KR101770567B1 - 대상을 리프팅하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

대상을 리프팅하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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데틀레프 게르하르트
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지멘스 악티엔게젤샤프트
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Abstract

본 발명은 수직 방향으로 대상을 이동시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것이며, 이는 활성화 시에 방향들로 팽창하고 그렇게 함으로써 활성 측에 가압력들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들(1), 및 압전 액츄에이터들의 가압력들을 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키기 위한 수직 가압력으로 전환하고 상기 가압력을 전달비로 전달하는 유압 전달 디바이스(3)를 갖는다. 대상은 수직 가압력이 스프링 시스템에 대해 반대로 작용하는 스프링 힘을 초과한 후에 리프팅된다.

Description

대상을 리프팅하기 위한 장치 및 방법 {DEVICE AND METHOD FOR LIFTING OBJECTS}
본 발명은 수직 방향으로 대상을 이동시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
로드(load)들, 예컨대 척(chuck)을 비교적 정확하게 리프트(lift) 및 위치지정하기 위해, 로드 또는 대상을 신속하고 정확하게 위치지정하기 위한 구동기(drive)들이 사용된다.
종래에는, 스핀들(spindle) 구동기들이, 그리고 특히 더 작은 로드들에 대하여 관절형 전달장치(articulated transmission)를 갖는 압전(piezo) 구동기들이 사용되어왔다. 이동들을 위치지정하기 위해, 유압 스트로크(stroke) 전달장치를 갖는 제 1 압전 구동기들이 내부적 종래 기술로서 공지된다. 내부적으로, 다중 스테이지(multistage) 유압 전달장치들이 이미 사용되고 있으며, 여기서 복수의 구동기들이 대상들을 리프트하기 위해 평행하게 연결되고, 이러한 방식으로 대응하는 신속한 방식으로 대상 질량(object mass)을 위치지정하는 것이 가능하게 된다. 하지만 이러한 내부적 종래 기술은 개별 구동기들이 서로 정밀하게 동기화되어야 한다는 단점을 갖는다. 제작 공차(tolerance)들을 고려한 정밀한 조정과 마찬가지로, 평행하게 연결된 압전 유압 시스템(system)들의 균일한 리프팅(lifting)이 단지 매우 어렵게 실현될 수 있다는 것이 추가의 단점이다.
본 발명의 목적은, 대상들이 정밀하게 그리고 작은 스트로크에 의해 신속하게 리프팅될 수 있도록, 특히 중력 방향에 대해 반대로, 수직 방향으로 대상을 이동시키기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 예컨대, 50 g 내지 1000 g 범위의 질량들이 대단한 위치지정 정확도로 ㎳ 범위에서 리프팅되는 것이 의도된다. 예컨대, 100 g 내지 1000 g 범위의 질량을 갖는 대상들이 10 ㎛ 보다 양호한 위치지정 정확도로 약 5 ㎳ 내에서 약 0.5 ㎜ 내지 5 ㎜ 만큼 리프팅될 수 있는 것이 의도된다. 특히, 장치의 조정은 간단한 것으로 의도되고 대상 티핑(tipping)의 가능성이 효과적으로 감소되는 것으로 의도된다.
본 목적은 주요 청구 범위에 따른 장치 및 부가적인 독립 청구 범위에 따른 방법에 의해 달성된다.
제 1 양태에 따르면, 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치가 주장되며, 이는 활성화 시에 방향들로 팽창하고 프로세스(process)에서 활성 측(active side)에 가압력(pressure force)들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터(actuator)들, 및 압전 액츄에이터들의 가압력들을 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키기 위한 수직 가압력으로 전환하고 상기 가압력들을 전달비(transmission ratio)로 전달하는 유압 전달 디바이스(hydraulic transmission device)를 갖는다.
전달비는 가압력들을 수직 가압력으로 전환하는 인수(factor)를 나타낸다. 이러한 인수는 예컨대 출력 횡단면적을 입력 횡단면적으로 나눈 몫(quotient)으로부터 초래된다.
제 2 양태에 따르면, 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법이 주장되며, 이는 방향들로 팽창하고 프로세스에서 활성 측에 가압력들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들을 활성화하는 단계, 및 압전 액츄에이터들의 가압력들을 유압 전달 디바이스에 의해 수직 가압력으로 전환하고 전달함으로써 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키는 단계를 갖는다.
