KR101761976B1

KR101761976B1 - 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치

Info

Publication number: KR101761976B1
Application number: KR1020137006840A
Authority: KR
Inventors: 미치노부 미즈무라
Original assignee: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Priority date: 2010-08-19
Filing date: 2011-07-22
Publication date: 2017-07-26
Also published as: CN103052917A; TWI536114B; JP5704525B2; WO2012023381A1; KR20130132770A; JP2012042765A; TW201219993A; CN103052917B; US9069251B2; US20130135602A1

Abstract

마이크로 렌즈 어레이를 사용한 노광 장치에 있어서, 노광 장치 특성 및 온도 조건 등의 제조 조건의 변동에 기인하여, 피 노광 기판의 크기의 변동이 발생해도, 마스크 패턴의 상을 소정 위치에 맞출 수 있는 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치를 제공한다. 스캔 노광 장치는, 복수개의 마이크로 렌즈 어레이(2)가, 노광해야 할 기판(1)의 상방에, 스캔 방향에 수직한 방향으로 배열되어 지지 기판에 지지되어 있다. 그리고, 각 마이크로 렌즈 어레이는, 그 배열 방향에 대하여, 노광 기판에 평행한 방향으로부터 경사시킬 수 있도록 지지 기판에 지지되어 있다. 이들의 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도는 상기 배열 방향에 관하여, 서서히 커지거나 또는 작아지도록 구성되어 있다.

Description

마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치{SCANNING EXPOSURE APPARATUS USING MICROLENS ARRAY}

본 발명은 마이크로 렌즈를 2차원적으로 배열한 마이크로 렌즈 어레이에 의해 마스크 패턴을 기판 상에 노광하는 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치에 관한 것이다.

박막 트랜지스터 액정 기판 및 컬러 필터 기판 등은 글래스 기판 위에 형성된 레지스트막 등을 수회, 중첩 노광하여, 소정의 패턴을 형성한다. 이러한 피노광 기판은, 그 성막 과정에서, 연장 축소되는 경우가 있고, 중첩 노광의 하층 패턴이, 제조 조건(노광 장치 특성 및 온도 조건)에 의해, 설계상의 피치와 상이하게 되는 경우가 있다. 이러한 중첩 노광에 있어서, 노광 위치의 피치의 변화가 발생하면, 이 피치의 변화는, 노광 장치측에서 배율 보정을 하여, 흡수할 수 밖에 없었다. 즉, 피 노광 기판의 치수 변동이 발생했을 경우, 피치가 어긋난 분을, 상의 배율을 조정함으로써, 이 상을 변동후의 피치의 기판상의 소정 위치의 중앙에 배치 할 필요가 있다.

한편, 최근, 마이크로 렌즈를 2차원적으로 배치한 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치가 제안되어 있다(특허문헌 1). 이 스캔 노광 장치에 있어서는, 복수개의 마이크로 렌즈 어레이를 일방향으로 배열하고, 이 배열 방향에 수직한 방향으로 기판 및 마스크를, 마이크로 렌즈 어레이 및 노광 광원에 대하여, 상대적으로 이동시킴으로써, 노광 광이 마스크를 스캔하여, 마스크의 구멍에 형성된 노광 패턴을 기판 상에 결상시킨다.

일본 특허 출원 공개 제2007-3829호

그러나, 이 종래의 스캔 노광 장치에 있어서는, 이하에 나타내는 문제점이 있다. 통상의 렌즈를 조합해서 사용한 투영 광학계를 사용한 노광 장치에 있어서는, 렌즈의 간격을 조정하는 등에 의해, 배율을 조정하는 것은 용이하다. 그러나, 마이크로 렌즈의 경우에는, 두께가 예를 들어 4㎜의 판의 내부에, 8개의 렌즈를 광축방향으로 배치함으로써, 정립 등배상을 기판 상에 결상시키도록 한 것이므로, 배율의 조정을 할 수 없다. 따라서, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치에 있어서는, 피 노광 기판의 피치 변경에 대응할 수 없다고 하는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 노광 장치에 있어서, 노광 장치 특성 및 온도 조건 등의 제조 조건의 변동에 기인하여, 피 노광 기판의 크기의 변동이 발생해도, 마스크 패턴의 상을 소정 위치에 맞출 수 있는 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명에 관한 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치는, 노광해야 할 기판의 상방에 배치되고, 마이크로 렌즈가 2차원적으로 배치된 복수개의 마이크로 렌즈 어레이와, 이 마이크로 렌즈 어레이의 상방에 배치되어 소정의 노광 패턴이 형성된 마스크와, 이 마스크에 대하여 노광 광을 조사하는 노광 광원과, 상기 마이크로 렌즈 어레이와 상기 기판 및 상기 마스크를 상대적으로 일방향으로 이동시키는 이동 장치를 갖고, 상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이는, 지지 기판 상에, 상기 일방향에 수직한 방향으로 배치되어 있고, 각 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 지지 기판에 대하여 그 배치 방향에 관해 피 노광 기판에 평행한 방향으로부터 경사시킬 수 있도록 지지되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 마이크로 렌즈 어레이는, 그 경사 각도가, 상기 배치 방향에 관해 서서히 커지거나, 또는 작아지도록 구성할 수 있다.

