TW201632268A - 噴嘴清潔裝置 - Google Patents

噴嘴清潔裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW201632268A
TW201632268A TW104136758A TW104136758A TW201632268A TW 201632268 A TW201632268 A TW 201632268A TW 104136758 A TW104136758 A TW 104136758A TW 104136758 A TW104136758 A TW 104136758A TW 201632268 A TW201632268 A TW 201632268A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
nozzle
cleaning liquid
cleaning
outlet
connecting portion
Prior art date
Application number
TW104136758A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI696498B (zh
Inventor
千周弘
李光淵
Original Assignee
塔工程有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 塔工程有限公司 filed Critical 塔工程有限公司
Publication of TW201632268A publication Critical patent/TW201632268A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI696498B publication Critical patent/TWI696498B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/102Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration with means for agitating the liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • B05B15/55Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

揭露無須拆解噴嘴而可快速又順利清潔噴嘴的噴嘴清潔裝置,其包含:供裝設噴嘴的噴嘴支撐件、透過供應管連接噴嘴並供應清潔液至噴嘴內的清潔液供應單元、容納自噴嘴出口排出之清潔液的容器、以及擋住噴嘴出口的阻擋單元。

Description

噴嘴清潔裝置
本發明關於一種自動清潔噴嘴之噴嘴清潔裝置。
一般而言,在製造液晶面板的製程中,為了避免夾在基板間的液晶漏到外面且要維持基板間的間距,黏膠以預設圖案塗佈到至少一個基板上。
點膠機係用以在基板上形成膠圖案。點膠機包含:設置在框架上且支撐基板的平台、包含裝膠之注射筒以及與注射筒連通之噴嘴的塗佈頭單元、以及支撐塗佈頭單元之塗佈頭單元支撐框。
點膠機於改變噴嘴與基板間之相對位置時,在基板上形成膠圖案。換言之,點膠機在將裝設在塗佈頭單元之噴嘴移動於垂直方向以精準調整噴嘴與基板間之間隙時,在水平方向上移動噴嘴及/或基板,並自噴嘴排出膠以在基板上形成膠圖案。
自噴嘴排出膠而在基板上形成膠圖案的製程期間,膠可能黏在噴嘴內部,或者膠可能黏在噴嘴出口周圍。當膠黏在噴嘴內部或黏在噴嘴出口周圍時,噴嘴出口可能阻塞,使得膠不能順利排出。
因此,為了在基板上順利形成膠圖案,需要清潔噴嘴。為達此目的,在相關技術中,作業員要完全拆解噴嘴,並手動擦拭噴嘴元件來清潔噴嘴,因此清潔噴嘴耗費許多時間,造成製程效率的降低。
[相關技術文獻]
[專利文獻]
韓國專利申請公開案第10-2012-0069141號。
本發明致力於提供一種噴嘴清潔裝置,其能快速又順利地清潔噴嘴而無須拆解噴嘴。
本發明之一例示實施例提供一種噴嘴清潔裝置,包含:噴嘴支撐件、清潔液供應單元、容器以及阻擋單元,其中噴嘴支撐件上裝設噴嘴;清潔液供應單元透過供應管連接噴嘴並供應清潔液至噴嘴內;容器容納自噴嘴之出口排出之清潔液;阻擋單元擋住噴嘴之出口。
阻擋單元可包含:阻擋構件以及阻擋構件驅動裝置,其中阻擋構件安裝成在阻擋構件要與噴嘴之出口接觸的方向上以及在阻擋構件要自噴嘴之出口移開的方向上為可移動的;阻擋構件驅動裝置連接阻擋構件並移動阻擋構件,使得阻擋構件擋住噴嘴之出口。
噴嘴可包含柱筒以及轉換螺絲,其中柱筒具有上述出口;轉換螺絲可轉動地裝設在柱筒中,且噴嘴清潔裝置可包含噴嘴驅動單元,噴嘴驅動單元轉動轉換螺絲以使清潔液在噴嘴內循環。
噴嘴驅動單元可包含驅動馬達以及連接件,其中驅動馬達產生驅動動力;連接件將驅動馬達連接至轉換螺絲,且連接件可包含第一連接部、第二連接部以及接頭部,第一連接部連接轉換螺絲,第二連接部連接驅動馬達之驅動軸,接頭部可轉動地連接第一連接部及第二連接部並在第一連接部及第二連接部之間。
清潔液供應單元可包含清潔液槽以及液位感應器,其中清潔液槽容納清潔液並透過供應管連接噴嘴;液位感應器裝設於清潔液槽中並偵測清潔液槽中所容納之清潔液的液位。
噴嘴清潔裝置可更包含氣體供應單元,其透過供應管連接噴嘴並供應氣體至噴嘴內。
根據本發明之一例示實施例,藉由將清潔液供應至噴嘴內,無須拆解噴嘴,就可快速又順利清潔噴嘴,藉此改善塗佈膠到基板之製程的效率。
再者,根據本發明之例示實施例,可在清潔噴嘴後以清潔液乾燥噴嘴,使噴嘴可被快速清潔然後使用。
10‧‧‧噴嘴
11‧‧‧出口
12‧‧‧柱筒
13‧‧‧轉換螺絲
14‧‧‧連接構件
15‧‧‧入口
20‧‧‧噴嘴支撐件
30‧‧‧固定單元
40‧‧‧清潔液供應單元
41‧‧‧供應管
42‧‧‧清潔液槽
43‧‧‧液位感應器
45‧‧‧閥件
46‧‧‧閥件
50‧‧‧噴嘴驅動單元
51‧‧‧驅動馬達
52‧‧‧連接件
521‧‧‧第一連接部
522‧‧‧第二連接部
523‧‧‧接頭部
60‧‧‧容器
70‧‧‧阻擋單元
71‧‧‧阻擋構件
72‧‧‧阻擋構件驅動裝置
80‧‧‧控制單元
90‧‧‧氣體供應單元
圖1為根據本發明一例示實施例之噴嘴清潔裝置之示意圖。
圖2為根據本發明例示實施例要藉由噴嘴清潔裝置清潔之噴嘴之示意圖。
圖3為根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置之控制方塊圖。
圖4及圖5為根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置之操作透視示意圖。
圖6為根據本發明另一例示實施例之噴嘴清潔裝置之示意圖。
圖7為根據本發明另一例示實施例之噴嘴清潔裝置之控制方塊圖。
於後,參考伴隨圖式將說明根據本發明一例示實施例之噴嘴 清潔裝置。
根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置可用以清潔例如本案【先前技術】及韓國專利申請公開案第10-2012-0069141號所述之噴嘴。再者,根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置可與點膠機獨立提供,或是安裝在點膠機中。
如圖1至圖3所示,根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置可包含噴嘴支撐件20、固定單元30、清潔液供應單元40、噴嘴驅動單元50、容器60、阻擋單元70以及控制單元80,其中噴嘴支撐件20上裝設點膠機的噴嘴10;固定單元30裝設在噴嘴支撐件20並將噴嘴10固定於噴嘴支撐件20;清潔液供應單元40供應清潔液至噴嘴10內;噴嘴驅動單元50驅動噴嘴10以自噴嘴10之出口排出清潔液;容器60容納自噴嘴10之出口11排出之清潔液;阻擋單元70擋住噴嘴10之出口11;控制單元80控制清潔液供應單元40、噴嘴驅動單元50以及阻擋單元70。
噴嘴10可包含具有出口11之管狀柱筒12、可轉動地裝設在柱筒12中的轉換螺絲13、以及連接構件14,其中連接構件14連接轉換螺絲13之一端並連接噴嘴驅動單元50。
入口15形成在柱筒12的一側,且透過入口15自外部供應膠;而排出膠的出口11形成在柱筒12的下端。在待清潔的噴嘴10是裝設在噴嘴清潔裝置之噴嘴支撐件20的實例中,入口15可透過供應管41連接到清潔液供應單元40。反過來,清潔液可自出口11排出。
