KR101574436B1 - 챔버용 잔류가스 배기후드장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 공정 챔버에서 생산되는 제품의 교체를 위하여 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 제거하는 공정 챔버용 잔류 유독가스 처리장치에 관한 것으로, 하부에 다수의 케스터가 구비되고, 상부의 일측(좌측)에는 수직대가 세워져 있는 본체와; 상기 수직대의 상부에 이동 연결수단을 통해 좌우 방향과 상하 방향으로 이동이 가능하게 장착되고, 하부의 둘레가 상부가 개방되는 공정 챔버의 상부 둘레에 밀착되며, 둘레에는 역류방지 체크밸브가 구비된 다수의 외기 투입관이 공정 챔버의 내부와 연통되게 구비되고, 중앙에는 하나 이상의 배기관이 공정 챔버의 내부와 연통되게 구비되는 챔버 상부커버와; 상기 챔버 상부커버의 배기관과 공지된 가스 정화장치의 가스 인입관을 상호 연결하는 배기 연결수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

챔버용 잔류가스 배기후드장치{Device for chamber residual gas exhaust hood}

본 발명은 공정 챔버용 잔류 유독가스 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 챔버에서 생산되는 제품의 교체를 위하여 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 제거하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 및 FPD(Flat Panal Display)를 생산하기 위해서는 외부와 차단된 공정 챔버가 사용된다. 그리고, 상기 공정 챔버에는 반응가스로 각종 혼합가스들(유독성, 자연발화성, 가연성, 부식성을 가지는 가스)이 정량적으로 투입되는데, 현재의 기술로는 이중 일부만 사용되고, 50%이상은 미반응 물질상태로 배출된다.

따라서, 반도체 및 FPD를 생산하기 위한 공정 챔버의 내부에는 투입된 반응가스의 반응물질이나, 또는 투입된 반응가스의 미반응 물질로 인하여 여러 종류의 유독가스가 생성되며, 이러한 유독가스는 별도의 공기정화장치를 거쳐 정화 처리 후 대기중으로 방출하게 되는데, 이러한 생산라인 상에는 배기덕트를 포함한 유독가스 정화처리장치가 필수적으로 설치된다.

이에, 종래에 알려진 유독가스 정화 처리장치는 공정 챔버의 상부에 분리 가능하게 구비되고 배기관을 포함하는 배기후드와, 상기 배기관에 연결되어 공정 챔버 내부의 유독가스를 유독가스 정화처리장치로 강제 배출시키는 배기덕트가 설치되는데, 상기 유독가스 정화처리장치는 크게 진공펌프와 집진기와 가스처리장치등 세가지 구성요소로 이루어져 있으며, 상기 진공펌프는 공정 챔버의 유독가스를 집진기와 가스처리장치로 배출시키는 작용을 하며, 상기 집진기는 진공펌프를 통해 배기덕트를 따라 이동되는 유독가스는 이동 중에 온도변화로 인하여 발생되는 파우더를 걸러주는 작용을 하고, 상기 가스처리장치는 크게 습식과 건식으로 구분되며, 사용되는 유독가스에 따라 선택적으로 사용하여 기체상태의 유독가스를 정화하는 작용을 한다.

따라서, 종래에는 공정 챔버에 반응가스를 투입하여 제품을 생산하고, 공정 챔버의 내부에 남아 있는 반응가스를 배기시키기 위해 크린가스를 투입하면서 반응가스 즉, 유독가스를 배기시켜 가스정화 처리장치를 통해 정화시켜 대기 중으로 방출시키고 있다.

그리고 종래의 공정 챔버를 통해 제품을 생산하는 과정에서 공정 챔버의 생산 제품을 교체할 경우에는, 먼저, 공정 챔버의 반응가스 공급관에서 반응가스의 공급을 중단한다. 다음, 상기 반응가스 공급관을 통해 크린가스(질소가스)를 투입하면서 상기 진공펌프와 유독가스 정화 처리장치를 작동시켜 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 배기시켜 정화한다. 그런 다음, 공정 챔버에서 생산되는 제품을 교체하는 것이다.

그런데, 상기와 같이 공정 챔버에서 생산되는 제품을 교체할 경우에는 상기 진공펌프와 유독가스 정화 처리장치의 작동을 통해 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 배기하여 정화하는 과정이 진행된다. 그러나, 상기 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 배기하는 과정에서는 크린가스가 공정 챔버 내부로 투입하며 반응가스인 유독가스를 배기시키게 되나, 충분히 배기를 시켰다 하더라도 반응가스인 유독가스가 잔류하게 되는 현상이 발생된다.

