DE102006025177A1 - Piezoaktor mit Verkapselung - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung offenbart einen Piezoaktor mit Verkapselung 1, insbesondere einen Vielschichtaktor. Dieser umfasst einen Piezoaktor 10, ein Metallrohr 30, ein Druckübertragungsmedium 40 sowie eine zwischen dem Piezoaktor 10 und dem Druckübertragungsmedium 40 angeordnete Funktionsschicht 50, mit der eine in Stapelrichtung 20 auftretende Dehnung des Piezoaktors 10 innerhalb der Funktionsschicht 50 mit zunehmender Entfernung vom Piezoaktor 10 senkrecht zur Stapelrichtung 20 reduzierbar ist.

Description

  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Piezoaktor mit Verkapselung, insbesondere einen Vielschichtaktor.
  • 2. Hintergrund der Erfindung
  • Piezokeramische Multilayer-Aktoren bestehen aus alternierend angeordneten Schichten aus Piezokeramik- und Innenelektrodenmaterial. Die Innenelektroden reichen dabei bis zu den Stack-Seitenflächen, um eine größtmögliche aktive Fläche pro Bauvolumen zu erreichen. Diese elektrisch unter einer hohen Feldbelastung stehenden Seitenflächen führen aber zusammen mit den in monolithischen Multilayer-Piezostacks normalerweise auftretenden Polungsrissen dazu, dass solche Piezoaktoren nicht direkt in elektrisch leitenden Flüssigkeiten betrieben werden können.
  • Insbesondere bei gewünschtem Betrieb des Piezoaktors in Kraftstoffen, z. B. Direkteinspritzsysteme im Automobilbereich, die üblicherweise immer gewisse Anteile an Wasser oder Additiven aufweisen, ist daher eine elektrische Passivierung des Piezostacks gegenüber seiner Umgebung zwingend erforderlich. Soll der Piezoaktor zusätzlich im Hochdruckbereich dieser Injektoren betrieben werden (Drücke bis ca. 2000 bar), besteht eine bekannte Anordnung darin, den Piezostack in ein hermetisch dichtes metallisches Gehäuse einzubringen. Das metallische Gehäuse, beispielsweise Dehn- oder Wellrohr, behindert die Nutzdehnung des Piezoaktors nicht. Derartige Rohre weisen eine hohe radiale Eigensteifigkeit auf, müssen jedoch in axialer Richtung flexibel sein, da durch den anliegenden Hochdruck sowie die erwünschte Dehnung des Piezostacks Längenänderungen im Bereich von > 100 μm ermöglicht werden müssen.
  • Da ein äußerer Druck von ca. 2000 bar jedoch von einem solchen Metallrohr ertragen werden soll, ist es notwendig, ein Medium in den Raum zwischen Rohrmantel-Innenseite und Piezostack-Oberfläche einzubringen, das den äußeren Druck auf die sehr steife Piezokeramik ableitet. Auf diese Weise wird die im Metallrohr entstehende Druckdifferenz gering gehalten. Dieses Medium soll aber die bei Druckänderung und elektrischer Ansteuerung auftretenden Längenänderungen des Piezostacks in axialer Richtung möglichst wenig beeinflussen.
  • Ein weiteres Ziel dieses Druckübertragungsmediums ist, den Piezostack unter quasi-isostatischen allseitigen Druck zu setzen, da bei größeren anliegenden Druckunterschieden in unterschiedlichen Richtungen des Piezostacks irreversible Domänenschaltprozesse stattfinden. Diese beeinflussen negativ die Nutzdehnung des Piezostacks sowie dessen Drift- und Alterungsverhalten.
  • Ein bekannter Piezoaktor mit Verkapselung ist in der deutschen Patentanmeldung 10 2006 006 076.8 offenbart. Diese Anordnung nutzt ein massives Druckübertragungsmedium zur Abstützung eines umgebenden Wellrohrs auf dem mittig angeordneten Piezoaktor. Das massive Übertragungsmedium stützt sich beispielsweise über ein Gleitlager, Wälzlager oder eine Teflonschicht an der Oberfläche des Piezoaktors ab. Trotz Gleitlager, Wälzlager und Teflonschicht, die eine möglichst reibungslose Längsdehnung des Piezoaktors gewährleisten sollen, kommt es zu Klemmungen durch die über das Übertragungsmedium übertragenen äußeren Druckspannungen, die die Nutzdehnung des Piezoaktors verringern. Des Weiteren sind Gleit- und Wälzlager aufwendig in ihrer Konstruktion und stellen einen beachtlichen Kostenpunkt bei der Herstellung von Piezoaktoren mit Verkapselung dar.
  • Es ist daher das Problem der vorliegenden Erfindung, einen Piezoaktor mit Verkapselung bereitzustellen, der einen verbesserten Betrieb im Vergleich zum Stand der Technik gewährleistet.
  • 3. Zusammenfassung der Erfindung
  • Das obige Problem wird durch einen Piezoaktor mit Verkapselung gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterentwicklungen der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung, der Zeichnung und den anhängenden Ansprüchen hervor.
  • Der erfindungsgemäße Piezoaktor mit Verkapselung umfasst einen Piezoaktor mit einer Mehrzahl in Stapelrichtung übereinander angeordneter piezokeramischer Schichten, ein den Piezoaktor zumindest parallel zur Stapelrichtung umgebendes Metallrohr, so dass ein mechanischer Schutz und eine chemische Isolation des Piezoaktors gegen ein umgebendes Medium gewährleistet ist, ein zwischen dem Piezoaktor und dem Metallrohr angeordnetes Druckübertragungsmedium, so dass eine auf das Metallrohr wirkende mechanische Belastung auf den Piezoaktor übertragbar ist, und eine zwischen dem Piezoaktor und dem Druckübertragungsmedium angeordnete Funktionsschicht, die derart aufgebaut ist, dass eine in Stapelrichtung auftretende Dehnung des Piezoaktors innerhalb der Funktionsschicht mit zunehmender Entfernung vom Piezoaktor senkrecht zur Stapelrichtung reduzierbar ist.
  • Mit Hilfe der obigen Anordnung wird ein Piezoaktor bereitgestellt, dessen uneingeschränkter Betrieb beispielsweise auch in einem Kraftstoffbad und unter dem Einfluss von Hochdruck gewährleistet ist. Dies wird vor allem dadurch ermöglicht, dass sich das nach außen den Piezoaktor schützende Metallrohr oder Wellrohr mit Hilfe des Druckübertragungsmediums auf dem Piezoaktor abstützen kann. Dadurch werden einerseits Schutz und andererseits mechanische Stabilität des Piezoaktors mit Verkapselung sichergestellt. Des Weiteren verhindert die innerhalb der Verkapselung angeordnete Funktionsschicht, dass der Piezoaktor durch die von dem umgebenden Medium aufgebrachten Druckkräfte klemmend in seinem Betrieb behindert wird. Diese Funktionsschicht lässt auf Grundlage von Werk stoffauswahl und innerer Struktur eine optimale Dehnung des Piezoaktors in Stapelrichtung zu, während gleichzeitig senkrecht zur Stapelrichtung innerhalb der Funktionsschicht diese Dehnungen reduziert werden. Dadurch stellt die Funktionsschicht eine ausreichende Bewegungsfähigkeit des Piezoaktors trotz der von außen einwirkenden Druckbelastungen innerhalb der Verkapselung sicher.
  • Gemäß einer Ausführungsform besteht die Funktionsschicht aus einem polymeren oder metallischen oder keramischen Material. Es ist des Weiteren bevorzugt, das Material der Funktionsschicht mit Verstärkungselementen zu verstärken, so dass anisotrope Schichteigenschaften parallel und senkrecht zur Stapelrichtung erzeugt werden. Gemäß einer Ausführungsform besteht die Funktionsschicht daher aus einem polymeren Material mit einer Mehrzahl von Plättchen, die annähernd senkrecht zur Stapelrichtung (20) angeordnet sind, so dass innerhalb der Funktionsschicht Druckkräfte senkrecht zur Stapelrichtung übertragbar und Dehnungen parallel zur Stapelrichtung abbaubar sind.
  • Gemäß einer weiteren Alternative der vorliegenden Erfindung besteht die Funktionsschicht aus elektrisch isolierendem Material, so dass sie eine elektrische Isolation oder Passivierung des Piezoaktors gegenüber dessen Umgebung gewährleistet.
  • Bei Ausbildung der Funktionsschicht aus elektrisch isolierendem Material übernimmt die Funktionsschicht sowohl mechanische als auch elektrische Eigenschaften. Dies reduziert einerseits den Herstellungsaufwand des Piezoaktors mit Verkapselung und minimiert zudem dessen Platzbedarf bei einem späteren Einbau. Gemäß einer Weiterentwicklung der Materialgestaltung der Funktionsschicht ist diese derart ausgebildet, dass sie weder in mögliche Polungsrisse oder andere Oberflächenschädigungen des Piezoaktors eindringt, und dadurch die Gewährleistung einer hohen Lebensdauer des Piezoaktors unterstützt.