하나 이상의 단일 스테이지(stage) 유압 스트로크 전달장치를 갖는 압전 액츄에이터들이 사용된다. 본 발명에 따른 방법에 의해, 복수의 압전 액츄에이터들의 스트로크는 공통의 유압 시스템을 통하여 대상으로 전해지고, 이러한 방식으로 대상을 리프트한다. 본 발명에 따르면, 소망에 따라 서로 조합될 수 있고 유압 스트로크 전달장치를 결합식으로(jointly) 사용할 수 있는 복수의 압전 액츄에이터들이 사용된다.
추가의 유리한 구성들은 종속 청구 범위들과 연관하여 주장된다.
하나의 유리한 구성에 따르면, 스프링(spring) 시스템이 이동될 대상과 유압 전달 디바이스 사이에서 유압 전달 디바이스의 수직 가압력에 대해 반대로 그의 스프링 힘에 의해 작용할 수 있다. 따라서, 복수의 압전 액츄에이터들의 스트로크는, 대상을 리프트하기 위해 공통의 유압 시스템을 통하여 스프링 시스템으로 전해진다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 유압 전달 디바이스는 각각의 경우에 각각의 압전 액츄에이터의 활성 측에 이동 가능한 압전 액츄에이터 벨로우즈(bellows)를 가질 수 있고, 모든 압전 액츄에이터 벨로우즈는 라인(line) 시스템에 의해 수직 가압력을 제공하는 수직으로 이동 가능한 중앙 벨로우즈로 그리고 그 안으로 전달될 수 있는 공통의 유체를 포함한다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 라인 시스템은 압전 액츄에이터 벨로우즈로부터 연장하는 라인 부분들을 공통의 수직 라인으로 그리고 중앙 벨로우즈에 연결할 수 있다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 압전 액츄에이터들, 압전 액츄에이터 벨로우즈, 라인 시스템 및 중앙 벨로우즈는 공통의 수직 라인의 수직의 주(main) 대칭 축에 대해 대칭으로 구성될 수 있다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 압전 액츄에이터들은 서로 합동으로(congruently) 위치되는 방식으로 실질적으로 2 개의 수평 평면들을 따라 연장할 수 있고, 특히 4 개의 압전 액츄에이터들이 형성될 수 있다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 압전 액츄에이터들은 외부 리테이닝 슬리브(retaining sleeve)와 내부 리테이닝 슬리브 사이에서 연관된 압전 액츄에이터 벨로우즈에 의해 고정될 수 있고, 상기 리테이닝 슬리브들은 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭이고, 압전 액츄에이터 벨로우즈로부터 연장하는 라인 부분들은 수평으로 그리고 내부 리테이닝 슬리브를 통하여 연장한다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 스프링 시스템은 내부 리테이닝 슬리브의 상부 평면형 단부에 장착되는 실질적으로 수평으로 연장하는 제 1 스프링 요소를 가질 수 있고, 여기서 내부 리테이닝 슬리브는 외부 리테이닝 슬리브보다 더 높다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 이동될 대상은 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭인 주 리테이닝 슬리브의 상부 평면형 단부에 놓일 수 있고, 상기 주 리테이닝 슬리브는 이동될 대상 아래에(under) 제 1 스프링 요소를 포함하고 이에 고정된다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 스프링 시스템은 내부 리테이닝 슬리브에 의해 압전 액츄에이터들 밑에(beneath) 장착되고 주 리테이닝 슬리브에 포함되고 이에 고정되는 실질적으로 수평으로 연장하는 제 2 스프링 요소를 가질 수 있다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 제 1 및 제 2 스프링 요소는 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭일 수 있고, 특히 스프링 링(ring)들, 특히 크롬(chrome) 스프링 링들 또는 다이어프램(diaphragm) 스프링들일 수 있다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 중앙 벨로우즈는 상기 중앙 벨로우즈와 제 1 스프링 요소 사이에 배열된 스트로크 전달 요소에 의해, 특히 수직의 주 대칭 축에 대해 대칭인 브래킷(bracket)에 의해 수직 가압력을 제 1 스프링 요소에 전달 가능하다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 이동될 대상은 척 플레이트(plate) 또는 캐리어(carrier) 플레이트일 수 있다.
추가의 유리한 구성에 따르면, 활성화를 위해, 압전 액츄에이터들은 소망에 따라 제어 장치에 의해 개별적으로 제어 가능할 수 있고 조합 가능한 방식이다.
본 발명은 도면들과 연관된 예시적인 실시예들에 의해 더 상세하게 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 예시적인 제 1 실시예를 도시하고,
도 2는 본 발명에 따른 장치의 예시적인 제 2 실시예를 도시하고,
도 3은 본 발명에 따른 방법의 예시적인 실시예를 도시한다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 예시적인 제 1 실시예를 도시한다. 활성화 시에 수평 방향들로 팽창하고 프로세스에서 활성 측에 가압력들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들(1)이 예시된다. 이러한 압전 액츄에이터들(1)은 이러한 경우 하우징(housing)(2)에 에워싸이거나 그 안에 배열된다. 유압 전달 디바이스(3)는 압전 액츄에이터들(1)의 가압력들을 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키기 위한 수직 가압력으로 전환한다. 유압 전달 디바이스(3)는, 각각의 경우에, 각각의 압전 액츄에이터(1)의 활성 측에 이동 가능한 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)를 갖고, 여기서 모든 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)는, 활성화 시에, 수직 가압력을 제공하는 수직으로 이동 가능한 중앙 벨로우즈(11)에 그리고 그 안으로 라인 시스템(9)에 의해 전달 가능한 공통의 유체(7)를 포함한다. 라인 시스템(9)은 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)로부터 수평으로 연장하는 라인 부분들을 공통의 수직 라인에 연결하며, 공통의 수직 라인은 중앙 벨로우즈 안으로 연장한다.
압전 액츄에이터들(1), 압전 액츄에이터 벨로우즈(5), 라인 시스템(9) 및 중앙 벨로우즈(11)는 공통의 수직 라인(13)의 수직의 주 대칭 축에 대해 대칭으로 형성된다. 도 1에 따른 실시예에 따르면, 압전 액츄에이터들(1)은 서로 합동으로 위치되는 방식으로 실질적으로 2 개의 수평 평면들을 따라 연장한다. 예컨대, 4 개의 압전 액츄에이터들(1)이 제공될 수 있다. 도 1은 유압 전달장치를 갖는 압전 액츄에이터 시스템을 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 장치의 예시적인 제 2 실시예를 도시한다. 이러한 경우, 도 1의 구성요소들은 도 2에 따른 예시에 완전하게 포함된다. 동일한 참조 부호들은 동일한 구조적 피쳐(feature)들을 지칭한다. 도 2에 따르면, 압전 액츄에이터들(1)은 외부 리테이닝 슬리브(15)와 내부 리테이닝 슬리브(17) 사이에 각각 연관된 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)에 의해 고정되고, 상기 리테이닝 슬리브들(15, 17)은 공통의 수직 라인(13)의 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭이다. 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)로부터 연장하는 라인 부분들은 수평으로 연장하고 내부 리테이닝 슬리브(17)를 통과한다. 스프링 시스템은 내부 리테이닝 슬리브(17)의 상부 단부에 장착되는 실질적으로 수평으로 연장하는 제 1 스프링 요소(19)를 갖고, 여기서 내부 리테이닝 슬리브(17)는 외부 리테이닝 슬리브(15)보다 더 높다. 이동될 대상은 이러한 경우, 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭인 주 리테이닝 슬리브(23)의 상부 단부에 놓이는 지지 플레이트(21)이며, 상기 주 리테이닝 슬리브(23)는 이동될 대상 아래에 제 1 스프링 요소(19)를 포함하고 이에 고정된다. 게다가, 스프링 시스템은 내부 리테이닝 슬리브(17)에 의해 압전 액츄에이터들(1) 밑에 장착되고 주 리테이닝 슬리브(23)에 포함되고 이에 고정되는 실질적으로 수평으로 연장하는 제 2 스프링 요소(25)를 갖는다. 제 1 및 제 2 스프링 요소(19, 25)는 여기서 스프링 링들로서 구현된다. 대안적으로, 스프링 요소들은 다이어프램 스프링들로서 구현될 수 있다. 중앙 벨로우즈(11)는, 수직의 주 대칭 축에 대해 대칭이고, 중앙 벨로우즈(11)와 제 1 스프링 요소(19) 사이에 배열되는 브래킷(27)에 의해 제 1 스프링 요소(19)에 수직 가압력을 전달한다. 압전 액츄에이터들(1)은 활성화를 위해 제어 장치에 의해 개별적으로 제어 가능하고 그리고 조합 가능한 방식이다. 대안적으로, 지지 플레이트(21)는 척 플레이트일 수 있다. 제 1 스프링 요소(19) 및 제 2 스프링 요소(25)의 스프링 링들은 압전 액츄에이터들의 활성화 시에 중력 방향에 대해 반대로 안내된 편향(deflection)을 실행한다. 브래킷(27)은 중앙 벨로우즈(11)와 제 1 스프링 요소(19)의 스프링 링 사이의 균일한 스트로크 전달을 가능하게 한다. 유체(7)로 충전된 중앙 벨로우즈(11)는 유압 전달기로서 작용할 수 있다. 수평 라인들 및 수직 라인(13)은 유체(7)가 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)와 중앙 벨로우즈(11) 사이에 전달되는 것을 가능하게 한다. 압전 액츄에이터들(1)은 각각 에워싸일 수 있다. 리테이닝 슬리브들은 마찬가지로 리테이닝 링들로서 구현될 수 있다. 내부 스프링 요소 마운팅(mounting)들은 내부 리테이닝 슬리브들(17)에 의해 제공될 수 있다. 주 리테이닝 슬리브(23)는 제 1 스프링 요소(19) 및 제 2 스프링 요소(25) 그리고 캐리어 플레이트(21)를 위한 홀더(holder)로서 사용될 수 있다. 도 2는 예컨대 척 플레이트를 위한 수직 구동기를 도시한다. 척 플레이트는 예컨대 전자 구성요소들 및 가전 제품들을 제작할 때 사용될 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 방법의 예시적인 실시예를 도시한다. 제 1 단계(S1)에서, 방향들로 팽창하고 프로세스에서 활성 측에 가압력들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들이 활성화된다. 제 2 단계(S2)에서, 대상은 압전 액츄에이터들의 가압력들을 유압 전달 디바이스에 의해 수직 가압력으로 전환하고 전달함으로써 중력 방향에 대해 반대로 이동된다. 안내된 편향을 제공하기 위해, 유압 전달 디바이스의 수직 가압력은 스프링 시스템에 대해 반대로 작용한다. 따라서, 대상은 신속하게 리프팅되는데, 이는 수직 리프팅 가압력이 스프링 시스템의 대향하는 스프링 힘보다 더 크기 때문이다. 대응하는 임계 값(threshold value)이 초과될 때, 대상은 상당한 속도로 리프팅된다.
본 발명은 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것이며, 이는 활성화 시에 방향들로 팽창하고 프로세스에서 활성 측에 가압력들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들(1), 및 압전 액츄에이터들의 가압력들을 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키기 위한 수직 가압력으로 전환하고 상기 가압력들을 전달비로 전달하는 유압 전달 디바이스(3)를 갖는다. 대상은 리프팅되는데, 이는 수직 가압력이 스프링 시스템의 대향하는 스프링 힘을 초과하기 때문이다.

Claims (21)

  1. 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치로서,
    - 활성화(activation) 시에 방향들로 팽창하고 프로세스에서 활성 측(active side)에 가압력(pressure force)들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들(piezo actuator)(1); 및
    - 상기 압전 액츄에이터들의 가압력을 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키기 위한 수직 가압력으로 전환하고, 상기 가압력들을 전달비(transmission ratio)로 전달하는 유압 전달 디바이스(hydraulic transmission device)(3);를 갖고,
    상기 유압 전달 디바이스는 각각의 경우에, 각각의 압전 액츄에이터의 활성 측에 이동 가능한 압전 액츄에이터 벨로우즈(bellows)(5)를 갖고, 모든 상기 압전 액츄에이터 벨로우즈(5)는, 라인(line) 시스템(9)에 의해, 수직 가압력을 제공하는 수직으로 이동 가능한 중앙 벨로우즈(11)로 그리고 그 안으로 전달 가능한 공통의 유체(7)를 포함하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    스프링 시스템(spring system)이 이동될 대상과 유압 전달 디바이스 사이에서 유압 전달 디바이스의 수직 가압력에 대해 반대로 그의 스프링 힘으로서 작용하는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 시스템은 압전 액츄에이터 벨로우즈로부터 공통의 수직 라인(13)으로 연장하는 라인 부분들을 중앙 벨로우즈에 연결하는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 압전 액츄에이터들, 압전 액츄에이터 벨로우즈, 라인 시스템 및 중앙 벨로우즈는 공통의 수직 라인의 수직의 주(main) 대칭 축에 대해 대칭으로 구성되는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 압전 액츄에이터들은 서로 합동으로(congruently) 위치되는 방식으로 실질적으로 2 개의 수평 평면들을 따라 연장하고, 특히 4 개의 압전 액츄에이터들이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 압전 액츄에이터들은 외부 리테이닝 슬리브(retaining sleeve)(15)와 내부 리테이닝 슬리브(17) 사이에서 연관된 압전 액츄에이터 벨로우즈에 의해 고정되고, 상기 리테이닝 슬리브들(15, 17)은 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭이고, 상기 압전 액츄에이터 벨로우즈로부터 연장하는 라인 부분들은 수평으로 그리고 내부 리테이닝 슬리브를 통하여 연장하는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    스프링 시스템은 내부 리테이닝 슬리브의 상부 평면형 단부에 장착되는 실질적으로 수평으로 연장하는 제 1 스프링 요소(19)를 갖고, 상기 내부 리테이닝 슬리브는 외부 리테이닝 슬리브보다 더 높은 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    이동될 대상은 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭인 주 리테이닝 슬리브(23)의 상부 평면형 단부에 놓이고, 상기 주 리테이닝 슬리브(23)는 이동될 대상 아래에(under) 제 1 스프링 요소를 포함하고 이에 고정되는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 스프링 시스템은 내부 리테이닝 슬리브에 의해 압전 액츄에이터들 밑에(beneath) 장착되고 주 리테이닝 슬리브에 포함되고 이에 고정되는 실질적으로 수평으로 연장하는 제 2 스프링 요소(25)를 갖는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 스프링 요소 및 제 2 스프링 요소 중의 한 가지 이상은 수직의 주 대칭 축에 대해 회전식으로 대칭이고, 특히 스프링 링(ring)들/스프링 링이며, 특히 크롬(chrome) 스프링 링들/크롬 스프링 링 또는 다이어프램(diaphragm) 스프링들/다이어프램 스프링인 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 중앙 벨로우즈는 상기 중앙 벨로우즈와 제 1 스프링 요소 사이에 배열되는 스트로크(stroke) 전달 요소에 의해, 특히 수직의 주 대칭 축에 대해 대칭인 브래킷(bracket)(27)에 의해, 제 1 스프링 요소에 수직 가압력을 전달하는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  13. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항, 제 5 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    이동될 대상은 척 플레이트(chuck plate) 또는 캐리어(carrier) 플레이트(21)인 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  14. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항, 제 5 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    활성화를 위해, 상기 압전 액츄에이터들은 제어 장치에 의해 개별적으로 제어 가능하고 조합 가능한 방식인 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  15. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항, 제 5 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 장치에 의해 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법으로서,
    - 방향들로 팽창하고 프로세스에서 활성 측에 가압력들을 발생시키는 복수의 압전 액츄에이터들을 활성화시키는 단계; 및
    - 상기 압전 액츄에이터들의 가압력들을 유압 전달 디바이스에 의해 수직 가압력으로 전환하고 전달함으로써 중력 방향에 대해 반대로 대상을 이동시키는 단계;를 갖고,
    상기 유압 전달 디바이스는, 각각의 경우에, 각각의 압전 액츄에이터의 활성 측에 이동 가능한 압전 액츄에이터 벨로우즈를 갖고, 모든 상기 압전 액츄에이터 벨로우즈는 라인 시스템에 의해 수직 가압력을 제공하는 수직으로 이동 가능한 중앙 벨로우즈에 그리고 그 안으로 전달될 수 있는 공통의 유체를 포함하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    스프링 시스템이 이동될 대상과 유압 전달 디바이스 사이에서 유압 전달 디바이스의 수직 가압력에 대해 반대로 그의 스프링 힘으로서 작용하는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법.
  17. 삭제
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 중앙 벨로우즈는 상기 중앙 벨로우즈와 제 1 스프링 요소 사이에 배열되는 스트로크 전달 요소에 의해, 특히 수직의 주 대칭 축에 대해 대칭인 브래킷(bracket)에 의해 제 1 스프링 요소에 수직 가압력을 전달하는 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    활성화를 위해, 상기 압전 액츄에이터들은 제어 장치에 의해 개별적으로 제어되고 조합 가능한 방식인 것을 특징으로 하는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치는,
    100 g 내지 1000 g 범위의 질량을 갖는 대상을 10 ㎛ 미만의 위치지정 부정확도로 1 ㎳ 내지 10 ㎳ 내에서 0.5 ㎜ 내지 5 ㎜ 의 스트로크에 의해 중력 방향에 대해 반대로 수직 방향으로 이동시키기 위하여 사용되는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치.
  21. 제 15 항에 있어서,
    상기 대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법은,
    100 g 내지 1000 g 범위의 질량을 갖는 대상을 10 ㎛ 미만의 위치지정 부정확도로 1 ㎳ 내지 10 ㎳ 내에서 0.5 ㎜ 내지 5 ㎜ 의 스트로크에 의해 중력 방향에 대해 반대로 수직 방향으로 이동시키기 위하여 사용되는,
    대상을 수직 방향으로 이동시키기 위한 방법,
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