그러므로 상기와 같이 공정 챔버의 생산 제품을 교체할 경우에 공정 챔버에 잔류 가스가 남게 됨으로써, 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응 가스와 특성이 다른 잔류 가스가 혼합되어 제품의 불량을 유발하는 문제점을 가지고 있고, 심각하게는 화학 반응에 의한 화재를 포함한 안전사고를 유발하는 문제점도 가지고 있다.

특히, 반응가스의 성질이 완전히 다른 유독가스를 투입할 경우에는 공정 챔버를 세밀하게 수입을 하고 성질이 다른 반응가스를 투입하게 되는데, 이때, 비록 극소량의 잔류가스도 남아있지 않게 하게 위하여 공정챔버의 상부(뚜껑)를 개방하여 배기후드를 통해 배기시키게 되는데, 상기 종래의 배기후드는 개방된 공정 챔버의 상부를 완전히 밀폐시키지 않은 상태를 이루고 있어 챔버 내의 잔류가스가 외부(생산라인이 설치된 실내공간)로 비산되어 불특정 다수의 작업자가 노출되는 문제점이 발생되고 있다.

대한민국 특허등록 제0461601호 "반도체 소자 공정장비의 공정챔버에 사용되는 배기장치"(2004.12.03.)

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위한 안출된 것으로,

본 발명의 목적은, 공정 챔버에서 생산 제품을 교체하기에 앞서, 공정 챔버 내부의 상부 둘레에서 사방으로 외기를 투입시키면서 잔류 유독가스를 배기시킴으로써, 공정 챔버에 유독가스가 잔류되는 것을 방지할 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은, 챔버 상부커버를 좌우 방향 및 상하 방향으로 이동되게 함으로써, 공정 챔버의 종류나 크기에 관계없이 공정 챔버의 개방된 부분을 차단시키면서 공정 챔버내의 잔류된 유독가스를 처리할 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 작업자의 간단한 조작만으로 공정 챔버의 상부에 챔버 상부커버를 올려놓을 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 제1,2 자바라관을 포함하는 배기 연결수단을 제공함으로써, 챔버 상부커버의 위치가 변화되더라도 배기의 역할을 하는 배기 연결수단이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 공정 챔버 내로 청소 작업자 들어가지 않고도 흡입호스를 통해, 공정 챔버 내부의 벽이나 하부에 잔류되는 미세입자(파우더)를 용이하게 청소할 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기후드장치"은, 하부에 다수의 케스터가 구비되고, 상부의 일측(좌측)에는 수직대가 세워져 있는 본체와; 상기 수직대의 상부에 이동 연결수단을 통해 좌우 방향과 상하 방향으로 이동이 가능하게 장착되고, 하부의 둘레가 상부가 개방되는 공정 챔버의 상부 둘레에 밀착되며, 둘레에는 역류방지 체크밸브가 구비된 다수의 외기 투입관이 공정 챔버의 내부와 연통되게 구비되고, 중앙에는 하나 이상의 배기관이 공정 챔버의 내부와 연통되게 구비되는 챔버 상부커버와; 상기 챔버 상부커버의 배기관과 공지된 가스 정화장치의 가스 인입관을 상호 연결하는 배기 연결수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기후드장치"의 상기 이동 연결수단은, 상기 수직대의 상부의 전,후방에서 타측으로 돌출되게 형성되는 전,후방 가이드대와, 상기 전,후방 가이드대의 사이에 전,후방 가이드대를 따라 좌우 이동이 가능하게 구비되는 좌우 이동대와, 상기 좌우 이동대의 하부와 챔버 상부커버의 상부 사이에 구비되어 상기 챔버 상부커버를 승강시키는 커버 승강수단,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기후드장치"의 상기 배기 연결수단은, 상기 좌우 이동대의 내부에 형성되는 배기통로와, 상기 본체에 고정되게 구비되고 하부에는 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 연결관으로 연결되는 배기홀이 형성되는 배기덕트와, 상기 배기통로와 챔버 상부커버의 배기관에 연결되고 상하 방향으로 신축되는 제1 자바라관과, 상기 배기통로와 배기덕트에 연통되게 연결되고 좌우 방향으로 신축되는 제2 자바라관,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기후드장치"의 상기 커버 승강수단은, 상기 좌우 이동대의 하부에 좌우 방향으로 길게 형성되고 전,후방의 내측에는 가이드홈이 형성된 상부 사각골조와, 상기 챔버 상부커버의 상부에 좌우 방향으로 길게 형성되고 전,후방의 내측에는 가이드홈이 형성된 하부 사각골조와, 상기 상,하부 사각골조의 타측에 종방향으로 관통되는 제1 힌지축과, 상기 상,하부 사각골조의 내부 일측에 종방향으로 구비되어 각각의 전,후방에는 가이드홈을 따라 이동되는 롤러가 구비되는 제2 힌지축과, 상기 상부의 제1,2 힌지축과 하부의 제2,1 힌지축을 상호 엑스자형으로 연결시키는 하나 이상의 엑스자형 링크와, 상기 상부 사각골조의 하부 타측에 장착되고 수평 탭홀을 가지는 고정브래킷과, 상기 수평 탭홀에 관통 체결되고 일측 단부가 상부에 위치되는 상기 제2 힌지축의 하부에 회전 가능하게 연결 고정되며 타측 단부에는 핸들이 구비되는 회전 나사축,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기후드장치"의 상기 본체의 내부에 구비되어 별도의 흡입호스를 통해 공정 챔버내의 미세 입자를 흡입하여 상기 가스 정화장치로 배출시키는 입자 흡입수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기후드장치"의 상기 입자 흡입수단은, 상기 본체의 내부에 수직으로 구비되고 하부에는 하부가 막혀 있고 둘레에 배출홀이 형성된 하부 회전관이 회전 가능하게 구비되며 상부에는 하부 회전관의 상부와 공지된 회전식 연결장치를 통해 연통되게 연결되고 상부가 막혀 있으며 둘레에 흡입홀이 형성된 상부 회전관이 회전 가능하게 구비되는 수직관부와, 상기 하부 회전관의 상부에 하부 회전관과 연동 회전되는 중간 회전판과, 상기 상부 회전관의 상부에 상부 회전관과 연동 회전되는 상부 회전판과, 상기 중간 회전판과 상부 회전판의 사이인 상기 상부 회전관에 풀어짐이 가능하게 권취되고 일 단부는 상기 흡입홀과 연결되는 흡입호스와, 상기 중간 회전판의 하부인 하부 회전관에 풀어짐이 가능하게 권취되고 일 단부는 상기 배출홀에 연결되며 타 단부는 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 연결되는 배기호스,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같은 본 발명은, 공정 챔버에서 생산 제품을 교체하기에 앞서, 공정 챔버의 개방된 상부를 밀폐시기면서 공정 챔버의 내부로 상부 둘레에서 사방으로 외기를 투입시키며 잔류 유독가스를 배기시킴에 따라, 공정 챔버의 내부에 잔류되어 있는 유독가스를 원활히 배기 시킬 수 있으며, 특히, 잔류된 유독가스가 외부(생산라인이 설치된 실내공간)로 비산되지 않아 실내공간을 오염시키지 않는 효과와, 잔류된 유독가스를 외기를 투입하면서 완벽하게 배기시킴으로써 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응 가스와 잔류 가스의 혼합으로 발생되는 제품의 불량을 사전에 예방하는 효과가 있고, 아울러, 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응가스와 잔류 가스의 화학 반응으로 인한 화재도 예방할 수 있는 효과도 있다.

또한 본 발명은, 챔버 상부커버를 좌우 방향 및 상하 방향으로 이동되게 함에 따라, 공정 챔버의 종류나 크기에 관계없이 공정 챔버에 잔류된 유독가스를 처리할 수 있도록 함으로써, 여러 종류의 공정 챔버에 호환적으로 사용이 가능한 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 작업자의 간단한 조작만으로 공정 챔버의 상부에 챔버 상부커버를 올려놓을 수 있게 함으로써, 사용상의 편리성을 제공하는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 제1,2 자바라관을 포함하는 배기 연결수단을 제공함에 따라, 챔버 상부커버의 위치가 변화되더라도 배기의 역할을 하는 배기 연결수단이 손상되는 것을 방지하는 내구성이 향상되는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 공정 챔버 내로 청소 작업자 들어가지 않고도 흡입호스를 통해, 공정 챔버 내부의 벽이나 하부에 잔류되는 미세입자(파우더)를 용이하게 청소할 수 있게 함으로써, 공정 챔버내의 벽이나 하부에 잔류되는 미세입자를 좀 더 안전하면서 효율적으로 제거할 수 있는 효과도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 나타낸 것으로,
도 1a는 사시도이고,
도 1b는 도 1a의 A-A선 개략 단면도.
도 2는 본 발명을 구성하는 이동 연결수단을 나타낸 확대 사시도.
도 3은 본 발명을 구성하는 커버 승강수단과 챔버 상부커버를 나타낸 것으로,
도 3a는 개략 사시도이고,
도 3b는 하부에서 본 사시도이며,
도 3c는 커버 승강수단의 정면 개략도이고,
도 3d는 도 3a의 B-B선 단면도이다.
도 4는 본 발명을 구성하는 배기 연결수단을 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명을 구성하는 입자 흡입수단을 나타낸 것으로,
도 5a는 개략 사시도이고,
도 5b는 도 5a의 C-C선 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 작동 상태를 나타낸 것으로,
도 6a는 공정 챔버에 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 장착하기 전 상태를 나타낸 예시도이고,
도 6b는 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 배기후드를 공정 챔버의 상부로 이동시킨 상태를 나타낸 예시도 이며,
도 6c는 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 배기후드를 공정 챔버의 상부에 올려놓은 상태를 나타낸 예시도이고,
도 6d는 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 배기후드가 공정 챔버의 상부에 장착된 상태에서 내부를 청소하는 상태를 나타낸 예시도 이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 첨부 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시예에 제한되지 않음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 나타낸 것으로, 도 1a는 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 A-A선 개략 단면도이며, 도 2는 본 발명을 구성하는 이동 연결수단을 나타낸 확대 사시도이고, 도 3은 본 발명을 구성하는 커버 승강수단과 챔버 상부커버를 나타낸 것으로, 도 3a는 개략 사시도이고, 도 3b는 하부에서 본 사시도이며, 도 3c는 커버 승강수단의 정면 개략도이고, 도 3d는 도 3a의 B-B선 단면도이다. 또한, 도 4는 본 발명을 구성하는 배기 연결수단을 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명을 구성하는 입자 흡입수단을 나타낸 것으로, 도 5a는 개략 사시도이고, 도 5b는 도 5a의 C-C선 단면도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 잔류 유독가스 처리장치는 공정 챔버(100) 내부의 생산 제품의 교체를 위하여 공정 챔버(100)에 별도로 장착되는 것으로, 공정 챔버(100)에서 생산 제품을 교체하기에 앞서 공정 챔버(100) 내부에 잔류된 유독가스를 공장에 기 설치된 가스 정화장치(미도시됨)로 배기시켜 잔류된 유독가스를 제거하는 것이다.

