KR101586183B1 - 전압형 직류전원장치 및 전압형 직류전원장치의 제어방법 - Google Patents

전압형 직류전원장치 및 전압형 직류전원장치의 제어방법 Download PDF

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Abstract

인버터를 구비하는 전압형 직류전원장치에 있어서, 아크발생시에 있어서 인버터로부터 부하측으로의 전류공급을 억제한다. 전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지·복귀에 있어서, 정지시에 있어서 초퍼부를 인버터로부터 떼어 놓음으로써 아크발생시의 부하에의 과잉전류를 억제하여 아크의 소호를 고속으로 행하고, 초퍼부를 흐르는 전류를 순환전류로서 유지하고, 인버터의 재기동시에 있어서 유지하고 있던 순환전류를 부하에 공급함으로써, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 복귀시에 있어서의, 부하에의 직류전력의 공급지연을 저감한다.

Description

전압형 직류전원장치 및 전압형 직류전원장치의 제어방법 {VOLTAGE-TYPE DC POWER SUPPLY AND CONTROL METHOD OF VOLTAGE-TYPE DC POWER SUPPLY}
본원발명은, 전압형 직류전원장치 및 그 제어방법에 관한 것이며, 예를 들면, 플라즈마 발생장치 등의 부하에 이용되는 전압형 직류전원장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
플라즈마 발생용 장치에 이용하는 직류전원장치는, 아크발생시에 있어서 과잉전류를 억제하여, 아크의 소호(消弧)를 고속으로 행할 것이 요구되고 있다. 전압형 직류전원은, 출력에 접속되는 큰 콘덴서에 의하여 아크발생시에 과잉인 방전 전류가 흐르거나, 아크발생시의 출력전압 저하를 보충하기 위해서 더욱 출력을 증가시킴으로써 아크가 장시간화하는 등 부하에의 영향이 증가한다고 하는 문제가 있다.
아크방전의 대처법으로서,
(1) 전원을 일시정지하고, 일정시간 경과 후에 운전을 재개한다.
(2) 리액턴스와 콘덴서의 조합으로 이루어지는 LC진동회로에 의하여 역전압을 발생시켜 아크를 자기(自己)소호 시킨다.
(3) 반도체 스위치소자에 의한 역전압 발생회로에 의하여 역전압을 발생시켜 아크를 자기소호 시킨다.
등이 알려져 있다.
이들 대처법에서는, 아크방전이 빈번히 발생하는 경우에는 출력전류를 제어할 수 없다고 하는 문제, 정상 방전의 재개에 시간적 지연이 생긴다고 하는 문제 등이 지적되고 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 인버터로서 전류형 인버터를 이용하고, 전류형 인버터의 스위칭동작을 전류원으로서 제어함으로써, 플라즈마 발생장치에의 공급 전력량을 제어하는 플라즈마용 직류전원장치가 제안되고 있다(특허문헌 1).
일본 특허공개 2004－40962호 공보 (단락 [0002] ∼ 단락 [0027])
특허문헌 1에서 제안되는 플라즈마용 직류전원장치는, 전류형 인버터의 스위칭동작을 제어함으로써 플라즈마 발생장치에의 공급량을 제어하고, 전류원 동작에 의하여 안정된 직류전력을 공급하는 전류형 직류전원장치이다. 즉, 전압원이 아닌 전류원으로서 전력을 제어함으로써 안정된 제어를 가능하게 하는 것이다.
따라서, 전류원으로 변경하지 않고 전압원의 구성인 채로, 아크발생시에 있어서 과잉전류를 억제하여, 아크 소호 후의 직류출력의 공급복귀를 신속히 행할 수 있는 전압형 직류전원은 알려지지 않았다.
본원발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하여, 전압형 직류전원장치에 있어서, 아크발생시에 있어서 인버터로부터 부하측에의 과잉전류의 공급을 억제하는 것을 목적으로 한다.
플라즈마 발생장치를 부하로 하여 직류전력을 공급하는 경우에는, 부하인 플라즈마 발생장치에 아크방전이 발생했을 때에, 전압형 직류전원장치로부터 플라즈마 발생장치에의 직류전력의 공급을 정지함으로써 과잉전류를 억제하여 전극이나 기판의 손상을 저감한다. 또한, 아크방전이 소호했을 때에, 전압형 직류전원장치로부터 플라즈마 발생장치로의 직류전력의 공급을 복귀시킨다.
본원발명의 전압형 직류전원장치는, 아크발생시에 전압형 직류전원장치에 흐르는 직류전류를 유지하여 부하측에의 공급을 억제하고, 아크 소호 후의 전압형 직류전원장치의 직류출력의 공급복귀시에 있어서, 유지한 직류전류를 이용하여 부하에의 직류출력의 공급을 신속히 행한다.
전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지·복귀에 있어서, 정지시에 있어서 초퍼부를 인버터로부터 떼어 놓음으로써 아크발생시의 부하에의 과잉전류를 억제하여 아크의 소호를 고속으로 행한다. 또한, 이때 초퍼부에 흐르는 전류를 순환전류로서 유지하고, 인버터의 재기동시에 있어서 유지하고 있던 순환전류를 부하에 공급함으로써, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 복귀시에 있어서의, 부하에의 직류전력의 공급지연을 저감한다. 여기서, 인버터는 단상인버터 혹은 다상인버터로 할 수 있고, 이하에서는 단순히 인버터로 표기한다.
본원발명은, 전압형 직류전원장치의 태양(態樣) 및 직류전원장치의 제어방법의 태양을 포함한다.
[직류전원장치]
본원발명의 전압형 직류전원장치는, 직류원을 구성하는 전압형 강압초퍼부와, 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 4개의 스위칭소자로 이루어지는 브리지회로를 가지고, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 스위칭소자의 동작에 의해 단상의 교류전력으로 변환하는 인버터와, 인버터의 출력을 교직(交直)변환하여, 얻어진 직류를 부하에 공급하는 정류부와, 전압형 강압초퍼부 및 인버터를 제어하는 제어부와, 전압형 강압초퍼부와 인버터의 사이에 있어서, 전압형 강압초퍼부의 정(正)단자와 부(負)단자의 사이를 단락 스위칭소자로 단락하는 단락부를 구비한다.
통상의 전력공급동작에 있어서, 전압형 강압초퍼부는 직류전력의 전압을 소정 전압으로 변환하여 직류전압을 출력한다. 인버터는, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 복수의 스위칭소자의 동작으로 전류로(路)를 전환함으로써 단상의 교류전력으로 변환한다. 정류부는, 인버터로 변환한 교류전력을 교직변환에 의하여 직류전력으로 변환하고, 변환한 직류전력을 부하에 공급한다.
직류전력을 부하에 공급하는 동작상태에 있어서, 부하인 플라즈마 발생장치에 있어서 아크방전이 발생하면, 부하전압이 강하함과 함께 전원측으로부터 부하를 향하여 과잉전류가 흐른다. 본원발명의 전압형 직류전원장치는, 이 아크방전이 발생했을 때에 전원측으로부터 부하에의 전력공급을 정지하고, 그 후, 아크방전이 소호한 후에 전원측으로부터 부하에의 전력공급을 복귀한다.
