KR101780328B1 - 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법 - Google Patents

잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법 Download PDF

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박천향
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Abstract

본 발명은 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉곳 절단 장치는 잉곳 절단을 위한 와이어를 공급하거나 회수하는 한 쌍의 보빈; 상기 와이어의 이동 경로 상에서 서로 설정 거리 이격되어 위치되고, 축 방향을 따라 상기 와이어가 복수 회 감기는 한 쌍의 가공 롤러; 및 상기 와이어가 이동되는 경로 상에 위치되어, 상기 와이어로 세정액을 공급하는 와이어 세정기를 포함한다.

Description

잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법{Ingot cutting apparatus, wire cleaning apparatus and cleaning method for ingot cutting wire}
본 발명은 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법에 관한 것이다.
기둥 형상의 실리콘인 잉곳은 길이 방향에 수직한 방향으로 절단되어 웨이퍼가 된다. 잉곳의 절단에는 와이어 소(wire saw)를 이용한 절단 장치가 이용된다. 절단 장치는 서로 이격 된 한 쌍의 롤러를 포함한다. 소(saw)로 이용되는 와이어는 한 쌍의 롤러 둘레에 설정 간격을 두고 복수 회 감긴 상태로 제공된다. 한 쌍의 롤러가 회전되면, 롤러에 감긴 와이어도 이동하게 된다. 잉곳이 한 쌍의 롤러 사이에 위치된 와이어 방향으로 이동되면, 잉곳은 와이어에 의해 절단된다.
본 발명은 잉곳을 효과적으로 절단할 수 있는 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 잉곳의 절단면에 이물질 발생이 저감되는 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 와이어의 수명이 향상되는 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 잉곳 절단을 위한 와이어를 공급하거나 회수하는 한 쌍의 보빈; 상기 와이어의 이동 경로 상에서 서로 설정 거리 이격되어 위치되고, 축 방향을 따라 상기 와이어가 복수 회 감기는 한 쌍의 가공 롤러; 및 상기 와이어가 이동되는 경로 상에 위치되어, 상기 와이어로 세정액을 공급하는 와이어 세정기를 포함하는 잉곳 절단 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 와이어 세정기는, 상기 한 쌍의 보빈 각각과 설정 거리 이격되어 위치되도록 2개가 제공될 수 있다.
또한, 상기 와이어 세정기는, 상기 와이어 세정기의 상부에 위치되고 길이 방향의 일 지점에 압전 소자가 제공되는 진동 발생부; 및 상기 와이어 세정기의 하부에 위치되고, 상기 와이어로 상기 세정액을 미스트 상태로 분사하는 분사부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 분사부는 하단부에 외측면에 공급된 상기 세정액을 상기 와이어 쪽으로 분사 되도록 안내하는 가이드부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 가이드부는 상단의 둘레가 하단의 둘레보다 크게 제공될 수 있다.
또한, 상기 가이드부는 호른(horn)형상으로 제공될 수 있다.
또한, 상기 진동 발생부는, 상기 진동 발생부의 하부에 위치되는 전달 부재; 상기 진동 발생부의 상부에 위치되는 가압 부재를 포함하고, 상기 압전 소자는 상기 전달 부재와 상기 가압 부재 사이에 위치될 수 있다.
또한, 상기 가압 부재는 상기 전달 부재에 대해 상하로 이동 가능하게 제공될 수 있다.
또한, 상기 와이어 세정기는, 상기 진동 발생부와 상기 분사부 사이에 위치되는 진동 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 길이 방향의 일 지점에 압전 소자가 제공되는 진동 발생부; 및 상기 진동 발생부에서 전달된 진동을 통해 세정액을 미스트 상태로 변화시켜, 잉곳의 절단에 사용되는 와이어로 분사하는 분사부를 포함하는 와이어 세정기가 제공될 수 있다.
