KR101541199B1 - 레시피 레포트 카드 프레임워크 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

레시피 평가를 수행하기 위한 컴퓨터 구현 방법이 제공된다. 컴퓨터 구현 방법은 단일의 레시피 레포트 카드 프레임워크 내로 복수의 데이터 소스들을 통합하는 단계를 포함한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크는 복수의 데이터 소스들과 상호작용하는 편집기를 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 복수의 그래픽 디스플레이를 표시하는 단계를 포함한다. 복수의 그래픽 디스플레이들 중 각각의 그래픽 디스플레이는 적어도 기판에 대한 신호 파라미터들의 세트 중 하나의 신호 파라미터를 나타내도록 구성된다. 컴퓨터 구현 방법은 신호 파라미터들의 세트 중 각 신호 파라미터에 대해 복수의 기준을 제공하는 단계를 더 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 신호 파라미터들의 세트 중 각 신호 파라미터에 대해 복수의 범위들을 제공하는 단계를 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 레시피를 분석하는데 있어서 안내를 제공하도록 구성되는 전문 가이드를 제공하는 단계를 포함한다.
Figure R1020097020290
레시피 평가, 레시피 레포트 카드 프레임 워크, 편집기

Description

레시피 레포트 카드 프레임워크 및 그 방법{RECIPE REPORT CARD FRAMEWORK AND METHODS THEREOF}
발명의 배경
플라즈마 프로세싱에서의 진보는 반도체 산업에서의 성장을 용이하게 하고 있다. 새로운 디바이스들 (예를 들어, MEMS, 칩, 등) 을 생성하기 위해 레시피 (recipe) 들이 반도체 산업에서 장기간에 걸쳐 이용되고 있다. 기판 프로세싱을 수행하기 위해 상이한 레시피들이 이용될 수도 있다. 레시피는 복잡해지는 경향이 있고, 주로 엔지니어들의 지식 및/또는 경험에 기초하여 생성된다.
예를 들어, 프로세싱 시스템이 디바이스 제조 현장에 배치되고 있는 상황을 고려해보자. 또한, 프로세싱 시스템의 제조사는 레시피를 생성하는데 있어서 디바이스 제조사를 돕기 위해 가장 잘 알려진 방법들을 통합했을 수도 있다. 디바이스 제조사는 가장 잘 알려진 방법을 이용하여 레시피를 커스터마이징 (customizing) 할 수도 있다. 또한, 커스터마이징된 레시피는 디바이스 제조사의 엔지니어의 지식 및 경험, 경험적 데이터, 시행착오 방법 (trial and error method) 등에 기초할 수도 있다.
통상, 레시피의 성공적 실행은 레시피 외에 다른 변수에 의존할 수도 있다. 다른 변수들로는, 웨이퍼의 상태, 프로세싱 시스템의 챔버 상태, 웨이퍼 환경 등이 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 결과적으로, 엔지니어는 레시피에 관 한 지식이 있어야 될 뿐만 아니라 전술된 바와 같은 다른 변수들과 레시피가 어떻게 상호작용할 수 있는지를 이해하는 것이 필요할 수도 있다.
일 예로, 레시피가 생성되었고 엔지니어가 이 레시피를 이용하여 복수의 디바이스를 생성하였다. 레시피의 실행 동안, 복수의 데이터가 수집될 수도 있다. 수집될 수도 있는 데이터는 다량의 데이터 포인트의 수집물일 수도 있다. 데이터를 이해하고, 어느 데이터 포인트가 중요한지를 결정하며, 및/또는 레시피를 변형하기 위해서 데이터를 분석하는 능력은 엔지니어의 기술 및 경험에 의존할 수도 있다. 예를 들어, 엔지니어는 레시피를 이해하고, 또한 레시피가 그 레시피의 실행에 영향을 줄 수도 있는 다른 변수들과 어떻게 상호작용하는지를 이해하도록 요구 받을 수도 있다. 유감스럽게도, 엔지니어의 기술 레벨 및 경험이 변할 수도 있고, 이에 따라서 레시피의 '품질' 에 반영될 수도 있다. 엔지니어가 기술 및 경험을 갖더라도, 엔지니어는 새로운 레시피의 생성 및/또는 현재 레시피의 변형에서 상이한 변수들 모두를 고려하지 못할 수도 있다.
다른 실시예에서, 레시피의 실행 동안 문제가 발생할 수도 있다. 문제를 고치기 위해서 데이터를 분석하는 능력은 또한 엔지니어의 경험, 및 문제를 야기할 수도 있는 상이한 변수들이 주어지면 문제를 정확히 지적하는 엔지니어의 능력에 의존할 수도 있다. 전통적으로, 발생할 수도 있는 문제는 통상 하드웨어적 이슈로 가정된다. 그 결과, 프로세싱 시스템은 문제를 고치기 위해서 오프라인 될 수도 있다. 그러나, 문제의 원인은 항상 프로세싱 시스템으로 인한 것이 아닐 수도 있다. 예를 들어, 레시피의 실행 동안 발생할 수도 있는 디-척 (de- chuck) 문제의 약 60 퍼센트가 통상 하드웨어적 이슈는 아니고, 하지만 대신에 "좋지 않은 레시피" 의 결과이다. 유감스럽게도, 프로세싱 시스템이 문제의 잠재적 소스로서 제거되고 레시피가 문제의 소스로서 식별되는 시간까지 시간 및 자원의 낭비가 초래되고 있다.
발명의 개요
본 발명은, 일 실시형태에서 레시피 평가를 수행하기 위한 컴퓨터 구현 방법에 관한 것이다. 컴퓨터 구현 방법은 단일의 레시피 레포트 카드 프레임워크 내로 복수의 데이터 소스들을 통합하는 단계를 포함한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크는 복수의 데이터 소스들과 상호 작용하는 편집기를 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 복수의 그래픽 디스플레이를 표시하는 단계를 포함한다. 복수의 그래픽 디스플레이들 중 각각의 그래픽 디스플레이는 적어도 기판에 대한 신호 파라미터들 세트의 하나의 신호 파라미터를 나타내도록 구성된다. 컴퓨터 구현 방법은 신호 파라미터들의 세트의 각각에 대해 복수의 기준들을 제공하는 단계를 더 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한 신호 파라미터들의 세트의 각각에 대해 복수의 범위들을 제공하는 단계를 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 레시피를 분석하는데 있어서 안내를 제공하도록 구성되는 전문 가이드를 제공하는 단계를 또한 포함한다.