제어부는, 아크방전이 발생한 시점에서, 인버터부의 스위칭소자를 오프상태로 하고, 상기 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자를 오프상태로 하며, 단락부의 단락 스위칭소자를 온상태로 하여, 전압형 강압초퍼부의 인덕터와 다이오드, 및 단락부의 상기 단락 스위칭소자에 의하여 순환회로를 형성한다. 아크방전이 소호한 시점 또는 아크방전이 발생하고 나서 소정의 설정시간이 경과한 시점에서, 인버터부의 스위칭소자를 온상태로 하고, 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자를 온상태로 하며, 단락부의 단락 스위칭소자를 오프상태로 하여, 순환회로에 흐르는 순환전류를 인버터에 공급한다.
아크방전의 소호의 유무는, 부하전압 등의 전압 검출에 의하여 판정하는 것 외, 아크방전이 발생하고 나서 아크방전이 소호할 때까지의 시간을 미리 설정해 두고, 이 설정시간의 경과에 기초하여 소호했다고 판단해도 좋다.
본원발명이 구비하는 단락부의 형태는, 전압형 강압초퍼부와 인버터의 사이에 마련한, 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 스위칭소자로 단속하는 단락회로로 할 수 있다.
본원발명이 구비하는 단락부의 다른 형태는, 전압형 강압초퍼부와 인버터의 사이에 마련한, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 승압하여 인버터에 공급하는 승압회로서도 기능하는 단락회로로 할 수 있다.
승압회로서도 기능하는 단락회로는, 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 접속하는 스위칭소자, 인버터의 입력단 사이를 접속하는 평활콘덴서, 및 전압형 강압초퍼부와 평활콘덴서의 정단자 사이 또는 부단자 사이를 접속하는 다이오드를 구비한다.
[전압형 직류전원장치의 제어방법]
본원발명의 전압형 직류전원장치의 제어방법은, 직류원을 구성하는 전압형 강압초퍼부와, 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 4개의 스위칭소자로 이루어지는 브리지회로를 가지고, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 스위칭소자의 동작에 의해 단상의 교류전력으로 변환하는 인버터와, 인버터의 출력을 교직변환하여, 얻어진 직류를 부하에 공급하는 정류부와, 전압형 강압초퍼부와 인버터의 사이에 있어서, 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 단락 스위칭소자에 의하여 단락하는 단락부와, 전압형 강압초퍼부 및 인버터를 제어하는 제어부를 구비하는 전압형 직류전원장치의 제어방법이다.
제어부는,
(a) 부하에 있어서 아크방전이 발생한 시점에서, 인버터부의 스위칭소자를 오프상태로 하고, 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자를 오프상태로 하며, 단락부의 단락 스위칭소자를 온상태로 하여, 전압형 강압초퍼부의 인덕터와 다이오드, 및 단락부의 단락 스위칭소자에 의하여 순환회로를 형성한다.
(b) 아크방전이 소호할 때까지 혹은 소호했다고 인정하기에 충분한 시간이 경과할 때까지의 동안은, 순환회로의 순환전류를 유지한다.
(c) 아크방전이 소호한 시점 또는 아크가 발생하고 나서 소정의 설정시간이 경과한 시점에서, 인버터부의 스위칭소자를 온상태로 하고, 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자를 온상태로 하며, 상기 단락부의 단락 스위칭소자를 오프상태로 하여, 상기 순환회로에 흐르는 순환전류를 인버터에 공급한다.
이상 설명한 바와 같이, 본원발명에 의하면, 아크발생시에 있어서 인버터로부터 부하측에의 전류공급을 억제할 수 있다. 또, 아크발생시에 전압형 직류전원장치에 흐르는 직류전류를 유지하고, 아크 소호 후의 전압형 직류전원장치의 직류출력의 공급복귀시에 있어서, 유지한 직류전류를 이용하여 부하에의 직류출력의 공급을 신속히 행할 수 있다.
도 1은, 본원발명의 전압형 직류전원장치의 구성예를 설명하기 위한 개략 블록도이다.
도 2는, 본원발명의 제어부의 일 구성예를 설명하기 위한 개략 블럭도이다.
도 3은, 본원발명의 전압형 직류전원장치의 동작예를 설명하기 위한 플로차트이다.
도 4는, 본원발명의 전압형 직류전원장치의 동작예를 설명하기 위한 타이밍 차트이다.
도 5는, 본원발명의 전압형 직류전원장치의 아크방전소호의 전류의 흐름을 설명하기 위한 도이다.
도 6은, 인버터의 구성예를 설명하기 위한 도이다.
도 7은, 본원발명의 인버터를 이용한 직류전원장치의 구성예를 나타내는 도이다.
도 8은, 본원발명의 인버터를 이용한 듀얼캐소드 전원장치의 구성예를 나타내는 도이다.
본원발명은, 플라즈마 발생장치 등의 부하에 대하여 직류전력을 공급할 때에, 직류출력의 정지·복귀를 행하는 전압형 직류전원장치 및 전압형 직류전원장치의 제어방법에 관한 것이다.
플라즈마 발생장치를 부하로 하여 직류전력을 공급하는 경우에는, 부하인 플라즈마 발생장치에 아크방전이 발생했을 때에, 전압형 직류전원장치로부터 플라즈마 발생장치에의 직류전력의 공급을 정지함으로써 전극이나 기판의 손상을 저감한다. 또한, 아크방전이 소호했을 때에, 전압형 직류전원장치로부터 플라즈마 발생장치에의 직류전력의 공급을 복귀시킨다.
본원발명은, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지·복귀에 있어서, 정지시에 있어서 초퍼부에 흐르는 전류를 순환전류로서 유지하고, 인버터의 재기동시에 있어서 유지하고 있던 순환전류를 부하에 공급함으로써, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 복귀시에 있어서 부하에의 직류전력의 공급지연을 저감한다.
이하, 본원발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하에서는, 본원발명의 전압형 직류전원장치 및 제어방법에 대하여, 도 1, 도 2를 이용하여 전압형 직류전원장치의 구성예를 설명하고, 도 3~도 5를 이용하여 전압형 직류전원장치의 제어예를 설명한다.
[전압형 직류전원장치의 구성]
본원발명의 전압형 직류전원장치는, 직류원을 구성하는 전압형 강압초퍼부와, 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 4개의 스위칭소자로 이루어지는 브리지회로를 가지고, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 스위칭소자의 동작에 의해 단상의 교류전력으로 변환하는 인버터와, 인버터의 출력을 교직변환하여, 얻어진 직류를 부하에 공급하는 정류부와, 전압형 강압초퍼부 및 인버터를 제어하는 제어부와, 전압형 강압초퍼부와 인버터의 사이에 있어서, 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 단락 스위칭소자로 단락하는 단락부를 구비한다.
통상의 전력공급동작에 있어서, 전압형 강압초퍼부는 직류전력의 전압을 소정 전압으로 변환하여 직류전압을 출력한다. 인버터는, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 동작으로 전류로(路)를 전환함으로써 단상의 교류전력으로 변환한다. 정류부는, 인버터로 변환한 교류전력을 교직변환에 의하여 직류전력으로 변환하고, 변환한 직류전력을 부하에 공급한다.
직류전력을 부하에 공급하는 동작상태에 있어서, 부하인 플라즈마 발생장치에 있어서 아크방전이 발생하면, 부하전압이 강하함과 함께 전원측으로부터 부하를 향하여 과잉전류가 흐른다. 본원발명의 전압형 직류전원장치는, 이 아크방전이 발생했을 때에 전원측으로부터 부하에의 전력공급을 정지하고, 그 후, 아크방전이 소호한 후에 전원측으로부터 부하에의 전력공급을 복귀한다.