  • Gemäß einer weiteren Alternative des Piezoaktors wird die elektrische Isolation des Piezoaktors durch eine zwischen Funktionsschicht und Piezoaktor angeordnete Isolationsschicht bereitgestellt.
  • Das oben genannte Druckübertragungsmedium zur Abstützung des Metallrohrs auf dem Piezoaktor besteht bevorzugt aus einem Schaum-, Geflecht- oder Gewebekörper, so dass in Richtung des Metallrohrs Stützpunkte, -linien und/oder -flächen vorhanden sind.
  • 4. Kurze Beschreibung der begleitenden Zeichnung
  • Die vorliegende Erfindung wird unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung näher erläutert. Diese zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einer schematischen Schnittdarstellung parallel zur Stapelrichtung des Piezoaktors.
  • 5. Detaillierte Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen
  • Die Figur zeigt eine bevorzugte Ausführungsform des Piezoaktors mit Verkapselung 1. Im Zentrum der Figur ist ein Piezoaktor 10, insbesondere ein Vielschichtaktor, dargestellt. Der Piezoaktor 10 umfasst eine Mehrzahl piezokeramischer Schichten 12, die in einer Stapelrichtung 20 übereinander angeordnet sind. Zwischen zwei benachbarten piezokeramischen Schichten 12 befindet sich jeweils eine Innenelektrode 14. Gemäß der hier gezeigten Ausführungsform bedecken die Innenelektroden 14 nur eine Teilfläche der angrenzenden piezokeramischen Schichten 12, so dass die Innenelektroden 14 über eine großflächige Außenmetallisierung 16 kontaktierbar sind. Es ist ebenfalls denkbar, die Innenelektroden 14 vollflächig auszubilden, so dass ein vollaktiver Piezoaktor 10 entsteht. Bei einem vollaktiven Piezoaktor würde bevorzugt eine individuelle Kontaktierung der Innenelektroden 14 erfolgen.
  • In Stapelrichtung 20 gesehen befindet sich am oberen Ende des Piezoaktors 10 eine Kopfplatte 70, während am unteren Ende des Piezoaktors 10 eine Bodenplatte 80 angeordnet ist.
  • Die Verkapselung des Piezoaktors 10 wird angrenzend an ein umgebendes Medium (nicht gezeigt) durch ein Metallrohr 30 gebildet. Das Metallrohr 30 ist gemäß einer Alternative ein zylindrisches Rohr mit glatten Seitenflächen parallel zur Stapelrichtung 20. Gemäß einer weiteren Alternative wird das Metallrohr 30 durch ein Wellrohr mit einer wellenförmigen äußeren Oberfläche gebildet. Die Wellenform dient der Aufnahme von Druckspannungen des umgebenden Mediums, die zur Entlastung des Piezoaktors 10 in Biegebelastungen umgewandelt werden. Ist das umgebende Medium chemisch aggressiv, wie beispielsweise Dieselkraftstoff, stellt ein chemisch resistentes Metall den geeigneten Werkstoff für das Metallrohr 30 dar. Es ist ebenfalls denkbar, das Metallrohr 30 mit einer zusätzlichen äußeren Schutzschicht, beispielsweise aus Kunststoff oder einem anderen geeigneten Material, zu versehen, um die Widerstandsfähigkeit der Verkapselung zu steigern.
  • Das Metallrohr 30 ist bevorzugt hermetisch dicht mit der Kopfplatte 70 und der Bodenplatte 80 verbunden. Eine derartige Verbindung lässt sich durch Schweißung oder andere geeignete Verbindungsverfahren herstellen.