전술된 개요는 본 명세서에 기술된 본 발명의 많은 실시형태들 중 단지 하나의 실시형태에 관한 것이고 본 명세서의 청구범위에서 전개되는 본 발명의 범위를 한정하려는 것이 아니다. 본 발명의 이들 및 다른 특성들은 이하의 본 발명의 상세한 설명에서, 그리고 다음 도면들과 관련하여 더 상세히 설명될 것이다.
도면의 몇몇 시야의 간단한 설명
본 발명은 첨부된 도면의 형태에서 제한의 방식이 아닌 예시의 방식으로 설명되며, 동일한 참조 부호는 동일한 엘리먼트를 지칭한다.
도 1 은 본 발명의 실시형태에서 레시피 레포트 카드 프레임워크의 개략도를 나타낸다.
도 2 는 실시형태에서 레시피 레포트 카드 인터페이스의 메인 창의 일 예를 나타낸다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에서 신호 트레이스 (signal trace) 의 더욱 상세한 창을 나타낸다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서 레시피 레포트 카드 인터페이스의 도움말 창을 나타낸다.
도 5 는 본 발명의 일 실시형태에서 협력을 용이하게 하기 위해 레시피 레포트 카드 편집기가 어떻게 이용될 수 있는지의 예를 나타내는 흐름도를 나타낸다.
도 6 은 본 발명의 일 실시형태에서 레시피의 생성/변형을 용이하게 하기 위해 레시피 레포트 카드 편집기가 어떻게 이용될 수 있는지의 일 예를 나타내는 흐름도를 나타낸다.
도 7 은 본 발명의 일 실시형태에서 문제 해결을 용이하게 하기 위해 레시피 레포트 카드 편집기가 어떻게 이용될 수 있는지의 일 예를 나타내는 흐름도를 나타낸다.
상세한 설명
본 발명은 첨부된 도면에 나타난 바와 같이 그 몇몇 실시형태를 참조하여 상세히 설명될 것이다. 이하의 상세한 설명에서는 본 발명의 전체 이해를 제공하기 위해서 다수의 특정 상세들이 설명된다. 그러나, 본 발명이 이들 특정 상세들 중 몇몇 또는 전부 없이 실시될 수도 있다는 것이 당업자에게 명백할 것이다. 다른 경우, 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위해서 잘 알려진 프로세스 단계들 및/또는 구조들은 상세히 설명되지 않는다.
이하, 방법 및 기술을 포함하는 다양한 실시형태들이 설명된다. 본 발명은, 본 발명의 기술의 실시형태들을 실행하기 위한 컴퓨터 판독가능 명령들이 저장되는 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제품을 또한 커버할 수도 있다는 것을 유념해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하기 위한 예를 들어 반도체, 자성체, 광-자성체, 광학적 또는 다른 형태의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은 본 발명의 실시형태를 실시하기 위한 장치를 커버할 수도 있다. 이러한 장치는, 본 발명의 실시형태에 속하는 업무를 수행하기 위해 전용 및/또는 프로그래머블 회로를 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예들로는, 적절히 프로그래밍되는 경우 범용 컴퓨터 및/또는 전용 컴퓨팅 디바이스가 있고, 본 발명의 실시형태에 속하는 다양한 업무를 위해 구성된 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스 및 전용/프로그래머블 회로의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 일 양태에서, 본 명세서의 발명자들은 레시피가 '진공 환경' 에서 생성되지 않는다는 것을 깨달았다. 대신에, 레시피 특히 좋은 레시피는 지식, 기술, 및 복수의 변수들 (예를 들어, 레시피, 프로세스 데이터, 히스토리컬 데이터 등) 로부터 데이터 소스들의 통합을 요구할 수도 있다. 또한, 좋은 레시피는 도구 제조사, 기판 제조사 등과 같은 회사의 내부 및 외부 모두의 자원들로부터 협력적 노력을 요구할 수도 있다.
본 발명의 실시형태에 따르면, 컴퓨터 구현 장치는 단일의 레시피 레포트 카드 프레임워크 하에서 복수의 데이터 소스들 (예를 들어, 레시피, 도구 데이터, 센서 데이터, 가장 잘 알려진 방법 등) 을 통합하도록 설계된 사용하기 쉬운 (user-friendly) 시스템을 제공한다. 또한, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피 평가를 할 수 있게 하는 상호적인 기준 섹션을 포함한다. 또한, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피 분석에서 안내를 제공하기 위해 도움말 섹션과 같은 전문 가이드를 포함한다. 또한, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피를 생성, 변형, 및/또는 확인하기 위한 협력적 인프라구조를 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피 레포트 카드 편집기를 제공한다. 레시피 레포트 카드 편집기를 이용하여, 복수의 기능들이 수행될 수도 있다. 이 기능들은, 등급분류 (grading) 기능, 안내 기능, 및 협력 기능을 포함할 수도 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
등급분류 기능을 이용하여, 레시피는, 레시피가 특정 도구 상에서 얼마나 잘 수행될 수도 있는지에 기초하여 등급분류될 수도 있다. 당해 기술 분야에서 잘 알려진 바와 같이, 레시피는 모든 도구들에 걸쳐 항상 유사하게 수행될 수 없을 수도 있다. 수행에서의 차이는 레시피의 좁은 범로 인한 것일 수도 있다. 또 한, 레시피의 수행은 설비 차이, 기판 차이, 도구 차이 등과 같은 변화하는 프로세싱 환경으로 인해 영향을 받을 수도 있다. 따라서, 레시피 레포트 카드 편집기는 예를 들어 도구 및/또는 프로세싱 환경에서의 변화를 고려하기 위해 레시피가 어떻게 변형될 수도 있는지를 결정하는데 있어서 사용자를 도울 수도 있는 레시피에 대한 등급을 제공할 수도 있다.
레시피 레포트 카드 편집기가 수행할 수도 있는 다른 기능은 안내 기능이다. 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드는 산업 표준, 가장 잘 알려진 방법, 전문 지식, 및/또는 과거의 경험을 통합하여 레시피 실행의 성공에 영향을 줄 수도 있는 신호 파라미터 및 각각의 신호 파라미터들에 대한 기준을 결정할 수도 있다. 레시피 레포트 카드 편집기는 레시피를 분석하기 위한 필수적인 엘리먼트를 식별하고 있기 때문에, 경험이 없는 사용자는 레시피 레포트 카드 편집기를 이용하여 분석 시에 안내를 제공받을 수도 있다. 또한, 레시피 레포트 카드 편집기는 도움말 섹션을 포함함으로써 추가의 안내를 제공할 수도 있다. 도움말 섹션은 예를 들어, 실패 기준에 대한 설명, 실패 기준을 해결하기 위해 가능한 해결책, 기준의 설명 등을 포함할 수도 있다.
또한, 레시피 레포트 카드 편집기는 협력 기능을 지원할 수도 있다. 일반적으로, 레시피 생성, 변형, 및/또는 확인의 프로세스는 일반적으로 한 사람에 의해 수행되는 것이 아니고 팀에 의해 수행된다. 또한, 팀은 회사 내부 및 외부 모두로부터의 멤버들을 포함할 수도 있다. 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 편집기는 단일의 프레임워크를 제공하는데, 이 단일의 프레임워크로부터 데이 터가 복수의 사용자들에 의해 저장되고, 조망되고, 분석되며 조작될 수도 있다. 일 예로, 모든 멤버들이 동일한 프레임워크 내에서 작업하기 때문에 지리적으로 분산되어 있고/있거나 상이한 시간대에 위치하는 사용자들이 협력할 수도 있다. 따라서, 각 멤버는 공통 전제에 기초하여 데이터 분석을 수행한다.
전술된 기능들을 실시하기 위해서, 레시피 레포트 카드 편집기는 복수의 입력 데이터 소스들 (예를 들어, 레시피, 도구 데이터, 프로세스 데이터, 가장 잘 알려진 방법 등) 을 하나의 위치로 통합할 수도 있다. 일 실시형태에서, 입력 데이터 소스들이 레시피 레포트 카드 프레임워크로 업로딩될 수도 있다. 데이터를 레시피 레포트 카드 편집기로 업로딩함으로써, 데이터는 분석을 위해 용이하게 이용 가능할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 편집기는 분석을 위해 요구된 데이터를 추출하기 위해 다양한 데이터 소스들과 연관될 수도 있다. 시기 적절한 방식으로 추출함으로써, 레시피 레포트 카드 편집기에 대한 메모리 요건이 최소화될 수도 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 편집기는 신호 파라미터의 그래픽 디스플레이, 신호 파라미터들 각각에 대한 기준 및 범위, 및 전문 가이드 (예를 들어, 도움말 섹션) 를 포함할 수도 있다. 일 실시형태에서, 나타나는 추출된 데이터는 비제한적으로 도구 제조사로부터 수집된 전문 지식, 히스토리컬 데이터, 및/또는 산업 표준에 기초하여 선택될 수도 있다. 실시예에서, 레시피 레포트 카드 편집기는 레시피의 성공적인 실행에 영향을 줄 수도 있는 신호 파라미터의 선택 개수를 표시할 수도 있다. 더욱 포괄적인 분석이 필요할 수도 있는 상황에서, 레시피 레포트 카드 편집기는 또한 데이터를 슬라이싱-및-다이싱 (slicing-and-dicing) 하기 위한 인터페이스를 제공할 수도 있다.
본 발명의 특징 및 이점은 이하의 도면 및 논의를 참조하여 더 잘 이해될 수도 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시형태에서 레시피 레포트 카드 프레임워크 (100) 의 개략도를 나타낸다. 레시피 레포트 카드 프레임워크 (100) 는 레시피 레포트 카드 편집기 (102), 복수의 입력 데이터 소스 (104), 및 복수의 데이터/태스크 (task) 출력 (106) 을 포함한다. 분석이 사용자 (예를 들어, 프로세스 엔지니어, 기술자 등) 의 지식, 경험, 및 복수의 데이터 소스들에 대한 접근성에 제한될 수도 있는 종래 기술과 달리, 본 발명의 레시피 레포트 카드 프레임워크 (100) 는 단일의 프레임워크 내에 복수의 입력 데이터 소스 (104) 를 통합하기 위한 간단한 인프라구조를 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 복수의 입력 데이터 소스 (104) 는 레시피 레포트 카드 편집기 (102) 로 업로딩될 수도 있다. 복수의 입력 데이터 소스 (104) 의 예들로는 실행된 레시피 (108), 프로세싱 시스템 컴포넌트 (예를 들어, 센서, 메트롤로지 (metrology) 도구, 프로세싱 모듈 등) 에 의해 수집된 프로세스 데이터 (110), 가장 잘 알려진 방법 (112) (예를 들어, 레시피를 생성하기 위한 최선의 실시), 전문 지식 (114), 프로세싱 환경 데이터 (116) (예를 들어, 도구 ID, 웨이퍼 ID, 챔버 ID, 전압 등) 등이 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
레시피 레포트 카드 편집기 (102) 를 이용함으로써, 복수의 입력 데이터 소 스 (104) 는 조망, 분석, 및/또는 조작되어 복수의 출력 (106) 을 생성할 수도 있다. 복수의 출력 (106) 은 레포트 뿐만 아니라 레시피 변형 (118), 레시피 생성 (120), 문제 해결 (122), 가장 잘 알려진 방법 변형 (124) 등에 도움이 될 수도 있는 데이터 분석을 포함한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 편집기 (102) 는 3 개의 기능을 제공할 수도 있다. 첫째, 레시피 레포트 카드 편집기는 등급분류 기능을 수행할 수도 있다. 일 예로, 레시피 레포트 카드 편집기는 특정 도구가 주어진 레시피의 수행에 대해 상세 (detail) 를 제공할 수도 있다.
둘째, 레시피 레포트 카드 편집기 (102) 는 안내 기능을 수행할 수도 있다. 일 예로, 레시피 레포트 카드 편집기는, 문제, 문제의 원인, 및/또는 문제를 해결하기 위해 가능한 해결책을 식별함으로써 문제가 발생하는 경우 안내를 제공할 수도 있다. 안내 기능은, 레시피 레포트 카드 편집기 안으로 통합될 수도 있는 종래의 경험 및 전문 지식의 통합으로 인해 가능할 수도 있다.
셋째, 레시피 레포트 카드 편집기 (102) 는 협력 기능을 제공할 수도 있다. 일 예로, 레시피의 실행을 위한 레시피 레포트 카드를 완성할 수 없는 사용자는 레시피 레포트 카드 편집기를 통해 다른 팀 멤버들과 협력할 수도 있다. 따라서, 레시피 레포트 카드 편집기는 지리적 거리 및 시간대 차이에도 불구하고 협력을 용이하게 할 수 있는 공통 프레임워크를 제공할 수도 있다.
다음의 도면들은 실시형태에서 레시피 레포트 카드 편집기가 어떻게 3 개의 기능을 수행할 수 있는지를 나타낸다. 보다 구체적으로, 도 2 내지 도 4 는 레 시피 레포트 카드 인터페이스의 예를 나타내고 도 5 내지 도 7 은 레시피 레포트 카드 편집기가 전술된 기능들을 달성하기 위해 어떻게 적용될 수 있는지의 예를 나타낸다.
도 2 는 일 실시형태에서 레시피 레포트 카드 인터페이스의 메인 창의 예를 나타낸다. 메인 창에서, 인터페이스 (200) 는 하나 이상의 그래픽 디스플레이 (202, 204, 206, 208, 및 210) 를 포함할 수도 있다. 그래픽 디스플레이들 각각은 신호 트레이스를 나타낼 수도 있다. 본 명세서에서 논의된 바와 같이, 신호 트레이스는 레시피의 전체 프로세싱 동안 신호 파라미터로 축적될 수도 있는 과다의 데이터를 지칭한다. 본 발명의 실시형태에서, 그래픽 디스플레이들 각각은 하나 이상의 기판들로부터의 신호 트레이스를 포함할 수도 있다.
레시피의 실행 동안, 수백 개의 신호 파라미터들 (예를 들어, 바이어스 전압, 가스 압력, 무선 주파수 등) 이 수집될 수도 있다. 종래 기술에서, 과다의 데이터를 검토하는 것은 시간, 자원, 및 경험을 요구할 수도 있다. 따라서, 경험 없는 엔지니어는 지식 및 경험의 부족으로 불리한 입장에 있을 수도 있다. 엔지니어가 기술 및 지식을 가지더라도, 엔지니어는 일반적으로 관련될 수도 있는 신호 파라미터를 빠르게 식별하기 위한 프로세싱 도구 지식을 갖지 않을 수도 있다. 그 결과, 대부분의 엔지니어들은 문제가 발생할 때 까지 데이터 분석을 피할 수도 있다.
수백 개의 신호 파라미터들이 수집될 수도 있으나, 레시피의 성공적인 실행을 확실하게 하기 위해 그 모든 신호 파라미터들이 요구되지 않을 수도 있다. 일 실시형태에서, 그래픽 디스플레이로서 나타날 수도 있는 신호 파라미터는 전문 지식에 기초하여 미리 정의될 수도 있고, 이 전문 지식은 산업 표준, 도구 제조사 및/또는 경험 있는 회사 기술자/엔지니어로부터의 추천으로부터 올 수도 있다. 일 예로, 100 개의 신호 파라미터가 레시피의 실행 동안 수집될 수도 있다. 그러나, 이들 100 개의 신호 파라미터들 중 18 개의 신호 파라미터 만이 성공적인 레시피 실행을 식별하는데 있어서 중요한 것으로서 식별될 수도 있다. 따라서, 레시피 레포트 카드 인터페이스는 단지 18 개의 중요 신호 파라미터를 나타낼 수도 있다. 18 개의 신호 파라미터가 중요한 것으로서 식별될 수도 있으나, 신호 파라미터의 그래픽 디스플레이는, 데이터가 신호 파라미터를 위해 수집되지 않는 경우 공백으로 남겨질 수도 있다. 또한, 신호 파라미터들 중 선택된 몇몇 만이 그래픽적으로 표시될 수 있더라도, 실시형태에서 사용자가 더 상세한 분석을 수행하기를 원하는 경우, 수집되었던 나머지 신호 파라미터들은 레시피 레포트 카드 인터페이스를 통한 분석을 위해 이용가능해질 수도 있다.
일 실시형태에서, 인터페이스 (200) 는 또한, 프로세스 레포트 카드 섹션 (216), 상태 섹션 (218), 주석 섹션 (note section) (220), 및 도움말 섹션 (222) 을 포함할 수도 있는 기준 디스플레이 섹션 (214) 을 포함할 수도 있다. 프로세스 레포트 카드 섹션 (216) 은, 수집된 신호 파라미터들과 연관된 레시피를 분석하기 위한 가이드라인을 사용자에게 제공할 수도 있는 복수의 기준, 질문, 및/또는 표준을 포함할 수도 있다. 일 실시형태에서, 프로세스 레포트 카드 섹션 (216) 은 가장 잘 알려진 방법에 기초하여 도구 제조사에 의해 미리 확립될 수도 있다. 다른 실시형태에서, 프로세스 레포트 카드 섹션 (216) 은 지식, 경험, 및 회사에 의해 확립된 기준에 기초하여 회사의 엔지니어들에 의해 확립 및/또는 변형될 수도 있다.
또한, 기준 섹션 (214) 은 프로세스 레포트 카드 섹션 (216) 의 상태를 정의하기 위해 이용될 수도 있는 상태 섹션 (218) 을 포함할 수도 있다. 일 실시형태에서, 상태 섹션 (218) 은 상태를 정의할 수도 있는 범위를 통합할 수도 있다. 일 실시형태에서, 범위는 가장 잘 알려진 방법에 기초하여 정의될 수도 있다. 다른 실시형태에서, 범위는 회사의 실무에 의해 확립된 가이드라인에 기초하여 구성될 수도 있다. 일 실시형태에서, 상태 섹션 (218) 은 자동 및/또는 수동으로 입력될 수도 있다. 일 예로, 레시피 레포트 카드 모듈은 레시피의 실행 동안 수집된 데이터를 분석함으로써 프로세스 레포트 카드 섹션 (216) 내의 각각의 기준에 대한 상태를 도출할 수 있는 지능을 가질 수도 있다. 다른 예로, 하나 이상의 기준은 인간의 개입을 필요로할 수도 있다.
일 실시형태에서, 실패 상태는 예를 들어, 주석 섹션 (220) 에서 실패에 대한 설명을 제공하는 것을 사용자에게 요구할 수도 있다. 일 예로, 기준 (224) 는 "실패" 의 상태를 갖는다. 그 결과, 사용자는 기준 (224) 에 대한 주석 섹션 (220) 을 완성하여야 할 수도 있다. 다른 예로, 기준 (226) 이 "통과" 의 상태를 갖기 때문에 주석 섹션 (220) 은 선택적일 수도 있다. 주석 섹션 (220) 은 기준의 상태에 대한 설명을 제공할 뿐만 아니라 미래의 분석을 위한 안내를 제공할 수도 있다. 일 예로, 레시피는 변형되고 있다. 과거의 레시피 실행으 로부터의 주석은 레시피를 변형하기 위한 최선의 방법에 대한 안내를 제공할 수도 있다.
데이터 분석을 돕기 위해, 도움말 섹션 (222) 이 제공될 수도 있다. 도움말 섹션 (222) 은 프로세스 레포트 카드 섹션 (214) 내의 각 기준과 연관될 수도 있는 도움말 세그먼트들의 세트를 포함할 수도 있다. 일 실시형태에서, 도움말 섹션 (222) 은 각 기준에 안내를 제공하기 위해 이용될 수도 있다. 예를 들어, 도움말 섹션 (222) 은 기준 (224) 이 왜 실패할 수도 있는지의 이유를 제공할 수도 있다. 또한, 도움말 섹션 (222) 은 식별되었을 수도 있는 문제를 정정하기 위한 방법에 대한 지시들을 제공할 수도 있다.
전술된 바와 같이, 레시피 레포트 카드 인터페이스는 하나 이상의 그래픽 디스플레이를 표시할 수도 있다. 그래픽 디스플레이들 각각에 대해, 사용자는 신호 파라미터의 더욱 포괄적인 분석을 수행할 수도 있다. 도 3 은 본 발명의 실시형태의 신호 트레이스의 더욱 상세한 창을 나타낸다.
레시피 레포트 카드 인터페이스 (300) 는 복수의 신호 트레이스의 그래픽 디스플레이를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 사용자가 그래픽 디스플레이 (302) 에서 표시되는 바와 같은 신호 트레이스의 더욱 포괄적인 분석을 수행하는 것을 원하는 상황을 고려해보자. 일 실시형태에서, 사용자는 상세한 창 (304) 을 표시하기 위해 그래픽 디스플레이 (302) 를 선택할 수도 있다. 상세한 창 (304) 은 그래픽 디스플레이 (302) 의 확대 창을 제공할 수도 있다. 또한, 상세한 창은 그래픽 디스플레이 (302) 상에 나타날 수도 있는 신호 트레이스들 각각을 정의할 수도 있다. 일 예로, 확대 그래픽 디스플레이 (306) 는 소정의 신호 파라미터에 대해 25 개의 신호 트레이스를 나타낼 수도 있다. 신호 트레이스들 각각에 대해, 신호 제명 (legend) (308) 이 제공될 수도 있다. 예를 들어, 신호 트레이스 (310) 는 신호 제명 (308) 내의 키 (312) 와 연관된다. 본 발명의 실시형태에서, 신호 트레이스를 위해 수집된 실제 데이터가 표시될 수도 있다. 일 예로, 수집된 데이터는 확대 그래픽 디스플레이 (306) 내의 신호 트레이스를 선택하고, 신호 제명 (308) 에서 키를 선택하고/하거나 데이터 보기 버튼 (314) 을 선택함으로써 표시될 수도 있다.
전술된 바와 같이, 도움말 섹션은 사용자에게 안내를 제공하기 위해 이용될 수도 있다. 도 4 는 본 발명의 실시형태의 레시피 레포트 카드 인터페이스의 도움말 창을 나타낸다. 예를 들어, 사용자가, 기준 (402) 이 "실패" 의 상태 (404) 를 가질 수도 있는 이유를 이해할 수 없을 수도 있는 상황을 고려해보자. 도움말 섹션 (408) 의 도움말 세그먼트 (406) 를 클릭함으로써, 사용자는 기준에 대한 가이드라인 및/또는 실패 상태에 대한 설명을 제공할 수도 있는 도움말 대화 박스 (410) 를 가져올 수도 있다. 일 실시형태에서, 도움말 대화 박스 (410) 에 표시된 지식은 산업 표준, 도구 제조사, 및/또는 내부의 엔지니어들로부터 수집한 전문 지식일 수도 있다.
레시피 레포트 카드 프레임워크를 이용하여 전통적으로 상이한 위치에 저장되었을 수도 있는 복수의 데이터 소스들은 이제 분석 및/또는 협력을 용이하게 할 수도 있는 방식으로 통합 및 제공될 수도 있다. 다음의 몇몇 도면은 본 발명의 실시형태에서 협력, 레시피의 생성/변형, 문제 해결 등을 용이하게 하기 위해 어떻게 레시피 레포트 카드 프레임워크가 이용될 수 있는지의 예들을 나타낸다.
도 5 는 본 발명의 실시형태에서 협력을 용이하게 하기 위해 레시피 레포트 카드 편집기가 어떻게 이용될 수도 있는지의 예를 나타내는 흐름도이다. 제 1 단계 502 에서, 레시피 레포트 카드 인터페이스가 활성화될 수도 있다. 예를 들어, 기술자와 같은 사용자가 레시피를 실행하는 것을 막 완료한 상황을 고려해보자.
다음 단계 504 에서, 사용자는, 기준이 미싱 상태 (missing status) 를 갖는지를 결정하기 위해 레시피 레포트 카드 인터페이스의 기준 섹션을 살필 수도 있다. 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 편집기는, 하나 이상의 기준이 하나 이상의 입력 데이터 소스들 (예를 들어, 레시피, 레시피 실행 동안 수집된 데이터, 전문 지식, 가장 잘 알려진 방법 등) 에 기초하여 자동으로 업데이트되게 할 수도 있는 지능을 가질 수도 있다. 일 실시형태에서, 하나 이상의 기준은 상태를 업데이트하기 위해 인간의 개입을 필요로할 수도 있다.
기준이 미싱 상태로 식별되면, 다음 단계 506 에서 미싱 상태를 업데이트하기 위해 사용자의 능력에 대한 결정이 이루어질 수도 있다. 일 실시형태에서, 사용자의 로그-인 상태는 사용자가 특정 기준 분야를 업데이트하기 위한 능력을 제한할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 사용자는, 그가 미싱 상태를 업데이트하기 위한 지식이 부족하다고 결정할 수도 있다.
사용자가 미싱 상태를 업데이트할 수 있다면, 다음 단계 508 에서 사용자는 업데이트를 수행할 수도 있다. 일 실시형태에서, 도움말 섹션은 미싱 상태를 업데이트 하는데 있어서 사용자에게 도움을 제공할 수도 있다.
그러나, 사용자가 미싱 상태를 업데이트할 수 없다면, 다음 단계 510 에서 사용자는 데이터를 익스포트 (export) 하고 이 파일을 하나 이상의 팀 멤버들에게 포워딩할 수도 있다. 일 실시형태에서, 익스포트 파일은 데이터 주석, 각 기준의 상태 등을 포함할 수도 있다. 종래 기술에서, 동료 팀 멤버들로부터의 응답의 품질은 문제점을 완전히 설명하기 위한 사용자의 능력에 의존할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 미싱 상태를 업데이트하기 위해 분석을 수행하도록 요구될 수도 있는 데이터 소스는 레시피 레포트 카드의 익스포트된 파일로 이미 통합될 수도 있다. 따라서, 레시피 레포트 카드 편집기는 상이한 지리적 영역 및 상이한 시간대에 위치하는 팀 멤버들이 협력할 수도 있는 공통의 프레임워크를 제공함으로써 팀 협력을 용이하게 할 수도 있다.
익스포트 파일 수신 시에, 팀 멤버는 익스포트 파일을 레시피 레포트 카드 편집기의 그의 버전으로 임포트 (import) 할 수도 있다. 일 실시형태에서, 레시피 레포트 카드 편집기는 익스포트된 파일을 멤버의 레시피 레포트 카드 편집기로 임포트하기 위한 임포트 성능을 제공할 수도 있다. 파일을 임포트/익스포트하는 능력은 팀 협력을 관리하는 관리상의 업무를 최소화할 수도 있다.
레시피 레포트 카드 편집기가 인프라구조를 제공하기 때문에, 레시피 레포트 카드 편집기를 통한 협력의 방법은 이메일 하나만을 통한 협력보다 더 우세한 통신 및 협력 도구를 제공한다. 레시피 레포트 카드 편집기는 레시피의 실행 동안 수집된 데이터에 대한 중앙 보관소를 제공할 뿐만 아니라 데이터가 비교될 수도 있는 실제 레시피를 제공한다. 또한, 레시피 레포트 카드는 사용자에게 안내를 제공하기 위해 전문 지식 및 과거 경험의 축적을 또한 제공할 수도 있다.
또한, 문제 및 해결책은 나중의 참조를 위해 저장될 수도 있다. 따라서, 레시피 레포트 카드 편집기는 지식을 공유하는 것을 촉진시키기 위한 프레임워크를 제공한다. 그 결과, 몇몇에 의해 경험된 지식이 공유될 수도 있고, 미래의 유사한 상황의 발생은 얻어진 지식으로부터 혜택을 받을 수도 있다.
도 5 는 기준에 대한 상태를 업데이트하는 관점에서 논의되었으나, 레시피 레포트 카드 프레임워크 협력 성능은 이 예에 한정되지 않는다. 대신에, 도 5 는 레시피 레포트 카드 프레임워크가 협력 도구로서 어떻게 이용될 수 있는지의 예시적인 실시예를 의미한다. 따라서, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 지리적 거리 및 시간 차이에 걸쳐 협력을 촉진시키기 위해 비용 효율이 높은 도구를 제공한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크는 동일한 회사 내의 팀 멤버들 간의 협력을 허용할 뿐만 아니라 디바이스 제조사의 엔지니어와 도구 제조사의 엔지니어 사이와 같은 상호적-회사 멤버들 간의 협력도 허용한다.
도 6 은 본 발명의 실시형태에서 레시피 레포트 카드 편집기가 레시피의 생성/변형을 용이하게 하기 위해 어떻게 이용될 수도 있는지의 예를 나타내는 흐름도를 나타낸다. 예를 들어, 도구 제조사에 의해 레시피가 개발되고 있는 상황을 고려해보자. 그러나, 디바이스 제조사의 생산 장소에서, 레시피는 아무래도 동일한 결과물을 생산할 수 없다.
제 1 단계 602 에서, 레시피 레포트 카드 편집기가 활성화될 수도 있다. 종래 기술에서, 레시피를 변형하는 업무는 상이한 데이터 소스들을 로케이팅 및 분석하기 위해 엔지니어의 기술 및 경험에 의존할 뿐만 아니라 엔지니어의 능력 및/또는 의지에 의존할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 본 발명의 레시피 레포트 카드 편집기는 복수의 데이터 소스들 (예를 들어, 레시피, 프로세스 데이터 등) 을 통합할 수도 있으므로, 엔지니어가 각종 상이한 데이터 소스들을 검색 및 로케이팅하는 힘든 업무를 수행하는 것을 경감시킨다. 또한, 경험이 없는 엔지니어 및 경험이 있는 엔지니어 모두가 레시피 레포트 카드 편집기로 통합될 수도 있는 전문 지식, 가장 잘 알려진 방법, 및/또는 산업 표준으로부터 혜택을 받을 수도 있다.
다음 단계 604 에서, 사용자는 단일의 신호 파라미터에 대해 하나 이상의 신호 트레이스를 분석할 수도 있다. 일 예로, 사용자는 레시피에 대한 변경의 효과를 결정하기 위해 단일 파라미터에 대한 하나 이상의 신호 트레이스를 분석하는 옵션을 가질 수도 있다. 예를 들어, 사용자는, 하드웨어 변경이 실패에 대한 기준을 야기할 수도 있는지를 결정하기 위해 단일 트레이스를 분석할 수도 있다. 다른 예로, 사용자는, 단일 트레이스가 다수로부터 벗어날 수도 있는지를 결정하기 위해 단일 트레이스의 배치 (batch) 를 분석할 수도 있다.
다음 단계 606 에서, 사용자는 다른 팀 멤버들과 협력할 수도 있다. 레시피를 변형하는 프로세스는 통상 고립된 이벤트 (event) 가 아니기 때문에, 사용자는 그 발견물을 익스포트할 수도 있고, 그 팀 멤버들과 함께 그 발견물을 공유할 수도 있다. 도 5 에 나타난 바와 같이, 레시피 레포트 카드 편집기는 정보의 공유를 용이하게 하는 공통 프레임워크를 제공한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피를 변형하기 위한 최선의 방법을 결정하기 위해서 다수의 사람들이 함께 작업하는 것을 가능하게 한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크 내에서 레시피 변형을 수행함으로써, 레시피는 본 발명의 레시피 레포트 카드 프레임워크를 특성화하는 공유된 지식으로부터 헤택을 받을 수도 있다.
다음 단계 608 에서, 현재의 레시피는 변형되어 업데이트될 수도 있다. 레시피를 변형하는 프로세스는, 레시피 레포트 카드 편집기가 복수의 입력 데이터 소스들을 단일 소스로 통합하기 때문에 레시피 레포트 카드 편집기를 이용하여 단순화된다. 또한, 레시피 레포트 카드 인터페이스는 가장 잘 알려진 방법 및 전문 지식을 통합하는 도움말 세션을 포함할 수도 있기 때문에, 레시피를 변형하는 프로세스는 특정 엔지니어의 지식 및 기술에 더 이상 의존하지 않는다. 따라서, 레시피 레포트 카드 프레임워크를 채용함으로써, 레시피는 상이한 팀 멤버들에 의해 수행된 분석 및 프레임워크로 통합된 전문 지식에 기초하여 더 많은 시나리오를 수용하기 위해 넓어질 수도 있다.
도 7 은 본 발명의 실시형태에서 문제 해결을 용이하게 하기 위해 레시피 레포트 카드 편집기가 어떻게 이용될 수도 있는지의 예를 나타내는 흐름도를 나타낸다. 예를 들어, 프로세싱 문제가 생산 현장 (floor) 에서 발생될 수도 있는 상황을 고려해보자. 종래 기술에서는, 프로세싱 도구가 문제를 야기한다고 가정하는 경향이 있다. 결과로서, 도구에서의 문제점을 결정하기 위해 시간 및 자원이 소비될 수도 있다. 그러나, 문제는 항상 하드웨어 이슈와 연관되지 않을 수도 있고 실행되는 레시피 및/또는 설비에 관련될 수도 있다.
제 1 단계 702 에서, 문제가 식별된다.
다음 단계 704 에서, 레시피 레포트 카드 편집기가 활성화될 수도 있다.
다음 단계 706 에서, 데이터가 분석될 수도 있다. 종래 기술에서, 데이터 분석은 과다의 데이터 포인트를 포함할 수도 있는 데이터 파일을 사용자가 분석하도록 요구할 수도 있다. 지식 및 경험 없이, 경험이 없는 엔지니어는 문제점의 원인을 결정하는데 비록 몇 주 또는 몇 달은 아니더라도 몇 일을 소비할 수도 있다. 엔지니어가 경험이 있을지라도, 적은 양 (sheer volume) 의 데이터는 데이터를 분석하는데 대량의 시간과 자원을 엔지니어가 소비하도록 요구할 수도 있다.
그러나, 레시피 레포트 카드 편집기는 레시피로 하여금 실패를 야기할 수도 있는 신호 파라미터를 이미 식별하였다. 레시피 레포트 카드 편집기를 이용하여, 사용자는 분석을 요구할 수도 있는 하나 이상의 신호 파라미터를 빠르게 식별할 수 있다. 또한, 문제가 되는 신호 파라미터(들)이 일단 식별되면, 사용자는 하나 이상의 기판으로부터 데이터를 가져와 상세한 분석을 수행할 수도 있다. 일 예로, 신호 파라미터에 대한 25 개의 신호 트레이스가 분석된다. 25 개의 신호 트레이스들 중 하나의 신호 트레이스는 다른 신호 트레이스들과 상당히 상이하다.
다음 단계 708 에서, 하나 이상의 가능한 원인들이 식별될 수도 있다. 일 예로, 홀수 신호 트레이스가 식별되었다. 수행될 수도 있는 빠른 분석은 각 종 상이한 기판들 간의 레시피 콘텐츠를 비교하기 위한 것이다. 홀수 신호 트레이스가 다른 신호 트레이스들과 동일한 레시피를 갖는다면, 레시피는 문제의 원인의 가능성으로서 제거될 수도 있다. 그러나, 홀수 신호 트레이스가 레시피 내에서 하나 이상의 차이를 갖는다면, 추가의 분석이 수행되어 레시피가 문제의 원인지를 결정할 수도 있다.
다른 예로, 레시피가 우수한 것으로 결정되고 기판이 좋은 것으로 결정되면, 문제의 가능한 원인은 도구 및/또는 설비에서의 문제의 결과물일 수도 있다. 레시피 및 프로세스 데이터를 이용하여, 레시피 레포트 카드 편집기는 상세한 분석을 수행하고 문제의 원인을 결정하기 위해 데이터를 다이싱 및 슬라이스하기 위한 분석 도구로서 이용될 수도 있다.
본 발명의 하나 이상의 실시형태들로부터 알 수 있는 바와 같이, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피에 대한 분석을 수행하기 위한 단일 인터페이스를 제공한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크를 이용하여, 복수의 입력 데이터 소스들은 단일 소스로 흡수될 수도 있다. 또한, 레시피 레포트 카드 프레임워크는 레시피 개발 및 유지의 모든 양태에서 엔지니어가 전문가여야 하는 필요성을 감소시키는 전문 지식을 제공한다. 따라서, 단일의 프레임워크 하에 레시피 생성, 변형, 유지, 및 문제 해결을 집중시킴으로써 레시피 레포트 카드 프레임워크는, 지리적 거리 및 시간 차이에 걸쳐 공통 전제에서 협력이 발생하도록 비용 효율이 높은 도구를 제공한다.
본 발명은 몇몇 바람직한 실시형태에 관하여 설명되었으나, 본 발명의 범위 를 벗어나지 않는 변경, 치환, 및 등가물이 존재한다. 본 명세서에는 다양한 예들이 제공되었으나, 이들 예들은 예시적인 것이며 본 발명을 제한하려는 것은 아니다.
또한, 발명의 명칭 및 개요가 편의를 위해 본 명세서에 제공되고, 본 명에서의 청구범위의 범위를 파악하는데 이용되어서는 안된다. 또한, 요약은 매우 생략된 형태로 기록되고 편의를 위해 본 명세서에 제공되며, 따라서 청구 범위에 나타나는 발명 전체를 파악 또는 제한하도록 이용되어서는 안된다. 본 명세서에 "세트" 라는 용어가 이용되면, 이러한 용어는 0, 1, 또는 2 이상의 부재를 커버하기 위해 그 공통으로 이해되는 수학적 의미를 갖는 것으로 의도된다. 또한 본 발명의 방법 및 장치를 구현하는 많은 대안의 방법들이 존재한다는 것을 주목해야 한다. 그러므로, 이하의 첨부되는 청구범위는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않는 한 모든 이러한 변경, 치환, 및 등가물을 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (24)

  1. 레시피 평가를 수행하기 위한 컴퓨터 구현 방법으로서,
    단일의 레시피 레포트 카드 프레임워크 내로 복수의 데이터 소스들을 통합하는 단계로서, 상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 상기 복수의 데이터 소스들과 상호작용하는 편집기를 포함하는, 상기 복수의 데이터 소스들을 통합하는 단계;
    복수의 그래픽 디스플레이들을 표시하는 단계로서, 상기 복수의 그래픽 디스플레이들 중 각각의 그래픽 디스플레이는 적어도 기판에 대한 신호 파라미터들의 세트 중 하나의 신호 파라미터를 나타내도록 구성되는, 상기 복수의 그래픽 디스플레이들을 표시하는 단계;
    상기 신호 파라미터들의 세트 중 각 신호 파라미터에 대해 복수의 기준들을 제공하는 단계;
    상기 신호 파라미터들의 세트 중 상기 각 신호 파라미터에 대해 복수의 범위들을 제공하는 단계; 및
    전문 가이드 (expert guide) 를 제공하는 단계로서, 상기 전문 가이드는 레시피를 분석하는데 있어서 안내 (guidance) 를 제공하도록 구성되는, 상기 전문 가이드를 제공하는 단계를 포함하고,
    상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 협력 기능을 제공하도록 구성되고, 상기 협력 기능은 일 세트의 사용자들 간의 협력을 용이하게 하고, 상기 협력 기능은, 미싱 상태를 업데이트하기 위해, 상태를 포함하는 익스포트 파일을 다른 사용자의 레시피 리포트 카드 편집기에 송신하고, 상기 다른 사용자의 레시피 리포트 카드 편집기는 수신된 상기 익스포트 파일을 자신에게 임포트하는, 컴퓨터 구현 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 신호 파라미터는 상기 기판의 신호 트레이스 (signal trace) 이고, 상 기 신호 트레이스는 상기 기판에 대한 상기 레시피의 실행 동안 수집된 데이터인, 컴퓨터 구현 방법.
  3. 삭제
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 범위들은 상태로서 표시되고, 상기 상태는 통과 및 실패 중 하나인, 컴퓨터 구현 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 주석 섹션 (note section) 을 포함하고, 상기 주석 섹션은 상기 상태에 대한 설명을 제공하기 위한 위치를 사용자에게 제공하도록 구성되는, 컴퓨터 구현 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 전문 가이드는 상기 복수의 기준들 중 각 기준에 대한 문제를 핸들링하기 위한 지시를 포함하는, 컴퓨터 구현 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    복수의 데이터 출력들을 제공하는 단계를 더 포함하고, 상기 데이터 출력들은 레포트들을 포함하는, 컴퓨터 구현 방법.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 등급분류 기능을 수행하도록 구성되고, 상기 등급분류 기능은 상기 레시피의 수행에 관한 정보를 포함하는, 컴퓨터 구현 방법.
  10. 컴퓨터 판독가능 코드가 포함된 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품으로서,
    레시피 평가를 수행하도록 구성되는 상기 컴퓨터 판독가능 코드는,
    단일의 레시피 레포트 카드 프레임워크 내로 복수의 데이터 소스들을 통합하기 위한 코드로서, 상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 상기 복수의 데이터 소스들과 상호작용하는 편집기를 포함하는, 상기 복수의 데이터 소스들을 통합하기 위한 코드;
    상기 복수의 데이터 소스들로부터 신호 파라미터들의 세트의 복수의 그래픽 디스플레이들을 표시하기 위한 코드;
    상기 신호 파라미터들의 세트 중 각 신호 파라미터에 대해 복수의 기준들을 제공하기 위한 코드;
    상기 신호 파라미터들의 세트 중 상기 각 신호 파라미터에 대해 복수의 범위들을 제공하기 위한 코드; 및
    전문 가이드를 제공하기 위한 코드로서, 상기 전문 가이드는 레시피를 분석하는데 있어서 안내를 제공하도록 구성되는, 상기 전문 가이드를 제공하기 위한 코드를 포함하고,
    상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 협력 기능을 제공하도록 구성되고, 상기 협력 기능은 일 세트의 사용자들 간의 협력을 용이하게 하고, 상기 협력 기능은, 미싱 상태를 업데이트하기 위해, 상태를 포함하는 익스포트 파일을 다른 사용자의 레시피 리포트 카드 편집기에 송신하고, 상기 다른 사용자의 레시피 리포트 카드 편집기는 수신된 상기 익스포트 파일을 자신에게 임포트하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 신호 파라미터는 기판의 신호 트레이스이고, 상기 신호 트레이스는 상기 기판에 대한 상기 레시피의 실행 동안 수집된 데이터인, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  12. 삭제
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 범위들은 상태로서 표시되고, 상기 상태는 통과 및 실패 중 하나인, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 주석 섹션을 제공하기 위한 코드를 포함하고, 상기 주석 섹션은 상기 상태에 대한 설명을 제공하기 위한 위치를 사용자에게 제공하도록 구성되는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 전문 가이드는 상기 복수의 기준들 중 각 기준에 대한 문제를 핸들링하기 위한 지시를 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  16. 제 10 항에 있어서,
    복수의 데이터 출력들을 제공하기 위한 코드를 더 포함하고, 상기 데이터 출력들은 레포트들을 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  17. 삭제
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 레시피 레포트 카드 프레임워크는 등급분류 기능을 수행하도록 구성되고, 상기 등급분류 기능은 상기 레시피의 수행에 관한 정보를 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제품.
  19. 복수의 데이터 소스들; 및
    편집기를 포함하고,
    상기 편집기는 상기 복수의 데이터 소스들과 상호 작용하여 사용자가 상기 복수의 데이터 소스들을 조망, 분석, 및 조작하는 것 중 적어도 하나를 수행할 수 있게 하도록 구성되고,
    상기 편집기는,
    복수의 그래픽 디스플레이들로서, 상기 복수의 그래픽 디스플레이들 중 각각의 그래픽 디스플레이는 적어도 기판에 대한 신호 파라미터들의 세트 중 하나의 신호 파라미터를 나타내도록 구성되는, 상기 복수의 그래픽 디스플레이들,
    상기 신호 파라미터에 대한 복수의 기준들,
    상기 신호 파라미터들에 대한 복수의 범위들, 및
    레시피를 분석하는데 있어서 안내를 제공하도록 구성되는 전문 가이드를 포함하고,
    상기 편집기는 협력 기능을 제공하도록 구성되고, 상기 협력 기능은 일 세트의 사용자들 간의 협력을 용이하게 하고, 상기 협력 기능은, 미싱 상태를 업데이트하기 위해, 상태를 포함하는 익스포트 파일을 다른 사용자의 레시피 리포트 카드 편집기에 송신하고, 상기 다른 사용자의 레시피 리포트 카드 편집기는 수신된 상기 익스포트 파일을 자신에게 임포트하는, 레시피 레포트 카드 프레임워크 하에서 동작하는 시스템.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 신호 파라미터는 상기 기판의 신호 트레이스이고, 상기 신호 트레이스는 상기 기판에 대한 상기 레시피의 실행 동안 수집된 데이터인, 레시피 레포트 카드 프레임워크 하에서 동작하는 시스템.
  21. 삭제
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 복수의 범위들은 상태로서 표시되고, 상기 상태는 통과 및 실패 중 하나인, 레시피 레포트 카드 프레임워크 하에서 동작하는 시스템.
  23. 제 22 항에 있어서,
    주석 섹션을 더 포함하고, 상기 주석 섹션은 상기 상태에 대한 설명을 제공하기 위한 위치를 사용자에게 제공하도록 구성되는, 레시피 레포트 카드 프레임워크 하에서 동작하는 시스템.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 전문 가이드는 상기 복수의 기준들 중 각 기준에 대한 문제를 핸들링하기 위한 지시를 포함하는, 레시피 레포트 카드 프레임워크 하에서 동작하는 시스템.
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