또한, 상기 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 일방향으로 2열로 배치되고, 각 마이크로 렌즈 어레이는 상기 지지 기판상에서 지그재그로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 단, 마이크로 렌즈 어레이는 반드시 지그재그로 배치되어 있을 필요는 없다.

또한, 예를 들어, 상기 마이크로 렌즈는 상기 마스크의 노광 패턴의 정립 등배상을 상기 기판 상에 투영한다.

또한, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도의 조정은, 상기 피 노광 기판에 이미 형성되어 있는 하층 패턴의 토털 피치를 미리 측정해 두고, 노광 패턴의 피치를 이 하층 패턴의 토털 피치에 맞추도록 행할 수 있다.

본 발명에 따르면, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 노광 장치에 있어서, 복수의 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도를 서로 상이하게 함으로써, 마이크로 렌즈를 투과한 정립 등배율의 상의 배율을 의사적으로 용이하게 변경할 수 있고, 중첩 노광에 있어서의 노광 위치의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 노광 장치의 1개의 마이크로 렌즈 어레이의 부분을 도시하는 종단면도이다.
도 2는 이 마이크로 렌즈 어레이가 복수개 배열되어 있는 상태를 도시하는 사시도이다.
도 3은 마이크로 렌즈를 도시하는 도면이다.
도 4의 (a), (b)는 그 조리개를 도시하는 도면이다.
도 5는 마이크로 렌즈 어레이의 노광 영역을 도시하는 도면이다.
도 6은 마이크로 렌즈 어레이끼리의 관계를 도시하는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 첨부의 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 노광 장치의 1개의 마이크로 렌즈 어레이의 부분을 도시하는 종단면도이며, 도 2는 이 마이크로 렌즈 어레이가 복수개 배열되어 있는 상태를 도시하는 사시도이며, 도 3은 마이크로 렌즈를 도시하는 도면이며, 도 4의 (a), (b)는 그 조리개를 도시하는 도면이며, 도 5는 마이크로 렌즈 어레이의 노광 영역을 도시하는 도면이며, 도 6은 마이크로 렌즈 어레이끼리의 관계를 도시하는 도면이다.

글래스 기판 등의 피 노광 기판(1)의 상방에, 마이크로 렌즈(2a)가 2차원적으로 배치되어서 구성된 마이크로 렌즈 어레이(2)가 배치되고, 또한 이 마이크로 렌즈 어레이(2) 위에 마스크(3)가 배치되고, 마스크(3)의 상방에 노광 광원(4)이 배치되어 있다. 마스크(3)는 투명 기판(3a)의 하면에 Cr막(3b)으로 이루어지는 차광막이 형성되어 있어서, 노광 광은 이 Cr막(3b)에 형성된 구멍을 투과해서 마이크로 렌즈 어레이(2)에 의해 기판 상에 집속한다. 본 실시형태에 있어서는, 예를 들어, 마이크로 렌즈 어레이(2) 및 노광 광원(4)이 고정되어 있고, 기판(1) 및 마스크(3)가 동기해서 화살표(5) 방향으로 이동함으로써, 노광 광원(4)으로부터의 노광 광이 마스크(3)를 투과해서 기판(1) 위를 화살표(5) 방향으로 스캔한다. 이 기판(1) 및 마스크(3)의 이동은 적당한 이동 장치의 구동원에 의해 구동된다. 또한, 기판(1) 및 마스크(3)를 고정하고, 마이크로 렌즈 어레이(2) 및 노광 광원(4)을 이동시키는 것으로서도 좋다.

