KR101572402B1 - 레이저 광 조사 장치, 광학 부재 접합체의 제조 장치, 레이저 광 조사 방법 및 광학 부재 접합체의 제조 방법 - Google Patents

레이저 광 조사 장치, 광학 부재 접합체의 제조 장치, 레이저 광 조사 방법 및 광학 부재 접합체의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 레이저 광 조사 장치는, 조사 대상물에 레이저 광을 조사하는 레이저 광 조사 장치로서, 상기 조사 대상물을 유지하는 유지면을 가지는 테이블과, 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 레이저 광을 2축 주사 가능한 스캐너와, 상기 테이블과 상기 스캐너를 상대 이동 가능한 이동 장치를 포함한다.

Description

레이저 광 조사 장치, 광학 부재 접합체의 제조 장치, 레이저 광 조사 방법 및 광학 부재 접합체의 제조 방법 {LASER IRRADIATION DEVICE, OPTICAL MEMBER BONDED BODY MANUFACTURING DEVICE, LASER IRRADIATION METHOD, AND OPTICAL MEMBER BONDED BODY MANUFACTURING METHOD}
본 발명은, 레이저 광 조사(照射) 장치, 광학 부재 접합체의 제조 장치, 레이저 광 조사 방법 및 광학 부재 접합체의 제조 방법에 관한 것이다.
본원은, 2011년 12월 27일에 출원된 일본특허출원 2011－284650호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
종래, 조사 대상물에 레이저 광을 조사하여 소정의 가공을 행하는 레이저 광 조사 장치가 알려져 있다. 레이저 광 조사 장치는 필름의 절단 가공 등에 이용하는 것이 검토되어 있으며, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되는 바와 같은 편광 필름의 제조 방법 등에도 응용이 기대되고 있다.
[특허 문헌 1] 일본특허공개 2003－255132호 공보
레이저 광을 이용하여 임의의 영역에 가공을 행하기 위해서는, 레이저 광의 조사 위치를 고정밀도로 제어할 뿐만 아니라 그 가공 영역도 넓히는 것이 필요하게 된다. 레이저 광을 이용하여 가공을 행하는 방식으로서는, 노즐 방식과 스캐너 방식이 알려져 있지만, 각각 일장일단이 있다.
예를 들면, 노즐 방식은, 레이저 광원을 고정하고 조사 대상물을 XY 테이블에서 이동시키거나, 조사 대상물을 고정하고 레이저 광원을 이동시키거나 하는 방식이다. 노즐 방식에 있어서, 직사각형 모양으로 레이저 광을 주사(走査)하려고 하면, 직사각형의 각부(角部)에서 주사 속도가 늦어져 버려, 각부(角部)가 열변형에 의해 부풀거나 물결치거나 하는 일이 있다. 스캐너 방식은, 갈바노 미러(galvano mirror) 등으로 레이저 광을 2축 주사하는 방식이지만, 갈바노 미러 등으로 주사할 수 있는 범위는 매우 좁기 때문에, 넓은 범위에 정밀도가 좋은 가공을 행할 수 없다.
본 발명의 목적은, 넓은 범위에 정밀도 좋게 레이저 광을 조사하는 것이 가능한 레이저 광 조사 장치 및 레이저 광 조사 방법, 및, 이와 같은 레이저 광 조사 장치 및 레이저 광 조사 방법을 이용한 광학 부재 접합체의 제조 장치 및 광학 부재 접합체의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 이하의 형태를 가진다.
본 발명의 제1 형태의 레이저 광 조사(照射) 장치는, 조사 대상물에 레이저 광을 조사하는 레이저 광 조사 장치로서, 상기 조사 대상물을 유지하는 유지면을 가지는 테이블과, 상기 유지면과 평행한 평면 내(內)에서 레이저 광을 2축 주사(走査) 가능한 스캐너와, 상기 테이블과 상기 스캐너를 상대 이동 가능한 이동 장치를 포함한다.
본 발명의 제1 형태의 레이저 광 조사 장치에서는, 상기 스캐너는, 상기 레이저 광을 발진하는 레이저 광 발진기와, 상기 레이저 광 발진기에 의해서 발진된 상기 레이저 광을 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 2축 주사 가능한 주사 소자와, 상기 주사 소자로부터 사출된 상기 레이저 광을 상기 조사 대상물을 향해서 집광하는 집광 렌즈를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제2 형태의 광학 부재 접합체의 제조 장치는, 광학 표시 부품에 광학 부재를 접합하여 이루어지는 광학 부재 접합체의 제조 장치로서, 상기 광학 표시 부품에 상기 광학 표시 부품의 표시 영역 보다도 큰 광학 부재 시트를 접합시켜 접합 시트를 형성하는 접합 장치와, 상기 표시 영역에 대향하는 상기 광학 부재 시트의 대향 부분과 상기 대향 부분의 외측에 위치하는 잉여 부분을 떼어 내고, 상기 광학 부재 시트로부터 상기 표시 영역에 대응하는 크기를 가지는 상기 광학 부재를 잘라 냄으로써, 상기 접합 시트로부터 상기 광학 표시 부품 및 상기 광학 표시 부품에 겹치는 상기 광학 부재를 포함하는 상기 광학 부재 접합체를 잘라 내며, 상술한 제1 형태의 레이저 광 조사 장치에 의해서 구성되고, 상기 레이저 광 조사 장치로부터 조사된 레이저 광에 의해서 조사 대상물인 상기 광학 부재 시트를 절단하는 절단 장치를 포함한다.
본 발명의 제3 형태의 레이저 광 조사 방법은, 조사 대상물에 레이저 광을 조사하는 레이저 광 조사 방법으로서, 상기 조사 대상물을 테이블의 유지면에 유지하고(제1 스텝), 상기 테이블과 스캐너를 상대 이동시키면서 상기 스캐너로부터 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 2축 주사된 레이저 광을 상기 조사 대상물에 조사한다(제2 스텝).
본 발명의 제4 형태의 광학 부재 접합체의 제조 방법은, 광학 표시 부품에 광학 부재를 접합하여 이루어지는 광학 부재 접합체의 제조 방법으로서, 상기 광학 표시 부품에 상기 광학 표시 부품의 표시 영역 보다도 큰 광학 부재 시트를 접합시켜 접합 시트를 형성하고(제1 공정), 상기 표시 영역에 대향하는 상기 광학 부재 시트의 대향 부분과 상기 대향 부분의 외측에 위치하는 잉여 부분을 떼어 내고, 상기 광학 부재 시트로부터 상기 표시 영역에 대응하는 크기를 가지는 상기 광학 부재를 잘라 냄으로써, 상기 접합 시트로부터 상기 광학 표시 부품 및 상기 광학 표시 부품에 겹치는 상기 광학 부재를 포함하는 상기 광학 부재 접합체를 잘라 내며, 상술한 제3 형태의 레이저 광 조사 방법을 이용하여 레이저 광에 의해서 조사 대상물인 상기 광학 부재 시트를 절단한다(제2 공정).
본 발명에 의하면, 넓은 범위에 정밀도 좋게 레이저 광을 조사하는 것이 가능한 레이저 광 조사 장치, 광학 부재 접합체의 제조 장치, 레이저 광 조사 방법 및 광학 부재 접합체의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태를 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태에서의 레이저 광 조사 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태에서의 제2 절단 장치의 내부 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태에서의 제2 접합 장치 주변을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태에서의 제1 접합 시트를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태에서의 제2 절단 장치 중의 제2 접합 시트를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치의 일 실시 형태에서의 제3 절단 장치 중의 제3 접합 시트를 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 7의 A－A 단면도이다.
도 9는 본 발명의 광학 부재 접합체의 제조 장치를 거친 양면 접합 패널을 나타내는 단면도이다.
도 10은 액정 패널에 접합한 광학 부재 시트의 레이저에 의해서 형성된 절단 단부를 나타내는 단면도이다.
도 11은 광학 부재 시트 단체(單體)의 레이저에 의해서 형성된 절단 단부를 나타내는 단면도이다.
도 12는 본 발명의 레이저 광 조사 방법의 일 실시 형태를 나타내는 플로우 차트이다.
도 13은 본 발명의 레이저 광 조사 방법의 일 실시 형태에서, 레이저 광이 소망한 궤적을 그리기 위한 제어 방법을 나타내는 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시 형태에 한정되지 않는다.
또, 이하의 모든 도면에서는, 각 구성 요소를 도면 상(上)에서 인식할 수 있는 정도의 크기로 하기 때문에, 각 구성 요소의 치수 및 비율을 실제의 것과는 적절하게 다르게 하고 있다. 또, 이하의 설명 및 도면 중, 동일 또는 상당하는 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복하는 설명은 생략한다.
이하의 설명에서는, 필요에 따라서 XYZ 직교 좌표계를 이용하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해서 설명한다. 본 실시 형태에서는, 광학 표시 부품(액정 패널)의 폭방향을 X 방향으로 하고 있고, 액정 패널의 면내(面內)에서 X 방향에 직교하는 방향(액정 패널의 반송 방향)을 Y 방향, X 방향 및 Y 방향에 직교하는 방향을 Z 방향으로 하고 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에서는, 광학 부재 접합체의 제조 장치로서 광학 표시 디바이스의 생산 시스템을 예시하고, 생산 시스템의 일부를 구성하는 필름 접합 시스템에 대해서 설명한다.
