KR101783009B1 - 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101783009B1
KR101783009B1 KR1020150099760A KR20150099760A KR101783009B1 KR 101783009 B1 KR101783009 B1 KR 101783009B1 KR 1020150099760 A KR1020150099760 A KR 1020150099760A KR 20150099760 A KR20150099760 A KR 20150099760A KR 101783009 B1 KR101783009 B1 KR 101783009B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
automatic transfer
transfer vehicle
robot arm
port
manufacturing apparatus
Prior art date
Application number
KR1020150099760A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170008915A (ko
Inventor
장민우
박성재
Original Assignee
제닉스주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제닉스주식회사 filed Critical 제닉스주식회사
Priority to KR1020150099760A priority Critical patent/KR101783009B1/ko
Publication of KR20170008915A publication Critical patent/KR20170008915A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101783009B1 publication Critical patent/KR101783009B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/04—Arms extensible rotatable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02—Sensing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1656—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
    • B25J9/1664—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators characterised by motion, path, trajectory planning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
    • B25J9/1684—Tracking a line or surface by means of sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

본 발명은 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로, 개별공정이 진행되는 다수의 제조장치에 각각 마련되는 포트와, 상기 제조장치들과 화물이 저장된 스톡커 사이를 왕래하도록 주행방향을 제어하는 조향유닛이 설치되고, 적재된 화물을 제조장치의 포트로 운반하는 다축 로봇암이 설치된 자동 이송 차량과, 상기 자동 이송 차량과 마주하는 포트의 정면에 설치되어 상기 자동 이송 차량의 정차위치 및 다축 로봇암의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트와, 상기 자동 이송 차량에 설치되고 상기 마크플레이트를 감지하는 감지센서유닛 및 상기 자동 이송 차량의 조향유닛과 다축 로봇암과 전기적으로 연결되어 상기 감지센서유닛에서 감지된 신호에 따라 조향유닛과 다축 로봇암을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템이 개시된다.

Description

자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법{AUTO GUIDED VEHICLE AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}
본 발명은 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조장치의 포트 외면에 마크플레이트가 설치되고, 마크플레이트를 감지하는 센서가 자동 이송 차량에 설치되어 자동 이송 차량의 정차위치 및 자동 이송 차량에 설치된 다축 로봇암의 정지위치를 작업자가 한눈에 쉽게 파악할 수 있을 뿐만 아니라 제조장치의 포트에 설치된 셔터가 개방되지 않고도 자동 이송 차량과 다축 로봇암의 핸들을 정렬시킬 수 있어 셔터의 개방시간을 최소화시켜 오염물질이 제조장치로 유입되는 것을 방지하여 고품질의 제품을 제조할 수 있는 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 자동 이송 차량(Automatic Guided Vehicle; AGV)은 차체에 화물을 적재하는 공간을 형성하고 지시된 장소까지 자동 주행하여 화물을 자동으로 이재(移載) 또는 적재(積載)하는 차량을 말한다.
이러한, 자동 이송 차량은 배터리로 구동되는 무인차로 자동으로 화물을 적재하여 지정장치로 자동 주행하여 적재된 화물을 내린다. 이와 같은 자동 이송 차량은 전자유도나 광학유도 방식 등에 의해서 주행하기 때문에 유연하게 운용할 수 있어 반도체 제조공정 및 액정표시장치의 제조공정 또는 공장자동화에 중요한 기기로 사용되고 있다.
한편, 상기와 같은 반도체 제조공정 및 액정표시장치의 제조공정 들은 수많은 단위 공정들로 이루어지며 이러한 고정밀 제품을 생산하기 위한 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며 하나의 공정이 완료된 다수의 부품은 일단 카세트(Casset)에 적재된 후 자동 이송 차량에 의해 클린룸 내의 또 다른 공정장비로 이송된다. 이를 도 1에 의거하여 설명한다.
도 1은 액정표시장치의 제조공정에 적용된 자동 이송 차량 시스템을 나타낸 평면도이다. 도 1을 참조하여 설명하면, 자동 이송 차량 시스템은 카세트(12)가 적재되고 있는 일종의 창고역활을 하는 스톡커(10)와 상기 카세트(12)를 수취하여 이송시키는 자동 이송 차량(20)과 기판에 개별공정을 진행하는 다수의 제조장치(30)와 상기 자동 이송 차량(20)을 운용하는 관제 서버(40)로 구성된다.
상기 관제 서버(40)는 자동 이송 차량 시스템 전체를 제어하는 통괄 제어장치(42)와 자동 이송 차량(20)에 반송 지령을 내리는 반송 제어장치(44)로 구성된다. 그리고, 상기 스톡커(10)로부터 카세트(12)를 수취한 자동 이송 차량(20)은 소정의 경로를 따라 각 제조장치들(30)로 이동한다. 이때, 상기 자동 이송 차량(20)은 공장의 바닥에 설치된 유도부를 따라 이동하거나 자동 이송 차량(20) 자체에 설치된 구동 바퀴의 구륜에 의해 원하는 위치로 이동하게 된다.
또한, 상기 자동 이송 차량(20)은 통신수단이 설치되어 상기 관제 서버(40)와 통신하면서 각 제조장치(30)로 인도된다. 이때, 상기 제조장치(30)들은 금속 박막을 증착하는 스퍼터링장치, 플라즈마증착장치, 세정장치, 노광장치 또는 제조가 완료된 패널을 테스트하는 테스트장치 등이 될 수 있으며 이러한 제조장치들은 각 제조공정의 특성에 맞게 그 구조를 달리한다.
상기 제조장치(30)로부터 카세트(12)를 자동 이송하는 자동 이송 차량(20)의 구조 및 카세트(12)의 하역을 도 2 및 도 3에 의거하여 설명한다.
도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면, 상기 자동 이송 차량(20)은 크게 차체(21), 상기 차체(21) 상부에 설치되어 카세트(12)를 수취하거나 제조장치의 포트(port,31)에 내리는 로봇암(22), 상기 로봇암(22)의 선단에 설치되어 카세트(12)를 수취하는 핸들(23), 상기 차체(21)의 하부에 설치되고 지면과 접촉한 상태에서 회전하여 차체(21)를 조향하여 제조장치(30)로 이동시키는 구동 바퀴로 구성된다.
한편, 상기 자동 이송 차량(20)은 무선 통신수단을 구비하여 관제 서버(40)와 통신하면서 소정의 제조장치(30)로 이동된다. 상기 관제 서버(40)와 통신하여 제조장치(30)로 이동된 자동 이송 차량(20)은 로봇암(22)에 의해 핸들(23)에 수취된 카세트(12)를 제조장치(30)의 포트(31)로 내리게 되고 카세트(12)에 저장된 기판은 제조장치에 설치된 포트 로봇암(33)에 의해 한 장씩 운반되어 제조장치(30) 내부로 인도된다.
이때, 상기 제조장치(30)의 포트(31) 입구에는 셔터(34)가 설치되어 자동 이송 차량(20)으로부터 카세트(12)를 수취하거나 반송할 때에만 포트(31)의 입구를 개방하여 먼지와 같은 오염물질이 제조장치(30) 내부로 유입되는 것을 차단하게 된다.