아크방전의 소호의 유무는, 부하전압 등의 전압 검출에 의하여 판정하는 것 외, 아크방전이 발생하고 나서 아크방전이 소호할 때까지의 시간을 미리 설정해 두고, 이 설정시간의 경과에 기초하여 소호했다고 판단해도 좋다.
본원발명의 전압형 직류전원장치의 구성예에 대하여 도 1, 도 2를 이용하여 설명한다.
도 1, 도 8에 나타내는 전압형 직류전원장치(1)는, 직류원을 구성하는 전압형 강압초퍼부(2)와, 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 4개의 스위칭소자로 이루어지는 브리지회로를 가지고, 전압형 강압초퍼부(2)의 직류출력을 스위칭소자의 동작에 의해 단상의 교류전력으로 변환하는 인버터(3)와, 인버터(3)의 출력을 교직변환하여, 얻어진 직류를 부하에 공급하는 정류부(4)와, 전압형 강압초퍼부(2) 및 인버터(3)를 제어하는 제어부(5)와, 전압형 강압초퍼부(2)와 인버터(3)의 사이에 있어서, 전압형 강압초퍼부(2)의 정단자(P)와 부단자(N)의 사이를 단락용 스위칭소자(Q2)로 단락하는 단락부(10)를 구비한다. 이 단락부(10)는 승압회로로서도 동작한다.
전압형 강압초퍼부(2)는, 스위칭소자(Q1)와 다이오드(D1)와 직류리엑터(LF1)를 구비한다. 스위칭소자(Q1)는, 직류전압을 초퍼 제어함으로써 강압한다. 직류리엑터(LF1)는, 초퍼 제어한 직류를 전류 평활한다. 다만, 다이오드(D1)는 IGBT나 MOSFET 등의 스위칭소자를 이용해도 좋다.
인버터(3)는, 전압형 강압초퍼부(2)에서 전류 평활된 직류를 입력하고, 인버터(3)가 구비하는 브리지회로의 스위칭소자를 제어함으로써 직교변환한다.
단락부(10)는, 전압형 강압초퍼부(2)의 정단자(P)와 부단자(N)의 사이에 단락용 스위칭소자(Q2)를 접속한 구성으로 한다. 스위칭소자(Q1)의 오프상태에 있어서, 정단자(P)와 부단자(N)의 사이를 단락함으로써, 콘덴서(CF1)에 충전되어 있는 직류전압은 다이오드(D2)에 의하여 블록되고, 전압형 강압초퍼부(2)의 다이오드(D1) 및 직류리엑터(LF1)와 함께 폐회로를 형성한다.
다이오드(D2)는, 콘덴서(CF1)에 충전되어 있는 직류전압이 스위칭소자(Q2)가 온상태일 때에 스위칭소자(Q2)에 인가되는 것을 저지하는 블로킹 다이오드로서, 도 1에서 나타내는 바와 같이 정단자(P) 측에 접속하는 구성으로 한정되지 않고, 부단자(N) 측에 접속해도 좋다.
콘덴서(CF1)는, 전압형 강압초퍼부(2)의 직류리엑터(LF1)를 흐르는 전류의 에너지를 축적하는 것 외, 인버터(3)의 스위칭소자 사이에서 전류동작을 행할 때에 발생하는 서지전압이나, 각 스위칭소자에 직렬 접속된 인덕터의 에너지를 흡수하여, 스위칭소자를 보호하는 작용을 가져온다.
인버터(3)는, 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자를 브리지 접속하여 구성된다. 스위칭소자는, 예를 들면, IGBT나 MOSFET 등의 반도체 스위칭소자를 이용할 수 있다. 인버터의 각 스위칭소자는, 제어부(5)의 제어신호에 기초하여 스위칭동작을 행하여, 직류전력을 교류전력으로 변환하여 출력한다.
정류부(4)는, 인버터(3)의 교류출력을 정류하고, 직류출력을 부하에 공급한다. 인버터의 교류출력에 포함되는 고주파 리플분을 제거하기 위해서, 정류부(4)의 출력단에 직류필터 회로를 구비하는 구성으로 해도 좋다. 직류필터 회로는, 출력단에 병렬 접속하는 출력콘덴서(도시하지 않음)와 직렬 접속한 출력리엑터(도시하지 않음) 중의 일방 또는 양방을 이용하여 구성할 수 있다.
정류부(4)의 직류출력은, 전압형 직류전원장치(1)와 플라즈마 발생장치의 사이를 접속한 출력케이블에 의하여 플라즈마 발생장치에 공급된다.
전압형 직류전원장치(1)는, 고주파 리플분을 제거하는 구성으로서, 정류부(4)에 접속하는 직류필터 회로를 대신하여 기생임피던스를 이용할 수 있다. 예를 들면, 인덕턴스분으로서 정류부(4)와 출력단자의 사이의 배선 인덕턴스나, 전압형 직류전원장치(1)와 부하의 사이에 접속되는 출력케이블에 포함되는 인덕턴스나 콘덴서, 혹은, 플라즈마 부하의 경우에는 플라즈마 발생장치의 전극용량을 이용할 수 있다. 상기한 인버터의 기생임피던스, 및 출력케이블이나 전극용량의 용량분은 실질적으로 직류필터 회로를 구성하여, 인버터의 교류출력에 포함되는 고주파 리플분을 저감한다.
또, 직류전압의 리플분은, 인버터회로의 구동주파수를 낮추면 증가하는 특성이 있다. 그로 인하여, 인버터회로의 구동주파수를 높임으로써, 출력콘덴서 및 출력리엑터의 필요성을 저하시킬 수 있다. 또, 인버터회로의 구동주파수를 높임으로써, 전압형 직류전원장치(1)가 내부에 보유하는 에너지를 억제할 수 있다.
또한, 본원발명의 전압형 직류전원장치(1)는 제어부(5)를 구비하여, 전압형 강압초퍼부(2), 단락부(10) 및 인버터(3)를 제어한다. 도 2의 개략 블럭도를 이용하여 제어부(5)의 일구성예를 설명한다.
제어부(5)는, 전압형 강압초퍼부(2)의 스위칭소자(Q1)의 온·오프를 제어하는 제어신호를 형성하는 제어신호 형성회로(5a)와, 단락부(10)에 있어서, 정단자와 부단자의 사이에 마련한 단락용 스위칭소자(Q2)의 온·오프를 제어하는 제어신호를 형성하는 제어신호 형성회로(5b)와, 인버터(3)의 스위칭소자의 온·오프를 제어하는 펄스 제어신호를 형성하는 제어신호 형성회로(5c)를 구비한다.
제어신호 형성회로(5a)는, 전압형 강압초퍼부(2)의 스위칭소자(Q1)를 초퍼 제어하는 회로로서, 스위칭소자(Q1)의 출력전류인 초퍼전류, 및 전압형 직류전원장치(1)의 출력전압 및 출력전류를 검출하고, 이 초퍼전류, 및 출력전압 및 출력전류의 검출치에 기초하여, 전압형 직류전원장치(1)의 출력이 미리 설정한 소정의 전류치 및 소정의 전압치가 되도록 제어한다. 또, 아크검출부(6)의 아크검출신호에 기초하여, 아크발생시에는 오프상태로 전환하고, 아크 소멸시에는 오프상태에서 온상태로 전환한다.
제어신호 형성회로(5b)는, 단락부(10)의 단락용 스위칭소자(Q2)의 온/오프를 제어하는 회로로서, 아크검출부(6)의 아크검출신호에 기초하여, 아크발생시에는 온상태로 전환하고, 아크 소멸시에는 온상태에서 오프상태로 전환한다.
