JP2015026553A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015026553A JP2015026553A JP2013156257A JP2013156257A JP2015026553A JP 2015026553 A JP2015026553 A JP 2015026553A JP 2013156257 A JP2013156257 A JP 2013156257A JP 2013156257 A JP2013156257 A JP 2013156257A JP 2015026553 A JP2015026553 A JP 2015026553A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- charged particle
- particle beam
- temperature
- holding mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
熱変形の発生から収束までの温度曲線は、以下の式(1)で表せる。
T(t)=(T2−T0)(1−e^(−t/τ))+T0・・・(1)
時定数τがtのとき、式(1)は、以下の式(2)で表せる。
T(τ)=(T2−T0)(1−e^(−1))+T0・・・(2)
T(0)=T0・・・(3)
T(tm)=T2・・・(4)
ΔL=αLΔT・・・(5)
式(5)において、ΔLをL(T2)、LをL(T1)、ΔTをT2−T1とすると、図5における熱膨張の伸び縮み量は、以下の式(6)で表せる。
L(T2)=αL(T1)(T2−T1)・・・(6)
L(T2)cosθ=αL(T1)(T2−T1)cosθ・・・(7)
L(T2)sinθ=αL(T1)(T2−T1)sinθ・・・(8)
x1=L(T1)cosθ・・・(9)
y1=L(T1)sinθ・・・(10)
x2=(L(T2)−L(T1))cosθ・・・(11)
y2=(L(T2)−L(T1))sinθ・・・(12)
x2=L(T2)cosθ−L(T1)cosθ・・・(13)
y2=L(T2)sinθ−L(T1)sinθ・・・(14)
1フレーム画像変更後の特定の1画素8002のX−Y方向の座標(x2、y2)は、式(6)、式(7)、式(13)、式(14)と同様にして求めることができる。1フレーム画像変更前の特定の1画素8001毎の変更を全画素について実施し、1フレーム画像変更後の試料画像を形成する。
2…荷電粒子線
3…電子レンズ
4…偏向器
5…試料
6…試料保持機構
7…ステージ
8…反射電子
9…検出器
10…画像処理装置
11…画像記憶装置
12…像表示装置
14…入力装置
101…鏡体
100…試料室
2001…温度センサ
2002…照射開始時刻演算器
2003…偏向量演算器
4001…偏向帰還演算器
5001…試料の中心
5002…熱変形補正前の測長点
5003…熱変形補正後の測長点
5004…試料の中心から熱変形補正前の測長点までの長さ
5005…熱変形補正前の測長点から熱変形補正後の測長点までの長さ
7001…温度記憶装置
7002…画像変更演算器
8001…1フレーム画像変更前の特定の1画素
8002…1フレーム画像変更後の特定の1画素
8003…1フレーム画像変更前の特定の1画素から1フレーム画像変更後の特定の1画素までの長さ
Claims (7)
- 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、試料を保持する試料保持機構を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料保持機構の温度を計測する温度センサと、当該温度センサの計測結果に基づいて、前記荷電粒子線装置を制御する制御装置を有し、
当該制御装置は、前記試料保持機構に試料が載置される前と、前記試料保持機構に試料が載置された後の試料保持機構の温度と、前記荷電粒子ビームによる測定、或いは検査の開示時間、或いは待機時間との関係に基づいて、前記荷電粒子ビームによる測定、或いは検査の開始時間、或いは待機時間を求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記試料保持機構に試料が載置される前の温度と、試料が載置された後の温度と、前記試料保持機構と試料との間の熱交換が終了する時間との関係式に基づいて、前記測定、或いは検査の開始時間、又は前記待機時間を求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記開始時間以降、或いは待機時間経過後に前記測定、或いは検査を実行することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記開始時間以降、或いは待機時間経過後に前記試料に対し、前記荷電粒子ビームを照射するよう前記荷電粒子線装置を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、試料を保持する試料保持機構を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料保持機構の温度を計測する温度センサと、当該温度センサの計測結果に基づいて、前記荷電粒子線装置を制御する制御装置を有し、当該制御装置は、前記試料保持機構に試料が載置される前と、前記試料保持機構に試料が載置された後の試料保持機構の温度と、前記偏向器の偏向信号との関係に基づいて、前記偏向器に供給する偏向信号を求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5において、
前記制御装置は、前記試料上の前記荷電粒子ビームの照射位置に応じて、前記偏向信号を求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、試料を保持する試料保持機構を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料保持機構の温度を計測する温度センサと、当該温度センサの計測結果に基づいて、前記荷電粒子線装置を制御する制御装置を有し、当該制御装置は、前記温度センサによって計測される温度計測結果に基づいて、前記荷電粒子ビームの照射に基づいて得られる画像を変更することを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013156257A JP2015026553A (ja) | 2013-07-29 | 2013-07-29 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013156257A JP2015026553A (ja) | 2013-07-29 | 2013-07-29 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015026553A true JP2015026553A (ja) | 2015-02-05 |
Family
ID=52491055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013156257A Pending JP2015026553A (ja) | 2013-07-29 | 2013-07-29 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015026553A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018003493A1 (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008311351A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
-
2013
- 2013-07-29 JP JP2013156257A patent/JP2015026553A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008311351A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018003493A1 (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
US10586676B2 (en) | 2016-06-27 | 2020-03-10 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101469403B1 (ko) | 하전 입자선 장치 | |
US8229207B2 (en) | Mask inspection apparatus and mask inspection method | |
CN108681209B (zh) | 检测设备及方法、图案形成设备、获取方法和制造方法 | |
KR101187957B1 (ko) | 하전 입자선 장치 | |
US10586676B2 (en) | Charged particle beam device | |
JP5624999B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
JP5475634B2 (ja) | マルチコラム電子線描画装置及びその電子線軌道調整方法 | |
CN103295863A (zh) | 描绘设备以及制造物品的方法 | |
KR20130040785A (ko) | 운동-유도된 왜곡의 감소 또는 방지를 이용하여 높은 로봇 전달 속력들에서 작업부재 표면들을 영상화하기 위한 방법 | |
JP5152567B2 (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP2015026553A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP6018789B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
US9257262B2 (en) | Lithography apparatus, lithography method, and method of manufacturing article | |
JP2012133122A (ja) | 近接露光装置及びそのギャップ測定方法 | |
US20200218169A1 (en) | Methods and apparatus for use in a device manufacturing method | |
JP5478426B2 (ja) | 計測または検査装置およびそれを用いた計測または検査方法 | |
JP5946209B2 (ja) | シート抵抗率計測機構付きレーザアニール装置 | |
JP5473556B2 (ja) | 半導体検査装置の座標補正方法及び半導体検査装置 | |
JP6666050B2 (ja) | パターン評価装置 | |
WO2020141071A1 (en) | Method for calibrating a scanning charged particle microscope | |
JP6174188B2 (ja) | 円筒状原版検査装置および円筒状原版検査方法 | |
JPH11251377A (ja) | 欠陥検査方法およびその装置並びに欠陥の観察または分析方法およびそのシステム | |
JP2015106604A (ja) | ビームの傾き計測方法、描画方法、描画装置、及び物品の製造方法 | |
JP5506202B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP6532302B2 (ja) | アライメント方法、露光装置、および物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160606 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160606 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170116 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170307 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170427 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20170803 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170926 |