CN118009951A - 测量转运车辆轨道的设备和方法 - Google Patents

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Abstract

在本文中公开的是一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，以检查所述轨道的安装状态，以确保所述转运车辆的所述轨道按照规格安装。所述设备可以包括：主体，对应于所述转运车辆的所述轨道形成；检测器，提供到所述主体并且布置为与所述轨道接触；以及位移测量器，配置为测量与所述轨道接触的所述检测器的位移。

Description

测量转运车辆轨道的设备和方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2022年11月8日提交的第10-2022-0148290号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于本文中。
技术领域
本发明涉及一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，更具体地，涉及一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，所述设备和方法能够检查轨道的安装状态，以确保转运车辆的轨道按照规定安装。
背景技术
为了提高半导体制造的效率，引入并使用了用于改进通过半导体制造设施执行的各种工艺(例如曝光、沉积、蚀刻、离子注入、清洁等)的技术，以及用于在半导体制造设施之间更有效地转移物品(例如用于存储晶圆的容器、前开式晶圆传送盒(FOUP)、用于存储光罩(reticle)的光罩盒(POD)等)的设备。例如，一种物品转运设备已被广泛使用，所述物品转运设备包括配置为在沿着半导体制造设施天花板一侧提供的转运路径移动时转运物品的天车搬运系统(OHT)。
包括OHT的物品转运设备可以包括：提供转运路径的行进轨道、布置为沿着行进轨道行进的转运车辆、以及布置在转运车辆下方的提升装置。提升装置可以支撑要被转运的物品，并且提升装置可以旋转物品，在水平方向上移动物品，或者在竖直方向上提升和降低物品，以将物品放置在物品储存架上。
发明内容
然而，传统地，当转运车辆的轨道第一次安装或者在使用过程中维修时，工人除了标准杆或基准夹具之外，还需要分别携带各种间隙规、定标器、直尺等，以非常不舒服的姿势手动测量安装在天花板上的轨道。
这种通过人工测量轨道的传统方法是基于手动读取标尺，并且具有许多问题，例如工人之间的误差大、工作程序繁琐以及由于工人不舒适的姿势而导致的耗时工作。
因此，鉴于包括上述问题在内的各种问题，做出了本公开，并且本公开的目的是提供一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，所述设备和方法能够在安装在轨道上并沿轨道移动时，使用数字化数值或便于识别的显示器，以非常直观和方便的方式准确和快速地测量轨道的安装状态。然而，该目的是示例性的，并不限制本公开的范围。
根据本公开的一个方面，上述和其他目的可以通过提供一种用于测量转运车辆的轨道的设备来实现。所述设备可以包括：主体，对应于转运车辆的轨道形成；检测器，提供到主体并且布置为与轨道接触；以及位移测量器，配置为测量与轨道接触的检测器的位移。
根据本公开，检测器可以包括：可移动构件，具有设置为与轨道接触的接触表面；导杆，具有前端、中间部分和后端，其中，前端提供到可移动构件，中间部分布置为沿着在主体中形成的导孔在第一方向上来回移动，并且后端连接到位移测量器；弹性弹簧，布置在可移动构件和主体之间，以在可移动构件和轨道之间接触的方向上施加弹性回复力。
根据本公开，检测器还可以包括方向切换器，方向切换器设置在导杆和位移测量器之间，并且配置为将导杆在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动。
根据本公开，方向切换器可以包括：斜块(angled block)，布置在导杆后端处以与导杆一起移动，斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；滚轮，布置为与斜块的倾斜表面滚动接触；以及位移测量杆，设置为可转动地支撑滚轮，并且连接到位移测量器。
根据本公开，转运车辆是天车搬运系统(OHT)的车辆，其中，轨道可以包括：至少一个上轨道，对应于转运车辆的上轮；至少一个左轨道，对应于转运车辆的左轮；以及至少一个右轨道，对应于转运车辆的右轮。
根据本公开，主体可以包括：水平构件，在基本上水平的位置悬挂在左轨道和右轨道上，以测量左轨道和右轨道的安装状态；以及竖直构件，在基本上竖直位置从水平构件向上突出，以测量上轨道的安装状态。
根据本公开，检测器可以包括：第一检测器，安装在竖直构件上以接触上轨道的侧表面，以测量上轨道的侧表面的安装状态；以及第二检测器，安装在水平构件上以接触左轨道的侧表面或右轨道的侧表面，以测量左轨道和右轨道之间的安装间隔。
根据本公开，水平构件的一端可以提供有：第一参考接触表面，布置为与右轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考接触表面，布置为与右轨道或左轨道的侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考。水平构件的相反端可以提供有搁置在左轨道或右轨道的顶表面上的搁置表面(resting surface)，其中，第二检测器可以设置在搁置表面的下侧。
根据本公开，设备还可以包括水平倾斜仪，水平倾斜仪布置在水平构件上，并且配置为根据左轨道或者右轨道的安装高度来测量水平构件相对于水平方向的倾角。
根据本公开，检测器还可以包括第三检测器，第三检测器安装在竖直构件上，并且设置为接触上轨道的底表面，以测量上轨道的底表面的安装状态。
根据本公开，检测器可以包括：滚动轮，被促使与轨道滚动接触，以能够测量运动；可移动构件，设置为支撑滚动轮，同时允许滚动轮自由转动；导杆，具有提供到可移动构件的前端和被布置为沿着在主体中形成的导孔在第一方向上来回移动的中间部分；以及弹性弹簧，布置在可移动构件和主体之间，以在滚动轮和轨道之间接触的方向上施加弹性回复力。
根据本公开，检测器还可以包括方向切换器，方向切换器设置在可移动构件和位移测量器之间，以将可移动构件在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动，其中，方向切换器可以包括：斜块，布置在可移动构件上，以与可移动构件一起移动，斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；滚轮，布置为与斜块的倾斜表面滚动接触；以及位移测量杆，设置为可转动地支撑滚轮，并且连接到位移测量器。
根据本公开，主体的水平构件的一端可以提供有：第一参考轮，布置为与右轨道或者左轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考轮，布置为与右轨道或者左轨道的侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考，其中，水平构件的相反端可以提供有搁置在左轨道或者右轨道的顶表面上的搁置轮(resting wheel)。
根据本公开，设备还可以包括控制器，控制器配置为将由位移测量器测量的位移的值与参考范围进行比较，并且当该值在参考范围之外时，在显示器上显示该位移的值。
根据本公开，显示器可以包括：低状态通知器，配置为当测量的位移的值低于参考范围时被激活以便于操作人员目视检查；正常状态通知器，配置为当测量的位移的值在参考范围内时被激活；以及超状态通知器，配置为当测量的位移的值高于参考范围时被激活。
根据本公开，设备还可以包括位置传感器，位置传感器配置为感测由检测器接触的轨道的位置，其中，控制器可以将由位置传感器感测的位置与由位移测量器测量的位移相匹配。
根据本公开，位置传感器可以包括摄像机、识别装置、GPS传感装置、测距轮、激光测距仪和超声波测距仪中的至少一个，识别装置配置为识别轨道上的标识符(包括条形码、QR码、RFID、磁铁或者半导体芯片)，测距轮安装在主体上，以便于可滚动地与轨道接触，并且测距轮配置为基于直径和转数来感测从参考点行进的距离，激光测距仪配置为使用反射的激光来测量距离，超声波测距仪配置为使用声波或超声波来测量距离。
根据本公开的另一个方面，本文中提供了一种测量转运车辆的轨道的方法。该方法可以包括：(a)准备用于转运车辆的轨道测量设备，该轨道测量设备包括：主体，对应于转运车辆的轨道形成；检测器，提供到主体并且布置为与轨道接触；以及位移测量器，配置为测量与轨道接触的检测器的位移，(b)将轨道测量设备安装在轨道上，以使主体或检测器的至少一部分与轨道接触，(c)使用位移测量器在第一点处测量关于检测器的第一位移信息，以及(d)通过在主体和检测器接触轨道的情况下沿着轨道移动主体，在第二点处测量关于检测器的第二位移信息。
根据本公开，第二位移信息的测量可以包括使用提供到主体的至少一个轮沿着轨道移动主体。
根据本公开的又一个方面，本文中提供了一种用于测量转运车辆的轨道的设备。所述设备可以包括：主体，对应于转运车辆的轨道形成；检测器，提供到主体并且布置为与轨道接触；以及位移测量器，配置为测量与轨道接触的检测器的位移。检测器可以包括：可移动构件，具有设置为与轨道接触的接触表面；导杆，具有前端、中间部分和后端，其中，前端可以提供到可移动构件，中间部分可以布置为沿着在主体中形成的导孔在第一方向上来回移动，并且后端可以连接到位移测量器；弹性弹簧，布置在可移动构件和主体之间，以在可移动构件和轨道之间接触的方向上施加弹性回复力；以及方向切换器，设置在导杆和位移测量器之间，并且配置为将导杆在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动。方向切换器可以包括：斜块，布置在导杆的后端处以与导杆一起移动，斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；滚轮，布置为与斜块的倾斜表面滚动接触；以及位移测量杆，设置为可转动地支撑滚轮，并且连接到位移测量器。转运车辆是天车搬运系统(OHT)的车辆。轨道可以包括：至少一个上轨道，对应于转运车辆的上轮；至少一个左轨道，对应于转运车辆的左轮；以及至少一个右轨道，对应于转运车辆的右轮。主体可以包括：水平构件，在基本上水平的位置悬挂在左轨道和右轨道上，以测量左轨道和右轨道的安装状态；以及竖直构件，在基本上竖直位置从水平构件向上突出，以测量上轨道的安装状态。检测器可以包括：第一检测器，安装在竖直构件上以接触上轨道的侧表面，以测量上轨道的侧表面的安装状态；以及第二检测器，安装在水平构件上以接触左轨道的侧表面或右轨道的侧表面，以测量左轨道和右轨道之间的安装间隔。水平构件的一端可以提供有：第一参考接触表面，布置为与右轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考接触表面，布置为与右轨道或左轨道的侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考。水平构件的相反端可以提供有搁置在左轨道或右轨道的顶表面上的搁置表面，其中，第二检测器设置在搁置表面的下侧。
附图说明
从下面结合附图的详细描述中，将更清楚地理解本公开的上述和其他目的、特征和其他优点，在附图中：
图1是示出根据本公开的一些实施例的用于转运车辆的轨道测量设备的正视图；
图2是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备的透视图；
图3是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备的使用的状态的透视图；
图4是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备的检测器的放大图；
图5是示出根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备的检测器的正视图；
图6是示出根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备的正视图；
图7是示出根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备的正视图；
图8是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备的轨道测量状态的透视图；以及
图9是示出根据本公开的一些实施例的测量转运车辆的轨道的方法的流程图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图详细描述本公开的几个优选实施例。
提供本公开的实施例是为了向本领域技术人员提供对本公开的透彻理解。可以对以下实施例进行各种修改，并且本公开的范围不限于以下实施例。相反，提供这些实施例是为了使本公开完整，并向本领域技术人员充分传达本公开的思想。此外，为了便于说明和清楚起见，图中每一层的厚度或尺寸被夸大。
本文中使用的术语旨在描述特定的实施例，而非旨在限制本公开。如本文中所使用的，除非上下文另有明确说明，单数形式可以包含复数形式。此外，如本文所使用的，词语“包括”和/或“包含”旨在指明所提及的附图、数字、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组的存在，并且不排除一个或多个其他附图、数字、操作、构件、元件和/或它们的组的存在或添加。
在下文中，将参照附图描述本公开的实施例，附图示意性地示出了本公开的理想化实施例。在附图中，可以预计到示出的几何形状例如由于制造技术和/或公差的变化。因此，本公开的实施例不应被解释为限于本文中示出的区域的特定几何形状，而是应该包括例如由制造引起的几何形状的变化。
本发明可以主要地用于制造半导体或制造平板显示器(FPD)的工厂中，以将货物从任何地点转运到目的地。例如，本公开可以用于在半导体(或平板显示器)制造设施之间转运物品。这些物品可以包括基底(诸如晶圆)。在一个示例中，物品可以是存储基底的容器。此外，容器可以是能够保护存储的基底不受外部影响的密封容器。此外，密封容器可以是前开式晶圆传送盒(FOUP)。另外，容器可以包括用于存储光罩的光罩盒。
虽然本公开可以用于在各种技术领域中转运物品，但是本公开的实施例集中于在半导体制造设施之间转运半导体制造工厂中的FOUP，所述FOUP用于在其内部空间中存储作为物品的晶圆。
半导体制造工厂可以包括至少一个清洁室(clean room)，并且执行半导体制造工艺的半导体制造设备可以安装在清洁室中。可以通过在晶圆上重复执行半导体制造工艺来完成半导体。在特定的半导体制造设备中完成该工艺后，可以将晶片转运到半导体制造设备用于下一个工艺。在这种情况下，当晶圆存储在FOUP中时，晶圆可以由包括OHT的物品转运设备转运。
图1是示出根据本公开的一些实施例的用于转运车辆的轨道测量设备100的正视图，图2是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备100的透视图。图3是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备100的使用状态的透视图，图4是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备100的检测器20的放大图。
如图1至图4中所示，根据本公开的一些实施例的用于转运车辆的轨道测量设备100可包括主体10、检测器20和位移测量器30。
本公开的轨道测量设备100可以测量转运车辆的轨道1的安装状态。这里，该转运车辆可以是安装在半导体工厂的天花板上的天车搬运系统(OHT)的转运车辆，在半导体工厂中可以处理诸如显示基底或晶圆的基底。
这种OHT是一种设施，用于在半导体制造设施之间更有效地转运半导体制造设施执行的各种工艺(例如曝光、沉积、蚀刻、离子注入、清洗等)所生产的物品(例如用于存储晶圆的容器、用于存储晶圆的前开式晶圆传送盒(FOUP)、用于存储光罩的光罩盒(POD)等)，以提高半导体制造效率。OHT可以包括：提供转运路径的行进轨道(行进路线、行进导轨)；沿着轨道行进的转运车辆；以及提供到转运车辆下部的提升装置。提升装置可以支撑要被转运的物品，并且提升装置可以旋转物品，在水平方向上移动物品，或者在竖直方向上提升和降低物品，以将物品放置在物品储存架上。
轨道1可以包括：至少一个上轨道2，所述上轨道2与用于转向或驱动转运车辆而提供的上轮相对应；至少一个左轨道3，与用于转运车辆行进的左轮相对应；以及至少一个右轨道4，与用于转运车辆行进的右轮相对应。
轨道1可以配备缓冲器(未示出)，所述缓冲器是为物品提供临时存储空间的一个或多个物品存储架。轨道1设置在半导体制造工厂的天花板一侧上，并且转运车辆可以将物品从一个半导体制造设施直接转运到另一个半导体制造设施，或者可以在将物品转运到另一个设施之前将物品暂时存储在缓冲器中。
缓冲器可以是安装在轨道1侧面上的侧轨缓冲器(STB)或安装在轨道1下侧上的下轨缓冲器(UTB)。
根据本公开的一些实施例的轨道测量设备100能够测量轨道1的安装状态，OHT的转运车辆能够沿着该轨道1行驶。轨道1不仅可以测量轨道的安装状态，还可以测量向转运车辆供应电的电源单元或信号传输单元的安装状态。
此外，轨道1不仅可以测量具有直线形状的轨道的直线部分，还可以测量与直线部分连接的具有曲线形状的曲线部分。
然而，本公开的用于转运车辆的轨道测量设备100不一定限于OHT，并且可以是应用于多种其他类型的轨道。
例如，主体10可以是一种夹具形状的结构，布置为横跨转运车辆的轨道1的至少一部分，并且可以形成为对应于转运车辆的轨道1。
更具体地，例如，主体10可以包括水平构件11和竖直构件12，水平构件11在基本上水平的位置悬挂在左轨道3和右轨道4上，以测量左轨道3和右轨道4的安装状态，竖直构件12在基本上竖直的位置从水平构件11向上突出，以测量上轨道2的安装状态。
如图1至图4中所示，主体10可以形成为倒T形，竖直构件12通常从水平构件11向上突出。
这里，主体10可以是通过用诸如螺栓或螺母的固定装置连接水平构件11和竖直构件12而形成的框架结构，或者形成为整体铸造结构。
如上所述配置的主体10可以由具有非常低的导热率或承受很小的热变形的材料制成(诸如因瓦合金)，并且可以由相对轻质的铝材料等制成，以便于操作人员携带。
然而，依据轨道1的形状、转运车辆的形状、待测量的部分和测量环境等，根据本公开的用于转运车辆的轨道测量设备100的主体10为了方便起见可以形成为各种形状，并且可以由各种材料制成。
如图1至图4中所示，提供到主体10的检测器20可以是一种与作为被测量物体的轨道1接触的检测结构。
例如，如图4中所示，检测器20可以包括：可移动构件21，具有设置为与轨道1接触的接触表面；导杆22，具有前端、中间部分和后端，其中，前端设置在可移动构件21上，中间部分布置为沿着主体10中形成的导孔22a在第一方向上(朝向轨道1)来回移动，并且后端连接到位移测量器30；以及弹性弹簧23，布置在可移动构件21和主体10之间，以在可移动构件21和轨道1之间接触的方向上施加弹性回复力。
这里，导杆22可以由导孔22a在朝向轨道1的方向上可滑动地引导。所述方向可以与执行测量的方向一致。
例如，为了测量轨道1的一侧的规格，导杆22可以在前后或左右方向上可滑动地引导。为了测量轨道1的顶表面或底表面的规格，导杆22可以在竖直方向上可滑动地引导。
然而，导杆22也有可能在倾斜方向上可滑动地引导。导杆22可以根据待测量的轨道1的形状，以各种方式可滑动地引导。
因此，如图1和图3中所示，一旦本公开的主体10安装在轨道1上，可移动构件21可以被弹性弹簧23相对于主体10朝向轨道1挤压，从而始终保持与轨道1接触。
在这种情况下，保持与轨道1接触的可移动构件21的位置可以反映轨道1的安装状态。轨道1的安装状态可以总是由可移动构件21反映，而操作人员不必用单独的测量设备测量主体10和轨道1之间的距离。因此，例如，当主体10沿着轨道1移动时，可移动构件21可以根据轨道1的安装状态在轨道1的突出部分处向后移动，或者可以在轨道1的凹陷部分处向前移动。
如图1至图4中所示，位移测量器30可以是一种数字测量装置，能够测量与轨道1接触的检测器20的向后和向前位移，并且以数值的形式表示该位移。
位移测量器30可以是能够根据位移(即，检测器20的位置变化)使用各种距离测量方法(诸如电阻值、压力值、电导率值、负载、应力、光反射波或超声波)来测量检测器20的位置变化、并且以数字数值的形式显示该位置变化的装置。
因此，通过使用位移测量器30，可以测量根据轨道1的形状前后移动的可移动构件21的位移。然后，依据位移的程度，表示轨道1是否根据预定规格正常安装，或者安装是否低于预定规格或超过预定规格的信息可以以数字化数值的形式而不是以读取标尺的传统方式来识别。
此外，如图1至图4中所示，检测器20还可以包括方向切换器24，所述方向切换器24设置在导杆22和位移测量器30之间，并且配置为将导杆22在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动。
利用方向切换器24，可以在各个方向上测量轨道1，并且位移测量器30可以被定向在允许操作人员目视检查通过位移测量器30的测量获得的数字化数值的方向上。
在更具体的示例中，如图4中所示，方向切换器24可以包括：斜块25，布置在导杆22的后端处以与导杆22一起移动，斜块25具有形成在一侧的倾斜表面F；滚轮26，布置为与斜块25的倾斜表面F滚动接触；以及位移测量杆27，设置为可转动地支撑滚轮26，并且连接到位移测量器30。
因此，如图4中所示，利用方向切换器24，可以使用倾斜表面F将导杆22在前后方向(即，图4中箭头①所示的方向)上的位移切换到位移测量杆27在竖直方向(即，图4中箭头②所示的方向)上的位移。由此，位移测量器30可以安装在各种位置处。
这里，倾斜表面F的倾斜角可以设定为45度，使得导杆22在前后方向上的位移可以以一比一(1∶1)的对应方式与位移测量杆27在竖直方向上的位移相匹配。
然而，倾斜表面F的倾斜度不一定限于45度，而是可以根据轨道1的测量方向、测量环境等设定为各种角度。当倾斜表面F被设定为45度以外的角度时，根据方向切换的位移量可能需要根据角度以算术级数(arithmetic progression)进行修正。
具体地，假设可移动构件21的实际位移是X，并且由位移测量器30测量的数字化数值是Y。然后，当由位移测量器30测量的数值是2Y时，可移动构件21的位移可以被推断为2X。也就是说，这种修正操作可以以算术级数执行。
然而，修正操作不限于算术级数。例如，可以以指数方式执行，或者可以根据实际测量环境或可以考虑的附加参数、常数或变量，应用诸如一阶函数、二阶函数、三阶函数等的其他修正公式。
如图1至图4中所示，检测器20可以包括：第一检测器20-1，安装在竖直构件12上以接触上轨道2的侧表面2a，以测量上轨道2的侧表面2a的安装状态；以及第二检测器20-2，安装在水平构件11上以接触左轨道3的侧表面3a或右轨道4的侧表面4a，以测量左轨道3和右轨道4之间的安装间隔。
这里，为了更精确的测量，主体10可以具有用作测量左轨道和右轨道之间的安装间隔的测量操作的参考的参考表面。
为了形成参考表面，水平构件11的一端可以提供有：第一参考接触表面F1，布置为与右轨道4的顶表面4b紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考接触表面F2，布置为与右轨道4的侧表面4a紧密接触，以用作间隔测量的参考。
此外，为了能够测量左轨道和右轨道之间的水平状态或水平度，水平构件11的相反端可以提供有搁置在左轨道3的顶表面3b上的搁置表面F3，并且第二检测器20-2可以设置在搁置表面F3的下侧。
在这种情况下，主体10还可以具有水平倾斜仪13，所述水平倾斜仪13布置在水平构件11上，并且被配置为根据左轨道3或者右轨道4的安装高度来测量水平构件11相对于水平方向的倾角。
水平倾斜仪13也可以将水平构件11相对于水平方向的角度表示为数字化数值。除了水平倾斜仪13之外，可以应用各种其他类型的倾斜仪。
因此，如图1和图3中所示，根据本公开的一些实施例的用于转运车辆的轨道测量设备100可以安装在轨道1上。
此时，形成在主体10的水平构件11的一端处的第一参考接触表面F1可以被促使与右轨道4的顶表面4b紧密接触，并且第二参考接触表面F2可以被促使与右轨道4的侧表面4a紧密接触。
随后，可以使用与轨道1接触的位移测量器30以数字化的数字信息的形式测量关于检测器20在第一点处的第一位移信息。
然后，在主体10和检测器20与轨道1接触的情况下，主体10可以沿着轨道1移动，以在第二点处以数字化的数字信息的形式测量关于检测器20的第二位移信息。
因此，根据本公开的一些实施例的轨道测量设备100允许操作人员在推动主体10沿着轨道1移动时非常容易地检查数字化的数字信息。因此，可以以非常直观和方便的方式准确和快速地测量轨道的安装状态或轨道是否符合规格，并且可以通过减少测量时间来极大地提高工作的效率。此外，可以高精度地数字测量安装状态，并且通过最小化操作人员之间的测量误差可以极大地提高工作的可靠性和便利性。另外，可以使用方向切换器等来测量各种部分。
图5是示出根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备200的检测器20的正视图。
如图5中所示，根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备200的检测器20还可以包括：第三检测器20-3，安装在竖直构件12上，并且设置为接触图1的上轨道2的底表面2b，以测量上轨道2的底表面2b的安装状态。
因此，使用第三检测器20-3也可以精确地测量用于转向或动力分配的上轨道2的底表面2b的安装状态。
例如，检测器20可安装在主体10的各个部分中，以便检测轨道1所有需要测量的部分。
图6是示出根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备300的正视图。
如图6中所示，根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备300还可以包括控制器50，控制器50配置为将由位移测量器30测量的位移的值与参考范围进行比较，并且当所述值在参考范围之外时，在显示器D上显示位移的值。
这里，显示器D可以包括：低状态通知器D1，配置为当测量的位移的值低于参考范围时被激活以便于操作人员目视检查；正常状态通知器D2，配置为当测量的位移的值在参考范围内时被激活；以及超状态通知器D3，配置为当测量的位移的值高于参考范围时被激活。
因此，低状态通知器D1、正常状态通知器D2或超状态通知器D3等被激活以允许操作员无需检查数字化的数值以非常直观的方式检查轨道1的状态，这可允许操作员非常快速地确定轨道1的安装状态或者采取后续行动。
如图6中所示，根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备300还可以包括位置传感器S，位置传感器S配置为感测由检测器20接触的轨道1的位置，并且控制器50可以将由位置传感器S感测的位置与由位移测量器30测量的位移相匹配，以通过位置存储或确定轨道1的规格。
这里，位置传感器S可以包括摄像机、识别设备、GPS传感装置、测距轮、激光测距仪和超声波测距仪中的至少一个，所述识别装置配置为识别轨道上的标识符(包括条形码、QR码、RFID、磁铁或者半导体芯片)，所述测距轮安装在主体上以便可滚动地与轨道接触并且配置为基于直径和转数来感测从参考点行进的距离，所述激光测距仪配置为使用反射的激光来测量距离，所述超声波测距仪配置为使用声波或超声波来测量距离。
因此，如图6中所示，操作人员可以使用低状态通知器D1、正常状态通知器D2或者超状态通知器D3非常直观和快速地识别轨道1的示意性安装状态，并且可以存储与轨道1上的位置相匹配的测量位移信息，以供后续操作参考，而不需要操作人员记录详细的测量结果。
图7是示出根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备400的正视图。
如图7中所示，根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备400的检测器40可以包括：滚动轮W，被促使与轨道1滚动接触，以能够测量运动；可移动构件41，设置为支撑滚动轮W，同时允许滚动轮W的自由转动；导杆42，具有提供到可移动构件41的前端和中间部分，所述中间部分被布置为沿着形成在主体10中的导孔42a在第一方向上来回移动；以及弹性弹簧43，布置在可移动构件41和主体10之间，以在滚动轮W和轨道之间的接触的方向上施加弹性回复力。
此外，例如，检测器40还可以包括：方向切换器44，设置在可移动构件41和位移测量器30之间，以将可移动构件41在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动。
这里，方向切换器44可以包括：斜块45，布置在可移动构件41上，以与可移动构件41一起移动，斜块45具有形成在一侧的倾斜表面F；滚轮46，布置为与斜块45的倾斜表面F滚动接触；以及位移测量杆47，布置为可转动地支撑滚轮46，并且连接到位移测量器30。
这里，例如，主体10的水平构件11的一端可以提供有：第一参考轮W1，布置为与右轨道4的顶表面4b紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考轮W2，布置为与右轨道4的侧表面4a紧密接触，以用作间隔测量的参考。
此外，例如，水平构件11的相反端可以提供有搁置在左轨道3的顶表面3b上的搁置轮W3。
因此，如图7中所示，根据本公开的一些其他实施例的用于转运车辆的轨道测量设备400可以安装在轨道1上，并且使用轮W、W1、W2和W3测量设备400可以容易地移动。
此时，提供在主体10的水平构件11的一端处的第一参考轮W1可以被促使与右轨道4的顶表面4b紧密接触。第二参考轮W2可以被促使与右轨道4的侧表面4a紧密接触，并且搁置轮W3可以搁置在左轨道3的顶表面3b上。因此，主体10可以通过滚动来移动。
随后，可以使用与轨道1接触的位移测量器30以数字化的数字信息的形式测量关于检测器40在第一点处的第一位移信息。
然后，当主体10和检测器20与轨道1接触时，使用车轮W、W1、W2和W3主体10可以容易地沿着轨道1移动，以第二点处以数字化的数字信息的形式测量关于检测器40的第二位移信息。
因此，根据本公开的一些实施例的轨道测量设备400允许操作人员在使用轮W、W1、W2和W3推动主体10沿着轨道1移动时非常容易地检查数字化的数字信息。因此，可以以非常直观和方便的方式准确和快速地测量轨道的安装状态或轨道是否符合规格，并且可以通过减少测量时间来极大地提高工作的效率。此外，可以高精度地数字测量安装状态，并且通过最小化操作人员之间的测量误差可以极大地提高工作的可靠性和便利性。另外，可以使用方向切换器等来测量各种部件。另外，通过使用轮可以减少摩擦，从而提高机动性和便利性。
图8是示出图1的用于转运车辆的轨道测量设备100的轨道测量状态的透视图。
如图8中所示，轨道1可以包括：至少一个上轨道2，与用于转向或驱动转运车辆而提供的上轮相对应；至少一个左轨道3，与用于转运车辆行进的左轮相对应；以及至少一个右轨道4，与用于转运车辆行进的右轮相对应，并且不仅可以包括直线部分，还可以包括曲线部分。
轨道1可以安装在半导体工厂中的天花板板块5上。必要时，可以提供支撑结构6以将上轨道2和左右轨道彼此连接并支撑。
因此，转运车辆可以沿着轨道1行进，从而提供用于在半导体制造设施之间转运物品的转运路径。
根据本公开的各种实施例的用于转运车辆的轨道测量设备100可以安装在轨道1上，并且可以容易地沿着轨道1移动，允许操作人员使用非常直接的数字化的数值或显示器来容易地测量和确定轨道1在特定位置处的安装是正常或异常。
图9是示出根据本公开的一些实施例的测量转运车辆的轨道的方法的流程图。
如图1至图9中所示，根据本公开的一些实施例的测量转运车辆的轨道的方法可以包括：(a)准备用于转运车辆的轨道测量设备100，轨道测量设备100包括：主体10，对应于转运车辆的轨道1形成；检测器20，提供到主体10并且布置为与轨道1接触；以及位移测量器30，配置为测量与轨道1接触的检测器20的位移，(b)将轨道测量设备100安装在轨道1上，以使主体10或检测器20的至少一部分与轨道1接触，(c)使用位移测量器30在第一点处测量关于检测器20的第一位移信息，以及(d)通过在主体10和检测器20接触轨道1的情况下沿着轨道1移动主体10，在第二点处测量关于检测器20的第二位移信息。
这里，第二位移信息的测量可以包括：使用提供到主体10的至少一个轮W、W1、W2或W3沿着轨道1移动主体10。
从以上描述显而易见，本公开提供了以下效果。
根据上述本公开的各种实施例，当沿着轨道移动安装在轨道上的设备时，使用便于识别的数字化的数值或显示器，可以以非常直观和方便的方式准确和快速地测量轨道的安装状态或规格，并且可以通过减少测量时间来极大地提高工作的效率。此外，可以以高精度用数字测量安装状态，并且通过最小化操作人员之间的测量误差可以极大地提高工作的可靠性和便利性。另外，可以使用方向切换器等来测量各种部件。另外，通过使用轮可以减少摩擦，从而提高机动性和便利性。当然，本公开的范围不受这些效果的限制。
虽然已经参考附图中所示的实施例描述了本公开，但是这些仅仅是示例性的，并且本领域普通技术人员将理解的是，各种修改和其他等同实施例是可能的。因此，本公开的真实范围应该由本公开的所附的权利要求来限定。

Claims (20)

1.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
主体，对应于所述转运车辆的所述轨道形成；
检测器，提供到所述主体并且布置为与所述轨道接触；以及
位移测量器，配置为测量与所述轨道接触的所述检测器的位移。
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述检测器包括：
可移动构件，具有设置为与所述轨道接触的接触表面；
导杆，具有前端、中间部分和后端，其中，所述前端提供到所述可移动构件，所述中间部分布置为沿着在所述主体中形成的导孔在第一方向上来回移动，并且所述后端连接到所述位移测量器；以及
弹性弹簧，布置在所述可移动构件和所述主体之间，以在所述可移动构件和所述轨道之间接触的方向上施加弹性回复力。
3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述检测器还包括：
方向切换器，设置在所述导杆和所述位移测量器之间，并且配置为将所述导杆在所述第一方向上的移动切换为在不同于所述第一方向的第二方向上的移动。
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述方向切换器包括：
斜块，布置在所述导杆的所述后端处以与所述导杆一起移动，所述斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；
滚轮，布置为与所述斜块的所述倾斜表面滚动接触；以及
位移测量杆，设置为可转动地支撑所述滚轮，并且连接到所述位移测量器。
5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述转运车辆是天车搬运系统(OHT)的车辆，
其中，所述轨道包括：
至少一个上轨道，对应于所述转运车辆的上轮；
至少一个左轨道，对应于所述转运车辆的左轮；以及
至少一个右轨道，对应于所述转运车辆的右轮。
6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述主体包括：
水平构件，在基本上水平的位置悬挂在所述左轨道和所述右轨道上，以测量所述左轨道和所述右轨道的安装状态；以及
竖直构件，在基本上竖直的位置从所述水平构件向上突出，以测量所述上轨道的安装状态。
7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述检测器包括：
第一检测器，安装在所述竖直构件上以接触所述上轨道的侧表面，以测量所述上轨道的所述侧表面的安装状态；以及
第二检测器，安装在所述水平构件上以接触所述左轨道的侧表面或所述右轨道的侧表面，以测量所述左轨道和所述右轨道之间的安装间隔。
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述水平构件的一端提供有：
第一参考接触表面，布置为与所述右轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及
第二参考接触表面，布置为与所述右轨道的所述侧表面或所述左轨道的所述侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考，
其中，所述水平构件的相反端提供有搁置在所述左轨道的顶表面或所述右轨道的顶表面上的搁置表面，
其中，第二检测器设置在所述搁置表面的下侧。
9.根据权利要求8所述的设备，还包括：
水平倾斜仪，布置在所述水平构件上，并且配置为根据所述左轨道或者所述右轨道的安装高度来测量所述水平构件相对于水平方向的倾角。
10.根据权利要求7所述的设备，其中，所述检测器还包括：
第三检测器，安装在所述竖直构件上，并且设置为接触所述上轨道的底表面，以测量所述上轨道的所述底表面的安装状态。
11.根据权利要求1所述的设备，所述检测器包括：
滚动轮，被促使与所述轨道滚动接触，以能够测量运动；
可移动构件，设置为支撑所述滚动轮，同时允许所述滚动轮的自由转动；
导杆，具有提供到所述可移动构件的前端和被布置为沿着在所述主体中形成的导孔在第一方向上来回移动的中间部分；以及
弹性弹簧，布置在所述可移动构件和所述主体之间，以在所述滚动轮和所述轨道之间接触的方向上施加弹性回复力。
12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述检测器还包括：
方向切换器，设置在所述可移动构件和所述位移测量器之间，以将所述可移动构件在所述第一方向上的移动切换为在不同于所述第一方向的第二方向上的移动，
其中，所述方向切换器包括：
斜块，布置在所述可移动构件上，以与所述可移动构件一起移动，所述斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；
滚轮，布置为与所述斜块的所述倾斜表面滚动接触；以及
位移测量杆，设置为可转动地支撑所述滚轮，并且连接到所述位移测量器。
13.根据权利要求11所述的设备，其中，所述主体的水平构件的一端提供有：
第一参考轮，布置为与右轨道的顶表面或者左轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及
第二参考轮，布置为与所述右轨道的侧表面或者所述左轨道的侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考，
其中，所述水平构件的相反端提供有搁置在所述左轨道的所述顶表面或者所述右轨道的所述顶表面上的搁置轮。
14.根据权利要求1所述的设备，还包括：
控制器，配置为将由所述位移测量器测量的所述位移的值与参考范围进行比较，并且当所述值在所述参考范围之外时，在显示器上显示所述位移的所述值。
15.根据权利要求14所述的设备，其中，所述显示器包括：
低状态通知器，配置为当测量的所述位移的所述值低于所述参考范围时被激活以便于操作人员目视检查；
正常状态通知器，配置为当测量的所述位移的所述值在所述参考范围内时被激活；以及
超状态通知器，配置为当测量的所述位移的所述值高于所述参考范围时被激活。
16.根据权利要求14所述的设备，还包括：
位置传感器，配置为感测由所述检测器接触的所述轨道的位置，
其中，所述控制器将由所述位置传感器感测的所述位置与由所述位移测量器测量的所述位移相匹配。
17.根据权利要求16所述的设备，其中，所述位置传感器包括摄像机、识别装置、GPS传感装置、测距轮、激光测距仪和超声波测距仪中的至少一个，所述识别装置配置为识别轨道上的标识符，所述标识符包括条形码、QR码、RFID、磁铁或者半导体芯片，所述测距轮安装在所述主体上以便于可滚动地与所述轨道接触并且配置为基于直径和转数来感测从参考点行进的距离，所述激光测距仪配置为使用反射的激光来测量距离，所述超声波测距仪配置为使用声波或超声波来测量距离。
18.一种测量转运车辆的轨道的方法，所述方法包括：
准备用于所述转运车辆的轨道测量设备，所述轨道测量设备包括：主体，对应于所述转运车辆的所述轨道形成；检测器，提供到所述主体并且布置为与所述轨道接触；以及位移测量器，配置为测量与所述轨道接触的所述检测器的位移；
将所述轨道测量设备安装在所述轨道上，以使所述主体或所述检测器的至少一部分与所述轨道接触；
使用所述位移测量器在第一点处测量关于所述检测器的第一位移信息；以及
通过在所述主体和所述检测器接触所述轨道的情况下沿着所述轨道移动所述主体，在第二点处测量关于所述检测器的第二位移信息。
19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述第二位移信息的所述测量包括：
使用提供到所述主体的至少一个轮沿着所述轨道移动所述主体。
20.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
主体，对应于所述转运车辆的所述轨道形成；
检测器，提供到所述主体并且布置为与所述轨道接触；以及
位移测量器，配置为测量与所述轨道接触的所述检测器的位移，
其中，所述检测器包括：
可移动构件，具有设置为与所述轨道接触的接触表面；
导杆，具有前端、中间部分和后端，其中，所述前端提供到所述可移动构件，所述中间部分布置为沿着在所述主体中形成的导孔在第一方向上来回移动，并且所述后端连接到所述位移测量器；
弹性弹簧，布置在所述可移动构件和所述主体之间，以在所述可移动构件和所述轨道之间接触的方向上施加弹性回复力；以及
方向切换器，设置在所述导杆和所述位移测量器之间，并且配置为将所述导杆在所述第一方向上的移动切换为在不同于所述第一方向的第二方向上的移动，
其中，所述方向切换器包括：
斜块，布置在所述导杆的所述后端处以与所述导杆一起移动，所述斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；
滚轮，布置为与所述斜块的所述倾斜表面滚动接触；以及
位移测量杆，设置为可转动地支撑所述滚轮，并且连接到所述位移测量器，
其中，所以转运车辆是天车搬运系统(OHT)的车辆，
其中，所述轨道包括：
至少一个上轨道，对应于所述转运车辆的上轮；
至少一个左轨道，对应于所述转运车辆的左轮；以及
至少一个右轨道，对应于所述转运车辆的右轮，
其中，所述主体包括：
水平构件，在基本上水平的位置悬挂在所述左轨道和所述右轨道上，以测量所述左轨道和所述右轨道的安装状态；以及
竖直构件，在基本上竖直的位置从所述水平构件向上突出，以测量所述上轨道的安装状态，
其中，所述检测器包括：
第一检测器，安装在所述竖直构件上以接触所述上轨道的侧表面，以测量所述上轨道的所述侧表面的安装状态；以及
第二检测器，安装在所述水平构件上以接触所述左轨道的侧表面或所述右轨道的侧表面，以测量所述左轨道和所述右轨道之间的安装间隔，
其中，所述水平构件的一端提供有：
第一参考接触表面，布置为与所述右轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及
第二参考接触表面，布置为与所述右轨道的所述侧表面或所述左轨道的所述侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考，
其中，所述水平构件的相反端提供有搁置在所述左轨道的顶表面或所述右轨道的顶表面上的搁置表面，以及
其中，第二检测器设置在所述搁置表面的下侧。
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