스위칭소자(Q1) 및 단락용 스위칭소자(Q2)의 동작에 의하여, 전압형 강압초퍼부(2)의 다이오드(D1) 및 직류리엑터(LF1)와 함께 폐회로가 형성되고, 직류리엑터(LF1)에 축적된 에너지는 순환전류(Δi)로서 폐회로 내를 순환한다.
제어신호 형성회로(5c)는, 인버터(3)의 스위칭소자의 온·오프를 제어하는 펄스 제어신호를 형성하고, 인버터(3)의 브리지회로를 구성하는 각 아암의 스위칭소자(QU, QV, QX, QY)의 스위칭동작을 제어한다. 인버터(3)는 스위칭소자의 제어에 의하여, 입력한 직류를 교류로 직교변환한다. 또, 아크검출부(6)의 아크검출신호에 기초하여, 아크발생시에는 오프상태로 전환하고, 아크 소멸시에는 오프상태에서 온상태로 전환한다.
제어부(5)는, 상기의 제어신호 형성회로(5a~5c)의 외에 설정시간 경과회로(5d)를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 설정시간 경과회로(5d)는, 아크 소멸시의 제어신호를 형성하는 회로로서, 아크발생에서 아크 소멸까지에 요하는 충분한 길이의 설정시간을 미리 정해 두고, 아크검출부(6)로부터 아크검출신호를 입력하고 나서 설정시간이 경과한 시점에서 제어신호를 출력하여, 제어신호 형성회로(5a)에서는 스위칭소자(Q1)를 오프상태에서 온상태로 전환하는 제어신호를 출력시키고, 제어신호 형성회로(5b)에서는 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태에서 오프상태로 전환하는 제어신호를 출력시키고, 제어신호 형성회로(5c)에서는, 인버터(3)의 스위칭소자를 오프상태에서 온상태로 전환하는 제어신호를 출력시킨다.
설정시간 경과회로(5d)는, 아크방전의 발생이 검출되고 나서의 경과시간을 계시(計時)하고, 경과시간이 미리 설정된 설정시간(tarc)이 경과함으로써 아크방전이 소실했다고 하여 제어신호를 출력한다. 설정시간(tarc)은, 아크방전이 발생하기 직전의 직류전류를 순환전류(Δi)로서 흐르게 하는 전류상태를 유지하는 시간에 상당한다. 이 설정시간(tarc)은 유지시간으로서 임의로 설정할 수 있고, 예를 들면, 제어 대상인 부하에 대하여 아크방전이 발생하고 나서 소실하기까지에 요하는 시간을 미리 구해 두고, 이 시간에 변동 폭으로부터 예측되는 마진분을 더하는 등에 의하여 정할 수 있다.
아크검출부(6)는, 예를 들면, 부하 혹은 출력단의 전압에 기초하여, 부하의 아크발생장치에 있어서의 아크방전의 발생상태를 검출한다.
아크검출부(6)에 의한 아크상태의 검출은, 예를 들면, 부하전류로부터 흐르는 상태에서, 부하의 전압, 혹은, 전압형 직류전원장치(1)의 출력단의 전압을 미리 정해 둔 제1 임계치와 비교하여, 검출전압이 제1 임계치보다 저하했을 때에 아크방전이 발생한 것을 검출한다. 또, 아크방전의 발생을 검출한 후, 검출한 전압을 미리 정해 둔 제2 임계치와 비교하여, 검출전압이 제2 임계치를 초과했을 때에 아크방전이 소실했다고 판단한다.
인버터(3)는, 예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이 4개의 아암을 가지는 브리지회로에 의하여 구성된다. 각 아암에는 각각 스위칭소자(QU, QV, QX, QY)의 4개의 스위칭소자가 설치된다. 스위칭소자(QU)와 스위칭소자(QX)를 직렬 접속하고, 스위칭소자(QV)와 스위칭소자(QY)를 직렬 접속한다.
스위칭소자(QU)와 스위칭소자(QX)의 접속점은, 인덕턴스(Lm1)를 개재하여 부하의 정단자 측에 접속되고, 스위칭소자(QV)와 스위칭소자(QY)의 접속점은 부하의 부단자 측에 접속된다.
제어부(5)에는, 전압형 직류전원장치(1)의 출력단 혹은 부하측으로부터 피드백 신호가 귀환된다. 피드백 신호는, 예를 들면, 전압형 직류전원장치(1)의 출력단의 전압, 또는 전류, 또는 전력으로 할 수 있다.
[직류전원장치의 제어동작]
본원발명의 전압형 직류전원장치의 제어부는, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지시, 정지중, 및 재개시에 있어서, 이하의 제어 A ~ 제어 C에서 나타낸 각 제어, 및 제어 D의 단락제어에 의하여, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지·재개에 있어서, 정지시에 있어서 초퍼부에 흐르는 전류를 순환전류로서 유지하고, 인버터의 재기동시에 있어서 이 순환전류를 부하에 공급함으로써, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 복귀시에 있어서의, 부하에의 직류전력의 공급지연을 저감한다.
본원발명의 전압형 직류전원장치의 제어부는, 전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 정지시, 정지중, 및 재개시에 있어서 이하의 제어를 행한다.
제어 A：아크발생시의 전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지시 (전압형 강압초퍼부의 정지동작)
전원장치의 직류출력의 정지시의 제어는, 전압형 강압초퍼부의 스위치를 온상태에서 오프상태로 전환하고, 단락부에 의하여 정단자와 부단자 사이를 단락한다. 이로써, 인버터스위치를 온상태에서 오프상태로 전환한다.
아크방전 발생시에 전원측으로부터 부하에의 전력공급을 정지하는 시점에 있어서, 전압형 강압초퍼부의 동작을 정지함과 함께, 단락부에 있어서 정단자측과 부단자측을 단락함으로써, 인버터로부터 변압기 측을 향하는 전류를 정지시킨다.
전압형 직류전원장치(1)는, 부하에 직류출력을 공급하고 있는 상태에서는, 전압형 강압초퍼부는 직류원의 직류전력을 소정 전압으로 변환하여 인버터에 입력한다. 인버터는 직류전력을 교류전력으로 변환한다. 정류부는 인버터의 출력을 교직변환하고, 직류전력을 부하에 공급한다.
전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 정지시에 있어서, 전압형 강압초퍼부의 스위치를 온상태에서 오프상태로 전환하여, 직류원으로부터의 전력공급을 정지한다. 이 정지시에 있어서, 단락부에 의하여 정단자와 부단자 사이를 단락하면, 전압형 강압초퍼부와 단락부의 사이에서 폐회로가 형성된다. 폐회로에는, 정지시에 전압형 강압초퍼부의 인덕터에 축적된 에너지가 순환전류의 형태로 흐른다. 이 순환전류는, 인버터를 재기동하여 직류출력을 복귀할 때에, 직류원으로부터 직류출력이 공급되는 것보다도 앞의 시점에서, 전압형 강압초퍼부에서 보아 부하 측에 존재하는 회로로 흘러, 인버터로부터 부하에의 신속한 전력공급이 행해진다.
제어 B：전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 정지중 (순환회로의 형성동작, 및 순환전류의 유지동작)
전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 정지중의 제어는, 인버터스위치의 오프상태와, 전압형 강압초퍼부 스위치의 오프상태와, 단락부의 정단자와 부단자 사이의 단락상태를 유지한다.
전원측으로부터 부하에의 전력공급의 정지중에 있어서, 전압형 강압초퍼부의 인덕터를 포함하는 순환회로를 형성하고, 인덕터에 흐르는 전류를 순환전류로서 유지한다.
전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 정지중에는, 전압형 강압초퍼부 스위치의 오프상태를 유지함으로써, 직류원으로부터의 전력공급의 정지를 유지하고, 단락부의 정단자와 부단자 사이의 단락상태를 유지함으로써, 전압형 강압초퍼부와 단락부의 사이에서 형성되는 순환회로에 흐르는 순환전류를 유지한다.
제어 C：전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 복귀시 (순환전류를 이용한 인버터의 재기동 동작)
전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 복귀시의 제어는, 전압형 강압초퍼부의 스위치를 오프상태에서 온상태로 전환하고, 단락부를 개방상태로 하고, 인버터의 스위치를 오프상태에서 온상태로 전환한다.
전압형 직류전원장치(1)의 직류출력의 복귀시에는, 인버터의 스위치를 오프상태에서 온상태로 전환하고, 전압형 강압초퍼부의 스위치를 오프상태에서 온상태로의 전환, 및 단락부의 개방에 의하여, 직류원의 직류전력을 소정 전압에의 변환을 재개하고, 변환한 직류전력을 인버터에 입력한다.
아크방전이 소호한 후, 전력공급의 복귀시에 있어서 순환전류를 인버터에 흐르게 함으로써 인버터를 신속히 재기동시킨다.
제어 D：단락제어
제어부는, 전압형 직류전원장치의 직류출력의 정지시 및 정지중에 있어서 단락부의 정단자와 부단자 사이를 단락제어한다. 이 단락제어에 있어서, 단락부를 구성하는 스위칭소자를 온상태로 함으로써 정단자와 부단자 사이를 단락하고, 스위칭소자를 오프상태로 함으로써 정단자와 부단자 사이를 개방한다.
제어 A의 전압형 강압초퍼부의 정지기능과 단락부의 단락동작, 및 인버터의 정지기능에 의하여, 아크방전시에 부하에의 전력공급을 정지하고, 제어 B의 전압형 강압초퍼부의 순환전류의 유지동작, 및, 제어 C의 순환전류를 이용함으로써 인버터를 신속히 재기동시킨다.
본원발명의 전압형 직류전원장치(1)는, 아크방전이 발생하는 경우에 있어서, 제어부는 아크상태를 검출하는 아크검출부의 검출신호에 기초하여 직류출력의 정지·재개 제어를 행할 수 있다. 제어부는, 아크방전의 발생 검출에 기초하여 정지제어를 행하고, 아크방전의 소실 검출에 기초하여 재기동 제어를 행한다.
아크검출부는, 부하의 전압, 혹은, 전압형 직류전원장치의 출력단의 전압을 검출하고, 이 검출전압을 미리 정해 둔 제1 임계치와 비교하여, 제1 임계치보다 저하했을 때에 아크발생을 검출한다.
또, 아크발생을 검출한 후, 검출전압을 미리 정해 둔 제2 임계치와 비교하여, 제2 임계치를 초과했을 때에 아크방전이 소실했다고 판단한다.
[전압형 직류전원장치의 동작예]
다음으로, 본원발명의 전압형 직류전원장치(1)의 동작예에 대하여 도 3~도 5를 이용하여 설명한다. 도 3은 본원발명의 전압형 직류전원장치(1)의 동작예를 설명하기 위한 플로차트이고, 도 4는 본원발명의 전압형 직류전원장치의 동작예를 설명하기 위한 타이밍 차트이며, 도 5는 본원발명의 전압형 직류전원장치(1)의 아크방전 소실시의 전류의 흐름을 설명하기 위한 도이다.
도 3의 플로차트는, 전압형 직류전원장치(1)가 통상동작을 행하고 있는 상태에 있어서, 아크방전이 발생했을 때의 동작예(S1~S6), 및 아크방전이 소실했을 때의 동작예(S7~S11)를 나타내고 있다.
전압형 직류전원장치(1)에 의한 부하에의 직류전력의 공급상태에 있어서, 부하의 아크발생장치에 있어서 아크방전이 발생하면, 부하의 입력전압 혹은 전압형 직류전원장치의 출력전압이 저하한다.
아크검출부(6)는, 부하 혹은 전압형 직류전원장치(1)의 출력단의 전압과 전류를 검출하여 감시하고, 부하전류가 흐르는 상태에서 전압이 저하한 경우에는, 아크방전이 발생한 것을 검출한다. 아크방전 발생의 검출은, 미리 정해 둔 임계치와 검출치를 비교함으로써 행할 수 있다. 다만, 아크방전의 검출은, 전압의 검출치와 임계치와의 비교로 한정되는 것은 아니다(S1).
(아크방전이 발생했을 때의 동작예)
아크방전의 발생이 검출된 경우에는, 전압형 강압초퍼부(2)의 스위칭소자(Q1)를 정지하고(S2), 단락용 제어신호 형성회로(5)에서 형성한 단락용 온 신호에 의하여(S3), 단락부(10)의 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태로 하여, 전압형 강압초퍼부(2)의 정단자(P)와 부단자(N)의 사이를 단락한다. 이 단락동작에 의하여, 인버터(3)에 의한 전력공급은 정지함과 함께, 인버터(3)를 정지(오프)한다(S4).
S2~S4의 공정에 의하여 직류전원으로부터 전압형 강압초퍼부(2)에의 전력공급을 정지하고, 전압형 직류전원장치(1)로부터 부하에의 직류전력의 공급을 정지하여, 전압형 강압초퍼부(2)의 다이오드(D1)와 직류리엑터(LF1)로 형성되는 폐회로가 형성된다. 전압형 강압초퍼부(2)의 직류리엑터(LF1)의 인덕턴스에 흐르는 전류는, 형성된 폐회로를 순환전류(Δi)로서 순환한다(S5).
순환전류(Δi)는, 전압형 직류전원장치(1)로부터 부하에의 직류전력의 공급을 재개했을 때에, 인버터(3)에 공급되어, 인버터(3)에 의한 직교변환의 입상(立上)을 앞당긴다.
(아크방전이 소실했을 때의 동작예)
아크방전의 발생이 검출된 후, 아크방전의 소실이 검출된 경우, 혹은, 아크방전의 소실이 상정되는 시간이 경과한 경우에는(S6), 전압형 강압초퍼부(2)의 스위칭소자(Q1)를 오프상태에서 온상태로 전환(S7)하고, 단락용 제어신호의 출력을 종료함으로써 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태에서 오프상태로 전환하여(S8), 전압형 강압초퍼부(2)의 정단자(P)와 부단자(N)의 사이의 단락상태를 정지하여 도통시키고, 인버터(3)를 동작상태로 한다(S9).
S7~S9의 공정에 의하여, 직류전원으로부터 전압형 강압초퍼부(2)에의 전력공급을 재개하고, 전압형 강압초퍼부(2)의 다이오드(D1)와 직류리엑터(LF1)로 형성되는 폐회로에 흐르는 순환전류(Δi)를, 전압형 강압초퍼부(2)로부터의 전력공급보다 먼저 인버터(3)의 브리지회로로 공급한다(S10).
S7의 공정에 의하여 전압형 강압초퍼부(2)의 도통을 재개했을 때에는, 전압형 강압초퍼부(2)가 가지는 인덕턴스분이나 부유용량분에 의하여, 전압형 강압초퍼부(2)를 통하여 직류전원으로부터 인버터(3)로 공급되는 직류전류에 지연이 생긴다. 이에 대하여, 순환전류(Δi)는, 전압형 강압초퍼부(2)의 정단자(P)와 부단자(N) 사이의 단락이 정지(단락상태가 해소)하여, 전압형 강압초퍼부(2)와 인버터(3)의 사이에 전류로가 형성됨으로써, 직류전원으로부터 직류전류가 공급되는 것보다도 먼저 인버터(3)로 공급되어, 부하에의 전력공급을 앞당길 수 있다.
전압형 직류전원장치(1)의 동작을 종료할 때까지, S1~S10의 공정을 반복한다(S11).
도 4의 타이밍 차트는 본원발명의 전압형 직류전원장치(1)의 동작예를 설명하는 것으로서, 도 4의 (a)~(d)는, 아크검출부에 의한 아크발생 검출, 아크 소호검출, 아크설정 경과시간, 및 아크검출신호를 나타내고, 도 4의 (e)는 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자(Q1) 및 인버터(3)의 동작상태를 나타내고, 도 4의 (f)는 전압형 강압초퍼부의 동작상태를 나타내며, 도 4의 (g)는 단락부의 단락용 스위칭소자(Q2)의 동작상태를 나타내고, 도 4의 (h)는 전압형 직류전원장치의 출력전압(VO)을 나타내고 있다.
다만, 인버터의 정단자 측의 아암의 스위칭소자(QU, QV)를 구동하는 게이트신호, 부단자 측의 아암의 스위칭소자(QX, QY)를 구동하는 게이트신호는, 통상 알려진 게이트신호를 이용할 수 있기 때문에, 여기에서는 표기를 생략하고 있다.
아크검출부(6)는, 아크발생을 검출하면(도 4의 (a)) 아크검출신호를 입상(立上)(도 4의 (d))하고, 아크 소호를 검출하면(도 4의 (b)) 아크검출신호를 입하(立下)한다. 아크검출신호의 입하는, 아크 소호의 검출에 의한 것 외에, 아크발생을 검출하고 나서 소정의 아크설정 경과시간의 경과(도 4의 (c))에 기초하여 행하는 형태로 할 수도 있다.
직류전원으로부터 부하에 직류전력이 공급되고 있는 상태에서는, 인버터(3)는 온상태이고, 인버터(3)의 운전정지에 의하여 출력전압(Vo)이 영전압으로 된다(도 4의 (h)). 또, 전압형 강압초퍼부(2)의 스위칭소자(Q1)는 온상태에 있고, 단락부(10)의 단락용 스위칭소자(Q2)는 오프상태에 있다. 이 전력공급상태에 있어서, 아크검출신호가 입상하면(도 4의 (d)), 제어부(5)는, 인버터를 오프상태로, 스위칭소자(Q1)를 오프상태로 전환하여(도 4의 (e)), 직류전원으로부터의 전력공급을 정지함(도 4의 (h))과 함께, 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태로 전환하여(도 4의 (g)), 전압형 강압초퍼부(2)의 다이오드(D1)와 직류리엑터(LF1)의 폐회로에 의하여 순환회로를 형성한다.
아크검출부(6)는, 아크 소호의 검출(도 4의 (b)) 혹은 아크발생을 검출하고 나서 소정의 아크설정 경과시간이 경과한 시점에서(도 4의 (c)), 아크검출신호를 입하한다(도 4의 (d)).
아크검출신호가 입하하면(도 4의 (d)), 제어부(5)는, 인버터(3)를 오프상태에서 온상태로 전환하고, 스위칭소자(Q1)를 오프상태에서 온상태로 전환한다(도 4의 (e)). 직류전원으로부터의 전력공급을 재개함(도 4의 (h))과 함께, 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태에서 오프상태로 전환하여(도 4의 (g)), 순환회로에 흐르는 순환전류(Δi)를 인버터 측으로 흐르게 한다. 인버터(3)의 운전 재개에 의하여 출력전압(Vo)이 출력된다(도 4의 (h)).
단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태로 하여 순환회로에 순환전류를 흐르게 하고 있는 기간을 아크설정 경과시간에서 정하는 경우에는, 이 아크설정 경과시간은 아크방전이 발생했을 때의 상태를 유지하는 구간(설정시간(tarc))으로서 아크방전의 발생시점으로부터 아크방전의 소실시점이라고 판단되는 시점까지의 사이를 임의로 설정할 수 있다.
도 5는 본원발명의 전압형 직류전원장치의 회로상태를 나타내고 있다. 도 5는 단락부로서 승압기능을 구비한 단락회로를 이용한 경우의 회로상태를 나타내고 있다. 도 5 중에 나타내는 다이오드(D1, D2)에 있어서, 다이오드 기호의 삼각형 형상 부분을 흰색으로 한 다이오드는 전류가 흐르지 않는 상태를 나타내고, 다이오드 기호의 삼각형 형상 부분을 검은색으로 표기한 다이오드는 전류가 흐르고 있는 상태를 나타내고 있다.
도 5의 (a)는 직류전원으로부터 인버터(3) 측으로 전력공급을 행하는 상태를 나타내고 있다. 전력공급시에는, 스위칭소자(Q1)는 온상태에 있고, 승압회로의 단락용 스위칭소자(Q2)는 오프상태에 있으며, 전압형 강압초퍼부를 통하여 직류전원으로부터 인버터 측으로 전력공급을 한다.
도 5의 (b)는 아크발생시 상태를 나타내고 있다. 아크발생시에는, 스위칭소자(Q1)를 온상태에서 오프상태로 전환하고, 단락용 스위칭소자(Q2)를 오프상태에서 온상태로 전환하여, 전압형 강압초퍼부(2)의 다이오드(D1)와 직류리엑터(LF1)의 폐회로에 의한 순환회로를 형성한다. 순환회로에는 순환전류(Δi)가 흐른다.
도 5의 (c)는 유지상태를 나타내고 있다. 유지상태에 있어서, 스위칭소자(Q1)를 오프상태로, 승압회로의 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태로 유지하고, 부하에의 전력을 정지하여 아크가 소멸하는 것을 기다린다. 그동안, 순환전류(Δi)는 순환회로를 흘러 유지된다.
도 5의 (d)는 아크 소호시의 상태를 나타내고 있다. 아크 소호시에는, 스위칭소자(Q1)를 오프상태에서 온상태로 전환하고, 승압회로의 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태에서 오프상태로 전환하여, 순환회로에 흐르고 있던 순환전류(Δi)를 부하 측으로 흐르게 함과 함께, 강압 초퍼부를 통하여 직류전원으로부터 인버터측으로의 전력공급을 재개한다.
[인버터를 이용한 전원장치의 구성예]
도 7은 본원발명의 인버터를 이용한 전압형 직류전원장치(1)의 구성예를 나타내고 있다.
전압형 직류전원장치(1)는 플라즈마 발생장치의 부하에 고주파 전력을 공급하는 전원으로서, 플라즈마 발생장치는, 전압형 직류전원장치(1)로부터 직류전압을 입력하는 전극과, 접지된 전극의 두 개의 전극을 구비한다. 이 전압형 직류전원장치(1)에 의하면, 일방의 전극을 접지하고, 타방의 전극에 직류전압을 인가할 수 있다.
전압형 직류전원장치(1)는, 교류전원의 교류전력을 정류하는 정류부, 과도적으로 생기는 고전압을 억제하는 보호회로를 구성하는 스너버부, 정류부로부터 입력한 직류전력의 전압을 소정 전압으로 변환하여 직류전류를 출력하는 전압형 강압초퍼부, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 교류출력으로 변환하는 단상인버터, 단상인버터의 교류출력을 소정 전압으로 변환하는 단상변압기, 단상변압기의 교류출력을 정류하는 정류기를 구비한다. 전압형 직류전원장치는, 정류기의 출력을 출력케이블을 통하여 전극(A)에 공급한다.
(듀얼캐소드 전원장치의 구성예)
도 8은 본원발명의 전압형 직류전원장치(1)와 다상인버터 및 다상화 변압기를 이용한 듀얼캐소드 전원장치의 구성예를 나타내고 있다.
듀얼캐소드 전원장치는 플라즈마 발생장치의 부하에 고주파 전력을 공급하는 전원으로서, 플라즈마 발생장치는 접지한 케이스 내에 전극 1과 전극 2의 두 개의 전극을 구비한다. 이 듀얼캐소드 전원장치에 의하면, 두 개의 전극에 전기적으로 대칭인 교류전압을 인가할 수 있다.
듀얼캐소드 전원장치는, 교류전원의 교류전력을 정류하는 정류부, 과도적으로 생기는 고전압을 억제하는 보호회로를 구성하는 스너버부, 정류부로부터 입력한 직류전력의 전압을 소정 전압으로 변환하여 직류전류를 출력하는 전압형 강압초퍼부, 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 다상의 교류출력으로 변환하는 다상인버터, 다상인버터의 교류출력을 소정 전압으로 변환하는 다상화 변압기를 구비하고, 다상화 변압기의 출력을 단상 구성으로 한다.
듀얼캐소드 전원장치는, 다상화 변압기의 일방의 출력을 출력케이블을 통하여 일방의 전극 1에 공급하고, 타방의 출력을 출력케이블을 통하여 타방의 전극 2에 공급한다.
한편, 상기 실시형태 및 변형예에 있어서의 기술은, 본원발명에 따른 전압형 직류전원 및 전압형 직류전원장치의 제어방법의 일례이고, 본원발명은 각 실시형태로 한정되지 않고, 본원발명의 취지에 기초하여 여러 가지 변형하는 것이 가능하며, 이들을 본원발명의 범위로부터 배제하는 것은 아니다.
산업상의 이용 가능성
본원발명의 전압형 직류전원은, 플라즈마 발생장치에 전력을 공급하는 전력원으로서 적용할 수 있다.
1. 전압형 직류전원장치 　
2. 전압형 강압초퍼부
3. 인버터 　
4. 정류부
5. 제어부
5a. 제어신호 형성회로
5b. 제어신호 형성회로
c. 제어신호 형성회로
5d. 설정시간 경과회로
6. 아크검출부
10. 단락부
CF1. 콘덴서
D1. 다이오드
D2. 다이오드
LF1. 직류리엑터
Lm1. 인덕턴스
N. 부단자
P. 정단자
Q1. 스위칭소자
Q2. 단락용 스위칭소자
QU. 스위칭소자 　
QV. 스위칭소자
QX. 스위칭소자
QY. 스위칭소자
tarc. 설정시간
Vo. 출력전압
Δi. 순환전류

Claims (4)

  1. 직류원을 구성하는 전압형 강압초퍼부와,
    제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 4개의 스위칭소자로 이루어지는 브리지회로를 가지고, 상기 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 상기 스위칭소자의 동작에 의해 단상의 교류전력으로 변환하는 인버터와,
    상기 인버터의 출력을 교직변환하여, 얻어진 직류를 부하에 공급하는 정류부와,
    상기 전압형 강압초퍼부 및 상기 인버터를 제어하는 제어부
    를 구비하는 전압형 직류전원장치로서,
    상기 전압형 강압초퍼부와 상기 인버터의 사이에, 상기 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 단락용 스위칭소자(Q2)에 의하여 단락하는 단락부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    아크방전이 발생한 시점에서, 상기 인버터의 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자를 오프상태로 하고, 상기 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자(Q1)를 오프상태로 하며, 상기 단락부의 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태로 하여, 상기 전압형 강압초퍼부의 인덕터(LF)와 다이오드(D1), 및 상기 단락부의 상기 단락용 스위칭소자(Q2)에 의하여 순환회로를 형성하고,
    상기 아크방전이 소호한 시점 또는 아크방전이 발생하고 나서 소정의 설정시간이 경과한 시점에서, 상기 인버터의 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자를 온상태로 하고, 상기 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자(Q1)를 온상태로 하며, 상기 단락부의 단락용 스위칭소자(Q2)를 오프상태로 하여, 상기 순환회로에 흐르는 순환전류를 인버터에 공급하는 것
    을 특징으로 하는, 전압형 직류전원장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 전압형 강압초퍼부와 상기 인버터의 사이에, 상기 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 스위칭소자로 단속(斷續)하는 단락회로를 구비하고,
    상기 단락부의 단락 스위칭소자는, 상기 단락회로의 스위칭소자인 것
    을 특징으로 하는 전압형 직류전원장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 단락회로는, 상기 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 접속하는 단락용 스위칭소자(Q2), 상기 인버터의 입력단 사이를 접속하는 평활콘덴서(CF), 및 상기 평활콘덴서(CF)의 정단자 사이 또는 부단자 사이를 접속하는 다이오드(D2)를 구비하여, 승압회로를 구성하는 것
    을 특징으로 하는 전압형 직류전원장치.
  4. 직류원을 구성하는 전압형 강압초퍼부와,
    제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자의 4개의 스위칭소자로 이루어지는 브리지회로를 가지고, 상기 전압형 강압초퍼부의 직류출력을 상기 스위칭소자의 동작에 의해 단상의 교류전력으로 변환하는 인버터와,
    상기 인버터의 출력을 교직변환하여, 얻어진 직류를 부하에 공급하는 정류부와,
    상기 전압형 강압초퍼부와 상기 인버터의 사이에 있어서, 상기 전압형 강압초퍼부의 정단자와 부단자의 사이를 단락 스위칭소자에 의하여 단락하는 단락부와,
    상기 전압형 강압초퍼부 및 상기 인버터를 제어하는 제어부
    를 구비하는 전압형 직류전원장치의 제어방법으로서,
    상기 제어부는,
    아크방전이 발생한 시점에서, 상기 인버터의 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자를 오프상태로 하고, 상기 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자(Q1)를 오프상태로 하며, 상기 단락부의 단락용 스위칭소자(Q2)를 온상태로 하여, 상기 전압형 강압초퍼부의 인덕터(LF)와 다이오드(D1), 및 상기 단락부의 상기 단락용 스위칭소자(Q2)에 의하여 순환회로를 형성하고,
    상기 아크방전이 소호할 때까지의 동안 또는 아크방전이 발생하고 나서 소정의 설정시간이 경과할 때까지의 동안에 있어서, 상기 순환회로를 흐르는 순환전류를 유지하고,
    상기 아크방전이 소호한 시점 또는 아크방전이 발생하고 나서 소정의 설정시간이 경과한 시점에서, 상기 인버터의 제1 스위칭소자∼제4 스위칭소자를 온상태로 하고, 상기 전압형 강압초퍼부의 스위칭소자(Q1)를 온상태로 하며, 상기 단락부의 단락용 스위칭소자(Q2)를 오프상태로 하여, 상기 순환회로에 흐르는 순환전류를 인버터에 공급하는 것
    을 특징으로 하는, 전압형 직류전원장치의 제어방법.
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5943484B2 (ja) * 2013-05-07 2016-07-05 シオン電機株式会社 直流電源使用時に生ずるアーク放電防止システム
JP5729732B2 (ja) * 2013-09-27 2015-06-03 株式会社京三製作所 直流電源装置、直流電源装置の制御方法
JP6332126B2 (ja) * 2015-04-20 2018-05-30 株式会社オートネットワーク技術研究所 車載負荷制御装置及びコンピュータプログラム
JP6947504B2 (ja) * 2016-12-27 2021-10-13 株式会社京三製作所 電源装置、及び電源装置の制御方法
JP6712547B2 (ja) 2016-12-27 2020-06-24 株式会社京三製作所 電源装置、及び電源装置の制御方法
JP6873687B2 (ja) * 2016-12-27 2021-05-19 株式会社京三製作所 電源装置、及び電源装置の制御方法
TWI666969B (zh) * 2017-01-06 2019-07-21 日商東芝照明技術股份有限公司 電源裝置以及具備此電源裝置的照明裝置
JP6708137B2 (ja) * 2017-01-13 2020-06-10 オムロン株式会社 直流開閉器のアーク消去装置
WO2019067451A1 (en) * 2017-09-26 2019-04-04 Advanced Energy Industries, Inc. SYSTEM AND METHOD FOR IGNITION OF PLASMA
TWI691823B (zh) * 2018-02-23 2020-04-21 台達電子工業股份有限公司 電源供應裝置及其控制方法
FR3092713B1 (fr) * 2019-02-11 2021-06-25 Alstom Transp Tech Procédé et système de protection d’un circuit d’alimentation électrique
CN111917287A (zh) * 2019-05-17 2020-11-10 中车大同电力机车有限公司 降压式变换电路及其过压保护装置、驱动方法
KR20210006631A (ko) * 2019-07-09 2021-01-19 엘지전자 주식회사 전력변환장치, 및 이를 구비하는 태양광 모듈
CN116455215A (zh) * 2022-01-07 2023-07-18 重庆美的通用制冷设备有限公司 磁悬浮轴承的供电电路及系统
TWI807977B (zh) * 2022-08-26 2023-07-01 立錡科技股份有限公司 切換式電源轉換器及其控制電路與控制方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003125576A (ja) 2001-10-15 2003-04-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ｄｃ−ｄｃコンバータ
JP2004040962A (ja) 2002-07-05 2004-02-05 Kyosan Electric Mfg Co Ltd プラズマ発生用直流電源装置
JP2010045966A (ja) 2008-08-12 2010-02-25 Asahi Kasei Toko Power Device Corp 正負の出力を備えた単一インダクターバックブーストコンバータ

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4544807A (en) * 1983-06-13 1985-10-01 Sers Gilbert L Fault detector test instrument
DE3427520A1 (de) * 1984-07-26 1986-02-06 Thyssen Industrie Ag, 4300 Essen Schaltungsanordnung zur speisung eines verbraucherzweipols
US4734061A (en) * 1986-12-31 1988-03-29 Bell Communications Research, Inc. Telecommunications terminal block
JPH04128086U (ja) * 1991-01-21 1992-11-20 株式会社東芝 高効率電源回路
DE4216810C2 (de) * 1991-05-31 1999-09-16 Fuji Electric Co Ltd Steuerschaltung für einen Leitfähigkeitsänderungs-MISFET
US5418707A (en) * 1992-04-13 1995-05-23 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High voltage dc-dc converter with dynamic voltage regulation and decoupling during load-generated arcs
ATE506463T1 (de) 1997-02-20 2011-05-15 Shibaura Mechatronics Corp Stromversorgungsvorrichtung zum sputtern und sputtervorrichtung, die diese verwendet
JP2835322B2 (ja) * 1997-02-20 1998-12-14 芝浦メカトロニクス株式会社 スパッタリング用電源装置および該装置を用いたスパッタリング装置
CN2286440Y (zh) * 1997-04-08 1998-07-22 国海峰 一种逆变三用焊机的控制电路
CN2286441Y (zh) * 1997-04-15 1998-07-22 四平市焊接器材厂 单相半自动气体保护弧焊机
DE10024113B4 (de) * 2000-05-18 2009-07-23 Hohner Maschinenbau Gmbh Klammerformvorrichtung
JP2001335928A (ja) * 2000-05-29 2001-12-07 Origin Electric Co Ltd スパッタリング装置
US6580593B2 (en) * 2001-03-14 2003-06-17 Power Integrations, Inc. Method and apparatus for fault condition protection of a switched mode power supply
US6808607B2 (en) * 2002-09-25 2004-10-26 Advanced Energy Industries, Inc. High peak power plasma pulsed supply with arc handling
US7154277B2 (en) * 2003-08-29 2006-12-26 Abb Inc. Method and apparatus for detecting faults in AC to AC, or DC to AC power conversion equipments when the equipment is in a high impedance mode
JP2005149761A (ja) 2003-11-11 2005-06-09 Sony Corp プラズマ発生用の電源装置
JP4526879B2 (ja) * 2004-06-18 2010-08-18 四変テック株式会社 直流電源装置
US8269141B2 (en) * 2004-07-13 2012-09-18 Lincoln Global, Inc. Power source for electric arc welding
US7262606B2 (en) 2005-03-26 2007-08-28 Huettinger Elektronik Gmbh + Co. Kg Method of arc detection
PL1705687T3 (pl) * 2005-03-26 2007-09-28 Huettinger Elektronik Gmbh Co Kg Sposób wykrywania łuku
JP5000919B2 (ja) * 2006-04-10 2012-08-15 四変テック株式会社 直流電源装置
GB2447873B (en) * 2007-03-30 2009-07-29 Cambridge Semiconductor Ltd Forward power converter controllers
CN100493802C (zh) * 2007-07-27 2009-06-03 北京工业大学 一种逆变弧焊电源控制系统
JP5124345B2 (ja) * 2008-05-26 2013-01-23 株式会社アルバック バイポーラパルス電源及びこのバイポーラパルス電源を複数台並列接続してなる電源装置
US8670255B2 (en) * 2008-09-12 2014-03-11 Infineon Technologies Austria Ag Utilization of a multifunctional pin combining voltage sensing and zero current detection to control a switched-mode power converter
US9379643B2 (en) * 2010-12-23 2016-06-28 The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate Electrosurgical generator controller for regulation of electrosurgical generator output power
DE12884309T1 (de) * 2012-09-05 2015-09-17 Kyosan Electric Mfg. Co., Ltd. Gleichstromversorgungsvorrichtung und steuerungsverfahren für die gleichstromversorgungsvorrichtung
US8937824B2 (en) * 2013-01-28 2015-01-20 Eaton Corporation Photovoltaic system and method of controlling same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003125576A (ja) 2001-10-15 2003-04-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ｄｃ−ｄｃコンバータ
JP2004040962A (ja) 2002-07-05 2004-02-05 Kyosan Electric Mfg Co Ltd プラズマ発生用直流電源装置
JP2010045966A (ja) 2008-08-12 2010-02-25 Asahi Kasei Toko Power Device Corp 正負の出力を備えた単一インダクターバックブーストコンバータ

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Publication number Publication date
CN105075087B (zh) 2016-08-17
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JP5679241B1 (ja) 2015-03-04
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TWI511621B (zh) 2015-12-01
TW201513736A (zh) 2015-04-01
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US9621064B2 (en) 2017-04-11
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