으로 이동시켜 메인공급라인(72_4)과 적어도 하나의 노즐(78)이 내부 유로(76_1)를 통해 서로 연결되도록 할 수 있다. 이에 따라, 메인공급라인(72_4)을 통해 공급되는 세정액이 적어도 하나의 노즐(78)을 통해 와이퍼(1)측으로 공급될 수 있다. 제어부가 세정액 감지부(79)로부터 입력받은 세정액 감지 신호를 분석하여 세정액(79)이 와이퍼(1)에 제공된 것으로 판단되면, 제어부는 슬라이드 바(76)를 메인공급라인(72_4)의 타측으로 이동시켜 적어도 하나의 노즐(78)과 내부 유로(76_1)가 서로 어긋나도록 할 수 있다. 이에 따라, 메인공급라인(72_4)을 통해 공급되는 세정액이 적어도 하나의 노즐(78)로 공급되는 것이 차단될 수 있다. 이와 같은 동작에 따라, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 클리닝 작업 동안 와이퍼(1)에 세정액이 일정하게 흡수되도록 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치에 구비되는 스테이지부를 나타내는 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 롤와이퍼 클리닝 장치(100)는 스테이지부(90)를 더 구비할 수 있다. 스테이지부(90)는 Display Panel과 Flexible OLED와 같은 클리닝대상물(P)이 올려질 수 있다. 스테이지부(90)에 올려진 클리닝대상물(P)은 상술한 와이퍼(1)에 의해 이물질이 제거될 수 있다.
로드셀(미도시)은 스테이지부(90)에 구비될 수 있고, 스퀴지부(50)에 의한 압력 정보를 측정하여 상기 제어부로 출력할 수 있다. 로드셀은 스퀴지부(50)에 의해 눌러지는 압입량을 측정하여 계속적으로 동일한 압력에 의해 눌러지는 것인지를 측정할 수 있다. 일례로서, 상기 로드셀은 압력을 감지할 수 있는 압력 센서로 구현될 수 있다.
상기 제어부는, 로드셀로부터 전달받은 상기 압력 정보에 따라 스퀴지부(50)가 와이퍼(1)를 누르는 압력을 조절할 수 있다. 이를 통해 스퀴지부(50)의 누르는 압력이 저하되어 와이퍼(1)와 클리닝대상물(P)의 표면과의 밀착성이 떨어짐에 따라 클리닝대상물(P)의 이물질 제거작업이 용이하지 못한 것을 미연에 방지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.
1: 와이퍼 10: 몸체부
11: 구동부 12: 제1 와인더탈착부
13: 제2 와인더탈착부 20: 언와인더부
30: 리와인더부 40: 가이드롤러부
50: 스퀴지부 60: 텐션 감지부
61: 위치감지모듈 62: 이동식 가이드롤러
63: 회전 바 64: 결합부
65: 이동 리미트 센서 66: 가이드홈
70: 세정액 공급부 71_1: 에어 실린더
71_2: 조인트 블록 71_3: 실린더 블록
72_1: 레벨 챔버 블록 72_2: 매니폴드 블록
72_3: 세정액 주입구 72_4: 메인공급라인
73: 오링 74: 디스크
75: 개스킷 76: 슬라이드 바
76_1: 내부 유로 77: 노즐 결합 블록
78: 노즐 79: 세정액 감지부
80: 엔코더부 90: 스테이지부

Claims (12)

  1. 구동부를 구비하는 몸체부;
    상기 몸체부에 구비되고 권취된 와이퍼가 풀어지는 언와인더부;
    상기 몸체부에 구비되어 상기 언와인더부를 통해 풀어진 와이퍼가 감겨지는 리와인더부;
    상기 구동부의 일 영역에 연결되고 클리닝대상물의 표면측으로 와이퍼를 밀착시켜 상기 와이퍼에 의해 상기 클리닝대상물의 이물질이 제거되도록 하는 스퀴지부;
    상기 언와인더부로부터 풀린 와이퍼가 상기 스퀴지부를 지나 상기 리와인더부로 권취되는 동안 상기 와이퍼가 지정된 경로를 벗어나지 않도록 가이드하는 적어도 하나의 가이드롤러부;
    상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 감지하여 밸런스 위치 데이터를 출력하는 텐션 감지부;
    상기 텐션 감지부로부터 밸런스 위치 데이터를 입력받고, 상기 밸런스 위치 데이터에 따라 상기 언와인더부를 제어하여 상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시키며, 상기 몸체부에 배치되는 제어부; 및
    상기 스퀴지부의 일측에 구비되어 상기 스퀴지부 쪽으로 이송되는 와이퍼에 세정액을 공급하는 세정액 공급부를 포함하고,
    상기 언와인더부, 리와인더부, 적어도 하나의 가이드롤러부, 스퀴지부 및 텐션 감지부는 상기 몸체부의 일 측면에 구비되며,
    상기 텐션 감지부는,
    상기 몸체부의 일 측면에 통공되어 형성되는 가이드홈에 삽입되어 상기 와이퍼를 가이드하며, 상기 와이퍼의 텐션에 따라 상기 가이드홈 내에서 위치가 이동되는 이동식 가이드롤러;
    상기 이동식 가이드롤러의 위치를 감지하여 상기 밸런스 위치 데이터를 생성하는 위치감지모듈;
    상기 이동식 가이드롤러 및 상기 위치감지모듈에 결합되고, 상기 이동식 가이드롤러가 상기 가이드홈을 따라 이동함에 따라 상기 위치감지모듈을 중심으로 회전하는 회전 바; 및
    상기 회전 바의 회전 각도가 소정 범위 이내인지를 판단하는 이동 리미트 센서를 구비하고,
    상기 이동식 가이드롤러는,
    상기 이동식 가이드롤러 이전에 상기 와이퍼를 가이드하는 가이드롤러부 및 상기 이동식 가이드롤러 이후에 상기 와이퍼를 가이드하는 가이드롤러부보다 하단에 배치되어, 상기 이동식 가이드롤러에 아래 방향으로 작용하는 중력 및 상기 이동식 가이드롤러에 위 방향으로 작용하는 상기 와이퍼의 텐션에 따라 상기 이동식 가이드롤러의 위치가 결정되고,
    상기 위치감지모듈은 상기 회전 바의 회전 각도를 측정한 결과에 따라 상기 밸런스 위치 데이터를 생성하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 이동식 가이드롤러가 상기 언와인더부로부터 원점 위치보다 먼 곳에 위치하면, 상기 언와인더부가 와이퍼를 권취하여 상기 와이퍼에 의해 상기 이동식 가이드롤러가 상기 원점 위치로 이동하도록 상기 언와인더부를 제어하고, 상기 이동식 가이드롤러가 상기 언와인더부로부터 원점 위치보다 가까운 곳에 위치하면, 상기 언와인더부의 와이퍼가 풀리도록 제어하여 상기 이동식 가이드롤러가 상기 원점 위치로 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 언와인더부에 의해 풀어지는 와이퍼의 텐션을 소정 범위 내에서 유지시켜 상기 이동식 가이드롤러가 동일한 위치로 이동하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 세정액 공급부는,
    일 영역에 형성되는 세정액 주입구를 통해 주입된 세정액이 공급되는 메인공급라인; 및
    상기 메인공급라인과 각각 연결되어 상기 메인공급라인을 통해 공급되는 세정액을 상기 와이퍼측으로 공급하는 적어도 하나의 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 세정액 공급부는,
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 메인공급라인의 일측 또는 타측으로 이동되고 내부 유로를 포함하는 슬라이드 바를 더 구비하고,
    상기 슬라이드 바가 상기 메인공급라인의 일측으로 이동되면 상기 메인공급라인과 상기 적어도 하나의 노즐이 상기 내부 유로를 통해 서로 연결되어 상기 메인공급라인을 통해 공급되는 세정액이 상기 적어도 하나의 노즐을 통해 상기 와이퍼측으로 공급되고,
    상기 슬라이드 바가 상기 메인 공급라인의 타측으로 이동되면 상기 적어도 하나의 노즐과 상기 내부 유로가 서로 어긋나게 되어 상기 메인공급라인을 통해 공급되는 세정액이 상기 적어도 하나의 노즐로 공급되는 것이 차단되는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는,
    상기 세정액 공급부의 일측에 배치되고 상기 세정액 공급부로부터 상기 와이퍼로 공급되는 세정액을 감지하여 세정액 감지 신호를 생성하며 상기 세정액 감지 신호를 상기 제어부로 출력하는 세정액 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는,
    상기 언와인더부가 탈착되는 제1 와인더 탈착부; 및
    상기 리와인더부가 탈착되는 제2 와인더 탈착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는,
    상기 언와인더부에 의해 풀어져 상기 리와인더부에 감겨지는 와이퍼의 공급량을 감지하는 엔코더부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 롤와이퍼 클리닝 장치는,
    상기 클리닝대상물이 올려지는 스테이지부; 및
    상기 스테이지부에 구비되고, 상기 스퀴지부에 의한 압력 정보를 측정하여 상기 제어부로 출력하는 로드셀을 더 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 로드셀로부터 전달받은 상기 압력 정보에 따라 상기 스퀴지부가 상기 와이퍼를 누르는 압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 롤와이퍼 클리닝 장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109236821A (zh) * 2018-11-14 2019-01-18 东莞市沃德精密机械有限公司 自动清胶装置
CN112756362A (zh) * 2020-12-29 2021-05-07 上海创米科技有限公司 清洁装置及清洁方法
CN113380141A (zh) * 2021-05-12 2021-09-10 张永康 一种物业管理用社区智能宣传栏及其使用方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101416632B1 (ko) * 2012-09-27 2014-07-08 (주)와이티에스 소형 디스플레이 패널 세정장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101416632B1 (ko) * 2012-09-27 2014-07-08 (주)와이티에스 소형 디스플레이 패널 세정장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109236821A (zh) * 2018-11-14 2019-01-18 东莞市沃德精密机械有限公司 自动清胶装置
CN109236821B (zh) * 2018-11-14 2023-11-21 东莞市沃德精密机械有限公司 自动清胶装置
CN112756362A (zh) * 2020-12-29 2021-05-07 上海创米科技有限公司 清洁装置及清洁方法
CN113380141A (zh) * 2021-05-12 2021-09-10 张永康 一种物业管理用社区智能宣传栏及其使用方法

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