즉 본 발명에 따른 잔류 유독가스 처리장치는 공정 챔버(100)의 상부에 장착되어 있는 배기후드(미도시됨)를 분해한 다음에, 공정 챔버(100)의 상부에 연결 장착시켜 사용하는 것으로, 그 사용 상태의 구체적인 설명은 후술하기로 한다.

따라서, 본 발명에 따른 잔류 유독가스 처리장치는 이동이 가능한 본체(1)와, 상기 본체(1)의 상부에 구비되어 상부가 개방된 공정 챔버(100)의 상부를 덮어 커버하는 챔버 상부커버(3)와, 상기 챔버 상부커버(3)의 배기관(32)과 공지된 가스 정화장치의 가스 인입관(미도시됨)을 상호 연결하는 배기 연결수단(4)을 포함한다.

상기 본체(1)는 다수의 골조가 연결되어 직육면체의 형상으로 구성되는 것으로, 하부에는 본체(1)의 이동을 가능하게 할 수 있도록 다수의 케스터(11)가 구비되어 있는 것이다. 그리고, 본체(1)의 상부의 일측(이하, 첨부된 도면상에서 좌측을"일측"이라고 하고, 반대편인 우측을 "타측"이라 한다.)에는 상기 챔버 상부커버(3)를 설치할 수 있도록 수직대(12)가 세워지게 설치되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명에 따른 공정 챔버에 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 구성을 좀 더 구체적으로 다음과 같다.

먼저, 본 발명을 구성하는 상기 챔버 상부커버(3)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 수직대(12)의 상부에 이동 연결수단(2)을 통해 좌우 방향과 상하 방향으로 이동이 가능하게 장착됨에 따라, 상부가 개방된 공정 챔버(100)의 상부를 밀봉되게 덮어 공정 챔버(100)의 내부를 밀봉되게 커버하면서 공정 챔버(100) 내부의 잔류 유독가스를 배기시키는 역할을 한다.

이와 같은 역할을 하는 상기 챔버 상부커버(3)는 잔류 유독가스를 배기 효율을 향상시킬 수 있도록, 하부의 둘레가 상부가 개방되는 공정 챔버(100)의 상부 둘레에 밀착되는 것으로, 둘레에는 역류방지 체크밸브(311)가 구비된 다수의 외기 투입관(31)이 공정 챔버(100)의 내부와 연통되게 구비되는 것이 가장 바람직하고, 중앙에는 하나 이상의 배기관(32)이 공정 챔버(100)의 내부와 연통되게 구비되는 가장 바람직하다.

