KR101749915B1 - 운동-유도된 왜곡의 보정을 이용하여 높은 로봇 전달 속력들에서 작업부재 표면들을 영상화하기 위한 방법 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 31
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title abstract description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title description 11
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 49
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 41
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 213
- 239000010408 film Substances 0.000 description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 9
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 2
- 238000012625 in-situ measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000013213 extrapolation Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/20—Image preprocessing
- G06V10/24—Aligning, centring, orientation detection or correction of the image
- G06V10/243—Aligning, centring, orientation detection or correction of the image by compensating for image skew or non-uniform image deformations
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Abstract
작업부재가 로봇에 의해 운송되는 동안, 로봇의 작업부재 트랜싯 경로를 횡단하는 세장형의 정지된 시야의 연속적인 프레임들을 포착함으로써 작업부재를 영상화하기 위한 방법이 제공된다. 연속적인 프레임들의 작업부재 영상을 얻기 위해, 트랜싯 경로를 횡단하는 세장형의 조명 패턴을 이용하여 상기 로봇 트랜싯 경로가 조명된다. 트랜싯 경로를 따라 각각의 프레임들의 각각의 정확한 위치들을 연산함으로써 운동-유도된 영상 왜곡이 보정된다.
Description
본 발명은 운동-유도된 왜곡의 보정을 이용하여 높은 로봇 전달 속력들에서 작업부재 표면들을 영상화하기 위한 방법에 관한 것이다.
반도체 프로세싱에 있어서, 다수의 작업부재들을 동시에 프로세스할 수 있는 시스템들이 사용된다. 작업부재들은 초대규모 집적 회로들 또는 디스플레이 패널들 또는 솔라(solar) 어레이들의 제조를 위한 반도체 웨이퍼들일 수 있으며, 또는 작업부재들은 포토리소그래피(photolithography)에 사용되는 마스크(mask)들일 수 있다. 반도체 웨이퍼들에 대해, 웨이퍼들은 다수의 평행한 프로세싱 챔버들 또는 모듈들 중 임의의 하나로의 전달을 위해 팩토리(factory) 인터페이스를 통해 고속으로(예를 들어, 초당 1.7 m) 로봇에 의해(robotically) 전달될 수 있다. 각각의 프로세싱 챔버 내의 웨이퍼 지지 받침대(pedestal) 상에서 웨이퍼의 센터링(centering)은 중요하며 그리고 일관되어야만 한다. 예를 들어, 프로세싱 챔버들 중 하나는, 주변 지역의 막 증착을 방지하기 위해 웨이퍼 주변의 작은 환형 지역 또는 구역이 마스킹되어 있는 동안 웨이퍼 표면 상에 막(film)을 증착하는데 사용될 수 있다. 이 환형의 주변 지역은 또한 막 환형 배제(exclusion) 지역으로서 지칭될 수 있다. 막 증착 중의 포토리소그래피 마스킹에 의해 또는 다른 적절한 기술들에 의해, 환형의 주변 배제 지역의 막 증착이 방지될 수 있다. 예를 들어, 전체 웨이퍼 표면에 대한 막 증착에 이어 상기 환형의 주변 배제 지역으로부터 막 층이 제거될 수 있다. 반응기 챔버의 웨이퍼 지지 받침대 상의 웨이퍼 배치시의 임의의 에러 또는 불일치는, 막 층 경계부가 웨이퍼 엣지와 비-동심적으로(non-concentric) 되도록 할 수 있다. 이런 비-동심도(non-concentricity)는 웨이퍼 주변의 환형 배제 지역의 방사방향 폭이 방위각(azimuthal angle)에 따라 변화하게 할 수 있으므로, 일부 경우들에서 상기 환형 배제 지역의 폭은 요구되는 생산 사양(specification)들에 부응하는데 요구되는 폭보다 크거나 또는 작을 수 있다.
내부에서 막 층이 마스킹되거나 또는 증착되는 프로세싱 챔버로 또는 프로세싱 챔버로부터 웨이퍼가 전달될 때 막 층의 비-동심도를 검출함으로써, 웨이퍼 배치의 편차들 또는 에러의 조기 경고를 제공하도록 일부 시도들이 이루어져 왔다. 이들 기술들의 대부분은 프로세스 툴(tool) 외부에 있는 웨이퍼에 대한 측정들 또는 검출에 기초하고 있다. 제조 구역의 공간을 절약하고 그리고 더욱 시기적절한 결과들을 제공하기 위해, (비-동심도 또는 막이 없는 환형 지역의 폭과 같은) 웨이퍼 상의 특징부들의 인-시튜(in-situ) 측정들이 추구되어 왔다. 그러나, 막 엣지 배제 환형 지역의 폭 또는 동심도의 정확한 인-시튜 측정은, 웨이퍼가 전달되는 고속에 의해 방해받아 왔다. 이런 고속(및/또는 가속 또는 감속)은 웨이퍼의 진정한 원형(true circular) 형상으로부터 웨이퍼 영상이 왜곡되게 할 수 있다. 종래 기술에서는, 웨이퍼가 움직였던 동안에는, 높은 정확도를 요구하는 웨이퍼 영상들이 얻어질 수 없었다. 따라서, 막 층 동심도 및 폭이 정확하게 측정될 수 있는 웨이퍼의 영상이 얻어지는 동안에는, 웨이퍼 운동을 느리게 하거나 또는 정지시키는 것이 접근 방법이었다. 이 접근 방법은 생산성을 감소시킨다.
필요로 하는 것은 로봇이 이동하는 고속(예를 들어, 초당 1.7 m)으로부터 웨이퍼 운동을 느리게 하지 않고도, 웨이퍼 상의 다양한 표면 특징부들의 기하학적 구조(geometry)(예를 들어, 막 층 동심도 및 폭)가 정확하게 측정될 수 있는 방법이다. 다른 요구사항은 결함들을 검출 및 위치시키기 위한 웨이퍼의 정확한 영상화를 위한 것이다.
작업부재 전달(transfer) 경로를 따라 시스템의 프로세싱 챔버들로 그리고 프로세싱 챔버들로부터 작업부재를 운송하기 위한 로봇을 포함하는 프로세싱 시스템에서, 작업부재의 하나의 영상을 얻기 위한 방법이 제공된다. 상기 방법은 로봇에 의해 작업부재 트랜싯(transit) 경로의 트랜싯 경로 부분을 따라 작업부재가 운송되는 동안, 작업부재 트랜싯 경로의 트랜싯 경로 부분을 횡단하는 세장형의(elongate) 정지된 시야(stationary field of view)의 연속적인 프레임들을 포착하는 단계를 포함한다. 상기 방법은, 연속적인 프레임들의 포착 단계 중 트랜싯 경로 부분을 횡단하는 세장형의 조명(illumination) 패턴을 이용하여 트랜싯 경로 부분을 조명하는 단계, 그리고 연속적인 프레임들을 포함하는 작업부재의 하나의 영상을 규정(define)하는 단계를 추가로 포함한다. 또한, 상기 방법은 트랜싯 경로 부분의 방향을 따라 프레임들 중 각각의 프레임들의 각각의 정확한 위치들을 연산(computing)함으로써, 그리고 상기 각각의 정확한 위치들 중 대응하는 위치로서 영상에서의 각각의 프레임의 위치를 규정하여 영상을 보정함으로써, 운동-유도된 영상 왜곡의 보정을 포함한다.
일 실시예에서, 세장형의 정지된 시야는, 트랜싯 경로 부분을 횡단하여 연장하는 적어도 작업부재 직경의 길이 및 영상의 대략 하나의 화소(picture element)의 폭을 갖는다.
일 실시예에서, 연속적인 프레임들 중 각각 하나에서의 작업부재의 폭과 공지된 작업부재 직경 사이의 비율(ratio)의 함수로서 정확한 위치를 연산함으로써, 왜곡 보정이 실행된다.
다른 실시예에서, 로봇의 움직임(movement)에 대응하는 로봇 속도 프로필(robot velocity profile) 정보로부터 정확한 위치를 연산함으로써, 왜곡 보정이 실행된다. 이 다른 실시예에서, 미리 결정된 로봇 속도 프로필을 규정하는 데이터를 포함하는 로봇 제어기 메모리로부터 또는 로봇의 움직임에 응답하는 엔코더(encoder)로부터, 로봇 속도 프로필 정보가 얻어진다.
일 실시예에서, 상기 포착하는 단계는 감광성(photosensitive) 요소들의 세장형 어레이로부터 신호를 포착하는 단계를 포함하며, 그리고 상기 조명하는 단계는 입사각들의 범위를 통해 감광성 요소들 중 개별적인 감광성 요소들을 조명하는 패턴으로 발광 요소들의 어레이를 제공하는 단계를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 트랜싯 경로 부분은 트랜싯 경로 부분에 평행한 Y-축 및 Y-축에 수직한 X-축에 대응하며, 상기 방법은 시야와 X-축 사이의 오정렬(misalignment) 각도에 기인하는 왜곡에 대해 영상에서 X-축 좌표들을 보정하는 단계를 추가로 포함한다. 연속적인 프레임들에서의 웨이퍼 중심 위치의 운동을 오정렬 각도의 함수와 매칭(matching)시켜 오정렬 각도를 결정함으로써, 그리고 오정렬 각도의 함수를 포함하는 보정 인자(factor)에 의해 X-축 좌표들을 보정함으로써, 이러한 또 다른 실시예가 실행될 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 방법은 작업부재의 평면에서 작업부재의 진동(vibration)으로부터의 왜곡에 대해 영상을 보정하는 단계를 추가로 포함한다. 프레임들 중 연속적인 프레임들에서 웨이퍼의 중심의 운동을 찾아냄으로써, 연속적인 프레임들을 통해 웨이퍼의 중심의 평균 운동을 규정함으로써, 그리고 웨이퍼 중심과 웨이퍼의 중심의 평균 운동 사이의 차이를 포함하는 각각의 프레임에 대해 차이만큼 영상을 시프팅(shifting)시킴으로써, 이러한 또 다른 실시예가 실행될 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 방법은 작업부재의 평면을 횡단하는 방향으로 작업부재의 진동으로부터의 왜곡에 대해 영상을 보정하는 단계를 추가로 포함한다. 영상으로부터 외견상의(apparent) 작업부재 반경을 결정함으로써, 그리고 외견상의 작업부재 반경과 공지된 작업부재 반경 사이의 비율로서 방사방향 보정 인자를 결정함으로써, 그리고 상기 방사방향 보정 인자에 의해 영상의 방사방향 위치들을 스케일링(scaling)함으로써, 이러한 또 다른 실시예가 실행될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 방법은 적합된(fitted) 로봇 속도 프로필을 생성하기 위해 로봇의 미리 결정된 속도 프로필 데이터를 정확한 위치의 움직임에 적합시킴으로써 연속적인 프레임들에 대해 정확한 위치의 움직임을 평활화(smooth)시키는 단계, 그리고 적합된 로봇 속도 프로필로부터 연속적인 프레임들 각각에 대한 정확한 위치를 얻는 단계를 추가로 포함한다.