도 1은, 본 실시 형태의 필름 접합 시스템(1)(광학 부재 접합체의 제조 장치)의 개략 구성을 나타낸다. 필름 접합 시스템(1)은, 예를 들면 액정 패널이나 유기 EL 패널과 같은 패널 모양의 광학 표시 부품에, 편광 필름이나 위상차 필름, 휘도 상승 필름과 같은 필름 모양의 광학 부재를 접합한다. 필름 접합 시스템(1)은, 상기 광학 표시 부품 및 광학 부재를 포함한 광학 부재 접합체를 제조한다. 필름 접합 시스템(1)에서는, 상기 광학 표시 부품으로서 액정 패널(P)을 이용한다. 필름 접합 시스템(1)의 각 부는, 전자 제어 장치로서의 제어 장치(20)에 의해 통괄 제어된다.
필름 접합 시스템(1)은, 접합 공정의 시발 위치로부터 종착 위치까지, 예를 들면 구동식 롤러 컨베이어(5)를 이용하여 액정 패널(P)을 반송하면서, 액정 패널(P)에 순차적으로 소정의 처리를 실시한다. 액정 패널(P)은, 그 표면 및 이면을 수평으로 한 상태로 롤러 컨베이어(5) 상에서 반송된다.
또한, 도면 중 좌측(－Y 방향측)은 액정 패널(P)의 반송 방향 상류측(이하, '패널 반송 상류측'이라고 함)을, 도면 중 우측(＋Y 방향측)은 액정 패널(P)의 반송 방향 하류측(이하, '패널 반송 하류측'이라고 함)을 각각 나타낸다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(P)은 평면에서 볼 때 장방형 모양을 이루며, 그 바깥 둘레 가장자리 보다도 소정 폭만큼 내측에, 상기 바깥 둘레 가장자리를 따르는 외형 모양을 가지는 표시 영역(P4)을 형성한다. 액정 패널(P)은, 후술하는 제2 얼라이먼트 장치(14) 보다도 패널 반송 상류측에서는, 표시 영역(P4)의 단변을 대체로 반송 방향을 따르게 하는 방향으로 반송되며, 상기 제2 얼라이먼트 장치(14) 보다도 패널 반송 하류측에서는, 표시 영역(P4)의 장변을 대체로 반송 방향을 따르게 하는 방향으로 반송된다.
이 액정 패널(P)의 표면 및 이면에 대해서, 길이가 긴 띠 모양의 제1 광학 부재 시트(F1)(광학 부재 시트), 제2 광학 부재 시트(F2)(광학 부재 시트), 및 제3 광학 부재 시트(F3)(광학 부재 시트)로부터 각각 잘라 낸 제1 광학 부재(F11)(광학 부재), 제2 광학 부재(F12)(광학 부재), 및 제3 광학 부재(F13)(광학 부재)가 적절하게 접합된다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서, 액정 패널(P)의 백라이트측 및 표시면측에 위치하는 양면에는, 편광 필름으로서의 제1 광학 부재(F11) 및 제3 광학 부재(F13)가 각각 접합된다. 액정 패널(P)의 백라이트측에 위치하는 면에는, 제1 광학 부재(F11)에 겹쳐 휘도 향상 필름으로서의 제2 광학 부재(F12)가 더 접합된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 필름 접합 시스템(1)은, 상류 공정으로부터 롤러 컨베이어(5)의 패널 반송 상류측 상(上)으로 액정 패널(P)을 반송한다. 필름 접합 시스템(1)은, 제1 얼라이먼트 장치(11)와, 제1 접합 장치(12)(접합 장치)와, 제1 절단 장치(13)와, 제2 얼라이먼트 장치(14)와, 제2 접합 장치(15)(접합 장치)와, 제2 절단 장치(16)(스캐너)와, 제3 얼라이먼트 장치(17)와, 제3 접합 장치(18)(접합 장치)와, 제3 절단 장치(19)(스캐너)를 구비하고 있다.
제1 얼라이먼트 장치(11)는, 액정 패널(P)을 유지하여 수직 방향(Z 방향) 및 수평 방향(XY 방향)으로 자유자재로 반송한다. 제1 얼라이먼트 장치(11)는, 예를 들면 액정 패널(P)의 패널 반송 상류측 및 하류측의 단부를 촬상하는 한 쌍의 카메라를 가진다. 카메라의 촬상 데이터는 제어 장치(20)로 보내어진다. 제어 장치(20)는, 상기 촬상 데이터와 미리 기억한 광학축 방향의 검사 데이터에 기초하여, 제1 얼라이먼트 장치(11)를 작동시킨다. 또한, 제2 얼라이먼트 장치(14) 및 제3 얼라이먼트 장치(17)도 마찬가지로 상기 카메라를 가지며, 이 카메라의 촬상 데이터를 얼라이먼트에 이용한다.
제1 얼라이먼트 장치(11)는, 제어 장치(20)의 제어에 의해, 제1 접합 장치(12)에 대한 액정 패널(P)의 얼라이먼트를 행한다. 이 때, 액정 패널(P)은, 반송 방향(Y 방향)과 직교하는 수평 방향(X 방향)(이하, '부품폭 방향'이라고 함)으로의 위치 결정과 수직축 둘레(Z축 둘레)의 선회 방향(이하, 단지 '선회 방향'이라고 함)으로의 위치 결정이 이루어진다. 이 상태에서, 액정 패널(P)이 제1 접합 장치(12)의 접합 위치로 도입된다.
제1 접합 장치(12)는, 제1 얼라이먼트 장치(11) 보다도 패널 반송 하류측에 마련되어 있다. 제1 접합 장치(12)는, 접합 위치로 도입된 길이가 긴 제1 광학 부재 시트(F1)의 하면에 대해서, 그 하부에서 반송되는 액정 패널(P)의 상면(백라이트측)을 접합한다.
제1 접합 장치(12)는, 반송 장치(12a)와, 협압롤(挾壓roll, 12b)을 구비한다. 반송 장치(12a)는, 제1 광학 부재 시트(F1)를 돌려 감은 제1 원반롤(R1)로부터 제1 광학 부재 시트(F1)를 권출하면서 제1 광학 부재 시트(F1)를 그 길이 방향을 따라서 반송한다. 협압롤(12b)은, 반송 장치(12a)가 반송하는 제1 광학 부재 시트(F1)의 하면에 롤러 컨베이어(5)가 반송하는 액정 패널(P)의 상면을 접합한다.
반송 장치(12a)는, 유지부(12c)와, 회수부(12d)를 가진다. 유지부(12c)는, 제1 광학 부재 시트(F1)를 돌려 감은 제1 원반롤(R1)을 유지함과 아울러 제1 광학 부재 시트(F1)를 그 길이 방향을 따라서 계속 내보낸다. 회수부(12d)는, 제1 광학 부재 시트(F1)의 상면에 겹쳐져 제1 광학 부재 시트(F1)와 함께 계속 내보내어진 프로텍션 필름(pf)을 제1 접합 장치(12)의 패널 반송 하류측에서 회수한다. 반송 장치(12a)는, 제1 접합 장치(12)에서의 접합 위치에서, 제1 광학 부재 시트(F1)와 액정 패널(P)이 접합되는 제1 광학 부재 시트(F1)의 접합면이 하부를 향하도록, 제1 광학 부재 시트(F1)의 반송 경로를 설정한다.
협압롤(12b)은, 서로 축방향을 평행하게 하여 배치된 한 쌍의 접합 롤러를 가진다. 한 쌍의 접합 롤러 사이에는 소정의 간극이 형성되고, 이 간극 내(內)가 제1 접합 장치(12)의 접합 위치가 된다. 상기 간극 내(內)에는, 액정 패널(P) 및 제1 광학 부재 시트(F1)가 서로 겹쳐 도입된다. 이들 액정 패널(P) 및 제1 광학 부재 시트(F1)가, 상기 접합 롤러 사이에서 협압(挾壓, 끼워 가압)되면서 패널 반송 하류측으로 송출된다. 이것에 의해, 복수의 액정 패널(P)을 소정의 간격을 두고 길이가 긴 제1 광학 부재 시트(F1)의 하면에 연속적으로 접합한 제1 접합 시트(F21)(접합 시트)가 형성된다.
제1 절단 장치(13)는 회수부(12d) 보다도 패널 반송 하류측에 위치한다. 제1 절단 장치(13)는, 제1 접합 시트(F21)의 제1 광학 부재 시트(F1)를 절단하여 표시 영역(P4) 보다도 큰(본 실시 형태에서는 액정 패널(P) 보다도 큼) 시트편(F1S)(도 6 참조)으로 하도록, 제1 광학 부재 시트(F1)의 소정 개소(반송 방향으로 늘어서는 액정 패널(P)의 사이)를 상기 부품폭 방향의 전체 폭에 걸쳐서 절단한다. 또한, 제1 절단 장치(13)로서 절단 칼날을 이용할지 레이저 커터를 이용할지는 상관하지 않는다. 상기 절단에 의해, 액정 패널(P)의 상면에 표시 영역(P4) 보다도 큰 상기 시트편(F1S)이 접합된 제1 편면 접합 패널(P11)(제1 광학 부재 접합체)이 형성된다.