  • Die vorliegende Erfindung umfasst des Weiteren ein zwischen dem Piezoaktor 10 und dem Metallrohr 30 angeordnetes Druckübertragungsmedium 40. Das Druckübertragungsmedium 40 überträgt mechanische Belastungen des umgebenden Mediums von dem Metallrohr 30 auf den Piezoaktor 10, so dass sich das Metallrohr 30 am Piezoaktor 10 abstützt. Das Druckübertragungsmedium 40 weist eine hohe Steifigkeit senkrecht zur Stapelrichtung 20 und eine geringe Steifigkeit parallel zur Stapelrichtung 20 auf. Basierend auf der hohen Steifigkeit senkrecht zur Stapelrichtung 20 werden die außen an der Verkapselung anliegenden mechanischen Belastungen, beispielsweise Hochdruck innerhalb eines Kraftstoffbads, auf den Piezoaktor 10 verteilt. Die im Vergleich dazu geringe Steifigkeit des Druckübertragungsmediums 40 parallel zur Stapelrichtung 20 dient dazu, den Betrieb des Piezoaktors 10 so wenig wie möglich einzuschränken. Die Oberfläche des Druckübertragungsmediums 40 in Richtung des Piezoaktors 10 als auch in Richtung des Metallrohrs 30 weist Stützpunkte, Stützlinien und/oder Stützflächen auf, die typischerweise weniger als 200 μm voneinander beabstandet sind. Die Stützstrukturen dienen dazu, die von außen auf die Verkapselung aufgebrachten mechanischen Belastungen möglichst gleichmäßig auf das Druckübertragungsmedium 40 zu verteilen. Dies verhindert einerseits eine irreversible Deformation oder Zerstörung der Stützstrukturen bzw. des Druckübertragungsmediums 40 sowie eine plastische Verformung des Metallrohrs 30.
  • Die Stützstrukturen des Druckübertragungsmediums 40 werden gemäß verschiedener Ausführungsformen aus mikroporösen und gegebenenfalls segmentierten Schaum-, Geflecht- oder Gewebekörpern gebildet. Diese sind aus einem polymeren, metallischen, glasartigen oder keramischen Werkstoff hergestellt. Weitere Ausgestaltungen der Stützstrukturen und Werkstoffe des Druckübertragungsmediums 40 gehen aus der Patentanmeldung 10 2006 006 076.8 hervor.
  • Der Piezoaktor mit Verkapselung 1 umfasst des Weiteren eine Isolationsschicht 60, die auf der Oberfläche des Piezoaktors 10 parallel zur Stapelrichtung 20 angeordnet ist. Die Isolationsschicht 60 wird als eine dünne polymere, glasartige oder keramische Passivierungsschicht aufgebracht. Sie gewährleistet eine elektrische Isolation des Piezoaktors 10 gegenüber der Umgebung, während gleichzeitig die Betriebsdehnung des Piezoaktors 10 ohne Zerstörung der Isolationsschicht 60 sichergestellt ist. Die Isolationsschicht 60 weist zudem eine hohe mechanische Stabilität gegen punktuelle mechanische Druckspannungen auf, so dass sie den mechanischen Belastungen durch das Druckübertragungsmedium 40 widersteht.
  • Das Material der Isolationsschicht 60 ist bevorzugt derart ausgewählt, dass es beispielsweise trotz hoher äußerer Drücke nicht in Risse; Poren oder Oberflächenschädigungen des Piezoaktors 10 eindringt und dadurch ein Versagen des Piezoaktors 10 unterstützt. Dies gilt beispielsweise für Rissöffnungen im Bereich von 1 bis 20 μm.
  • Der Piezoaktor mit Verkapselung 1 umfasst zudem eine zwischen dem Piezoaktor 10 und dem Druckübertragungsmedium 40 angeordnete Funktionsschicht 50. Diese Funktionsschicht 50 ist derart aufgebaut, dass Dehnungen des Piezoaktors parallel zur Stapelrichtung 20 nicht behindert werden und diese Dehnungen senkrecht zur Stapelrichtung innerhalb der Funktionsschicht 50 mit zunehmender Entfernung vom Piezoaktor 10 abgebaut werden. Auf diese Weise werden die Nutzdehnung des Piezoaktors 10 und durch Setzen und Druckeinfluss hervorgerufene reversible Längenänderungen des Piezoaktors 10 senkrecht zur Stapelrichtung 20 sukzessive abgebaut. Dies gilt ebenfalls für im Polungsrissbereich entstehende irreversible und reversible höhere Dehnungen des Piezoaktors 10.
  • Gemäß verschiedener Ausführungsformen besteht die Funktionsschicht 50 aus einem polymeren, metallischen oder keramischen Material. Basierend auf ihrer Materialauswahl und Anordnung verhindert die Funktionsschicht 50 eine Klemmung des Piezoaktors 10 durch die über das Druckübertragungsmedium 40 auf den Piezoaktor 10 übertragenen Druckspannungen. Dies wird beispielsweise dadurch realisiert, dass die Funktionsschicht 50 mit hoher Flexibilität auf Scherbelastungen reagiert, so dass sich der Piezoaktor 10 trotz äußerer Druckbelastungen nahezu uneingeschränkt in Stapelrichtung 20 dehnen kann. Gemäß einer weiteren Alternative der Funktionsschicht 50 ist diese mit Verstärkungselementen, wie Plättchen oder Fasern, verstärkt. Die Plättchen oder Fasern sind gemäß einer Ausführungsform annähernd senkrecht zur Stapelrichtung 20 oder miteinander verschachtelt innerhalb der Funktionsschicht 50 angeordnet, so dass senkrecht zur Stapelrichtung 20 auftretende Druckkräfte übertragbar und Dehnungen abbaubar sind.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform besteht die Funktionsschicht 50 aus elektrisch nicht leitendem Material. Basierend auf dieser Materialauswahl werden die Funktionsschicht 50 und die Isolationsschicht 60 durch eine gemeinsame Schicht gebildet, sofern die Funktionsanforderungen an die einzelnen Schichten innerhalb der gemeinsamen Schicht erfüllt sind.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist der verbleibende Raum zwischen Piezoaktor 10, Druckübertragungsmedium 40 und Innenseite des Metallrohrs 30 durch ein Füllmedium ausgefüllt. Ein temperaturbeständiges, gut wärmeleitendes und gegebenenfalls elektrisch isolierendes Material bildet ein derartiges Füllmedium, wie beispielsweise Wärmeleit-Silikon-Elastomer oder Silikonöl.
  • Zur weiteren Optimierung der oben beschriebenen Konstruktion des Piezoaktors mit Verkapselung 1 werden ergänzend aus den Bereichen Leichtbau sowie Luft- und Raumfahrt bekannte Lösungen für hochfeste und gleichzeitig flexible Konstruktionswerkstoffe auf die speziellen Anforderungen des Piezoaktors mit Verkapselung 1 angewandt.

Claims (7)

  1. Piezoaktor mit Verkapselung (1), insbesondere ein Vielschichtaktor, der die folgenden Merkmale aufweist: a. einen Piezoaktor (10) mit einer Mehrzahl in Stapelrichtung (20) übereinander angeordneter piezokeramischer Schichten (12), b. ein den Piezoaktor (10) zumindest parallel zur Stapelrichtung (20) umgebendes Metallrohr (30), so dass ein mechanischer Schutz und eine chemische Isolation des Piezoaktors (10) gegen ein umgebendes Medium gewährleistet ist, c. ein zwischen dem Piezoaktor (10) und dem Metallrohr (30) angeordnetes Druckübertragungsmedium (40), so dass eine auf das Metallrohr (30) wirkende mechanische Belastung auf den Piezoaktor (10) übertragbar ist, und d. eine zwischen dem Piezoaktor (10) und dem Druckübertragungsmedium (40) angeordnete Funktionsschicht (50), die derart aufgebaut ist, dass eine in Stapelrichtung (20) auftretende Dehnung des Piezoaktors (10) innerhalb der Funktionsschicht (50) mit zunehmender Entfernung vom Piezoaktor (10) senkrecht zur Stapelrichtung (20) reduzierbar ist.
  2. Piezoaktor mit Verkapselung (1) gemäß Anspruch 1, dessen Funktionsschicht (50) aus einem polymeren oder metallischen oder keramischen Material aufgebaut ist.
  3. Piezoaktor mit Verkapselung (1) gemäß Anspruch 1, dessen Funktionsschicht (50) aus einem polymeren Material mit einer Mehrzahl von Plättchen besteht, die annähernd senkrecht zur Stapelrichtung (20) angeordnet sind, so dass innerhalb der Funktionsschicht (50) senkrecht zur Stapelrichtung (20) Druckkräfte übertragbar und Dehnungen abbaubar sind.
  4. Piezoaktor mit Verkapselung (1) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dessen Funktionsschicht (50) elektrisch isolierend ist, so dass eine elektrische Isolation des Piezoaktors (10) gegenüber dessen Umgebung gewährleistet ist.
  5. Piezoaktor mit Verkapselung (1) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, der weiterhin eine zwischen Piezoaktor (10) und Funktionsschicht (50) angeordnete Isolationsschicht (60) aufweist, so dass eine elektrische Isolation des Piezoaktors (10) gegenüber dessen Umgebung gewährleistet ist.