다른 실시예에서, 프레임들 중 각각에서 작업부재의 중심을 결정함으로써, 연속적인 프레임들에 대해 작업부재의 중심의 운동을 결정함으로써, 작업부재의 중심의 운동을 정현파(sinusoidal) 함수에 매칭시킴으로써, 그리고 작업부재의 비-동심도의 진폭으로서 정현파 진폭을 그리고 작업부재의 비-동심도의 방향으로서 정현파 위상(phase) 각을 추론함으로써, 상기 방법은 비-동심도를 측정한다. 이들 결과들은 비-동심도의 진폭 및 비-동심도의 방향을 보정 피드백으로서 로봇에 제공함으로써 사용될 수 있다.
또 다른 실시예에서, 광의 각각의 파장들은 불연속적인 광 이미터들의 각각의 평행한 열(row)들로부터 방출되며, 열들 중 각각의 열은 파장들 중 각각의 파장에 대응하는 단색(monochromatic) 스펙트럼을 방출한다. 관련된 제1실시예에서, 조명될 작업부재 상의 층에서의 물질의 유형에 따라, 연속적인 프레임들의 포착 단계 동안 작동을 위해 광 이미터들의 평행한 열들 중 특정한 열이 선택된다. 관련된 제2실시예에서, 광 이미터들의 열들 중 연속적인 열들을 작동(activate)시킴으로써 프레임들 중 연속적인 프레임들의 포착 단계 동안 광의 상이한 파장들이 방출되며, 그에 의해 작업부재의 컬러 영상을 생산한다.
본 발명의 예시적인 실시예들이 달성되고 그리고 상세히 이해될 수 있도록,위에서 간략히 요약된 본 발명의 더욱 구체적인 설명이 첨부된 도면들에 도시된 본 발명의 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있다. 본 발명이 불명확해지지 않도록, 특정의 널리 공지된 프로세스들은 여기에 논의되지 않았음을 인식해야 한다.
도1은 제1실시예에 따른 웨이퍼 영상 포착 장치를 포함하는 예시적인 웨이퍼 프로세싱 시스템을 도시한다.
도2a 및 2b는 일 실시예에 따른 도1의 시스템의 일부의 각각의 평면도 및 정면도이다.
도3은 도2a에 대응하는 저면도이다.
도4는 도3의 영상 포착 장치의 대안적인 실시예의 저면도이다.
도5a는 일 실시예에 따라, 도1의 시스템을 작동시키는 방법을 도시한 블럭도이다.
도5b는 도5a의 방법의 블럭(172-1)의 실시예를 실행하기 위한 장치를 도시한다.
도5c는 도5a의 방법의 블럭(172-2)의 실시예를 실행하기 위한 장치를 도시한다.
도6은 도5a의 블럭(172-3)의 프로세스의 블럭도이다.
도7은 로봇에 의해 전달될 동안 웨이퍼의 운동에 의해 왜곡되는 웨이퍼 엣지의 미가공(raw) 영상을 도시한다.
도8은 미가공 영상의 최대 웨이퍼 폭의 계산에 사용되는 바와 같은, 카메라 프레임 넘버(number)의 함수로서 관찰된 픽셀들 단위의 웨이퍼 폭의 그래프이다.
도9는 운동-유도된 왜곡을 제거하기 위해 미가공 영상을 프로세싱하는 방법에 사용되는 기하학적 구조를 도시한다.
도10은 카메라 오정렬의 기하학적 구조를 도시한 도면이다.
도11은 영상 데이터로부터 카메라의 오정렬 각도를 결정하는 방법을 도시한다.
도12a, 12b, 그리고 12c는 막 층의 비-동심도를 측정하기 위해, 왜곡되지 않은 웨이퍼 영상을 사용하는 방법을 함께 도시한다.
도13은 X-축을 따른 웨이퍼 진동에 의해 유발되는 에러들에 대해 영상 데이터를 보정하는 방법을 도시한다.
도14는 도13의 방법을 실행하는데 사용되는, 시프팅된 프레임 넘버의 함수로서 X-축을 따른 웨이퍼 중심 위치의 그래프이다.
도15는 평면을 벗어난(out-of-plane)(Z-축을 따른) 진동에 의해 유발되는 에러들에 대해 영상 데이터로부터의 방사방향 측정들을 보정하는 방법을 도시한다.
도16은 도15의 방법에 사용되는 기하학적 구조의 그래프이다.
도17은 왜곡되지 않은 웨이퍼 운동 함수를 평활화시키는 방법의 간략화된 블럭 흐름도이다.
도2a 및 2b는 일 실시예에 따른 도1의 시스템의 일부의 각각의 평면도 및 정면도이다.
도3은 도2a에 대응하는 저면도이다.
도4는 도3의 영상 포착 장치의 대안적인 실시예의 저면도이다.
도5a는 일 실시예에 따라, 도1의 시스템을 작동시키는 방법을 도시한 블럭도이다.
도5b는 도5a의 방법의 블럭(172-1)의 실시예를 실행하기 위한 장치를 도시한다.
도5c는 도5a의 방법의 블럭(172-2)의 실시예를 실행하기 위한 장치를 도시한다.
도6은 도5a의 블럭(172-3)의 프로세스의 블럭도이다.
도7은 로봇에 의해 전달될 동안 웨이퍼의 운동에 의해 왜곡되는 웨이퍼 엣지의 미가공(raw) 영상을 도시한다.
도8은 미가공 영상의 최대 웨이퍼 폭의 계산에 사용되는 바와 같은, 카메라 프레임 넘버(number)의 함수로서 관찰된 픽셀들 단위의 웨이퍼 폭의 그래프이다.
도9는 운동-유도된 왜곡을 제거하기 위해 미가공 영상을 프로세싱하는 방법에 사용되는 기하학적 구조를 도시한다.
도10은 카메라 오정렬의 기하학적 구조를 도시한 도면이다.
도11은 영상 데이터로부터 카메라의 오정렬 각도를 결정하는 방법을 도시한다.
도12a, 12b, 그리고 12c는 막 층의 비-동심도를 측정하기 위해, 왜곡되지 않은 웨이퍼 영상을 사용하는 방법을 함께 도시한다.
도13은 X-축을 따른 웨이퍼 진동에 의해 유발되는 에러들에 대해 영상 데이터를 보정하는 방법을 도시한다.
도14는 도13의 방법을 실행하는데 사용되는, 시프팅된 프레임 넘버의 함수로서 X-축을 따른 웨이퍼 중심 위치의 그래프이다.
도15는 평면을 벗어난(out-of-plane)(Z-축을 따른) 진동에 의해 유발되는 에러들에 대해 영상 데이터로부터의 방사방향 측정들을 보정하는 방법을 도시한다.
도16은 도15의 방법에 사용되는 기하학적 구조의 그래프이다.
도17은 왜곡되지 않은 웨이퍼 운동 함수를 평활화시키는 방법의 간략화된 블럭 흐름도이다.
이해를 촉진시키기 위하여, 도면들에 공통적인 동일한 요소들을 지시하기 위해 가능한 한 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 일 실시예의 요소들 및 특징들은 추가적인 열거 없이도 다른 실시예들에 유리하게 통합될 수 있음이 예상된다. 그러나, 첨부된 도면들은 단지 본 발명의 예시적인 실시예들을 도시하는 것이므로 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 한다는 것이 주목되어야 하는데, 이는 본 발명이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이다.
도1은 대기압 아래의(subatmospheric) 압력에서 모두 유지되는 4개의 웨이퍼 프로세싱 챔버들(104)에 커플링되는 진공 전달 챔버(102)를 포함하는 웨이퍼 프로세싱 툴을 도시하고 있다. 진공 로봇(106)은 프로세싱 챔버들(104) 중 임의의 하나와 2개의 로드록 챔버들(108) 중 임의의 하나 사이에서 개별적인 웨이퍼들을 전달한다. 팩토리 인터페이스(110)는 대기압에 있으며, 하나 또는 둘 이상의 카셋트들(114)과 로드록 챔버(108) 사이에서 웨이퍼를 전달하기 위한 대기 로봇(atmospheric robot; 112)을 포함한다. 로드록 챔버(108)는 팩토리 인터페이스(110)의 대기압과 진공 전달 챔버(102)의 진공 사이에 전이부(transition)를 제공한다. 진공 로봇(106)은 진공 로봇 블레이드(blade)(116) 상에 각각의 웨이퍼를 유지시키는 반면, 대기 로봇(112)은 대기 로봇 블레이드(118) 상에 각각의 웨이퍼를 유지시킨다. 로봇들(106, 112)은 팩토리 인터페이스를 통해 웨이퍼 트랜싯 경로(120)를 따라 초당 1 m 초과, 예컨대, 초당 약 1.7 m의 고속으로 각각의 웨이퍼를 이동시킨다. 로봇들(106, 112)은 다양한 웨이퍼 트랜싯 경로들을 따라 각각의 로봇 블레이드(116, 118)의 속도 프로필(가속, 감속, 방향, 등)을 규정하는 저장된 명령들에 따라 로봇 제어기(113)에 의해 제어된다.
각각의 프로세싱 챔버(104)는, 진공 로봇(106)에 의해 웨이퍼(122)가 위에 위치되는(또는 제거되는) 웨이퍼 지지 받침대(124)를 갖는다. 받침대(124) 상의 웨이퍼(122)의 중심잡기는 막 층과 같은 웨이퍼 엣지 근처에 증착되는 박막 층들의 동심도에 영향을 끼칠 수 있다. 이 배치는 대기 로봇 블레이드(118) 상의 웨이퍼의 배치에 의해 그리고 진공 로봇 블레이드(116) 상의 웨이퍼의 배치에 의해, 및/또는 웨이퍼 상의 포토리소그래피 마스크의 정렬 또는 중심잡기에 의해 영향을 받는다.
영상 포착 장치(130)는 웨이퍼 트랜싯 경로(120)의 선택된 부분 위의 고정된 위치에 배치된다. 도2a, 2b, 및 3을 참조하면, 영상 포착 장치(130)는 카메라(132), 포커싱 광학기기부(optic)(133), 그리고 광원(134)을 포함한다. 일 실시예에서, 카메라(132)는 도3에 도시된 복수의 광센서 요소들(150)의 영상화 어레이 또는 단일 라인으로서 실행된다. 카메라(132) 및 광원(134)은 가시(visible) 파장 또는 UV, 적외선, 또는 마이크로파와 같은 다른 파장들로 작동될 수 있다. 일 실시예에서, 광원은 예를 들어 200 nm 내지 900 nm의 파장을 가질 수 있다.
카메라(132)는 라인 카메라(132) 아래에 있는 웨이퍼 트랜싯 경로(120)의 부분을 횡단하는 길이(L)(도2a에 도시된 바와 같음)를 갖는 세장형의 얇은 시야(FOV: field of view)(121)를 갖는다. 시야(121)의 길이(L)는 광학기기부(133)에 의해 영향을 받는다. 광학기기부(133)는, 시야(121)의 길이(L)가 광센서 요소들(150)의 세장형의 어레이의 길이를 초과하도록 설계될 수 있다. 도2a에 도시된 바와 같이, 시야(121)의 길이(L)는 웨이퍼(122)의 전체 직경에 걸쳐 연장한다. 도2a에 도시된 바와 같이, 카메라(132) 아래의 웨이퍼 트랜싯 경로 부분(120)은 Y-축을 따라 놓이는 한편, 카메라(132)의 시야(121)의 길이(L)는 X-축을 따라 연장한다. 도2a는, 세장형의 시야(121)의 길이(L)가 그와 직교하는 트랜싯 경로 부분(120)에서 웨이퍼 이동의 방향(Y-축)을 횡단하는 것을 도시하고 있다. 그러나, 다른 실시예들에서, 세장형의 시야(121)는 Y-축에 대해 예각으로, 또는 약 10 내지 90°의 임의의 각도로 배치됨으로써 횡단한다.
영상 제어 프로세서(123)는 카메라(132)를 제어하며, 그리고 상기 카메라(132)에 의해 제공되는 영상들을 프로세싱한다. 카메라(132)는 웨이퍼(122)의 연속적인 라인 영상들(프레임들)을 포착하며, 그리고 이들 영상들을 연속적으로 영상 제어 프로세서(123)에 제공한다. 웨이퍼(122)의 미가공 영상은 전체 웨이퍼를 커버하는 이러한 프레임들의 연속으로 구성된다. 상기 영상 제어 프로세서(123)는 웨이퍼의 미가공 영상으로부터 속도 프로필-유도된 왜곡을 제거한다. 또한, (예를 들어) 웨이퍼 상에 증착되는 막 층의 동심도와 같은 웨이퍼 상의 다양한 특징부들의 측정들을 수행하기 위해, 또는 물방울들 또는 다른 결함들과 같은 일부 특징부들을 검출하기 위해, 영상 제어 프로세서(123)는 왜곡되지 않은(보정된) 웨이퍼 영상을 사용할 수 있다. 대안적으로, 측정들을 수행하기 위해, 영상 제어 프로세서(123)는 왜곡된(보정되지 않은) 웨이퍼 영상을 사용할 수 있다. 이 대안적인 모드에서, 측정 데이터는 보정되지 않은 영상으로부터 추출(extract)될 수 있으며, 그리고 각각의 개별적인 지점 또는 화소(픽셀)에 대해 속력-유도된 왜곡에 대한 보상이 수행될 수 있다. 이 보정은 룩업 테이블(look-up table)을 사용함으로써 수행될 수 있다. 보정되지 않은 영상의 개별적인 픽셀들의 위치들을 보정된 영상의 대응하는 픽셀들의 위치들과 상호연관시킴으로써, 이러한 룩업 테이블은 영상 제어 프로세서(123)에서 간단한(straight-forward) 방식으로 구성될 수 있다.
도1에 도시된 실시예에서, 영상 포착 장치(130)는 팩토리 인터페이스(110)의 내측에 있으며, 팩토리 인터페이스(110) 내에 놓이는 웨이퍼 트랜싯 경로(120)의 부분 위에 놓인다. 대안적인 실시예에서, 영상 포착 장치(130')는 로드록 챔버(108)의 내측에서 웨이퍼 트랜싯 경로(120') 위에 놓인다. 영상 포착 장치(130 또는 130')는 도1의 웨이퍼 프로세싱 툴의 웨이퍼 트랜싯 경로 위에 놓이는 임의의 적절한 위치에 위치될 수 있다.
위에 서술한 바와 같이, 시야(121)의 길이(L)는 웨이퍼(122)의 직경에 걸쳐 연장하는 개별적인 영상들 또는 프레임들을 카메라(132)가 포착할 수 있게 한다. 카메라(132)에 의해 포착되는 각각의 연속적인 영상 또는 프레임은 [웨이퍼 트랜싯 경로(120)의 방향 또는 Y-축을 따라] 하나의(또는 그 보다 많은) 화소("픽셀") 길이이며 그리고 X-축을 따른 많은(예컨대, 수천개의) 픽셀들 폭이다. 카메라(132)는 한 번에 하나의 프레임을 포착한다. 이러한 많은 프레임들의 연속이 전체 웨이퍼(122)의 미가공 영상을 제공한다. 도면은, 픽셀들의 단일 열을 갖는 카메라를 도시하고 있지만, 대안적인 실시예에서 카메라는 픽셀들의 다수 열들을 가질 수 있다.
미가공 영상은 카메라(132)에 의해 포착되는 각각의 프레임의 Y-축을 따른 위치의 식별과, 그리고 각각의 프레임에 대해 프레임의 모든 픽셀들의 휘도값들의 리스팅(listing)으로 구성될 수 있다. 아래에 서술되는 바와 같이, 웨이퍼의 미가공 영상은 영상 포착 중 발생하는 웨이퍼의 가속 또는 감속에 의해 왜곡된다. 이것은 미가공 영상의 Y-축 프레임 위치들을 왜곡시킨다. 본원에 서술되는 실시예들에서, 미가공 영상에 부여되는 Y-축 프레임 위치들을 정확한 Y-축 프레임 위치들로 교체함으로써, 왜곡이 보정된다.
도2b의 측면도는 광원(134)으로부터 발산하는 광선들과 그리고 카메라(132)상에 충돌하는 광선을 도시하고 있다. 도3의 저면도에 도시된 바와 같이, 일 실시예의 카메라(132)는 개별적인 영상-감지 또는 감광성 요소들(150)의 라인 어레이로 구성되며, 이는 예를 들어 개별적인 감광성 다이오드들일 수 있다. 각각의 감광성 요소(150)는 포착된 영상의 개별적인 화소 또는 픽셀에 대응한다. 따라서, 각각의 감광성 요소(150)는 또한 픽셀로 지칭될 수 있다. 감광성 요소들의 평행한 출력 신호들을 희망하는 포맷(예를 들어, 일련의 연속적인 개별적인 픽셀값들)으로 조립하고 그리고 포맷된 신호를 영상 제어 프로세서(123)로 출력하는 전달 회로(152)에, 상기 감광성 요소(150)들이 개별적으로 커플링된다.
도3을 참조하여 위에 서술한 바와 같이, 광원 어레이(134)는 개별적인 발광 디바이스들(154)의 어레이(예를 들어, 라인 어레이)로 구성된다. 일 실시예에서, 발광 디바이스들(154)은 발광 다이오드들이다. 개별적인 발광 디바이스들(154)에 동력을 공급하기(power) 위해, 광원 전력 공급부(156)가 광원 어레이(134)에 커플링된다. 일 실시예에서, 발광 디바이스들(154)은 동일한 유형을 가지며, 동일한 파장 스펙트럼을 방출한다.
도2a 및 2b의 광원 어레이(134)는 많은 공급자(supplier)들 중 임의의 공급자로부터 얻어질 수 있다. 예를 들어, 광원 어레이(134)로서 하기의 LED 어레이들이 사용될 수 있다: 캘리포니아, 뉴버리 파크 소재의 옵토 다이오드(Opto Diode) 코포레이션에 의한 830 nm의 파장으로 방출하는 LED 어레이; 뉴 햄프셔, 살렘 소재의 스토커 예일(Stocker Yale), 인코포레이티드에 의한 620 nm로 방출하는 LED 어레이. 라인 카메라(132)는, 각각의 픽셀이 약 5 미크론 × 5 미크론(환원하면, 각각의 측부에 대해 5 미크론)을 측정하는 12,288 개의 감광성 요소들 또는 픽셀들[도3의 감광성 요소들 또는 픽셀들(150)에 대응함]을 갖는, 영국, 에섹스 소재의 이2브이(e2v) 테크놀러지스로부터의 UM8 CCD 카메라일 수 있다. 이 유형의 CCD 카메라는 26 μ/픽셀의 정적(static) 해상도, 그리고 웨이퍼의 운동이 초당 약 1.7 m인 운동 축(Y-축)을 따라 70-80 μ/픽셀의 해상도를 가질 수 있다. 명목상, 프레임 시간은 약 50 μsec/프레임일 수 있으며, 노출 시간은 약 35 μsec일 수 있다.
일반적으로, 카메라(132)는 10-40 μ/픽셀 범위의 정적 해상도, 각각의 측부에 대해 1-10 미크론 범위의 픽셀 크기, 1개 내지 5개 픽셀 범위의 (Y-축을 따른)프레임 폭, 및 5,000-15,000 픽셀들 범위의 (X-축을 따른) 프레임 길이를 가질 수 있다. 카메라(132)는 10-100 μsec/프레임 범위의 프레임 레이트(rate)와 그리고 약 5-80 μsec/프레임 범위의 노출 시간으로 작동될 수 있다. 광원 어레이(134)는 200-900 나노미터의 범위로 놓이는 단일 파장으로 방출하는 불연속적인(discrete) 소스들로 구성될 수 있다.