轉換螺絲13形成有複數螺紋,並轉動以透過出口11排出透過柱筒12之入口15供應的膠。在待清潔的噴嘴10是裝設在噴嘴清潔裝置之噴 嘴支撐件20的實例中,轉換螺絲13在藉由噴嘴驅動單元50的操作而轉動時,使透過入口15供應的清潔液在噴嘴10內循環。藉此程序,噴嘴10內部可藉由清潔液清潔。
在轉換螺絲13插入柱筒12的狀態,連接構件14裸露於柱筒12外側,並用於傳遞動力至轉換螺絲13。在連接到轉換螺絲13的狀態,連接構件14可與轉換螺絲13一起運動。舉例而言,連接構件14可與轉換螺絲13一體成形。連接構件14可由工程塑料(例如聚醚醚酮(PEEK))製成,以減少透過連接構件14傳遞動力的程序時期間因摩擦造成的異物生成。
噴嘴支撐件20可裝設於與點膠機獨立的裝置或空間。於另一實例,噴嘴支撐件20可裝設於點膠機中。在這樣的狀況,噴嘴支撐件20可裝設於塗佈頭單元支撐框,塗佈頭單元支撐框支撐塗佈頭單元,而使塗佈頭可移動。在噴嘴支撐件20裝設於點膠機中的實例,作業員可緊接在噴嘴10與塗佈頭單元分離後,將噴嘴10裝設於噴嘴支撐件20來清潔噴嘴10,藉此改善製程效率。
固定單元30可為閂鎖,其藉由壓制噴嘴10的前端而將噴嘴10固定到噴嘴支撐件20。然而,本發明不限於固定單元30的組態,而可使用各種組態的固定單元30,例如包含液壓或氣壓操作之夾具的裝置、或包含電力操作的螺線管(solenoid)。
清潔液供應單元40可包含清潔液槽42及閥件45,清潔液槽42容納清潔液並透過供應管41連接噴嘴10,閥件45透過供應管41供應清潔液或阻擋清潔液的供應。丙酮可用作為清潔液。
舉例而言,清潔液槽42設置在比噴嘴10還高的位置,而可藉 由重力將清潔液槽42中的清潔液供應到噴嘴10。於另一實例,清潔液供應單元40可進一步包含擠壓潔液槽42中之清潔液的裝置(例如連接清潔液槽42的壓力產生器)或泵送潔液槽42中之清潔液的裝置(例如泵),而可迫使清潔液從清潔液槽42透過供應管41供應到噴嘴10。
閥件45可為受控制單元80控制的控制閥,以調整清潔液流過供應管41的流速。
同時,清潔液供應單元40可進一步包含裝設在清潔液槽42中的液位感應器43,以偵測清潔液槽42中所容納之清潔液的液位。可使用典型的電子或機械液位感應器作為液位感應器43。控制單元80可基於液位感應器43測得的清潔液液位變化來計算清潔液的供應量。因此,控制單元80可控制清潔液供應單元40、噴嘴驅動單元50及阻擋單元70,而使清潔噴嘴10的程序期間所用的清潔液供應量是在參考量內,藉此避免清潔液不必要的浪費。
噴嘴驅動單元50可包含產生驅動動力的驅動馬達51及連接驅動馬達51至噴嘴10的連接件52。
驅動馬達51可為往復轉動連接驅動馬達51之驅動軸(未繪示)的馬達。
連接件52可包含第一連接部521、第二連接部522以及接頭部523,第一連接部521連接噴嘴10,第二連接部522連接驅動馬達51的驅動軸,接頭部523可轉動地連接第一連接部521及第二連接部522且在第一連接部521及第二連接部522之間。第一連接部521可透過連接構件14連接到轉換螺絲13。連接件52可組態為通用接頭,其中接頭部523可轉動地連接第一連 接部521及第二連接部522。再者,連接件52可為撓性耦合件,其中第一連接部521、第二連接部522及接頭部523至少其中之一係由彈性材料(例如橡膠)製成。因此,即使噴嘴10的轉換螺絲13及驅動馬達51的驅動軸沒對準,而噴嘴10之轉換螺絲13及驅動馬達51的驅動軸之間為偏心及偏斜,驅動馬達51的驅動動力可透過連接件52順利地傳遞到轉換螺絲13。此外,可避免例如當使用剛性軸連接噴嘴10之轉換螺絲13及驅動馬達51之驅動軸時,因為摩擦而可能產生異物及剛性軸偏折等問題。
容器60直接裝設在噴嘴10之出口11下方,並用於容納自噴嘴10之出口11排出的清潔液。
阻擋單元70可包含阻擋構件71及阻擋構件驅動裝置72,阻擋構件71安裝成在阻擋構件71要與噴嘴10之出口11接觸的方向上以及在阻擋構件71要自噴嘴10之出口11移開的方向上為可水平移動的,阻擋構件驅動裝置72連接阻擋構件71並移動阻擋構件71,使得阻擋構件71擋住噴嘴10之出口11。
為了避免噴嘴10在阻擋構件71要與噴嘴10接觸時損壞,阻擋構件71與噴嘴10的出口11接觸的部分可由彈性材料製成。
阻擋構件驅動裝置72用於水平移動阻擋構件71,且可組態為直線運動機制,例如藉由氣壓或液壓操作的致動器、滾珠螺桿、或線性馬達。
於後,參考圖4及圖5說明根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置的操作。
首先,將待清潔的噴嘴10從點膠機之塗佈頭單元分離,然後 利用固定單元30將噴嘴10裝設在噴嘴支撐件20。
在這樣的狀況,噴嘴10處於轉換螺絲13一體耦接柱筒12的狀態,且清潔噴嘴10時柱筒12及轉換螺絲13不需要彼此分開。再者,噴嘴10可在連接構件14連接轉換螺絲13的狀態下運送。同時,供應膠到噴嘴10的注射器附接到噴嘴10,且在噴嘴10裝設於噴嘴支撐件20之前,自噴嘴10移除注射器。
當噴嘴10裝設於噴嘴支撐件20時,噴嘴10的轉換螺絲13透過連接構件14及連接件52連接到驅動馬達51。連接件52組態為可撓性耦合件,而使噴嘴10的轉換螺絲13可輕易地連接到驅動馬達51的驅動軸。
然後,噴嘴10可透過供應管41連接到清潔液供應單元40的清潔液槽42。供應管41的一端連接到入口15,其為注射器可連接到噴嘴10之處。
當噴嘴10連接到清潔液供應單元40,在初始階段自清潔液供應單元40供應預定量的清潔液到噴嘴10。在這樣的狀況,供應清潔液直到小量的清潔液自噴嘴10的出口11排出。清潔液的初始供應量可預先決定,且控制單元80可基於液位感應器43偵測到的液位計算清潔液的供應量,控制清潔液供應單元40來供應預定初始供應量的清潔液。因此,可避免清潔液的不必要浪費。
然後,當供應清潔液直到小量清潔液自噴嘴10的出口11排出時,阻擋構件71藉由阻擋構件驅動裝置72的操作移動到與噴嘴10的出口11接觸,而擋住出口11,如圖4所示。因此,噴嘴10中的清潔液停止流動。
於此狀態下,可以例舉的順序或其相反順序進行以下步驟, 且不論例舉的順序,可重複進行至少兩個步驟。
(1)在擋住出口11的狀態下,轉換螺絲13轉動時清潔液可在噴嘴10內部循環。在這樣的狀況,轉換螺絲13可往復轉動或重複地往復轉動。
(2)在阻擋構件71與噴嘴10分離的狀態而使出口11打開的狀態下,清潔液可自清潔液供應單元40供應到噴嘴10,並在噴嘴10內部循環,然後自出口11排出。在這樣的狀況,轉換螺絲13可轉動。自出口11排出的清潔液可收集在容器60中,然後廢棄或再利用(參見圖5)。
(3)在出口11打開且持續供應清潔液的狀態下,轉換螺絲13可停止,或者重複地轉動及停止(參見圖5)。
(4)在持續供應清潔液的狀態下,出口11可重複地打開及擋住。
因此,清潔液在噴嘴10內部循環時可清潔柱筒12的內表面及轉換螺絲13的外表面,尤其是轉換螺絲13螺紋之間的部分,然後與異物一起排出到外面。
操作進行後,在中斷供應清潔液的狀態下,出口11打開而從噴嘴10將清潔液完全排出。然後,以與噴嘴10裝設到噴嘴支撐件20的順序相反的順序,將噴嘴10從噴嘴支撐件20分離,然後裝設到點膠機的塗佈頭單元。
根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置藉由供應清潔液到噴嘴內而無須拆解噴嘴10,就可快速又順利地清潔噴嘴10,藉此改善將膠塗佈到基板的製程效率。
於後,參考圖6及圖7說明根據本發明另一例示實施例之噴嘴清潔裝置。類似的參考符號表示與前述例示實施例相同的部分,而省略其細節說明。
如圖6及圖7所示,根據本發明另一例示實施例之噴嘴清潔裝置可包含氣體供應單元90,其透過供應管41連接噴嘴10並供應氣體到噴嘴10。
氣體供應單元90可組態為壓縮機或鼓風機。氣體供應單元90所供應的氣體可為不含水分的乾燥氣體。
同時,氣體供應單元90及清潔液供應單元40可藉由單一供應管41連接到噴嘴10。在這樣的狀況,供應管41設有三通閥件46,以透過供應管41僅供應清潔液及氣體其中之一。閥件46可為受控制單元80控制的控制閥。
清潔液在噴嘴10內循環並自噴嘴10排出清潔液的操作完成後,氣體供應單元90透過供應管41供應氣體到噴嘴10。因此,殘留在噴嘴10中的清潔液可藉由供應到噴嘴10的氣體流動排出,而可乾燥噴嘴10內部。
根據本發明例示實施例之噴嘴清潔裝置在清潔液清潔噴嘴後,可乾燥噴嘴10,使得噴嘴10可被快速清潔,然後使用。
已針對說明目的描述本發明例示實施例。然而,應知本發明範圍不限於特定的例示實施例,在不悖離所附申請專利範圍界定的範圍下可有各種的修改。
10‧‧‧噴嘴
11‧‧‧出口
20‧‧‧噴嘴支撐件
30‧‧‧固定單元
40‧‧‧清潔液供應單元
41‧‧‧供應管
42‧‧‧清潔液槽
43‧‧‧液位感應器
45‧‧‧閥件
50‧‧‧噴嘴驅動單元
51‧‧‧驅動馬達
60‧‧‧容器
70‧‧‧阻擋單元
71‧‧‧阻擋構件
72‧‧‧阻擋構件驅動裝置

Claims (6)

  1. 一種噴嘴清潔裝置,包含:一噴嘴支撐件,其上裝設一噴嘴;一清潔液供應單元,透過一供應管連接該噴嘴並供應一清潔液至該噴嘴內;一容器,容納自該噴嘴之一出口排出之該清潔液;以及一阻擋單元,擋住該噴嘴之該出口。
  2. 如請求項1所述之噴嘴清潔裝置,其中該阻擋單元包含:一阻擋構件,安裝成在該阻擋構件要與該噴嘴之該出口接觸的方向上以及在該阻擋構件要自該噴嘴之該出口移開的方向上為可移動的;以及一阻擋構件驅動裝置,連接該阻擋構件並移動該阻擋構件,使得該阻擋構件擋住該噴嘴之該出口。
  3. 如請求項1所述之噴嘴清潔裝置,其中該噴嘴包含具有該出口之一柱筒以及可轉動地裝設在該柱筒中之一轉換螺絲,且該噴嘴清潔裝置包含一噴嘴驅動單元,該噴嘴驅動單元轉動該轉換螺絲以使該清潔液在該噴嘴內循環。
  4. 如請求項3所述之噴嘴清潔裝置,其中該噴嘴驅動單元包含產生驅動動力之一驅動馬達以及將該驅動馬達連接至該轉換螺絲之一連接件,且該連接件包含一第一連接部、一第二連接部以及一接頭部,該第一連接部連接該轉換螺絲,該第二連接部連接該驅動馬達之一驅動軸,該接頭部可轉動地連接該第一連接部及該第二連接部並在該第一連接部及該第二連接部之間。
  5. 如請求項1所述之噴嘴清潔裝置,其中該清潔液供應單元包含一清潔液槽 以及一液位感應器,該清潔液槽容納該清潔液並透過該供應管連接該噴嘴,該液位感應器裝設於該清潔液槽中並偵測該清潔液槽中所容納之該清潔液的液位。
  6. 如請求項1所述之噴嘴清潔裝置,更包含:一氣體供應單元,透過該供應管連接該噴嘴並供應氣體至該噴嘴內。
TW104136758A 2015-03-02 2015-11-06 噴嘴清潔裝置 TWI696498B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150029229A KR20160106831A (ko) 2015-03-02 2015-03-02 노즐 청소 장치
KR10-2015-0029229 2015-03-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201632268A true TW201632268A (zh) 2016-09-16
TWI696498B TWI696498B (zh) 2020-06-21

Family

ID=56946373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104136758A TWI696498B (zh) 2015-03-02 2015-11-06 噴嘴清潔裝置

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR20160106831A (zh)
CN (1) CN105935675B (zh)
TW (1) TWI696498B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106362898B (zh) * 2016-11-14 2019-01-04 青岛金光鸿智能机械电子有限公司 自动喷涂喷头清洗及废料收集装置
KR102049582B1 (ko) * 2018-11-28 2019-11-27 백진우 모터용 로터 접착제 밀착형 자동 도포장치
KR102014448B1 (ko) * 2018-11-30 2019-08-26 송다민 모터용 로터 접착제 자동 도포장치
KR102029158B1 (ko) * 2018-12-07 2019-10-07 노진우 모터용 로터 글루액 도포장치
TWI736926B (zh) * 2019-07-05 2021-08-21 漢民測試系統股份有限公司 注液裝置、半導體檢測系統及其檢測方法
CN115106255B (zh) * 2022-06-24 2023-04-28 中国电子科技集团公司第三十八研究所 一种用于深腔小孔的喷嘴自清洁点锡膏装置
CN115502036A (zh) * 2022-08-23 2022-12-23 安徽卓呈科技有限公司 一种扫码摄像头加工用点胶机及其工作方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7837132B2 (en) * 2002-05-28 2010-11-23 S.C. Johnson & Son, Inc. Automated cleansing sprayer
JP2004209402A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Mechatro Shinshu:Kk 洗浄ノズル取り付け装置
JP4982527B2 (ja) * 2009-06-08 2012-07-25 株式会社東芝 成膜装置及び成膜方法
KR101763620B1 (ko) 2010-12-20 2017-08-02 주식회사 탑 엔지니어링 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서
DE102011004232B4 (de) * 2011-02-16 2024-04-18 Ecoclean Gmbh Düsenmodul und Reinigungsvorrichtung mit Düsenmodul
CN104128285B (zh) * 2014-07-16 2016-08-24 深圳市华星光电技术有限公司 一种喷嘴清洁装置及其清洁方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105935675A (zh) 2016-09-14
TWI696498B (zh) 2020-06-21
CN105935675B (zh) 2020-10-16
KR20160106831A (ko) 2016-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI696498B (zh) 噴嘴清潔裝置
CN102576660B (zh) 药液供给装置以及药液供给方法
WO2022236444A1 (zh) 一种可控复合面料生产设备的送胶刮胶装置
US10328448B2 (en) Adhesive dispensing assembly having a mechanism for cleaning the dispensing nozzle
CN108325910B (zh) 一种基于物联网的用于清洗液晶屏的智能机械设备
CN112756184B (zh) 一种保护膜贴合胶辊的多余胶水刮除设备及其使用方法
KR20080032482A (ko) 디스플레이 장치용 프레임 자동 세척장치
WO2007111055A1 (ja) スリットノズル洗浄方法
CN101181706A (zh) 基板处理装置
KR101484272B1 (ko) 약액 예비토출장치
CN104107787B (zh) 一种给家具用木板喷漆的装置
KR101181526B1 (ko) 렌즈 자동 연마장치
RU2632495C2 (ru) Клеераспределительный узел, снабженный устройством очистки валиков
KR20160140068A (ko) 프라이머 시스템 및 이를 적용한 도포 장치
KR20160144664A (ko) 들것 세척장치
KR101060674B1 (ko) 전열판 세척장치
KR101746536B1 (ko) 포터블 열교환기의 열판 세척 장치
CN219597160U (zh) 一种木质家具均匀涂胶机
CN204018152U (zh) 一种给家具用木板喷漆的装置
CN110291460B (zh) 用于清洁基材局部区域的装置和方法
CN109013203A (zh) 一种光学胶涂布装置
CN106862143B (zh) 一种喷射阀自动清洗机
JP6284713B2 (ja) 洗浄装置
CN109647748A (zh) 一种加工中心机床表面擦拭器
CN204018076U (zh) 一种喷漆装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees