KR101609185B1 - Unit for transferring deposition source, apparatus of deposition having the same and method of deposition - Google Patents

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KR101609185B1 KR1020130155406A KR20130155406A KR101609185B1 KR 101609185 B1 KR101609185 B1 KR 101609185B1 KR 1020130155406 A KR1020130155406 A KR 1020130155406A KR 20130155406 A KR20130155406 A KR 20130155406A KR 101609185 B1 KR101609185 B1 KR 101609185B1
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Abstract

증발원 이송유닛, 증착 장치 및 증착 방법이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 증착 챔버 내에 배치되어 선형의 증발원을 이송시키는 증발원 이송유닛으로서, 하나의 중심점에서 상기 증착 챔버를 가로지르는 가상의 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 레일과, 상기 중심점에서 상기 증착 챔버를 가로지르는 가상의 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 곡선의 제3 레일을 포함하는 하측레일과; 상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 곡선의 제6 레일을 포함하는 상측레일과; 상기 선형의 증발원이 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대해 수직을 이루도록 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함하는, 증발원 이송유닛이 제공된다.An evaporation source transfer unit, a deposition apparatus, and a deposition method are disclosed. According to one aspect of the present invention there is provided an evaporation source transfer unit disposed in a deposition chamber for transferring a linear evaporation source, the evaporation source transfer unit comprising: a linear first rail perpendicular to an imaginary first radiation direction across the deposition chamber at one central point; A lower rail comprising a linear second rail perpendicular to an imaginary second radial direction across the deposition chamber at the center point and a third rail of curvilinear connecting the first rail and the second rail, ; A fourth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the first rail, a fifth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the second rail, and a fourth rail of a sixth curved line connecting the fourth rail and the fifth rail, An upper rail comprising a rail; Wherein the linear evaporation source is coupled to the lower rail and the upper rail so as to be perpendicular to the lower rail and the transporting unit reciprocates along the lower rail and the upper rail.

Description

증발원 이송유닛, 증착 장치 및 증착 방법{Unit for transferring deposition source, apparatus of deposition having the same and method of deposition}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an evaporation source transfer unit, a deposition apparatus, and a deposition method,

본 발명은 증발원 이송유닛, 증착 장치 및 증착방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 유기물 재료의 손실을 줄일 수 있는 유기물 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an evaporation source transfer unit, a deposition apparatus and a deposition method. More particularly, the present invention relates to a method and apparatus for depositing a plurality of substrates in a single chamber, wherein during a deposition process of one substrate, a transfer process or an alignment process for another substrate is performed to reduce tact time The present invention relates to an organic material deposition apparatus and a deposition method using the same, which can reduce loss of an organic material material generated during a transferring process or an aligning process with respect to a substrate.

유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Luminescence Emitting Device (OLED) is a self-luminous self-luminous device that uses an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound, and does not require a backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device.

특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.In particular, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. .

진공열증착방법은 진공의 챔버 내에 기판을 이송시키고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 이송된 기판에 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is transferred into a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on the transferred substrate, heat is applied to the crucible containing the organic material, and the organic material sublimated in the crucible is transferred onto the substrate As shown in FIG.

종래 기술에 따른 진공열증착방법은 하나의 챔버 내에서 하나의 기판에 대해 증착공정이 이루어지기 때문에 기판의 이송공정과 쉐도우 마스크 얼라인공정 중에는 기판에 대한 증착공정이 중단되어 택 타임(tack time)이 증가되는 문제점이 있었다. The vacuum thermal deposition method according to the related art has a problem that since the deposition process is performed for one substrate in one chamber, the deposition process for the substrate is interrupted during the substrate transfer process and the shadow mask align process, There is a problem in that it is increased.

또한, 기판의 이송공정과 쉐도우 마스크 얼라인공정 중에도 도가니에서 지속적으로 유기물이 승화되고 있어 유기물 재료가 손실되는 문제점이 있다.
Further, there is a problem that the organic material is continuously lost in the crucible even during the substrate transferring process and the shadow mask aligning process, and the organic material is lost.

본 발명은 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 유기물 재료의 손실을 줄일 수 있는 증발원 이송유닛, 증착 장치 및 이를 이용한 증착방법을 제공한다.
The present invention can reduce the tact time by carrying out a deposition process for a plurality of substrates in one chamber, and a transfer process or an alignment process for another substrate during a deposition process of one substrate, Provided are an evaporation source transfer unit, a deposition apparatus, and a deposition method using the evaporation source transfer unit, which can reduce a loss of an organic material occurring during a transfer process or an alignment process with respect to a substrate.

본 발명의 일 측면에 따르면, 증착 챔버 내에 배치되어 선형의 증발원을 이송시키는 증발원 이송유닛으로서, 하나의 중심점에서 상기 증착 챔버를 가로지르는 가상의 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 레일과, 상기 중심점에서 상기 증착 챔버를 가로지르는 가상의 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 곡선의 제3 레일을 포함하는 하측레일과; 상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 곡선의 제6 레일을 포함하는 상측레일과; 상기 선형의 증발원이 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대해 수직을 이루도록 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함하는, 증발원 이송유닛이 제공된다.According to one aspect of the present invention there is provided an evaporation source transfer unit disposed in a deposition chamber for transferring a linear evaporation source, the evaporation source transfer unit comprising: a linear first rail perpendicular to an imaginary first radiation direction across the deposition chamber at one central point; A lower rail comprising a linear second rail perpendicular to an imaginary second radial direction across the deposition chamber at the center point and a third rail of curvilinear connecting the first rail and the second rail, ; A fourth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the first rail, a fifth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the second rail, and a fourth rail of a sixth curved line connecting the fourth rail and the fifth rail, An upper rail comprising a rail; Wherein the linear evaporation source is coupled to the lower rail and the upper rail so as to be perpendicular to the lower rail and the transporting unit reciprocates along the lower rail and the upper rail.

상기 이송부는, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더와; 상기 한 쌍의 제1 슬라이더에 각각 이격되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제2 슬라이더를 포함하며, 상기 제1 슬라이더는, 상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록을 포함하고, 상기 제2 슬라이더는, 상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록과, 상기 회전블록에 대해 슬라이딩되도록 상기 회전블록에 결합되는 슬라이딩바를 포함할 수 있다.A pair of first sliders respectively coupled to the lower rail and the upper rail so as to move along the lower rail and the upper rail; And a pair of second sliders spaced apart from the pair of first sliders and respectively coupled to the lower rail and the upper rail so as to move along the lower rail and the upper rail, Includes a moving block moving along the lower rail or the upper rail and a rotating block rotatably coupled to the upper side of the moving block so as to be horizontally rotatable about the lower rail or the upper rail, And a sliding bar coupled to the rotating block so as to be slidable with respect to the rotating block. The sliding block may include a moving block that moves along the moving block, a rotating block that is rotatably coupled to the moving block in a horizontal direction.

상기 제1 슬라이더와 상기 제2 슬라이더에 지지되는 소스지지대를 더 포함할 수 있으며, 상기 증발원은 상기 소스지지대에 결합될 수 있다.The apparatus may further include a source support supported by the first slider and the second slider, and the evaporation source may be coupled to the source support.

상기 하측레일 및 상측레일의 외측으로 일정 간격 이격되어 상기 상측레일 및 상기 하측레일을 따라 각각 배치되는 래크레일과; 상기 래크레일에 치합되는 피니언과; 상기 피니언에 회전력을 제공하며, 상기 소스지지대에 결합되는 모터부를 더 포함할 수 있다.A rack and a rack disposed apart from the lower and upper rails along the upper and lower rails, respectively; A pinion engaged with the recicle; And a motor unit coupled to the source support to provide rotational force to the pinion.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 증착 챔버와; 상기 제1 기판이 상기 제1 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제1 기판 로딩부와; 상기 제2 기판이 상기 제2 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제2 기판 로딩부와; 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 대향하여 증발물질을 분사하는 선형의 증발원과; 상기 선형의 증발원을 이송시키는 증발원 이송유닛를 포함하며, 상기 증발원 이송유닛은, 상기 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 레일과, 상기 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 곡선의 제3 레일을 포함하는 하측레일과; 상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 곡선의 제6 레일을 포함하는 상측레일과; 상기 선형의 증발원이 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대해 수직을 이루도록 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함하는, 증착 장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a plasma processing apparatus comprising: a plasma processing chamber in which a first substrate is divided into a first deposition region and a second deposition region, A second deposition chamber in which the second substrate is drawn into and out of the second deposition region; A first substrate loading part for loading and seating the first substrate in the first radiation direction; A second substrate loading portion on which the second substrate is loaded and seated in the second radiation direction; A linear evaporation source for ejecting evaporation material against the first substrate or the second substrate; And an evaporation source transfer unit for transferring the linear evaporation source, wherein the evaporation source transfer unit includes a linear first rail perpendicular to the first radiation direction, a linear second rail perpendicular to the second radiation direction, A lower rail comprising a curved third rail connecting the first rail and the second rail; A fourth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the first rail, a fifth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the second rail, and a fourth rail of a sixth curved line connecting the fourth rail and the fifth rail, An upper rail comprising a rail; Wherein the linear evaporation source is coupled to the lower rail and the upper rail so as to be perpendicular to the lower rail and the transporting unit reciprocates along the lower rail and the upper rail.

상기 이송부는, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더와; 상기 한 쌍의 제1 슬라이더에 각각 이격되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제2 슬라이더를 포함하며, 상기 제1 슬라이더는, 상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록을 포함하고, 상기 제2 슬라이더는, 상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록과, 상기 상기 제1 방사 방향에 수직방향으로 슬라이딩되도록 상기 회전블록에 결합되는 슬라이딩바를 포함할 수 있다.A pair of first sliders respectively coupled to the lower rail and the upper rail so as to move along the lower rail and the upper rail; And a pair of second sliders spaced apart from the pair of first sliders and respectively coupled to the lower rail and the upper rail so as to move along the lower rail and the upper rail, Includes a moving block moving along the lower rail or the upper rail and a rotating block rotatably coupled to the upper side of the moving block so as to be horizontally rotatable about the lower rail or the upper rail, And a sliding bar coupled to the rotating block so as to be slid in a vertical direction with respect to the first direction of radiation, .

상기 증착 장치는, 상기 제1 슬라이더와 상기 제2 슬라이더에 지지되는 소스지지대를 더 포함할 수 있으며, 상기 증발원은 상기 소스지지대에 결합될 수 있다.The deposition apparatus may further include a source support supported by the first slider and the second slider, and the evaporation source may be coupled to the source support.

상기 증착 장치는, 상기 상측레일의 외측으로 일정 간격 이격되어 상기 상측레일을 따라 배치되는 래크레일과; 상기 래크레일에 치합되는 피니언과; 상기 피니언에 회전력을 제공하며, 상기 소스지지대에 결합되는 모터부를 더 포함할 수 있다.The evaporation apparatus includes a raclette that is spaced apart from the upper rail by a predetermined distance and is disposed along the upper rail; A pinion engaged with the recicle; And a motor unit coupled to the source support to provide rotational force to the pinion.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 상기 증착 장치를 이용하여 증발물질을 증착하는 방법으로서, 상기 제1 증착영역의 상기 상측레일 및 상기 하측레일의 단부로 상기 이송부를 이동시키는 단계와; 상기 제1 기판을 상기 제1 방사 방향으로 로딩하여 상기 제1 기판 로딩부에 안착시키는 단계와; 상기 이송부을 상기 제1 레일 및 상기 제3 레일을 따라 이동시켜 상기 제1 기판에 상기 증발물질을 증착시키는 단계; 상기 제1 기판에 증발입자를 증착시키는 단계와 동시에 상기 제2 기판을 상기 제2 방사 방향으로 로딩하여 상기 제2 기판 로딩부에 안착시키는 단계와; 상기 이송부를 곡선의 상기 제3 레일 및 상기 제5 레일을 통과시키고, 상기 제2 레일 및 상기 제4 레일을 따라 이동시켜 상기 제2 기판에 증발입자를 증착시키는 단계를 포함하는, 증착 방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of depositing a vaporization material using the deposition apparatus, the method comprising: moving the transfer section to an end of the upper and lower rails of the first deposition region; Loading the first substrate in the first radiation direction and seating the first substrate in the first substrate loading portion; Depositing the evaporation material on the first substrate by moving the transfer part along the first rail and the third rail; Depositing evaporation particles on the first substrate and simultaneously loading the second substrate in the second radiation direction and placing the second substrate on the second substrate loading part; And passing the conveying portion through the third and fifth rails of the curve and moving along the second rail and the fourth rail to deposit evaporation particles on the second substrate. do.

상기 제1 기판에 증발물질을 증착시키는 단계 이후에, 증착이 완료된 상기 제1 기판을 상기 증착 챔버에서 인출시키고, 새로운 제1 기판을 상기 제1 방사 방향으로 로딩하여 상기 제1 기판 로딩부에 안착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
The first substrate having been deposited is taken out of the deposition chamber, the new first substrate is loaded in the first radiation direction, and the first substrate is loaded onto the first substrate loading portion, .

본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 유기물 재료의 손실을 줄일 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, a plurality of substrates may be subjected to a deposition process in one chamber, and a transfer process or an alignment process may be performed on another substrate during a deposition process of one substrate, And it is possible to reduce the loss of the organic material occurring during the transferring process or the aligning process with respect to the substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛을 간략히 도시한 평면도.
도 4는 도 2의 A 부분을 확대한 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛을 간략히 도시한 측면도.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛의 작동과정을 설명하기 위한 도면.1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a longitudinal sectional view for explaining a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a plan view schematically showing an evaporation source transfer unit according to an embodiment of the present invention;
4 is an enlarged view of a portion A in Fig.
5 is a side view schematically showing an evaporation source transfer unit according to an embodiment of the present invention;
6 to 8 are views for explaining the operation of an evaporation source transfer unit according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 증발원 이송유닛 및 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, embodiments of an evaporation source transfer unit and a deposition apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals designate like or corresponding components, A duplicate description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛을 간략히 도시한 평면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view for explaining a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention. 3 is a plan view schematically showing an evaporation source transfer unit according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3에는, 증발원 이송유닛(10), 증착 챔버(12), 제1 증착영역(14), 제2 증착영역(16), 중심점(18), 제1 방사 방향(20), 제2 방사 방향(22), 트랜스퍼 챔버(24), 로봇 암(26), 제1 기판 로딩부(28), 제2 기판 로딩부(30), 제1 기판(32), 마스크(33), 제2 기판(34), 하측레일(36), 상측레일(38), 증발원(40), 제1 레일(42), 제2 레일(44), 제3 레일(46), 제4 레일(48), 제5 레일(50), 제6 레일(52), 이송부(54), 제1 슬라이더(56), 제2 슬라이더(58), 소스지지대(60)가 도시되어 있다.1 to 3 show an evaporation source transfer unit 10, a deposition chamber 12, a first deposition region 14, a second deposition region 16, a center point 18, a first radiation direction 20, The first substrate loading section 30, the first substrate 32, the mask 33, the first substrate loading section 30, the second substrate loading section 30, the second substrate loading section 30, 2 substrate 34, a lower rail 36, an upper rail 38, an evaporation source 40, a first rail 42, a second rail 44, a third rail 46, a fourth rail 48, A fifth rail 50, a sixth rail 52, a transfer unit 54, a first slider 56, a second slider 58, and a source support 60 are shown.

본 실시예에 따른 증착 장치는, 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획되며, 하나의 중심점(18)에서 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 상기 제1 증착영역(14)에 인출입되고, 상기 중심점(18)에서 제2 방사 방향(22)으로 제2 기판(34)이 상기 제2 증착영역(16)에 인출입되는 증착 챔버(12)와; 상기 제1 기판(32)이 상기 제1 방사 방향(20)으로 로딩되어 안착되는 제1 기판 로딩부(28)와; 상기 제2 기판(34)이 상기 제2 방사 방향(22)으로 로딩되어 안착되는 제2 기판 로딩부(30)와; 상기 제1 기판(32) 또는 상기 제2 기판(34)에 대향하여 증발물질을 분사하는 선형의 증발원(40)과; 상기 선형의 증발원(40)을 이송시키는 증발원 이송유닛(10)를 포함한다. 그리고, 상기 증발원 이송유닛(10)은, 상기 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루는 선형의 제1 레일(42)과, 상기 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루는 선형의 제2 레일(44)과, 상기 제1 레일(42)과 상기 제2 레일(44)을 연결하는 곡선의 제3 레일(46)을 포함하는 하측레일(36)과; 상기 제1 레일(42)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일(48)과, 상기 제2 레일(44)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일(50)과, 상기 제4 레일(48)과 상기 제5 레일(50)을 연결하는 곡선의 제6 레일(52)을 포함하는 상측레일(38)과; 상기 선형의 증발원(40)이 상기 하측레일(36)과 상기 상측레일(38)에 대해 수직을 이루도록 결합되며, 상기 하측레일(36)과 상기 상측레일(38)을 따라 왕복 이동하는 이송부(54)를 포함한다.The deposition apparatus according to the present embodiment is divided into a first deposition region 14 and a second deposition region 16 and the first substrate 32 in a first radiation direction 20 at one central point 18 And a deposition chamber 12 in which the second substrate 34 is drawn into and out of the first deposition region 14 and the second substrate 34 is drawn into and out of the second deposition region 16 from the center point 18 in a second radiation direction 22. [ )Wow; A first substrate loading part (28) on which the first substrate (32) is loaded and seated in the first radiation direction (20); A second substrate loading part (30) on which the second substrate (34) is loaded and seated in the second radiation direction (22); A linear evaporation source (40) for ejecting evaporation material against the first substrate (32) or the second substrate (34); And an evaporation source transfer unit (10) for transferring the linear evaporation source (40). The evaporation source transfer unit 10 includes a first linear rail 42 perpendicular to the first radiation direction 20 and a second linear rail 42 perpendicular to the second radiation direction 22, A lower rail 36 including a curved third rail 46 connecting the first rail 42 and the second rail 44; A fourth rail 48 having a linear shape spaced apart from and parallel to the first rail 42 and a fifth rail 50 having a linear shape spaced apart from and spaced apart from the second rail 44, An upper rail 38 including a curved sixth rail 52 connecting the fourth rail 48 and the fifth rail 50; The linear evaporation source 40 is coupled to the lower rail 36 and the upper rail 38 so as to be vertical with respect to the lower rail 36. The conveying unit 54 reciprocates along the lower rail 36 and the upper rail 38 ).

증착 챔버(12)는, 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획되며, 하나의 중심점(18)에서 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 제1 증착영역(14)에 인출입되고, 중심점(18)에서 제2 방사 방향(22)으로 제2 기판(34)이 제2 증착영역(16)에 인출입되도록 구성될 수 있다.The deposition chamber 12 is partitioned into a first deposition region 14 and a second deposition region 16 and the first substrate 32 in a first radiation direction 20 at one central point 18 is divided into a first deposition region 14 and a second deposition region 16, The second substrate 34 may be configured to be drawn into and out of the deposition region 14 and the second substrate 34 in the second radiation direction 22 at the central point 18.

증착 챔버(12)는 그 내부에서 기판에 대해 증발물질의 증착이 이루어지는 곳으로, 진공 펌프에 의하여 내부가 진공 상태로 유지될 수 있다. 대기압 상태에서 증발물질이 이루어지는 경우에는 내부가 대기압 상태로 유지되는 것도 가능하다. 하나의 증착 챔버(12) 내에서 복수의 기판에 대해 증착이 이루어질 수 있도록 증착 챔버(12)는 복수의 증착영역으로 구획될 수 있다. 여기서, 증발물질은 소스 물질을 가열하면 기화되거나 승화되어 발생하는 기상의 물질을 의미하는 것으로, 유기물을 가열하여 얻어지는 기상의 유기물을 포함할 수 있다.The deposition chamber 12 is where the vapor deposition material is deposited with respect to the substrate within it, and the inside can be kept in a vacuum state by a vacuum pump. It is also possible that the interior is maintained at atmospheric pressure when the evaporation material is formed at atmospheric pressure. The deposition chamber 12 can be partitioned into a plurality of deposition regions so that deposition can be performed on a plurality of substrates in one deposition chamber 12. [ Here, the evaporation material means a gaseous material generated by vaporization or sublimation when the source material is heated, and may include gaseous organic materials obtained by heating an organic material.

증착영역은 증발원(40)의 이동에 따라 하나의 기판에 대해 증발물질의 증착이 수행될 수 있는 가상의 공간을 의미하는 것으로, 도 1을 참조하면, 도 1의 1점 쇄선으로 나타낸 중심선에 의해 증착 챔버(12)가 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획될 수 있다. 제1 증착영역(14)에서는 제1 기판(32)에 대한 증발물질의 증착이 이루어지며 제1 증착영역(14)에 인접한 제2 증착영역(16)에서는 제2 기판(34)에 대한 증발물질의 증착이 이루어진다.The vapor deposition region refers to a virtual space in which evaporation material can be deposited on one substrate in accordance with the movement of the evaporation source 40. Referring to FIG. 1, a center line indicated by the one-dot chain line in FIG. 1 The deposition chamber 12 may be partitioned into a first deposition region 14 and a second deposition region 16. Evaporation material is deposited on the first substrate 32 in the first deposition region 14 and evaporation material is deposited on the second substrate 34 in the second deposition region 16 adjacent to the first deposition region 14. [ Is deposited.

제1 기판(32)은 하나의 중심점(18)에서 제1 방사 방향(20)으로 증착 챔버(12)의 제1 증착영역(14)으로 인입되거나 인출되고, 제2 기판(34)은 상기 중심점(18)에서 제2 방사 방향(22)으로 증착 챔버(12)의 제2 증착영역(16)으로 인입되거나 인출된다. 즉, 제1 기판(32)과 제2 기판(34)은 증착 챔버(12)에 일정한 경사를 가지고 인입되거나 인출된다.The first substrate 32 is drawn or drawn into the first deposition region 14 of the deposition chamber 12 at one central point 18 in the first radiation direction 20 and the second substrate 34 is moved (16) of the deposition chamber (12) in the second radial direction (22) from the first deposition direction (18). That is, the first substrate 32 and the second substrate 34 are drawn or drawn in the deposition chamber 12 with a predetermined inclination.

클러스터 타입(cluster type)의 증착 시스템에 있어서, 기판은 증착 챔버(12)와 연결된 트랜스퍼 챔버(24) 내의 로봇 암(26)에 의해 증착 챔버(12) 내로 인입되거나 인출될 수 있는데, 이 경우, 로봇 암(26)의 회전 중심에서 방사 방향으로 기판이 증착 챔버(12)로 인출입되기 때문에 기판이 증착 챔버(12)에 일정한 경사를 가지고 인출입될 수 있다.In a cluster type of deposition system, a substrate may be drawn into or drawn out of the deposition chamber 12 by a robot arm 26 in a transfer chamber 24 connected to the deposition chamber 12, The substrate can be drawn out into the deposition chamber 12 at a predetermined slope since the substrate is drawn out into the deposition chamber 12 in the radial direction from the rotation center of the robot arm 26. [

따라서, 로봇 암(26)에 의해 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 증착 챔버(12)로 인입되거나 인출되는 경우, 중심점(18)을 구성하는 로봇 암(26)의 회전 중심에 대해 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 증착 챔버(12)에 인출입되고, 제2 기판(34)은 중심점(18)을 구성하는 로봇 암(26)의 회전 중심에 대해 제1 방사 방향(20)과 다른 제2 방사 방향(22)으로 증착 챔버(12)에 인출입될 수 있다. 따라서, 제1 방사 방향(20)과 제2 방사 방향(22)은 중심점(18)을 중심으로 일정 각도를 이루게 된다.Therefore, when the first substrate 32 and the second substrate 34 are drawn into or out of the deposition chamber 12 by the robot arm 26, the rotation center of the robot arm 26 constituting the center point 18 The first substrate 32 is drawn out of the deposition chamber 12 in the first radiation direction 20 with respect to the center of rotation 18 of the robot arm 26 constituting the center point 18, May be drawn into the deposition chamber 12 in a second radiation direction 22 different from the first radiation direction 20. Accordingly, the first radiation direction 20 and the second radiation direction 22 form a certain angle about the center point 18.

다만, 로봇 암(26)에 의해 증착 챔버(12)에 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 인출입되는 것에 한정되지 않고, 증착 챔버(12)에 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 서로 경사를 가지고 인출입되는 경우에는 본 실시예에 따른 증착 장치가 적용될 수 있다. 예를 들면, 두 개의 로봇 암(26)에 의해 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 증착 챔버(12)에 인출입되는 경우에는 로봇 암(26)의 회전 중심이 상술한 중심점(18)을 구성하지 않고, 제1 기판(32)과 제2 기판(34)의 경사 방향이 이루는 가상의 두 경사선이 만나는 점이 중심점(18)을 구성하게 된다.The first substrate 32 and the second substrate 34 are not limited to being drawn and received in the deposition chamber 12 by the robot arm 26. The first substrate 32 and the second substrate 34 may be formed in the deposition chamber 12, The deposition apparatus according to the present embodiment can be applied to the case where the second substrate 34 is inclined and drawn out. For example, when the first substrate 32 and the second substrate 34 are drawn into and out of the deposition chamber 12 by the two robot arms 26, the rotation center of the robot arm 26 is moved to the above- The center point 18 constitutes a point where two imaginary sloping lines formed by the inclined directions of the first substrate 32 and the second substrate 34 meet.

제1 기판 로딩부(28) 및 제2 기판 로딩부(30)에는 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 각각 로딩되어 안착된다. 본 실시예에서는, 증발원(40)에서 증발물질이 상향으로 분출되어 기판에 증발물질의 증착이 이루어질 수 있도록 제1 기판 로딩부(28) 및 제2 기판 로딩부(30)의 하부에 제1 기판(32) 및 제2 기판(34)이 각각 부착된다.The first substrate 32 and the second substrate 34 are loaded and seated in the first substrate loading part 28 and the second substrate loading part 30, respectively. The first substrate loading unit 28 and the second substrate loading unit 30 are provided at the lower part of the first substrate loading unit 28 and the second substrate loading unit 30 so that the evaporation material is blown upward in the evaporation source 40, The second substrate 32 and the second substrate 34 are attached.

제1 기판 로딩부(28) 및 제2 기판 로딩부(30)에 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 각각 로딩되어 안착되면 각 기판 로딩부에서는 마스크(33)가 기판의 표면에 배치되고, 기판과 마스크(33)는 서로 얼라인이 이루어질 수 있다.When the first substrate 32 and the second substrate 34 are loaded and loaded in the first substrate loading unit 28 and the second substrate loading unit 30, And the substrate and the mask 33 can be aligned with each other.

증발원 이송유닛(10)에는 선형의 증발원(40)이 결합되며, 증발원 이송유닛(10)에 의해 증발원(40)이 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16) 간을 이동하면서 기판에 대한 증발물질의 증착이 이루어진다.A linear evaporation source 40 is coupled to the evaporation source transfer unit 10 and the evaporation source 40 is moved by the evaporation source transfer unit 10 between the first deposition area 14 and the second deposition area 16, Evaporation of the evaporation material is performed.

증발원 이송유닛(10)은, 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루는 선형의 제1 레일(42)과, 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루는 선형의 제2 레일(44)과, 제1 레일(42)과 제2 레일(44)을 연결하는 곡선의 제3 레일(46)을 포함하는 하측레일(36)과, 제1 레일(42)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일(48)과, 제2 레일(44)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일(50)과, 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하는 곡선의 제6 레일(52)을 포함하는 상측레일(38)을 포함한다.The evaporation source transfer unit 10 includes a linear first rail 42 perpendicular to the first radiation direction 20 and a second linear rail 44 perpendicular to the second radiation direction 22, A lower rail 36 including a third rail 46 having a curved line connecting the first rail 42 and the second rail 44 and a lower rail 42 having a third rail 46 extending in parallel to the first rail 42, A fifth rail 50 having a linear shape and spaced apart from the second rail 44 and a sixth rail having a curved line connecting the fourth rail 48 and the fifth rail 50 52).

하측레일(36)과 상측레일(38)은 서로 일정 간격 이격되어 설치되는데, 하측레일(36)과 상측레일(38)로 선형의 증발원(40)을 안정되게 지지할 수 있다. 증착이 이루어지는 유리기판이 대형화됨에 따라 선형의 증발원(40) 또한 대형화되고 있고 이에 따라 증발원(40)이 무게가 증가되고 있다. 따라서 중량의 증발원(40)을 안정적으로 지지하면서 이동을 원활히 가이드하기 위해 하측레일(36)과 상측레일(38)을 쌍으로 구성한 것이다.The lower rail 36 and the upper rail 38 are spaced apart from each other by a predetermined distance. The lower rail 36 and the upper rail 38 can stably support the linear evaporation source 40. As the glass substrate on which the deposition is performed becomes larger, the linear evaporation source 40 is also becoming larger, and accordingly, the weight of the evaporation source 40 is increasing. Therefore, the lower rail 36 and the upper rail 38 are formed in a pair so as to smoothly guide the movement while stably supporting the weight of the evaporation source 40.

하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)은 제1 증착영역(14)에서 직선구간을 형성하고, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)은 제2 증착영역(16)에서 직선구간을 형성한다. 제1 증착영역(14)의 직선구간은 제1 방사 방향(20)에 대해 수직을 이루고, 제2 증착영역(16)의 직선구간은 제2 방사 방향(22)에 대해 수직을 이루게 된다. 이로 인해 제1 증착영역(14)의 직선구간과 제2 증착영역(16)의 직선구간이 제1 방사 방향(20), 중심점(18), 제2 방사 방향(22)이 형성하는 각도만큼 틀어지게 된다. 따라서 직선구간을 연결하기 위한 곡선구간이 필요하다. 즉, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 제2 레일(44)은 곡선의 제3 레일(46)이 연결되고, 상측레일(38)의 제4 레일(48)과 제5 레일(50)은 곡선의 제6 레일(52)이 연결하게 된다. 이때, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 이격 거리로 인해 제3 레일(46)에 비해 제6 레일(52)이 큰 곡률반경으로 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하게 된다. The first rail 42 of the lower rail 36 and the fourth rail 48 of the upper rail 38 form a straight line section in the first deposition region 14 and the second rail of the lower rail 36 44 and the fifth rail 50 of the upper rail 38 form a straight line section in the second deposition region 16. The linear section of the first deposition area 14 is perpendicular to the first radiation direction 20 and the linear section of the second deposition area 16 is perpendicular to the second radiation direction 22. [ The linear section of the first deposition area 14 and the linear section of the second deposition area 16 are rotated by an angle formed by the first radiation direction 20, the center point 18 and the second radiation direction 22 . Therefore, a curve section for connecting a straight line section is required. That is, the third rail 46 of the curved line is connected to the first rail 42 and the second rail 44 of the lower rail 36, and the fourth rail 48 of the upper rail 38, The fifth rail 50 is connected to the sixth rail 52 of the curved line. Because of the distance between the lower rail 36 and the upper rail 38, the sixth rail 52 has a larger radius of curvature than the third rail 46, so that the fourth rail 48 and the fifth rail 50, .

여기서, 수직의 의미는 기하학적이거나 수학적인 수직을 의미하는 것이 아니라, 가공오차 또는 이송오차를 고려한 실질적인 수직을 의미한다.Here, the vertical meaning does not mean geometric or mathematical vertical but refers to a substantial vertical considering machining error or transfer error.

이송부(54)는, 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 왕복 이동하는데, 선형의 증발원(40)이 하측레일(36)과 상측레일(38)과 수직을 이루도록 이송부(54)에 결합된다. 따라서, 선형의 증발원(40)이 직선구간에 수직을 이루도록 이송부(54)에 결합된 상태에서 직선구간을 따라 이동하면 기판의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.The conveying unit 54 reciprocates along the lower rail 36 and the upper rail 38 so that the linear evaporation source 40 is perpendicular to the lower rail 36 and the upper rail 38, . Accordingly, when the linear evaporation source 40 is moved along the linear section while being coupled to the transfer section 54 so as to be perpendicular to the linear section, deposition is performed on the entire substrate while moving in a direction opposite to the one side direction of the substrate.

이송부(54)는, 제1 증착영역(14)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동하고, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 곡선구간을 통과한 후, 제2 증착영역(16)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동한다. 또한, 반대 방향으로 제2 증착영역(16)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동하고, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 곡선구간을 통과한 후, 제1 증착영역(14)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동한다. 이와 같이, 이송부(54)는 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 왕복 운동을 반복하게 된다.The transfer section 54 moves the linear section of the lower rail 36 and the upper rail 38 of the first deposition region 14 and passes the curved section of the lower rail 36 and the upper rail 38 , And moves the linear section of the lower rail (36) and the upper rail (38) of the second deposition area (16). The linear section of the lower rail 36 and the upper rail 38 of the second deposition region 16 is moved in the opposite direction and after passing through the curved section of the lower rail 36 and the upper rail 38, The linear section of the lower rail 36 and the upper rail 38 of the first deposition region 14 is moved. Thus, the conveying unit 54 repeats the reciprocating motion along the lower rail 36 and the upper rail 38.

증발원 이송유닛(10)의 각 구성에 대해서는 아래에서 자세히 살펴보기로 한다.Each constitution of the evaporation source transfer unit 10 will be described in detail below.

상기와 같은 증착 장치를 이용하여 기판에 대한 증발물질의 증착과정을 살펴 보면, 먼저, 제1 증착영역(14)의 상측레일(38) 및 하측레일(36)의 단부로 이송부(54)를 이동시킨다. 이송부(54)가 제1 증착영역(14)에서 제2 증착영역(16)으로 이동함에 따라 기판에 대한 증착이 이루어지기 때문에 이송부(54)를 제1 증착영역(14)의 상측레일(38) 및 하측레일(36)의 단부(도 3을 참조하면 제1 증착영역(14)의 우측 단부)로 이동시키는 것이다. First, the transferring unit 54 is moved to the ends of the upper and lower rails 38 and 36 of the first deposition region 14 by depositing the evaporation material on the substrate using the above- . Since the deposition of the substrate is carried out as the transfer unit 54 moves from the first deposition zone 14 to the second deposition zone 16, the transfer unit 54 is transferred to the upper rail 38 of the first deposition zone 14, And the end of the lower rail 36 (the right end of the first deposition region 14 as shown in FIG. 3).

다음에, 제1 기판(32)을 제1 방사 방향(20)으로 로딩하여 제1 기판 로딩부(28)에 안착시킨다. 로봇 암(26)에 의해 제1 기판(32)이 증착 챔버(12)의 제1 기판 로딩부(28)에 안착되는 경우, 중심점(18)을 구성하는 로봇 암(26)의 회전 중심에 대해 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 제1 기판 로딩부(28)에 안착된다. 본 단계에서 제1 기판(32)이 제1 기판 로딩부(28)에 안착되면 마스크(33)를 제1 기판(32)의 표면에 배치하고 제1 기판(32)과 쉐도우 마스크(33)의 얼라인이 이루어진다. 제1 기판(32)의 로딩 과정에서 제1 증착영역(14)의 상측레일(38) 및 하측레일(36)의 단부로 이송부(54)를 이동시키는 것도 가능하다.Next, the first substrate 32 is loaded in the first radiation direction 20 and placed on the first substrate loading portion 28. When the first substrate 32 is seated on the first substrate loading portion 28 of the deposition chamber 12 by the robot arm 26, the center of gravity of the robot arm 26 constituting the center point 18 The first substrate 32 is seated in the first substrate loading portion 28 in the first radiation direction 20. When the first substrate 32 is placed on the first substrate loading unit 28 in this step, the mask 33 is disposed on the surface of the first substrate 32 and the first substrate 32 and the shadow mask 33 Alignment takes place. It is also possible to move the transfer unit 54 to the ends of the upper rail 38 and the lower rail 36 of the first deposition region 14 in the process of loading the first substrate 32.

다음에, 이송부(54)을 제1 레일(42) 및 제3 레일(46)을 따라 이동시켜 제1 기판(32)에 증발물질을 증착시킨다. 직선구간에 수직으로 배치되는 선형의 증발원(40)을 제1 증착영역(14)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 따라 이동시킴에 따라 제1 기판(32)의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.Next, the transfer unit 54 is moved along the first rail 42 and the third rail 46 to evaporate the evaporation material on the first substrate 32. A linear evaporation source 40 disposed perpendicularly to the linear section is moved along the linear section of the lower rail 36 and the upper rail 38 of the first deposition region 14, The deposition is performed on the entire substrate while moving in the opposite direction of the opposite direction.

제1 기판(32)에 증발물질의 증착완료되면, 증착이 완료된 제1 기판(32)을 증착 챔버(12)에서 인출시키고, 새로운 제1 기판(32)을 제1 방사 방향(20)으로 로딩하여 제1 기판 로딩부(28)에 안착시킨다.The first substrate 32 is removed from the deposition chamber 12 and a new first substrate 32 is loaded in the first radiation direction 20, And is placed on the first substrate loading portion 28.

다음에, 제1 기판(32)에 증발입자를 증착시키는 단계와 동시에 제2 기판(34)을 제2 방사 방향(22)으로 로딩하여 제2 기판 로딩부(30)에 안착시킨다. 제1 기판(32)에 대한 증착 공정 중에 제2 기판(34)을 제2 기판 로딩부(30)에 안착시켜 택 타임을 줄일 수 있고, 제1 기판(32)에 대한 증착 공정 중에 제2 기판(34)의 로딩이 이루어져 증발물질 재료의 손실을 줄일 수 있다. 본 단계에서 제2 기판(34)이 제2 기판 로딩부(30)에 안착되면 마스크(33)를 제2 기판(34)의 표면에 배치하고 제2 기판(34)과 마스크(33)의 얼라인이 이루어진다.Next, the evaporation particles are deposited on the first substrate 32 and the second substrate 34 is loaded in the second radiation direction 22 and placed on the second substrate loading unit 30. The second substrate 34 may be placed on the second substrate loading portion 30 during the deposition process for the first substrate 32 to reduce the tack time and during the deposition process for the first substrate 32, So that the loss of the material of the evaporation material can be reduced. When the second substrate 34 is mounted on the second substrate loading unit 30 in this step, the mask 33 is disposed on the surface of the second substrate 34 and the second substrate 34 and the mask 33 are aligned .

본 실시예에서 ?옙첼?라는 의미는 시간적으로 동일하다는 의미뿐만 아니라 제1 기판(32)에 대한 증착 공정과 제2 기판(34)의 로딩 공정이 겹쳐서 이루어진다는 의미를 포함한다.In the present embodiment, the term " weft cell " means that the deposition process for the first substrate 32 and the loading process for the second substrate 34 are overlapped, as well as meaning that they are temporally identical.

다음에, 이송부(54)를 곡선의 제3 레일(46) 및 제5 레일(50)을 통과시키고, 제2 레일(44) 및 제4 레일(48)을 따라 이동시켜 제2 기판(34)에 증발입자를 증착시킨다. 이송부(54)가 제1 증착영역(14)의 직선구간을 통과하고 곡선구간을 통과하면서 제2 증착영역(16)의 직선구간으로 진입하고, 제2 직선구간에 진입한 이송부(54)를 제2 증착영역(16)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 따라 이동시킴에 따라 제2 기판(34)의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.Next, the transfer unit 54 is passed through the third rail 46 and the fifth rail 50 of the curved line, and moved along the second rail 44 and the fourth rail 48, To evaporate the evaporation particles. The transfer section 54 enters the linear section of the second deposition region 16 while passing through the linear section of the first deposition area 14 and the curved section and forms the transfer section 54 entering the second linear section 2 deposition region 16 along the linear section of the lower rail 36 and the upper rail 38, the deposition on the entire substrate moves in the direction opposite to the one side of the second substrate 34 .

제2 기판(34)에 대한 증착 공정이 완료되면, 증발물질의 증착이 완료된 제2 기판(34)을 증착 챔버(12)에서 제2 방사 방향(22)으로 인출시키고, 새로운 제2 기판(34)을 제2 기판 로딩부(30)로 로딩하여 안착시킨다. 새로운 제2 기판(34)이 제2 기판 로딩부(30)에 안착되면 마스크(33)와 얼라인하고 다음의 증착 공정을 위해 대기한다.When the evaporation process for the second substrate 34 is completed, the evaporation material-deposited second substrate 34 is withdrawn from the evaporation chamber 12 in the second radiation direction 22, and a new second substrate 34 Is loaded into the second substrate loading unit 30 and is placed thereon. When a new second substrate 34 is seated in the second substrate loading portion 30, it aligns with the mask 33 and waits for the next deposition process.

상술한 방법에 따라, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 증발물질 재료의 손실을 줄일 수 있다.According to the above-described method, the deposition process is performed on a plurality of substrates in one chamber, and the transfer process or the alignment process is performed on another substrate during the deposition process of one substrate to reduce the tact time And can reduce the loss of evaporation material material that occurs during the transfer process or alignment process for the substrate.

이하에서는, 증발원 이송유닛(10)의 각 구성에 대해서 자세히 살펴보기로 한다. 도 4는 도 2의 A 부분을 확대한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛(10)을 간략히 도시한 측면도이며, 도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛(10)의 작동과정을 설명하기 위한 도면이다.Hereinafter, each configuration of the evaporation source transfer unit 10 will be described in detail. FIG. 4 is an enlarged view of a portion A in FIG. 2, FIG. 5 is a side view schematically showing an evaporation source transfer unit 10 according to an embodiment of the present invention, and FIGS. FIG. 5 is a view for explaining an operation process of the evaporation source transfer unit 10 according to FIG.

도 4 내지 도 8에는 하측레일(36), 상측레일(38), 제1 레일(42), 제2 레일(44), 제3 레일(46), 제4 레일(48), 제5 레일(50), 제6 레일(52), 이송부(54), 제1 슬라이더(56), 제2 슬라이더(58), 소스지지대(60), 이동블록(62, 68), 회전블록(64, 70), 슬라이딩바(66), 래크레일(72), 피니언(74), 모터부(76)가 도시되어 있다.4 to 8 show the lower rail 36, the upper rail 38, the first rail 42, the second rail 44, the third rail 46, the fourth rail 48, The first slider 56, the second slider 58, the source support 60, the moving blocks 62 and 68, the rotating blocks 64 and 70, A sliding bar 66, a rack 72, a pinion 74, and a motor portion 76 are shown.

하측레일(36)은, 하나의 중심점(18)에서 증착 챔버(12)를 가로지르는 가상의 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루는 선형의 제1 레일(42)과, 중심점(18)에서 증착 챔버(12)를 가로지르는 가상의 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루는 선형의 제2 레일(44)과, 제1 레일(42)과 제2 레일(44)을 연결하는 곡선의 제3 레일(46)로 구성된다.The lower rail 36 includes a linear first rail 42 perpendicular to the imaginary first radial direction 20 transverse to the deposition chamber 12 at one central point 18 and a second rail 42 extending from the midpoint 18 A linear second rail 44 perpendicular to the imaginary second radial direction 22 across the deposition chamber 12 and a second rail 44 extending from the first rail 42 to the second rail 44, 3 rails 46 as shown in Fig.

상측레일(38)은, 제1 레일(42)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일(48)과, 제2 레일(44)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일(50)과, 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하는 곡선의 제6 레일(52)로 구성된다.The upper rail 38 includes a linear fourth rail 48 spaced apart from and parallel to the first rail 42 and a linear fifth rail 50 spaced apart from and parallel to the second rail 44, And a sixth rail 52 having a curved line connecting the fourth rail 48 and the fifth rail 50.

하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)은 직선구간을 형성하고, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)은 제2 증착영역(16)에서 직선구간을 형성한다.The first rail 42 of the lower rail 36 and the fourth rail 48 of the upper rail 38 form a straight section and the second rail 44 and the upper rail 38 of the lower rail 36 are connected to each other, The fifth rail 50 of the second deposition region 16 forms a straight section in the second deposition region 16.

제1 레일(42)과 제4 레일(48)이 형성하는 직선구간은 가상의 제1 방사 방향(20)에 대해 수직을 이루고, 제2 레일(44)과 제5 레일(50)이 형성하는 직선구간은 가상의 제2 방사 방향(22)에 대해 수직을 이루게 된다. 이로 인해 제1 방사 방향(20)에 수직인 직선구간과 제2 방사 방향(22)에 수직인 직선구간은 제1 방사 방향(20), 중심점(18), 제2 방사 방향(22)이 형성하는 각도만큼 틀어지게 된다. 따라서 직선구간을 연결하기 위한 곡선구간이 필요하다. 즉, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 제2 레일(44)은 곡선의 제3 레일(46)이 연결되고, 상측레일(38)의 제4 레일(48)과 제5 레일(50)은 곡선의 제6 레일(52)이 연결하게 된다. 이때, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 이격 거리로 인해 제3 레일(46)에 비해 제6 레일(52)이 큰 곡률반경으로 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하게 된다.The straight sections formed by the first and second rails 42 and 48 are perpendicular to the imaginary first radial direction 20 and the second rail 44 and the fifth rail 50 are formed The straight line section is perpendicular to the virtual second radiation direction 22. A straight line section perpendicular to the first radiation direction 20 and a straight line section perpendicular to the second radiation direction 22 are formed in the first radiation direction 20, the center point 18, and the second radiation direction 22 As shown in FIG. Therefore, a curve section for connecting a straight line section is required. That is, the third rail 46 of the curved line is connected to the first rail 42 and the second rail 44 of the lower rail 36, and the fourth rail 48 of the upper rail 38, The fifth rail 50 is connected to the sixth rail 52 of the curved line. Because of the distance between the lower rail 36 and the upper rail 38, the sixth rail 52 has a larger radius of curvature than the third rail 46, so that the fourth rail 48 and the fifth rail 50, .

곡선의 제3 레일(46) 및 제6 레일(52)은 완전한 곡선레일로 이루어지거나 여러 개의 직선 레일을 순차적으로 연결하여 곡선 형태로 배치한 것도 가능하다.The third rail 46 and the sixth rail 52 of the curved line may be formed of complete curved rails or may be arranged in a curved shape by sequentially connecting a plurality of straight rails.

이송부(54)는, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 제1 방사 방향(20)에 수직인 직선구간, 곡선구간, 제2 방사 방향(22)에 수직인 직선구간을 따라 왕복 이동한다. The conveying section 54 reciprocates along a straight section perpendicular to the first radial direction 20 of the lower rail 36 and the upper rail 38 and a straight section perpendicular to the second radial direction 22, do.

이송부(54)는, 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 이동하도록 하측레일(36)과 상측레일(38)에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더(56)와, 한 쌍의 제1 슬라이더(56)에 각각 이격되며, 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 이동하도록 하측레일(36)과 상측레일(38)에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제2 슬라이더(58)를 포함한다. The transfer unit 54 includes a pair of first sliders 56 coupled to the lower rail 36 and the upper rail 38 so as to move along the lower rail 36 and the upper rail 38, A pair of second sliders 56 spaced apart from the first sliders 56 of the pair and respectively coupled to the lower rails 36 and the upper rails 38 to move along the lower rails 36 and the upper rails 38, And a slider 58.

제1 슬라이더(56)는, 하측레일(36) 또는 상측레일(38)을 따라 이동하는 이동블록(68)과, 이동블록(68)의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록(70)을 포함하며, 제2 슬라이더(58)는, 하측레일(36) 또는 상측레일(38)을 따라 이동하는 이동블록(62)과, 이동블록(62)의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록(64)과, 상기 회전블록(64)에 대해 슬라이딩되도록 상기 회전블록(64)에 결합되는 슬라이딩바(66)를 포함한다.The first slider 56 includes a moving block 68 that moves along the lower rail 36 or the upper rail 38 and a rotary block 70 that is rotatably coupled to the upper side of the moving block 68 in the horizontal direction The second slider 58 includes a moving block 62 moving along the lower rail 36 or the upper rail 38 and a second slider 58 rotatably coupled to the upper side of the moving block 62 in the horizontal direction And a sliding bar 66 coupled to the rotating block 64 to slide relative to the rotating block 64.

본 실시예에 있어서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 각 레일마다 제1 슬라이더(56)를 중심으로 두 개의 제2 슬라이더(58)가 양측에 배치된 형태를 제시한다.In this embodiment, as shown in Fig. 3, a configuration in which two second sliders 58 are disposed on both sides of the first slider 56 with respect to each of the rails is shown.

제1 슬라이더(56) 및 제2 슬라이더(58)의 이동블록(62, 68)은 하측레일(36)과 상측레일(38)에 결합되어 각 레일을 따라 이동한다. 이동블록(62, 68)에는 레일의 형상에 상응하여 요홈이 형성될 수 있고 이동블록(62, 68)의 요홈에 레일이 삽입되어 이동블록(62, 68)의 이탈을 방지할 수 있다.The moving blocks 62 and 68 of the first slider 56 and the second slider 58 are coupled to the lower rail 36 and the upper rail 38 and move along the respective rails. The movement blocks 62 and 68 may have grooves corresponding to the shapes of the rails and the rails may be inserted into the grooves of the movement blocks 62 and 68 to prevent the movement blocks 62 and 68 from being separated.

제1 슬라이더(56)의 회전블록(70)은 제1 슬라이더(56)의 이동블록(68)의 상측에 결합되어 수평방향으로 회전된다. 이동블록(68)과 회전블록(70) 사이에는 원형 베어링이 결합되어 이동블록(68)에 대해 회전블록(70)의 회전이 원활히 이루어질 수 있다.The rotation block 70 of the first slider 56 is coupled to the upper side of the moving block 68 of the first slider 56 and rotated in the horizontal direction. A circular bearing may be coupled between the moving block 68 and the rotating block 70 so that rotation of the rotating block 70 with respect to the moving block 68 can be smoothly performed.

제2 슬라이더(58)의 회전블록(64) 또한 제2 슬라이더(58)의 이동블록(62)의 상측에 결합되어 수평방향으로 회전이 이루어진다.The rotating block 64 of the second slider 58 is also coupled to the upper side of the moving block 62 of the second slider 58 and rotated in the horizontal direction.

제2 슬라이더(58)의 슬라이딩바(66)는 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)에 결합되는데, 회전블록(64)에 대해 수평방향으로 왕복 슬라이딩이 가능하다. 회전블록(64)과 이에 대해 슬라이딩되는 슬라이딩바(66) 사이에는 수평방향으로 직선이동을 원활히 유도하는 베어링이 개재되어 안정적인 슬라이딩이 되도록 할 수 있다.The sliding bar 66 of the second slider 58 is coupled to the rotating block 64 of the second slider 58 and is reciprocally slidable in the horizontal direction with respect to the rotating block 64. A bearing for smoothly guiding linear movement in the horizontal direction is interposed between the rotating block 64 and the sliding bar 66 sliding thereon so that the sliding can be performed stably.

하측레일(36)과 상측레일(38)에 배치된 제1 슬라이더(56)와 제2 슬라이더(58)에는 선형의 증발원(40)이 하측레일(36)과 상측레일(38)에 대해 수직을 이루도록 결합된다. 본 실시예에서는 별도의 소스지지대(60)를 구비하여 소스지지대(60)에 증발원(40)이 결합되는 형태를 제시한다. 즉, 하측레일(36)과 상측레일(38)에 배치된 제1 슬라이더(56)와 제2 슬라이더(58)에 소스지지대(60)를 결합하고, 소스지지대(60)에 선형의 증발원(40)을 결합한 형태이다.A linear evaporation source 40 is perpendicular to the lower rail 36 and the upper rail 38 in the first slider 56 and the second slider 58 disposed on the lower rail 36 and the upper rail 38 Respectively. In this embodiment, a separate source support 60 is provided to allow the evaporation source 40 to be coupled to the source support 60. That is, the source support 60 is coupled to the first slider 56 and the second slider 58 disposed on the lower rail 36 and the upper rail 38, and the linear evaporation source 40 ).

한편, 이송부(54)의 이동을 위해 구동력을 제공하기 위한 구동부는, 하측레일(36) 상측레일(38)의 외측으로 일정 간격 이격되어 상측레일(38) 및 상기 하측레일(36)을 따라 각각 배치되는 래크레일(72)과, 래크레일(72)에 치합되는 피니언(74)과, 피니언(74)에 회전력을 제공하며, 소스지지대(60)에 결합되는 모터부(76)로 구성될 수 있다.The driving unit for providing the driving force for the movement of the conveying unit 54 is disposed at a predetermined distance outside the upper rail 38 of the lower rail 36 along the upper rail 38 and the lower rail 36 A pinion 74 that engages with the rack 72 and a motor portion 76 that provides a rotational force to the pinion 74 and is coupled to the source support 60 .

래크레일(72)은 하측레일(36)과 상측레일(38)의 외측에 각각 상측레일(38) 및 상기 하측레일(36)을 따라 배치되고 각 래크레일(72)에는 피니언(74)이 치합된다. 피니언(74)에 회전력을 제공하는 모터 등의 모터부(76)는 소스지지대(60)의 상단과 하단에 각각 결합되어 피니언(74)에 회전력을 제공한다.The rack 72 is disposed along the upper rail 38 and the lower rail 36 on the outer side of the lower rail 36 and the upper rail 38 respectively and the pinion 74 is mounted on the respective rack 72, Respectively. A motor portion 76 such as a motor that provides rotational force to the pinion 74 is coupled to the upper and lower ends of the source support 60 to provide rotational force to the pinion 74, respectively.

하측레일(36)의 외측에 배치된 구동부는 소스지지대(60) 하단의 이동을 제어하며, 상측레일(38)의 외측에 배치된 구동부는 소스지지대(60) 상단의 이동을 제어하게 된다.The driving portion disposed on the outer side of the lower rail 36 controls the movement of the lower end of the source support 60 and the driving portion disposed on the outer side of the upper rail 38 controls the movement of the upper portion of the source support 60.

도 6 내지 도 8은 참고하여, 증발원 이송유닛(10)의 작동과정을 설명하면, 우측의 직선구간에서는 소스지지대(60)의 하단과 상단에서 동일한 속도로 이송부(54)가 이동한다. 그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 곡선구간에 진입하게 되는데, 이송부(54)의 선단에 위치한 제2 슬라이더(58)가 곡선구간에 진입함에 따라 최선단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 상향으로 슬라이딩된다. 이때, 하측레일(36)의 곡선구간은 작은 곡률반경으로 짧게 형성되고, 상측레일(38)의 곡선구간은 큰 곡률반경으로 길게 형성되어 있기 때문에, 소스지지대(60)의 하단에 비해 소스지지대(60)의 상단은 빠른 속도로 이동한다. 다음에, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최선단의 제2 슬라이더(58)의 후단에 위치한 제1 슬라이더(56)의 회전블록(70)이 회전되면서 제1 슬라이더(56)가 곡선구간으로 진입된다. 도 7은 이송부(54)가 곡선구간의 중앙에 위치한 상태를 도시한 도면으로, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최후단의 제2 슬라이더(58)가 곡선구간에 진입하게 되고, 최후단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 상향으로 슬라이딩된다. 다음에, 도 8에 도시된 바와 같이, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최선단의 제2 슬라이더(58)가 좌측의 직선구간에 진입함에 따라 최선단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 하향으로 슬라이딩되면서 원위치로 복귀한다. 그리고, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최선단의 제2 슬라이더(58)의 후단에 위치한 제1 슬라이더(56)의 회전블록(70)이 회전되면서 제1 슬라이더(56)가 직선구간으로 진입된다. 그리고, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최후단의 제2 슬라이더(58)가 직선구간으로 진입하면서, 최후단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 하향으로 슬라이딩되면서 원위치로 복귀하게 된다. 좌측의 직선구간에 완전히 진입하면, 각 회전블록(64, 70)과 슬라이딩바(66)는 원위치로 복귀되고 좌측의 직선구간을 따라 이송부(54)가 이동된다. 상술한 바와 같이, 이송부(54)가 곡선구간으로 통과할 때에는 이송부(54)의 하단과 상단의 이동속도 및 이동거리를 달리하여야 하기 때문에 이송부(54)의 하단과 상단에 각각 결합된 구동부가 이송부(54)의 하단과 상단의 이동속도 및 이동거리를 조절하게 된다.
6 to 8, the operation of the evaporation source transfer unit 10 will be described. In the straight line section on the right side, the transfer unit 54 moves at the same speed at the lower end and the upper end of the source support 60. 6, the second slider 58 positioned at the tip of the conveying unit 54 enters the curve section, and thus the second slider 58 of the second slider 58 of the best- The sliding bar 66 is slid upward with respect to the rotating block 64 while the sliding block 64 is rotated. Since the curved section of the lower rail 36 is formed to have a small radius of curvature and the curved section of the upper rail 38 is formed to have a large radius of curvature, 60 move at a high speed. The first slider 56 is moved into the curved section while the rotary block 70 of the first slider 56 positioned at the rear end of the second slider 58 at the foremost stage is rotated by the continuous movement of the transfer section 54, do. 7 shows a state in which the conveying unit 54 is located at the center of the curve section. With the continuous movement of the conveying unit 54, the second slider 58 at the rearmost end enters the curve section, The sliding block 66 is slid upward with respect to the rotating block 64 while the rotating block 64 of the two-slider 58 is rotated. Next, as shown in Fig. 8, as the second slider 58 at the foremost end enters the linear section at the left end due to the continuous movement of the transfer section 54, the rotation block of the second slider 58 at the foremost end 64 are rotated, the sliding bar 66 slides downward with respect to the rotating block 64 and returns to the home position. The first slider 56 enters the linear section while the rotation block 70 of the first slider 56 located at the rear end of the second slider 58 at the first stage is rotated by the continuous movement of the transfer section 54 . When the second slider 58 at the rearmost end enters the straight section due to the continuous movement of the transfer section 54 and the rotation block 64 of the second slider 58 at the rearmost end is rotated, And is returned to the original position while sliding downward with respect to the rotation block 64. [ When the rotary block 64 and 70 and the sliding bar 66 are completely returned to their original positions, the conveying unit 54 is moved along the left linear section. As described above, when the conveying unit 54 passes through the curved section, the moving speed and the moving distance of the lower end and the upper end of the conveying unit 54 must be different. Therefore, the driving unit coupled to the lower end and the upper end of the conveying unit 54, The moving speed and the moving distance of the lower end and the upper end of the moving body 54 are controlled.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as set forth in the following claims It will be understood that the invention may be modified and varied without departing from the scope of the invention.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

10: 증발원 이송유닛 12: 증착 챔버
14: 제1 증착영역 16: 제2 증착영역
18: 중심점 20: 제1 방사 방향
22: 제2 방사 방향 24: 트랜스퍼 챔버
26: 로봇 암 28: 제1 기판 로딩부
30: 제2 기판 로딩부 32: 제1 기판
33: 마스크 34: 제2 기판
36: 하측레일 38: 상측레일
40: 증발원 42: 제1 레일
44: 제2 레일 46: 제3 레일
48: 제4 레일 50: 제5 레일
52: 제6 레일 54: 이송부
56: 제1 슬라이더 58: 제2 슬라이더
60: 소스지지대 62, 68: 이동블록
64, 70: 회전블록 66: 슬라이딩바
72: 래크레일 74: 피니언
76: 모터부10: evaporation source transfer unit 12: deposition chamber
14: first deposition area 16: second deposition area
18: center point 20: first radiation direction
22: second radial direction 24: transfer chamber
26: Robot arm 28: First substrate loading section
30: second substrate loading part 32: first substrate
33: mask 34: second substrate
36: lower rail 38: upper rail
40: evaporation source 42: first rail
44: second rail 46: third rail
48: fourth rail 50: fifth rail
52: sixth rail 54:
56: first slider 58: second slider
60: source support 62, 68: moving block
64, 70: rotating block 66: sliding bar
72: Labrador 74: Pinion
76:

Claims (10)

증착 챔버 내에 배치되어 선형의 증발원을 이송시키는 증발원 이송유닛으로서,
하나의 중심점에서 상기 증착 챔버를 가로지르는 가상의 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 레일과, 상기 중심점에서 상기 증착 챔버를 가로지르는 가상의 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 곡선의 제3 레일을 포함하는 하측레일과;
상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 곡선의 제6 레일을 포함하는 상측레일과;
상기 선형의 증발원이 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대해 수직을 이루도록 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함하는, 증발원 이송유닛.
An evaporation source transfer unit disposed in the deposition chamber for transferring a linear evaporation source,
A linear first rail perpendicular to an imaginary first radial direction across the deposition chamber at one central point and a second linear second perpendicular to the imaginary second radial direction across the deposition chamber at the central point, A lower rail including a rail and a curved third rail connecting the first rail and the second rail;
A fourth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the first rail, a fifth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the second rail, and a fourth rail of a sixth curved line connecting the fourth rail and the fifth rail, An upper rail comprising a rail;
Wherein the linear evaporation source is coupled to the lower rail and the upper rail such that the linear evaporation source is perpendicular to the lower rail and the upper rail, and the transfer unit reciprocates along the lower rail and the upper rail.
제1항에 있어서,
상기 이송부는,
상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더와;
상기 한 쌍의 제1 슬라이더에 각각 이격되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제2 슬라이더를 포함하며,
상기 제1 슬라이더는,
상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록을 포함하며,
상기 제2 슬라이더는,
상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록과, 상기 회전블록에 대해 슬라이딩되도록 상기 회전블록에 결합되는 슬라이딩바를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증발원 이송유닛.
The method according to claim 1,
The transfer unit
A pair of first sliders respectively coupled to the lower rail and the upper rail so as to move along the lower rail and the upper rail;
And a pair of second sliders spaced apart from the pair of first sliders and respectively coupled to the lower rail and the upper rail to move along the lower rail and the upper rail,
Wherein the first slider
A moving block moving along the lower rail or the upper rail and a rotating block rotatably coupled to the upper side of the moving block in a horizontal direction,
Wherein the second slider
A moving block moving along the lower rail or the upper rail; a rotating block rotatably coupled to the moving block in a horizontal direction; and a sliding bar coupled to the rotating block to slide with respect to the rotating block And the evaporation source transfer unit.
제2항에 있어서,
상기 제1 슬라이더와 상기 제2 슬라이더에 지지되는 소스지지대를 더 포함하며,
상기 증발원은 상기 소스지지대에 결합되는 것을 특징으로 하는, 증발원 이송유닛.
3. The method of claim 2,
Further comprising a source support supported by the first slider and the second slider,
Characterized in that the evaporation source is coupled to the source support.
제3항에 있어서,
상기 하측레일 및 상측레일의 외측으로 일정 간격 이격되어 상기 상측레일 및 상기 하측레일을 따라 각각 배치되는 래크레일과;
상기 래크레일에 치합되는 피니언과;
상기 피니언에 회전력을 제공하며, 상기 소스지지대에 결합되는 모터부를 더 포함하는, 증발원 이송유닛.
The method of claim 3,
A rack and a rack disposed apart from the lower and upper rails along the upper and lower rails, respectively;
A pinion engaged with the recicle;
Further comprising a motor portion that provides rotational force to the pinion and is coupled to the source support.
제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 증착 챔버와;
상기 제1 기판이 상기 제1 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제1 기판 로딩부와;
상기 제2 기판이 상기 제2 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제2 기판 로딩부와;
상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 대향하여 증발물질을 분사하는 선형의 증발원과;
상기 선형의 증발원을 이송시키는 증발원 이송유닛를 포함하며,
상기 증발원 이송유닛은,
상기 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 레일과, 상기 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 곡선의 제3 레일을 포함하는 하측레일과;
상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 곡선의 제6 레일을 포함하는 상측레일과;
상기 선형의 증발원이 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대해 수직을 이루도록 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함하는, 증착 장치.
Wherein the first substrate is divided into a first deposition region and a second deposition region and the first substrate is drawn into and out of the first deposition region in a first radial direction from one central point, 2 evaporation chamber;
A first substrate loading part for loading and seating the first substrate in the first radiation direction;
A second substrate loading portion on which the second substrate is loaded and seated in the second radiation direction;
A linear evaporation source for ejecting evaporation material against the first substrate or the second substrate;
And an evaporation source transfer unit for transferring the linear evaporation source,
Wherein the evaporation source transfer unit comprises:
A linear second rail perpendicular to the first radial direction and a third rail having a curved line connecting the first rail and the second rail, A lower rail comprising:
A fourth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the first rail, a fifth rail of a linear shape spaced apart from and parallel to the second rail, and a fourth rail of a sixth curved line connecting the fourth rail and the fifth rail, An upper rail comprising a rail;
Wherein the linear evaporation source is coupled to the lower rail and the upper rail so as to be perpendicular to the lower rail and the upper rail and reciprocates along the lower rail and the upper rail.
제5항에 있어서,
상기 이송부는,
상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더와;
상기 한 쌍의 제1 슬라이더에 각각 이격되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제2 슬라이더를 포함하며,
상기 제1 슬라이더는,
상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록을 포함하며,
상기 제2 슬라이더는,
상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록과, 상기 상기 제1 방사 방향에 수직방향으로 슬라이딩되도록 상기 회전블록에 결합되는 슬라이딩바를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
6. The method of claim 5,
The transfer unit
A pair of first sliders respectively coupled to the lower rail and the upper rail so as to move along the lower rail and the upper rail;
And a pair of second sliders spaced apart from the pair of first sliders and respectively coupled to the lower rail and the upper rail to move along the lower rail and the upper rail,
Wherein the first slider
A moving block moving along the lower rail or the upper rail and a rotating block rotatably coupled to the upper side of the moving block in a horizontal direction,
Wherein the second slider
A moving block moving along the lower rail or the upper rail; a rotating block rotatably coupled to the upper side of the moving block so as to be horizontally rotatable; a rotating block coupled to the rotating block so as to slide in a direction perpendicular to the first radial direction; And a sliding bar formed on the substrate.
제6항에 있어서,
상기 제1 슬라이더와 상기 제2 슬라이더에 지지되는 소스지지대를 더 포함하며,
상기 증발원은 상기 소스지지대에 결합되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
The method according to claim 6,
Further comprising a source support supported by the first slider and the second slider,
Wherein the evaporation source is coupled to the source support.
제7항에 있어서,
상기 상측레일의 외측으로 일정 간격 이격되어 상기 상측레일을 따라 배치되는 래크레일과;
상기 래크레일에 치합되는 피니언과;
상기 피니언에 회전력을 제공하며, 상기 소스지지대에 결합되는 모터부를 더 포함하는, 증착 장치.
8. The method of claim 7,
A rack having a predetermined distance from the upper rail and disposed along the upper rail;
A pinion engaged with the recicle;
Further comprising a motor portion that provides rotational force to the pinion and is coupled to the source support.
제5항에 따른 증착 장치를 이용하여 증발물질을 증착하는 방법으로서,
상기 제1 증착영역의 상기 상측레일 및 상기 하측레일의 단부로 상기 이송부를 이동시키는 단계와;
상기 제1 기판을 상기 제1 방사 방향으로 로딩하여 상기 제1 기판 로딩부에 안착시키는 단계와;
상기 이송부을 상기 제1 레일 및 상기 제3 레일을 따라 이동시켜 상기 제1 기판에 상기 증발물질을 증착시키는 단계와;
상기 제1 기판에 증발입자를 증착시키는 단계와 동시에 상기 제2 기판을 상기 제2 방사 방향으로 로딩하여 상기 제2 기판 로딩부에 안착시키는 단계와;
상기 이송부를 곡선의 상기 제3 레일 및 상기 제5 레일을 통과시키고, 상기 제2 레일 및 상기 제4 레일을 따라 이동시켜 상기 제2 기판에 증발입자를 증착시키는 단계를 포함하는, 증착 방법.
A method of depositing a vapor material using the vapor deposition apparatus according to claim 5,
Moving the transfer portion to an end of the upper rail and the lower rail of the first deposition region;
Loading the first substrate in the first radiation direction and seating the first substrate in the first substrate loading portion;
Depositing the evaporation material on the first substrate by moving the transfer part along the first rail and the third rail;
Depositing evaporation particles on the first substrate and simultaneously loading the second substrate in the second radiation direction and placing the second substrate on the second substrate loading part;
And passing the feed through the third and fifth rails of the curve and moving along the second rail and the fourth rail to deposit evaporation particles on the second substrate.
제9항에 있어서,
상기 제1 기판에 증발물질을 증착시키는 단계 이후에,
증착이 완료된 상기 제1 기판을 상기 증착 챔버에서 인출시키고, 새로운 제1 기판을 상기 제1 방사 방향으로 로딩하여 상기 제1 기판 로딩부에 안착시키는 단계를 더 포함하는, 증착 방법.10. The method of claim 9,
After depositing the evaporation material on the first substrate,
Further comprising the steps of: withdrawing the deposited first substrate from the deposition chamber and loading a new first substrate in the first radial direction to seat the first substrate on the first substrate loading portion.
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