이 유형의 고해상도 카메라의 각각의 픽셀은, 광선들이 감지될 수 있는 매우 좁은 광원뿔(光錘; light cone) 각도를 갖는다. 이 각도는 각각의 픽셀에 대해 1/10 도 만큼 작을 수 있다. 이것은, 예를 들어 웨이퍼 보잉(bowing)에 의해 의도된 입사로부터 웨이퍼로부터의 반사들이 편향(deflect)될 때마다 문제를 유발시킨다. 프로세스 챔버 분위기가 비교적 뜨거울 수 있기 때문에, 이러한 적용들에서는 웨이퍼 보잉이 통상적이다. 그 결과, 광원 어레이(134)로부터의 광이 카메라(132)에 의해 감지될 수 없다.
이 문제는 도4에 도시된 향상된 광원 어레이(166)를 제공함으로써 극복된다. 도4의 향상된 광원 어레이(166)는 확산된 광원의 광 출력을 모방(mimic)하여, 거의 연속적인 각도들의 범위에 걸쳐 카메라(132)의 각각의 픽셀(150)에 광선들을 제공한다. 이렇게 하여, 웨이퍼 보잉 등으로 인해 반사된 광의 섭동(perturbation)에 관계없이, 적어도 하나의 광선이 각각의 픽셀(150)의 광원뿔 각도 내에 속할 것이다. 도4에 도시된 실시예에서, 향상된 광원 어레이(166)는 발광 디바이스들(154)의 복수의 열들(rows)(168)을 갖는다. 이 열들(168)은 카메라(132)의 길이와는 상이한 길이로 연장할 수 있다. 향상된 광원 어레이(166)는 카메라(132)의 각각의 픽셀(150)에 대해 거의 10개의 발광 디바이스들(154)을 가질 수 있어서, 특정한 픽셀에 대해 상이한 각도로부터 광을 제공한다. 각각의 발광 디바이스(154)(발광 다이오드일 수도 있음)는 예를 들어 20°만큼 넓은 각도들의 넓은 원뿔(cone)에 걸쳐 광을 방출한다. 따라서, 특정한 픽셀(150)을 조명하는 도4의 향상된 광원 어레이(166)의 10개의 발광 디바이스들(154)이 픽셀(150)에 2차원 평면의 각도들의 연속체(continuum)로 광선들을 제공하므로, 웨이퍼 보잉 또는 다른 섭동들은 픽셀의 좁은 광원뿔 내로의 광 반사를 방해하지 않는다. 이 방식으로, 상기 향상된 광원 어레이(166)가 이상적인 확산 광원과 동일한 방법으로 기능한다.
도5a는 웨이퍼 상의 특징부들을 측정 또는 검출하기 위해 상술한 장치를 사용하는 방법을 도시하고 있다. 영상 포착 장치(130)[정지된 카메라(132) 그리고 광원 어레이(134)]가 사용되어, 웨이퍼가 로봇에 의해 고속으로 운송될 때 웨이퍼의 영상을 포착하여[도5a의 블럭(170)], 전체 웨이퍼의 미가공 영상을 포함하는 연속적인 프레임들을 생산한다. 일 실시예에서, 영상 포착 중 정상적인 로봇 전달 작용의 고속(초당 1 m를 초과함)으로 웨이퍼 운동이 계속된다. 다음으로, 로봇-운송되는 웨이퍼의 고속 운동의 속도 프로필에 의해 유발되는 영상의 왜곡을 제거하기 위해, 영상 프로세서가 미가공 영상의 데이터를 프로세싱한다[도5a의 블럭(172)]. 웨이퍼의 포착된 영상에서 웨이퍼 트랜싯 경로(120) 또는 Y-축의 방향을 따른 각각의 프레임의 위치는, 웨이퍼 운동 프로필의 가속 또는 감속에 의해 왜곡된다. 예를 들어, 원형 웨이퍼의 영상이 비-원형일 수 있다. 일 실시예에서, 미가공 영상에 부여되는 각각의 프레임의 Y-축 위치를 각각의 프레임의 실제 Y-축 위치와 교체함으로써, 블럭(172)에서 왜곡이 제거된다. 이는 왜곡되지 않은 영상을 생산한다.
왜곡된 또는 왜곡되지 않은 영상에 관심 있는 다양한 특징부들의 엣지들이 위치되며, 왜곡되지 않은 영상에서 다양한 특징부 치수들이 측정 또는 검출된다[도5a의 블럭(174)]. 예를 들어, 웨이퍼 그리고 막 층의 엣지들이 검출될 수 있다. 웨이퍼 엣지에 대한 막 층 엣지의 비-동심도가 측정될 수 있으며, 막 층이 없는 주변 지역의 방사방향 폭이 측정되고 그리고 필요로 하는 폭과 비교된다. 오염 또는 기준(fiducial) 특징부들과 같은 관심 있는 특징부들을 탐색하고 그리고 정확하게 위치시키도록, 웨이퍼 영상이 프로세싱될 수 있다.
도5a의 블럭들(172-1, 172-2, 또는 172-3)에 지칭된 상이한 방법들 중 임의의 하나에 따라 블럭(172)의 작동이 수행될 수 있다.
블럭(172-1)의 방법에서, 영상 프로세서(123)에는 로봇 블레이드(116 또는 118)의 운동을 규정하는 정보가 제공된다. 이 정보는, 로봇 단부 이펙터(effector)(블레이드) 운동을 통제하기 위해 로봇 운동 제어기(113)에 의해 사용되는 저장된 명령들일 수 있다. 대안적으로, 이 정보는 로봇에 커플링되는 운동 엔코더로부터일 수 있다. 어느 경우에나, 로봇 단부 이펙터의 (그리고 이에 따라 웨이퍼의) 진정한(true) 위치를 추론하고 그리고 그 진정한 위치로부터 현재 영상 프레임의 정확한 Y-축 위치를 연산하기 위해, 상기 정보가 영상 제어 프로세서(123)에 의해 사용된다. 왜곡되지 않은 영상을 형성하기 위해, 각각의 프레임의 정확한 Y-축 위치가 각각의 프레임의 영상 데이터와 조합된다.
일 실시예에 따라 도5b에 도시된 장치에 의해 블럭(172-1)의 프로세스가 실행될 수 있다. 도5b에서, 로봇 운동 정보가 신뢰성있는 소스로부터 얻어진다. 이 소스는, 도1의 로봇 블레이드(116 또는 118) 및/또는 운동 로봇(106 또는 112)을 통제하기 위해 로봇 제어기(113)에 의해 사용되는 명령들, 커맨드(command)들, 또는 정의(definition)들을 저장하는 로봇 제어기(113)와 관련된 메모리(182)일 수 있다. 대안적으로, 로봇 운동 정보의 소스는 로봇들(106 또는 112) 중 하나의 일체형 부분일 수 있는 엔코더(184)일 수 있으며, 또는 이는 로봇(106 또는 112)에 커플링되는 분리된 엔코더일 수 있다. 현재의 프레임 중의 웨이퍼의 정확한 Y-축 위치를 연산하기 위해, 영상 제어 프로세서(123) 내의 연산 기능부(186)는 메모리(182)로부터의 또는 엔코더(184)로부터의 로봇 운동 정보를 사용하며, 그로부터 현재 프레임의 Y-축 위치가 추론된다. 영상 제어 프로세서(123) 내의 영상 프로세싱 기능부(188)는 미가공 영상의 Y-축 프레임 위치를 연산 기능부(186)에 의해 결정되는 정확한 Y-축 위치와 교체한다. 이 작동은 카메라(132)에 의해 포착되는 각각의 프레임에 대해 수행된다. 모든 포착된 프레임들이 그에 따라 보정된 후, 영상 프로세서(123)가 웨이퍼의 왜곡되지 않은 영상을 출력한다.
도5a의 블럭(172-2)의 방법에서, 영상 제어 프로세서(123)가 로봇 운동 정보를 사용하여 카메라 프레임 레이트를 통제함으로써, 카메라(132)에 의해 얻어진 웨이퍼 영상의 왜곡을 방지한다. 영상 제어 프로세서(123)는 블럭(172-1)에서와 같이 로봇의 운동을 규정하는 정보 또는 데이터에 액세스한다. 그러나, 현재 프레임의 시간 중 Y-축을 따른 웨이퍼의 실제 속도를 추론하기 위해, 영상 제어 프로세서(123)가 이 정보를 사용한다. 그 후, Y-축을 따른 웨이퍼 속력과 카메라 프레임 레이트 사이에 일정한 비율을 유지하도록, 이전의 프레임 이후에 웨이퍼 속도의 임의의 변화에 따라 영상 제어 프로세서가 카메라(132)의 프레임 레이트를 조정한다.
도5a의 블럭(172-2)의 프로세스는 일 실시예에 따라 도5c에 도시된 장치에 의해 실행될 수 있다. 도5c에서, 로봇 운동 정보는 신뢰성 있는 소스로부터 얻어진다. 이 소스는 로봇 제어기(113)와 관련된 메모리(182)일 수 있다. 대안적으로, 로봇 운동 정보의 소스는 엔코더(184)일 수 있다. 다음 프레임에 대한 Y-축을 따른 웨이퍼 속력을 연산하기 위해, 영상 제어 프로세서(123) 내의 연산 기능부(192)는 메모리(182)로부터의 또는 엔코더(184)로부터의 로봇 운동 정보를 사용한다. 영상 제어 프로세서(123)의 연산 기능부(193)는 기능부(192)에 의해 연산되는 웨이퍼 속력과 카메라 프레임 레이트 사이의 비율을 연산한다. 비교기(comparator)(194)는 프레임 레이트 대 웨이퍼 속력 비율(frame rate-to-wafer speed ratio)을 이전 프레임의 동일한 비율과 비교하며, 그리고 프레임 레이트 연산 기능부(195)는 이전의 프레임 또는 프레임들에 대해 프레임 레이트 대 웨이퍼 속력 비율을 일정하게 유지시킬 다음 프레임에 대한 새로운 프레임 레이트를 결정한다. 이 새로운 프레임 레이트는 카메라(132)에 제어 입력으로서 적용된다. 프레임 레이트의 변화는 웨이퍼 운동의 가속 또는 감속을 보상하므로, 카메라에 의해 얻어진 영상은 운동 프로필-유도된 왜곡이 없거나 또는 거의 없다. 프레임 노출 시간은 프레임 레이트의 변화에 비례하여 조정될 수 있다.