그리고 상기 외기 투입관(31)은 외부에서 이물질이 공정 챔버(100)의 내부로 유입되는 것을 방할 수 있도록, 양단이 개방된 "∩"형상의 관으로 형성되는 것이 바람직하다. 특히, 상기 외기 투입관(31)의 내부에 구비된 역류방지 체크밸브(311)는 외부의 공기를 공정 챔버(100)의 내부로 유입되게만 하고, 반대로 공정 챔버(100) 내부의 공기가 외부로 역류되는 것을 방지하는 작동을 수행하는데, 이러한 역류방지 체크밸브(311)는 이미 공지된 것으로 그 구체적인 설명은 생략한다. 아울러, 상기 챔버 상부커버(3)의 하부 둘레에는 상기 공정 챔버(100)의 상부 둘레에 밀봉되게 밀착될 수 있도록 둘레 밀봉패킹이 더 구비될 수도 있는 것이다.

아울러 상기 이동 연결수단(2)은 챔버 상부커버(3)를 좌우 방향과 상하 방향으로 이동을 가능하게 하는 것으로, 상기 수직대(12)의 상부의 전,후방에서 타측으로 돌출되게 형성되는 전,후방 가이드대(21)(22)와, 상기 전,후방 가이드대(21)(22)의 사이에 전,후방 가이드대(21)(22)를 따라 좌우 이동이 가능하게 구비되는 좌우 이동대(23)와, 상기 좌우 이동대(23)의 하부와 챔버 상부커버(3)의 상부 사이에 구비되어 상기 챔버 상부커버(3)를 승강시키는 커버 승강수단(24)으로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 커버 승강수단(24)은 핸들(249)의 간단한 조작만으로 공정 챔버(100)의 상부에 챔버 상부커버(3)를 승강시킬 수 있도록, 상기 좌우 이동대(23)의 하부에 좌우 방향으로 길게 형성되고 전,후방의 내측에는 가이드홈(G)이 형성된 상부 사각골조(241)와, 상기 챔버 상부커버(3)의 상부에 좌우 방향으로 길게 형성되고 전,후방의 내측에는 가이드홈(G)이 형성된 하부 사각골조(242)와, 상기 상,하부 사각골조(241)(242)의 타측에 종방향으로 관통되는 제1 힌지축(243)과, 상기 상,하부 사각골조(241)(242)의 내부 일측에 종방향으로 구비되어 각각의 전,후방에는 가이드홈(G)을 따라 이동되는 롤러(245)가 구비되는 제2 힌지축(244)과, 상기 상부의 제1,2 힌지축(243)(244)과 하부의 제2,1 힌지축(244)(243)을 상호 엑스자형으로 연결시키는 하나 이상의 엑스자형 링크(246)와, 상기 상부 사각골조(241)의 하부 타측에 장착되고 수평 탭홀을 가지는 고정브래킷(247)과, 상기 수평 탭홀에 관통 체결되고 일측 단부가 상부에 위치되는 상기 제2 힌지축(244)의 하부에 회전 가능하게 연결 고정되며 타측 단부에는 핸들(249)이 구비되는 회전 나사축(248)으로 구성되는 것이 가장 바람직하다.

따라서 상기 커버 승강수단(24)는 핸들(249)을 정방향 또는 역방향으로 회전시키게 되면, 상기 회전 나사축(248)이 회전됨에 따라 엑스자형 링크(246)의 상하의 높이가 가변됨으로써, 상기 챔버 상부커버(3)의 상하 위치를 변경시킬 수 있는 것이다.

또한, 본 발명을 구성하는 상기 배기 연결수단(4)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버 상부커버(3)의 배기관(32)과 공지된 가스 정화장치의 가스 인입관을 상호 연결하는 역할을 한다.

이와 같은 역할을 하는 상기 배기 연결수단(4)은 상기 좌우 이동대(23)의 내부에 형성되는 배기통로(41)와, 상기 본체(1)에 고정되게 구비되고 하부에는 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 연결관으로 연결되는 배기홀(421)이 형성되는 배기덕트(42)와, 상기 배기통로(41)와 챔버 상부커버(3)의 배기관(32)에 연결되고 상하 방향으로 신축되는 제1 자바라관(43)과, 상기 배기통로(41)와 배기덕트(42)에 연통되게 연결되고 좌우 방향으로 신축되는 제2 자바라관(44)을 포함한다. 그리고 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 배기홀(421)을 연결하는 연결관은 양 단부가 공지된 밀봉 커넥터를 통해, 상기 가스 인입관과 배기홀(421)에 원터치식으로 연결되는 것이 가장 바람직하다.

따라서 본 발명은 제1,2 자바라관(43)(44)을 포함하는 배기 연결수단(4)을 제공함으로써, 챔버 상부커버(3)의 위치가 변화되더라도 배기의 역할을 하는 배기 연결수단(4)이 손상되는 것이 방지되는 장점이 있다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 공정 챔버에 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 작동관계를 설명하면 다음과 같다.

도 6은 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 작동 상태를 나타낸 것으로, 도 6a는 공정 챔버에 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 장착하기 전 상태를 나타낸 예시도이고, 도 6b는 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 배기후드를 공정 챔버의 상부로 이동시킨 상태를 나타낸 예시도 이며, 도 6c는 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 배기후드를 공정 챔버의 상부에 올려놓은 상태를 나타낸 예시도이고, 도 6d는 챔버용 잔류가스 배기후드장치의 배기후드가 공정 챔버의 상부에 장착된 상태에서 내부를 청소하는 상태를 나타낸 예시도 이다.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 잔류 유독가스 처리장치를 통해 공정 챔버(100) 내부의 잔류 유독가스를 처리할 경우에는, 먼저, 공정 챔버(100)의 상부에 장착되어 있는 배기덕트(미도시됨)를 공정 챔버(100)로부터 분리한다.

다음 공정 챔버(100)의 주변에 잔류 유독가스 처리장치를 위치시킨 후, 배기 연결수단(4)을 구성하는 배기덕트(42)의 배기홀(421)과 가스 정화장치의 가스 인입관을 연결관으로 연결한다.

다음 상기 공정 챔버(100)의 주변에 잔류 유독가스 처리장치를 위치시킨 상태에서, 작업자가 챔버 상부커버(3)을 잡고 좌우 위치를 조정하는 과정을 통해, 챔버 상부커버(3)를 공정 챔버(100)의 상부에 위치시킨다.

다음 작업자가 커버 승강수단(24)을 구성하는 핸들(249)을 조작하여 챔버 상부커버(3)를 하강시키는 과정을 통해, 챔버 상부커버(3)의 하부 둘레를 공정 챔버(100)의 상부 둘레에 밀봉되게 밀착시킨다.

다음 상기 가스 정화장치에 구비된 공지된 진공펌프(미도시됨)를 작동시키게 되면, 상기 챔버 상부커버(3)의 중앙에 구비된 배기관(32)을 통해 공정 챔버(100) 내부의 유독가스가 가스 정화장치로 배기되며, 상기와 같이 공정 챔버의 상부가 밀봉된 상태이므로 공정 챔버 내의 잔류가스가 외부로 비산되지 않게 된다.

그리고 이와 같이, 상기 배기관(32)에서 유독가스가 배기되는 과정에서는 챔버 상부커버(3)의 둘레에 구비되는 다수의 외기 투입관(31)을 통해, 공정 챔버(100) 내부의 상부 둘레의 사방으로 외기가 투입됨으로써, 공정 챔버(100)의 내부로 투입되는 외기가 공기 챔버(100)의 내부에서 골고루 확산된다. 따라서, 상기 공정 챔버(100)의 내부로 투입되는 외기가 공기 챔버(100)의 내부에서 골고루 확산 됨에 따라, 공정 챔버(100)의 내부에 잔류된 유독 가스도 공정 챔버(100)의 내부에서 사방으로 확산됨으로써, 거의 모두의 유독가스가 상기 배기관(32)을 통해 가스 정화장치로 배기되어 정화될 수 있는 것이다.

따라서, 본 발명은 공정 챔버(100)에서 생산 제품을 교체하기에 앞서서, 공정 챔버(100)의 상부 둘레의 사방으로 외기를 투입시키면서 공정 챔버(100) 내부의 유독가스를 배기시킴에 따라 공정 챔버(100)에 유독가스가 잔류되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 본체(1)를 이동되게 하면서 챔버 상부커버(3)를 좌우 방향 및 상하 방향으로 이동되게 함에 따라, 공정 챔버(100)의 종류나 크기에 관계없이 공정 챔버(100)의 종류나 크기에 관계없이 공정 챔버(100)에 잔류된 유독가스를 처리할 수 있는 장점도 있는 것이다.

한편, 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치는 도 1,2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 본체(1)의 내부에 구비되어 별도의 흡입호스(54)를 통해 공정 챔버(100)내의 미세 입자를 흡입하여 상기 가스 정화장치로 배출시키는 입자 흡입수단(5)을 더 포함할 수도 있다.

그리고 상기 입자 흡입수단(5)은 공정 챔버(100) 내부의 벽이나 하부에 잔류되는 파우더 등의 미세입자를 용이하게 흡입하여 가스 정화장치로 이송할 수 있도록, 상기 본체(1)의 내부에 수직으로 구비되고 하부에는 하부가 막혀 있고 둘레에 배출홀(512)이 형성된 하부 회전관(511)이 회전 가능하게 구비되며 상부에는 하부 회전관(511)의 상부와 공지된 회전식 연결장치(515)를 통해 연통되게 연결되고 상부가 막혀 있으며 둘레에 흡입홀(514)이 형성된 상부 회전관(513)이 회전 가능하게 구비되는 수직관부(51)을 포함한다.

아울러 상기 입자 흡입수단(5)은 상기 하부 회전관(511)의 상부에 하부 회전관(511)과 연동 회전되는 중간 회전판(52)과, 상기 상부 회전관(513)의 상부에 상부 회전관(513)과 연동 회전되는 상부 회전판(53)과, 상기 중간 회전판(52)과 상부 회전판(53)의 사이인 상기 상부 회전관(512)에 풀어짐이 가능하게 권취되고 일 단부는 상기 흡입홀(514)과 연결되는 흡입호스(54)와, 상기 중간 회전판(52)의 하부인 하부 회전관(511)에 풀어짐이 가능하게 권취되고 일 단부는 상기 배출홀(512)에 연결되며 타 단부는 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 연결되는 배기호스(55)로 구성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 배기호스(55)의 타 단부는 가스 정화장치의 가스 인입관에 공지된 밀봉 커넥터를 통해 원터치식으로 연결되는 것이 가장 바람직하다. 그리고 상기 상부 회전판(53)은 정역 회전을 통해 흡입호스(54)를 감거나 푸는데 사용하는 것이고, 상기 중간 회전판(52)은 정역 회전을 통해 배기호스(55)를 감거나 푸는데 사용하는 것이다.

따라서, 상기 흡입호스(54)를 사용하여 공정 챔버(100) 내의 벽이나 바닥에 잔류된 파우더 등의 미세 입자를 흡입하여 상기 가스 정화장치로 배출시킬 경우에는, 전술한 과정을 통해 상기 공정 챔버(100)의 내부에 유독 가스를 제거한 상태에서 상기 챔버 상부커버(3)를 분리 한 다음에 진행하는 것이다.

즉, 상기 흡입호스(54)를 사용하여 공정 챔버(100) 내의 벽이나 바닥에 잔류된 파우더 등의 미세 입자를 흡입하여 상기 가스 정화장치로 배출시킬 경우에는, 먼저 공정 챔버(100)의 내부에 유독 가스를 제거한 상태에서 공정 챔버(100)의 상부를 덮는 챔버 상부커버(3)를 분리한다.

다음 상기 가스 정화장치에 구비된 공지된 진공펌프(미도시됨)를 작동시킨 상태에서 상기 흡입호스(54)를 공정 챔버(100)의 내부로 투입함으로써, 공정 챔버(100) 내부의 벽이나 바닥에 잔류된 파우더 등의 미세 입자를 흡입하여 상기 가스 정화장치로 배출시켜 처리할 수 있는 것이다.

그러므로 본 발명은 공정 챔버(100)의 내부로 청소 작업자 들어가지 않고도 상기 흡입호스(54)를 통해, 공정 챔버(100) 내부의 벽이나 하부에 잔류되는 미세입자를 좀 더 안전하면서 효율적으로 제거할 수 있는 장점도 있는 것이다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함을 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.

1 : 본체
11 : 케스터
12 : 수직대
2 : 이동 연결수단
21 : 전방 가이드대
22 : 후방 가이드대
23 : 좌우 이동대
24 : 커버 승강수단
241 : 상부 사각골조, 242 : 하부 사각골조,
G : 가이드홈, 243 : 제1 힌지축, 244 : 제2 힌지축,
245 : 롤러, 246 : 엑스자형 링크, 247 : 고정브래킷,
248 : 회전 나사축, 249 : 핸들
3 : 챔버 상부커버
31 : 외기 투입관
311 : 역류방지 체크밸브
32 : 배기관
4 : 배기 연결수단
41 : 배기통로
42 : 배기덕트
421 : 배기홀
43 : 제1 자바라관
44 : 제2 자바라관
5 : 입자 흡입수단
51 : 수직관부
511 : 하부 회전관, 512 : 배출홀,
513 : 상부 회전관, 514 : 흡입홀,
515 : 회전식 연결장치
52 : 중간 회전판
53 : 상부 회전판
54 : 흡입호스
55 : 배기호스
100 : 공정챔버

Claims (6)

1. 하부에 다수의 케스터(11)가 구비되고, 상부의 일측에는 수직대(12)가 세워져 있는 본체(1)와;
   상기 수직대(12)의 상부에 이동 연결수단(2)을 통해 좌우 방향과 상하 방향으로 이동이 가능하게 장착되고, 하부의 둘레가 상부가 개방되는 공정 챔버(100)의 상부 둘레에 밀착되며, 둘레에는 역류방지 체크밸브(311)가 구비된 다수의 외기 투입관(31)이 공정 챔버(100)의 내부와 연통되게 구비되고, 중앙에는 하나 이상의 배기관(32)이 공정 챔버(100)의 내부와 연통되게 구비되는 챔버 상부커버(3)와;
   상기 챔버 상부커버(3)의 배기관(32)과 공지된 가스 정화장치의 가스 인입관을 상호 연결하는 배기 연결수단(4);
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 이동 연결수단(2)은,
   상기 수직대(12)의 상부의 전,후방에서 타측으로 돌출되게 형성되는 전,후방 가이드대(21)(22)와,
   상기 전,후방 가이드대(21)(22)의 사이에 전,후방 가이드대(21)(22)를 따라 좌우 이동이 가능하게 구비되는 좌우 이동대(23)와,
   상기 좌우 이동대(23)의 하부와 챔버 상부커버(3)의 상부 사이에 구비되어 상기 챔버 상부커버(3)를 승강시키는 커버 승강수단(24),
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 배기 연결수단(4)은,
   상기 좌우 이동대(23)의 내부에 형성되는 배기통로(41)와,
   상기 본체(1)에 고정되게 구비되고 하부에는 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 연결관으로 연결되는 배기홀(421)이 형성되는 배기덕트(42)와,
   상기 배기통로(41)와 챔버 상부커버(3)의 배기관(32)에 연결되고 상하 방향으로 신축되는 제1 자바라관(43)과,
   상기 배기통로(41)와 배기덕트(42)에 연통되게 연결되고 좌우 방향으로 신축되는 제2 자바라관(44),
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치.
   
4. 제2항에 있어서,
   상기 커버 승강수단(24)은,
   상기 좌우 이동대(23)의 하부에 좌우 방향으로 길게 형성되고 전,후방의 내측에는 가이드홈(G)이 형성된 상부 사각골조(241)와,
   상기 챔버 상부커버(3)의 상부에 좌우 방향으로 길게 형성되고 전,후방의 내측에는 가이드홈(G)이 형성된 하부 사각골조(242)와,
   상기 상,하부 사각골조(241)(242)의 타측에 종방향으로 관통되는 제1 힌지축(243)과,
   상기 상,하부 사각골조(241)(242)의 내부 일측에 종방향으로 구비되어 각각의 전,후방에는 가이드홈(G)을 따라 이동되는 롤러(245)가 구비되는 제2 힌지축(244)과,
   상기 상부의 제1,2 힌지축(243)(244)과 하부의 제2,1 힌지축(244)(243)을 상호 엑스자형으로 연결시키는 하나 이상의 엑스자형 링크(246)와,
   상기 상부 사각골조(241)의 하부 타측에 장착되고 수평 탭홀을 가지는 고정브래킷(247)과,
   상기 수평 탭홀에 관통 체결되고 일측 단부가 상부에 위치되는 상기 제2 힌지축(244)의 하부에 회전 가능하게 연결 고정되며 타측 단부에는 핸들(249)이 구비되는 회전 나사축(248),
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 본체(1)의 내부에 구비되어 별도의 흡입호스(54)를 통해 공정 챔버(100)내의 미세 입자를 흡입하여 상기 가스 정화장치로 배출시키는 입자 흡입수단(5);
   더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 입자 흡입수단(5)은,
   상기 본체(1)의 내부에 수직으로 구비되고 하부에는 하부가 막혀 있고 둘레에 배출홀(512)이 형성된 하부 회전관(511)이 회전 가능하게 구비되며 상부에는 하부 회전관(511)의 상부와 공지된 회전식 연결장치(515)를 통해 연통되게 연결되고 상부가 막혀 있으며 둘레에 흡입홀(514)이 형성된 상부 회전관(513)이 회전 가능하게 구비되는 수직관부(51)와,
   상기 하부 회전관(511)의 상부에 하부 회전관(511)과 연동 회전되는 중간 회전판(52)과,
   상기 상부 회전관(513)의 상부에 상부 회전관(513)과 연동 회전되는 상부 회전판(53)과,
   상기 중간 회전판(52)과 상부 회전판(53)의 사이인 상기 상부 회전관(512)에 풀어짐이 가능하게 권취되고 일 단부는 상기 흡입홀(514)과 연결되는 흡입호스(54)와,
   상기 중간 회전판(52)의 하부인 하부 회전관(511)에 풀어짐이 가능하게 권취되고 일 단부는 상기 배출홀(512)에 연결되며 타 단부는 상기 가스 정화장치의 가스 인입관과 연결되는 배기호스(55),
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기후드장치.

Images