또한, 상기 진동 발생부와 상기 분사부 사이에 위치되는 진동 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 한 쌍의 보빈이 제공하는 와이어의 이동 경로상에 위치된 한 쌍이 가공 롤러에 상기 와이어가 복수 회 감기도록 하는 단계; 상기 한 쌍의 가공 롤러 가운데 하나와 설정 거리 이격 된 지점에서 상기 와이어로 세정액을 분사하는 단계를 포함하는 잉곳 절단 와이어 세정 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 세정액이 분사되는 동안 상기 한 쌍의 가공 롤러는 회전 될 수 있다.
또한, 상기 세정액은 미스트 상태로 분사될 수 있다.
또한, 상기 세정액이 분사되는 동안 상기 한 쌍의 가공 롤러 사이로 잉곳을 공급하여 상기 와이어로 절단할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 잉곳을 효과적으로 절단할 수 있는 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법이 제공될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 잉곳의 절단면에 이물질 발생이 저감되는 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법이 제공될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 와이어의 수명이 향상되는 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉곳 절단 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 가공 롤러에 와이어가 감겨 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 와이어 세정기를 나타내는 사시도이다.
도 4는 와이어 세정기가 와이어 방향으로 세정액을 분사하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 와이어 세정기의 분해 사시도이다.
도 6은 진동 발생부의 분해 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉곳 절단 장치를 나타내는 도면이고, 도 2는 가공 롤러에 와이어가 감겨 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 잉곳 절단 장치(10)는 보빈(100), 가공 롤러(200) 및 와이어 세정기(500)를 포함한다.
한 쌍의 보빈(100)은 잉곳(I) 가공을 위한 와이어(W)를 공급하거나 회수한다. 보빈(100)은 설정 둘레를 갖는 기둥 형상으로 제공될 수 있다. 보빈(100)의 외측 둘레에는 와이어(W)가 감긴다. 보빈(100)의 회전 방향에 따라 외측 둘레에 감긴 와이어(W)가 풀리거나, 외측 둘레에 와이어(W)가 감길 수 있다. 한 쌍의 보빈(100)은 회전 방향이 서로 연동하도록 제공되어, 하나의 보빈(100)에서 외이어가 풀리면, 다른 보빈(100)에서 와이어(W)가 감길 수 있다. 각각의 보빈(100)에는 모터(110)가 연결된다. 모터(110)는 보빈(100)을 일 방향으로 회전 시키거나, 보빈(100)을 양 방향으로 회전 시키도록 제공될 수 있다. 일 예로, 모터(110)는 설정 시간 간격으로 방향을 바꾸면서 각각의 보빈(100)을 왕복 회전 시킬 수 있다. 따라서, 와이어(W)가 풀리는 보빈(100)과 와이어(W)가 감기는 보빈(100)은 설정 시간 간격으로 교대될 수 있다.
보빈(100)에 인접한 위치에는 전방 롤러(150)가 위치될 수 있다. 전방 롤러(150)는 와이어(W)가 보빈(100)에서 풀리거나 감기는 것을 보조한다. 전방 롤러(150)는 보빈(100)의 회전축에 나란한 방향을 따라 이동 가능하게 제공된다. 전방 롤러(150)는 보빈(100)에서 와이어(W)가 풀리거나 감지는 지점으로 이동되어, 와이어(W)가 보빈(100)의 외면에 대해 수직한 방향으로 풀리거나 감기도록 보조할 수 있다.
가공 롤러(200)는 와이어(W)가 이동되는 경로상에 위치된다. 가공 롤러(200)는 설정 둘레를 갖는 기둥 형상으로 회전 가능하게 될 수 있다. 가공 롤러(200)는 한 쌍이 설정 간격을 두고 이격되게 위치된다. 와이어(W)는 한 쌍의 가공 롤러(200)에 가공 롤러(200)의 축 방향을 따라 복수 회 감긴다. 양쪽 가공 롤러(200)가 가공용 모터(210)에 의해, 보빈(100)과 연동하여 회전되면, 가공 롤러(200) 사이에서 가공 롤러(200)의 축 방향으로 이격된 와이어(W)들이 이동한다. 가공 롤러(200)의 사이에 형성된 공간의 위쪽에는 지지판(300)이 위치된다. 지지판(300)은 잉곳(I)을 지지한 상태로 상하로 이동 가능하게 제공된다. 가공 롤러(200) 사이에 와이어(W)를 이동 시키면서, 지지판(300)이 잉곳(I)을 와이어(W)로 이동 시키면, 잉곳(I)은 와이어(W)에 의해 절단된다. 가공 롤러(200)의 외면에는 와이어(W)의 위치를 설정하기 위한 홈들이 형성될 수 있다. 가공 롤러(200)와 인접한 위치에는 와이어(W)의 이동 방향을 보빈(100)으로 가이드 하기 위한 가이드 롤러(250)가 위치될 수 있다.
가공 롤러(200)와 보빈(100) 사이에는 장력 롤러(400)가 제공될 수 있다. 장력 롤러(400)는 가공 롤러(200)와 보빈(100) 사이에서 와이어(W)에 인가되는 장력을 조절한다. 일 예로, 장력 롤러(400)는 회전축에 수직한 방향으로 이동 가능하게 제공되어, 와이어(W)가 이동되는 경로의 길이를 조절하는 방법으로 와이어(W)에 인가되는 장력을 조절할 수 있다. 도 1 에는 각각의 가공 롤러(200)와 보빈(100) 사이에 장력 롤러(400)가 위치되는 것으로 도시되었으나, 이들 가운데 하나는 생략될 수 있다. 또한, 장력 롤러(400)는 생략될 수 있다.
도 3은 도 1의 와이어 세정기를 나타내는 사시도이고, 도 4는 와이어 세정기가 와이어 방향으로 세정액을 분사하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면 와이어 세정기(500)는 와이어(W)로 세정액을 공급하여 와이어(W)를 세정한다. 세정액은 물일 수 있다. 와이어 세정기(500)는 잉곳(I) 절단이 이루어 지는 동안 와이어(W)로 세정액을 공급할 수 있다. 따라서, 잉곳(I) 절단을 위해 가공 롤러(200)로 공급되거나, 잉곳(I)을 절단 한 후 회수된 와이어(W)를 세정할 수 있다. 세정액에 의해 와이어(W)가 세정되면, 와이어(W)에 부착된 파티클이 세정되어 와이어(W)를 재사용 시, 파티클에 의해 잉곳(I)의 절단면이 오염되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 파티클에 이해 와이어(W)의 절단성이 저하되는 것이 방지되어, 마찰 증가로 인한 절단면의 품질이 저하되거나, 와이어(W)의 손상으로 인한 와이어(W)의 수명이 단축되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 와이어 세정기(500)에 의한 와이어(W)의 세정이 이루어 지는 동안, 잉곳(I)의 절단은 중지될 수 도 있다.
와이어 세정기(500)의 일측에는 와이어 세정기(500)로 세정액을 공급하는 세정액 공급관(5100)이 위치된다.
와이어 세정기(500)는 와이어(W)가 이동되는 경로상에 위치한다. 와이어 세정기(500)는 가공 롤러(200)와 설정 간격을 두고 위치될 수 있다. 일 예로, 와이어 세정기(500)는 가이드 롤러(250)를 기준으로 가공 롤러(200)의 반대쪽에 위치될 수 있다. 따라서, 잉곳(I)의 절단과 와이어(W)의 세정이 함께 이루어져, 공정 효율이 향상될 수 있다.
와이어 세정기(500)는 진동 발생부(1000), 분사부(2000)를 포함한다.
진동 발생부(1000)는 인가되는 전력에 의해 진동을 발생 시킨다. 진동 발생부(1000)는 설정 체적을 갖는 기둥 형상으로 제공될 수 있다. 일 예로, 진동 발생부(1000)는 원기둥, 다각형 기둥 형상 등으로 제공될 수 있다. 또한, 진동 발생부(1000)는 길이 방향을 따른 위치 별로 둘레가 상이하게 제공될 수 도 있다. 진동 발생부(1000)에는 압전 소자(1300)가 제공된다. 압전 소자(1300)는 전력이 인가되면 진동을 발생시킨다. 진동 발생부(1000)에는 냉각 유로(1210)가 형성될 수 있다. 냉각 유로(1210)는 외부의 냉각 유체 공급원(5200)과 연결되어, 진동 발생부(1000)가 동작되는 동안 발생되는 열을 냉각한다.
분사부(2000)는 진동 발생부(1000)에서 전달되는 진동을 통해 세정액을 와이어(W) 쪽으로 분사한다. 분사부(2000)의 하단부에는 가이드부(2100)가 형성된다. 가이드부(2100)는 상단의 둘레가 하단이 둘레보다 크게 제공된다. 가이드부(2100)의 상단은 축 방향으로 오목하게 곡률지게 형성된다. 일 예로, 가이드부(2100)는 개략적 형상이 호른(horn)형상일 수 있다. 세정액 공급관(5100)은 가이드부(2100)의 상단 외측에 위치될 수 있다. 세정액이 가이드부(2100)의 상단에 위치되면, 세정액은 가이드부(2100)가 인가하는 진동에 의해 미스트(M) 상태로 변하면서 가이드부(2100)의 외면에 의해 안내되어 가이드부(2100)의 하단으로 이동된 후 와이어(W) 방향으로 토출된다.
도 5는 와이어 세정기의 분해 사시도이다.
도 5를 참조하면, 진동 발생부(1000)와 분사부(2000) 사이에는 진동 조절부(3000)가 위치될 수 있다.
진동 조절부(3000)는 진동 발생부(1000)에서 발생된 진동을 분사부(2000)로 전달한다. 진동 조절부(3000)는 개략적 형상이 기둥 형상으로 제공될 수 있다. 진동 조절부(3000)는 길이 방향을 따른 위치 별로 둘레가 상이하게 제공될 수 있다. 진동은, 진동이 전달되는 물체의 길이, 진동이 전달되는 면의 단면적에 등에 따라 진폭, 주파수 등이 변할 수 있다. 진동 조절부(3000)는 진동 발생부(1000)에서 발생된 진동이 전달되는 경로의 길이, 진동이 전단되는 면의 단면적을 조절하여, 분사부(2000)에 인가되는 진동을 조절한다. 따라서, 진동 조절부(3000)를 교체하는 방식으로 분사부(2000)에 인가되는 진동을 변경할 수 있다.
진동 발생부(1000)와 진동 조절부(3000)는 서로 결합 및 분리 가능하게 제공된다. 일 예로, 진동 발생부(1000)와 진동 조절부(3000)는 상부 로드(3100)에 의해 분리 가능하게 결합될 수 있다. 상부 로드(3100)는 양측이 진동 발생부(1000)와 진동 조절부(3000) 각각의 결합면에 삽입되는 방식으로, 진동 발생부(1000)와 진동 조절부(3000)를 결합 시킬 수 있다. 또한, 상부 로드(3100)는 진동 발생부(1000) 또는 진동 조절부(3000) 중 하나에서 연장되도록 제공될 수 도 있다. 그리고 상부 로드(3100)는 진동 발생부(1000) 또는 진동 조절부(3000) 중 다른 하나에 삽입되는 방식으로, 진동 발생부(1000)와 진동 조절부(3000)를 결합시킬 수 있다. 상부 로드(3100)에는 나사산이 형성될 수 있다.
분사부(2000)와 진동 조절부(3000)는 서로 결합 및 분리 가능하게 제공된다. 일 예로, 분사부(2000)와 진동 조절부(3000)는 하부 로드(2200)에 의해 분리 가능하게 결합될 수 있다. 하부 로드(2200)는 양측이 분사부(2000)와 진동 조절부(3000) 각각의 결합면에 삽입되는 방식으로, 분사부(2000)와 진동 조절부(3000)를 결합 시킬 수 있다. 또한, 하부 로드(2200)는 분사부(2000) 또는 진동 조절부(3000) 중 하나에서 연장되도록 제공될 수 도 있다. 그리고 하부 로드(2200)는 분사부(2000) 또는 진동 조절부(3000) 중 다른 하나에 삽입되는 방식으로, 분사부(2000)와 진동 조절부(3000)를 결합시킬 수 있다. 하부 로드(2200)에는 나사산이 형성될 수 있다.
또한 진동 조절부(3000)는 생략되고, 분사부(2000)는 진동 발생부(1000)에 연결될 수 도 있다.
도 6은 진동 발생부의 분해 사시도이다.
도 6을 참조하면, 일 실시 예에 따른 진동 발생부(1000)는 전달 부재(1100), 가압 부재(1200), 압전 소자(1300)를 포함한다.
압전 소자(1300)는 전달 부재(1100)와 가압 부재(1200) 사이에 위치되도록 제공된다. 전달 부재(1100)는 진동 발생부(1000)의 하부에 위치되어, 진동 조절부(3000)와 연결된다. 가압 부재(1200)는 진동 발생부(1000)의 상부에 위치되어, 와이어 세정기(500)의 상단부 구조를 제공한다. 전달 부재(1100)와 가압 부재(1200) 사이에는 2개의 압전 소자(1300)가 위치될 수 있다. 압전 소자(1300) 사이에는 전극판(1400)이 위치된다. 그리고 2개의 압전 소자(1300)의 상면 또는 하면에도 전극판(1400)이 위치된다. 전극판(1400)에 전력이 인가되면 압전 소자(1300)는 진동한다. 압전 소자(1300)는 세라믹 재질일 수 있다. 또한, 압전 소자(1300)는 하나가 제공되고, 압전 소자(1300)의 상면과 하면에 전극판(1400)이 위치될 수 도 있다.
가압 부재(1200)는 전달 부재(1100)에 대해 상하로 이동 가능하게 제공되어, 전달 부재(1100)와 가압 부재(1200)는 그 사이의 간격이 조절 될 수 있다. 따라서, 전달 부재(1100)와 가압 부재(1200)가 압전 소자(1300)에 인가하는 압력이 조절될 수 있다. 일 예로, 가압 부재(1200)에는 상하 방향으로 체결로드(1500) 삽입을 위한 결합홀(1210)이 형성된다. 체결로드(1500)는 하부는 전달 부재(1100)에 삽입되어 나사 결합 방식으로 체결될 수 있다. 또한, 체결로드(1500)는 전달 부재(1100)와 일체로, 전달 부재(1100)의 상부에서 연장되는 형태로 제공될 수 있다. 가압 부재(1200)가 체결로드(1500)에 끼워지면, 체결로드(1500)의 상단은 가압 부재(1200)의 위쪽으로 돌출될 수 있다. 체결로드(1500)의 상부에는 나사산이 형성되어, 너트(1600)가 결합될 수 있다. 체결로드(1500)의 상부가 너트(1600)에 끼워지는 정도를 조절하면, 가압 부재(1200)가 압전 소자(1300)를 가압 하는 정도가 조절된다. 압전 소자(1300)에 인가되는 압력을 조절하면, 압전 소자(1300)에 의해 진동 발생부(1000)에 여기 되는 진동의 진폭, 파장, 진동수 등을 조절할 수 있다.
도면에는 각각의 가공 롤러(200)와 보빈(100) 사이에 와이어 세정기(500)가 위치된 것으로 도시되었으나, 와이어 세정기(500)는 하나가 제공될 수 도 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100: 보빈 200: 가공 롤러
300: 지지판 400: 장력 롤러
500: 세정기

Claims (15)

  1. 잉곳 절단을 위한 와이어를 공급하거나 회수하는 한 쌍의 보빈;
    상기 와이어의 이동 경로 상에서 서로 설정 거리 이격되어 위치되고, 축 방향을 따라 상기 와이어가 복수 회 감기도록 제공되어, 복수 회 감긴 상기 와이어에 의해 상기 잉곳이 절단되도록 하는 한 쌍의 가공 롤러; 및
    상기 한 쌍의 보빈 중 하나에서 상기 한 쌍의 가공 롤러로 상기 와이어가 공급되거나, 상기 한 쌍의 가공 롤러 중 하나에서 상기 한 쌍의 보빈으로 상기 와이어가 회수되는 경로 상에 위치되어, 상기 가공 롤러로 공급되거나 회수되는 상기 와이어로 세정액을 공급하는 와이어 세정기를 포함하되,
    상기 와이어 세정기는,
    길이 방향의 일 지점에 압전 소자가 제공되어 인가되는 전력에 의해 진동을 발생시키는 진동 발생부; 및
    상기 진동 발생부에서 전달된 진동을 통해 세정액을 미스트 상태로 변화시켜, 잉곳의 절단에 사용되는 와이어로 분사하되, 하단부에는 그 상단의 둘레가 하단의 둘레보다 크게 제공되고 상기 상단은 축 방향으로 오목하게 곡률지게 형성되어 상기 상단의 외면에 공급된 상기 세정액을 외면에 의해 상기 상단에서 상기 하단으로 안내하면서 상기 세정액에 진동을 인가하는 가이드부가 제공되는 분사부를 포함하는 잉곳 절단 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 와이어 세정기는,
    상기 한 쌍의 보빈 각각과 설정 거리 이격되어 위치되도록 2개가 제공되는 잉곳 절단 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 호른(horn)형상으로 제공되는 잉곳 절단 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 진동 발생부는,
    상기 진동 발생부의 하부에 위치되는 전달 부재;
    상기 진동 발생부의 상부에 위치되는 가압 부재를 포함하고,
    상기 압전 소자는 상기 전달 부재와 상기 가압 부재 사이에 위치되는 잉곳 절단 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 가압 부재는 상기 전달 부재에 대해 상하로 이동 가능하게 제공되는 잉곳 절단 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 와이어 세정기는,
    상기 진동 발생부와 상기 분사부 사이에 위치되는 진동 조절부를 더 포함하는 잉곳 절단 장치.
  10. 길이 방향의 일 지점에 압전 소자가 제공되어 인가되는 전력에 의해 진동을 발생시키는 진동 발생부; 및
    상기 진동 발생부에서 전달된 진동을 통해 세정액을 미스트 상태로 변화시켜, 잉곳의 절단에 사용되는 와이어로 분사하되, 하단부에는 그 상단의 둘레가 하단의 둘레보다 크게 제공되고 상기 상단은 축 방향으로 오목하게 곡률지게 형성되어 상기 상단의 외면에 공급된 상기 세정액을 외면에 의해 상기 상단에서 상기 하단으로 안내하면서 상기 세정액에 진동을 인가하는 가이드부가 제공되는 분사부를 포함하고,
    상기 잉곳 절단을 위해 상기 와이어가 복수회 감겨있는 한 쌍의 가공 롤러 중 하나와 상기 가공 롤러로 상기 와이어를 공급하거나 회수하는 보빈 사이에서 상기 와이어가 이동 하는 경로상에 위치되는 와이어 세정기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 진동 발생부와 상기 분사부 사이에 위치되는 진동 조절부를 더 포함하는 와이어 세정기.
  12. 한 쌍의 보빈이 제공하는 와이어의 이동 경로상에 위치된 한 쌍이 가공 롤러에 상기 와이어가 복수 회 감기도록 하는 단계;
    상기 한 쌍의 보빈 중 하나에서 상기 한 쌍의 가공 롤러로 상기 와이어가 공급되거나, 상기 한 쌍의 가공 롤러 중 하나에서 상기 한 쌍의 보빈으로 상기 와이어가 회수되는 경로 상에 위치되도록, 상기 한 쌍의 가공 롤러 가운데 하나와 설정 거리 이격 된 지점에서 상기 와이어로 세정액을 분사하는 단계를 포함하는 잉곳 절단 와이어 세정 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 세정액이 분사되는 동안 상기 한 쌍의 가공 롤러는 회전 되는 잉곳 절단 와이어 세정 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 세정액은 미스트 상태로 분사되는 잉곳 절단 와이어 세정 방법.
  15. 제12항에 있이서,
    상기 세정액이 분사되는 동안 상기 한 쌍의 가공 롤러 사이로 잉곳을 공급하여 상기 와이어로 절단하는 잉곳 절단 와이어 세정 방법.
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