도 2에 도시한 바와 같이, 마이크로 렌즈 어레이(2)는, 지지 기판(6)에, 스캔 방향(5)에 수직한 방향으로 예를 들어 4개씩 2열로 배치되어 있고, 이들 마이크로 렌즈 어레이(2)는, 스캔 방향(5)에서 볼 때, 전단의 4개의 마이크로 렌즈 어레이(2)의 상호간에, 후단의 4개의 마이크로 렌즈 어레이(2) 중 3개가 각각 배치되어, 2열의 마이크로 렌즈 어레이(2)가 지그재그로 배열되어 있다. 이에 의해, 2열의 마이크로 렌즈 어레이(2)에 의해, 기판(1)에 있어서의 스캔 방향(5)에 수직한 방향의 노광 영역의 전체 영역이 노광된다.

각 마이크로 렌즈 어레이(2)의 각 마이크로 렌즈(2a)는, 4매 8렌즈 구성이며, 4매의 마이크로 렌즈 어레이(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)가 적층된 구조를 갖는다. 각 마이크로 렌즈 어레이(2-1) 등은 2개의 렌즈로 구성되어 있다. 이에 의해, 노광 광은 마이크로 렌즈 어레이(2-2)와 마이크로 렌즈 어레이(2-3) 사이에서 일단 집속하고, 또한 마이크로 렌즈 어레이(2-4)의 하방의 기판상에서 결상한다. 그리고, 마이크로 렌즈 어레이(2-2)와 마이크로 렌즈 어레이(2-3) 사이에 6각 시야 조리개(12)가 배치되고, 마이크로 렌즈 어레이(2-3)와 마이크로 렌즈 어레이(2-4) 사이에 개구 조리개(11)가 배치되어 있다. 이들 6각 시야 조리개(12) 및 개구 조리개(11)는 마이크로 렌즈(2a) 마다 설치되어 있고, 각 마이크로 렌즈(2a)에 대해서 기판상의 노광 영역을 6각으로 정형하고 있다. 6각 시야 조리개(12)는, 예를 들어, 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 마이크로 렌즈(2a)의 렌즈 시야 영역(10) 중에 6각 형상의 개구로서 형성되고, 개구 조리개(11)는, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 마이크로 렌즈(2a)의 렌즈 시야 영역(10) 중에 원형의 개구로서 형성되어 있다. 6각 시야 조리개(12)는 예를 들어 도 4의 (a)에 도시하는 치수(㎜)를 갖는다.

그리고, 각 마이크로 렌즈 어레이(2)에 있어서, 마이크로 렌즈(2a)는 도 5에 도시하는 것과 같이 배치되어 있다. 즉, 마이크로 렌즈(2a)는 스캔 방향(5)에 대해서, 순차 약간 횡방향으로 어긋나서 배치되어 있다. 6각 시야 조리개(12)는, 중앙의 직사각형 부분(12a)과, 그 스캔 방향(5)에서 볼 때 양측의 삼각형 부분(12b, 12c)으로 나눠진다. 그리고, 도 5에 도시한 바와 같이, 스캔 방향(5)에 관하여, 1열째의 6각 시야 조리개(12)의 우측의 삼각형 부분(12c)이, 2열째의 6각 시야 조리개(12)의 좌측의 삼각형 부분(12b)과 겹치고, 1열째의 6각 조리개(12)의 좌측의 삼각형 부분(12b)이, 3열째의 6각 시야 조리개(12)의 우측의 삼각형 부분(12c)과 겹치도록, 이들 마이크로 렌즈(2a)가 배치되어 있다. 이와 같이 하여, 스캔 방향(5)에 관하여, 3열의 마이크로 렌즈(2a)가 1세트로 되어 배치된다. 즉, 4열째의 마이크로 렌즈(2a)는 스캔 방향(5)에 수직한 방향에 관하여, 1열째의 마이크로 렌즈(2a)와 동일 위치에 배치된다. 이때, 6각 시야 조리개(12)의 형상 치수가, 도 4에 도시하는 치수를 갖는 경우에는, 도 5에 도시한 바와 같이, 6각형의 각 코너부를 스캔 방향(5)으로 연결하는 선분(파선)은 0.03㎜의 등간격이 된다. 그렇다면, 삼각형 부분(12b)의 면적과 삼각형 부분(12c)의 면적을 가산하면, 중앙의 직사각형 부분(12a)의 면적과 동일해진다. 이로 인해, 기판(1)이 3열의 마이크로 렌즈(2a)의 스캔을 받으면, 이 스캔 방향(5)에 수직한 방향에 관하여, 그 전체 영역에서 균일한 광량의 노광을 받게 된다. 따라서, 각 마이크로 렌즈 어레이(2)는, 스캔 방향(5)에 관하여, 3의 정수배의 열의 마이크로 렌즈(2a)가 배치되어 있다.