  6. Piezoaktor mit Verkapselung (1) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dessen Druckübertragungsmedium (40) aus einem Schaum-, Geflecht- oder Gewebekörper besteht, so dass in Richtung des Metallrohrs (30) Stützpunkte, -linien und/oder -flächen vorhanden sind, so dass das Metallrohr (30) auf dem Piezoaktor (10) abstützbar ist.
  7. Piezoaktor mit Verkapselung (1) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dessen Raum zwischen Piezoaktor (10) und Druckübertragungsmedium (40) und/oder Metallrohr (30) ein Füllmedium aufweist.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008003821A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Epcos Ag Piezoelektrische Aktoreinheit
JP2012070545A (ja) * 2010-09-24 2012-04-05 Toyoda Gosei Co Ltd アクチュエータ
DE102010050266A1 (de) 2010-11-02 2012-05-03 Epcos Ag Aktoreinheit, Verfahren zur Fertigung einer Aktoreinheit und Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors
DE102010050265A1 (de) 2010-11-02 2012-05-03 Epcos Ag Verfahren zur Herstellung einer Aktoreinheit sowie Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors
DE102011014446A1 (de) 2011-03-18 2012-09-20 Epcos Ag Piezoaktor und Verfahren zur Kontaktierung eines Piezoaktors
DE102011014447A1 (de) 2011-03-18 2012-09-20 Epcos Ag Piezoaktor und Verfahren zur Kontaktierung eines Piezoaktors
CN105284041A (zh) * 2013-06-17 2016-01-27 西门子公司 用于提升对象的装置和方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19818068A1 (de) * 1998-04-22 1999-10-28 Siemens Ag Piezoelektronischer Aktor für einen Stellantrieb
DE19928183A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10025997A1 (de) * 2000-05-25 2001-12-06 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10237587A1 (de) * 2002-08-16 2004-02-26 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE10328373A1 (de) * 2003-06-24 2005-02-03 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Temperiervorrichtung und Verwendung des Bauteils

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19818068A1 (de) * 1998-04-22 1999-10-28 Siemens Ag Piezoelektronischer Aktor für einen Stellantrieb
DE19928183A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10025997A1 (de) * 2000-05-25 2001-12-06 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10237587A1 (de) * 2002-08-16 2004-02-26 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE10328373A1 (de) * 2003-06-24 2005-02-03 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Temperiervorrichtung und Verwendung des Bauteils

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8129884B2 (en) 2008-01-10 2012-03-06 Epcos Ag Piezoelectric actuator unit including a casting compound disposed in a sleeve
DE102008003821A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Epcos Ag Piezoelektrische Aktoreinheit
US8754572B2 (en) 2010-09-24 2014-06-17 Toyoda Gosei Co., Ltd. Actuator
JP2012070545A (ja) * 2010-09-24 2012-04-05 Toyoda Gosei Co Ltd アクチュエータ
DE102010050266A1 (de) 2010-11-02 2012-05-03 Epcos Ag Aktoreinheit, Verfahren zur Fertigung einer Aktoreinheit und Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors
WO2012059380A1 (de) 2010-11-02 2012-05-10 Epcos Ag Aktoreinheit, verfahren zur fertigung einer aktoreinheit und hülse zur aufnahme eines piezoaktors
WO2012059378A1 (de) 2010-11-02 2012-05-10 Epcos Ag Verfahren zur herstellung einer aktoreinheit sowie hülse zur aufnahme eines piezoaktors
DE102010050265A1 (de) 2010-11-02 2012-05-03 Epcos Ag Verfahren zur Herstellung einer Aktoreinheit sowie Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors
US9412933B2 (en) 2010-11-02 2016-08-09 Epcos Ag Method for producing an actuator unit and sleeve for receiving a piezoactuator
US9466780B2 (en) 2010-11-02 2016-10-11 Epcos Ag Actuator unit, method for producing an actuator unit, and sleeve for accommodating a piezoactuator
DE102011014446A1 (de) 2011-03-18 2012-09-20 Epcos Ag Piezoaktor und Verfahren zur Kontaktierung eines Piezoaktors
DE102011014447A1 (de) 2011-03-18 2012-09-20 Epcos Ag Piezoaktor und Verfahren zur Kontaktierung eines Piezoaktors
CN105284041A (zh) * 2013-06-17 2016-01-27 西门子公司 用于提升对象的装置和方法
CN105284041B (zh) * 2013-06-17 2017-11-17 西门子公司 用于提升对象的装置和方法
US10171009B2 (en) 2013-06-17 2019-01-01 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus and method for lifting objects

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