도5a의 블럭(172-3)의 방법에서, 각각의 프레임의 정확한(왜곡되지 않은) Y-축 위치를 실제로 연산하기 위해, 웨이퍼의 미가공(왜곡된) 영상이 영상 제어 프로세서(123)에 의해 사용된다. 이것은 프레임의 왜곡되지 않은 Y-축 위치를 연산하기 위해, 먼저 미가공 영상 프레임에서 웨이퍼 폭을 관찰함으로써 그리고 그 후 관찰된 웨이퍼 폭 및 공지된 웨이퍼 직경을 사용함으로써 달성된다. 미가공(왜곡된) 영상에 의해 부여되는 Y-축 위치 대신에 영상에서 각각의 프레임의 정확한 Y-축 위치를 대체함으로써, 영상 제어 프로세서(123)는 보정된 또는 왜곡되지 않은 영상을 구성한다.
일 실시예에서, 도5a의 블럭(172-3)의 프로세스는 웨이퍼의 전체 영상을 보정하기 위해 적용되지 않는다. 대신에, 예를 들어, 오직 선택된 부분의 왜곡되지 않은 영상과 관련된 데이터를 산출하기 위해, 왜곡된 영상의 선택된 부분만 프로세싱된다. 예를 들어, 막 층 주변 구역의 폭을 계산하고자 한다면, 웨이퍼의 엣지 근처의 영상의 그 부분만이 블럭(172-3)의 프로세스에 의한 왜곡에 대해 보정된다. 따라서, 그 결과는 웨이퍼의 왜곡되지 않은 영상이 아니라, 오히려 웨이퍼의 선택된 부분의 왜곡되지 않은 영상과 관련된 데이터일 수 있다.
대안적으로, 룩업 테이블을 사용하여 특정한 프레임 넘버 또는 각위치(angular position)에 대한 보정과 그리고 왜곡되지 않은 영상에 대한 분석이 수행될 수 있다.
도6은 일 실시예에 따라 도5a의 블럭(172-3)의 프로세스를 상세히 도시하고 있다. 이 실시예에서, 각각의 프레임의 진정한 Y-축 위치는, 각각의 프레임의 웨이퍼 폭과 공지된 웨이퍼 직경 사이의 비율의 함수로서 연산된다. 프로세스는 웨이퍼의 미가공 영상의 데이터를 한 프레임씩(frame-by-frame) 수집함으로써[도6의 블럭(200)] 시작된다. 위에 서술한 바와 같이, 카메라(132)에 의해 생산된 각각의 영상 프레임은 하나의 픽셀 폭과 수천개의 픽셀 길이이다. 이러한 프레임들의 연속이 전체 웨이퍼의 영상을 포함한다(대안적인 실시예에서, 프레임은 하나보다 많은 픽셀 폭일 수 있다).
웨이퍼 엣지의 영상이 얻어진다[도6의 블럭(202)]. 웨이퍼 엣지 영상은 종래의 엣지-검출 영상 프로세싱 기술들에 의해 얻어진다. 그 후, 각각의 프레임에 대해 웨이퍼 영상의 첫 번째와 그리고 마지막 픽셀들이 결정되어, 도7에 도시된 웨이퍼 엣지 영상을 산출한다. 도7의 그래프는 모든 프레임들의 첫 번째와 마지막 픽셀들의 위치(픽셀 넘버에 의함)를 도시한다. 도7에서 첫 번째 픽셀들은 X-기호들로 표시되며, 마지막 픽셀들은 점(dot)들로 표시된다. 영상 포착 중 높은 로봇 전달 속력에서의 가속/감속으로 인한 웨이퍼 형상의 왜곡이 도7에서 명백하다.
각각의 프레임의 웨이퍼 폭이 얻어진다[도6의 블럭(204)]. 프레임 넘버(f)의 함수로서 웨이퍼 폭(w)은 w(f)로 규정될 수 있으며, 그리고 대응하는 프레임에서 첫 번째 웨이퍼 픽셀과 마지막 웨이퍼 픽셀들 사이의 거리로서 계산된다. 전형적으로 포물선인 곡선[w(f)]이 도8에 도시되어 있다.
최대 웨이퍼 폭[w(f)max]은 웨이퍼 직경에 대응하며, 그리고 종래의 기술들을 사용하여 얻어지는 곡선[w(f)]의 정점으로부터 결정된다[도6의 블럭(206)]. 또한, w(f)max가 발생하는 프레임 넘버가 지시되고 그리고 fmax로 규정된다[도6의 블럭(208)].
웨이퍼 표면 상의 밀리미터 단위의 실제 거리와 픽셀들[카메라(132)에서 개별적인 광감지 요소들(150)에 대응함] 사이의 거리를 상호관련시키는 픽셀-밀리미터(pixel-to-millimeter) 전환 인자(σ)가 얻어진다[도6의 블럭(210)]. 공지된 웨이퍼 폭, 전형적으로 300 mm로, 픽셀들의 최대폭[w(f)max]을 나눔으로써 상기 전환 인자(σ)가 얻어진다.
웨이퍼 가속 및 감속이 도2a의 웨이퍼 트랜싯 경로(120) 또는 Y-축을 따라 각각의 프레임의 외견상 위치를 왜곡시키기 때문에, 도7의 미가공 웨이퍼 윤곽(outline)이 왜곡된다. 이러한 왜곡의 보정은 각각의 프레임의 외견상의 Y-축 위치를 정확한 Y-축 위치와 교체함으로써 수행될 수 있다. 정확한 Y-축 위치는 Y-축을 따른 웨이퍼 운동의 거리에 대응한다. 웨이퍼 트랜싯 경로(120) 또는 Y-축을 따른 웨이퍼 움직임의 거리는, 각각의 프레임에 대해 특정한 프레임에서 측정된 웨이퍼 폭[w(f)]으로부터 계산된다[도6의 블럭(212)]. 이 계산에 사용되는 기하학적 구조가 도9에 도시되어 있다. 로봇에 의해 설정되는 도2a의 웨이퍼 트랜싯 경로(120)는 도9의 Y-축이다. 라인 카메라(132)의 일반적인 배향은 도1의 X-축에 대응한다. 프레임 넘버(f)의 함수로서 웨이퍼 트랜싯 경로(Y-축)를 따른 웨이퍼 움직임의 거리는, 본원에서는 Y-축 위치 함수[h(f)]로서 지칭될 것이며, 여기서 상기 h는 거리를 나타내며, f는 프레임 넘버를 나타낸다. 도9를 참조하면, 300 mm 웨이퍼에 대해, 부여되는 프레임(f)에 대한 웨이퍼 폭(w)은 다음과 같이 h와 관련된다.
W(mm로) = w(픽셀들로)ㆍσ (식 1a)
W < 300 mm에 대해, θ = 2sin-1(W/300 mm) (식 1b)
W ≥ 300 mm에 대해, θ = 2sin-1(1) (식 1c)
d = W/[2tan(θ/2)] (식 1d)
f < fmax에 대해, h(f) = 150 mm - d (식 1e)
f ≥ fmax에 대해, h(f) = 150 mm + d (식 1f)
상술한 바는 다음과 같이 요약될 수 있다. 웨이퍼의 직경 내의 W의 값들에 대해, Y-축 위치 함수는 다음과 같이 연산된다.
f < fmax인 웨이퍼의 제1절반부에 대해, h(f) = 150 mm - W/[2tan(sin-1(W/300)], 그리고
f ≥ fmax인 웨이퍼의 제2절반부에 대해, h(f) = 150 mm + W/[2tan(sin-1(W/300)].
상술한 정의들에 제공되는 웨이퍼 직경 및 반경값들(300 mm 및 150 mm)은 300 mm 웨이퍼에 적용할 수 있으며, 그리고 프로세싱중인 웨이퍼의 직경에 따라 수정될 수 있음이 이해된다.
일 실시예에서, 웨이퍼의 선단 엣지를 포함하는 프레임이 원점(origin)에 대응하는 프레임 제로(zero)이도록, Y-축 위치 함수[h(f)]의 프레임 넘버(f)가 규정될 수 있다. 웨이퍼의 선단 엣지를 포함하는 프레임이 식별된다[도6의 블럭(214)]. 이것은 일 실시예에서 웨이퍼 선단 엣지 근처의 프레임들의 그룹에 대한 픽셀 넘버의 함수로서 (도 6의 블럭(202)의 단계에서 발견된) 각각의 첫 번째 및 마지막 픽셀의 라인 넘버를 먼저 플롯팅(plotting)함으로써 식별될 수 있다. 웨이퍼의 선단 엣지를 포함하는 프레임 넘버는 이 함수의 최소값에 대응하며, 종래의 기술들을 사용하여 얻어진다. 그 후, 일 실시예에서 선단 엣지 프레임 넘버가 제로가 되도록 Y-축 위치 함수[h(f)]의 프레임 넘버들이 시프팅된다[도6의 블럭(216)].
선택적으로, 도17을 참조하여 본 명세서에서 아래에 서술되는 프로세스에서 Y-축 위치 함수[h(f)]가 평활화될 수 있다[도6의 블럭(218)].
카메라(132)에 의해 출력되는 프레임들의 연속으로부터 얻어지는 웨이퍼의 미가공 영상이, 운동-유도되는 왜곡에 대해 보정된다[도6의 블럭(220)]. 이 보정은 h(f)에 의한 각각의 프레임의 Y-축 좌표를 교체하는 것으로 이루어진다. 각각의 프레임의 Y-축 좌표에 대한 상술한 보정은, Y-축을 따른 웨이퍼 운동 프로필(가속/감속)에 기인하는 왜곡이 제거된 웨이퍼의 영상을 생산하며, 상기 영상은 왜곡되지 않은 영상으로 지칭될 수 있다. 이 보정은 영상 포착 중 웨이퍼 전달을 중지 또는 느리게 하지 않고서도 영상 포착이 높은 웨이퍼 전달 속도들에서 수행되도록 허용한다.
