KR101562331B1 - 레이저 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 처리 장치로서, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 조사기를 구동시키는 레이저 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 형태는 레이저 조사가 이루어지는 동작 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 동작 펄스를 생성하는 동작 펄스 생성부; 레이저 조사가 이루어지기 전인 대기 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 대기 펄스를 생성하는 대기 펄스 생성부; 상기 동작 펄스 또는 대기 펄스 중 어느 하나의 펄스를 선택하여 레이저 조사기에 제공하는 스위칭부; 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되지 않는 경우 상기 대기 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 하며, 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임레이저 조사기의 움직임 상기 동작 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 상기 스위칭부를 제어하는 상대 이동 모듈 구동부;를 포함한다.

Description

레이저 처리 장치{Apparatus for processing laser}
본 발명은 레이저 처리 장치로서, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 조사기를 구동시키는 레이저 처리 장치에 관한 것이다.
기판이 대형화됨에 따라 박막 증착 후 어닐링(annealing)을 할 때 균일성을 확보하기 힘들어 여러 가지 대안들이 제시되고 있으며 그 중에 하나가 레이저를 이용한 어닐링 방법이다.
도 1은 종래의 레이저 열처리 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 도 1을 참조하면, 반응 챔버(10)의 상면에는 석영창(20)이 설치되며 석영창(20)의 위쪽에는 레이저 조사기(40)가 설치된다. 레이저 조사기(40)에서 출력되는 레이저(41)는 석영창(20)을 통과하여 반응 챔버(10) 내의 기판(W;wafer)에 조사된다.
도 2는 도 1의 레이저(41)를 설명하기 위한 도면이다. 도 2(a)는 기판을 위에서 내려다 본 상태를 나타낸 도면이며, 도 2(b)는 기판의 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저(41)는 라인 형태로 조사되며 커튼형태로 기판에 대해 수직하게 또는 약간의 기울기가 있는 상태로 조사된다. 기판(W)은 레이저(41)의 면에 대해서 수직 또는 약간 기울어진 방향으로 수평 이동하여 기판(W)의 전면에 레이저(41)의 조사가 이루어진다.
도 3은 레이저 조사기가 내부 모드(internal mode) 및 외부 모드(external mode)로 동작할 때의 모습을 도시한 그림이다. 레이저 조사기는 레이저를 조사하지 않더라도 대기 상태의 워밍업 상태를 유지하여야 한다. 이러한 워밍업의 대기 상태를 유지된 후 레이저 조사가 이루어져야 에너지 분포가 균일한 안정적인 레이저를 조사할 수 있기 때문이다.
이와 같이 레이저 조사기가 워밍업의 대기 상태를 유지하기 위하여, 외부로 레이저를 실제로 조사하지 않더라도 장치 내부적으로 레이저 발진이 지속적으로 이루어진다. 이를 위하여 레이저 조사기는 대기 상태를 유지하는 때에는 도 3(a)에 도시한 바와 같이 내부 모드로 동작하며, 자체적으로 구형 파형 형태의 펄스(내부 펄스)를 생성하고 이를 이용하여 발진 펄스를 만들어서 대기 상태의 레이저 발진에 이용한다.
한편, 대기 상태를 유지한 상태에서, 레이저 샷의 조사가 실제로 이루어져야 하는 경우, 레이저 샷(shot)의 발진에 사용되는 펄스(외부 펄스)를 외부의 장치로부터 제공받는다. 여기서 레이서 샷이라 함은 레이저가 발진되어 레이저 조사가 이루어지는 순간을 말하며, 발진 펄스의 상승(rising) 순간마다 레이저 샷이 조사되도록 구현할 수 있다. 따라서 발진 펄스의 주기가 짧을수록 레이저 샷의 주기가 짧아지며, 발진 펄스의 주기가 길수록 레이저 샷의 주기가 길어진다.
이와 같이 레이저 조사가 실제로 이루어져야 하는 경우, 레이저 조사기는 외부 모드로 전환하여 외부로부터 레이저 샷의 주기를 결정하는 외부 펄스를 입력받아 발진 펄스를 생성한다. 그런데, 외부 모드에서 내부 모드로 전환하여 외부 장치로부터 외부 펄스를 입력받아 발진 펄스로 사용하는 경우, 순간적인 모드의 전환으로 인하여 불안정한 발진 펄스의 파형이 발생할 수 있으며, 이로 인하여 조사된 레이저 샷의 에너지 손실이 발생하는 문제가 있다. 또한 내부 모드에서 외부 모드로 모드 전환 순간에 외부 펄스의 입력 지연이 발생되어 원래 계획했던 기판의 위치에 레이저를 조사하지 못하는 경우가 발생하는 문제가 있다.
한국공개특허 10-2011-0070265
본 발명의 기술적 과제는 레이저 발진의 모드 전환 시의 레이저 품질 저하를 방지하는데 있다. 또한 본 발명의 기술적 과제는 레이저 발진의 모드 전환 시의 발진 펄스의 지연이 발생되지 않도록 하는데 있다. 또한 본 발명의 기술적 과제는 레이저 조사기를 외부 모드로만 동작하도록 하는 수단을 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 형태는 레이저 조사가 이루어지는 동작 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 동작 펄스를 생성하는 동작 펄스 생성부; 레이저 조사가 이루어지기 전인 대기 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 대기 펄스를 생성하는 대기 펄스 생성부; 상기 동작 펄스 또는 대기 펄스 중 어느 하나의 펄스를 선택하여 레이저 조사기에 제공하는 스위칭부; 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되지 않는 경우 상기 대기 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 하며, 스테이지 또는 레이저의 움직임이 검출되는 경우 상기 동작 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 상기 스위칭부를 제어하는 상대 이동 모듈 구동부;를 포함한다.
스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 상기 동작 펄스 생성부에 제공하는 상대 이동 검출부;를 포함하며, 상기 동작 펄스 생성부는 상기 검출 신호를 입력받아 구형 펄스 형태의 동작 펄스를 생성한다.
상기 상대 이동 검출부는, 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 상기 상대 이동 모듈 구동부에 제공하며, 상기 상대 이동 모듈 구동부는 상기 검출 신호의 입력 주기에 따라 스테이지 이동 속도, 스테이지 위치를 산출한다.
상기 상대 이동 검출부는 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 상기 동작 펄스 생성부에 제공하는 스테이지 이동 검출부로 구현되며, 상기 스테이지 이동 검출부는, 스테이지의 측변에 대향된 위치에 눈금 표시된 스테이지 스케일; 스테이지의 측변에 위치하여, 상기 스테이지 스케일의 눈금이 감지될 때마다 검출 신호를 출력하는 인코더;를 포함한다.
상기 검출 신호는 교류파임을 특징으로 한다.
상기 레이저 조사기는, 외부로부터 레이저 발진의 주기를 결정하는 펄스를 외부로부터 입력받는 외부 모드로만 구동되고 있음을 특징으로 한다.
상기 동작 펄스 및 대기 펄스는, 구형파 형태를 가짐을 특징으로 한다.
상기 동작 펄스는, 상기 대기 펄스보다 피크치 전압이 낮음을 특징으로 한다.
상기 동작 펄스는, 상기 대기 펄스보다 주기가 짧음을 특징으로 한다.
상기 동작 펄스는, 상기 대기 펄스보다 상승 시간이 짧음을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 형태에 따르면 레이저 조사기의 외부 모드로 동작시에 대기 상태 및 동작 상태의 각각의 펄스를 스위칭 전환하여 제공함으로써, 발진 펄스의 지연이 발생되지 않는다. 또한 본 발명의 실시 형태에 따르면 발진 펄스에 대한 지연 및 노이즈를 개선함으로써, 양질의 레이저 조사가 이루어질 수 있다.
도 1은 종래의 레이저 열처리 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 도 1의 레이저를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 레이저 조사기가 내부 모드(internal mode) 및 외부 모드(external mode)로 동작할 때의 모습을 도시한 그림이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 처리 장치를 도시한 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 스테이지 스케일과 인코더를 도시한 그림이다.
도 6은 기존의 발진 펄스의 파형과 본 발명의 실시예에 따른 발진 펄스의 파형을 도시한 그림이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 처리 장치를 도시한 블록도이다.
이하에서 본 발명의 실시예는 레이저 처리 장치를 설명할 것이나, 이러한 레이저 처리 장치가 적용되는 기판 처리장치, 레이저 어닐링 장치, 레이저 열처리 장치에도 모두 적용 가능함은 자명할 것이다.
레이저 조사기(100)는 레이저를 발진하는 장치이다. 레이저 조사기(100)에서 발진되는 레이저는 반사 미러(미도시)에서 반사되어 공정 챔버 내의 기판의 표면의 방향으로 조사될 수 있다. 레이저 조사기(100)는 레이저를 발생시키는 공지의 구성으로서, 이용하고자 하는 레이저 빔의 파장에 따라 KrF 엑시머 레이저와, ArF 엑시머 레이저 등 다양한 종류의 것이 채용될 수 있다. 예컨대, 레이저 조사기(100)의 소스로서, Ar 레이저, Kr 레이저, 엑시머 레이저 등의 기체 레이저, 단결정의 YAG, YVO4, 포스테라이트(Mg2SiO4), YAlO3, GdVO4, 또는 다결정(세라믹스)의 YAG, Y2O3, YVO4, YAlO3, GdVO4에 도펀트로서 Nd, Yb, Cr, Ti, Ho, Er, Tm, Ta 중 1종 또는 다수 종 첨가한 것을 매질로 하는 레이저, 유리 레이저, 루비 레이저, 알렉산드라이트 레이저, Ti:사파이어 레이저, 구리 증기 레이저 또는 금 증기 레이저 중 1종 또는 다수 종으로부터 발진되는 것을 사용할 수 있다.
레이저 조사기(100)는 내부 모드(internal mode)와 외부 모드(external mode)로 동작할 수 있다. 레이저 조사기(100)가 내부 모드로 동작하는 경우에는 외부로부터 펄스를 제공받지 않고 자체적으로 구형 펄스를 생성하여 발진 펄스로 활용하여, 레이저 조사기(100)를 워밍업의 대기 상태로 여기시켜 놓는다. 이러한 워밍업의 대기 상태는 실제로 레이저가 조사되는 것이 아니라, 레이저 조사기(100) 내에서 레이저 발진 분위기를 유지하는 것이다. 레이저 조사기(100)의 경우 실제로 레이저를 조사하기 전에 워밍업의 대기 상태를 가진 후 레이저 조사가 이루어져야 좋은 품질의 레이저 조사가 이루어질 수 있다.
레이저 조사기(100)가 외부 모드로 동작하는 경우에는, 외부로부터 구형파 형태의 동작 펄스를 입력받아 발진 펄스로 활용하며, 발진 펄스의 주기에 맞추어 레이저 샷(laser shot)을 조사한다. 여기서 레이서 샷이라 함은 레이저가 발진되어 레이저 조사가 이루어지는 순간을 말하며, 예컨대, 발진 펄스의 상승(rising) 순간마다 레이저 샷이 발생되도록 구현할 수 있다. 따라서 발진 펄스의 주기가 짧을수록 레이저 샷의 주기가 짧아지며, 반대로 발진 펄스의 주기가 길수록 레이저 샷의 주기가 길어진다.
종래에는 내부 모드로서 자체적으로 펄스를 생성하여 대기 상태를 유지하다가, 공정을 위하여 레이저 조사가 이루어지는 순간에는 외부 모드로 전환하여 외부로부터 동작 펄스를 입력받아 발진 펄스로 활용하였다. 그러나 이러한 경우 모드 전환시에 외부로부터 동작 펄스를 입력받기 때문에 조사되는 레이저의 품질에 나쁜 영향을 미쳤다.
이를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예는 레이저 조사기(100)를 외부 모드로 항상 유지한 상태로, 외부의 레이저 처리 장치에서 대기 펄스 및 동작 펄스를 각각 스위칭하여 광원에 제공하는 레이저 처리 장치를 제시한다.
이하, 본 발명의 실시예는 레이저 조사기나 스테이지 중 어느 하나가 이동하는 경우, 즉, 레이저 조사기와 스테이지 간에 상대 이동이 발생되는 경우 동작 펄스를 레이저에 제공하는 것이다. 상대 이동 모듈 구동부는, 스테이지를 구동시키는 스테이지 구동부(700)와 레이저 조사기를 구동시키는 레이저 조사기 구동부(미도시)가 해당될 수 있다. 또한 상대 이동 검출부는 스테이지를 움직임을 검출하는 스테이지 이동 검출부(900)와 레이저 조사기의 움직임을 검출하는 레이저 조사기 이동 검출부(미도시)를 포함할 수 있다.
이하 설명에서는 스테이지가 이동하는 경우를 검출하여 구현되는 실시예를 기재하겠다. 따라서 이하 실시예에서 스테이지가 이동하는 경우를 예로 들어, 상대 이동 모듈 구동부를 도 4의 스테이지 구동부(700)로서 설명할 것이며, 상대 이동 검출부를 도 4의 스테이지 이동 검출부(900)로서 예를 들어 설명할 것이다.
그러나 레이저가 이동하는 경우에도 마찬가지로 적용될 수 있어, 상대 이동 모듈 구동부를 레이저 조사기 구동부(미도시)로 구현하며, 상대 이동 검출부를 레이저 이동 검출부(미도시)로 구현하여 적용될 수 있을 것이다.
스테이지가 이동하는 실시예에서의 레이저 처리 장치는, 동작 펄스 생성부(300), 대기 펄스 생성부(200), 스위칭부(400), 스테이지 이동 검출부(900), 스테이지 구동부(700)를 포함한다.
대기 펄스 생성부(200)는, 레이저 조사가 이루어지기 전인 대기 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 대기 펄스를 생성한다. 레이저 조사기(100)의 셔터(미도시)가 닫힌 상태로서 레이저가 외부로 조사되지는 않지만, 레이저 조사기(100)의 내부 상태를 레이저를 여기시킬 수 있을 정도의 주기의 펄스를 필요로 한다. 따라서 대기 펄스 생성부(200)는 이러한 대기 펄스를 생성하여 스위칭부(400)에 제공한다. 대기 펄스는 구형파 형태를 가지며, 예컨대, 550Hz/5V의 구형파 형태를 가진다. 대기 펄스가 550Hz의 주파수를 가지는 경우, 셔터에 막혀 외부로 조사되지는 않지만 내부에서 발진되는 레이저의 주기는 1/550Hz = 1818㎲의 주기로 발진된다. 이는 셔터가 닫힌 대기 상태에서는 레이저 조사기(100)의 내부 상태를 가스가 여기된 상태의 정도만 유지하면 되기 때문에 대기 펄스의 주기를 낮게 하는 것이다.
동작 펄스 생성부(300)는 레이저 조사가 이루어지는 동작 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 동작 펄스를 생성하여 스위칭부(400)에 제공한다. 동작 펄스는 기판에 레이저를 조사하는 경우에 조사되는 레이저 샷(shot)의 주기를 결정하는 발진 펄스로 활용된다. 펄스의 상승(rising) 시마다 레이저 샷의 발진이 이루어지도록 설계한 경우, 펄스의 주기가 빠를수록 레이저 샷의 주기가 빨라진다.
또한 동작 펄스는, 대기 펄스보다 피크치 전압이 낮으며, 대기 펄스보다 주기가 짧으며, 대기 펄스보다 상승 시간이 짧게 되도록 하는 구형파 형태를 가짐이 바람직하다. 대기펄스보다 피크치 전압, 주기, 상승 시간이 작게 되도록 설계함으로써, 레이저 조사기(100)의 레이저가 기판에 조사될 때 대기 상태에 있는 레이저 조사기(100)의 분위기를 레이저 동작 모드로 할 수 있다.
또한 동작 펄스 생성부(300)는 스테이지 이동 검출부(900)로부터 검출 신호를 입력받아 입력되는 검출 신호를 이용하여 구형파 형태의 동작 펄스를 생성한다. 이러한 검출 신호는 사인파 또는 코사인파 등과 같은 교류파의 형태를 가질 수 있는데, 동작 펄스 생성부(300)는 스테이지 이동 검출부(900)로부터 사인파 또는 코사인파와 같은 교류파를 입력받아, 입력되는 교류파를 이용하여 구형파 형태의 동작 펄스를 생성한다. 스테이지 이동 검출부(900)는 스테이지 이동이 검출 안되면 아무런 신호도 출력하지 않기 때문에, 결국, 스테이지의 이동이 없는 대기 상태에서는 검출 신호가 발생 안 된다. 따라서 이러한 대기 상태에서는 동작 펄스 생성부(300)는 교류파를 입력받지 못하기 때문에 동작 펄스를 생성할 수 없다. 반면에, 스테이지 이동이 검출되는 경우 스테이지 이동 검출부(900)는 교류파 형태의 검출 신호를 출력하게 되고, 동작 펄스 생성부(300)는 교류파를 입력받아 구형파 형태의 동작 펄스로 변환하여 출력할 수 있다.
스테이지 이동 검출부(900)는 스테이지의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 동작 펄스 생성부(300) 및 스테이지 구동부(700)에 제공한다. 이러한 검출 신호는 사인파 또는 코사인파 등과 같은 교류파의 형태를 가질 수 있다. 스테이지 이동 검출부(900)는 도 5에 도시한 바와 같이 스테이지의 측변에 대향된 위치에 눈금 표시된 스테이지 스케일(600)과, 스테이지의 측변에 위치하여 스테이지 스케일(600)의 눈금이 감지될 때마다 교류파를 출력하는 인코더(500)를 포함한다.
스테이지 스케일(600)은 글래스 재질 등으로 되어 있어 길이를 표시하는 눈금이 표시되어 있다. 스테이지가 이동될 때마다 스테이지에 달려있는 적어도 하나 이상의 인코더(500)는 대향하는 스테이지 스케일(600)의 눈금이 판독될 때마다 검출신호를 생성하여 동작 펄스 생성부(300) 및 스테이지 구동부(700)에 각각 제공한다. 인코더(500)는 스테이지의 이동에 의하여 스테이지 스케일(600)의 눈금을 판독할 때마다 사인파 또는 코사인파와 같은 교류파를 출력한다. 따라서 스테이지 이동 검출부(900)에서 교류파의 출력이 있다면 스테이지의 이동이 이루어지고 있음을 알 수 있다.
스위칭부(400)는 동작 펄스 생성부(300)에서 출력되는 동작 펄스 또는 대기 펄스 생성부(200)에서 생성되는 대기 펄스 중 어느 하나의 펄스를 선택하여 레이저 조사기(100)에 제공한다. 이때, 레이저 조사기(100)는 외부로부터 레이저 발진의 주기를 결정하는 펄스를 외부로부터 입력받는 외부 모드로만 구동되고 있다. 따라서 스위칭부(400)에서 선택되는 동작 펄스 또는 대기 펄스가 레이저 조사기(100)에 입력되어 레이저를 발진하는 발진 펄스로 활용되기 때문에 레이저 발진의 주기에 영향을 미치게 된다.
스테이지 구동부(700)는 레이저 조사기(100)에 동작 펄스를 제공할지, 대기 펄스를 제공할지를 결정하여 스위칭부(400)를 제어한다. 즉, 스테이지 구동부(700)는 스테이지의 움직임이 검출되지 않는 경우 상기 대기 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 하며, 스테이지의 움직임이 검출되는 경우 동작 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 스위칭부(400)를 제어한다. 스테이지 구동부(700)는 스테이지 이동 검출부(900)로부터 교류파의 입력이 있는 경우 스테이지 움직임이 있다고 판단하고, 레이저 조사의 공정이 시작되었다고 판단하여, 동작 펄스 생성부(300)에서 생성한 동작 펄스를 레이저 조사기(100)에 제공하는 스위칭이 이루어지도록 제어한다. 반면에 스테이지 이동 검출부(900)로부터 교류파를 포함한 아무런 신호가 입력되지 않는 경우 스테이지의 움직임이 없다고 판단하고, 레이저 조사기(100)가 대기 상태를 유지하도록 대기 펄스 생성부(200)에서 생성한 대기 펄스를 레이저 조사기(100)에 제공하는 스위칭이 이루어지도록 제어한다.
참고로, 스테이지 구동부(700)는 스테이지 이동 검출부(900)로부터 입력되는 검출 신호인 교류파의 입력에 따라 스테이지 이동 속도, 스테이지 위치를 산출할 수 있다. 예컨대, 스테이지 구동부(700)는 모터(800)를 이용하여 스테이지를 이동시킬 때 스테이지 스케일(600)의 눈금을 판독하며 원하는 거리만큼 스테이지를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 도 5(a)의 '0' 단위눈금으로 판독된 위치에 놓인 스테이지를, '10' 단위 눈금만큼 스테이지 스케일(600)의 길이 방향(+Y 방향)으로 스테이지를 이동시키고자 하는 경우, 스테이지 구동부(700)는 열 번의 검출 신호가 입력될 때까지 스테이지를 이동시키는데, 스테이지 구동부(700)는 스테이지 이동 중에 열 번의 검출 신호를 스테이지 이동 검출부(900)로부터 입력받게 되면 스테이지의 이동을 정지한다. 따라서 도 5(b)에 도시한 바와 같이 '10' 단위눈금의 위치에 스테이지(110)를 이동시켜 위치시킬 수 있다. 상기에서 단위눈금이라 표현하였는데, '단위 눈금'라 함은 스테이지 스케일(600)에 표시된 눈금 단위를 말하는 것으로서 ㎛, ㎜, ㎝ 등 다양한 단위가 해당될 수 있다.
상기와 같이, 레이저 조사기(100)를 외부 모드로 유지하며 외부로부터 레이저 발진에 사용되는 펄스를 입력받는 경우, 별도의 레이저 처리 장치를 두어 레이저 상태에 따라서 선택적으로 대기 펄스 또는 동작 펄스를 입력할 수 있다.
따라서 레이저 조사기(100)의 입장에서는 대기 상태이든 동작 상태이든, 모드 전환없이 외부 모드인 상태에서 지속적으로 펄스가 들어오기 때문에 노이즈나 지연을 최소로 할 수 있다.
참고로 도 6(a)는 기존의 레이저 조사기(100)에서 내부 모드로 동작하며 자체적으로 대기 펄스를 생성하여 대기 상태를 유지하다가 외부 모드로 전환하여 외부로부터 동작 펄스를 입력받아, 레이저 발진을 위해 생성한 발진 펄스를 도시한 그래프이다. 펄스의 상승 시간이 지연되며, 또한 상승이 완만하게 이루어지고 있지 않음을 알 수 있다. 그러나 본 발명의 실시예에 따라 레이저 조사기(100)를 외부 모드로 동작시키며, 외부에서 대기 펄스 및 동작 펄스를 선택적으로 입력해줌으로서, 도 6(b)에 도시한 바와 같이 발진 펄스가 개선됨을 알 수 있다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.
100:레이저 조사기 200:대기 펄스 생성부
300:동작 펄스 생성부 400:스위칭부
500:인코더 600:스테이지 스케일
700:스테이지 구동부 800:모터
900:스테이지 이동 검출부

Claims (10)

  1. 레이저 조사가 이루어지는 동작 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 동작 펄스를 생성하는 동작 펄스 생성부;
    레이저 조사가 이루어지기 전인 대기 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 대기 펄스를 생성하는 대기 펄스 생성부;
    상기 동작 펄스 또는 대기 펄스 중 어느 하나의 펄스를 선택하여 레이저 조사기에 제공하는 스위칭부;
    스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되지 않는 경우 상기 대기 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 하며, 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 경우 상기 동작 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 상기 스위칭부를 제어하는 상대 이동 모듈 구동부;를 포함하고,
    스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 상기 동작 펄스 생성부에 제공하는 상대 이동 검출부;를 포함하며,
    상기 상대 이동 검출부는 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 상기 동작 펄스 생성부에 제공하는 스테이지 이동 검출부로 구현되고, 상기 스테이지 이동 검출부는,
    스테이지의 측변에 대향된 위치에 눈금 표시된 스테이지 스케일; 및 스테이지의 측변에 위치하여, 상기 스테이지 스케일의 눈금이 감지될 때마다 검출 신호를 출력하는 인코더;를 포함하는 레이저 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 동작 펄스 생성부는 상기 검출 신호를 입력받아 구형 펄스 형태의 동작 펄스를 생성하는 레이저 처리 장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 상대 이동 검출부는, 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 구간에서 검출 신호를 출력하여 상기 상대 이동 모듈 구동부에 제공하며, 상기 상대 이동 모듈 구동부는 상기 검출 신호의 입력 주기에 따라 스테이지 이동 속도, 스테이지 위치를 산출하는 레이저 처리 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 레이저 조사기는, 외부로부터 레이저 발진의 주기를 결정하는 펄스를 외부로부터 입력받는 외부 모드로만 구동되고 있음을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
  5. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 검출 신호는 교류파임을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
  6. 레이저 조사가 이루어지는 동작 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 동작 펄스를 생성하는 동작 펄스 생성부;
    레이저 조사가 이루어지기 전인 대기 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 대기 펄스를 생성하는 대기 펄스 생성부;
    상기 동작 펄스 또는 대기 펄스 중 어느 하나의 펄스를 선택하여 레이저 조사기에 제공하는 스위칭부; 및
    스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되지 않는 경우 상기 대기 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 하며, 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 경우 상기 동작 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 상기 스위칭부를 제어하는 상대 이동 모듈 구동부;를 포함하고,
    상기 레이저 조사기는, 외부로부터 레이저 발진의 주기를 결정하는 펄스를 외부로부터 입력받는 외부 모드로만 구동되고 있음을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
  7. 레이저 조사가 이루어지는 동작 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 동작 펄스를 생성하는 동작 펄스 생성부;
    레이저 조사가 이루어지기 전인 대기 상태일 때의 레이저 발진에 사용되는 대기 펄스를 생성하는 대기 펄스 생성부;
    상기 동작 펄스 또는 대기 펄스 중 어느 하나의 펄스를 선택하여 레이저 조사기에 제공하는 스위칭부; 및
    스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되지 않는 경우 상기 대기 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 하며, 스테이지 또는 레이저 조사기의 움직임이 검출되는 경우 상기 동작 펄스가 레이저 조사기에 제공되도록 상기 스위칭부를 제어하는 상대 이동 모듈 구동부;를 포함하고,
    상기 동작 펄스 및 대기 펄스는, 구형파 형태를 가짐을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
  8. 청구항1 또는 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 동작 펄스는, 상기 대기 펄스보다 피크치 전압이 낮음을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
  9. 청구항1 또는 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 동작 펄스는, 상기 대기 펄스보다 주기가 짧음을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
  10. 청구항1 또는 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 동작 펄스는, 상기 대기 펄스보다 상승 시간이 짧음을 특징으로 하는 레이저 처리 장치.
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