한편, 상기 포트(31)의 선단에는 자동 이송 차량(20)이 정해진 위치에서 정차할 수 있게 위치결정센서(33)가 설치되고 상기 위치결정센서(33)와 상호작용하는 위치검출센서(24)가 자동 이송 차량(20)에 설치되어 자동 이송 차량(20)이 포트(31) 앞에서 정차하여 자동 이송 차량(20)과 제조장치(30) 간에 카세트(12)를 적재하거나 내리게 된다.
그러나, 상기와 같은 자동 이송 차량 시스템은 자동 이송 차량(20)가 정확한 위치에 정차하지 않거나 제조장치(30)의 포트(31) 위치가 설정된 위치에 있지 않고 미세하게 틀어진 경우 카세트(120)를 수취하지 못하는 문제가 발생하게 된다.
따라서, 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 종래에는 제조장치(30)의 포트(31)가 개방된 상태에서 포트 로봇암(32)이 카세트(12)를 정확하게 수취받을 수 있게 포트 로봇암(32)의 각 축을 보정하는 과정을 실시하게 되지만 이와 같은 보정을 하는 중에는 계속 포트(31)를 개방시킨 상태를 유지해야 하기 때문에 그만큼 먼지와 같은 오염물질이 제조장치(30)의 내부로 유입될 위험 부담이 커지게 된다.
한국공개특허 제10-2007-0110576호(2007.11.20)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 자동 이송 차량과 제조장치 간에 화물이 정확하게 하역될 수 있게 자동 이송 차량과 제조장치의 위치 보정이 실시될 때 제조장치의 포트 개방시간을 최소화시켜 오염물질이 제조장치로 유입되는 것을 방지할 수 있는 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 작업자가 용이하게 자동 이송 차량의 정차위치 및 자동 이송 차량에 설치된 핸들의 정지 위치를 파악할 수 있으며, 이에 따라 자동 이송 차량의 정차위치 및 자동 이송 차량에 설치된 핸들의 정지 위치를 간편하게 재설정할 수 있는 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 자동 이송 차량의 정차위치 및 자동 이송 차량에 설치된 핸들의 정지 위치를 감지하는 센서를 간단한 구조에 의해 구현시킬 수 있어 제조원가를 절감할 수 있는 이송 차량 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 개별공정이 진행되는 다수의 제조장치에 각각 마련되는 포트와, 상기 제조장치들과 화물이 저장된 스톡커 사이를 왕래하도록 주행방향을 제어하는 조향유닛이 설치되고, 적재된 화물을 제조장치의 포트로 운반하는 다축 로봇암이 설치된 자동 이송 차량과, 상기 자동 이송 차량과 마주하는 포트의 정면에 설치되어 상기 자동 이송 차량의 정차위치 및 다축 로봇암의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트와, 상기 자동 이송 차량에 설치되고 상기 마크플레이트를 감지하는 감지센서유닛 및 상기 자동 이송 차량의 조향유닛과 다축 로봇암과 전기적으로 연결되어 상기 감지센서유닛에서 감지된 신호에 따라 조향유닛과 다축 로봇암을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템에 의해 달성된다.
여기서, 상기 마크플레이트는 상기 자동 이송 차량이 주행하는 방향과 나란하게 상기 제조장치의 포트 정면에 부착되는 베이스와, 상기 베이스의 정면 중 상기 자동 이송 차량의 주행방향 앞쪽에 구비되는 정차위치 감지용 반사테이프 및 상기 베이스의 정면 중 상기 자동 이송 차량의 주행방향 뒤쪽에 구비되는 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 정차위치 감지용 반사테이프와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프는 상기 베이스의 정면에서 일직선상으로 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 감지센서유닛은 상기 정차위치 감지용 반사테이프로부터 반사되는 빛을 수광하는 정차위치 감지용 센서 및 상기 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프로부터 반사되는 빛을 수광하는 로봇암 정렬위치 감지용 센서를 포함하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 정차위치 감지용 센서는 상기 자동 이송 차량의 주행방향 앞쪽에 설치되고, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 자동 이송 차량의 주행방향 뒤쪽에 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 정차위치 감지용 센서와 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 일직선상으로 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 상기 자동 이송 차량이 제조장치의 포트와 나란하게 정차하였을 때 상기 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프보다 후방에 위치하도록 형성되되, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 로봇암의 핸들과 동일하게 이동하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 감지센서유닛은 상기 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 측정하는 변위센서를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 변위센서는 상기 감지센서유닛의 일측과 타측에 설치되고, 상기 변위센서와 대면하는 마크플레이트의 일측과 타측에 각각 평탄면을 형성하는 측정영역이 형성되어 두 지점에 대한 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 측정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 변위센서는 상기 자동 이송 차량의 주행방향과 직각을 이루도록 광을 마크플레이트로 주사하여 수광하는 레이저 변위센서인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 마크플레이트는 해당 제조장치를 식별할 수 있는 정보가 수록된 바코드가 형성되고, 상기 감지센서유닛은 마크플레이트의 바코드를 읽는 바코드 판독기가 설치된 것이 바람직하다.
또한, 상기 다축 로봇암은 상기 자동 이송 차량에 설치되고 지면으로부터 수직하게 승강하고 회전하는 Z축 이동모듈과, 상기 Z축 이동모듈에 설치되어 자동 이송 차량이 주행하는 방향으로 이동하는 Y축 이동모듈 및 상기 Y축 이동모듈에 설치되어 제조장치의 포트를 향해 이동하는 X축 이동모듈을 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 기술적 사상으로는, 개별공정이 진행되는 다수의 제조장치에 각각 마련되는 포트; 상기 제조장치들과 화물이 저장된 스톡커 사이를 왕래하도록 주행방향을 제어하는 조향유닛이 설치되고, 적재된 화물을 제조장치의 포트로 운반하는 다축 로봇암이 설치된 자동 이송 차량; 상기 자동 이송 차량과 마주하는 포트의 정면에 설치되어 상기 자동 이송 차량의 정차위치 및 다축 로봇암의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트; 상기 자동 이송 차량에 설치되고 상기 마크플레이트를 감지하는 감지센서유닛; 및 상기 자동 이송 차량의 조향유닛과 다축 로봇암과 전기적으로 연결되어 상기 감지센서유닛에서 감지된 신호에 따라 조향유닛과 다축 로봇암을 제어하는 제어부;를 포함하는 자동 이송 차량 시스템을 제공하는 제공단계와, 상기 자동 이송 차량이 해당 제조장치의 포트로 접근하면서 상기 감지센서유닛의 정차위치 감지용 센서가 해당 제조장치의 마크플레이트에 형성된 정차위치 감지용 반사테이프를 감지하는 정차위치 감지단계와, 상기 정차위치 감지용 센서에서 감지된 신호에 따라 상기 제어부가 자동 이송 차량의 조향유닛을 제어하여 자동 이송 차량을 제조장치의 포트와 나란하게 정차시키는 자동 이송 차량 정차단계와, 상기 자동 이송 차량이 제조장치의 포트와 나란하게 정차되면 상기 감지센서유닛의 로봇암 정렬위치 감지용 센서가 상기 마크플레이트에 형성된 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프를 감지하는 정렬위치 감지단계와, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서에서 감지된 신호에 따라 상기 제어부가 상기 다축 로봇암을 제어하여 다축 로봇암의 핸들이 제조장치의 포트와 평행한 상태에서 포트 정면 중 정해진 위치에 핸들의 선단이 위치하도록 정지시키는 로봇암 정렬단계 및 상기 로봇암 정렬단계 후 제조장치의 포트에 설치된 셔터가 개방되고 자동 이송 차량과 제조장치 간에 화물이 하역되는 하역단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법에 의해 달성된다.