블럭(220)의 작동은 X-축 좌표의 스케일링 및 보정을 더 포함할 수 있다. 라인 카메라(132)의 주축(major axis)과 X-축 사이의 오정렬 각도(β)를 고려하면서, 각각의 프레임에서 관심 있는 임의의 특징부의 X-축 좌표가 픽셀-밀리미터 스케일 인자(σ)에 의해 스케일링된다. 카메라 오정렬 각도(β)의 결정은 본 명세서에서는 도11을 참조하여 하기에 서술된다. 관심 있는 임의의 특징부의 미가공 영상으로부터 얻어진 X-축 좌표(X미가공 영상)은 다음과 같이 보정된 값(X')으로 스케일링된다.
X' = X미가공 영상ㆍσ - Y tanβ (식 2)
위의 식(2)에 사용되는 카메라 오정렬 각도(β)를 결정하는 방법이 이제 서술된다. 카메라(132)의 장축과 X-축(도2a) 사이의 오정렬 각도(β)가 도10에 도시되어 있으며, 그리고 비교적 작을 수 있다[예를 들어, 몇 도(degree) 미만으로]. 왜곡되지 않은 웨이퍼 영상으로부터 β를 결정하기 위한 일 실시예에 따른 방법이 도11에 도시되어 있다. 도11의 첫 번째 단계는, 웨이퍼 선단 엣지 프레임(f선단)에 웨이퍼가 먼저 나타나는 픽셀 위치(Xo)를 찾기 위해 웨이퍼 영상을 검사하는 것이다[도11의 블럭(310)]. 웨이퍼 중심(Xc)의 픽셀 위치가 각각의 프레임에 대해 연산된다[도11의 블럭(320)]. 웨이퍼 중심(Xc)은 도6의 블럭(202)을 참조하여 언급되는 첫 번째 웨이퍼 픽셀과 마지막 웨이퍼 픽셀들 사이의 차이의 절반이다.
Xc = [X마지막 픽셀 + X첫 번째 픽셀]/2 (식 3)
다음에, 오정렬 각도에 기인하는 웨이퍼 중심의 운동이 다음과 같이 규정된다[도11의 블럭(330)].
P = Xo + [h(f-f선단)tanβ]/σ (식 4 )
표시된 총합이 모든 프레임들에 대해 실행되는
Σ[P -Xc]2 (식 5)
를 최소화함으로써 β를 계산하기 위해, 종래의 비 선형 최소화 알고리즘이 사용된다[도11의 블럭(340)]. 이 최소화는 β와 Xo를 조정함으로써 실행된다. 이 작동은 tanβ의 함수에 대한 웨이퍼 중심(Xc)의 운동의 곡선-적합(curve-fitting)에 대응한다. X-축 좌표를 보정하기 위해, 도6의 블럭(220)을 참조하여 위에 서술된 식(2)의 연산에 β의 계산된 값(식 5의 최소화를 실행함으로써 얻어짐)이 사용된다[도11의 블럭(350)].
도6의 블럭(230)에서, 왜곡되지 않은 영상이, (X-축을 따른) 웨이퍼 운동의 평면 내(in-plane) 진동 또는 섭동으로 인한 에러들에 대해 보정될 수 있고, 그리고 (Z-축을 따른) 웨이퍼 운동의 평면을 벗어난(out-of-plane) 진동 또는 섭동에 대해 보정될 수 있다. 이들 보정들은 본 명세서에서는 도13 및 도15를 참조하여 하기에 서술된다.
상술한 바에 의해 생산되는 왜곡되지 않은 보정된 웨이퍼 영상을 사용하여 다양한 측정들이 정확하게 수행될 수 있다. 예를 들어, 막 층의 반경 또는 직경이 측정될 수 있다[도6의 블럭(240)]. 또한, 막 증착 중 마스킹되었던 주변 배제 구역의 환형 폭이 측정될 수 있다[블럭(250)]. 이제 서술되는 방법을 사용하여 웨이퍼 엣지와 막 층 외측 경계의 동심도가 측정될 수 있다[블럭(260)].
도12a를 참조하면, 막 층(300)은 도1의 반응기 챔버들(104) 중 하나에서 프로세싱될 동안, 웨이퍼(122) 상에 증착된다. 막 층(300)은 디스크형이며, 웨이퍼(122)의 엣지와 동심인 것으로 의도된다. 도12a는 막 층(300)이 웨이퍼(122)와 비동심인 예를 도시하고 있다. 막 층(300)은 웨이퍼(122)의 반경(R2)보다 작은 반경(R1)을 가져서, 막 층(300)에 의해 커버되지 않는 웨이퍼 표면의 주변 환형 지역(302)을 남긴다. 환형 지역(302)의 폭은 WM = R2 - R1 이다. 막 층의 비-동심도 때문에, WM은 방위각(θ)에 따라 변하며, 이에 따라, θ, WM(θ)의 함수로 된다. WM(θ)는 도12b에 도시된 정현파 함수이다.
막 층의 비-동심도는 적절한 프로세스에 따라 측정된다. 이러한 프로세스의 예가 도12c에 도시되어 있다. 먼저, 왜곡되지 않은 영상 데이터로부터 함수[WM(θ)]가 추출된다[도12c의 블럭(280)]. 그 후, 함수{WM(평균) + C cos(θ+α)(식 6)} 가 WM(θ)에 곡선-적합된다[도12c의 블럭(285)]. 이러한 곡선-적합은 종래의 기술들을 이용하여 실행된다. 항(term) [WM(평균)]은 전체 웨이퍼 엣지 주위의 WM의 평균값이다. 항 (C)는 비-동심도의 진폭이다. 각도(α)는 비-동심도의 방위 배향이다. 곡선-적합의 결과들로부터, C 및 α의 실제 값들이 얻어지며, 로봇들(106 또는 112) 중 하나의 운동의 보정을 위해 로봇 제어기(113)에 대한 보정 에러 피드백으로서 출력된다[도12c의 블럭(290)].
도13은 도6의 블럭(230)의 단계에서 평면 내(또는 X-축) 진동에 기인하는 영상의 왜곡의 보정을 실행하기 위한 일 실시예에 따른 방법을 도시하고 있다. 먼저, 웨이퍼 중심(Xc)의 운동이 프레임 넘버의 함수로서 웨이퍼 영상으로부터 결정되며[도13의 블럭(360)], 이는 도11의 블럭(320)과 동일한 작용이다. 프레임 넘버의 함수로서 웨이퍼 중심(Xc)의 운동이 도14의 그래프에 도시되어 있다. 프레임 넘버의 함수로서 Xc를 규정하는 데이터로부터, 종래의 기술들을 사용하여, Xc의 최소값과 최대값 사이의 Xc의 평균값이 결정된다[도13의 블럭(365)]. 이 평균값은 도14에서 Xc(평균)으로 분류되며, 도14에 도시된 바와 같이 일반적으로 직선을 따른다[직선 Xc(평균)의 기울기(slope)는 이전에 논의된 카메라 옵셋각(β)의 함수임]. 그 프레임에 대한 Xc(평균)와 그 프레임에 대한 Xc 사이의 차이를 결정함으로써, 그리고 프레임의 모든 X 좌표들을 그 차이만큼, 즉 차이{Xc(평균) - Xc}만큼 시프팅시킴으로써, X-축 진동에 기인하는 왜곡이 제거된다[도13의 블럭(370)].
일 실시예에서, 평면 내 진동 왜곡들을 제거하기 위해 영상에 대하여, 그리고 희망하는 계산(가령, 막 주변 구역 폭의 계산)을 수행하는데 사용되는 결과적인(resulting) 영상에 대하여, 상술한 보정이 이루어질 수 있다. 대안적인 실시예에서, 상술한 보정들은 웨이퍼 영상에 적용되지 않는다. 대신에, 평면 내 진동 왜곡들을 포함하는 영상에 대해 희망하는 계산이 수행되며, 그 후 상술한 보정이 그 계산의 결과들에 적용된다.
도15는 도6의 블럭(230)의 단계에서 평면을 벗어난(또는 Z-축) 진동에 기인하는 영상에서의 왜곡의 보정을 실행하기 위한 일 실시예에 따른 방법을 도시하고 있다. 작업부재의 각각의 영상에 대해, 외견상의 작업부재(웨이퍼) 반경(R)은 위의 식(1)에 따라 결정되는 작업부재 폭의 절반으로서 결정된다[도15의 블럭(380)]. 그 후, R로부터 그리고 공지된 웨이퍼 반경(예를 들어, 150 mm)으로부터, 확대 비율(M)이 M = 150 mm/R 으로서 연산된다[도15의 블럭(385)]. 그 후, 도16에 도시된 바와 같이 특정한 방위각(θ)을 따른 방사방향 거리의 각각의 측정[가령, 웨이퍼 엣지의 위치, 막 층 엣지의 위치, 주변 지역(302)의 폭 등]이 확대 보정 인자(Mcosθ)에 의해 스케일링된다[도15의 블럭(390)]. 이것은 확대 비율(M)에 따라 반경을 스케일링함에 의해 극 좌표들의 영상의 스케일링에 대응한다.
일 실시예에서, 평면을 벗어난 진동 왜곡들을 제거하기 위해 영상에 대하여, 그리고 희망하는 계산(가령, 막 주변 구역 폭의 계산)을 수행하는데 사용되는 결과적인 영상에 대하여, 상술한 보정이 이루어질 수 있다. 대안적인 실시예에서, 상술한 보정들은 웨이퍼 영상에 적용되지 않는다. 대신에, 평면을 벗어난 진동 왜곡들을 포함하는 영상에 대해 희망하는 계산이 수행되며, 그 후 상술한 보정이 그 계산의 결과들에 적용된다.
실시예에 따라, 도6의 블럭(218)에서 수행되는 Y-축 웨이퍼 운동 함수[h(f)]의 평활화를 위한 프로세스가 도17에 도시되어 있다. 도1의 영상 포착 장치(130)의 시야에서의 웨이퍼 트랜싯 경로를 따른 로봇 블레이드의 궤적(trajectory)이 얻어진다[도17의 블럭(400)]. 이 궤적은 Y-축을 따른 로봇 운동 프로필[s(t)]을 규정한다[도1과 도2a의 영상 포착 장치(130) 아래의 웨이퍼 트랜싯 경로]. 시간(t)의 각각의 값에 대한 로봇 프레임 넘버(fr)를 얻기 위해, 카메라(132)의 프레임 레이트와 시간(t)을 곱함으로써 프레임 넘버의 함수로서 시간의 함수인 로봇 운동 프로필[s(t)]이 운동 프로필로 전환된다[도17의 블럭(410)]. 전환된 로봇 운동 프로필[s(fr)]은 임의의(arbitrary) 원점을 갖는 로봇 프레임 넘버(fr)의 함수이다. 그 후, 2개의 상이한 방법들 중 어느 하나를 사용하여, 도6의 블럭(216)의 단계에서 웨이퍼 영상 데이터로부터 얻어진 웨이퍼 운동 프로필에, 로봇 운동 프로필이 적합된다. 대안적으로, 로봇 운동 프로필을 사용하지 않고 종래의 기술들을 사용하여 Y-축 웨이퍼 운동 함수가 평활화될 수 있다. 이들 3개의 방법들 중 하나가 선택된다[도17의 블럭(420)]. 로봇 운동 기반 방법이 선택된다면, 2개의 로봇 운동 기반 방법들 중 하나가 선택된다[블럭(422)].
