KR101559243B1 - 세라믹 조성물, 세라믹 소결체 및 이의 제조방법 - Google Patents

세라믹 조성물, 세라믹 소결체 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 세라믹 조성물 및 세라믹 소결체의 제조방법에 관한 것으로, 상기 세라믹 조성물은 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제, 및 용매를 포함하며, 상기 분산제와 용매는 특정 조건으로 포함될 수 있으며, 본 발명에 따른 세라믹 조성물의 소결물로 형성된 세라믹 소결체는 높은 균일성을 가지며, 높은 열전도성 및 낮은 열전도성을 나타내어, 다양한 응용분야에 적용할 수 있다.

Description

세라믹 조성물, 세라믹 소결체 및 이의 제조방법{Ceramic composition, ceramic sinter and manufacturing method thereof}
본 발명은 세라믹 조성물, 세라믹 소결체 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
종래의 금속 재료와 비교하여 강도, 내열성, 내식성, 내마모성과 경량성 등과 같은 다양하고 우수한 특성을 가진 세라믹 소결체는, 반도체 보드 형성용, 전자기기 재료, 엔진 부품, 고속 절삭 공구용 재료, 노즐, 베어링 등의 분야에 적용되고 있다. 특히, 높은 온도, 응력, 마모 조건 하에서 사용되는 기계 부품, 기능성 부품, 구조재나 장식재에 널리 사용되고 있다.
특히, 질화 알루미늄(AlN) 소결체는 우수한 열전도성을 갖는 절연체이며, 실리콘(Si)에 가까운 열팽창 계수를 갖기 때문에, 고집적화 반도체 장치의 기판이나 방열판으로서 더 널리 사용되고 있다.
종래의 상기 질화 알루미늄 소결체는 일반적으로 하기 제조 방법에 의해 양산되고 있다. 즉, Y2O3와 같은 소결제, 유기 바인더, 필요에 따라 각종 첨가제, 용매와 분산제를 질화 알루미늄의 원재료 분말에 첨가하여, 재료의 혼합 분말을 얇은 판 형상이나 시트 모양의 성형체로 성형하거나, 두꺼운 판이나 대형의 성형체로 성형된다. 그 후, 성형체가 조밀하게 소결되도록 높은 온도로 가열하여 질화알루미늄 소결체가 형성한다.
질화 알루미늄(AlN)은 난소결성(sinter-resisting) 세라믹으로, 세라믹의 열저항이 증가하는 것을 방지하기 위해서, 산화 이트륨(Y2O3) 등과 같은 희토류 산화물을 소결제로서 사용하는 방법이 일반적으로 채택되고 있다. 이러한 소결제는 AlN 재료 분말에 포함된 산소와 반응한다. 구체적으로, 열전도성을 증가시키는 불순물 산소를 입계 상(grain boundary phase)으로서 고정하여, 고열전도성의 소결체를 얻을 수 있었다.
한국공개특허 제2006-0120200호
본 발명은 세라믹 조성물, 세라믹 소결체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상기 세라믹 조성물은 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제, 및 용매를 포함하며, 상기 분산제와 용매는 특정 조건으로 포함될 수 있다.
본 발명은 세라믹 조성물을 제공할 수 있다. 상기 세라믹 조성물의 하나의 예로서,
질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더;
분산제; 및
용매를 포함하며, 하기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하는 세라믹 조성물을 제공할 수 있다.
[조건 1]
분산제는 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체이고, 용매는 에탄올이고,
[조건 2]
분산제는 인산 에스테르계 공중합체이고, 용매는 메틸에틸케톤이다.
또한, 본 발명은 상기 세라믹 조성물의 소결물을 포함하는 세라믹 소결체를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은 세라믹 소결체의 제조방법을 제공할 수 있다. 하나의 예로서,
하기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하며, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계;
제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계;
분리된 슬러리 필름을 탈지하는 단계; 및
탈지된 슬러리 필름을 소결하는 단계를 포함하는 세라믹 소결체 제조방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 세라믹 조성물의 소결물로 형성된 세라믹 소결체는 높은 균일성을 가지며, 높은 열전도성 및 낮은 열전도성을 나타내어, 다양한 응용분야에 적용할 수 있다.
도 1은 일 실험예에서, 슬러리의 침강 실험 결과를 나타낸 사진이다.
도 2는 일 실험예에서, 슬러리의 침강 실험에 있어서, 18 시간 방치 시간에 따른 상대 침강높이를 나타낸 그래프이다.
도 2 및 도 3은 일 실시예에서, 본 발명에 따른 슬러리로 제조된 그린 시트의 SEM 사진이다.
도 4 및 도 5는 비교예에 따른 슬러리로 제조된 그린 시트의 SEM 사진이다.
본 발명은 세라믹 조성물, 세라믹 소결체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상기 세라믹 조성물의 하나의 예로서,
질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더;
분산제; 및
용매를 포함하며, 하기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하는 세라믹 조성물을 포함할 수 있다.
[조건 1]
분산제는 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체이고, 용매는 에탄올이고,
[조건 2]
분산제는 인산 에스테르계 공중합체이고, 용매는 메틸에틸케톤이다.
구체적으로, 상기 세라믹 조성물은 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매를 포함하며, [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족함으로써, 보다 높은 밀도와 높은 분산성을 갖는 세라믹 조성물을 제조할 수 있다.
상기 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더는,
질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로, 산화 이트륨을 1 내지 8 중량부 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 질화 알루미늄-산화 이트륨(AlN-Y2O3) 파우더는 질화 알루미늄에 소결제로서 산화 이트륨을 결합한 것으로, 이를 포함하는 조성물을 이용한 소결체를 이용하여 높은 열전도성을 갖는 절연체를 제조할 수 있다. 이때, 상기 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로 산화 이트륨을 1 내지 8 중량부, 2 내지 6 중량부 또는 4 내지 6 중량부를 포함할 수 있다. 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 내에 산화 이트륨의 함량을 상기 범위 내로 조절함으로써, 높은 열전도성을 구현할 수 있다.
상기 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로,
분산제 0.1 내지 3 중량부 및
용매 400 내지 500 중량부를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 [조건 1] 및 [조건 2]에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로, 분산제는 0.1 내지 2 중량부, 0.1 내지 1.5 중량부 또는 0.1 내지 1 중량부를 포함할 수 있으며, 용매는 400 내지 480 중량부, 420 내지 480 중량부 또는 440 내지 470 중량부를 포함할 수 있다. 상기 범위 내로 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매의 함량을 조절함으로써, 보다 높은 밀도 및 높은 분산성을 갖는 세라믹 조성물을 제조할 수 있다.
구체적으로, 상기 [조건 1]에 있어서, 분산제는 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체로서, 구체적으로, 폴리옥시에틸렌-폴리옥시프로필렌과 무수 말레산의 공중합체를 사용할 수 있다. 또한, 상업적으로 입수 가능하며, 예를 들어, 통상적으로 시판되는 일본유지(日本油脂) 사의 제품인 AFB-1521를 사용할 수 있다.
또한, 상기 [조건 2]에 있어서, 분산제는 인산 에스테르계 공중합체로서, 구체적으로, 에틸렌글리콜/폴리카프로락톤 공중합체의 인산에스테르를 사용할 수 있다. 또한, 상업적으로 입수 가능하며, 예를 들어, 통상적으로 시판되는 빅크케미 재팬(ビックケミ?ジャパン) 사의 BYK-111를 사용할 수 있다.
상기 세라믹 조성물은 바인더 및 가소제를 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 바인더는 폴리비닐부틸알을 포함하고,
가소제는 폴리에틸렌글리콜을 포함할 수 있다.
상기 세라믹 조성물에 바인더 조성물을 더 포함함으로써, 세라믹 조성물을 이용하여 제조한 세라믹 소결체의 강도를 높일 수 있다. 또한, 세라믹 조성물에 가소제를 더 포함함으로써, 세라믹 조성물을 이용하여 제조한 세라믹 소결체의 유연성, 탄성, 가공성 등을 높일 수 있다.
상기 바인더 및 가소제는 [조건 1] 및 [조건 2] 모두의 경우에 포함할 수 있다.
상기 [조건 1]에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로,
분산제 0.1 내지 3 중량부,
용매 80 내지 110 중량부,
바인더 10 내지 20 중량부 및
가소제 5 내지 10 중량부를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 조건 1에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로, 분산제로서 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체를 0.1 내지 2 중량부 또는 0.5 내지 1.5 중량부를 포함할 수 있고, 용매로서, 에탄올을 85 내지 100 중량부 또는 90 내지 100 중량부를 포함할 수 있고, 바인더로서 폴리비닐부틸알을 10 내지 18 중량부 또는 10 내지 15 중량부를 포함할 수 있으며, 가소제로서 폴리에틸렌글리콜을 5 내지 10 중량부를 포함할 수 있다. 상기 범위 내로 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제, 용매, 바인더 및 가소제의 함량을 조절함으로써, 보다 높은 밀도 및 높은 분산성을 갖는 세라믹 조성물을 제조할 수 있다. 또한, 상기 세라믹 조성물은 바인더 및 가소제를 더 포함함으로써, 상기 세라믹 조성물을 이용하여 제조한 세라믹 소결체의 강도, 유연성, 탄성, 가공성 등을 높일 수 있다.
[조건 2]에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로,
분산제 1 내지 5 중량부,
용매 40 내지 60 중량부,
바인더 5 내지 10 중량부 및
가소제 0.5 내지 5 중량부를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 조건 2에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로, 분산제로서 인산 에스테르계 공중합체를 1 내지 4 중량부 또는 2 내지 4 중량부를 포함할 수 있고, 용매로서 메틸에틸케톤을 40 내지 55 중량부 또는 45 내지 50 중량부를 포함할 수 있고, 바인더로서 폴리비닐부틸알을 5.5 내지 9 중량부 또는 7 내지 9 중량부를 포함할 수 있으며, 가소제로서 폴리에틸렌글리콜을 0.5 내지 4 중량부 또는 1 내지 3 중량부를 포함할 수 있다. 상기 범위 내로 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제, 용매, 바인더 및 가소제의 함량을 조절함으로써, 상기 설명한 바와 같이 우수한 세라믹 조성물의 물성 및 세라믹 소결체의 물성을 구현할 수 있다.
본 발명은 상기 세라믹 조성물의 소결물을 포함하는 세라믹 소결체를 제공할 수 있다.
예를 들어, 상기 [조건 1] 및 [조건 2]를 만족하고, 바인더 및 소결체를 포함할 수 있으며, 상기 함량을 만족하는 세라믹 조성물을 소결하여 제조된 소결물을 포함하는 세라믹 소결체를 제공할 수 있다.
이렇게 제조된 세라믹 소결체는 열 전도도가 150 내지 250 W/mK이며,
전기 저항이 1012 내지 1016일 수 있다.
구체적으로, 상기 세라믹 소결체는 높은 열전도성을 갖는 절연체일 수 있다. 이는, 상기 열 전도도 및 전기 저항을 통해 확인할 수 있다. 예를 들어, 상기 열전도도는 160 내지 250 W/mK, 180 내지 250 W/mK 또는 180 내지 230 W/mK일 수 있고, 상기 전기 저항은 1013 내지 1016 Ω?cm, 5＊1013 내지 1015 Ω?cm 또는 5＊1013 내지 5＊1014 Ω?cm일 수 있다. 상기 범위 내의 열전도도 및 전기 저항을 조절함으로써, 높은 열전도도를 갖는 절연체인 세라믹 소결체를 제조할 수 있다.
본 발명은 세라믹 소결체의 제조방법을 제공할 수 있다. 하나의 예로서,
하기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하며, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계;
제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계;
분리된 슬러리 필름을 탈지하는 단계; 및
탈지된 슬러리 필름을 소결하는 단계를 포함하는 세라믹 소결체 제조방법을 제공할 수 있다.
[조건 1]
분산제는 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체이고, 용매는 에탄올이고,
[조건 2]
분산제는 인산 에스테르계 공중합체이고, 용매는 메틸에틸케톤이다.
이때, 상기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하며, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매를 포함하는 슬러리는 바인더 및 가소제를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 바인더 및 가소제는 상기 설명한 바와 동일할 수 있다.
이를 통해, 상기 슬러리는 높은 분산성 및 높은 밀도를 나타낼 수 있으며, 이는, 침강 실험을 통해 확인할 수 있다.
하나의 예로서, 슬러리 100 ml를 매스실린더에 혼합하여 침강 실험에 있어서,
상등액과 슬러리의 경계면을 침강면이라고 할 때, 18 시간 방치 시, 초기 슬러리 높이에 대한 시간에 따른 침강면의 높이의 비인 상대 침강높이는 85 내지 99%이일 수 있다. 구체적으로, 상기 범위 내의 상대 침강높이는 침강 속도가 느리다는 것을 나타낼 수 있으며, 이를 통해, 본 발명에 따라 제조된 슬러리는 균일하게 분산되어 있다는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 20 주간 방치 시, 초기 슬러리 높이에 대한 시간에 따른 침강면의 높이의 비인 최종 침강높이는 8 내지 12%일 수 있다. 상기 범위 내의 최종 침강높이를 통해, 상기 슬러리가 높은 밀도로 형성되어 있다는 것을 확인할 수 있었다.
하나의 예로서, 상기 조건 1 또는 2를 만족하며, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매를 포함하는 슬러리는 볼밀용기 내에서 교반을 통해 제조할 수 있다. 그런 다음, 코팅 전에 슬러리 중의 기포를 제거하기 위하여, 상기 슬러리를 메쉬(mesh) 크기의 천을 이용한 여과 공정 및 감압 공정을 수행할 수 있다.
그런 다음, 제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계를 수행할 수 있다.
예를 들어, 상기 코팅 공정은 닥터 블레이드 코팅 및 테이프 캐스팅 등의 방법을 이용하여 수행할 수 있다. 이때, 블레이드의 간격 및 테이프 이동 속도 등을 조절하여 원하는 크기의 얇은 판 형상이나 시트 형상으로 성형할 수 있다.
상기 제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계는 3 내지 20회 수행하고, 분리된 슬러리 필름을 적층하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 코팅 및 코팅된 슬러리 필름을 분리하는 단계는 3 내지 20회 반복 수행하고 분리된 슬러리 필름을 적층하여 두꺼운 판이나 대형 소결체로 제조할 수 있다.
제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계 이후에, 분리된 슬러리 필름을 가압하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 코팅 및 분리 단계를 통해 분리된 슬러리 필름을 60 내지 80°에서 웜 프레스(warm press) 공정을 통해 세라믹 소결체를 제조할 수 있다. 또한, 경우에 따라서, 상기 코팅 및 분리 단계를 반복 수행하여 여러 개의 분리된 슬러리 필름을 적층한 후, 상기 웜 프레스(warm press) 공정을 통해 여러 층의 적층 세라믹 소결체를 제조할 수 있다.
그런 다음, 상기 분리된 슬러리 필름을 탈지하는 단계를 수행할 수 있다. 상기 탈지하는 단계는,
구체적으로, 진공 및 비활성 분위기 하에서, 300 내지 500℃의 온도에서 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 탈지 공정은 진공 및 질소 분위기 하에서 상기 온도 범위로 수행함으로써, 유기물을 제거할 수 있다.
그런 다음, 상기 탈지된 슬러리 필름을 소결하는 단계를 수행할 수 있다. 소결하는 단계는,
비활성 분위기 하에서, 1500 내지 1800℃의 온도에서 수행할 수 있다.
구체적으로, 질소 분위기 하에서, 1500 내지 1800℃의 고온에서 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 소결 단계는 질소 분위기 하에서 상기 온도 범위로 수행함으로써, 제조된 세라믹 소결체의 물성을 상기 설명한 바와 같이 구현할 수 있다.
그런 다음, 냉각하여 세라믹 소결체를 제조할 수 있다.
또 하나의 예로서, 바인더 및 가소제를 더 포함할 경우, 상기 조건 1 또는 2를 만족하며, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더, 분산제 및 용매를 포함하는 슬러리는 볼밀용기 내에서 교반을 통해 제조할 수 있다. 그리고, 상기 슬러리와 별도로 바인더 및 가소제를 혼합한 용액을 제조하고, 그런 다음, 상기 슬러리와 바인더 및 가소제를 혼합한 용액을 혼합하여 볼 밀링하여 최종 슬러리를 제조할 수 있다. 그런 다음 공정은 상기 설명한 바와 동일할 수 있다.
이하, 본 발명에 따르는 실시예 등을 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하나, 본 발명의 범위가 하기 제시된 실시예에 의해 제한되는 것은 아니다.
실시예 1
1) 슬러리 제조 단계
1 L 용량의 알루미나 볼밀 용기에 직경 3 mm인 알루미나 볼 2 kg을 혼합하였다. 여기에 AlN-4.5wt%Y2O3 파우더 30 g, 무수 에탄올 용매 140 g, 일본유지(日本油脂) 사의 제품인 AFB-1521를 분산제로 0.3 g을 혼합한 후, 100 rpm의 회전속도에서 밀링을 통해 슬러리(A)를 제조하였다.
그런 다음, 제조된 슬러리를 250 mL 용량의 폴리에틸렌 용기에 넣은 후, 200 mesh 천을 통과시켜 슬러리 중의 기포를 1차로 제거하였다. 그런 다음, 감압 챔버에서 30 분간 유지시켜 슬러리 중의 기포를 2차로 제거하였다.
2) 코팅 및 분리 단계
기포가 제거된 슬러리를 이용하여 테이프 캐스팅 공정을 수행하였다. 이때, 기판과 블레이드의 간격은 400 ㎛를 유지하였으며, 테이프의 이동 속도는 0.0075 m/s이었다. 테이프 캐스팅 후, 상온에서 4 시간 동안 건조하였다. 상기 공정을 10 회 반복 수행하였다.
그런 다음, 건조된 슬러리 필름을 기판에서 분리한 후, 10 장을 적층하고 75℃에서 5 분간 10 MPa의 압력을 가하여 세라믹 성형체를 제조하였다.
3) 탈지 단계
상기 제조된 세라믹 적층체를 진공 챔버에 넣고 10-2 torr의 압력으로 감압한 후, 분당 2℃의 승온 속도로 500℃까지 승온한 후 4 시간동안 열처리하여 유기물을 제거하였다
4) 소결 단계
탈지된 성형체를 흑연발열체 진공 전기로에서 분당 3℃의 승온 속도로 1800℃까지 승온한 후 4 시간동안 소결 후 냉각하여 세라믹 소결체를 제조하였다.
실시예 2
실시예 1과 동일한 방법으로 제조하되, 용매를 메틸에틸케톤으로, 분산제를 빅크케미 재팬(ビックケミ?ジャパン) 사의 BYK-111로 사용하여 슬러리(B)세라믹 소결체를 제조하였다.
실시예 3
실시예 1과 동일한 방법으로 제조하되, 1) 슬러리 제조 단계를 달리하였다.
구체적으로, 상기 슬러리 제조 단계는, 1 L 용량의 알루미나 볼밀 용기에 직경 3 mm인 알루미나 볼 2 kg을 혼합하였다. 여기에 AlN-4.5wt%Y2O3 분말 300 g, 무수 에탄올용매 96 g, 분산제 AFB-1521 3 g을 혼합한 후, 100 rpm의 회전 속도에서 밀링을 수행하여 슬러리(용액 A)를 제조하였다.
용액 A와 별도로, 500 mL 용량의 유리 비이커에 무수에탄올 용매 63 g을 혼합한 후, 자력 교반기를 통해 교반을 하면서, 가소제로서 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol, PEG)을 8 g 혼합하고, 바인더로서 폴리비닐부틸알(poly(vinyl butyral), PVB)을 12 g을 추가로 혼합한 후 2 시간 동안 자력 교반기를 통해 교반한 후 보관하여 용액 2를 제조하였다.
그런 다음, 용액 A를 3 시간 동안 볼 밀링한 후, 용액 B 총 부피의 1/2을 용액 A 에 첨가한 후 볼 밀링을 지속하였다. 용액 A의 총 밀링 시간이 4 시간이 되었을 때, 나머지 용액 B를 용액 A에 첨가하였으며, 이후 1 시간을 더 볼 밀링하여(총 밀링 시간: 5시간) 슬러리를 제조하였다.
이후 공정은 실시예 1과 동일하며, 이를 통해 제조된 세라믹 소결체를 직경 12.5 mm 두께 2 mm 로 가공한 후, 레이저 플레시(laser flash) 법으로 열전도도를 측정한 결과 180±5 W/mK인 것을 확인하였다.
실시예 4
실시예 1과 동일한 방법으로 제조하되, 1) 슬러리 제조 단계를 달리하였으며, 2) 코팅 및 분리 단계에서 건조된 슬러리 필름을 기판에서 분리한 후, 10 장을 적층하고 가압할 때의 조건을 75℃에서 5 분간 10 MPa의 압력으로 달리하여 세라믹 성형체를 제조하였다.
구체적으로, 상기 슬러리 제조 단계는, 1 L 용량의 알루미나 볼밀 용기에 직경 3 mm인 알루미나 볼 2 kg을 혼합하였다. 여기에 AlN-4.5wt%Y2O3 분말 300 g, 메틸에틸케톤 용매 25 g, 분산제로서 BYK-111을 3 g 혼합한 후 100 rpm의 회전 속도에서 밀링을 수행하여 슬러리(용액 A)를 제조하였다.
용액 A와 별도로, 500 mL 용량의 유리 비이커에 메틸에틸케톤 용매 24 g을 혼합한 후, 자력교반기를 통해 교반을 하면서, 가소제로서 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol, PEG)을 2 g 혼합하고, 바인더로서 폴리비닐부틸알(poly(vinyl butyral), PVB)을 8 g을 추가로 혼합한 후 2 시간 동안 자력 교반기를 통해 교반한 후 보관하여 용액 2를 제조하였다.
그런 다음, 용액 A를 3시간 동안 볼 밀링한 후, 용액 C 총 부피의 1/2을 용액 A에 첨가한 후 볼 밀링을 지속하였다. 용액 A의 총 밀링 시간이 4 시간이 되었을 때, 나머지 용액 B를 용액 A에 첨가하였으며 이후 1 시간을 더 볼 밀링하여(총 밀링 시간: 5시간) 슬러리를 제조하였다.
이후 공정은 실시예 1과 동일하며, 이를 통해 제조된 세라믹 소결체를 직경 12.5 mm 두께 2 mm 로 가공한 후, 레이저 플레시(laser flash) 법으로 열전도도를 측정한 결과 180±5 W/mK인 것을 확인하였다.
비교예 1
실시예 1과 동일한 방법으로 제조하되, 용매로서 메틸에틸케톤을 사용하여 슬러리(C)를 제조하고, 이를 이용하여 세라믹 소결체를 제조하였다.
비교예 2
실시예 2와 동일한 방법으로 제조하되, 용매로서 무수 에탄올을 사용하여 슬러리(D)를 제조하여, 이를 이용하여 세라믹 소결체를 제조하였다.
실험예 1
상기 실시예 1 내지 2 및 비교예 1 내지 2 각각에서 제조된 슬러리 (A) 내지 (D)에 대하여 침강 실험을 실시하였다. 구체적으로, 각각의 슬러리 (A) 내지 (D)에서 100 ml를 채취하여 매스 실린더(Duran® Germany, 눈금: 100:1, 오차: ±1.0 ml)에 투입하고 침강 실험을 실시하였다.
구체적으로, 상등액과 슬러리의 경계면을 침강면이라고 할 때, 초기 슬러리 높이에 대한 시간에 따른 침강면의 높이의 비를 상대 침강높이라 명하였다. 이에 대해, 상기 실시예 1 내지 2 및 비교예 1 내지 2 각각에서 제조된 슬러리 (A) 내지 (D)의 침강 실험 후, 18 시간이 경과하였을 때의 상대 침강높이와 2주 경화 후의 상대 침강높이인 최종 침강높이를 측정하였다. 그 결과는 하기 표 1, 도 1 및 도 2에 나타내었다.
18시간 경과 후,
상대 침강높이 (%)		 2주 경과 후,
최종 침강높이 (%)
실시예 1 (A) 89% 10%
비교예 1 (C) 27% 20%
실시예 2 (B) 98% 10%
비교예 2 (D) 21% 20%
상기 표 1, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 조건 1 및 2를 만족하는 실시예 1 및 2는 18 시간 경과 후의 상대 침강높이 85% 이상으로 높게 나타났으며, 2 주 경과 후의 최종 침강높이는 10% 이하로 낮게 나타나는 것을 확인할 수 있었다. 구체적으로, 18 시간 경과 후의 상대 침강높이가 높아, 평균 침강 속도는 느린 것을 확인할 수 있었으며, 이를 통해, 본 발명에 따른 세라믹 조성물로 형성된 슬러리는 분산성이 우수하다는 것을 알 수 있었다. 또한, 2 주 경과 후의 최종 침강높이가 낮아, 슬러리의 충진 밀도가 높은 것을 확인할 수 있었다.
실험예 2
상기 실험예 1에서, 실시예 1 내지 2 및 비교예 1 내지 2 각각에서 제조된 슬러리 (A) 내지 (D)에 대하여 침강 실험 결과, 2 주 경과 후의 슬러리로부터 닥터 블레이드법으로 두께 130 ㎛의 그린 시트(green sheet)를 제조하였다. 그런 다음 상기 제조된 그린 시트를 2 일 동안 건조한 후, 주사전자현미경(SEM)을 이용하여 그린 시트의 표면을 관찰하였다. 그 결과는 도 3 내지 6에 나타내었다. 구체적으로, 실시예 1의 결과는 도 3, 실시예 2의 결과는 도 4, 비교예 1의 결과는 도 5, 비교예 2의 결과는 도 6에 나타내었다. 상기 도 3 내지 6을 보면, 본 발명에 따른 실시예에서 제조된 그린 시트의 표면은 비교예와 비교하여 입자가 치밀하게 배열된 것을 확인할 수 있었다.

Claims (15)

  1. 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로;
    산화 이트륨 파우더 4 내지 6 중량부;
    분산제 0.1 내지 3 중량부; 및
    용매 400 내지 500 중량부를 포함하며,
    하기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하며,
    슬러리 100 ml를 매스실린더에 혼합하여 침강 실험에 있어서,
    상등액과 슬러리의 경계면을 침강면이라고 할 때, 18 시간 방치 시, 초기 슬러리 높이에 대한 시간에 따른 침강면의 높이의 비인 상대 침강높이는 85 내지 99%인 세라믹 조성물:
    [조건 1]
    분산제는 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체이고, 용매는 에탄올이고,
    [조건 2]
    분산제는 인산 에스테르계 공중합체이고, 용매는 메틸에틸케톤이다.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    바인더 및 가소제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 조성물.
  5. 제 4 항에 있어서,
    바인더는 폴리비닐부틸알을 포함하고,
    가소제는 폴리에틸렌글리콜을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 조성물.
  6. 제 4 항에 있어서,
    [조건 1]에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로,
    분산제 0.1 내지 3 중량부,
    용매 80 내지 110 중량부,
    바인더 10 내지 20 중량부 및
    가소제 5 내지 10 중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 조성물.
  7. 제 4 항에 있어서,
    [조건 2]에 있어서, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로,
    분산제 1 내지 5 중량부,
    용매 40 내지 60 중량부,
    바인더 5 내지 10 중량부 및
    가소제 0.5 내지 5 중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 조성물.
  8. 제 1 항에 따른 세라믹 조성물의 소결물을 포함하는 세라믹 소결체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    열 전도도가 150 내지 250 W/mK이며,
    전기 저항이 1012 내지 1016인 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체.
  10. 하기 [조건 1] 또는 [조건 2]를 만족하며, 질화 알루미늄-산화 이트륨 파우더 100 중량부를 기준으로, 산화 이트륨 파우더 4 내지 6 중량부, 분산제 0.1 내지 3 중량부 및 용매 400 내지 500 중량부를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계;
    제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계;
    분리된 슬러리 필름을 탈지하는 단계; 및
    탈지된 슬러리 필름을 소결하는 단계를 포함하며,
    슬러리 100 ml를 매스실린더에 혼합하여 침강 실험에 있어서,
    상등액과 슬러리의 경계면을 침강면이라고 할 때, 18 시간 방치 시, 초기 슬러리 높이에 대한 시간에 따른 침강면의 높이의 비인 상대 침강높이는 85 내지 99%인 세라믹 소결체 제조방법:
    [조건 1]
    분산제는 폴리옥시알킬렌 화합물과 말레산의 공중합체이고, 용매는 에탄올이고,
    [조건 2]
    분산제는 인산 에스테르계 공중합체이고, 용매는 메틸에틸케톤이다.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계는 3 내지 20회 수행하고,
    분리된 슬러리 필름을 적층하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    제조된 슬러리를 기판 상에 코팅한 후, 코팅된 슬러리 필름을 기판으로부터 분리하는 단계 이후에, 분리된 슬러리 필름을 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.
  14. 제 10 항에 있어서,
    탈지하는 단계는,
    진공 및 비활성 분위기 하에서, 300 내지 500℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.
  15. 제 10 항에 있어서,
    소결하는 단계는,
    비활성 분위기 하에서, 1500 내지 1800℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2008074678A (ja) 2006-09-22 2008-04-03 Toyo Aluminium Kk 窒化アルミニウムスラリー並びにそれから得られる窒化アルミニウム顆粒、窒化アルミニウム成形体及び窒化アルミニウム焼結体

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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