KR101698676B1 - 챔버용 잔류가스 배기 후드장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 공정 챔버에서 생산되는 제품의 교체를 위하여 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 제거하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치에 관한 것으로, 하부에 다수의 케스터가 구비되는 본체와; 상기 본체의 상부에 인출수단을 통해 일측으로 인출이 가능하게 구비되고, 상기 공정 챔버의 상부를 덮은 상태에서 공정 챔버의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 흡입 배기하는 챔버 상부커버부와; 상기 본체의 내부에 외부로 인출되게 구비되고 상기 챔버 상부커버부와 배기관부로 연결되는 배기부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

챔버용 잔류가스 배기 후드장치{Device for chamber residual gas exhaust hood}

본 발명은 챔버용 잔류가스 배기 후드장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 챔버에서 생산되는 제품의 교체를 위하여 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 제거하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 및 FPD(Flat Panal Display)를 생산하기 위해서는 외부와 차단된 공정 챔버가 사용된다. 그리고, 상기 공정 챔버에는 반응가스로 각종 혼합가스들(유독성, 자연발화성, 가연성, 부식성을 가지는 가스)이 정량적으로 투입되는데, 현재의 기술로는 이중 일부만 사용되고, 50%이상은 미반응 물질상태로 배출된다.

따라서, 반도체 및 FPD를 생산하기 위한 공정 챔버의 내부에는 투입된 반응가스의 반응물질이나, 또는 투입된 반응가스의 미반응 물질로 인하여 여러 종류의 유독가스가 생성되며, 이러한 유독가스는 별도의 공기정화장치를 거쳐 정화 처리 후 대기중으로 방출하게 되는데, 이러한 생산라인 상에는 배기덕트를 포함한 유독가스 정화처리장치가 필수적으로 설치된다.

이에, 종래에 알려진 유독가스 정화 처리장치는 공정 챔버의 상부에 분리 가능하게 구비되고 배기관을 포함하는 배기후드와, 상기 배기관에 연결되어 공정 챔버 내부의 유독가스를 유독가스 정화처리장치로 강제 배출시키는 배기덕트가 설치되는데, 상기 유독가스 정화처리장치는 크게 진공펌프와 집진기와 가스처리장치등 세가지 구성요소로 이루어져 있으며, 상기 진공펌프는 공정 챔버의 유독가스를 집진기와 가스처리장치로 배출시키는 작용을 하며, 상기 집진기는 진공펌프를 통해 배기덕트를 따라 이동되는 유독가스는 이동 중에 온도변화로 인하여 발생되는 파우더를 걸러주는 작용을 하고, 상기 가스처리장치는 크게 습식과 건식으로 구분되며, 사용되는 유독가스에 따라 선택적으로 사용하여 기체상태의 유독가스를 정화하는 작용을 한다.

따라서, 종래에는 공정 챔버에 반응가스를 투입하여 제품을 생산하고, 공정 챔버의 내부에 남아 있는 반응가스를 배기시키기 위해 크린가스를 투입하면서 반응가스 즉, 유독가스를 배기시켜 가스정화 처리장치를 통해 정화시켜 대기 중으로 방출시키고 있다.

그리고 종래의 공정 챔버를 통해 제품을 생산하는 과정에서 공정 챔버의 생산 제품을 교체할 경우에는, 먼저, 공정 챔버의 반응가스 공급관에서 반응가스의 공급을 중단한다. 다음, 상기 반응가스 공급관을 통해 크린가스(질소가스)를 투입하면서 상기 진공펌프와 유독가스 정화 처리장치를 작동시켜 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 배기시켜 정화한다. 그런 다음, 공정 챔버에서 생산되는 제품을 교체하는 것이다.

그런데, 상기와 같이 공정 챔버에서 생산되는 제품을 교체할 경우에는 상기 진공펌프와 유독가스 정화 처리장치의 작동을 통해 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 배기하여 정화하는 과정이 진행된다. 그러나, 상기 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 배기하는 과정에서는 크린가스가 공정 챔버 내부로 투입하면서 반응가스인 유독가스를 배기시키게 되나, 충분히 배기를 시켰다 하더라도 반응가스인 유독가스가 잔류되는 현상이 발생된다.

그러므로 상기와 같이 공정 챔버의 생산 제품을 교체할 경우에 공정 챔버에 잔류 가스가 남게 됨으로써, 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응 가스와 특성이 다른 잔류 가스가 혼합되어 제품의 불량을 유발하는 문제점을 가지고 있고, 심각하게는 화학 반응에 의한 화재를 포함한 안전사고를 유발하는 문제점도 가지고 있다.

특히, 반응가스의 성질이 완전히 다른 유독가스를 투입할 경우에는 공정 챔버를 세밀하게 수입을 하고 성질이 다른 반응가스를 투입하게 되는데, 이때, 비록 극소량의 잔류가스도 남아있지 않게 하게 위하여 공정챔버의 상부(뚜껑)를 개방하여 배기후드를 통해 배기시키게 되는데, 상기 종래의 배기후드는 개방된 공정 챔버의 상부를 완전히 밀폐시키지 않은 상태를 이루고 있어 챔버 내의 잔류가스가 외부(생산라인이 설치된 실내공간)로 비산되어 불특정 다수의 작업자가 잔류가스에 노출되는 문제점이 발생되고 있다.

대한민국 특허등록 제0461601호 "반도체 소자 공정장비의 공정챔버에 사용되는 배기장치"(2004.12.03.)

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위한 안출된 것으로,

본 발명의 목적은, 공정 챔버에서 생산 제품을 교체하기에 앞서 공정 챔버의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버 내부의 잔류 유독가스를 배기시킬 수 있도록 하고, 장치의 이동시 전후방의 폭을 줄여 설비라인의 좁은 통로에서 용이하게 장치를 이동시킬 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 커버부의 펼침만을 통해 공정 챔버의 상부에 챔버 상부커버부를 간단하게 올려놓아 공정 챔버의 상부를 커버할 수 있도록 하고, 공정 챔버 내의 유독가스를 배기를 통해 처리한 후에 챔버 상부커버를 구성하는 각각의 배기커버나 막음커버를 하나씩 개방시키면서 공정 챔버의 내부면을 수작업으로 깨끗하게 청소할 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 두 개의 고정레일을 포함하는 인출수단을 통해, 챔버 상부커버부가 하부로 처짐이 없이 본체의 상부에서 일측으로 인출될 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 챔버 상부커버부를 구성하는 각각의 커버판의 하부 둘레와 배기덕트의 하부 둘레에 밀봉패킹을 더 구비함으로써, 보다 안전하게 유독가스를 흡입 제거할 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 배기부에 입구 필터부와 출구 필터부를 구비함으로써, 유독가스의 필터링 효과를 좀 더 향상시킬 수 있도록 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 내부에 공기가 흡입되는 청소 챔버를 더 구비하여 공정 챔버의 내부에서 배출되는 부품을 청소 챔버의 내부에 투입하여 부품의 청소도 가능하게 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"는, 하부에 다수의 케스터가 구비되는 본체와; 상기 본체의 상부에 인출수단을 통해 일측으로 인출이 가능하게 구비되고, 공정 챔버의 상부를 덮은 상태에서 공정 챔버의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 흡입 배기하는 챔버 상부커버부와; 상기 본체의 내부에 외부로 인출되게 구비되고 상기 챔버 상부커버부와 배기관부로 연결되는 배기부;를 포함하고, 상기 챔버 상부커버부는, 상기 본체의 상부에 인출수단을 통해 좌우로 이동이 가능하게 구비되고 다수의 외기 유입홀이 형성되며 접힘이 가능하고 펼침을 통해 상기 공정 챔버의 상부를 덮는 커버부와, 상기 커버부의 일측 후방에 구비되어 상기 배기관부와 연결되는 배기덕트,를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 상기 인출수단은, 상기 본체의 상부에 좌우 방향을 따라 전후로 마주 보게 구비되는 두 개의 고정레일과, 상기 두 개 고정레일의 사이에 장착되어 일측으로 인출되는 하나 이상의 삽입 이동레일을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 상기 배기관부는, 제일 일측으로 인출되는 상기 삽입 이동레일의 일측에 구비되고 전방에는 상기 배기덕트와 연통되는 공기 유입홀이 형성되고 전방의 상부에는 상기 배기덕트를 상부로 절첩시켜 올려놓을 수 있도록 배기덕트의 상부와 연결되는 힌지부가 구비되는 제1 배기관과, 상기 제1 배기관과 배기부를 상호 연결하는 자바라관으로 구성된 제2 배기관,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 상기 커버부는, 상기 배기덕트의 전방에 후방이 힌지부를 통해 절곡이 가능하게 연결되고 다수의 힌지부를 통해 절곡이 가능하게 구비되는 다수의 커버판을 포함하며 전방에는 외기 유입홀이 형성된 배기커버와, 상기 배기커버의 타측에 후방이 상기 인출수단의 제일 일측으로 인출되는 삽입 이동레일과 힌지부를 통해 절곡이 가능하게 연결되고 다수의 힌지부를 통해 절곡이 가능하게 구비되는 다수의 커버판을 포함하며 전방에는 외기 유입홀이 형성된 하나 이상의 막음커버,를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 각각의 상기 커버판의 하부 둘레에는 밀봉패킹이 더 구비되고, 상기 배기덕트의 하부 둘레에도 밀봉패킹이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 상기 배기부는, 상기 배기관부와 제1 연결구로 연결되고 제1 개폐밸브가 구비되는 제1 관과, 상기 제1 관에서 유입되는 공기를 필터링하는 필터부가 내장된 입구 필터부와, 상기 입구 필터부의 배기측에 연결되는 연결관과, 상기 연결관에 연결되어 공정 챔버 내부의 공기를 강제적으로 빨아드리는 송풍팬과, 상기 송풍팬의 배기측에 연결되는 배출관과, 상기 배출관에 연결되고 필터부가 내장된 출구 필터부와, 상기 출구 필터부의 배출측에 연결되는 최종 배기관.을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 상기 배기부는, 상기 입구 필터부의 입구측에 연결되고 중간에는 제2 개폐밸브가 장착되고 연결단부에는 제2 연결구가 구비되는 제2 관과, 상기 입구 필터부의 입구측에 연결되고 중간에는 제3 개폐밸브가 장착되고 연결단부에는 제3 연결구가 구비되는 제3 관,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"는, 상기 제2 연결구에 연결되어 공정 챔버에서 사용한 물품을 내부에 수납하여 청소하는 청소 챔버;를 더 포함하고, 상기 청소 챔버는, 하부에 다수의 케스터가 구비되고 상부에는 테이블이 구비되는 베이스판과, 상기 베이스판의 상부에 힌지부를 통해 개방이 가능하게 구비되는 케이스와, 상기 케이스와 제2 연결구를 상호 연결하여 케이스 내부의 공기를 강제적으로 흡입하는 흡입 연결관,을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "챔버용 잔류가스 배기 후드장치"의 상기 케이스는, 타측에 구비되어 타측의 하부가 힌지부를 통해 베이스와 연결되고 전,후판과 타측판 및 상판을 포함하고 일측이 개방된 힌지 개방형 케이스와; 상기 힌지 개방형 케이스의 외측에 가이드레일을 통해 좌,우로 이동이 가능하게 구비되어 케이스의 내부 공간을 조정하며, 전,후판과 상판을 포함하고, 일측에는 상부의 힌지부를 통해 개폐되고 다수의 공기 유입홀이 형성된 일측 개폐판이 구비되며, 타측이 개방된 좌우 이동형 케이스;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같은 본 발명은, 공정 챔버에서 생산 제품을 교체하기에 앞서 공정 챔버의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버 내부의 잔류 유독가스를 좀 더 원활하게 배기시킬 수 있는 효과가 있고, 공정 챔버 내에 잔류된 유독가스가 생산라인이 설치된 실내공간으로 비산되지 않게 함으로써 실내공간을 오염시키는 것을 방지하는 효과도 있다. 그리고, 잔류된 유독가스를 외기를 투입하면서 완벽하게 배기시킴으로써 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응 가스와 잔류 가스의 혼합으로 발생되는 제품의 불량을 사전에 예방하는 효과도 있고, 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응가스와 잔류 가스의 화학 반응으로 인한 화재도 예방할 수 있는 효과도 있다. 아울러, 장치의 이동시 전후방의 폭을 줄여 설비라인의 좁은 통로에서 용이하게 장치를 이동시킬 수 있도록 함으로써 이동상의 편리성을 제공하는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 커버부의 펼침만을 통해 공정 챔버의 상부에 챔버 상부커버부를 간단하게 올려놓아 공정 챔버의 상부를 커버할 수 있도록 함으로써 사용상의 편리성을 제공하는 효과도 있다. 그리고, 본 발명은 공정 챔버 내의 유독가스를 배기를 통해 처리한 후에 챔버 상부커버를 구성하는 각각의 배기커버나 막음커버를 하나씩 개방시키면서 공정 챔버의 내부면을 수작업으로 깨끗하게 청소할 수 있게 함으로써, 공정 챔버의 내면에 부착되어 잔류된 유독가스도 깨끗하게 제거하는 효과와 공정 챔버의 내면을 닦아내는 거즈에서 비산되는 유기휘발성물질이 외부로 비산되지 않는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 두 개의 고정레일을 포함하는 인출수단을 통해, 챔버 상부커버가 하부로 처짐이 없이 본체의 상부에서 일측으로 인출되게 함으로써, 안전성이 보다 향상된 배기 후드장치를 제공하는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 챔버 상부커버부를 구성하는 각각의 커버판의 하부 둘레와 배기덕트의 하부 둘레에 밀봉패킹을 더 구비하여 보다 안전하게 유독가스를 흡입 제거함으로써, 안전성이 보다 향상된 배기 후드장치를 제공하는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 배기부에 입구 필터부와 출구 필터부를 구비함으로써 유독가스의 필터링 효과를 좀 더 향상시킬 수 있는 효과도 있다.

또한, 본 발명은, 내부에 공기가 흡입되는 청소 챔버를 더 구비하여 공정 챔버의 내부에서 배출되는 부품을 청소 챔버의 내부에 투입하여 좀 더 개끗하게 청소할 수 있음은 물론, 청소 챔버의 사용중 청소 챔버 내의 공기를 송풍기로 흡입함에 따라 부품에 잔류된 유독가스가 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 효과도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 나타낸 것으로,
도 1a는 사시도이고,
도 1b는 챔버 상부커버가 일측으로 인출된 상태를 나타낸 사시도이며,
도 1c 내지 도 1e는 챔버 상부커버부가 펼쳐져 공정챔버의 상부를 커버하는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1e의 A-A선 단면도이다.
도 3은 도 1e의 B-B선 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 배기부를 나타낸 것으로,
도 4a는 정면도이고,
도 4b는 개략 구성도이다.
도 5는 본 발명에 따른 청소챔버를 나타낸 것으로,
도 5a는 사시도이고,
도 5b는 평면도이며,
도 5c는 일측 개폐판을 개방한 상태를 나타내고,
도 5d는 좌우 이동형 케이스를 타측으로 이동시킨 상태를 나타내며,
도 5d는 좌우 이동형 케이스의 일측 개패판을 부분 절개한 상태이고,
도 5f는 힌지 개방형 케이스를 개방시켜 그 내부를 나타낸 사시도이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 첨부 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시예에 제한되지 않음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 챔버용 잔류가스 배기후드장치를 나타낸 것으로, 도 1a는 사시도이고, 도 1b는 챔버 상부커버가 일측으로 인출된 상태를 나타낸 사시도이며, 도 1c 내지 도 1e는 챔버 상부커버부가 펼쳐져 공정챔어의 상부를 커버하는 상태를 나타낸 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1e의 A-A선 단면도이고, 도 3은 도 1e의 B-B선 단면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 배기부를 나타낸 것으로, 도 4a는 정면도이고, 도 4b는 개략 구성도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 잔류가스 배기 후드장치는 공정 챔버(10) 내부의 생산 제품의 교체를 위하여 공정 챔버(10)에 별도로 장착되는 것으로, 공정 챔버(10)에서 생산 제품을 교체하기에 앞서 공정 챔버(10) 내부에 잔류된 유독가스를 공장에 기 설치된 가스 정화장치(미도시됨)로 배기시켜 잔류된 유독가스를 제거하는 것이다. 즉. 본 발명에 따른 잔류 유독가스 처리장치는 공정 챔버(10)의 상부에 장착되어 있는 배기후드(미도시됨)를 분해한 다음에, 공정 챔버(10)의 상부에 연결 장착시켜 사용하는 것으로 그 사용 상태의 구체적인 설명은 후술하기로 한다.

따라서 본 발명에 따른 잔류가스 배기 후드장치는 이동이 가능한 본체(1)와, 본체(1)의 상부에 일측(이하, 첨부된 도면상에서 우측을 "일측"이라 하고, 반대편인 좌측을 "타측"이라 한다.)으로 인출이 가능하게 구비되어 상부가 개방된 공정 챔버(10)의 상부를 덮어 커버하는 챔버 상부커버부(2)와, 본체(1)의 내부에 외부로 인출되게 구비되고 상기 챔버 상부커버부(2)와 연결되는 배기부(4)를 포함한다.

상기 본체(1)는 다수의 골조가 연결되어 직육면체의 형상으로 구성되는 것으로, 하부에는 본체(1)를 설비라인의 통로에서 이동시킬 수 있도록 다수의 케스터(11)가 구비되어 있는 것이다.

또한, 본 발명을 구성하는 상기 챔버 상부커버부(2)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 본체(1)의 상부 구비된 인출수단(3)을 통해 일측으로 인출이 가능하게 구비되고, 상기 공정 챔버(10)의 상부를 덮은 상태에서 공정 챔버(10)의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버(10) 내의 잔류 유독가스를 흡입 배기시키는 역할을 한다.

이와 같은 역할을 하는 상기 챔버 상부커버부(2)는 잔류 유독가스의 배기효율을 향상시킬 수 있도록, 상기 본체(1)의 상부에 인출수단(3)을 통해 좌우로 이동이 가능하게 구비되고 다수의 외기 유입홀(213)이 형성되며 접힘이 가능하고 펼침을 통해 상기 공정 챔버(10)의 상부를 덮는 커버부(21)와, 상기 커버부(21)의 일측 후방에 구비되어 상기 배기관부(5)와 연결되는 배기덕트(22)로 구성되는 것이 가장 바람직하다.

상기 인출수단(3)은 챔버 상부커버부(2)가 하부로 처짐이 없이 본체(1)의 상부에서 일측으로 인출시킬 수 있도록, 상기 본체(1)의 상부에 좌우 방향을 따라 전후로 마주 보게 구비되는 두 개의 고정레일(331)과, 상기 두 개 고정레일(331)의 사이에 장착되어 일측으로 인출되는 하나 이상의 삽입 이동레일(332)로 구성되는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명은 두 개의 고정레일(331)을 포함하는 인출수단(3)을 통해, 챔버 상부커버부(2)가 하부로 처짐이 없이 본체(1)의 상부에서 일측으로 인출되게 함으로써, 안전성이 보다 향상된 배기 후드장치를 제공하는 장점이 있다.

상기 커버부(21)는 펼침만을 통해 공정 챔버(10)의 상부에 챔버 상부커버부(2)를 간단하게 올려놓을 수 있도록, 상기 배기덕트(22)의 전방에 후방이 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 연결되고 다수의 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 구비되는 다수의 커버판(C)을 포함하며 전방에는 외기 유입홀(213)이 형성된 배기커버(211)와, 상기 배기커버(211)의 타측에 후방이 상기 인출수단(3)의 제일 일측으로 인출되는 삽입 이동레일(332)과 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 연결되고 다수의 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 구비되는 다수의 커버판(C)을 포함하며 전방에는 외기 유입홀(213)이 형성된 하나 이상의 막음커버(212)로 구성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 각각의 막음커버(212)의 후방은 상기 인출수단(3)의 제일 일측으로 인출되는 삽입 이동레일(332)과 별도의 브래킷을 통해 힌지부(H)로 결합되는 것이 바람직한데, 첨부된 도면에서는 "T"자형의 브래킷이 사용된 상태를 도시하였다.

따라서 본 발명은 상기 공정 챔버(10) 내의 유독가스를 배기를 통해 처리한 후에 챔버 상부커버를 구성하는 각각의 배기커버(211)나 막음커버(212)를 하나씩 개방시키면서 공정 챔버(10)의 내부면을 수작업으로 깨끗하게 청소할 수도 있으며, 공정 챔버(10)의 내면에 부착되어 잔류된 유독가스도 깨끗하게 청소할 수도 있는 것이다. 또한, 본 발명은 각각의 상기 커버판(C)의 하부 둘레에 공정 챔버(10)의 상단에 밀착되는 밀봉패킹이 더 구비됨으로써, 본 발명은 보다 안전하게 유독가스를 흡입 제거할 수 있는 장점도 가지는 것이다.

또한, 본 발명을 구성하는 상기 배기부(4)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 본체(1)의 내부에 외부로 인출되게 구비되고 상기 챔버 상부커버부(2)와 배기관부(5)로 연결되게 구비됨으로써, 챔버 상부커버(3)의 내부로 흡입되는 잔류 가스를 필터링시켜 배출시키는 역할을 한다.

이와 같은 역할을 하는 상기 배기부(4)는 유입되어 배출되는 배기가스의 필터링 효과를 높일 수 있도록, 상기 배기관부(5)와 제1 연결구(411)로 연결되고 제1 개폐밸브(412)가 구비되는 제1 관(41)과, 상기 제1 관(41)에서 유입되는 공기를 필터링하는 필터부가 내장된 입구 필터부(42)와, 상기 입구 필터부(42)의 배기측에 연결되는 연결관(43)과, 상기 연결관(43)에 연결되어 공정 챔버(10) 내부의 공기를 강제적으로 빨아드리는 송풍팬(44)과, 상기 송풍팬(44)의 배기측에 연결되는 배출관(45)과, 상기 배출관(45)에 연결되고 필터부가 내장된 출구 필터부(46)와, 상기 출구 필터부(46)의 배출측에 연결되는 최종 배기관(47)으로 구성되는 것이 가장 바람직하다. 따라서, 본 발명은 배기부(4)에 입구 필터부(42)와 출구 필터부(46)를 구비함으로써 유독가스의 필터링 효과를 좀 더 향상시킬 수 있는 장점도 있는 것이다.

상기 배기관부(5)는 챔버 상부커버부(2)를 일측으로 용이하게 인출시킬 수 있도록, 제일 일측으로 인출되는 상기 삽입 이동레일(332)의 일측에 구비되고 전방에는 상기 배기덕트(22)와 연통되는 공기 유입홀(622b)이 형성되고 전방의 상부에는 상기 배기덕트(22)를 상부로 절첩시켜 올려놓을 수 있도록 배기덕트(22)의 상부와 연결되는 힌지부(H)가 구비되는 제1 배기관(51)과, 상기 제1 배기관(51)과 배기부(4)를 상호 연결하는 자바라관으로 구성된 제2 배기관(52)으로 구성되는 것이 가장 바람직하다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 잔류가스 배기 후드장치의 작동 관계를 설명하면 다음과 같다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 잔류가스 배기 후드장치를 통해 공정 챔버(10) 내부의 잔류 유독가스를 처리할 경우에는, 먼저, 공정 챔버(10)의 상부에 장착되어 있는 배기용 배기덕트(미도시됨)를 공정 챔버(10)로부터 분리한다.

다음 챔버 상부커버부(2)를 구성하는 배기커버(211)와 하나 이상의 막음커버(212)를 구성하는 각각의 커버판(C)을 접어 배기커버(211)와 하나 이상의 막음커버(212)를 상기 배기관부(5)의 전방과 상부에 위치시킨다. 그리고 이러한 상태에서, 본체(1)를 설비라인의 좁은 통로에서 이동시켜 공정 챔버(10)의 주위에 배기 후드장치를 위치시킨다.

다음 상기와 같이 공정 챔버(10)의 주변에 배기 후드장치를 위치시킨 상태에서, 작업자가 챔버 상부커버부(2)를 구성하는 배기커버(211)와 하나 이상의 막음커버(212)를 펼침으로써, 배기커버(211)와 하나 이상의 막음커버(212)를 상기 공정 챔버(10)의 상부에 위치시키면서 공정 챔버(10)의 상부를 커버하는 것이다. 그리고, 이와 같이 배기커버(211)와 하나 이상의 막음커버(212)를 상기 공정 챔버(10)의 상부에 위치시키는 과정에서는 상기 챔버 상부커버부(2)의 하부 둘레를 공정 챔버(10)의 상부 둘레에 밀봉되게 밀착시키는 것이 가장 바람직하다.

다음 상기 배기부(4)의 배기용 송풍팬(44)을 작동시킨다. 그러면, 상기 챔버 상부커버부(2)에 구비된 배기덕트(22)를 통해 공정 챔버(10) 내부의 유독가스가 상기 배기관부(5), 제1 관(41), 입구 필터부(42), 연결관(43), 송풍팬(44), 배출관(45), 출구 필터부(46)를 통과하여 최종 배기관(47)을 통해 배기되게 되는 것이다. 그리고, 상기와 같이 공정 챔버(10)에 채워진 유독가스가 배기되는 과정에서는 챔버 상부커버부(2)에 형성된 외기 유입홀(213)을 통해 외기가 공정챔버(10)의 내부로 투입되어 골고루 확산되는 것이다.

따라서, 본 발명은 상기 공정 챔버(10)에서 생산 제품을 교체하기에 앞서서 공정 챔버(10)의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버(10) 내부의 잔류 유독가스를 좀 더 원활하게 배기시킬 수 있고, 공정 챔버(10) 내에 잔류된 유독가스가 생산라인이 설치된 실내공간으로 비산되지 않아 실내공간을 오염시키지 않는 장점도 있는 것이다.

그리고 본 발명은 공정 챔버(10)의 내부에 외기를 투입하면서 유독 가스를 완벽하게 배기시킴으로써, 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응 가스와 잔류 가스의 혼합으로 발생되는 제품의 불량을 사전에 예방하고, 새로운 제품의 생산시 투입되는 반응가스와 잔류 가스의 화학 반응으로 인한 화재도 예방할 수 있는 장점도 있는 것이다. 아울러, 본 발명은 장치의 이동시 전후방의 폭을 줄여 설비라인의 좁은 통로에서 용이하게 장치를 이동시킬 수 있도록 함으로 이동상의 편리성을 제공하는 장점도 있는 것이다.

도 5는 본 발명에 따른 청소챔버를 나타낸 것으로, 도 5a는 사시도이고, 도 5b는 평면도이며, 도 5c는 일측 개폐판을 개방한 상태를 나타내고, 도 5d는 좌우 이동형 케이스를 타측으로 이동시킨 상태를 나타내며, 도 5e는 힌지 개방형 케이스를 개방시킨 상태를 나타낸다.

한편, 본 발명에 따른 배기부(4)에는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 입구 필터부(42)의 입구측에 연결되고 중간에는 제2 개폐밸브(482)가 장착되며 연결단부에는 제2 연결구(481)가 구비되는 제2 관(48)이 더 구비될 수 있고, 상기 입구 필터부(42)의 입구측에 연결되고 중간에는 제3 개폐밸브(492)가 장착되고 연결단부에는 제3 연결구(491)가 구비되는 제3 관(49)이 더 구비될 수도 있는 것이다.

그리고 상기 제2 연결구(481)에는 후술할 청소 챔버(6)가 연결되어 사용될 수 있는데, 그 구체적인 설명은 후술하기로 한다. 또한, 상기 제3 연결구(491)에는 흡입호스(미도시됨)가 연결되어 흡입호스를 통해 고정 챔버(10) 내의 유독가스를 수작업으로도 제거할 수도 있는 것이다.

또한, 본 발명에 따른 잔류가스 배기 후드장치는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2 연결구(481)에 연결되어 공정 챔버(10)에서 사용한 물품을 내부에 수납하여 청소하는 청소 챔버(6)를 더 포함할 수도 있다.

아울러 상기 청소 챔버(6)는 공정 챔버(10)의 내부에서 배출되는 부품을 깨끗하게 청소할 수 있도록, 하부에 다수의 케스터(611)가 구비되고 상부에는 회전 테이블(612)이 구비되는 베이스판(61)과, 상기 베이스판(61)의 상부에 힌지부(H)를 통해 개방이 가능하게 구비되는 케이스(62)와, 상기 케이스(62)와 제2 연결구(481)을 상호 연결하여 케이스(62) 내부의 공기를 강제적으로 흡입하는 흡입 연결관(63)으로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 회전 테이블(612)은 하부의 중심에 구비되어 베어링의 지지를 통해 회전되는 회전축과, 하부의 둘레에 구비되어 회전테이블을 좀 더 안정되게 회전시키는 다수의 볼 케스터를 포함하는 것이다.

상기 케이스(62)는 부품의 투입과 배출을 용이하게 할 수 있도록, 타측에 구비되어 타측의 하부가 힌지부(H)를 통해 베이스와 연결되고 전,후판과 타측판 및 상판을 포함하고 일측이 개방된 힌지 개방형 케이스(621)와, 상기 힌지 개방형 케이스(621)의 외측에 가이드레일(G)을 통해 좌,우로 이동이 가능하게 구비되어 케이스(62)의 내부 공간을 조정하며 전,후판과 상판을 포함하고 일측에는 상부의 힌지부(H)를 통해 개폐되고 다수의 공기 유입홀(622b)이 형성된 일측 개폐판(622a)이 구비되며 타측이 개방된 좌우 이동형 케이스(622)로 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 좌우 이동형 케이스(622)는 상기 힌지 개방형 케이스(621)의 외측에 구비되어 좌우로 이동이 가능하게 설치되는 것이다.

따라서, 본 발명은 내부에 공기가 흡입되는 청소 챔버(6)를 더 구비하여 공정 챔버(10)의 내부에서 배출되는 부품을 청소 챔버(6)의 내부에 투입하여 좀 더 개끗하게 청소할 수 있는 장점도 있는 것이다. 특히, 본 발명은 청소 챔버(6)의 사용중 청소 챔버(6) 내의 공기를 송풍기로 흡입함에 따라 부품에 잔류된 유독가스를 좀 더 깨끗하게 청소할 수 있으며, 유독가스가 외부로 누출되는 것을 방지하는 장점도 있는 것이다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함을 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.

1 : 본체
11 : 케스터
2 : 챔버 상부커버부
21 : 커버부
211 : 배기커버
212 : 막음커버, 213 : 외기 유입홀
C : 커버판
22 : 배기덕트
3 : 인출수단
331 : 고정레일, 332 : 삽입 이동레일
4 : 배기부
41 : 제1 관
411 : 제1 연결구, 412 : 제1 개폐밸브
42 : 입구 필터부
43 : 연결관
44 : 송풍팬
45 : 배출관
46 : 출구 필터부
47 : 최종 배기관
48 : 제2 관
481 : 제2 연결구, 482 : 제2 개폐밸브
49 : 제3 관
491 : 제3 연결구, 492 : 제3 개폐밸브
5 : 배기관부
51 : 제1 배기관
52 : 제2 배기관
6 : 청소 챔버
61 : 베이스판
611 : 케스터, 612 : 회전 테이블
62 : 케이스
621 : 힌지 개방형 케이스
622 : 좌우 이동형 케이스
622a : 일측 개폐판, 622b : 공기 유입홀
G : 가이드레일
63 : 흡입 연결관
H : 힌지부
10 : 공정 챔버

Claims (9)

1. 하부에 다수의 케스터(11)가 구비되는 본체(1)와; 상기 본체(1)의 상부에 인출수단(3)을 통해 일측으로 인출이 가능하게 구비되고, 공정 챔버(10)의 상부를 덮은 상태에서 공정 챔버(10)의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버(10) 내의 잔류 유독가스를 흡입 배기하는 챔버 상부커버부(2)와; 상기 본체(1)의 내부에 외부로 인출되게 구비되고 상기 챔버 상부커버부(2)와 배기관부(5)로 연결되는 배기부(4);를 포함하고,
   상기 챔버 상부커버부(2)는, 상기 본체(1)의 상부에 좌우 방향을 따라 전후로 마주 보게 구비되는 두 개의 고정레일(331)과, 상기 두 개 고정레일(331)의 사이에 장착되어 일측으로 인출되는 하나 이상의 삽입 이동레일(332)로 이루어진 인출수단(3)을 통해 좌우로 이동이 가능하게 구비되고 다수의 외기 유입홀(213)이 형성되며 접힘이 가능하고 펼침을 통해 상기 공정 챔버(10)의 상부를 덮는 커버부(21)와, 상기 커버부(21)의 일측 후방에 구비되어 상기 배기관부(5)와 연결되는 배기덕트(22),를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 배기관부(5)는,
   제일 일측으로 인출되는 상기 삽입 이동레일(332)의 일측에 구비되고 전방에는 상기 배기덕트(22)와 연통되는 공기 유입홀(622b)이 형성되고 전방의 상부에는 상기 배기덕트(22)를 상부로 절첩시켜 올려놓을 수 있도록 배기덕트(22)의 상부와 연결되는 힌지부(H)가 구비되는 제1 배기관(51)과,
   상기 제1 배기관(51)과 배기부(4)를 상호 연결하는 자바라관으로 구성된 제2 배기관(52),
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 커버부(21)는,
   상기 배기덕트(22)의 전방에 후방이 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 연결되고 다수의 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 구비되는 다수의 커버판(C)을 포함하며 전방에는 외기 유입홀(213)이 형성된 배기커버(211)와,
   상기 배기커버(211)의 타측에 후방이 상기 인출수단(3)의 제일 일측으로 인출되는 삽입 이동레일(332)과 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 연결되고 다수의 힌지부(H)를 통해 절곡이 가능하게 구비되는 다수의 커버판(C)을 포함하며 전방에는 외기 유입홀(213)이 형성된 하나 이상의 막음커버(212),
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
5. 제4항에 있어서,
   각각의 상기 커버판(C)의 하부 둘레에는 밀봉패킹이 더 구비되고,
   상기 배기덕트(22)의 하부 둘레에도 밀봉패킹이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 배기부(4)는,
   상기 배기관부(5)와 제1 연결구(411)로 연결되고 제1 개폐밸브(412)가 구비되는 제1 관(41)과,
   상기 제1 관(41)에서 유입되는 공기를 필터링하는 필터부가 내장된 입구 필터부(42)와,
   상기 입구 필터부(42)의 배기측에 연결되는 연결관(43)과,
   상기 연결관(43)에 연결되어 공정 챔버(10) 내부의 공기를 강제적으로 빨아드리는 송풍팬(44)과,
   상기 송풍팬(44)의 배기측에 연결되는 배출관(45)과,
   상기 배출관(45)에 연결되고 필터부가 내장된 출구 필터부(46)와,
   상기 출구 필터부(46)의 배출측에 연결되는 최종 배기관(47).
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 배기부(4)는,
   상기 입구 필터부(42)의 입구측에 연결되고 중간에는 제2 개폐밸브(482)가 장착되고 연결단부에는 제2 연결구(481)가 구비되는 제2 관(48)과,
   상기 입구 필터부(42)의 입구측에 연결되고 중간에는 제3 개폐밸브(492)가 장착되고 연결단부에는 제3 연결구(491)가 구비되는 제3 관(49),
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 배기 후드장치는,
   상기 제2 연결구(481)에 연결되어 공정 챔버(10)에서 사용한 물품을 내부에 수납하여 청소하는 청소 챔버(6);를 더 포함하고,
   상기 청소 챔버(6)는,
   하부에 다수의 케스터(611)가 구비되고 상부에는 테이블이 구비되는 베이스판(61)과,
   상기 베이스판(61)의 상부에 힌지부(H)를 통해 개방이 가능하게 구비되는 케이스(62)와,
   상기 케이스(62)와 제2 연결구(481)를 상호 연결하여 케이스(62) 내부의 공기를 강제적으로 흡입하는 흡입 연결관(63),을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 케이스(62)는,
   타측에 구비되어 타측의 하부가 힌지부(H)를 통해 베이스와 연결되고 전,후판과 타측판 및 상판을 포함하고 일측이 개방된 힌지 개방형 케이스(621)와;
   상기 힌지 개방형 케이스(621)의 외측에 가이드레일(G)을 통해 좌,우로 이동이 가능하게 구비되어 케이스(62)의 내부 공간을 조정하며, 전,후판과 상판을 포함하고, 일측에는 상부의 힌지부(H)를 통해 개폐되고 다수의 공기 유입홀(622b)이 형성된 일측 개폐판(622a)이 구비되며, 타측이 개방된 좌우 이동형 케이스(622);
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치.

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