그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 각 마이크로 렌즈 어레이(2)는 지지 기판(6)에 지지되어 있지만, 마이크로 렌즈 어레이(2)는 지지 기판(6)에 대하여, 스캔 방향(5)에 수직한 방향으로 경사시킬 수 있도록 지지되어 있다.

도 6에 도시한 바와 같이, 각 열 4매의 합계 8매의 마이크로 렌즈 어레이(2)는, 스캔 방향에 수직한 방향에 대하여, 임의의 경사 각도로 경사시킬 수 있다. 이러한 마이크로 렌즈 어레이(2)의 경사 구동은 피에조 압전 소자에 의해 행할 수 있다. 즉, 피에조 압전 소자에 전압을 인가하면, 그 인가 전압에 따라서 피에조 압전 소자가 변형하므로, 이것을 이용해서 마이크로 렌즈 어레이(2)의 각도를 변경시킬 수 있다. 또한, 도 6은 도 2의 전단의 마이크로 렌즈 어레이(2)와 후단의 마이크로 렌즈 어레이(2)를 교대로 도시한 것이며, 스캔 방향(5)에 대해서, 전단 및 후단의 마이크로 렌즈 어레이(2)를 본 것이다. 따라서, 도 6은 도 2의 절반의 마이크로 렌즈 어레이(2)를 도시하고 있다.

다음에, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시형태의 노광 장치의 동작에 대해서 설명한다. 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 노광 광원(4)으로부터 노광 광이 마스크(3)를 통해서 마이크로 렌즈 어레이(2)에 입사하면, 도립 등배의 상이 6각 시야 조리개(12)에 결상한다. 그리고, 이 6각 시야 조리개(12)에 의해, 각 마이크로 렌즈(2a)를 투과하는 노광 광이, 도 4의 (a)에 도시하는 6각형으로 정형되어, 도 5에 도시한 바와 같이, 기판(1) 상에 정립 등배상으로서, 투영된다.

그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 8매의 마이크로 렌즈 어레이(2)에 의해, 기판(1)의 스캔 방향(5)에 수직한 방향의 전 노광 영역이 균일 광량으로 노광된다. 그리고, 기판(1) 및 마스크(3)를, 스캔 방향(5)으로 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대하여 주사하면, 기판(1)의 전체면의 노광 영역이 균일 광량으로 노광된다. 이에 의해, 마스크(3)에 형성된 마스크 패턴이 기판(1) 상에 결상한다.

이때, 박막 트랜지스터 액정 기판 및 컬러 필터 기판 등의 글래스 기판에, 제조 과정에서 치수의 변화가 발생했을 경우에, 다중 노광에 있어서의 노광 패턴이 하층 패턴에 대하여 어긋나 버린다. 따라서, 도 6에 도시한 바와 같이, 가령, 피 노광 기판(1)의 크기가 커졌을 경우, 마이크로 렌즈 어레이(2)를 인접하는 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대하여 경사지게 한다. 그러면, 도 6에 도시하는 가장 우측의 마이크로 렌즈 어레이(2)는 피 노광 기판(1)에 평행해서, 노광 광이 마이크로 렌즈 어레이(2)에 수직으로 입사하지만, 그 왼쪽 옆의 마이크로 렌즈 어레이(2)는, 우측 단부의 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대하여 약간[수도(數度)의 1/1000 정도] 경사진다. 그러면, 이 마이크로 렌즈 어레이(2)를 투과한 노광 광은 기판(1)에 대하여 수직 방향으로부터 약간 경사진 방향으로 입사한다. 이와 같이 하여, 우측의 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대하여 왼쪽 옆의 마이크로 렌즈 어레이(2)를 보다 크게 경사시켜 감으로써, 가장 좌측의 마이크로 렌즈 어레이(2)는 수직 방향에 대하여 가장 크게 경사지고, 노광 광은 기판(1)에 대하여 수직 방향으로부터 가장 크게 경사져서 입사된다.

이에 의해, 각 마이크로 렌즈 어레이(2)로부터 기판(1) 상에 투영된 마스크(3)의 마스크 패턴(도면 중, □으로 도시함)은 각 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대해서 a의 영역에 투영된다. 이 경우에, 노광 광의 경사 각도는 각 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대해서 상이하지만, 노광 영역(a)은 경사 각도 자체가 지극히 작은 것이기 때문에, 각 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대해서 실질적으로 동일 치수이다. 그러나, 인접하는 마이크로 렌즈 어레이(2) 사이의 간격(b1, b2, b3)은 각 마이크로 렌즈 어레이(2)가 기판(1)에 수평인 경우의 간격에 비하여 크다. 이로 인해, 마스크(3)를 투과했을 때의 노광 광의 투과 영역은 기판(1) 상에 있어서 확대되어, 실질적으로 렌즈 배율이 증대한 효과를 얻을 수 있다. 이에 의해, 각 마스크 패턴의 상을 신장된 기판의 소정의 노광 영역의 중앙에 결상시킬 수 있고, 기판의 치수의 변동이 없었을 경우와 마찬가지로, 소정의 노광 영역의 중앙에 결상시킬 수 있다.

글래스 기판(1)의 스캔 방향(5)에 수직한 방향의 치수가 1m이며, 각 마이크로 렌즈 어레이(2)의 치수가 60㎜일 경우, 기판(1)의 전체 영역을 노광하기 위해서는 17매의 마이크로 렌즈 어레이(2)가 필요하다. 이러한 크기의 기판(1)에 있어서, 제조 조건(노광 장치 특성 및 온도 조건)에 의해, 설계값으로부터 6㎛ 정도, 신장되거나, 줄어들거나 한다. 이로 인해, 마이크로 렌즈 어레이(2)를 순차 조금씩 경사시켜 감으로써, 각 마이크로 렌즈 어레이가 수평인 경우에 비하여, 각 마이크로 렌즈 어레이(2) 사이의 간격을 0.375(6/16=0.375)㎛만큼 증가시킴으로써 투영 노광의 노광 영역의 배율을 의사적으로 올릴 수 있어, 기판(1)의 치수의 변동을 흡수할 수 있다. 이와 같이, 인접하는 마이크로 렌즈 어레이(2)에 대하여 0.375㎛만큼 간격을 수정하면 되므로, 이 정도의 간격 변경이면, 마이크로 렌즈 어레이(2)를 경사시키는 각도는 지극히 작아도 충분하다.

이와 같이 하여, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 노광 장치에 있어서, 그 투영상의 배율을 용이하게 변경할 수 있고, 중첩 노광에 있어서의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 각 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 지지 기판에 대하여 그 배치 방향에 관해 피 노광 기판에 평행한 방향으로부터 경사시킬 수 있도록, 예를 들어 압전 소자를 통해서, 지지 기판에 지지되어 있고, 이 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도는, 상기 실시형태에서는, 상기 배치 방향에 관하여, 서서히 커지도록 설정되었지만, 이 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도는 반대로 서서히 작아지도록 설정해도 좋다. 이 경우는, 피 노광 기판의 크기가 축소했을 경우에, 마이크로 렌즈 어레이로부터의 노광 광의 위치를 크기 변동후의 기판에 맞출 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 하여, 본 발명에 따르면, 다중 노광에 있어서, 기판의 치수의 변동이 발생해도, 그 노광 위치를 하층의 노광 패턴에 고정밀도로 맞출 수 있게 되지만, 구체적으로는 미리 하층 패턴의 토털 피치를 측정해 두고, 노광 패턴의 피치를 이 토털 피치에 맞추도록, 각 마이크로 렌즈의 경사 각도를 조정하여, 패턴 투영 위치를 미세 조정하는 것으로 해도 좋고, 또한 하층 패턴의 피치는 미리 측정하지 않고, 노광 장치내에서, 노광중에 하층 패턴과 노광 패턴의 위치 어긋남을 카메라에 의해 확인하고, 그 결과에 기초하여, 각 마이크로 렌즈의 경사 각도의 조정을 리얼 타임으로 행해도 된다. 또한, 토털 피치라함은, 스캔 방향(5)에 수직한 방향에 있어서의 양단부의 패턴간의 거리이다.

또한, 노광 광은 펄스 레이저 광 또는 수은 램프 등의 연속 광 등 다양한 것을 사용할 수 있다.

본 발명은, 스캔 노광 장치에 있어서, 중첩 노광할 때에, 마이크로 렌즈 어레이의 노광 배율을 조정할 수 있으므로, 하층 패턴의 피치 변동을 용이하게 흡수할 수 있다.

1 : 기판
2 : 마이크로 렌즈 어레이
2a : 마이크로 렌즈
2-1~2-4 : (구성) 마이크로 렌즈 어레이
3 : 마스크
3a : 투명 기판
3b : Cr막
4 : 노광 광원
5 : 스캔 방향
6 : 지지 기판
11 : 개구 조리개
12 : 6각 시야 조리개
12a : 직사각형 부분
12b, 12c : 삼각형 부분

Claims

노광해야 할 기판의 상방에 배치되고, 마이크로 렌즈가 2차원적으로 배치된 복수개의 마이크로 렌즈 어레이와, 이 마이크로 렌즈 어레이의 상방에 배치되어 소정의 노광 패턴이 형성된 마스크와, 이 마스크에 대하여 노광 광을 조사하는 노광 광원과, 상기 마이크로 렌즈 어레이와 상기 기판 및 상기 마스크를 상대적으로 일방향으로 이동시키는 이동 장치를 갖고, 상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이는, 지지 기판 상에, 상기 일방향에 수직한 방향으로 배치되어 있고, 각 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 지지 기판에 대하여 그 배치 방향에 관해 피 노광 기판에 평행한 방향으로부터 경사시킬 수 있도록 지지되어 있고,
상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이를 구성하는 각 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도의 조정은, 상기 피 노광 기판에 이미 형성되어 있는 하층 패턴의 토털 피치를 미리 측정해 두고, 노광 패턴의 피치를 이 하층 패턴의 토털 피치에 맞추도록 행하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치.
노광해야 할 기판의 상방에 배치되고, 마이크로 렌즈가 2차원적으로 배치된 복수개의 마이크로 렌즈 어레이와, 이 마이크로 렌즈 어레이의 상방에 배치되어 소정의 노광 패턴이 형성된 마스크와, 이 마스크에 대하여 노광 광을 조사하는 노광 광원과, 상기 마이크로 렌즈 어레이와 상기 기판 및 상기 마스크를 상대적으로 일방향으로 이동시키는 이동 장치를 갖고, 상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이는, 지지 기판 상에, 상기 일방향에 수직한 방향으로 배치되어 있고, 각 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 지지 기판에 대하여 그 배치 방향에 관해 피 노광 기판에 평행한 방향으로부터 경사시킬 수 있도록 지지되어 있고,
상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이를 구성하는 각 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도의 조정은, 노광중에 하층 패턴과 노광 패턴의 위치 어긋남을 카메라에 의해 확인하고, 노광 패턴을 이 하층 패턴에 맞추도록 행하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치.
노광해야 할 기판의 상방에 배치되고, 마이크로 렌즈가 2차원적으로 배치된 복수개의 마이크로 렌즈 어레이와, 이 마이크로 렌즈 어레이의 상방에 배치되어 소정의 노광 패턴이 형성된 마스크와, 이 마스크에 대하여 노광 광을 조사하는 노광 광원과, 상기 마이크로 렌즈 어레이와 상기 기판 및 상기 마스크를 상대적으로 일방향으로 이동시키는 이동 장치를 갖고, 상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이는, 지지 기판 상에, 상기 일방향에 수직한 방향으로 배치되어 있고, 각 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 지지 기판에 대하여 그 배치 방향에 관해 피 노광 기판에 평행한 방향으로부터 경사시킬 수 있도록 지지되어 있고,
상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이를 구성하는 각 마이크로 렌즈 어레이의 경사 각도의 조정은, 상기 기판의 크기의 변동에도 구애받지 않고, 마스크 패턴의 상이 상기 기판 상의 소정 위치에 일치하여 중첩 노광되도록 행하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수개의 마이크로 렌즈 어레이를 구성하는 각 마이크로 렌즈 어레이는, 그 경사 각도가, 상기 배치 방향에 관해 점차적으로 커지거나, 또는 작아지고 있는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는, 상기 일방향으로 2열로 배치되고, 각 마이크로 렌즈 어레이는 상기 지지 기판상에서 지그재그로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈는, 상기 마스크의 노광 패턴의 정립 등배상을 상기 기판 상에 투영하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈 어레이를 사용한 스캔 노광 장치.