2개의 로봇 운동-기반 방법들 중 첫 번째 방법[도17의 블럭(422)의 분기부(423)]은 최상의 적합(best fit)이 얻어질 때까지 웨이퍼 운동 프로필[h(f-f선단)]에 대해 로봇 운동 프로필[s(fr)]을 슬라이딩(sliding)시킴으로써 로봇 운동 프로필을 적합시킨다[도17의 블럭(424)]. 이것은 비-선형 최소화 알고리즘을 사용하여 일 실시예에서 수행된다. 최적의 적합이 얻어질 때까지 로봇 운동 프로필의 프레임 넘버를 웨이퍼 영상의 프레임 넘버에 대해 시프팅시키는 로봇 프레임 옵셋을 변화시킴으로써, 로봇 운동 프로필의 슬라이딩이 달성된다. 그 후, 시프팅된 로봇 운동 프로필이 웨이퍼 영상 Y-축 운동 프로필로 대체된다[도17의 블럭(432)].
대안적인 로봇 운동-기반 방법[도17의 블럭(422)의 분기부(426)]에서, 상술한 최적화가 수행되지만, 그러나 웨이퍼의 선단 엣지와 말단(trailing) 엣지들 사이의 Y-축을 따른 (프레임 넘버들의)거리를 공지된 웨이퍼 직경(예를 들어, 300 mm)과 같게 하는 제약이 가해진다.
웨이퍼 영상 운동 프로필을 시프팅된 로봇 운동 프로필로 대체하는 장점은, 로봇에 대해 규정된 미리 결정된 연속적인(평활화된) 운동 프로필로부터 로봇 운동 프로필이 유도된다는 점이다.
하나의 대안으로서[도17의 블럭(420)의 분기부(434)], 임의의 로봇 운동 프로필을 대체하지 않고서도 웨이퍼 영상 운동 프로필이 평활화되며, 대신에 스플라인(spline), 에버리징(averaging), 보간법(interpolation) 및/또는 보외법(extrapolation) 기술들을 사용하여 종래의 평활화 방법들이 사용된다[블럭(436)]. 평활화된 웨이퍼 운동 프로필을 출력하기 전에[블럭(432)], 데이터가 웨이퍼 영상의 엣지들을 넘어 평활화될 수 있다[블럭(438)].
도1 내지 도3의 장치는 많은 상이한 적용예들을 제공할 수 있다. 예를 들어, 영상 포착 장치(130)는 이전에 증착된 박막 특징부들의 측정들을 얻기 위해 프로세싱 챔버들(104) 중 특정한 챔버 내로의 웨이퍼의 도입 이전에 웨이퍼의 영상을 얻을 수 있으며, 그리고 그 후 제1세트의 측정들과 비교될 수 있는 제2세트의 측정들을 얻기 위해 다른 박막 특징부의 증착 이후에 동일 웨이퍼의 다른 영상을 얻을 수 있다. 이 비교는 후속의 웨이퍼들의 프로세싱을 조정하는데 유용한 정보를 산출할 수 있다.
다른 예로서, 도12c를 참조하여 위에 서술한 방식으로 비-동심도 진폭(C) 및 위상(α)을 측정한 후, 로봇의[예를 들어, 도1의 대기 로봇(112)의] 웨이퍼 배치 장치의 작용을 보정하도록 에러 보정 피드백으로서 사용하기 위해, 이들 매개변수들은 영상 제어 프로세서(123)에 의해 로봇 제어기(113)로 전송될 수 있으므로, 로봇 블레이드 상의 각각의 웨이퍼의 초기 배치가 보다 양호한 동심도를 제공한다.
광원은, 웨이퍼(122) 위에 놓이는 그리고 카메라(132)와 동일한 웨이퍼(122)의 측부 상의 광원 어레이(134)로서 위에 서술되었다. 그러나, 웨이퍼(122)의 엣지의 영상의 보다 양호한 콘트라스트(contrast)를 위해, 웨이퍼 후방측을 조명하도록 웨이퍼(122)의 아래에 다른 광원(134')이 배치될 수 있다. 이에 따라, 카메라(132)는 영상에서 웨이퍼의 엣지들에 향상된 콘트라스트를 갖는 웨이퍼 엣지의 선명한 실루엣(silhouette) 영상을 볼 것이다.
광원은, 동일한 단색 방출 스펙트럼을 갖는 발광 다이오드들의 어레이(134)로서 위에서 서술되었다. 이러한 단색 소스를 이용하여, 웨이퍼(122)의 표면 상에 증착되는 박막의 두께의 편차를 추론하기 위해, 종래의 간섭측정(interferometric) 기술들을 사용하여 웨이퍼(122)로부터 반사되는 광의 간섭 효과들이 분석될 수 있다. 박막 두께는 종래의 기술들을 사용하여 관찰된 간섭 효과들로부터 연산될 수 있다. 또한, 박막의 엣지 근처의 연속적인 위치들 중 각각의 위치에 대해 그리고 박막 엣지 테이퍼(taper) 프로필을 규정하기 위해 관찰 및 저장되는 박막 두께의 변화에 대해, 박막 두께가 연산될 수 있다. 그 후, 프로세스를 평가하기 위해, 상기 막 두께의 이러한 테이퍼 프로필이 희망하는 테이퍼 프로필과 비교될 수 있다. 유사한 형태로, 웨이퍼(122)의 엣지 테이퍼 프로필이 또한 측정될 수 있다.
도3은 단색 방출 스펙트럼을 갖는 불연속적인 광 이미터들(154)의 단일 열로서 LED 어레이(134)를 도시하고 있다. 그러나, 광원 또는 LED 어레이(134)는 미리 결정된 2개의(또는 그 보다 많은) 불연속적인 파장들로 구성되는 스펙트럼을 가질 수 있다. 이 경우, 광원 어레이(134)의 광 이미터들 또는 발광 다이오드들(154)은 광 이미터들 또는 다이오드들의 평행한 열들로서 배열되는 2개의(또는 그 보다 많은) 별도의 어레이들로 구성될 수 있으며, 각각의 어레이 또는 열은 다른 어레이 또는 열과는 상이한 단색 방출 스펙트럼을 갖는다. 최적의 콘트라스트를 보장하기 위해, 각각의 어레이 또는 열은 상이한 파장으로 단색 스펙트럼을 방출할 수 있으며, 2개의 어레이들 각각은 웨이퍼 유형에 따라 또는 웨이퍼 표면 상의 관심 있는 층의 물질의 유형에 따라 작동될 수 있다. 최적의 콘트라스트는, 상이한 유형들의 층들 또는 상이한 물질들의 층들이 상이한 파장들로 상이하게 반사될 것임에 따라 의존적인 파장이다. 예를 들어, 하나의 파장은 약 450 nm일 수 있으며, 다른 파장은 약 600 nm일 수 있다. 대안적으로, LED 어레이(134)는 3열의 광 이미터들을 가질 수 있으며, 각각의 열은 상이한 파장을 방출한다. 웨이퍼의 컬러 RGB 영상을 제공하기 위해 3개의 파장들은 예를 들어 적색, 청색, 그리고 녹색에 대응할 수 있으며, 그 각각은 매 3번째 프레임마다 한번씩 카메라와 동기(synchronism)하여 작동될 수 있다.
막 두께의 측정들은 특정된 또는 희망하는 막 두께값들(또는 엣지 테이퍼 프로필)과 비교될 수 있으며, 그리고 이 비교는 도1의 프로세싱 챔버들(104) 중 하나의 하나 또는 그보다 많은 프로세스 매개변수들(예를 들어, 증착 시간, 온도, 전구체 가스 조성, 등)을 조정하는데 사용될 수 있다.
상술한 바는 본 발명의 실시예들에 관한 것이지만, 그 기본적인 범위로부터의 일탈 없이 본 발명의 다른 그리고 추가의 실시예들이 안출될 수 있으며, 그 범위는 하기의 청구범위들에 의해 결정된다.
Claims (24)
- 적어도 하나의 프로세싱 챔버, 및 작업부재 트랜싯(transit) 경로를 따라 상기 적어도 하나의 프로세싱 챔버로 그리고 상기 적어도 하나의 프로세싱 챔버로부터 작업부재를 운송하기 위한 로봇을 포함하는 프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법으로서:
상기 작업부재 트랜싯 경로의 트랜싯 경로 부분을 따라 상기 로봇에 의해 상기 작업부재가 운송될 동안, 상기 작업부재 트랜싯 경로의 상기 트랜싯 경로 부분을 횡단하는 세장형의 정지된(stationary) 시야의 연속적인 프레임들을 포착하는 단계 - 상기 연속적인 프레임들은 상기 세장형의 정지된 시야에서 연속적인 시간으로 포착됨 -;
상기 연속적인 프레임들을 포착하는 단계 중 상기 트랜싯 경로 부분을 횡단하는 세장형의 조명 패턴을 이용하여 상기 트랜싯 경로 부분을 조명하는 단계;
상기 연속적인 프레임들을 포함하는 상기 작업부재의 하나의 영상을 규정하는 단계; 및
상기 트랜싯 경로 부분의 방향을 따라 상기 프레임들 중 각각의 프레임들의 각각의 정확한 위치들을 연산하는 단계, 그리고 상기 영상에서의 각각의 프레임의 위치를 상기 각각의 정확한 위치들 중 대응하는 정확한 위치로서 규정함으로써 상기 영상을 보정하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 세장형의 정지된 시야는 상기 트랜싯 경로 부분을 횡단하여 연장하는 적어도 작업부재 직경의 길이, 및 상기 영상의 하나의 화소의 폭을 갖는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 연속적인 프레임들은 상기 작업부재의 선단(leading) 엣지와 일치하는 선단 프레임, 상기 작업부재의 말단(trailing) 엣지와 일치하는 말단 프레임, 및 상기 선단 프레임의 뒤와 상기 말단 프레임의 앞에서 포착되는 프레임들을 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 연산하는 단계는, 상기 연속적인 프레임들 중 각각의 프레임에서의 상기 작업부재의 폭과 공지된 작업부재의 직경 사이의 비율의 함수로서 상기 정확한 위치를 연산하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 연산하는 단계는, 상기 로봇의 움직임(movement)에 대응하는 로봇 속도(velocity) 프로필 정보로부터 상기 정확한 위치를 연산하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제5항에 있어서,
미리 결정된 로봇 속도 프로필을 규정하는 데이터를 포함하는 로봇 제어기 메모리로부터, 상기 로봇 속도 프로필 정보를 얻는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제5항에 있어서,
상기 로봇의 움직임에 응답하는 엔코더로부터 상기 로봇 속도 프로필 정보를 얻는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 포착하는 단계는 감광성 요소들의 세장형의 어레이로부터 신호를 포착하는 단계를 포함하며, 상기 조명하는 단계는 입사각들의 범위를 통해 상기 감광성 요소들의 개별적인 감광성 요소들을 조명하는 패턴으로 발광 요소들의 어레이를 제공하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제3항에 있어서,
상기 트랜싯 경로 부분은 상기 트랜싯 경로 부분에 평행한 Y-축 및 상기 Y-축에 수직한 X-축에 대응하며, 상기 방법은 상기 시야와 상기 X-축 사이의 오정렬 각도에 기인하는 왜곡에 대해 상기 영상에서의 X-축 좌표들을 보정하는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제9항에 있어서,
상기 X-축 좌표들을 보정하는 단계는,
연속적인 프레임들에서의 웨이퍼 중심 위치의 운동을 상기 오정렬 각도의 함수와 매칭(matching)시킴으로써 상기 오정렬 각도를 결정하는 단계; 및
상기 오정렬 각도의 상기 함수를 포함하는 보정 인자에 의해 상기 X-축 좌표들을 보정하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제3항에 있어서,
상기 작업부재의 평면에서 상기 작업부재의 진동으로부터의 왜곡에 대해 상기 영상을 보정하는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제11항에 있어서,
상기 작업부재의 평면에서 상기 작업부재의 진동으로부터의 왜곡에 대해 상기 영상을 보정하는 단계는,
상기 프레임들 중 연속적인 프레임들에서 웨이퍼의 중심의 운동을 찾는 단계;
상기 연속적인 프레임들을 통해 상기 웨이퍼의 중심의 평균 운동을 규정하는 단계;
상기 웨이퍼 중심과 상기 웨이퍼의 중심의 상기 평균 운동 사이의 차이를 포함하는 각각의 프레임에 대해, 상기 차이만큼 상기 영상을 시프팅하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 작업부재의 평면을 횡단하는 방향으로 상기 작업부재의 진동으로부터의 왜곡에 대해 상기 영상을 보정하는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제13항에 있어서,
상기 작업부재의 평면을 횡단하는 방향으로 상기 작업부재의 진동으로부터의 왜곡에 대해 상기 영상을 보정하는 단계는,
상기 영상으로부터 외견상의 작업부재 반경을 결정하는 단계, 그리고 상기 외견상의 작업부재 반경과 공지된 작업부재 반경 사이의 비율로서 방사방향 보정 인자를 결정하는 단계; 및
상기 방사방향 보정 인자에 의해 상기 영상에서의 방사방향 위치들을 스케일링하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제4항에 있어서,
상기 연속적인 프레임들에 대해 상기 정확한 위치의 움직임을 평활화시키는 단계로서, 적합된 로봇 속도 프로필을 생성하기 위해 상기 정확한 위치의 상기 움직임에 대해 상기 로봇의 미리 결정된 속도 프로필 데이터를 적합시킴으로써 상기 연속적인 프레임들에 대해 상기 정확한 위치의 움직임을 평활화시키는 단계, 그리고 상기 적합된 로봇 속도 프로필로부터 상기 연속적인 프레임들 각각에 대한 상기 정확한 위치를 얻는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 적어도 하나의 프로세싱 챔버, 및 작업부재 트랜싯 경로를 따라 상기 적어도 하나의 프로세싱 챔버로 그리고 상기 적어도 하나의 프로세싱 챔버로부터 작업부재를 운송하기 위한 로봇을 포함하는 프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법으로서:
상기 작업부재 트랜싯 경로를 따라 상기 로봇이 상기 작업부재를 운송하게 하는 단계;
상기 작업부재가 세장형의 정지된 시야를 통해 상기 로봇에 의해 운송될 동안, 상기 시야 내에 놓인 상기 작업부재 트랜싯 경로의 부분을 횡단하는 상기 세장형의 정지된 시야의 연속적인 프레임들을 포착하는 단계 - 상기 시야는 상기 작업부재의 직경 이상의 길이를 가짐 -;
상기 작업부재 트랜싯 경로의 상기 부분을 횡단하는 세장형의 광 조명 패턴을 이용하여 상기 시야 내의 상기 작업부재의 적어도 일부를 조명하는 단계;
상기 연속적인 프레임들을 포함하는 상기 작업부재의 하나의 영상을 제공하는 단계; 및
상기 작업부재 트랜싯 경로의 상기 부분의 방향을 따라 상기 프레임들 중 각각의 프레임들의 각각의 정확한 위치들을 연산하는 단계, 그리고 상기 영상에서의 각각의 프레임의 위치를 상기 각각의 정확한 위치들 중 대응하는 정확한 위치로서 규정함으로써 상기 영상을 보정하는 단계를 포함하는,
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제16항에 있어서,
상기 연산하는 단계는 상기 연속적인 프레임들 중 각각의 프레임에서의 상기 작업부재의 폭과 공지된 작업부재 직경 사이의 비율의 함수로서 상기 정확한 위치를 연산하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제16항에 있어서,
상기 연산하는 단계는 상기 로봇의 움직임에 대응하는 로봇 속도 프로필 정보로부터 상기 정확한 위치를 연산하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제16항에 있어서,
상기 세장형의 정지된 시야는 상기 영상의 하나의 화소의 폭을 갖는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제16항에 있어서,
상기 프레임들 중 각각의 프레임에서 상기 작업부재의 중심을 결정하는 단계;
상기 연속적인 프레임들에 걸쳐서 상기 작업부재의 상기 중심의 운동을 결정하는 단계; 및
상기 작업부재의 상기 중심의 상기 운동을 정현파 함수에 매칭시키는 단계, 그리고 상기 작업부재의 비-동심도의 진폭으로서 정현파 진폭을 그리고 상기 작업부재의 비-동심도의 방향으로서 정현파 위상각을 추론하는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제20항에 있어서,
비-동심도의 상기 진폭 및 비-동심도의 상기 방향을 보정 피드백으로서 상기 로봇에 제공하는 단계를 더 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제16항에 있어서,
상기 조명하는 단계는 불연속적인 광 이미터들의 각각의 평행한 열(row)들로부터 광의 각각의 파장들을 제공하는 단계를 포함하며, 상기 열들 중 각각의 열은 상기 파장들 중 각각의 파장에 대응하는 단색(monochromatic) 스펙트럼을 방출하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제22항에 있어서,
조명될 상기 작업부재 상의 층에서의 물질의 유형에 따라, 상기 연속적인 프레임들을 포착하는 단계 동안 작동을 위해 광 이미터들의 상기 평행한 열들 중 특정한 열을 선택하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법. - 제22항에 있어서,
상기 조명하는 단계는 상기 프레임들 중 연속적인 프레임들을 포착하는 단계 동안 광의 상이한 파장들을 이용하여 상기 시야에서의 상기 작업부재의 상기 부분을 조명하여 상기 작업부재의 컬러 영상을 생산하는 단계를 포함하는
프로세싱 시스템에서 작업부재의 영상을 얻기 위한 방법.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/707,499 US8452077B2 (en) | 2010-02-17 | 2010-02-17 | Method for imaging workpiece surfaces at high robot transfer speeds with correction of motion-induced distortion |
| US12/707,499 | 2010-02-17 | ||
| PCT/US2011/022023 WO2011115697A2 (en) | 2010-02-17 | 2011-01-21 | A method for imaging workpiece surfaces at high robot transfer speeds with correction of motion-induced distortion |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20130006449A KR20130006449A (ko) | 2013-01-16 |
| KR101749915B1 true KR101749915B1 (ko) | 2017-06-22 |
Family
ID=44369684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020127024080A KR101749915B1 (ko) | 2010-02-17 | 2011-01-21 | 운동-유도된 왜곡의 보정을 이용하여 높은 로봇 전달 속력들에서 작업부재 표면들을 영상화하기 위한 방법 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8452077B2 (ko) |
| KR (1) | KR101749915B1 (ko) |
| CN (1) | CN102792436B (ko) |
| TW (1) | TWI453102B (ko) |
| WO (1) | WO2011115697A2 (ko) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8610726B2 (en) * | 2008-09-26 | 2013-12-17 | Apple Inc. | Computer systems and methods with projected display |
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| US7881603B2 (en) | 2008-09-26 | 2011-02-01 | Apple Inc. | Dichroic aperture for electronic imaging device |
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2011
- 2011-01-21 CN CN201180012369.9A patent/CN102792436B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-21 WO PCT/US2011/022023 patent/WO2011115697A2/en active Application Filing
- 2011-01-21 KR KR1020127024080A patent/KR101749915B1/ko active IP Right Grant
- 2011-01-25 TW TW100102669A patent/TWI453102B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102792436A (zh) | 2012-11-21 |
| CN102792436B (zh) | 2015-04-29 |
| WO2011115697A2 (en) | 2011-09-22 |
| KR20130006449A (ko) | 2013-01-16 |
| US8452077B2 (en) | 2013-05-28 |
| US20110200247A1 (en) | 2011-08-18 |
| TW201144003A (en) | 2011-12-16 |
| TWI453102B (zh) | 2014-09-21 |
| WO2011115697A3 (en) | 2011-12-22 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |