KR101727956B1 - 이송유닛 및 이를 구비한 검사장치 - Google Patents

이송유닛 및 이를 구비한 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 필름 또는 시트 상의 연성 물품를 이송하기 위한 이송유닛 및 이를 구비한 검사장치에 관한 것이다. 상기 이송유닛은, 외주면 중앙부에서 원주방향으로 음각된 제2 홈이 구비되고, 내부에 진공유로가 형성된 고정 부재; 상기 고정 부재의 외주면에 슬라이딩 가능하게 밀착되어 외부 구동 수단에 의해 회전되고, 원주면에 복수의 흡착홀이 구비된 드럼; 및 상기 고정 부재와 드럼 사이에서 상기 제2 홈에 의해 형성된 밀폐 공간을 진공영역과 진공해제영역으로 분할하는 한 쌍의 커튼 블록;을 포함하고, 상기 진공유로는 상기 진공영역으로만 연통된 것을 특징으로 한다. 상기 검사장치는, 상기 이송유닛에 더하여 연성 물품을 검사하기 위한 검사유닛을 더 포함하고, 상기 검사유닛은 상기 이송유닛의 진공영역에 대응되게 설치되고, 상기 연성 물품은 상기 진공영역에서 상기 드럼의 외주면에 밀착되어 이송되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 이송유닛 및 검사장치는, 이송유닛에 있어 진공흡입력의 전달 및 선택적 제어에 관한 새로운 기구적 설계를 통해, 진공영역에 대한 정밀한 위치제어가 가능하고, 장치의 단순화 및 소형화에 유리하고, 이송과정에 대한 신뢰성 및 장치의 내구성이 보장될 수 있다.

Description

이송유닛 및 이를 구비한 검사장치{CARRYING UNIT AND INSPECTION DEVICE PROVIDED WITH THE SAME}
본 발명은 필름 또는 시트 상의 연성 물품를 이송하기 위한 이송유닛 및 이를 구비한 검사장치에 관한 것이다. 여기서, 상기 연성 물품은 단일 재질로 구성되거나 단일 또는 이종 재질이 적층된 구조일 수 있다.
현재 필름 또는 시트 상의 연성 물품은 포장 또는 전자재료 등 여러 산업분야에 폭넓게 적용되고 있다. 예컨대, 이러한 연성 물품 중 연성회로기판(flexible printed circuit board)은 얇은 절연필름 위에 동박과 같은 도전층을 형성하고 해당 도전층에 미세한 회로 패턴이 형성된 구조의 전자재료로서 적용되고 있으며, 특히 이러한 연성회로기판에서 회로 패턴 불량은 제품 불량의 원인이 되기 때문에 그 신뢰성 검사는 대단히 중요하다.
일반적으로 연성 물품에 대한 자동화된 검사는, 롤 형태로 제공되는 연성 물품을 검사 영역으로 연속적으로 공급하면서 이미지 장치와 같은 검사 수단을 이용하여 표면 상태를 검사한 후 반송하는 방식으로 수행되며, 이 경우 연성 물품의 공급 및 반송을 위해서는 이송유닛이 필요하다.
종래, 연성 물품을 이송하는 방식으로서, 해당 필름 또는 시트 상의 연성 물품의 가장자리에 일정한 간격으로 홈을 형성하고 해당 홈을 기어와 같은 이송수단에 맞물려 이송하는 방식이 널리 알려져 있으나, 연성 물품에 대한 홈 형성과 같은 별도의 가공 공정이 필요하고 이송 과정에서 연성 물품 자체에 대한 손상의 위험성 및 정밀 검사의 한계가 있다.
최근 상기 기어맞물림 방식이 갖는 한계를 보완하기 위해 연성 필름을 진공흡착 방식으로 이송하는 방식이 개발되고 있으며, 그 일예가 한국등록특허 제10-1037318호에 개시되어 있다. 해당 특허의 경우 특히, 진공흡입력에 관한 선택적 제어와 관련하여, 흡착부재의 회전각을 감지하는 회전각 감지부와, 회전각 감지부로부터 전달된 흡착부재의 회전각 데이터로 흡착홀들에서의 흡착력을 선택적으로 제어하는 제어부에 관한 구성을 개시하고 있다.
그러나, 흡착부재의 회전 속도를 고속으로 하면 진공단속밸브의 전자적 응답속도에 비해 흡착부재의 배관 라인에서의 진공형성 응답속도가 늦어지므로 흡착부재의 원주방향에서의 진공영역 경계에 대한 정밀한 위치 단속이 곤란하다. 또한, 진공영역이 세분화되어 있지 못하면, 진공구간의 시작과 끝의 경계구간에서 진공단속밸브가 제어하는 진공발생, 진공파괴 면적이 커서 이송대상 소재의 흡착, 탈락으로 진동이 발생하고, 소재 표면에 손상을 줄 수도 있다.
또한, 해당 특허에 개시된 이송유닛은 진공흡입력의 전달 및 선택적 제어에 관련된 장치 설계가 복잡하고 부품 요소가 증가함에 따라, 이송유닛 및 이를 포함하는 검사장치의 소형화에 한계가 있고 또한 이송유닛 자체의 신뢰성 및 유지보수가 곤란한 문제가 있다.
한국등록특허 제10-1037318호
본 발명의 목적은, 종래 진공흡착 방식의 이송유닛을 더욱 개량하여, 진공영역에 대한 정밀한 위치제어가 가능하고, 장치의 소형화에 유리하고 이송과정에 대한 신뢰성 및 장치의 내구성이 향상된 간단한 구조의 이송유닛과 이를 구비한 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명자들은, 상기 해결과제와 관련하여 진공흡착 방식으로 동작하는 새로운 이송유닛을 연구 및 개발하는 과정에서, 종래 진공흡입력의 전달 및 선택적 제어 방식이 갖는 문제점에 주목하여 이를 개선한 새로운 방식을 지견하고 이에 더하여 장치의 기구적 설계를 구체화함으로써 본 발명에 이르게 되었다. 상기 해결과제에 관련된 본 발명의 요지는 다음과 같다.
(1) 필름 또는 시트 상의 연성 물품을 이송하기 위한 이송유닛으로서, 외주면 중앙부에서 원주방향으로 음각된 제2 홈이 구비되고, 내부에 진공유로가 형성된 고정 부재; 상기 고정 부재의 외주면에 슬라이딩 가능하게 밀착되어 외부 구동 수단에 의해 회전되고, 원주면에 복수의 흡착홀이 구비된 드럼; 및 상기 고정 부재와 드럼 사이에서 상기 제2 홈에 의해 형성된 밀폐 공간을 진공영역과 진공해제영역으로 분할하는 한 쌍의 커튼 블록;을 포함하고, 상기 진공유로는 상기 진공영역으로만 연통된 것을 특징으로 하는 이송유닛.
(2) 상기 고정부재는 제1 진공유로를 내부에 구비한 고정축과 제2 진공유로를 내부에 구비한 보스를 포함하고, 상기 진공유로는 제1 진공유로와 제2 진공유로가 연통되어 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 (1)에 따른 이송유닛.
(3) 상기 제2 진공유로는 복수로 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 (2)에 따른 이송유닛.
(4) 상기 고정축의 외주면 또는 보스의 내주면에는 원주방향으로 음각된 제1 홈이 구비되고, 상기 제1 홈은 상기 제1 진공유로 및 제2 진공유로와 기밀로 연통되는 것을 특징으로 하는 상기 (2)에 따른 이송유닛.
(5) 상기 보스의 외주면에는 상기 제2 진공유로가 형성되지 않은 영역에서 일정 각도 단위로 형성되어 상기 커튼 블록을 수용하기 위한 복수의 수용홈이 형성된 것을 특징으로 하는 상기 (2)에 따른 이송유닛.
(6) 상기 드럼의 전면 및 후면을 밀폐하기 위한 커버 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 (1)에 따른 이송유닛.
(7) 상기 커튼 블록은 탄성스프링에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 상기 (1)에 따른 이송유닛.
(8) 상기 (1) 내지 (7) 중 어느 하나에 따른 이송유닛; 및 연성 물품을 검사하기 위한 검사유닛;을 포함하고, 상기 검사유닛은 상기 이송유닛의 진공영역에 대응되게 설치되고, 상기 연성 물품은 상기 진공영역에서 상기 드럼의 외주면에 밀착되어 이송되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
(9) 상기 검사유닛은 연성 물품의 표면을 촬영하기 위한 촬영유닛인 것을 특징으로 하는 상기 (8)에 따른 검사장치.
(10) 상기 이송유닛의 전단 및 후단에 설치되는 장력조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 (8)에 따른 검사장치.
(11) 필름 또는 시트 상의 연성 물품을 이송하기 위한 이송유닛으로서, 내부에 진공유로가 형성된 고정부재; 상기 고정부재의 외주면에 슬라이딩 가능하게 밀착되어 외부 구동 수단에 의해 회전되고, 원주면에 복수의 흡착홀이 구비되고, 그 내주면 중앙부에서 원주방향으로 음각된 제2 홈이 구비된 드럼; 및 상기 고정부재와 드럼 사이에서 상기 제2 홈에 의해 형성된 밀폐공간을 진공영역과 진공해제영역으로 분할하는 한 쌍의 커튼 블록;을 포함하고, 상기 진공유로는 상기 진공영역으로만 연통된 것을 특징으로 하는 이송유닛.
(12) 필름 또는 시트 상의 연성 물품을 이송하기 위한 이송유닛으로서, 외주면 중앙부에서 원주방향으로 음각된 제2 홈이 구비되고, 내부에 진공유로가 형성된 고정부재; 및 상기 고정부재의 외주면에 승라이딩 가능하게 밀착되어 외부 구동 수단에 의해 회전되고, 원주면에 복수의 흡착홀이 구비된 드럼;을 포함하고, 상기 제2 홈은 상기 고정부재의 원주방향으로 일부 영역에만 형성되어 상기 고정부재와 드럼 사이에서 밀폐공간을 형성하여, 해당 밀폐공간이 형성된 영역은 진공영역으로 그외의 영역은 진공해제영역으로 각각 분할되고, 상기 진공유로는 상기 진공영역으로만 연통되는 것을 특징으로 하는 이송유닛.
본 발명은, 이송유닛에 있어 진공흡입력의 전달 및 선택적 제어와 관련하여, 고정부재와 드럼 사이의 영역 중 일부 방위 영역에 대해서만 진공영역으로 기능하는 밀폐공간을 선택적으로 형성할 수 있는 기구적 설계를 통해, 진공영역에 대한 정밀한 위치제어가 가능하고, 이송유닛 및 이를 포함하는 검사장치의 단순화 및 소형화에 유리하고, 이송과정에 대한 신뢰성 및 장치의 내구성이 보장될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 구조도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 이송유닛의 정단면 구조도.
도 3는 도 2의 Y-Y을 따라 도시한 이송유닛의 측단면 구조도.
도 4는 도 2의 X-X을 따라 도시한 이송유닛의 측단면 구조도.
도 5은 본 발명의 실시예에 따른 고정 부재의 측단면 구조도.
도 6는 본 발명의 실시예에 따른 진공영역과 진공해제영역의 분할 구도를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송유닛의 정단면 구조도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 도면에서 동일 또는 균등물에 대해서는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하였다. 또한 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
한편, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있거나 본 발명의 요지 설명에 불필요한 부분으로서 도면 도시로부터 그 구조나 동작 내용이 직관적으로 이해될 수 있는 것에 대해서는 관련 식별기호에 대한 표시 및 이에 관한 구체적인 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 발명에 따른 요지를 구성하지 않는 부분에 대한 도면 도시는 생략하거나 본 발명에 따른 유닛 또는 장치의 용도 또는 동작 내용에 대한 설명으로 대체하기로 한다.
먼저, 본 발명의 실시예에 따른 검사장치 및 이에 포함되는 이송유닛의 구조에 대해 상술한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(10)의 구조도를 나타낸다. 도 1의 실시예에 따른 검사장치(10)는, 연성회로기판과 같은 연성 물품(20)에 대한 표면 검사장치로서, 연성회로기판을 이송하기 위한 이송유닛(100)과 카메라 등의 영상촬영장치를 구비하여 연성회로기판의 표면을 촬상하기 위한 검사유닛(200)을 포함한다.
이송유닛(100)의 전방에는 검사 전 연성 물품(20)을 공급하기 위한 공급유닛(300)이 구비되고 그 후방에는 검사된 연성 물품(20)을 회수하기 위한 회수유닛(400)이 구비된다. 이러한 공급유닛(300)과 회수유닛(400)은 도면 도시와 같이 예컨대, 권취 롤러일 수 있다.