여기서, 상기 자동 이송 차량 정차단계는 상기 감지센서유닛이 상기 정차위치 감지용 반사테이프를 감지하면 그 즉시 자동 이송 차량을 정차시키는 예비정차단계와, 상기 자동 이송 차량이 정차된 위치에서 상기 마크플레이트 상에 복수의 지점을 선정하여 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 각각 측정하는 측정단계와, 상기 측정된 각각의 거리를 비교하고 그 결과를 산출하는 비교단계와, 상기 비교단계에서 산출된 결과에 따라 조향유닛의 제어 값을 연산하는 연산단계 및 상기 연산단계에서 얻어진 제어 값에 따라 조향유닛이 작동하여 자동 이송 차량을 제조장치의 포트와 나란하게 정차시키는 보정단계를 포함하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 연산단계는 평면상 상기 자동 이송 차량이 상기 제조장치의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고, 구해진 각도로부터 자동 이송 차량과 제조장치의 포트가 평행하도록 조향유닛의 제어 값을 연산하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 자동 이송 차량 정차단계는 상기 감지센서유닛이 상기 정차위치 감지용 반사테이프를 감지하면 그 즉시 자동 이송 차량을 정차시키는 예비정차단계와, 상기 자동 이송 차량이 정차된 위치에서 상기 마크플레이트 상에 복수의 지점을 선정하여 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 각각 측정하는 측정단계와, 상기 측정된 각각의 거리를 비교하고 그 결과를 산출하는 비교단계와, 상기 비교단계에서 산출된 결과에 따라 다축 로봇암의 제어 값을 연산하는 연산단계 및 상기 연산단계에서 얻어진 제어 값에 따라 다축 로봇암이 작동하여 화물을 수취하는 다축 로봇암의 핸들을 제조장치의 포트와 나란하게 정렬시키는 보정단계를 포함하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 연산단계는 평면상 상기 자동 이송 차량이 상기 제조장치의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고, 구해진 각도로부터 다축 로봇암의 핸들이 제조장치의 포트가 평행하도록 다축 로봇암의 제어 값을 연산하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 측정단계는 동일선상의 두 지점에 대하여 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 측정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 상기 자동 이송 차량이 제조장치의 포트와 나란하게 정차하였을 때 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서가 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프보다 후방에 위치하도록 형성되고, 상기 정렬위치 감지단계는 상기 자동 이송 차량 정차단계 후 로봇암의 핸들이 자동 이송 차량의 전방을 향해 이동하는 핸들 이동단계 및 상기 로봇암의 핸들이 이동하는 것과 동일하게 로봇암 정렬위치 감지용 센서가 이동하면서 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프를 감지하는 센서 이동단계를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법에 의하면, 제조장치의 포트 외면에 간단한 구조를 갖는 마크플레이트를 설치하여 화물을 운반하고 수취하는 자동 이송 차량과 다축 로봇암의 핸들을 정해진 곳에 정확하게 위치하도록 설정할 수 있다.
또한, 제조장치의 포트에 설치된 셔터가 개방되지 않고도 제조장치의 포트 외면에 설치된 마크플레이트에 의해 화물을 올바르게 하역시킬 수 있는 위치로 자동 이송 차량과 다축 로봇암의 핸들을 위치시킬 수 있어 제조장치의 내부로 오염물질이 유입되는 것을 최소화시켜 우수한 품질을 갖는 제품을 제조할 수 있다.
그리고, 마크플레이트가 제조장치의 포트 외면에 부착되기 때문에 작업자가 한눈에 자동 이송 차량의 정차위치 및 다축 로봇암의 핸들의 정지위치를 파악할 수 있게 되어 제조장치의 위치가 변경되거나 제조장치의 포트가 구조적으로 변경되어 자동 이송 차량의 정차위치와 화물을 수취하는 핸들의 정지 위치가 변경되는 경우 작업자는 마크플레이트의 위치를 자동 이송 차량의 정차위치와 핸들의 정지위치에 맞게 조절하여 간편하게 재설정할 수 있다.
도 1은 액정표시장치의 제조공정에 적용된 자동 이송 차량 시스템을 나타낸 평면도이다.
도 2는 종래 자동 이송 차량의 구조를 나타낸 측면도이다.
도 3은 종래 자동 이송 차량와 제조장치 간의 카세트 수취를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템을 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 자동 이송 차량을 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 마크플레이트를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 자동 이송 차량에 설치된 다축 로봇암을 나타낸 예시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템의 제어방법을 나타낸 순서도이다.
도 9는 본 발명의 자동 이송 차량 정차단계를 나타낸 순서도이다.
도 10 및 도 11은 자동 이송 차량이 제조장치의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하기 위한 수식을 설명하기 위한 개념도이다.
도 12는 비교단계와 연산단계 및 보정단계의 처리과정을 나타낸 순서도이다.
도 13은 본 발명의 정렬위치 감지단계를 나타낸 순서도이다.
도 14는 본 발명의 정렬위치 감지단계에 따른 핸들의 이동을 나타낸 평면도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템을 나타낸 평면도이고, 도 5는 본 발명의 자동 이송 차량을 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명의 마크플레이트를 나타낸 사시도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템은 다수의 제조장치(100)에 각각 마련되는 포트(110)와, 포트(110)에 필요로 하는 화물을 운반하는 다축 로봇암(320)이 마련된 자동 이송 차량(300)과, 포트(110)의 정면에 부착되어 자동 이송 차량(300)의 정차위치 및 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트(400)와, 자동 이송 차량(300)에 설치되어 마크플레이트(400)를 감지하는 감지센서유닛(500) 및 감지센서유닛(500)의 신호에 따라 자동 이송 차량(300)에 설치된 조향유닛(310) 및 다축 로봇암(320)을 제어하는 제어부(600)로 구성된다.
제조장치(100)들은 반도체 내지 액정표시장치와 같은 고정밀 제품을 생산하는 제조공정에 설치되어 각 제조장치(100)에 따라 개별공정을 수행하게 된다. 이러한 제조장치(100)들은 제조공정 중에 오염물질이 유입되는 것을 차단하기 위해 클린룸 내에서 설치되고, 각 제조장치(100)의 포트(110)에는 화물을 공급받을 때를 제외하고 항상 폐쇄되는 셔터가 설치된다.
자동 이송 차량(300)은 화물을 저장하는 스톡커(200)와 제조장치(100)를 왕래하며 화물을 제조장치(100)의 포트(110)에 공급하거나 또는 제조장치(100)로부터 반송되는 화물을 자동 이송 차량(300)이 수취하여 스톡커(200)로 운반하게 된다.
이렇게 스톡커(200)와 제조장치(100)를 왕래하는 자동 이송 차량(300)은 차체에 설치된 바퀴의 조향을 제어하는 조향유닛(310)이 자동 이송 차량(300)의 차체에 설치되고, 스톡커(200)에 저장된 화물을 수취하거나 수취된 화물을 제조장치(100)의 포트로 이동시키는 다축 로봇암(320)이 자동 이송 차량(300)의 상부에 설치된다.
이때, 자동 이송 차량(300)에 설치되는 다축 로봇암(320)은 다양한 구조를 갖는 제조장치(100)의 포트(110)에 맞게 화물을 하역시킬 수 있도록 3차원 이동을 지원하는 구조를 갖는다.
즉, 다축 로봇암(320)은 도 7에 도시된 것처럼 지면으로부터 수직하게 승강하고 회전하는 Z축 이동모듈(321)과, Z축 이동모듈(321)에 설치되어 자동 이송 차량(300)이 주행하는 방향으로 이동하는 Y축 이동모듈(322) 및 Y축 이동모듈(322)에 설치되어 제조장치(100)의 포트(110)를 향해 이동하는 X축 이동모듈(323)로 이루어져 화물을 하역시키게 된다.
이러한 Z축 이동모듈(321), Y축 이동모듈(322), X축 이동모듈(323)은 유압 실린더에 의해 각각 수직 또는 수평하게 작동하거나 선형 모터 등에 의해 작동될 수 있다. 또한, X축 이동모듈(323)에는 화물과 직접 접촉하는 핸들(324)이 설치된다.
이와 같은 화물을 실어 운반하는 자동 이송 차량(300)은 화물을 필요로 하는 또는 화물의 반송을 필요로 하는 제조장치(100)를 향해 주행한 후 화물을 해당 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 정차하여 화물을 하역하게 된다. 여기서, 포트(110)의 정면이라 함은 제조장치(100)의 포트(110)와 자동 이송 차량(300) 간에 화물이 출입하는 방향을 의미한다.
그리고, 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 정차할 때 제조장치(100)의 포트(110)에 자동 이송 차량(300)의 상부에 설치된 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 정확하게 도킹하여 화물을 하역시킬 수 있도록 자동 이송 차량(300)과 마주하는 포트(110)의 정면에 자동 이송 차량(300)의 정차위치 및 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트(400)가 설치되고, 자동 이송 차량(300)에는 마크플레이트(400)를 감지하는 감지센서유닛(500)이 설치된다.
또한, 자동 이송 차량(300)에는 조향유닛(310)과 다축 로봇암(320)과 전기적으로 연결되어 제조장치(100)의 포트(110)에 설치된 마크플레이트(400)를 감지한 감지센서유닛(500)의 신호에 따라 조향유닛(310)과 다축 로봇암(320)을 제어하는 제어부(600)가 설치된다.
이렇게, 자동 이송 차량(300)의 정차위치 및 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 결정하게 되는 마크플레이트(400)는 평탄한 면을 형성하는 베이스(410)와 베이스(410)의 정면 양측에 각각 형성되는 정차위치 감지용 반사테이프(420) 및 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)로 구성된다.
부연하자면, 베이스(410)는 얇은 두께를 갖으며 정면은 평탄면이 형성되고 양측에 각각 정차위치 감지용 반사테이프(420) 및 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)가 형성되어 베이스(410)의 정면이 포트(110)의 전방을 향하게 제조장치(100)에 부착된다.
이때, 베이스(410)는 볼트와 같은 체결수단에 의해 포트(110)의 정면에 부착될 수 있으며, 또는 베이스(410)의 배면에 접착제가 형성되어 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 부착될 수도 있다.
이러한 마크플레이트(400)는 도 6에 도시된 바와 같이 정면 양측에 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)가 각각 형성되는데, 정차위치 감지용 반사테이프(420)는 자동 이송 차량(300)의 주행방향 앞쪽에 해당하는 위치에 형성되고, 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)는 자동 이송 차량(300)의 주행방향 뒤쪽에 해당하는 위치에 형성된다.
또한, 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)가 베이스(410)의 정면에 형성될 때 베이스(410) 정면에서 일직선상으로 배치되어 작업자가 편리하게 마크플레이트(400)의 수평을 맞추어 제조장치(100)에 부착할 수 있게 된다.
이와 같이 베이스(410)의 정면에 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)가 형성되면, 작업자는 마크플레이트(400)를 제조장치(100)의 포트(110) 정면 중 적절한 위치에 부착하는 것으로 자동 이송 차량(300)의 정차위치 및 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 신속하고 간편하게 설정할 수 있다.
그리고, 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)와 대응하여 감지센서유닛(500)에는 정차위치 감지용 반사테이프(420)로부터 반사되는 빛을 수광하는 정차위치 감지용 센서(510) 및 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)로부터 반사되는 빛을 수광하는 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)가 설치된다.
또한, 정차위치 감지용 센서(510) 및 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 발광부와 수광부를 구비한 광 도전 셀 내지 포토 셀 등으로 이루어져 발광부를 통해 감지센서유닛(500)의 전방으로 광을 조사하고 수광부가 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430) 각각에서 반사된 광을 수광하여 자동 이송 차량(300)의 정차위치 및 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 감지하게 된다.
이러한, 정차위치 감지용 센서(510)와 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 마크플레이트(400)에 형성된 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)에 대응하도록 감지센서유닛(500) 내에 배치된다.
즉, 정차위치 감지용 센서(510)는 자동 이송 차량(300)의 주행방향 앞쪽에 해당하는 위치에 형성되고, 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 자동 이송 차량(300)의 주행방향 뒤쪽에 해당하는 위치에 형성된다. 이렇게 위치한 정차위치 감지용 센서(510)와 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 감지센서유닛(500) 내에서 일직선상으로 배치되어 작업자가 용이하게 센서들의 위치를 파악할 수 있게 된다.
이와 같이 작업자가 제조장치(100)의 포트(110)에 설치된 마크플레이트(400)와 감지센서유닛(500)의 위치를 쉽게 파악할 수 있게 되면 제조장치(100)의 개선 등의 이유로 제조장치(100)의 위치 또는 포트(110)의 위치가 변경되더라도 자동 이송 차량(300)의 정차위치 또는 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 간편하게 재설정할 수 있다.
한편, 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110)와 나란하게 정차하였을 때 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)보다 후방에 위치하도록 형성된다.
또한, 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 다축 로봇암(320)의 핸들(324)과 동일하게 이동하도록 감지센서유닛(500)에 설치되어 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110)와 평행하게 정차했을 때 핸들(324)의 이동에 따라 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)도 동일하게 이동하면서 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)를 감지하게 됨으로써, 포트(110)의 정면에 핸들(324)을 정해진 위치로 정렬시킬 수 있게 된다.
그리고, 감지센서유닛(500)에는 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 자동 이송 차량(300)이 평면상 나란하게 위치할 수 있도록 마크플레이트(400)와 자동 이송 차량(300) 간의 거리를 측정하는 변위센서(530)가 설치된다.
상기 변위센서(530)는 감지센서유닛(500)의 중앙을 기준으로 일측과 타측에 설치된다. 즉, 변위센서(530)는 한 쌍으로 이루어져 감지센서유닛(500) 내에서 일정한 간격을 두고 수평하게 설치되어 변위센서(530)와 대면하는 마크플레이트(400)의 일측과 타측의 두 지점에 대한 마크플레이트(400)와 자동 이송 차량(300) 간의 거리를 측정하게 된다.
그리고, 측정된 결과에 따라 자동 이송 차량(300)에 설치된 조향유닛(310)을 제어하여 자동 이송 차량(300)을 제조장치(100)의 포트 정면에 나란하게 위치시키게 된다.
또한, 변위센서(530)가 거리를 측정하게 되는 마크플레이트(400)의 일측과 타측에는 각각 평탄면을 형성하는 측정영역(440)이 형성되어 변위센서(530)가 두 지점에 대한 마크플레이트(400)와 자동 이송 차량(300) 간의 거리를 측정할 때 오차를 최소화시키게 된다.
이러한 마크플레이트(400)에 형성되는 측정영역(440)은 도 6에 도시된 바와 같이 수평방향으로 길게 연장된 형상이 될 수 있으나 경우에 따라서는 원형으로 형성될 수도 있다.
이와 같이 마크플레이트(400)에 형성된 측정영역(440)에 대한 마크플레이트(400)와 자동 이송 차량(300) 간의 거리를 측정하게 되는 변위센서(530)는 바람직하게 레이저를 마크플레이트(400)에 형성된 측정영역(440)으로 조사하고 반사되는 레이저를 수광하여 거리를 측정하는 레이저 변위센서가 될 수 있다. 이러한 레이저 변위센서는 그 정밀도가 우수할 뿐만 아니라 다른 거리측정센서에 비해 간단하게 감지센서유닛(500)에 설치할 수 있다.
한편, 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110) 정면으로 근접하게 되면 하역 작업을 수행할 제조장치(100)가 맞는지 확인할 수 있도록 마크플레이트(400)에는 해당 제조장치(100)를 식별하는 정보가 수록된 바코드(450)가 형성되고, 바코드(450)와 대면하도록 감지센서유닛(500)에는 마크플레이트(400)에 형성된 바코드(450)를 읽는 바코드 판독기(540)가 설치된다.
또한, 경우에 따라서는 바코드(450)를 대신하여 마크플레이트(400)에 제조장치(100)를 식별할 수 있는 전자태그가 형성되고, 자동 이송 차량(300)의 감지센서유닛(500)에는 전자태그를 감지하는 RFID 판독기가 설치될 수도 있다.
이와 같은 바코드 판독기(540) 또는 RFID 판독기가 자동 이송 차량(300)의 감지센서유닛(500)에 설치되고, 제조장치(100)의 마크플레이트(400)에 바코드(450) 또는 전자태그가 형성되면 명령의 오류 등으로 인해 자동 이송 차량(300)이 잘못된 제조장치(100)의 포트(110)로 주행하더라도 자동 이송 차량(300)이 해당 제조장치(100)를 식별함으로써 불필요한 하역을 방지할 수 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템의 제어를 도 8 내지 도 14에 의거하여 설명한다.
도 8은 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템의 제어방법을 나타낸 순서도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 자동 이송 차량 시스템의 제어방법은 제공단계(S100), 정차위치 감지단계(S200), 자동 이송 차량 정차단계(S300), 정렬위치 감지단계(S400), 로봇암 정렬단계(S500), 하역단계(S600)로 이루어진다. 제공단계(S100)에서는 앞서 설명한 감지센서유닛(500)이 자동 이송 차량(300)에 설치되고, 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 마크플레이트(400)가 부착된다.
스톡커(200)에 저장된 화물을 수취한 자동 이송 차량(300)은 화물을 필요로 하는 제조장치(100)를 향해 주행하게 된다. 이때, 자동 이송 차량(300)은 관제 서버로부터 화물을 필요로 하는 제조장치(100)까지의 경로를 입력받아 주행하여 제조장치(100)의 포트(110) 정면으로 자동 이송 차량(300)이 접근하게 된다.
정차위치 감지단계(S200)는 자동 이송 차량(300)이 해당 제조장치(100)의 포트(110)로 접근하게 되면 감지센서유닛(500)의 정차위치 감지용 센서(510)가 해당 제조장치(100)의 마크플레이트(400)에 형성된 정차위치 감지용 반사테이프(420)를 감지하게 된다.
또한, 자동 이송 차량 정차단계(S300)는 정차위치 감지용 센서(510)에서 감지된 신호에 따라 제어부(600)가 자동 이송 차량(300)의 조향유닛(310)을 제어하여 자동 이송 차량(300)을 제조장치(100)의 포트와 평행하게 정차시키게 된다.
특히, 자동 이송 차량 정차단계(S300)는 예비정차단계(S310), 측정단계(S320), 비교단계(S330), 연산단계(S340)(S341), 보정단계(S350)(S351)로 구분되어 각 단계에 맞추어 자동 이송 차량(300)이 작동하게 된다. 이를 도 9에 의거하여 설명한다.
예비정차단계(S310)는 자동 이송 차량(300)에 설치된 감지센서유닛(500)이 제조장치(100)의 포트(110)에 정면에 접근하는 것에 따라 감지센서유닛(500)의 정차위치 감지용 센서(510)가 마크플레이트(400)에 형성된 정차위치 감지용 반사테이프(420)로부터 반사되는 빛을 수광하여 감지하면 그 즉시 자동 이송 차량(300)을 정차시키게 된다.
그리고, 측정단계(S320)는 자동 이송 차량(300)이 정차된 위치에서 마크플레이트(400) 상에 복수의 지점을 선정하여 변위센서(530)가 마크플레이트(400)와 자동 이송 차량(300) 간의 거리를 측정하게 되는 것으로, 감지센서유닛(500)에 설치된 변위센서(530)가 마크플레이트(400)의 양측에 형성된 측정영역(440)의 두 지점을 향해 레이저를 조사하고 반사되는 시간을 측정하여 마크플레이트(400)와 자동 이송 차량(300) 간의 거리를 측정하게 된다.
또한, 비교단계(S330)는 측정단계(S320)를 통해 자동 이송 차량(300)과 마크플레이트(400) 간의 두 지점에 대한 거리가 측정되면 이 두 지점에 대한 거리를 서로 비교하여 측정된 거리가 동일한지 또는 어느 한 지점의 길이가 다른 지점의 거리보다 큰지 혹은 작은지를 비교하여 그 결과를 산출하게 된다.
상기와 같이 비교단계(S330)를 거친 후에는 연산단계(S340)가 실시되어 비교단계(S330)에서 산출된 결과에 따라 자동 이송 차량(300)과 제조장치(100)의 포트(110)가 평행하게 위치할 수 있도록 조향유닛(310)의 제어 값을 연산하게 된다.
즉, 연산단계(S340)는 평면상 자동 이송 차량이 제조장치(100)의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고 구해진 각도로부터 자동 이송 차량(300)과 제조장치(100)의 포트(110)가 평행하도록 조향유닛(310)의 제어 값을 연산하게 된다.
상기와 같이 연산단계(S340)를 통해 조향유닛(310)의 제어 값이 연산되면 자동 이송 차량(300)의 제어부(600)는 연산단계(S340)에서 얻어진 제어 값에 따라 자동 이송 차량(300)을 제조장치(100)의 포트(110)와 평행하게 정차될 수 있게 조향유닛(310)의 작동을 제어하는 보정단계(S350)가 실시된다.
한편, 앞선 설명에서는 연산단계(S340)와 보정단계(S350)에서 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110)와 평행한 상태로 위치하여 정차할 수 있도록 조향유닛(310)의 제어 값을 연산하고 상기 제어 값에 따라 조향유닛(310)이 작동하는 것으로 설명하고 있지만 경우에 따라서는 다축 로봇암(320)의 제어 값을 연산하여 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 제조장치(100)의 포트(110)와 평행하게 위치하도록 제어할 수도 있다.
이를 위해, 상기 연산단계(S341)는 비교단계(S330)가 실시된 후 비교단계(S330)에서 산출된 결과에 따라 자동 이송 차량(300)에 설치된 다축 로봇암(320)의 핸들(324)과 제조장치(100)의 포트(110)가 평행하게 위치할 수 있도록 다축 로봇암(320)의 제어 값을 연산하게 된다.
즉, 연산단계(S341)는 평면상 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 제조장치(100)의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고 구해진 각도로부터 다축 로봇암(320)의 핸들(324)과 제조장치(100)의 포트가 평행하도록 다축 로봇암(320)의 제어 값을 연산하게 된다.
그리고, 상기와 같이 연산단계(S341)를 통해 다축 로봇암(320)의 제어 값이 연산되면 자동 이송 차량(300)의 제어부(600)는 연산단계(S341)에서 얻어진 제어 값에 따라 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 제조장치(100)의 포트(110)와 평행하게 위치될 수 있게 다축 로봇암(320)의 작동을 제어하는 보정단계(S351)가 실시된다.
이와 같은 조향유닛(310) 또는 다축 로봇암(320)의 제어 값을 구하기 위한 연산단계(S340)(S341)는 비교단계(S330)에서 측정된 두 지점에 대한 자동 이송 차량과 마크플레이트(400) 간의 거리를 구한 후 비교단계(S330)에서 측정된 각각의 거리를 비교하고 그 결과를 산출한 후 산출된 결과에 따라 조향유닛(310) 또는 다축 로봇암(320)의 제어 값을 구하게 된다.
이러한 조향유닛(310) 또는 다축 로봇암(320)의 제어 값은 평면상 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110) 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고, 이 각도를 기초로 하여 자동 이송 차량(300) 또는 다축 로봇암(320)의 핸들(324) 위치를 보정(S350)(S351)하게 된다. 이를 도 10 내지 도 12에 의거하여 설명한다.
도 10 및 도 11은 자동 이송 차량이 제조장치의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하기 위한 수식을 설명하기 위한 개념도이고, 도 12는 비교단계와 연산단계 및 보정단계의 처리과정을 나타낸 순서도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 제조장치(100)의 포트(110) 정면으로부터 자동 이송 차량(300)의 기울어진 각도를 구하기 위한 식은 식 1과 식 2로 구분될 수 있다.
이때, 변위센서(530)는 자동 이송 차량(300)의 앞쪽과 가깝게 설치된 전방 변위센서(531)와 자동 이송 차량의 뒤쪽과 가깝게 설치된 후방 변위센서(532) 각각에 대한 거리가 동일(d1=d2일 때)한 경우 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 자동 이송 차량(300)이 평행하게 정차된 것이므로, 조향유닛(310) 또는 다축 로봇암(320)의 위치를 보정할 필요 없이 그 상태로 화물을 하역하게 된다.
그러나, 도 10에 도시된 바와 같이 자동 이송 차량(300)의 앞쪽이 제조장치(100)의 포트(110) 정면을 향하게 기울어지게 되면 전방 변위센서(531)에서 측정된 거리는 후방 변위센서(532)에서 측정된 거리보다 작은 값을 갖게 된다(d1<d2일 때).
따라서, 수학식 1에 의해 자동 이송 차량(300)의 앞쪽이 제조장치(100)의 포트(110) 정면을 향하게 기울어진 각도(θ1)를 구할 수 있게 된다.
Figure 112015067999167-pat00001
이때, d1는 전방 변위센서(531)로부터 제조장치(100)의 포트(110) 정면 간의 거리이고, d2는 후방 변위센서(532)로부터 제조장치(100)의 포트(110) 정면 간의 거리이며, ds는 전방 변위센서(531)와 후방 변위센서(532) 간의 거리이다.
예를 들어, d1 = 50mm이고, d2 = 80mm이며, ds = 500mm일 때 θ1 = 3.433°임을 구할 수 있다. 이와 같이 자동 이송 차량(300)의 앞쪽이 제조장치(100)의 포트(110) 정면을 향하게 기울어진 각도가 구해지면 θ1이 0이 되게 조향유닛(310) 또는 다축 로봇암(320)의 제어 값을 보정하여 자동 이송 차량(300)의 정차위치를 보정하거나 또는 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 보정하게 된다.
이와는 반대로, 도 11에 도시된 바와 같이 자동 이송 차량(300)의 뒤쪽이 제조장치(100)의 포트(110) 정면을 향하게 기울어지게 되면 후방 변위센서(532)에서 측정된 거리는 전방 변위센서(531)에서 측정된 거리보다 작은 값을 갖게 된다(d1>d2일 때).
따라서, 수학식 2에 의해 자동 이송 차량(300)의 뒤쪽이 제조장치(100)의 포트(110) 정면을 향하게 기울어진 각도(θ2)를 구할 수 있게 된다.
Figure 112015067999167-pat00002
이때, d1는 전방 변위센서(531)로부터 제조장치(100)의 포트 정면 간의 거리이고, d2는 후방 변위센서(532)로부터 제조장치(100)의 포트(110) 정면 간의 거리이며, ds는 전방 변위센서(531)와 후방 변위센서(532) 간의 거리이다.
예를 들어, d1 = 80mm이고, d2 = 50mm이며, ds = 500mm일 때 θ2 = 3.433°임을 구할 수 있다. 이와 같이 자동 이송 차량(300)의 앞쪽이 제조장치(100)의 포트(110) 정면을 향하게 기울어진 각도가 구해지면 θ2이 0이 되게 조향유닛(310) 또는 다축 로봇암(320)의 제어 값을 보정하여 자동 이송 차량(300)의 정차위치를 보정하거나 또는 다축 로봇암(320)의 정렬위치를 보정하게 된다.
한편, 상기와 같이 자동 이송 차량 정차단계(S300)가 실시되어 자동 이송 차량(300) 또는 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 제조장치(100)의 포트(110) 정면과 평행하게 위치하게 되면, 감지센서유닛(500)의 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)가 마크플레이트(400)에 형성된 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)를 감지하는 정렬위치 감지단계(S400)가 실시된다.
이때, 정렬위치 감지단계(S400)는 자동 이송 차량 정차단계(S300) 후 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 자동 이송 차량(300)의 전방을 향해 이동하는 핸들 이동단계(S410)와 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 이동하는 것과 동일하게 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)가 이동하면서 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)를 감지하는 센서 이동단계(S420)를 더 포함하게 된다. 이를 도 13 및 도 14에 의거하여 설명한다.
도 13은 본 발명의 정렬위치 감지단계를 나타낸 순서도이고, 도 14는 본 발명의 정렬위치 감지단계에 따른 핸들의 이동을 나타낸 평면도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 도 14에 도시된 바와 같이 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110) 정면과 평행하게 정차하였을 때 마크플레이트(400)에 형성된 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)보다 후방에 위치하게 된다.
또한, 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)는 핸들(324)이 자동 이송 차량(300)의 주행방향으로 전진하는 것과 동일하게 이동하도록 핸들(324)로부터 연장된 브라켓(미도시)에 설치된다.
이와 같은 상태에서 핸들 이동단계(S410)가 실시되면 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 자동 이송 차량(300)의 전방을 향해 이동하게 된다. 이와 함께, 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 이동하는 것과 동일한 방향으로 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)가 이동하면서 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)를 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)가 감지하는 센서 이동단계(S420)가 실시된다.