제2 얼라이먼트 장치(14)는, 제1 접합 장치(12) 및 제1 절단 장치(13) 보다도 패널 반송 하류측에 마련되어 있다. 제2 얼라이먼트 장치(14)는, 예를 들면 롤러 컨베이어(5) 상의 제1 편면 접합 패널(P11)을 유지하여 수직축 둘레로 90°선회(旋回)시킨다. 이것에 의해, 표시 영역(P4)의 단변(短邊)과 대략 평행하게 반송되고 있던 제1 편면 접합 패널(P11)이, 표시 영역(P4)의 장변(長邊)과 대략 평행하게 반송되도록 방향 전환한다. 또한, 상기 선회는, 제1 광학 부재 시트(F1)의 광축 방향에 대해서, 액정 패널(P)에 접합하는 다른 광학 부재 시트의 광학축 방향이 직각으로 배치되는 경우가 된다.
제2 얼라이먼트 장치(14)는, 상기 제1 얼라이먼트 장치(11)와 동일한 얼라이먼트를 행한다. 즉, 제2 얼라이먼트 장치(14)는, 제어 장치(20)에 기억된 광학축 방향의 검사 데이터 및 상기 카메라(C)의 촬상 데이터에 기초하여, 제2 접합 장치(15)에 대한 제1 편면 접합 패널(P11)의 부품폭 방향으로의 위치 결정 및 선회 방향으로의 위치 결정을 행한다. 이 상태에서, 제1 편면 접합 패널(P11)이 제2 접합 장치(15)의 접합 위치로 도입된다.
제2 접합 장치(15)는, 제2 얼라이먼트 장치(14) 보다도 패널 반송 하류측에 마련되어 있다. 제2 접합 장치(15)는, 접합 위치로 도입된 길이가 긴 제2 광학 부재 시트(F2)의 하면에 대해서, 그 하부에서 반송되는 제1 편면 접합 패널(P11)의 상면(액정 패널(P)의 백라이트측)을 접합한다.
제2 접합 장치(15)는, 반송 장치(15a)와, 협압롤(15b)을 구비한다. 반송 장치(15a)는, 제2 광학 부재 시트(F2)를 돌려 감은 제2 원반롤(R2)로부터 제2 광학 부재 시트(F2)를 권출하면서 제2 광학 부재 시트(F2)를 그 길이 방향을 따라서 반송한다. 협압롤(15b)은, 반송 장치(15a)가 반송하는 제2 광학 부재 시트(F2)의 하면에 롤러 컨베이어(5)가 반송하는 제1 편면 접합 패널(P11)의 상면을 접합한다.
반송 장치(15a)는, 유지부(15c)와, 회수부(15d)를 가진다. 유지부(15c)는, 제2 광학 부재 시트(F2)를 돌려 감은 제2 원반롤(R2)을 유지함과 아울러 제2 광학 부재 시트(F2)를 그 길이 방향을 따라서 계속 내보낸다. 회수부(15d)는, 제2 절단 장치(16)를 거친 제2 광학 부재 시트(F2)의 잉여 부분을 회수한다. 반송 장치(15a)는, 제2 접합 장치(15)에서의 접합 위치에서, 제2 광학 부재 시트(F2)와 제1 편면 접합 패널(P11)이 접합되는 제2 광학 부재 시트(F2)의 접합면이 하부를 향하도록, 제2 광학 부재 시트(F2)의 반송 경로를 설정한다.
협압롤(15b)은, 서로 축방향을 평행하게 하여 배치된 한 쌍의 접합 롤러를 가진다. 한 쌍의 접합 롤러 사이에는 소정의 간극이 형성되며, 그 간극 내(內)가 제2 접합 장치(15)의 접합 위치가 된다. 상기 간극 내(內)에는, 제1 편면 접합 패널(P11) 및 제2 광학 부재 시트(F2)가 서로 겹쳐 도입된다. 이들 제 1 편면 접합 패널(P11) 및 제2 광학 부재 시트(F2)가, 상기 접합 롤러 사이에서 협압(挾壓, 끼워 가압)되면서 패널 반송 하류측으로 송출된다. 이것에 의해, 복수의 제1 편면 접합 패널(P11)을 소정의 간격을 두면서 길이가 긴 제2 광학 부재 시트(F2)의 하면에 연속적으로 접합한 제2 접합 시트(F22)(접합 시트)가 형성된다.
제2 절단 장치(16)는 협압롤(15b) 보다도 패널 반송 하류측에 위치한다. 제2 절단 장치(16)는, 제2 광학 부재 시트(F2)와 그 하면에 접합한 제1 편면 접합 패널(P11)의 제1 광학 부재 시트(F1)의 시트편(F1S)을 동시에 절단한다(도 4 참조). 제2 절단 장치(16)는, 제2 광학 부재 시트(F2)와 제1 광학 부재 시트(F1)의 시트편(F1S)을 표시 영역(P4)의 바깥 둘레 가장자리를 따라서(본 실시 형태에서는 액정 패널(P)의 바깥 둘레 가장자리를 따라서) 무단(無端) 모양으로 절단한다. 각 광학 부재 시트(F1, F2)를 액정 패널(P)에 접합한 후에 한꺼번에 컷함으로써, 각 광학 부재 시트(F1, F2)의 광학축 방향의 정밀도가 높아짐과 아울러, 각 광학 부재 시트(F1, F2) 사이의 광학축 방향의 어긋남이 없어지고, 또한 제1 절단 장치(13)에서의 절단이 간소화된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제2 광학 부재 시트(F2)와 시트편(F1S)을 동시에 절단하는 경우를 들고 있지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 광학 부재 시트(F2)만을 절단하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 구체적으로는, 제2 광학 부재 시트(F2)를 제1 편면 접합 패널(P11)에 대해서 조금 크게 접합한 후에, 제2 광학 부재 시트(F2)만을 절단할 수도 있다. 이 방법에 의하면, 제2 광학 부재 시트(F2)를 제1 편면 접합 패널(P11)에 접합할 때의 붙임 정밀도는 불필요해져, 액자를 절단하는 것도 가능해진다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 제2 절단 장치(16)의 절단에 의해, 액정 패널(P)의 상면에 제1 광학 부재(F11) 및 제2 광학 부재(F12)가 겹쳐 접합된 제2 편면 접합 패널(P12)(광학 부재 접합체, 제2 광학 부재 접합체)이 형성된다.
또 이 때, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 편면 접합 패널(P12)과, 표시 영역(P4)과의 대향 부분(각 광학 부재(F11, F12))이 잘라 내어져 프레임 모양으로 남는 각 광학 부재 시트(F1, F2)의 잉여 부분이 분리된다. 제2 광학 부재 시트(F2)의 잉여 부분은 복수개 줄지어 사다리 모양을 이루며, 이 잉여 부분이 제1 광학 부재 시트(F1)의 잉여 부분과 함께 회수부(15d)에 권취된다.
여기서,「표시 영역(P4)과의 대향 부분」이란, 표시 영역(P4)의 크기 이상, 액정 패널(P)의 외형 모양의 크기 이하의 크기를 가지는 영역이며, 또한, 전기 부품 장착부 등의 기능 부분을 피한 영역을 나타낸다. 본 실시 형태에서는, 평면에서 볼 때 직사각형 모양의 액정 패널(P)에서의 상기 기능 부분을 제외한 세 변에서는, 액정 패널(P)의 바깥 둘레 가장자리를 따라서 잉여 부분이 레이저 컷 되어 있다. 또, 상기 기능 부분에 상당하는 한 변에서는, 액정 패널(P)의 바깥 둘레 가장자리로부터 표시 영역(P4)측으로 적절하게 들어간 위치에서 잉여 부분이 레이저 컷 되어 있다.
도 1로 되돌아와, 제3 얼라이먼트 장치(17)는, 제2 접합 장치(15) 및 제2 절단 장치(16) 보다도 패널 반송 하류측에 마련되어 있다. 제3 얼라이먼트 장치(17)는, 액정 패널(P)의 백라이트측을 상면으로 한 제2 편면 접합 패널(P12)의 표면과 이면을 반전시켜 액정 패널(P)의 표시면측을 상면으로 함과 아울러, 상기 제1 얼라이먼트 장치(11) 및 제2 얼라이먼트 장치(14)와 동일한 얼라이먼트를 행한다. 즉, 제3 얼라이먼트 장치(17)는, 제어 장치(20)에 기억된 광학축 방향의 검사 데이터 및 상기 카메라의 촬상 데이터에 기초하여, 제3 접합 장치(18)에 대한 제2 편면 접합 패널(P12)의 부품폭 방향으로의 위치 결정 및 선회 방향으로의 위치 결정을 행한다. 이 상태에서, 제2 편면 접합 패널(P12)이 제3 접합 장치(18)의 접합 위치로 도입된다.
제3 접합 장치(18)는, 제3 얼라이먼트 장치(17) 보다도 패널 반송 하류측에 마련되어 있다. 제3 접합 장치(18)는, 접합 위치로 도입된 길이가 긴 제3 광학 부재 시트(F3)의 하면에 대해서, 그 하부에서 반송되는 제2 편면 접합 패널(P12)의 상면(액정 패널(P)의 표시면측)을 접합한다.
제3 접합 장치(18)는, 반송 장치(18a)와, 협압롤(18b)을 구비한다. 반송 장치(18a)는, 제3 광학 부재 시트(F3)를 돌려 감은 제3 원반롤(R3)로부터 제3 광학 부재 시트(F3)를 권출하면서 제3 광학 부재 시트(F3)를 그 길이 방향을 따라서 반송한다. 협압롤(18b)은, 반송 장치(18a)가 반송하는 제3 광학 부재 시트(F3)의 하면에 롤러 컨베이어(5)가 반송하는 제2 편면 접합 패널(P12)의 상면을 접합한다.
반송 장치(18a)는, 유지부(18c)와, 회수부(18d)를 구비한다. 유지부(18c)는, 제3 광학 부재 시트(F3)를 돌려 감은 제3 원반롤(R3)을 유지함과 아울러 제3 광학 부재 시트(F3)를 그 길이 방향을 따라서 계속 내보낸다. 회수부(18d)는, 협압롤(18b) 보다도 패널 반송 하류측에 위치하는 제3 절단 장치(19)를 거친 제3 광학 부재 시트(F3)의 잉여 부분을 회수한다.
반송 장치(18a)는, 제3 접합 장치(18)에서의 접합 위치에서, 제3 광학 부재 시트(F3)와 제2 편면 접합 패널(P12)이 접합되는 제3 광학 부재 시트(F3)의 접합면이 하부를 향하도록, 제3 광학 부재 시트(F3)의 반송 경로를 설정한다.
협압롤(18b)은, 서로 축방향을 평행하게 하여 배치된 한 쌍의 접합 롤러를 가진다. 한 쌍의 접합 롤러 사이에는 소정의 간극이 형성되고, 이 간극 내(內)가 제3 접합 장치(18)의 접합 위치가 된다. 상기 간극 내(內)에는, 제2 편면 접합 패널(P12) 및 제3 광학 부재 시트(F3)가 서로 겹쳐 도입된다. 이들 제 2 편면 접합 패널(P12) 및 제3 광학 부재 시트(F3)가, 상기 접합 롤러 사이에서 협압되면서 패널 반송 하류측으로 송출된다. 이것에 의해, 복수의 제2 편면 접합 패널(P12)을 소정의 간격을 두면서 길이가 긴 제3 광학 부재 시트(F3)의 하면에 연속적으로 접합한 제3 접합 시트(F23)(접합 시트)가 형성된다.
제3 절단 장치(19)는 협압롤(18b) 보다도 패널 반송 하류측에 위치하고, 제3 광학 부재 시트(F3)를 절단한다. 제3 절단 장치(19)는 제2 절단 장치(16)와 동일한 레이저 광 조사(照射) 장치(도 2, 도 3 참조)이다. 제3 절단 장치(19)는, 제3 광학 부재 시트(F3)를 표시 영역(P4)의 바깥 둘레 가장자리를 따라서(예를 들면 액정 패널(P)의 바깥 둘레 가장자리를 따라서) 무단(無端) 모양으로 절단한다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 제3 절단 장치(19)의 절단에 의해, 제2 편면 접합 패널(P12)의 상면에 제3 광학 부재(F13)가 접합된 양면 접합 패널(P13)(광학 부재 접합체, 제2 광학 부재 접합체)이 형성된다.
또 이 때, 도 2에 나타내는 바와 같이, 양면 접합 패널(P13)과, 표시 영역(P4)에 대향하는 대향 부분(제3 광학 부재(F13))이 잘라 내어져 프레임 모양으로 남는 제3 광학 부재 시트(F3)의 잉여 부분이 분리된다. 제3 광학 부재 시트(F3)의 잉여 부분은 제2 광학 부재 시트(F2)의 잉여 부분과 마찬가지로 복수개 줄지어 사다리 모양을 이루며, 이 잉여 부분이 회수부(18d)에 권취된다.
양면 접합 패널(P13)은, 미도시의 결함 검사 장치를 거쳐 결함(접합 불량 등)의 유무가 검사된 후, 하류 공정으로 반송되어 다른 처리가 이루어진다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(P)은, 예를 들면 TFT 기판으로 이루어지는 장방형 모양인 제1 기판(P1)과, 제1 기판(P1)에 대향하여 배치되는 동일하게 장방형 모양인 제2 기판(P2)과, 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)과의 사이에 봉입(封入)되는 액정층(P3)을 가진다. 또한, 도시 형편상, 단면도의 각 층의 해칭(hatching)을 생략한 것이다.
도 7, 8에 나타내는 바와 같이, 제1 기판(P1)은, 제1 기판(P1)의 바깥 둘레 가장자리의 세 변을 제2 기판(P2)의 대응하는 세 변을 따르게 함과 아울러, 바깥 둘레 가장자리의 나머지의 한 변을 제2 기판(P2)의 대응하는 한 변 보다도 외측으로 돌출시킨다. 이것에 의해, 제1 기판(P1)의 상기 한 변측에 제 2 기판(P2) 보다도 외측으로 돌출하는 전기 부품 장착부(P5)이 마련된다.
도 6, 8에 나타내는 바와 같이, 제2 절단 장치(16)는, 표시 영역(P4)의 바깥 둘레 가장자리를 카메라(16a) 등의 검출부로 검출하면서, 표시 영역(P4)의 바깥 둘레 가장자리 등을 따라서 제1 및 제2 광학 부재 시트(F1, F2)를 절단한다. 또, 제3 절단 장치(19)는, 동일하게 표시 영역(P4)의 바깥 둘레 가장자리를 카메라(19a) 등의 검출부로 검출하면서, 표시 영역(P4)의 바깥 둘레 가장자리 등을 따라서 제3 광학 부재 시트(F3)를 절단한다. 표시 영역(P4)의 외측에는, 제1 기판(P1) 및 제2 기판(P2)을 접합하는 씰제(seal劑) 등을 배치하는 소정 폭의 액자부(G)가 마련되며, 이 액자부(G)의 폭 내에서 각 절단 장치(16, 19)에 의한 레이저 컷이 이루어진다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 수지제의 광학 부재 시트(FX)를 단독으로 레이저 컷 하면, 광학 부재 시트(FX)의 절단 단부(t)가 열변형에 의해 부풀거나 물결치거나 하는 일이 있다. 이 때문에, 레이저 컷 후의 광학 부재 시트(FX)를 광학 표시 부품(PX)에 접합하는 경우에는, 광학 부재 시트(FX)에 에어 혼입이나 변형 등의 접합 불량이 생기기 쉽다.
한편, 도 10에 나타내는 바와 같이, 광학 부재 시트(FX)를 액정 패널(P)에 접합한 후에 광학 부재 시트(FX)를 레이저 컷하는 본 실시 형태에서는, 광학 부재 시트(FX)의 절단 단부(t)가 액정 패널(P)의 유리면에 백 업(back up)되기 때문에, 광학 부재 시트(FX)의 절단 단부(t)의 부풀음이나 물결침 등이 생기지 않고, 또한 액정 패널(P)로의 접합후이기 때문에 상기 접합 불량도 생길 수 없다.
레이저 가공기에 의해서 형성된 절단선의 편차폭(공차)은, 절단 칼날에 의해서 형성된 절단선의 편차폭 보다도 작고, 따라서 본 실시 형태에서는, 절단 칼날을 이용하여 광학 부재 시트(FX)를 절단하는 경우와 비교하여, 상기 액자부(G)의 폭을 좁히는 것이 가능하여, 액정 패널(P)의 소형화 및(또는) 표시 영역(P4)의 대형화가 가능하다. 이와 같은 광학 부재 시트는, 최근의 스마트 폰이나 타블렛 단말과 같이, 케이스의 사이즈가 제한되는 가운데 표시 화면의 확대가 요구되는 고기능 모바일에의 적용에 유효하다.
또, 광학 부재 시트(FX)를 액정 패널(P)의 표시 영역(P4)에 정합(整合)하는 시트편으로 컷한 후에 액정 패널(P)에 접합하는 경우, 상기 시트편 및 액정 패널(P) 각각의 치수 공차, 및 이들 상대 접합 위치의 치수 공차가 겹치기 때문에, 액정 패널(P)의 액자부(G)의 폭을 좁히는 것이 곤란하게 된다(표시 영역의 확대가 곤란하게 된다).
한편, 광학 부재 시트(FX)를 액정 패널(P)에 접합한 후에 표시 영역(P4)에 맞추어 컷하는 경우, 절단선의 편차 공차만을 고려하면 좋아, 액자부(G)의 폭의 공차를 작게 할 수 있다(±0.1mm 이하). 이 점에서도, 액정 패널(P)의 액자부(G)의 폭을 좁힐 수 있다(표시 영역의 확대가 가능해진다).
게다가, 광학 부재 시트(FX)를 칼날이 아니고 레이저로 컷함으로써, 절단시의 힘이 액정 패널(P)에 입력되지 않고, 액정 패널(P)의 기판의 단부 가장자리에 크랙이나 깨짐이 생기기 어려워져, 히트 사이클(heat cycle) 등에 대한 내구성이 향상한다. 마찬가지로, 액정 패널(P)에 비접촉이기 때문에, 전기 부품 장착부(P5)에 대한 데미지도 적다.
또한, 광학 부재 시트(FX)를 레이저로 컷하는 경우에, 레이저 조사의 단위 길이당 에너지는, 액정 패널(P)이나 광학 부재 시트(FX)의 두께나 구성을 고려하여 결정하는 것이 바람직하다.
본 실시 형태에서는, 광학 부재 시트(FX)를 레이저로 컷하는 경우에, 단위 길이당 에너지가, 0.01 ~ 0.11(J／mm)의 범위 내에서 레이저 조사를 행하는 것이 바람직하다. 레이저 조사에서, 단위 길이당 에너지가 너무 크면, 광학 부재 시트(FX)를 레이저로 컷하는 경우에, 광학 부재 시트(FX)가 데미지를 받을 우려가 있다. 그러나, 단위 길이당 에너지가, 0.01 ~ 0.11(J／mm)의 범위 내에서 레이저 조사를 행하는 것에 의해, 광학 부재 시트(FX)가 데미지를 받는 것을 막을 수 있다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 광학 부재 시트(FX)(도 7에서는 제3 광학 부재 시트(F3))를 레이저 컷하는 경우, 예를 들면 표시 영역(P4)의 하나의 장변의 연장 상에 레이저 컷의 시점(pt1)을 설정하고, 이 시점(pt1)으로부터 우선 상기 하나의 장변의 절단을 개시한다. 레이저 컷의 종점(pt2)은, 레이저가 표시 영역(P4)을 일주(一周)하여 표시 영역(P4)의 시점측의 단변의 연장 상에 이르는 위치에 설정한다. 시점(pt1) 및 종점(pt2)은, 광학 부재 시트(FX)의 잉여 부분에 소정의 접속 부분을 남기고, 광학 부재 시트(FX)를 권취할 때의 장력에 견딜 수 있도록 설정된다.
도 1로 되돌아와, 본 실시 형태의 제어 장치(20)는, 컴퓨터 시스템을 포함하여 구성되어 있다. 이 컴퓨터 시스템은, CPU 등의 연산 처리부(20a)와, 메모리나 하드 디스크 등의 기억부(20b)를 구비한다. 본 실시 형태의 제어 장치(20)는, 컴퓨터 시스템의 외부의 장치와의 통신을 실행할 수 있는 인터페이스를 포함한다. 제어 장치(20)에는, 입력 신호를 입력할 수 있는 입력 장치가 접속되어 있어도 괜찮다. 상기의 입력 장치는, 키보드, 마우스 등의 입력 기기, 혹은 컴퓨터 시스템의 외부의 장치로부터의 데이터를 입력할 수 있는 통신 장치 등을 포함한다. 제어 장치(20)는, 필름 접합 시스템(1)의 각 부의 동작 상황을 나타내는 액정 표시 디스플레이 등의 표시 장치를 포함하고 있어도 괜찮고, 표시 장치와 접속되어 있어도 괜찮다.
제어 장치(20)의 기억부(20b)에는, 컴퓨터 시스템을 제어하는 오퍼레이팅 시스템(OS)이 인스톨되어 있다. 제어 장치(20)의 기억부(20b)에는, 연산 처리부(20a)에 필름 접합 시스템(1)의 각 부를 제어시키는 것에 의해서, 필름 접합 시스템(1)의 각 부에 편광 필름(F)을 정밀도 좋게 반송시키기 위한 처리를 실행시키는 프로그램이 기록되어 있다. 기억부(20b)에 기록되어 있는 프로그램을 포함하는 각종 정보는, 제어 장치(20)의 연산 처리부(20a)가 읽어 낼 수 있다. 제어 장치(20)는, 필름 접합 시스템(1)의 각 부의 제어에 필요로 하는 각종 처리를 실행하는 ASIC 등의 논리 회로를 포함하고 있어도 괜찮다.
기억부(20b)는, RAM(Random　Access　Memory), ROM(Read　Only　Memory) 등과 같은 반도체 메모리나, 하드 디스크, CD－ROM 읽기 장치, 디스크형 기억 매체 등과 같은 외부 기억 장치 등을 포함하는 개념이다. 기억부(20b)는, 기능적으로는, 이동 장치(32)의 동작이나 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)(주사 소자)의 동작의 제어 순서가 기술된 프로그램 소프트를 기억하는 기억 영역, 도 3에 나타내는 소망한 궤적을 실현하기 위한 광학 부재 시트(FX) 내에서의 조사 위치를 좌표 데이터로서 기억하기 위한 기억 영역, 도 2에서의 XYZ의 각 방향으로의 제2 절단 장치(16)의 이동량을 기억하기 위한 기억 영역, 그 외 각종의 기억 영역이 설정된다.
(레이저 광 조사 장치)
도 2는, 광학 부재 시트의 절단부(절단 장치)로서 이용되는 레이저 광 조사 장치(30)의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 레이저 광 조사 장치(30)는, 테이블(31)과, 제2 절단 장치(16)로서의 스캐너와, 이동 장치(32)와, 제어 장치(33)를 구비하고 있다. 레이저 광 조사 장치(30)는, 광학 부재 시트(FX)에 레이저 광을 조사하여 광학 부재 시트(FX)를 소정 사이즈의 광학 부재(FS)로 절단하기 위한 장치이다. 또한, 도 2에서는 제2 절단 장치(16)로서의 스캐너를 들어 설명하지만, 제3 절단 장치(19)로서의 스캐너로 해도 적용 가능하다.
테이블(31)은, 광학 부재 시트(FX)(조사 대상물)를 유지하는 유지면(31a)을 가진다. 제2 절단 장치(16)는, 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)를 절단하기 위해서 광학 부재 시트(FX)에 레이저 광을 사출한다.
제2 절단 장치(16)는, 테이블(31)의 유지면(31a)과 평행한 평면 내(XY 평면 내)에서 레이저 광을 2축 주사 가능하다. 즉, 제2 절단 장치(16)는, 테이블(31)에 대해서 X 방향과 Y 방향으로 독립적으로 상대 이동 가능하게 되어 있으며, 이것에 의해, 테이블(31) 상의 임의의 위치에 제2 절단 장치(16)를 이동시켜, 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)의 임의의 위치에 정밀도 좋게 레이저 광을 조사하는 것이 가능하게 되어 있다.
이동 장치(32)는, 테이블(31)과 제2 절단 장치(16)를 상대 이동시킬 수 있다. 이동 장치(32)는, 테이블(31)과 제2 절단 장치(16)를, 유지면(31a)에 평행한 제1 방향(V1)(X 방향), 유지면(31a)에 평행 또한 제1 방향(V1)에 직교하는 제2 방향(V2)(Y 방향), 유지면(31a)의 법선 방향인 제3 방향(V3)(Z 방향)으로 상대 이동시킨다. 본 실시 형태에서, 이동 장치(32)는, 테이블(31)을 이동시키지 않고, 제2 절단 장치(16)만을 이동시킨다.
예를 들면, 제2 절단 장치(16)에는, 상기 제2 절단 장치(16)를 XYZ의 각 방향으로 이동 가능하게 하는 슬라이더 기구(도시 생략)가 마련되어 있다. 이동 장치(32)는, 슬라이더 기구가 내장하는 리니어 모터를 작동시켜 제2 절단 장치(16)를, XYZ의 각 방향으로 이동시킨다. 슬라이더 기구 내에서 펄스 구동되는 리니어 모터는, 상기 리니어 모터에 공급되는 펄스 신호에 의해서 출력축의 회전 각도 제어를 정밀하게 행할 수 있다. 따라서, 슬라이더 기구에 지지된 제2 절단 장치(16)의 XYZ의 각 방향 상의 위치를 고정밀도로 제어할 수 있다. 또한, 제2 절단 장치(16)의 위치 제어는 펄스 모터를 이용한 위치 제어에 한정되지 않고, 서보 모터(servo motor)를 이용한 피드백 제어나, 그 외 임의의 제어 방법에 의해서 실현할 수도 있다.
또한, 이동 장치에 의한 상대 이동의 방법은, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 절단 장치(16)를 이동시키지 않고 테이블(31)만을 이동시키거나, 테이블(31) 및 제2 절단 장치(16)의 쌍방을 이동시키거나 하는 것에 의해, 테이블(31)과 제2 절단 장치(16)를 상대 이동시키는 경우라도, 본 발명을 적용할 수 있다.
도 3은, 레이저 광 조사 장치(30)에서의 제2 절단 장치(스캐너)(16)의 내부 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 3에서는, 편의상, 이동 장치(32), 제어 장치(33)의 도시를 생략하고 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 절단 장치(16)는, 레이저 광 발진기(160), 제1 조사(照射) 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162), 집광 렌즈(163)를 구비하고 있다.
레이저 광 발진기(160)는, 레이저 광(L)을 발진하는 부재이다. 예를 들면, 레이저 광 발진기(160)로서는, CO2 레이저 광 발진기(이산화탄소 레이저 광 발진기), UV 레이저 광 발진기, 반도체 레이저 광 발진기, YAG 레이저 광 발진기, 엑시머 레이저(excimer laser) 광 발진기 등의 발진기를 이용할 수 있지만, 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않는다. 상기 예시의 발진기 중에서도 CO2 레이저 광 발진기는, 예를 들면 편광 필름의 절단 가공에 바람직한 고출력으로 레이저 광을 발진할 수 있으므로, 보다 바람직하다.
제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)는, 레이저 광 발진기(160)에 의해서 발진된 레이저 광을 유지면(31a)과 평행한 평면 내에서 2축 주사 가능한 주사(走査) 소자를 구성하고 있다. 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)로서는, 예를 들면, 갈바노 스캐너(galvano scanner)를 이용한다. 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)는, 레이저 광 발진기(160)와 집광 렌즈(163)와의 사이에서의 레이저 광의 광로 상에 이 순서로 배치되어 있다. 또한, 주사 소자로서는, 갈바노 스캐너에 한정하지 않고, 짐벌(gimbal)을 이용할 수도 있다.
제1 조사 위치 조정 장치(161)는, 미러(161a)와, 미러(161a)의 설치 각도를 조정하는 액추에이터(161b)를 구비하고 있다. 액추에이터(161b)는, Z 방향으로 평행한 회전축(161c)을 가지고 있다. 회전축(161c)은, 미러(161a)에 연결되어 있다. 액추에이터(161b)는, 제어 장치(33)의 제어에 기초하여, 미러(161a)를 Z축 둘레로 회전시킨다.
제2 조사 위치 조정 장치(162)는, 미러(162a)와, 미러(162a)의 설치 각도를 조정하는 액추에이터(162b)를 구비하고 있다. 액추에이터(162b)는, Y 방향으로 평행한 회전축(162c)을 가지고 있다. 회전축(162c)은, 미러(162a)에 연결되어 있다. 액추에이터(162b)는, 제어 장치(33)의 제어에 기초하여, 미러(162a)를 Y축 둘레로 회전시킨다.
레이저 광 발진기(160)에 의해서 발진된 레이저 광(L)은, 미러(161a), 미러(162a), 집광 렌즈(163)를 경유하여 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에 조사된다. 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)는, 제어 장치(33)의 제어에 기초하여, 레이저 광 발진기(160)로부터 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)를 향해서 조사되는 레이저 광의 조사 위치를 조정한다.
액추에이터(161b, 162b)는, 제어 장치(33)의 제어에 기초하여, 미러(161a, 162a)를 회전시켜, 광학 부재 시트(FX)를 향해서 조사되는 레이저 광(L)의 광로를 조정한다. 예를 들면, 레이저 광(L)의 광로를, 도 3에서 실선으로 나타내는 상태로부터 1점 쇄선으로 나타내는 상태 또는 2점 쇄선으로 나타내는 상태로 변경한다.
미러(161a) 및 미러(162a)의 회전에 의해, 레이저 광(L)의 광로가 실선으로 나타내는 상태에 위치되어 있는 경우에는, 레이저 광 발진기(160)에 의해서 발진된 레이저 광(L)은 집광점(Qa)에 집광된다.
미러(161a) 및 미러(162a)의 회전에 의해, 레이저 광(L)의 광로가 1점 쇄선으로 나타내는 상태로 위치되어 있는 경우에는, 레이저 광 발진기(160)에 의해서 발진된 레이저 광(L)은 집광점(Qa)으로부터 소정량 변위한 집광점(Qb)에 집광된다.
미러(161a) 및 미러(162a)의 회전에 의해, 레이저 광(L)의 광로가 2점 쇄선으로 나타내는 상태로 위치되어 있는 경우에는, 레이저 광 발진기(160)에 의해서 발진된 레이저 광(L)은 집광점(Qa)으로부터 소정량 변위한 집광점(Qc)에 집광된다.
이와 같은 구성에 의해, 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)는, 제어 장치(33)의 제어에 기초하여, 집광 렌즈(163)에 의해서 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에 집광되는 레이저 광(L)의 집광점 위치(Qa, Qb, Qc)를 조정한다.
집광 렌즈(163)는, 제2 절단 장치(16)의 선단부(광학 부재 시트(FX)와 대향하는 부분)에 배치되어 있다. 집광 렌즈(163)는, 레이저 광 발진기(160)로부터 발진되며, 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해 광로가 조정된 레이저 광(L)을 광학 부재 시트(FX)의 소정 위치에 집광한다.
예를 들면, 집광 렌즈(163)로서는, fθ 렌즈를 이용한다. 이것에 의해, 미러(162a)로부터 집광 렌즈(163)에 평행하게 입력된 실선과 1점 쇄선 및 2점 쇄선으로 나타내는 레이저 광(L)을 광학 부재 시트(FX)에 평행하게 집광시킬 수 있다.
제어 장치(33)는, 제2 절단 장치(16)로부터 사출되는 레이저 광(L)이 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에 대해 소망한 궤적을 그리도록, 이동 장치(32), 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)를 제어한다.
(레이저 광 조사 방법)
도 12는, 본 발명의 레이저 광 조사 방법의 일 실시 형태를 나타내는 플로우 차트이다.
본 실시 형태의 레이저 광 조사 방법은, 도 2에 나타내는 레이저 광 조사 장치(30)를 이용하여, 광학 부재 시트(FX)를 소정 사이즈의 광학 부재(FS)로 절단하기 위한 절단 방법이다. 본 실시 형태의 레이저 광 조사 방법은, 광학 부재 시트(FX)를 테이블(31)의 유지면(31a)에 유지하는 제1 스텝과, 테이블(31)과 제2 절단 장치(16)를 상대 이동시키면서 제2 절단 장치(16)로부터 유지면(31a)과 평행한 평면 내에서 2축 주사된 레이저 광을 광학 부재 시트(FX)에 조사하는 제2 스텝을 가진다. 제2 스텝에서는, 제2 절단 장치(16)로부터 조사되는 레이저 광이 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에서 소망한 궤적을 그리도록, 테이블(31)과 제2 절단 장치(16)를, 유지면(31a)에 평행한 제1 방향(V1)과 유지면(31a)에 평행 또한 제1 방향(V1)에 직교하는 제2 방향(V2)으로 상대 이동시키고, 또한, 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에 조사되는 레이저 광의 조사 위치를 조정시킨다.
이하, 레이저 광 조사 장치(30)를 이용하여 광학 부재 시트(FX)를 소정 사이즈의 광학 부재(FS)로 절단할 때까지의 동작을 설명한다.
먼저, 사용하는 광학 부재 시트(예를 들면 제1 광학 부재 시트(F1))의 원반롤(原反roll)(예를 들면 제1 원반롤(R1))을 유지부(12c)에 장전한다. 이 장전이 완료한 후, 오퍼레이터는, 조작 패널 등을 이용하여 초기 설정을 행한다(도 12에 나타내는 스텝 S1). 예를 들면, 상기 초기 설정에 의해, 광학 부재 시트의 절단 사이즈, 두께, 공급 속도, 레이저 광의 출력 및 초점 심도(深度), 유지부(12c)의 투입 속도, 롤러 컨베이어(5)의 반송 속도 등이 설정된다.
초기 설정이 완료하면, 롤러 컨베이어(5)는, 제어 장치(20)의 제어에 기초하여, 액정 패널(P)의 반송을 개시한다(도 12에 나타내는 스텝 S2).
액정 패널(P)에서는, 제어 장치(20)의 제어에 기초하여, 제1 얼라이먼트 장치(11)에 의한 얼라이먼트가 행해지고, 제1 접합 장치(12)에 의한 제1 접합 시트(F21)의 형성이 행해지고, 제1 절단 장치(13)에 의한 제1 편면 접합 패널(P11)의 형성이 행해지고, 제2 얼라이먼트 장치(14)에 의한 얼라이먼트가 행해지며, 제2 접합 장치(15)에 의한 제2 접합 시트(F22)의 형성이 행해진다.
그 후, 액정 패널(P)은, 소정의 위치에서 정지된다(도 12에 나타내는 스텝 S3). 예를 들면, 액정 패널(P)은, 제어 장치(20)의 제어에 기초하여, 테이블(31)의 유지면(31a)에 유지된다.
다음으로, 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에 레이저 광을 조사하여 광학 부재 시트로부터 소정의 사이즈의 광학 부재를 잘라 낸다(도 12에 나타내는 스텝 S4). 본 실시 형태에서, 제어 장치(33)는, 제어 장치(20)의 제어에 기초하여, 제2 절단 장치(16)로부터 조사되는 레이저 광이 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에서 소망한 궤적을 그리도록, 이동 장치(32)와 제1 조사 위치 조정 장치(161), 제2 조사 위치 조정 장치(162)의 제어를 행한다.
도 13은, 레이저 광을 광학 부재 시트(FX) 상에서 직사각형 모양으로 주사하기 위한 제어 방법을 나타내는 도면이다. 또한, 도 13에서, 부호 Tr은 목적으로 하는 레이저 광의 이동 궤적(소망한 궤적, 이하, '레이저 광 이동 궤적'이라고 하는 일이 있음)이다. 부호 Tr1은, 테이블(31)과 제2 절단 장치(16)와의 상대 이동에 의한 이동 궤적을 광학 부재 시트(FX)에 투영한 궤적(이하, '광원 이동 궤적'이라고 하는 일이 있음)을 나타낸다. 광원 이동 궤적(Tr1)은 직사각형 형상을 가지는 레이저 이동 궤적(Tr)의 4개의 각부(角部)를 만곡(灣曲)시킨 형상이며, 부호 SA1은 각부(角部) 이외의 직선 구간이고, 부호 SA2는 각부(角部)의 굴곡 구간이다. 부호 Tr2는 제2 절단 장치(16)가 광원 이동 궤적(Tr1) 상을 상대 이동하고 있을 때에 레이저 광의 조사 위치가 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해 광원 이동 궤적(Tr1)과 직교하는 방향으로 어느 정도 어긋나 있는지(조정되어 있는지)를 나타내는 곡선(이하, '조정 곡선'이라고 하는 일이 있음)을 나타낸다. 레이저 조사 위치의 어긋남량(조정량)은, 광원 이동 궤적(Tr1)과 직교하는 방향에서의 조정 곡선(Tr2)와 레이저 광 이동 궤적(Tr)과의 사이의 거리로 나타내어져 있다.
도 13에 나타내는 바와 같이, 광원 이동 궤적(Tr1)은, 각부(角部)가 만곡한 대략 직사각형의 이동 궤적을 그리고 있다. 광원 이동 궤적(Tr1)과 레이저 광 이동 궤적(Tr)은 대체로 일치하고 있으며, 각부(角部)가 좁은 영역에서만 양자의 형상이 다르게 되어 있다. 광원 이동 궤적(Tr1)이 직사각형 형상을 하고 있으면, 직사각형의 각부(角部)에서 제2 절단 장치(16)의 이동 속도가 늦어져, 각부(角部)가 레이저 광의 열에 의해서 부풀거나 물결치거나 하는 일이 있다. 이 때문에, 도 13에서는, 광원 이동 궤적(Tr1)의 각부(角部)를 만곡시켜 제2 절단 장치(16)의 이동 속도가 광원 이동 궤적(Tr1) 전체에서 대체로 일정하게 되도록 하고 있다.
만일, 종래의 노즐 방식을 이용한 경우, 레이저 광을 만곡 형상으로 주행시키면 절단 형상도 만곡 형상이 되어 버린다. 또, 레이저 광을 직사각형 모양으로 주행시키면 절단 형상은 직사각형 형상이 되지만, 각부(角部)가 열변형에 의해 부풀거나 물결치거나 해 버린다.
제어 장치(33)는, 제2 절단 장치(16)가 직선 구간(SA1)을 이동하고 있을 때는, 광원 이동 궤적(Tr1)과 레이저 광 이동 궤적(Tr)이 일치하고 있으므로, 레이저 광의 조사 위치를 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해 조정하지 않고, 그대로 제2 절단 장치(16)로부터 광학 부재 시트에 레이저 광을 조사시킨다. 한편, 제2 절단 장치(16)가 굴곡 구간(SA2)을 이동하고 있을 때는, 광원 이동 궤적(Tr1)과 레이저 광 이동 궤적(Tr)이 일치하지 않기 때문에, 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해 레이저 광의 조사 위치를 제어하여, 레이저 광의 조사 위치가 레이저 광 이동 궤적(Tr) 상에 배치되도록 한다. 예를 들면, 제2 절단 장치(16)가 부호 M1으로 나타내는 위치를 이동하고 있을 때에는, 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해 레이저 광의 조사 위치가 광원 이동 궤적(Tr1)과 직교하는 방향 N1으로 거리 W1만큼 늦추어진다. 거리 W1은, 광원 이동 궤적(Tr1)과 직교하는 방향 N1에서의 조정 곡선(Tr2)과 레이저 광 이동 궤적(Tr)과의 거리 W2와 같다. 광원 이동 궤적(Tr1)은 레이저 광 이동 궤적(Tr) 보다도 내측에 배치되어 있지만, 레이저 광의 조사 위치가 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해서 레이저 광 이동 궤적(Tr) 보다도 외측으로 늦추어지므로, 그러한 어긋남이 상쇄하여 레이저 광의 조사 위치가 레이저 광 조사 궤적(Tr) 상에 배치되게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에서의 레이저 광 조사 장치(30), 레이저 광 조사 방법에 의하면, 제어 장치(33)의 제어에 의해, 테이블(31)에 유지된 광학 부재 시트(FX)에서 소망한 궤적(Tr)을 그리도록, 이동 장치(32)와 조사 위치 조정 장치(161, 162)가 제어된다. 이 구성에서는, 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)에 의해 조정해야 할 레이저 광의 조사 구간은 좁은 굴곡 구간(SA2)뿐이다. 그 이외의 넓은 직선 구간(SA1)은, 이동 장치(32)에 의한 제2 절단 장치(16)의 이동에 의해서 레이저 광이 광학 부재 시트(FX) 상을 주사한다. 본 실시 형태에서는, 레이저 광의 주사를 주로 하여 이동 장치(32)에 의해서 행하고, 이동 장치(32)에서 정밀도 좋게 레이저 광의 조사 위치를 제어할 수 없는 영역만 제1 조사 위치 조정 장치(161) 및 제2 조사 위치 조정 장치(162)로 조정하고 있다. 이 때문에, 이동 장치(32)만으로 또는 제2 절단 장치(16)(스캐너)만으로 레이저 광을 주사하는 경우에 비해 레이저 광의 조사 위치를 넓은 범위에서 정밀도 좋게 제어할 수 있다.
또, 표시 영역(P4) 보다도 폭이 넓은 광학 부재 시트(F1, F2, F3)에 액정 패널(P)을 접합함으로써, 광학 부재 시트(F1, F2, F3)의 위치에 따라 그 광학축 방향이 변화하는 경우에도, 이 광학축 방향에 맞추어 액정 패널(P)을 얼라이먼트하여 접합할 수 있다. 이것에 의해, 액정 패널(P)에 대한 광학 부재(F11, F12, F13)의 광학축 방향의 정밀도를 향상시킬 수 있고, 광학 표시 디바이스의 정채(精彩) 및 콘트라스트를 높일 수 있다.
또, 표시 영역(P4) 보다도 큰 광학 부재 시트(F1, F2, F3)에 액정 패널(P)을 접합한 후에, 광학 부재 시트(F1, F2, F3)의 잉여 부분을 떼어 냄으로써, 표시 영역(P4)에 대응하는 사이즈의 광학 부재(F11, F12, F13)를 액정 패널(P)의 면 상(上)에 형성할 수 있다. 이것에 의해, 광학 부재(F11, F12, F13)를 표시 영역(P4)까지 정밀도 좋게 마련할 수 있고, 표시 영역(P4)의 외측에 위치하는 액자부(G)를 좁혀 표시 영역의 확대 및 기기의 소형화를 도모할 수 있다.
그리고, 각 광학 부재 시트(F1, F2, F3)가, 광학 표시 부품(PX)과의 접합 위치에서 점착층측의 접합면이 하부를 향하도록 반송됨으로써, 각 광학 부재 시트(F1, F2, F3)의 접합면의 흠이나 이물의 부착 등이 억제되어, 접합 불량의 발생을 억제할 수 있다.
또, 상기 광학 표시 디바이스의 생산 시스템은, 롤러 컨베이어(5) 상에서 반송되는 상기 제2 편면 접합 패널(P12)의 표면과 이면을 반전시키는 제3 얼라이먼트 장치(17)를 구비함으로써, 광학 표시 부품(PX)의 표면 및 이면의 양면에 대해서 광학 부재 시트(FX)를 상부로부터 용이하게 접합할 수 있다.
또, 본 실시 형태에서는, 조사 대상물에 레이저 광을 조사하여 소정의 가공을 행하는 구성으로서, 광학 부재 시트를 절단하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 광학 부재 시트를 적어도 두 개로 분할하는 것 외에, 광학 부재 시트에 관통하는 끊어진 자국을 형성하거나 광학 부재 시트에 소정 깊이의 홈(베인 자국)을 형성하는 것 등도, 본 발명에 포함되어 있다. 보다 구체적으로는, 예를 들면, 광학 부재 시트의 단부의 절단(잘라 떨어짐), 하프 컷, 마킹 가공 등도 포함되는 것으로 한다.
또, 본 실시 형태에서는, 레이저 광 조사 장치로부터 조사되는 레이저 광의 묘화(描畵) 궤적이 평면에서 볼 때 직사각형 형상(정방형 형상)인 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 레이저 광 조사 장치로부터 조사되는 레이저 광의 묘화 궤적이 평면에서 볼 때 삼각형 형상이라도 괜찮고, 평면에서 볼 때 오각형 이상의 다각형 형상이라도 괜찮다. 또, 본 발명은 이와 같은 형상에 한정하지 않고, 평면에서 볼 때 별 모양 형상 또, 평면에서 볼 때 기하학적 형상이라도 괜찮다. 이와 같은 묘화 궤적에서도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.
또, 본 실시 형태에서는, 롤 모양의 시트(광학 부재 시트를 돌려 감은 원반롤)를 인 라인(in line)으로 복수대 늘어 놓은 방식을 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 매엽(枚葉) 접합 방식에 서도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다. 또, 칩 모양의 시트를 접합하는 경우에도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다. 예를 들면, 편광 필름 등의 광학 부재를 액정 패널 등의 광학 표시 부품에 대해서 조금 크게 접합한 후에, 광학 부재만을 절단할 수도 있다. 이 방법에 의하면, 광학 부재를 광학 표시 부품에 접합할 때의 붙임 정밀도는 불필요해져, 액자를 절단하는 일도 가능해진다.
본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명하고, 상기에서 설명해 왔지만, 이들은 본 발명의 예시적인 것이며, 한정하는 것으로서 고려되어서는 안되는 것을 이해해야 한다. 추가, 생략, 치환, 및 그 외의 변경은, 본 발명의 범위로부터 일탈하지 않고 행할 수 있다. 따라서, 본 발명은, 전술의 설명에 의해서 한정되어 있다고 보여서는 안되며, 특허 청구의 범위에 의해서 제한되어 있다.
1 … 필름 접합 시스템(광학 부재 접합체의 제조 장치)
12 … 제1 접합 장치(접합 장치)
15 … 제2 접합 장치(접합 장치)
16 … 제2 절단 장치(스캐너)
18 … 제3 접합 장치(접합 장치)
19 … 제3 절단 장치(스캐너)
30 … 레이저 광 조사 장치
31 … 테이블
32 … 이동 장치
33 … 제어 장치
160 … 레이저 광 발진기
161 … 제1 조사 위치 조정 장치(주사 소자)
162 … 제2 조사 위치 조정 장치(주사 소자)
163 … 집광 렌즈
P … 액정 패널(광학 표시 부품)
P4 … 표시 영역
F1 … 제1 광학 부재 시트(광학 부재 시트)
F2 … 제2 광학 부재 시트(광학 부재 시트)
F3 … 제3 광학 부재 시트(광학 부재 시트)
F11 … 제1 광학 부재(광학 부재)
F12 … 제2 광학 부재(광학 부재)
F13 … 제3 광학 부재(광학 부재)
F21 … 제1 접합 시트(접합 시트)
F22 … 제2 접합 시트(접합 시트)
F23 … 제3 접합 시트(접합 시트)
P11 … 제1 편면 접합 패널(제1 광학 부재 접합체)
P12 … 제2 편면 접합 패널(광학 부재 접합체, 제2 광학 부재 접합체)
P13 … 양면 접합 패널(광학 부재 접합체, 제2 광학 부재 접합체)

Claims (8)

  1. 조사 대상물에 레이저 광을 조사(照射)하는 레이저 광 조사 장치로서,
    상기 조사 대상물을 유지하는 유지면을 가지는 테이블과,
    상기 유지면과 평행한 평면 내(內)에서 레이저 광을 2축 주사(走査) 가능한 스캐너와,
    상기 테이블과 상기 스캐너를 상대 이동 가능한 이동 장치를 포함하며,
    상기 스캐너는, 상기 이동 장치에 의한 상기 테이블과 상기 스캐너와의 상대 이동의 이동 궤적인 광원 이동 궤적과, 상기 조사 대상물에서의 소망한 상기 레이저 광의 이동 궤적인 레이저 광 이동 궤적과의 어긋남을 상쇄(相殺)하도록, 상기 조사 대상물에 조사되는 상기 레이저 광의 조사 위치를 조정하며,
    상기 광원 이동 궤적은, 상기 레이저 광 이동 궤적의 각부(角部)가 만곡되어 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하지 않는 굴곡 구간과, 상기 레이저 광 이동 궤적의 상기 각부 이외이며 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하는 직선 구간으로 구성되고,
    상기 굴곡 구간에서 상기 레이저 광의 상기 조사위치와 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하도록 상기 레이저 광의 상기 조사위치를 상기 스캐너가 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 광 조사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 스캐너는,
    상기 레이저 광을 발진하는 레이저 광 발진기와,
    상기 레이저 광 발진기에 의해서 발진된 상기 레이저 광을 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 2축 주사 가능한 주사 소자와,
    상기 주사 소자로부터 사출된 상기 레이저 광을 상기 조사 대상물을 향해서 집광하는 집광 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 광 조사 장치.
  3. 광학 표시 부품에 광학 부재를 접합하여 이루어지는 광학 부재 접합체의 제조 장치로서,
    상기 광학 표시 부품에, 상기 광학 표시 부품의 표시 영역 보다도 큰 광학 부재 시트를 접합시켜 접합 시트를 형성하는 접합 장치와,
    상기 표시 영역에 대향하는 상기 광학 부재 시트의 대향 부분과 상기 대향 부분의 외측에 위치하는 잉여 부분을 떼어 내고, 상기 광학 부재 시트로부터 상기 표시 영역에 대응하는 크기를 가지는 상기 광학 부재를 잘라 냄으로써, 상기 접합 시트로부터 상기 광학 표시 부품 및 상기 광학 표시 부품에 겹치는 상기 광학 부재를 포함하는 상기 광학 부재 접합체를 잘라 내는 절단 장치를 포함하며,
    상기 절단 장치는, 레이저 광 조사 장치에 의해서 구성되고, 상기 레이저 광 조사 장치로부터 조사된 레이저 광에 의해서 조사 대상물인 상기 광학 부재 시트를 절단하며,
    상기 레이저 광 조사 장치는,
    상기 조사 대상물을 유지하는 유지면을 가지는 테이블과,
    상기 유지면과 평행한 평면 내에서 레이저 광을 2축 주사 가능한 스캐너와,
    상기 테이블과 상기 스캐너를 상대 이동 가능한 이동 장치를 포함하며,
    상기 스캐너는, 상기 이동 장치에 의한 상기 테이블과 상기 스캐너와의 상대 이동의 이동 궤적인 광원 이동 궤적과, 상기 조사 대상물에서의 소망한 상기 레이저 광의 이동 궤적인 레이저 광 이동 궤적과의 어긋남을 상쇄(相殺)하도록, 상기 조사 대상물에 조사되는 상기 레이저 광의 조사 위치를 조정하며,
    상기 광원 이동 궤적은, 상기 레이저 광 이동 궤적의 각부(角部)가 만곡되어 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하지 않는 굴곡 구간과, 상기 레이저 광 이동 궤적의 상기 각부 이외이며 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하는 직선 구간으로 구성되고,
    상기 굴곡 구간에서 상기 레이저 광의 상기 조사위치와 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하도록 상기 레이저 광의 상기 조사위치를 상기 스캐너가 조정하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 접합체의 제조 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 스캐너는,
    상기 레이저 광을 발진하는 레이저 광 발진기와,
    상기 레이저 광 발진기에 의해서 발진된 상기 레이저 광을 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 2축 주사 가능한 주사 소자와,
    상기 주사 소자로부터 사출된 상기 레이저 광을 상기 조사 대상물을 향해서 집광하는 집광 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 접합체의 제조 장치.
  5. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 광학 부재 시트를 접합한 후의 상기 광학 표시 부품을 촬상하는 촬상 장치를 구비하고,
    상기 절단 장치는, 촬상 장치의 촬상 데이터에 기초하여 상기 표시 영역의 외주 가장자리를 따라서 상기 광학 부재 시트를 절단하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 접합체의 제조 장치.
  6. 조사 대상물에 레이저 광을 조사하는 레이저 광 조사 방법으로서,
    상기 조사 대상물을 테이블의 유지면에 유지하고,
    상기 테이블과 스캐너를 상대 이동시키면서 상기 스캐너로부터 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 2축 주사된 레이저 광을 상기 조사 대상물에 조사하며,
    상기 스캐너는, 상기 테이블과 상기 스캐너와의 상대 이동의 이동 궤적인 광원 이동 궤적과, 상기 조사 대상물에서의 소망한 상기 레이저 광의 이동 궤적인 레이저 광 이동 궤적과의 어긋남을 상쇄(相殺)하도록, 상기 조사 대상물에 조사되는 상기 레이저 광의 조사 위치를 조정하며,
    상기 광원 이동 궤적은, 상기 레이저 광 이동 궤적의 각부(角部)가 만곡되어 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하지 않는 굴곡 구간과, 상기 레이저 광 이동 궤적의 상기 각부 이외이며 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하는 직선 구간으로 구성되고,
    상기 굴곡 구간에서 상기 레이저 광의 상기 조사위치와 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하도록 상기 레이저 광의 상기 조사위치를 상기 스캐너가 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 광 조사 방법.
  7. 광학 표시 부품에 광학 부재를 접합하여 이루어지는 광학 부재 접합체의 제조 방법으로서,
    상기 광학 표시 부품에 상기 광학 표시 부품의 표시 영역 보다도 큰 광학 부재 시트를 접합시켜 접합 시트를 형성하고,
    상기 표시 영역에 대향하는 상기 광학 부재 시트의 대향 부분과 상기 대향 부분의 외측에 위치하는 잉여 부분을 떼어 내고, 상기 광학 부재 시트로부터 상기 표시 영역에 대응하는 크기를 가지는 상기 광학 부재를 잘라 냄으로써, 상기 접합 시트로부터 상기 광학 표시 부품 및 상기 광학 표시 부품에 겹치는 상기 광학 부재를 포함하는 상기 광학 부재 접합체를 잘라 내고,
    상기 광학 부재 접합체를 잘라내는 공정에서는, 레이저 광 조사 방법을 이용하여 레이저 광에 의해서 조사 대상물인 상기 광학 부재 시트를 절단하며,
    상기 레이저 광 조사 방법은,
    상기 조사 대상물을 테이블의 유지면에 유지하고,
    상기 테이블과 스캐너를 상대 이동시키면서 상기 스캐너로부터 상기 유지면과 평행한 평면 내에서 2축 주사된 레이저 광을 상기 조사 대상물에 조사하며,
    상기 스캐너는, 상기 테이블과 상기 스캐너와의 상대 이동의 이동 궤적인 광원 이동 궤적과, 상기 조사 대상물에서의 소망한 상기 레이저 광의 이동 궤적인 레이저 광 이동 궤적과의 어긋남을 상쇄(相殺)하도록, 상기 조사 대상물에 조사되는 상기 레이저 광의 조사 위치를 조정하며,
    상기 광원 이동 궤적은, 상기 레이저 광 이동 궤적의 각부(角部)가 만곡되어 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하지 않는 굴곡 구간과, 상기 레이저 광 이동 궤적의 상기 각부 이외이며 상기 광원 이동 궤적과 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하는 직선 구간으로 구성되고,
    상기 굴곡 구간에서 상기 레이저 광의 상기 조사위치와 상기 레이저 광 이동 궤적이 일치하도록 상기 레이저 광의 상기 조사위치를 상기 스캐너가 조정하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 접합체의 제조 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 광학 부재 접합체를 잘라내는 공정에서는, 상기 광학 부재 시트를 접합한 후의 상기 광학 표시 부품을 촬상하고, 그 촬상 데이터에 기초하여 상기 표시 영역의 외주 가장자리를 따라서 상기 광학 부재 시트를 절단하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 접합체의 제조 방법.
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