상기 이송유닛(110)은, 후술하는 바와 같이, 드럼(120)을 이용하여 진공흡착 방식으로 동작하며, 회전 동작 과정에서 드럼(120)의 일부 영역(A; 도 2 참조)에 대해서만 진공흡착이 이루어져 연성회로기판(20)을 이송하게 된다.
상기 검사장치(10)는, 선택적으로, 상기 이송유닛(100)의 전단 및 후단에 설치되는 텐션 롤러와 같은 장력조절수단(500)을 더 포함할 수 있다. 장력조절수단(500)에 의해 연성회로기판(20)에 대한 장력이 조절됨으로써, 이송유닛(110)의 드럼(120)에 대한 연성회로기판(20)의 밀착도는 더욱 향상되어 검사의 신뢰성이 높아질 수 있다.
도 2는 상기 검사장치(10)를 구성하는 이송유닛(100)의 정단면 구조도를, 도 3 및 도 4는 도 2의 Y-Y 및 X-X를 따라 도시된 이송유닛(100)의 측단면 구조도를 각각 나타낸다. 도 5는, 도 2의 이송유닛(100)을 구성하는 고정 부재(110; 1110, 1120)의 측단면 구조도를 나타내며, 도 2의 Y-Y 방향을 따라 도시하였다.
도 2 내지 도 5의 실시예에 따른 이송유닛(100)은, 이송 동작 과정에서 고정된 상태로 유지되는 고정부재(110)와, 이송 동작 과정에서 회전하는 요소인 드럼(120)과, 상기 고정부재(110)에 장착되는 한 쌍의 커튼 블록(130)을 포함하고, 실시예에서 상기 고정부재(110)는 고정축(1110)과 그 외주연에 밀착하여 결합되는 보스(1120)를 포함한다.
상기 이송유닛(100)은 원주방향으로 회전 방위에 따라 진공흡착이 이루어지는 '진공영역'(A)과 진공흡착이 해제되는 '진공해제영역'(B)으로 분할된다. 이러한 '진공영역'(A)과 '진공해제영역'(B)의 분할은 상기 커튼 블록(130)과 후술하는 바와 같이 상기 고정부재(110)의 보스(1120)에 구비되는 제2 진공유로(1122)의 형성 방위에 따라 결정된다. 도 4에서, 상기 '진공영역'(A)은 지면 안쪽으로, 상기 '진공해제영역'(B)은 지면 바깥쪽으로 할당된다.
상기 고정축(1110)의 내부에는 제1 진공유로(1112)가 형성되고, 제1 진공유로(1112)는 공기를 흡입하는 외부 진공수단(도면 미도시)과 연통된다. 제1 진공유로(1112)는 고정축(1110)의 축방향으로 연장되는 요소(1112a)와 고정축(1110)의 방사방향으로 연장되는 요소(1112b)로 구성되고, 요소 1112a와 1112b는 절곡된 구조로 일체로 연통된다.
선택적으로, 상기 고정축(1110)의 외면에는 원주방향으로 음각된 제1 홈(1114)이 형성된다. 이 경우, 상기 진공유로(1112)의 요소(1112b)는 제1 홈(1114) 측으로 연통되도록 출구가 형성된다.
상기 보스(1120)의 내부에는 제2 진공유로(1122)가 형성된다. 이 경우 제2 진공유로(1122)는, 보스(1120)의 원주방향으로 소정 방위 영역, 즉 상기 '진공영역'(A)에 대응되는 방위 영역에 제한적으로 형성된다. 상기 제2 진공유로(1122)는, 바람직하게는, 해당 방위 영역에서 복수의 요소(1122a, 1122b, 1122c)로 형성되며 이에 따라 상기 '진공영역'(A) 전체에 대해 균일한 진공 압력을 인가할 수 있다.
상기 보스(1120)의 외면에는 원주방향으로 음각된 제2 홈(1124)이 형성되고, 상기 제2 진공유로(1122; 1122a, 1122b, 1122c)는 제2 홈(1124) 측으로 연통되도록 출구가 형성된다.
상기 고정축(1110)과 보스(1120)는 도면에 도시되지 않은 핀 등의 고정 수단에 의해 고정될 수 있다. 결합된 상태에서, 고정축(1110)과 보스(1120) 사이에는 상기 제1 홈(1114)과 보스(1120)의 내벽면으로 이루어진 밀폐공간이 원주방향을 따라 형성된다. 이 경우, 고정축(1110)과 보스(1120)의 원주방향으로의 결합 방위에 상관 없이, 고정축(1110)의 제1 진공유로(1112)는 상기 제1 홈(1114)을 경유하여 상기 보스(1120)의 제2 진공유로(1122)에 기밀로 연통된다. 이에 따라 제1 진공유로(1112) 및 제2 진공유로(1122)는 일체로 하나의 진공유로를 형성함으로써 고정부재(110) 외부로 진공 압력을 인가하게 된다.
상기 드럼(120)은 링형 부재로 제공되고, 그 외주면에는 검사대상물인 연성회로기판(20)을 진공으로 흡착하는 복수의 흡착홀(122)이 구비된다. 실시예에서, 상기 드럼(120)의 일측에는 드럼 풀리(125)가 결합되고, 그 타측에는 드럼 커버(126)가 선택적으로 결합된다. 이 경우, 상기 드럼 풀리(125)와 드럼 커버(126)는 드럼(120)의 전면 및 후면을 밀폐하기 위한 커버 부재의 역할도 겸한다.
상기 드럼(120), 드럼 풀리(125), 드럼 커버(126)는 일체로 상기 고정부재(110; 1110, 1120)의 외측에서 회전 슬라이딩 가능하게 결합되고, 이 경우 드럼 풀리(125)와 드럼 커버(126)는 고정축(1110)의 외측면에 제공되는 베어링(도면 미도시) 등에 의해 지지될 수 있다. 드럼 풀리(125)는 외부로부터의 회전력 전달 요소인 원동축 풀리(140)에 벨트(150)로 연결되고, 원동축 풀리(140)의 회전 구동력은 벨트(150)에 의해 종동축 풀리인 드럼 풀리(125)에 전달되고, 이에 따라 드럼(120), 드럼 풀리(125), 드럼 커버(126)가 일체로 회전한다.
상기 고정부재(110)에 결합된 상태에서, 상기 보스(1120)와 드럼(120) 사이에는 상기 제2 홈(1124)과 드럼(120)의 내벽면으로 이루어진 밀폐공간이 원주방향을 따라 형성된다. 이 경우, 보스(1120)의 제2 진공유로(1122; 1122a, 1122b, 1122c)는 상기 제2 홈(1124)를 경유하여 상기 드럼(120)의 흡착홀(122)에 연통된다. 이에 따라 제1 진공유로(1112), 제1 홈(1114), 제2 진공유로(1122), 제2 홈(1124) 및 흡착홀은 일체로 하나의 진공유로를 형성함으로써 드럼(120) 외부로 진공 압력을 인가하게 된다.
상기 한 쌍의 커튼 블록(130)은, 상기 고정부재(110)와 상기 드럼(120) 사이에 제공되어, 상기 제2 홈(1124)과 드럼(120)의 내벽면으로 이루어진 밀폐공간을 원주방향을 따라 제2 진공유로(1122)가 형성된 ‘진공영역’(A)과 제2 진공유로(1122)가 형성되지 않은 '진공해제영역'(B)로 분할한다. 이에 따라, 상기 한 쌍의 커튼 블록(130)에 의해, 드럼(120)은 그 원주방향으로의 회전 방위에 따라 특정 방위 영역이 진공흡착이 이루어지는 '진공영역'(A)으로 할당되고, 그 외의 방위 영역은 진공흡착이 해제되는 '진공해제영역'(B)으로 할당된다.
실시예에서 상기 커튼 블록(130)은 상기 보스(1120)에 구비된 수용홈(1126)에 수용 장착되어 드럼(120)의 원주 방향 회전에 불구하고 최초 설치상태로 유지된다. 또한 커튼 블록(130)은 수용홈(1126)에 수용 장착된 상태에서 탄성 스프링(1127)에 의해 지지됨으로써 드럼(120)의 내주면에 완전 밀착된다.
한편, 상기 수용홈(1126)은 상기 제2 진공유로가 형성되지 않은 '진공해제영역'(B)에서 일정 각도 단위로 형성됨으로써, 상기 커튼 블록(130)이 보스(1120)의 원주방향을 따라 설치되는 위치 내지 방위는 변경될 수 있다. 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 커튼 블록(130)에 의한 '진공영역'(A')과 '진공해제영역'(B')의 점유에 관한 분할 구도는 작업환경에 따라 용이하게 조절될 수 있다.
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 이송유닛(100)의 동작 내용에 대해 설명한다. 이송유닛(100)의 동작 내용에는, 특히 이송 과정에서 검사대상물인 연성회로기판(20)에 대한 진공흡입력의 전달과, 드럼(120)의 흡착홀(122)에서의 진공흡입력에 대한 선택적 제어를 포함한다.
상기 이송유닛(100)에서, 실시예에 따른 검사장치(10)의 작동 중 상기 드럼(120), 드럼 풀리(125), 드럼 커버(126)는 일체로서 회전하는 요소이고, 상기 고정부재(110)를 구성하는 고정축(1110)과 보스(1120)는 고정된 요소이다. 외부 진공원(도면 미도시) 진공 압력이 인가된 상태에서, 외부로부터의 회전력 전달 요소인 원동축 풀리(140)가 회전함에 따라 원동축 풀리(140)에 벨트(150)로 연결된 드럼 풀리(125)에 회전 구동력이 전달되고, 이에 따라 드럼(120), 드럼 풀리(125), 드럼 커버(126)가 일체로 상기 고정부재(110) 상에서 슬라이딩되어 회전한다. 외부 진공원으로부터의 진공흡입력은, 고정축(1110) 내부의 제1 진공유로(1112; 1112a, 1112b), 고정축(1110) 외주면의 제1 홈(1114), 보스(1120) 내부의 제2 진공유로(1122; 1122a, 1122b, 1122c), 보스(1120) 외주면의 제2 홈(1124), 및 드럼(120)의 흡착홀(122)을 순차적으로 경유하여 드럼(120)의 표면 일부에 감겨져 공급되는 연성회로기판(20)에 전달된다.
이 경우, 드럼(120)의 흡착홀(122)에서의 진공흡입력에 대한 선택적 제어는, (a) 이송유닛(100)을 회전 요소로서 드럼(120)과, 고정 요소로서 고정축(1110)과 보스(1120)로 각각 구성하고, (b) 보스(1120)의 외주면에 형성된 제2 홈(1124)과 커튼 블록(130)을 이용하여 드럼(120) 내주면 사이에 형성되는 밀폐 공간이 '진공영역'(A)과 '진공해제영역'(B)으로 2분할되도록 구성하고, (c) 제1 진공유로(1112; 1112a, 1112b), 제2 진공유로(1122; 1122a, 1122b, 1122c) 및 흡착홀(122)이 상호 연통되되, 제2 진공유로(1122; 1122a, 1122b, 1122c)가 '진공영역'(A)으로만 연통되도록 구성함으로써 달성되며, 드럼(120) 회전시 '진공영역'(A)에 위치하는 흡착홀(122)에 대해서는 진공흡입력이 인가되고, '진공해제영역'(B)에 위치하는 흡착홀(122)에 대해서는 외부 공기 유입에 의해 진공흡입력이 해제되는 방식으로 수행된다.
이상과 같이 본 발명은, 이송유닛(100)에 있어 진공흡입력의 전달 및 선택적 제어와 관련하여, 고정부재(110)와 드럼(120) 사이의 영역 중 일부 방위 영역에 대해서만 진공영역(A)으로 기능하는 밀폐공간을 선택적으로 형성할 수 있는 기구적 설계를 통해, 진공영역(A)과 진공해제영역(B)의 경계에 대한 정밀한 위치제어가 가능하고, 이송유닛(100) 및 이를 포함하는 검사장치(10)의 단순화 및 소형화에 유리하고, 이송과정에 대한 신뢰성 및 장치의 내구성이 보장될 수 있다.
이상의 설명은, 본 발명의 구체적인 실시예에 관한 것이다. 본 발명에 따른 상기 실시예는 설명의 목적으로 개시된 사항이나 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 이해되지는 않으며, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질을 벗어나지 아니하고 다양한 변경 및 수정이 가능한 것으로 이해되어야 한다.
도 2 내지 도 6의 이송유닛(100)의 실시예에서, 제2 홈(1124)이 고정부재(110)의 외주면 전체에 대해 원주방향으로 연속되어 형성된 것을 예정하여 상기 고정부재(110)와 드럼(120) 사이에서 제2 홈에 의해 원주방향으로 연속되어 형성되는 밀폐공간을 커튼 블록(130)을 이용하여 '진공영역'(A)과 '진공해제영역'(B)으로 분할하는 것을 예시하였다. 이는 궁극적으로 고정부재(110)와 드럼(120) 사이의 영역 중 일부 방위 영역에 대해서만 '진공영역'(A)으로 기능하는 밀폐공간을 선택적으로 형성하기 위함이고, 이러한 본 발명에 따른 이송유닛(100)의 기본적인 기술적 개념은 상기 제2 홈(1124)의 형성위치나 형태를 달리하여 변경될 수 있다.
본 발명에 따른 이송유닛(100)의 기술적 개념에 관한 변형 실시예로서, 도 2 내지 도 6의 실시예에서와는 달리 상기 제2홈은 상기 고정부재(110)의 외주면 대신에 상기 드럼(120)의 내주면 전체에 형성되어 고정부재(110)와 드럼(120) 사이에서 원주방향으로 연속된 밀폐공간을 형성하고, 도 2 내지 도 6의 실시예에서와 마찬가지로 커튼 블록을 이용하여 진공영역과 진공해제영역으로 분할하는 것도 가능하다.
본 발명에 따른 이송유닛의 기술적 개념에 관한 또 다른 변형 실시예로서, 도 7을 참조할 때, 도 2 내지 도 6 실시예서와 같이 상기 제2홈(1124')을 고정부재(110)의 외주면에 형성하되, 도 2 내지 도 6의 실시예와는 달리 고정부재(110)의 원주방향으로 일부 영역에만 형성하는 것도 가능하다. 이에 따라, 고정부재(110)와 드럼(120) 사이에서 상기 제2 홈(1124')에 의해 형성되는 밀폐공간은 원주방향으로 일부 영역에만 형성되고, 이러한 밀폐공간으로 상기 고정부재(110)의 진공유로(1112, 1122)가 연통되도록 구성함으로써 해당 밀폐공간이 형성된 영역은 '진공영역'(A)으로 그 외의 영역은 '진공해제영역'(B)으로 자동적으로 분할될 수 있다. 이 경우, 도 2 내지 도 6의 실시예에서와는 달리 고정부재(110)와 드럼(120) 사이에 제공되는 커튼 블록(130)은 불필요하다.
또한 이송유닛(100)의 실시예에서, 이송 대상 물품을 연성회로기판을 예정하여 설명하였으나, 상기 이송유닛(100)은 필름 또는 시트 상의 연성 물품이라면 이송 대상 연성 물품의 종류나 용도에 상관 없이 적용될 수 있다. 또한 이송 대상 연성 물품은 연질의 단일 재질로 구성되거나 단일 또는 이종 재질이 적층된 구조일 수 있다.
또한 이송유닛(100)의 실시예에서, 이송유닛(100)이 검사장치(10)에 적용되는 것을 예정하였으나, 검사 이외의 다른 이송 목적 예컨대 포장 장치 등에 적용되는 것도 가능하다.
또한 이송유닛(100)의 실시예에서, 상기 고정 부재(110)는, 고정축(1110)과 보스(1120)로 분할 구성되었으나 주물 방식으로 제작되어 단일 요소로 구성하는 것도 가능하다.
또한 이송유닛(100)의 실시예에서, 제2 진공유로가 복수로 형성되는 것을 예정하였으나 단일 개수로 형성되는 것도 가능하다.
또한 이송유닛(110)의 실시예에서, 제1 진공유로(1112)와 제2 진공유로(1114)를 매개하는 홈이 제1 홈(1114)의 형태로 고정축(1110)의 외주면 원주방향으로 형성되는 것을 예시하였으나, 이러한 제1 홈(1114)는 보스(1120)의 내주면에 형성하는 것도 가능하다.
또한 이송유닛(110)의 실시예에서, 드럼(120)의 회전은 별도로 제공되는 드럼 풀리(125)와 결합되는 것으로 개시되었으나, 드럼(120)은 흡착홀(122)이 형성된 영역과 그외의 영역이 일체로 구비된 단일 요소로 제공될 수 있고 그 일부분이 원동축 풀리(140)에 벨트(150)로 연결되어 회전될 수 있다.
또한 이송유닛(110)의 실시예에서, 드럼(120)이 벨트(150)에 의해 회전되는 것을 예시하였으나, 기어와 같은 다른 방식으로 회전하는 것도 가능하다.
또한 검사장치(10)의 실시예에서, 상기 검사유닛(200)이 카메라와 같이 표면 촬상을 통해 불량 유무를 판정하는 촬영유닛을 예시하였으나, 제한이지는 않으며 물리적, 화학적 또는 광학적으로 동작하는 다른 방식의 검사유닛으로 대체하는 것도 가능하다.
또한 검사장치(10)의 실시예에서, 상기 공급유닛(300)과 회수유닛(400)은 롤 타입을 예시하였으나 연성 필름이 일정한 길이의 판형 시트 형태로 공급 및 회수되는 방식도 가능하다.
또한 검사장치(10)의 실시예에서, 상기 이송유닛(100)과 검사유닛(200)은 하나의 세트로 예시되어 있으나, 단계별 검사 목적으로 이러한 이송유닛(100)과 검사유닛(200)의 세트는 복수로 제공될 수 있다.
따라서, 이러한 모든 수정과 변경은 특허청구범위에 개시된 발명의 범위 또는 이들의 균등물에 해당하는 것으로 이해될 수 있다.
10: 검사장치 100: 이송유닛
110: 고정부재 1110: 고정축
1112, 1112a, 1112b: 제1 진공유로
1114: 제1 홈 1120: 보스
1122, 1122a, 1122b, 1122c: 제2 진공유로
1124, 1124': 제2 홈 1126: 수용홈
1127: 탄성 스프링 120: 드럼
122: 흡착홀 125: 드럼 풀리
126: 드럼 커버 130: 커튼 블록
140: 원동축 풀리 150: 벨트
200: 검사유닛 300: 공급유닛
400: 회수유닛 500: 장력조절유닛
20: 연성회로기판
A, A': 진공영역
B, B': 진공해제영역

Claims (12)

  1. 외부 구동수단에 의해 동작하며 필름 또는 시트 상의 연성 물품을 이송하기 위한 검사장치용 이송유닛으로서,
    외주면 중앙부에서 원주방향으로 음각된 제2 홈이 구비되고, 내부에 진공유로가 형성된 고정 부재;
    상기 고정 부재의 외주면에 슬라이딩 가능하게 밀착되어 외부 구동 수단에 의해 회전되고, 원주면에 복수의 흡착홀이 구비된 드럼; 및
    상기 고정 부재와 드럼 사이에서 상기 제2 홈에 의해 형성된 밀폐 공간을 진공영역과 진공해제영역으로 분할하는 한 쌍의 커튼 블록;을 포함하고,
    상기 진공유로는 제1 진공유로 및 제2 진공유로로 이루어져 상기 전공영역으로만 연통되고,
    상기 고정부재는 제1 진공유로를 내부에 구비한 고정축과 제2 진공유로를 내부에 구비한 보스를 포함하고, 상기 고정축의 외주면 또는 보스의 내주면에는 원주방향으로 음각된 제1 홈이 구비되고, 상기 제1 홈은 상기 제1 진공유로 및 제2 진공유로와 기밀로 연통되고, 상기 보스의 외주면에는 상기 제2 진공유로가 형성되지 않은 영역에서 일정 각도 단위로 형성되되 상기 커튼 블록을 수용하여 탄성스크링으로 지지하기 위한 복수의 수용홈이 형성되어, 상기 커튼블록의 수용홈에 대한 설치 위치에 따라 상기 진공영역과 진공해제영역이 가변될 수 있는 것을 특징으로 하는, 이송유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 진공유로는 복수로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송유닛.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 드럼의 전면 및 후면을 밀폐하기 위한 커버 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송유닛.
  7. 삭제
  8. 제1항, 제3항 또는 제6항 중 어느 한 항에 따른 이송유닛; 및 연성 물품을 검사하기 위한 검사유닛;을 포함하고, 상기 검사유닛은 상기 이송유닛의 진공영역에 대응되게 설치되고, 상기 연성 물품은 상기 진공영역에서 상기 드럼의 외주면에 밀착되어 이송되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 검사유닛은 연성 물품의 표면을 촬영하기 위한 촬영유닛인 것을 특징으로 하는 검사장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 이송유닛의 전단 및 후단에 설치되는 장력조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004026348A (ja) * 2002-06-21 2004-01-29 Okazaki Kikai Kogyo Kk サクションローラ
KR101037318B1 (ko) * 2010-04-23 2011-05-26 이좋은 광학검사장치

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