이와 같은 동작에 의해 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)가 마크플레이트(400)에 형성된 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)를 감지하게 되면 로봇암 정렬위치 감지용 센서(520)에서 감지된 신호에 따라 제어부(600)가 다축 로봇암(320)을 제어하여 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 제조장치(100)의 포트(110)와 평행한 상태에서 포트(110) 정면 중 정해진 위치에 핸들(324)의 선단이 위치하도록 정지시키는 로봇암 정렬단계(S500)가 실시되고 이에 따라서 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 화물을 수취하는 핸들(324)이 틀어짐 없이 화물을 올바르게 하역하기 위한 곳에 위치하게 된다.
그리고, 로봇암 정렬단계(S500)가 실시된 후에는 하역단계(S600)가 수행되어 화물을 제조장치(100)의 포트(110)로 공급하거나 또는 제조장치(100)의 포트(110)에 위치한 화물을 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 수취하는 하역단계(S600)가 수행된다.
즉, 자동 이송 차량(300)이 제조장치(100)의 포트(110)와 나란하게 정차되고, 다축 로봇암(320)의 핸들(324) 선단이 제조장치(100)의 포트(110) 정면 중 정해진 위치에 정지되면 제조장치(100)의 포트(110)에 설치된 셔터가 개방되고, 자동 이송 차량(300)과 제조장치(100) 간에 화물이 하역된다.
이처럼, 정차위치 감지용 반사테이프(420)와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프(430)가 마크플레이트(400)에 형성되어 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 마크플레이트(400)가 설치되면 화물을 운반하는 자동 이송 차량(300)이 정차위치 감지용 반사테이프(420)를 감지하여 제조장치(100)의 포트와 평행하게 정차된다.
또한, 이와 같은 상태에서 화물을 수취하는 다축 로봇암(320)의 핸들(324)이 화물을 올바르게 하역할 수 있는 정해진 위치에 정지한 상태가 되면 제조장치(100)의 셔터가 개방되고 화물이 하역되기 때문에 제조장치(100)의 셔터 개방시간을 단축시킬 수 있어 오염물질이 제조장치(100)의 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 마크플레이트(400)가 제조장치(100)의 포트(110) 정면에 부착되기 때문에 작업자가 한눈에 자동 이송 차량(300)의 정차위치 및 다축 로봇암(320)의 핸들(324)의 정렬위치를 파악할 수 있다. 따라서, 제조장치(100)의 위치가 변경되거나 제조장치(100)의 포트(110)가 구조적으로 변경되어 자동 이송 차량(300)의 정차위치와 화물을 수취하는 핸들(324)의 정렬위치가 변경되는 경우 작업자는 마크플레이트(400)의 위치를 자동 이송 차량(300)의 정차위치와 핸들(324)의 정렬위치에 맞게 조절하여 간편하게 재설정할 수 있다.
한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.
100 : 제조장치 110 : 포트
200 : 스톡커 300 : 자동 이송 차량
310 : 조향유닛 320 : 다축 로봇암
321 : Z축 이동모듈 322 : Y축 이동모듈
323 : X축 이동모듈 324 : 핸들
400 : 마크플레이트 410 : 베이스
420 : 정차위치 감지용 반사테이프
430 : 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프
440 : 측정영역 450 : 바코드
500 : 감지센서유닛 510 : 정차위치 감지용 센서
520 : 로봇암 정렬위치 감지용 센서 530 : 변위센서
531 : 전방 변위센서 532 : 후방 변위센서
540 : 바코드 판독기 600 : 제어부

Claims (19)

  1. 개별공정이 진행되는 다수의 제조장치에 각각 마련되는 포트; 상기 제조장치들과 화물이 저장된 스톡커 사이를 왕래하도록 주행방향을 제어하는 조향유닛이 설치되고, 적재된 화물을 제조장치의 포트로 운반하는 다축 로봇암이 설치된 자동 이송 차량; 상기 자동 이송 차량과 마주하는 포트의 정면에 설치되어 상기 자동 이송 차량의 정차위치 및 다축 로봇암의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트; 상기 자동 이송 차량에 설치되고 상기 마크플레이트를 감지하는 감지센서유닛; 및 상기 자동 이송 차량의 조향유닛과 다축 로봇암과 전기적으로 연결되어 상기 감지센서유닛에서 감지된 신호에 따라 조향유닛과 다축 로봇암을 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 감지센서유닛은, 정차위치 감지용 반사테이프로부터 반사되는 빛을 수광하는 정차위치 감지용 센서; 및 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프로부터 반사되는 빛을 수광하는 로봇암 정렬위치 감지용 센서;를 포함하고,
    상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는, 상기 자동 이송 차량이 제조장치의 포트와 나란하게 정차하였을 때 상기 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프보다 후방에 위치하도록 형성되되, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 로봇암의 핸들과 동일하게 이동하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 마크플레이트는,
    상기 자동 이송 차량이 주행하는 방향과 나란하게 상기 제조장치의 포트 정면에 부착되는 베이스;
    상기 베이스의 정면 중 상기 자동 이송 차량의 주행방향 앞쪽에 구비되는 정차위치 감지용 반사테이프; 및
    상기 베이스의 정면 중 상기 자동 이송 차량의 주행방향 뒤쪽에 구비되는 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 정차위치 감지용 반사테이프와 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프는 상기 베이스의 정면에서 일직선상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 정차위치 감지용 센서는 상기 자동 이송 차량의 주행방향 앞쪽에 설치되고, 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 자동 이송 차량의 주행방향 뒤쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 정차위치 감지용 센서와 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 일직선상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 감지센서유닛은,
    상기 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 측정하는 변위센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 변위센서는,
    상기 감지센서유닛의 일측과 타측에 설치되고, 상기 변위센서와 대면하는 마크플레이트의 일측과 타측에 각각 평탄면을 형성하는 측정영역이 형성되어 두 지점에 대한 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  10. 청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,
    상기 변위센서는,
    상기 자동 이송 차량의 주행방향과 직각을 이루도록 광을 마크플레이트로 주사하여 수광하는 레이저 변위센서인 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 마크플레이트는 해당 제조장치를 식별할 수 있는 정보가 수록된 바코드가 형성되고, 상기 감지센서유닛은 마크플레이트의 바코드를 읽는 바코드 판독기가 설치된 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 다축 로봇암은,
    상기 자동 이송 차량에 설치되고 지면으로부터 수직하게 승강하고 회전하는 Z축 이동모듈;
    상기 Z축 이동모듈에 설치되어 자동 이송 차량이 주행하는 방향으로 이동하는 Y축 이동모듈; 및
    상기 Y축 이동모듈에 설치되어 제조장치의 포트를 향해 이동하는 X축 이동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템.
  13. 개별공정이 진행되는 다수의 제조장치에 각각 마련되는 포트; 상기 제조장치들과 화물이 저장된 스톡커 사이를 왕래하도록 주행방향을 제어하는 조향유닛이 설치되고, 적재된 화물을 제조장치의 포트로 운반하는 다축 로봇암이 설치된 자동 이송 차량; 상기 자동 이송 차량과 마주하는 포트의 정면에 설치되어 상기 자동 이송 차량의 정차위치 및 다축 로봇암의 정렬위치를 결정하는 마크플레이트; 상기 자동 이송 차량에 설치되고 상기 마크플레이트를 감지하는 감지센서유닛; 및 상기 자동 이송 차량의 조향유닛과 다축 로봇암과 전기적으로 연결되어 상기 감지센서유닛에서 감지된 신호에 따라 조향유닛과 다축 로봇암을 제어하는 제어부;를 포함하는 자동 이송 차량 시스템을 제공하는 제공단계;
    상기 자동 이송 차량이 해당 제조장치의 포트로 접근하면서 상기 감지센서유닛의 정차위치 감지용 센서가 해당 제조장치의 마크플레이트에 형성된 정차위치 감지용 반사테이프를 감지하는 정차위치 감지단계;
    상기 정차위치 감지용 센서에서 감지된 신호에 따라 상기 제어부가 자동 이송 차량의 조향유닛을 제어하여 자동 이송 차량을 제조장치의 포트와 나란하게 정차시키는 자동 이송 차량 정차단계;
    상기 자동 이송 차량이 제조장치의 포트와 나란하게 정차되면 상기 감지센서유닛의 로봇암 정렬위치 감지용 센서가 상기 마크플레이트에 형성된 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프를 감지하는 정렬위치 감지단계;
    상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서에서 감지된 신호에 따라 상기 제어부가 상기 다축 로봇암을 제어하여 다축 로봇암의 핸들이 제조장치의 포트와 평행한 상태에서 포트 정면 중 정해진 위치에 핸들의 선단이 위치하도록 정지시키는 로봇암 정렬단계; 및
    상기 로봇암 정렬단계 후 제조장치의 포트에 설치된 셔터가 개방되고 자동 이송 차량과 제조장치 간에 화물이 하역되는 하역단계;를 포함하고,
    상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서는 상기 자동 이송 차량이 제조장치의 포트와 나란하게 정차하였을 때 상기 로봇암 정렬위치 감지용 센서가 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프보다 후방에 위치하도록 형성되고, 상기 정렬위치 감지단계는, 상기 자동 이송 차량 정차단계 후 로봇암의 핸들이 자동 이송 차량의 전방을 향해 이동하는 핸들 이동단계; 및 상기 로봇암의 핸들이 이동하는 것과 동일하게 로봇암 정렬위치 감지용 센서가 이동하면서 로봇암 정렬위치 감지용 반사테이프를 감지하는 센서 이동단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 자동 이송 차량 정차단계는,
    상기 감지센서유닛이 상기 정차위치 감지용 반사테이프를 감지하면 그 즉시 자동 이송 차량을 정차시키는 예비정차단계;
    상기 자동 이송 차량이 정차된 위치에서 상기 마크플레이트 상에 복수의 지점을 선정하여 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 각각 측정하는 측정단계;
    상기 측정된 각각의 거리를 비교하고 그 결과를 산출하는 비교단계;
    상기 비교단계에서 산출된 결과에 따라 조향유닛의 제어 값을 연산하는 연산단계; 및
    상기 연산단계에서 얻어진 제어 값에 따라 조향유닛이 작동하여 자동 이송 차량을 제조장치의 포트와 나란하게 정차시키는 보정단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 연산단계는,
    평면상 상기 자동 이송 차량이 상기 제조장치의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고, 구해진 각도로부터 자동 이송 차량과 제조장치의 포트가 평행하도록 조향유닛의 제어 값을 연산하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법.
  16. 청구항 13에 있어서,
    상기 자동 이송 차량 정차단계는,
    상기 감지센서유닛이 상기 정차위치 감지용 반사테이프를 감지하면 그 즉시 자동 이송 차량을 정차시키는 예비정차단계;
    상기 자동 이송 차량이 정차된 위치에서 상기 마크플레이트 상에 복수의 지점을 선정하여 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 각각 측정하는 측정단계;
    상기 측정된 각각의 거리를 비교하고 그 결과를 산출하는 비교단계;
    상기 비교단계에서 산출된 결과에 따라 다축 로봇암의 제어 값을 연산하는 연산단계; 및
    상기 연산단계에서 얻어진 제어 값에 따라 다축 로봇암이 작동하여 화물을 수취하는 다축 로봇암의 핸들을 제조장치의 포트와 나란하게 정렬시키는 보정단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법.
  17. 청구항 14 에 있어서,
    상기 연산단계는,
    평면상 상기 자동 이송 차량이 상기 제조장치의 포트 정면으로부터 기울어진 각도를 구하고, 구해진 각도로부터 다축 로봇암의 핸들이 제조장치의 포트가 평행하도록 다축 로봇암의 제어 값을 연산하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법.
  18. 청구항 14 또는 청구항 16에 있어서,
    상기 측정단계는 동일선상의 두 지점에 대하여 마크플레이트와 자동 이송 차량 간의 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 자동 이송 차량 시스템의 제어방법.
  19. 삭제
KR1020150099760A 2015-07-14 2015-07-14 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법 KR101783009B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150099760A KR101783009B1 (ko) 2015-07-14 2015-07-14 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150099760A KR101783009B1 (ko) 2015-07-14 2015-07-14 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170008915A KR20170008915A (ko) 2017-01-25
KR101783009B1 true KR101783009B1 (ko) 2017-10-24

Family

ID=57991292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150099760A KR101783009B1 (ko) 2015-07-14 2015-07-14 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101783009B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200012298A (ko) 2018-07-26 2020-02-05 (주)가하 오토 포지셔닝 기술을 이용한 무인이송대차

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070110576A (ko) 2006-05-15 2007-11-20 엘지.필립스 엘시디 주식회사 자동물류 반송장치 및 그 제어방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200012298A (ko) 2018-07-26 2020-02-05 (주)가하 오토 포지셔닝 기술을 이용한 무인이송대차

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170008915A (ko) 2017-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6753950B2 (ja) カセットハンドリングロボットマニピュレータ、及び自動カセット搬送装置
JP5544414B2 (ja) センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア
JP4296914B2 (ja) 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
KR101363591B1 (ko) 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치
TWI419826B (zh) Uniform use of unmanned vehicle material bundle supply device
KR100447308B1 (ko) 미리 설정된 영역에서 차량의 위치를 감지하기 위한 방법및 장치
TWI450060B (zh) Handling system, walking car
US6490504B2 (en) Feeding robot and control method therefor
KR101783009B1 (ko) 자동 이송 차량 시스템 및 그 제어방법
US8485343B2 (en) Conveying system having endless drive medium and conveying method
CN109470357B (zh) 检查系统
JP6368147B2 (ja) 駐車システム
JP2022028342A (ja) 無人搬送車システム
KR20070030529A (ko) 자동 위치 보정 기능을 갖는 무인 반송차 및 위치 보정방법
US8915695B2 (en) Conveying system having endless drive medium and method for delivering/receiving article therein
CN113552876A (zh) 控制装置、移动控制系统、控制方法以及程序
KR20230044306A (ko) 자동 창고
JPH11150172A (ja) 搬送装置
KR20060028299A (ko) 위치조절수단을 구비하는 자동반송대차 시스템
KR100819817B1 (ko) 반송 로봇
JP3454338B2 (ja) 物品搬送車
CN118009951A (zh) 测量转运车辆轨道的设备和方法
US20080013823A1 (en) Overhead traveling camera inspection system
KR100381417B1 (ko) 무인운반차의 이적재 위치보정방법 및 위치보정장치
JP2022042165A (ja) 無人走行台車および無人走行台車を用いた搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant