KR20230076207A - 물품의 안착 상태를 모니터링하는 장치 및 방법 - Google Patents

물품의 안착 상태를 모니터링하는 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

물품의 안착 상태 모니터링 장치는 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 것으로써, 획득부, 분석부, 및 제공부를 포함하도록 이루어질 수 있다. 상기 획득부는 상기 선반에 안착되는 상기 물품에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비될 수 있고, 상기 분석부는 상기 획득부에 의해 획득한 모션 데이터에 근거하여 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 구비될 수 있고, 상기 제공부는 상기 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 상기 분석부에 의해 획득한 분석 데이터를 상기 작업자에게 제공하도록 구비될 수 있다.

Description

물품의 안착 상태를 모니터링하는 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING THE CONDITION OF AN ITEMS BEING PLACED ON SHELF PROVIDED IN THE STOCKER}
본 발명은 물품의 안착 상태를 모니터링하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에 관한 것이다.
현재 높은 정밀도를 요구하는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조 공정에서는 미세 파티클로 인해 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품, 예를 들면 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 손상시켜 불량률을 높이는 원인으로 작용할 수 있을 것이다.
이에, 집적회로 소자의 제공 공정에서는 청결한 공간을 제공하는 스토커(stocker)에 물품을 보관하도록 이루어질 수 있는데, 언급한 스토커에는 물품이 안착되는 다수의 선반(shelf)들이 구비되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
그리고 스토커의 선반들 각각에 물품이 올바르게 안착되지 못할 경우에는 불량을 일어날 수 있기 때문에 센서를 사용하여 선반들 각각에 물품이 안착되는 현재 상태를 모니터링하고 있다.
그런데, 센서의 오작동으로 인하여 에러 명령이 송수신될 경우 선반들 각각에 물품이 안착되는 현재 상태를 정확하게 모니터링하지 못하는 상황이 발생할 수 있고, 그 결과 작업자는 해당 선반에 안착되는 물품의 안착 과정에서 발생하는 에러 상황을 정확하게 인지하지 못할 수도 있을 것이다.
이에, 종래에는 언급한 에러 상황을 처리하도록 작업자가 스토커 내부에 진입하여 육안으로 확인하는 과정들이 반복될 수 있기에 스토커의 사용에 따른 효율성이 저하되는 문제점이 발생할 수 있을 것이고, 더욱이 작업자가 에러 상황을 정확하게 인지하지 못한 상태에서 에러 상황을 처리할 경우 주변 센서를 손상시키거나 또는 기타 주변 부재 등을 손상시키는 심각한 문제점가 발생할 수도 있을 것이다.
본 발명의 일 목적은 스토커에서의 선반에 물품이 안착되는 상태를 보다 정확하게 모니터링할 수 있는 물품의 안착 상태 모니터링 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 스토커에서의 선반에 물품이 안착되는 상태를 보다 정확하게 모니터링할 수 있는 물품의 안착 상태 모니터링 방법을 제공하는데 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치는 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 것으로써, 획득부, 분석부, 및 제공부를 포함하도록 이루어질 수 있다. 상기 획득부는 상기 선반에 안착되는 상기 물품에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비될 수 있고, 상기 분석부는 상기 획득부에 의해 획득한 모션 데이터에 근거하여 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 구비될 수 있고, 상기 제공부는 상기 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 상기 분석부에 의해 획득한 분석 데이터를 상기 작업자에게 제공하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 획득부는 상기 선반에 상기 물품이 안착하는 과정에서의 기울기에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 획득부는 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분석부는 상기 획득부를 사용하여 실시간으로 획득하는 모션 데이터에 대한 측정값과 상기 획득부를 사용하여 계속적으로 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리하는 저장값을 비교함에 의해 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 구비될 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 방법은 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 것으로써, 상기 선반에 안착되는 상기 물품에 대한 모션 데이터를 획득하고, 상기 모션 데이터에 근거하여 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하고, 상기 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 상기 분석을 통해 획득한 분석 데이터를 상기 작업자에게 제공하도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 모션 데이터는 상기 선반에 상기 물품이 안착하는 과정에서의 기울기에 근거하여 획득할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기울기는 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서를 사용함에 의해 획득할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가에 대한 분석은 실시간으로 획득하는 모션 데이터에 대한 측정값과 계속적으로 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리하는 저장값을 비교함에 의해 이루어질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법은 스토커에서의 선반에 물품이 안착되는 상태를 보다 정확하게 모니터링할 수 있기 때문에 작업자가 작업 진행 과정을 보다 쉽게 파악할 수 있고, 그 결과 작업 과정에서 발생할 수 있는 실수를 최소화할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법은 작업자로부터의 실수를 최소화할 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 작업자의 작업 효율을 극대화시킬 수 있는 이점을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치(100)는 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 것이다.
스토커는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품을 이송하는 이송 공정의 수행시 제조 장치로 로딩/언로딩이 이루어지는 물품을 일시 보관하도록 이루어지는 것으로써, 제조 장치에 부속되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있거나 또는 제조 장치와 제조 장치 사이에 배치되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서 로딩 또는 언로딩이 이루어지는 물품은 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매로 수납하는 풉(FOUP : Front Opening Unified Pod) 또는 포스피(FOSB : Front Opening Shipping Box), 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클을 수납하는 컨테이너 등일 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서의 물품에 대한 이송, 즉 스토커로 물품을 전달하거나 또는 스토커로부터 물품을 전달받는 작업은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치에 의해 이루어질 수 있거나 또는 작업자에 의해 매뉴얼로 이루어질 수 있다.
특히, 스토커는 집적히로 소자의 제조 공정에 적용하는 것이기 때문에 청결한 공간을 제공하도록 이루어질 수 있고, 물품의 로딩/언로딩시 물품이 안착되는 다수의 선반들이 구비되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
스토커의 선반들 각각에 물품이 올바르게 안착되지 못할 경우에는 불량을 일어날 수 있기 때문에 본 발명에서는 물품의 안착 상태 모니터링 장치(100)를 마련하여 선반들 각각에 물품이 안착되는 현재 상태를 모니터링할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치(100)는 획득부(11), 분석부(13), 및 제공부(15)를 포함하도록 이루어질 수 있다.
획득부(11)는 상기 선반에 안착되는 상기 물품에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비될 수 있는 것으로써, 선반에 물품이 안착하는 과정에서의 기울기에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비될 수 있는데, 주로 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서 등과 같은 센싱 부재가 구비되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
분석부(13)는 획득부(11)에 의해 획득한 모션 데이터에 근거하여 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 구비될 수 있는 것으로써, 획득부(11)를 사용하여 실시간으로 획득하는 모션 데이터에 대한 측정값과 획득부(11)를 사용하여 계속적으로 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리하는 저장값을 비교함에 의해 선반에 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 이루어질 수 있다.
제공부(15)는 선반에 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 분석부(13)에 의해 획득한 분석 데이터를 작업자에게 제공하도록 구비될 수 있는 것으로써, 분석 데이터를 작업자가 사용하는 컴퓨터, 모바일 부재 등으로 실시간으로 제공하도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치(100)는 스토커에서의 선반에 물품이 안착되는 상태를 보다 정확하게 모니터링할 수 있기 때문에 작업자가 작업 진행 과정을 보다 쉽게 파악할 수 있고, 그 결과 작업 과정에서 발생할 수 있는 실수를 최소화할 수 있을 것이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 방법은 도 1에서의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 장치(100)를 사용함에 의해 수행될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 방법은 선반에 안착되는 물품에 대한 모션 데이터를 획득하고,(S21 단계), 그리고 모션 데이터에 근거하여 선반에 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하고,(S23 단계) 이어서 선반에 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 분석을 통해 획득한 분석 데이터를 작업자에게 제공함에 의해 이루어질 수 있을 것이다.
언급한 모션 데이터는 선반에 물품이 안착하는 과정에서의 기울기에 근거하여 획득할 수 있는 것으로써, 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서를 사용함에 의해 획득할 수 있을 것이다.
선반에 물품이 올바르게 안착되는 가에 대한 분석은 실시간으로 획득하는 모션 데이터에 대한 측정값과 계속적으로 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리하는 저장값을 비교함에 의해 이루어질 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품의 안착 상태 모니터링 방법은 분석 데이터를 제공받은 작업자가 선반에 물품이 안착되는 상태를 보다 정확하게 모니터링하여 대응하도록 할 수 있기 때문에 작업자가 작업 진행 과정을 보다 쉽게 파악할 수 있고, 그 결과 작업 과정에서 발생할 수 있는 실수를 최소화할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법은 선반에 물품을 안착시키는 과정에서 발생하는 에러 상황을 해결할 수 있도록 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서로 이루어지는 획득부(11)를 활용함과 아울러 획득부(11)로부터의 모션 데이터를 분석하여 작업자에게 제공함으로써 작업자는 작업 진행 과정을 쉽게 파악하여 작업 과정에서 발생할 수 있는 실수를 최소화할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 언급한 획득부(11)로써의 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서가 물품이 선반에 안착되는 과정에서의 상하 방향 감지, 수평 방향 감지, 무게 중심 감지 등을 감지하여 미세한 기울기 차이가 발생할 경우 이를 에러 상황으로 인지하고 해결할 수 있도록 이루어질 수 있을 것이다.
여기서, 적외선 장애물 감지 센서는 물품의 움직임에 따른 절대 위치를 파악하고, 이를 기준점으로 제공하여 물품의 수평 방향 x 축 거리를 감지하도록 구비될 수 있고, 자이로 센서는 제공받은 기준점으로 x, y, z 축 방향으로 움직이는 물품의 기울기 변화를 확인하여 수직 방향 y 축 위치를 감지하도록 구비될 수 있고, 무게 감지 센서는 물품의 위치를 x, y, z 축 방향으로 기울어진 불균형 상태를 확인하여 z 축에서의 정확한 위치를 재확인할 수 있게 무게 중심을 감지하도록 구비될 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 모션 데이터를 실시간으로 분석부(13)에서의 데이터베이스로 전송하여 x, y, z 축 방향의 기울기 변화 모델을 반복 학습하여 분석 가능하도록 이루어질 수 있을 것이다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 획득부(11)를 사용하여 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리할 수 있게 실시간으로 분석부(13)의 데이터베이스로 전송하고, 그리고 분석부(13)는 x, y, z 축 방향의 기울기 변화 모델을 반복 학습하도록 이루어질 수 있을 것이다.
획득부(11)에서의 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서 각각은 실시간으로 모션 데이터를 수집하여 현재 물품에 대한 절대 위치를 실시간 확인하도록 구비됨과 아울러 선반에 물품을 안착시킬 때 기울어진 불균형 방향을 회전 각도로 감지하고 변위량에 따라 발생된 펄스를 카운트하여 불균형 거리 데이터, 각도 데이터 등을 일정 주기로 파악하도록 구비될 수 있을 것이다.
또한, 획득부(11)는 물품이 x, y, z 축 방향을 기준으로 정위치할 수 있도록 중심축과 외곽선 라인으로 구성된 가상의 영역이 생성되도록 구비될 수 있을 것이다.
언급한 가상의 영역은 물품의 기울기 변화를 확인하기 위하여 x, y, z 축 방향이 3 단계로 구성되도록 이루어질 수 있는데, 1 단계 x-z 축 중심 라인은 물품의 수평 방향 위치를 결정하도록 이루어질 수 있을 것이고, 2 단계 y-x 축 중심 라인은 가상의 영역에서 물품의 수직 방향을 확인하도록 이루어질 수 있을 것이고, 3 단계 z-x-y 축은 이탈 방지를 위한 불균형 상태를 확인할 수 있게 무게 중심 감지로 정확한 위치를 파악하도록 이루어질 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 물품의 수평 방향 x축 거리, 수직 방향 y축 위치 감지, 무게 중심의 z축감지로 거리 조정이 용이할 수 있게 함으로써 작업자는 제공되는 분석 데이터에 대한 모니터링을 통하여 물품의 위치 및 거리에 따라 기울어진 불균형 상태를 보다 용이하게 확인할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 선반에 물품의 안착시 x, y, z 축 방향을 따라 위치하는 물품이 미세하게 기울어진 에러 상황을 파악하도록 하는 것으로써, 보다 구체적으로 획득부(11)의 적외선 장애물 감지 센서는 물품으로부터 방사된 적외선 영역에 따른 절대 위치 파악 및 기준점 영역을 제시하도록 이루어짐과 아울러 정확한 수평 방향 x축 거리를 확인할 수 있도록 가상의 수평 방향 영역을 확보하여 적외선 장애물 감지 데이터를 제공하도록 구비될 수 있고, 획득부(11)의 자이로 센서는 물품의 높이와 평행한 방향을 y 축으로 설정하여 가상의 수직 방향을 제시하여 자이로 센서 데이터를 제공하도록 구비될 수 있고, 획득부(11)의 무게 감지 센서는 물품의 위치 및 거리에 따른 기울어진 불균형 상태를 재확인하도록 구비될 수 있음과 아울러 가상의 영역에서 이탈 방지를 위한 불균형 상태를 무게 중심 감지에 따른 정확한 위치를 확인하여 무게 감지 센서 데이터를 제공하도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 무게 감지 센서로 이루어지는 획득부(11)를 사용하여 물품에 대한 모션 데이터를 획득하고, 이를 분석부(13)를 사용하여 데이터베이스화하여 물품의 위치 및 거리에 따른 기울어진 불균형 상태를 실시간으로 모니터링 할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 획득부(11)에서의 센서들 각각을 통해 실시간으로 x, y, z 축 방향으로 기울어진 물품의 미세한 각도 변화 및 움직임을 확인하는 과정을 모션 데이터로 획득하고, 이를 분석부(13)에서는 데이터베이스화할 수 있게 계속적으로 저장함과 아울러 실시간으로 획득하는 모션 데이터에서의 x, y, z 축 방향의 기울기 변화 모델 패턴을 분석함으로써 물품의 기울어진 절대 위치, 기준 위치, 상태 진단에 따른 에러 상태를 상황 별로 구분하고, 그 결과를 제공부(15)를 통하여 작업자에게 제공할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 언급한 학습된 분석 모델을 통해 작업자가 가장 효율적인 작업 방법을 제공받도록 할 수 있는 것으로써, 특히 시각적으로 확인 가능하도록 문제점을 인지하여 작업 방법을 제공받도록 할 수 있기 때문에 종래의 육안으로 판단하여 이루어지는 작업을 최소화할 수 있기 때문에 작업시 기타 주변 부재가 손상, 심각할 경우 파손되는 상황을 방지할 수 있을 것이다.
언급한 바와 같이 스토커에서의 선반에 물품이 안착되는 도중에 미세하게 발생하는 기울기가 작업자에게 어려움을 초래할 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법에서는 실시간으로 이루어지는 모니터링을 통한 분석 데이터를 작업자에게 제공하도록 함으로써 작업자는 미세하게 발생한 기울기로 인한 에러 상황을 사전에 파악한 상태에서 안정화되고 효율적인 작업을 진행할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 본 발명의 예시적인 실시예들에 따름 물품의 안착 상태 모니터링 장치 및 방법은 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 물품을 로딩 또는 언로딩하는 이송 공정에 적용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 획득부
13 : 분석부
15 : 제공부
100 : 모니터링 장치

Claims (8)

  1. 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 물품의 안착 상태 모니터링 장치에 있어서,
    상기 선반에 안착되는 상기 물품에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비되는 획득부;
    상기 획득부에 의해 획득한 모션 데이터에 근거하여 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 구비되는 분석부; 및
    상기 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 상기 분석부에 의해 획득한 분석 데이터를 상기 작업자에게 제공하도록 구비되는 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 획득부는 상기 선반에 상기 물품이 안착하는 과정에서의 기울기에 대한 모션 데이터를 획득하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 획득부는 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 분석부는 상기 획득부를 사용하여 실시간으로 획득하는 모션 데이터에 대한 측정값과 상기 획득부를 사용하여 계속적으로 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리하는 저장값을 비교함에 의해 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 장치.
  5. 집적회로 소자의 제조에 사용하는 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 모니터링하기 위한 물품의 안착 상태 모니터링 방법에 있어서,
    상기 선반에 안착되는 상기 물품에 대한 모션 데이터를 획득하는 단계;
    상기 모션 데이터에 근거하여 상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가를 분석하는 단계; 및
    상기 선반에 상기 물품이 안착되는 상태를 작업자가 확인할 수 있게 상기 분석을 통해 획득한 분석 데이터를 상기 작업자에게 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 모션 데이터는 상기 선반에 상기 물품이 안착하는 과정에서의 기울기에 근거하여 획득하는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 기울기는 적외선 장애물 감지 센서, 자이로 센서, 및 무게 감지 센서를 사용함에 의해 획득하는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 방법.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 선반에 상기 물품이 올바르게 안착되는 가에 대한 분석은 실시간으로 획득하는 모션 데이터에 대한 측정값과 계속적으로 획득하는 모션 데이터를 데이터베이스로 관리하는 저장값을 비교함에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품의 안착 상태 모니터링 방법.
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