CN105935675B - 喷嘴清洁设备 - Google Patents

喷嘴清洁设备 Download PDF

Info

Publication number
CN105935675B
CN105935675B CN201510706321.8A CN201510706321A CN105935675B CN 105935675 B CN105935675 B CN 105935675B CN 201510706321 A CN201510706321 A CN 201510706321A CN 105935675 B CN105935675 B CN 105935675B
Authority
CN
China
Prior art keywords
nozzle
cleaning liquid
outlet
cleaning
blocking member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201510706321.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105935675A (zh
Inventor
千周弘
李光渊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Top Engineering Co Ltd
Original Assignee
Top Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Top Engineering Co Ltd filed Critical Top Engineering Co Ltd
Publication of CN105935675A publication Critical patent/CN105935675A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105935675B publication Critical patent/CN105935675B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/102Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration with means for agitating the liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • B05B15/55Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

本发明公开了一种喷嘴清洁设备,其用于在不需要拆开喷嘴的情况下,快速并且流畅地清洁喷嘴,所述设备包括:喷嘴支撑件,喷嘴安装在其上;清洁液供给单元,其通过供给管连接到喷嘴,并且将清洁液提供到喷嘴中;容器,其容纳从喷嘴的出口排出的清洁液;以及阻塞单元,其阻塞喷嘴的出口。

Description

喷嘴清洁设备
技术领域
本发明涉及一种用于自动清洁喷嘴的喷嘴清洁设备。
背景技术
通常,在制造液晶面板的过程中,为了防止设置在基板之间的液晶泄漏到外部,同时保持基板之间的间隔,将密封胶以预定模式应用到至少一个基板上。
密封胶分配器用于在基板上形成密封胶模式。密封胶分配器包括:托台,其设置在框架上,并且支撑基板;分配头单元,其包括容纳密封胶的注射器和与注射器连通的喷嘴;以及分配头单元支撑框架,其支撑分配头单元。
当改变喷嘴和基板之间的相对位置时,密封胶分配器在基板上形成密封胶模式。换句话说,密封胶分配器在水平方向上移动喷嘴和/或基板,同时通过在竖直方向上移动安装在分配头单元中的喷嘴,精确地调整喷嘴和基板之间的间隙,并且从喷嘴排出密封胶,以在基板上形成密封胶模式。
在通过从喷嘴排出密封胶在基板上形成密封胶模式的过程中,密封胶可能粘附到喷嘴的内部,或者密封胶可能附着到喷嘴的出口的外周。当密封胶粘附到喷嘴的内部,或者附着到喷嘴的出口的外周时,可能阻塞喷嘴的出口,从而不能顺利地排出密封胶。
因此,为了平稳地在基板上形成密封胶模式,需要清洁喷嘴。为此,在现有技术中,操作者完全拆开喷嘴并且手动擦拭喷嘴的组件以清洁喷嘴,因此,需要花费大量时间清洁喷嘴,这导致了过程效率的降低。
现有技术文献
专利文献
韩国专利申请公开No.10-2012-0069141。
发明内容
本发明致力于提供一种喷嘴清洁设备,其在不需要拆开喷嘴的情况下,能够快速并且流畅地清洁喷嘴。
本发明的一个示例性实施方式提供了一种喷嘴清洁设备,包括:喷嘴支撑件,喷嘴安装在其上;清洁液供给单元,其通过供给管连接到喷嘴,并且将清洁液提供到喷嘴中;容器,其容纳从喷嘴的出口排出的清洁液;以及阻塞单元,其阻塞喷嘴的出口。
阻塞单元可以包括:阻塞构件,其安装为能够在阻塞构件接触喷嘴出口的方向和阻塞构件远离喷嘴出口的方向上移动;以及阻塞构件驱动装置,其连接到阻塞构件,并且移动阻塞构件,以便阻塞构件阻塞喷嘴的出口。
喷嘴可以包括管筒和输送螺杆,所述管筒具有出口,并且所述输送螺杆以能够旋转的方式安装在管筒中,并且喷嘴清洁设备可以包括喷嘴驱动单元,喷嘴驱动单元旋转输送螺杆以在喷嘴的内部循环清洁液。
喷嘴驱动单元可以包括驱动电机和连接连杆,所述驱动电机产生驱动力,并且所述连接连杆将驱动电机连接到输送螺杆,并且连接连杆可以包括第一连杆部分、第二连杆部分和接合部分,所述第一连杆部分连接到输送螺杆,所述第二连杆部分连接到驱动电机的驱动轴,并且所述接合部分以能够旋转的方式在第一连杆部分和第二连杆部分之间连接到第一连杆部分和第二连杆部分。
清洁液供给单元可以包括清洁液箱和液位传感器,所述清洁液箱容纳清洁液,并且通过供给管连接到喷嘴,并且所述液位传感器安装在清洁液箱中,并且检测容纳在清洁液箱中的清洁液的水平。
喷嘴清洁设备还可以包括气体供给单元,其通过供给管连接到喷嘴,并且将气体提供到喷嘴中。
根据本发明的示例性实施方式,通过在不需要拆开喷嘴的情况下,将清洁液提供到喷嘴中,能够快速并且流畅地清洁喷嘴,由此提高将密封胶施加到基板上的过程的效率。
此外,根据本发明的示例性实施方式,能够在用清洁液清洁喷嘴之后干燥喷嘴,以便可以快速清洁然后使用喷嘴。
附图说明
图1是示意性示出了根据本发明的一个示例性实施方式的喷嘴清洁设备的视图。
图2是示意性示出了将要通过根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备清洁的喷嘴的分解视图。
图3是根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备的控制框图。
图4和图5是示意性示出了根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备的操作的立体图。
图6是示意性示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的喷嘴清洁设备的视图。
图7是根据本发明的另一个示例性实施方式的喷嘴清洁设备的控制框图。
具体实施方式
下文将参考附图描述根据本发明的一个示例性实施方式的喷嘴清洁设备。
根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备可以用于清洁在本说明书的背景技术和韩国专利申请公开No.10-2012-0069141中描述的密封胶分配器的喷嘴。此外,根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备可以独立于密封胶分配器设置,或者安装在密封胶分配器中。
如图1至图3所示,根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备可以包括:喷嘴支撑件20,密封胶分配器的喷嘴10安装在其上;固定单元30,其安装在喷嘴支撑件20上,并且将喷嘴10固定到喷嘴支撑件20;清洁液供给单元40,其将清洁液提供到喷嘴10中;喷嘴驱动单元50,其驱动喷嘴10以从喷嘴10的出口排出清洁液;容器60,其容纳从喷嘴10的出口11排出的清洁液;阻塞单元70,其阻塞喷嘴10的出口11;以及控制单元80,其控制清洁液供给单元40、喷嘴驱动单元50和阻塞单元70。
喷嘴10可以包括管筒12、输送螺杆13以及连接构件14,所述管筒12设置有出口11,所述输送螺杆以能够旋转的方式安装在管筒12中,并且所述连接构件14连接到输送螺杆13的一个端部并且连接到喷嘴驱动单元50。
通过其从外部提供密封胶的入口15形成在管筒12的一侧处,并且从中排出密封胶的出口11形成在管筒12的下端部处。在将要清洁的喷嘴10安装在喷嘴清洁设备的喷嘴支撑件20上的情况下,入口15可以通过供给管41连接到清洁液供给单元40。然后,可以从出口11排出清洁液。
以具有多个螺纹的方式形成输送螺杆13,并且旋转输送螺杆13以排出密封胶,所述密封胶通过管筒12的入口15,通过出口11提供。在将要清洁的喷嘴10安装在喷嘴清洁设备的喷嘴支撑件20上的情况下,输送螺杆13在喷嘴10内部循环通过入口15提供的清洁液,同时通过喷嘴驱动单元50的操作旋转输送螺杆13。通过这个过程,可以通过清洁液清洁喷嘴10的内部。
在将输送螺杆13插入到管筒12中的状态下,连接构件14暴露到管筒12的外部,并且用于将动力传递到输送螺杆13。在连接构件14连接到输送螺杆13的状态下,连接构件14可以与输送螺杆13一起运输。例如,连接构件14可以与输送螺杆13形成为一体。连接构件14可以由工程塑料(例如,聚醚醚酮(PEEK))制成,以便使得在通过连接构件14传递动力的过程中,由于摩擦造成的杂质产生最小化。
喷嘴支撑件20可以安装在独立于密封胶分配器设置的装置或者空间中。如另一个实例,喷嘴支撑件20可以安装在密封胶分配器中。在这种情况下,喷嘴支撑件20可以安装在分配头单元支撑框架处,所述分配头单元支撑框架支撑分配头单元,以便分配头单元是能够移动的。在喷嘴支撑件20安装在密封胶分配器中的情况下,操作者可以通过在将喷嘴10从分配头单元中分离之后,立刻将喷嘴10安装到喷嘴支撑件20上来清洁喷嘴10,由此提高加工效率。
固定单元30可以是一个闩锁,其通过按压喷嘴10的前端部,将喷嘴10固定到喷嘴支撑件20。然而,本发明不局限于固定单元30的配置,但是作为固定单元30,可以使用各种配置,例如包括通过液压或气压操作的夹具的装置,或者包括通过电力操作的螺线管的装置。
清洁液供给单元40可以包括清洁液箱42和阀门45,所述清洁液箱42容纳清洁液,并且通过供给管41连接到喷嘴10,所述阀门45通过供给管41提供清洁液,或者阻塞清洁液提供。丙酮可以用作清洁液。
例如,清洁液箱42设置在高于喷嘴10的位置处,以便可以通过重力将在清洁液箱42中的清洁液提供到喷嘴10。作为另一个实例,清洁液供给单元40还可以包括用于按压在清洁液箱42中的清洁液的装置(例如,连接到清洁液箱42的压力发生器),或者用于泵送在清洁液箱42中的清洁液的装置(例如,泵),以便可以通过供给管41从清洁液箱42中强制地将清洁液提供到喷嘴10。
阀门45可以是通过控制单元80控制以调整流经供给管41的清洁液的流量的控制阀。
与此同时,清洁液供给单元40还可以包括液位传感器43,其安装在清洁液箱42中,以检测容纳在清洁液箱42中的清洁液的水平。作为液位传感器43,可以使用典型的电子或机械液位传感器。控制单元80可以基于通过液位传感器43测量的清洁液的水平中的变化,计算清洁液的供应量。因此,控制单元80可以控制清洁液供给单元40、喷嘴驱动单元50和阻塞单元70,以便在清洁喷嘴10的过程中使用的清洁液的供应量在参考量之内,由此防止清洁液不必要的浪费。
喷嘴驱动单元50可以包括驱动电机51和连接连杆52,所述驱动电机51产生驱动力,并且所述连接连杆52将驱动电机51连接到喷嘴10。
驱动电机51可以是用于向前和向后旋转连接到驱动电机51的驱动轴(未示出)的电机。
连接连杆52可以包括:第一连杆部分521,其连接到喷嘴10;第二连杆部分522,其连接到驱动电机51的驱动轴;以及接合部分523,其以能够旋转的方式在第一连杆部分521和第二连杆部分522之间,连接到第一连杆部分521和第二连杆部分522。第一连杆部分521可以通过连接构件14连接到输送螺杆13。连接连杆52可以配置为万向接头,接合部分523在其中以能够旋转的方式连接到第一连杆部分521和第二连杆部分522。此外,连接连杆52可以是柔性联轴器,其中第一连杆部分521、第二连杆部分522和接合部分523中的至少一个由例如橡胶的弹性材料制成。因此,即使喷嘴10的输送螺杆13和驱动电机51的驱动轴没有对齐,并且在喷嘴10的输送螺杆13和驱动电机51的驱动轴之间存在偏心和倾斜,驱动电机51的驱动力仍然可以顺畅地通过连接连杆52传递到输送螺杆13。此外,能够防止如下问题:例如当喷嘴10的输送螺杆13借助于刚性轴连接到驱动电机51的驱动轴时,可能产生的例如因摩擦造成的刚性轴的偏转和产生杂质。
容器60直接安装在喷嘴10的出口11下面,并且用作容纳通过喷嘴10的出口11排出的清洁液。
阻塞单元70可以包括阻塞构件71和阻塞构件驱动装置72,所述阻塞构件71安装为能够在阻塞构件71接触喷嘴10的出口11方向上和阻塞构件71远离喷嘴10的出口11的方向上水平地移动,并且所述阻塞构件驱动装置72连接到阻塞构件71,并且移动阻塞构件71,以便阻塞构件71阻塞喷嘴10的出口11。
为了防止当阻塞构件71与喷嘴10接触时,喷嘴10损坏,与喷嘴10的出口11接触的阻塞构件71的一部分可以由弹性材料制成。
阻塞构件驱动装置72用作水平地移动阻塞构件71,并且可以配置为直线运动机构,例如通过气压或液压操作的致动器、滚珠螺杆装置或线性电动机。
下文将参考图4和图5描述根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备的操作。
首先,将要清洁的喷嘴10与密封胶分配器的分配头单元分离,然后通过使用固定单元30安装到喷嘴支撑件20上。
在这种情况下,喷嘴10处于输送螺杆13整体连接到管筒12,并且管筒12和输送螺杆13不需要彼此分离以清洁喷嘴10的状态。此外,可以在连接构件14连接到输送螺杆13的状态下运输喷嘴10。与此同时,用于将密封胶提供到喷嘴10的注射器接附到喷嘴10,并且在将喷嘴10安装在喷嘴支撑20上之前,将注射器从喷嘴10上移除。
当将喷嘴10安装到喷嘴支撑件20上时,喷嘴10的输送螺杆13通过连接构件14和连接连杆52连接到驱动电机51。连接连杆52配置为柔性联轴器,以便喷嘴10的输送螺杆13可以容易地连接到驱动电机51的驱动轴。
然后,可以将喷嘴10通过供给管41连接到清洁液供给单元40的清洁液箱42。供给管41的一个端部连接到入口15,注射器可以在所述入口处连接到喷嘴10。
当将喷嘴10连接到清洁液供给单元40时,在初始阶段,将预定量的清洁液从清洁液供给单元40提供到喷嘴10。在这种情况下,直到少量的清洁液从喷嘴10的出口11排出才提供清洁液。通过基于由液位传感器43检测到的水平,计算清洁液的供应量,可以预先确定清洁液的初始供应量,并且控制单元80可以根据预定的清洁液的初始供应量,控制清洁液供给单元40提供清洁液。因此,能够防止清洁液不必要的浪费。
然后,如图4所示,当直到少量的清洁液从喷嘴10的出口11排出才提供清洁液时,阻塞构件71通过阻塞构件驱动装置72的操作,移动以与喷嘴10的出口11接触,以便阻塞出口11。因此,喷嘴10中的清洁液停止流动。
在这种状态下,可以以列举的顺序或者相反的顺序进行以下步骤,并且可以在不考虑列举的顺序的情况下,重复进行至少两个步骤。
(1)在阻塞出口11的状态下,清洁液可以在旋转输送螺杆13时在喷嘴10的内部循环。在这种情况下,输送螺杆13可以向前或者向后旋转,或者重复地向前并且向后旋转。
(2)在阻塞构件71与喷嘴10间隔开,以便打开出口11的状态下,可以将清洁液从清洁液供给单元40提供到喷嘴10,并且在喷嘴10的内部循环,然后从出口11排出。在这种情况下,可以旋转输送螺杆13。从出口11排出的清洁液可以收集到容器60中,然后废弃或者回收(参见图5)。
(3)在打开出口11并且连续地提供清洁液的状态下,输送螺杆13可以停止,或者重复地旋转并停止(参见图5)。
(4)在连续地提供清洁液的状态下,可以重复地打开并阻塞出口11。
因此,当在喷嘴10的内部循环时,清洁液可以清洁管筒12的内表面和输送螺杆13的外表面,特别是清洁输送螺杆13的螺纹之间的部分,然后与杂质一起排出到外部。
在执行操作之后,在切断清洁液的供应的状态下,打开出口11以从喷嘴10完全地排出清洁液。然后,以与将喷嘴10安装在喷嘴支撑件20上的顺序相反的顺序,将喷嘴10与喷嘴支撑件20分离,并且将喷嘴10安装在密封胶分配器的分配头单元上。
根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备可以通过在不需要拆开喷嘴10的情况下,将清洁液提供到喷嘴10中,快速并且流畅地清洁喷嘴10,由此提高将密封胶施加到基板上的过程的效率。
下文将参考图6和图7描述根据本发明的另一个示例性实施方式的喷嘴清洁设备。相同的参考标记表示与之前的示例性实施方式相同的部件,并且将省略其详细说明。
如图6和图7所示,根据本发明的另一个示例性实施方式的喷嘴清洁设备可以包括气体供给单元90,其通过供给管41连接到喷嘴10,并且将气体提供给喷嘴10。
气体供给单元90可以通过压缩机或者鼓风机配置。通过气体供给单元90提供的气体可以是不含有水气的干燥气体。
与此同时,气体供给单元90和清洁液供给单元40可以通过使用一个供给管41连接到喷嘴10。在这种情况下,供给管41设置有三通阀46,以通过供给管41仅提供清洁液和气体中的一种。阀门46可以是通过控制单元80控制的控制阀。
在完成了喷嘴10内部循环清洁液并且从喷嘴10排出清洁液的操作之后,气体供给单元90通过供给管41将气体提供到喷嘴10。因此,可以通过提供到喷嘴10中的气体的流动,将可能残留在喷嘴10中的清洁液排出到外部,从而可以干燥喷嘴10的内部。
根据本发明的示例性实施方式的喷嘴清洁设备可以在用清洁液清洁喷嘴10之后干燥喷嘴10,从而可以快速清洁然后使用喷嘴10。
为了说明的目的,已经描述了本发明的示例性实施方式。然而,应当理解的是,本发明的范围不局限于具体的示例性实施方式,并且可以在不背离所附权利要求中限定的范围的情况下,做出各种修改。

Claims (5)

1.一种喷嘴清洁设备,包括:
喷嘴支撑件,喷嘴安装在其上;
清洁液供给单元,其通过供给管连接到喷嘴,并且将清洁液提供到喷嘴中;
容器,其容纳从喷嘴的出口排出的清洁液;以及
阻塞单元,其阻塞喷嘴的出口,
其中,所述喷嘴包括管筒和输送螺杆,所述管筒具有出口,并且所述输送螺杆以能够旋转的方式安装在管筒中,并且所述喷嘴清洁设备包括喷嘴驱动单元,所述喷嘴驱动单元旋转输送螺杆,以在喷嘴的内部循环清洁液。
2.如权利要求1所述的喷嘴清洁设备,其中,所述阻塞单元包括:
阻塞构件,其安装为能够在阻塞构件接触喷嘴出口的方向和阻塞构件远离喷嘴出口的方向上移动;以及
阻塞构件驱动装置,其连接到阻塞构件,并且移动所述阻塞构件,以便阻塞构件阻塞喷嘴的出口。
3.如权利要求1所述的喷嘴清洁设备,其中,所述喷嘴驱动单元包括驱动电机和连接连杆,所述驱动电机产生驱动力,并且所述连接连杆将驱动电机连接到输送螺杆,并且所述连接连杆包括第一连杆部分、第二连杆部分和接合部分,所述第一连杆部分连接到输送螺杆,所述第二连杆部分连接到驱动电机的驱动轴,并且所述接合部分以能够旋转的方式在第一连杆部分和第二连杆部分之间连接到第一连杆部分和第二连杆部分。
4.如权利要求1所述的喷嘴清洁设备,其中,所述清洁液供给单元包括清洁液箱和液位传感器,所述清洁液箱容纳清洁液,并且通过供给管连接到喷嘴,并且所述液位传感器安装在清洁液箱中,并且检测容纳在清洁液箱中的清洁液的水平。
5.如权利要求1所述的喷嘴清洁设备,还包括:
气体供给单元,其通过供给管连接到喷嘴,并且将气体提供到喷嘴中。
CN201510706321.8A 2015-03-02 2015-10-27 喷嘴清洁设备 Expired - Fee Related CN105935675B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2015-0029229 2015-03-02
KR1020150029229A KR20160106831A (ko) 2015-03-02 2015-03-02 노즐 청소 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105935675A CN105935675A (zh) 2016-09-14
CN105935675B true CN105935675B (zh) 2020-10-16

Family

ID=56946373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510706321.8A Expired - Fee Related CN105935675B (zh) 2015-03-02 2015-10-27 喷嘴清洁设备

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR20160106831A (zh)
CN (1) CN105935675B (zh)
TW (1) TWI696498B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106362898B (zh) * 2016-11-14 2019-01-04 青岛金光鸿智能机械电子有限公司 自动喷涂喷头清洗及废料收集装置
KR102049582B1 (ko) * 2018-11-28 2019-11-27 백진우 모터용 로터 접착제 밀착형 자동 도포장치
KR102014448B1 (ko) * 2018-11-30 2019-08-26 송다민 모터용 로터 접착제 자동 도포장치
KR102029158B1 (ko) * 2018-12-07 2019-10-07 노진우 모터용 로터 글루액 도포장치
TWI736926B (zh) * 2019-07-05 2021-08-21 漢民測試系統股份有限公司 注液裝置、半導體檢測系統及其檢測方法
CN115106255B (zh) * 2022-06-24 2023-04-28 中国电子科技集团公司第三十八研究所 一种用于深腔小孔的喷嘴自清洁点锡膏装置
CN115502036A (zh) * 2022-08-23 2022-12-23 安徽卓呈科技有限公司 一种扫码摄像头加工用点胶机及其工作方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003099452A1 (en) * 2002-05-28 2003-12-04 S. C. Johnson & Son, Inc. Automated cleansing sprayer
JP2004209402A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Mechatro Shinshu:Kk 洗浄ノズル取り付け装置
CN103370146A (zh) * 2011-02-16 2013-10-23 杜尔艾科克林有限公司 喷嘴模块和具有喷嘴模块的清洁设备
CN104128285A (zh) * 2014-07-16 2014-11-05 深圳市华星光电技术有限公司 一种喷嘴清洁装置及其清洁方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4982527B2 (ja) * 2009-06-08 2012-07-25 株式会社東芝 成膜装置及び成膜方法
KR101763620B1 (ko) 2010-12-20 2017-08-02 주식회사 탑 엔지니어링 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003099452A1 (en) * 2002-05-28 2003-12-04 S. C. Johnson & Son, Inc. Automated cleansing sprayer
JP2004209402A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Mechatro Shinshu:Kk 洗浄ノズル取り付け装置
CN103370146A (zh) * 2011-02-16 2013-10-23 杜尔艾科克林有限公司 喷嘴模块和具有喷嘴模块的清洁设备
CN104128285A (zh) * 2014-07-16 2014-11-05 深圳市华星光电技术有限公司 一种喷嘴清洁装置及其清洁方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201632268A (zh) 2016-09-16
KR20160106831A (ko) 2016-09-13
TWI696498B (zh) 2020-06-21
CN105935675A (zh) 2016-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105935675B (zh) 喷嘴清洁设备
KR102360003B1 (ko) 처리액 공급 장치, 처리액 공급 방법 및 기억 매체
CN103325715B (zh) 用于从载体中分离晶片的装置和方法
JPH11224868A (ja) 化学的機械的平坦化システム及びその方法
US20140197198A1 (en) Cartridge dispenser
KR20140122859A (ko) 패널의 클리닝을 위한 건식 세정기
CN115057193B (zh) 一种发酵饲料自清洁输送装置
CN113613804A (zh) 用于清洁螺杆机壳体的壳体清洁装置
KR101484272B1 (ko) 약액 예비토출장치
CN106103097B (zh) 作业装置及丝网印刷机
RU2632495C2 (ru) Клеераспределительный узел, снабженный устройством очистки валиков
JP2006295112A (ja) 基板洗浄装置および基板洗浄装置を備えた基板供給装置
KR101746536B1 (ko) 포터블 열교환기의 열판 세척 장치
KR101060674B1 (ko) 전열판 세척장치
US20200398239A1 (en) Distributor device, method of guiding materials and method of cleaning a distributor device
KR100666347B1 (ko) 슬릿 노즐 클리닝 장치
KR200482218Y1 (ko) 노즐 간격 조절이 가능한 나이프
JP2004281640A (ja) 基板処理装置および送液装置
KR100831402B1 (ko) 기판 세정용 고압의 세정액 공급장치
KR102157556B1 (ko) 이물질 제거 기능이 구비된 기판용 보호필름 부착장치
JPH1147658A (ja) 塗布装置及び塗布方法
KR101382472B1 (ko) 패널 세정장치
KR20170080976A (ko) 페이스트 디스펜서
JP2008080320A (ja) 補給方式
JP2021030473A (ja) 粘度コントローラ

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20201016

Termination date: 20211027