JP5520211B2 - レシピレポートカードフレームワーク及び方法 - Google Patents

Description

プラズマ処理の進歩は半導体産業に成長をもたらした。レシピ（製造工程設計書）は新しいデバイス（装置）（例：ＭＥＭＳ、チップ、等々）を開発するために半導体産業によって長期に亘り利用されてきた。基板処理を実施するために異なるレシピが利用される。レシピは構造が複雑であり、普通は技術者の知識及び/又は経験に基づいて作成される。

例えば、デバイス製造業者の現場に対して処理システムが設置された場合を考察する。さらに、レシピの作成において製造システムの製造業者がデバイスの製造業者を助けるために最適な方法（best known methods）を採用したとする。デバイス製造業者はレシピをカスタマイズするために最も良く知られた方法を採用するとする。さらに、このカスタマイズされたレシピはデバイス製造業者の技術者の知識及び経験、学習データ、試行錯誤、等々に基づいたものとする。

通常、レシピの実行の成功は、レシピ以外の他の可変要素に依存する。他の可変要素とは、ウェハの状態、処理システムのチャンバ状態、ウェハ環境、等々であるが、これらに限定されない。その結果、技術者はレシピに関する知識を持つのは当然として、前述のような可変要素とレシピとがどのように相互作用するかも理解する必要がある。

１例として、レシピが作成され、技術者が複数のデバイスを作成するためにそのレシピを採用したとする。レシピの実行中に複数のデータが採取される。採取されるデータは大量のデータ点の集合である。レシピを修正するためにデータを取り込み、どのデータ点が重要であるかを知り、及び/又はデータを分析する能力は技術者の技能と経験に依存する。例えば、技術者はレシピを理解し、レシピの実行に影響を及ぼす他の可変要素とレシピとがどのように相互作用するかを理解しなければならない。残念なことに技術者の技術レベルと経験は様々であり、レシピの“品質”はその影響を直接的に受ける。いかに技術者が優れた技術と経験を有していたとしても、技術者は新しいレシピの作成及び/又は現行のレシピの修正において全ての異なる可変要素に対処することはできないであろう。

別例ではレシピの実行中に問題が発生する。問題を解決するためにデータを分析する能力も技術者の経験と、その問題の原因である異なる可変要素の影響下で問題を適確に指摘する能力とに依存する。過去においては発生する問題はほぼハードウェアの問題であると考えられてきた。その結果、問題を解決するために処理システムは取り外された。しかしながら問題の原因は常に処理システムによるものとは限らない。例えばレシピの実行中に発生するデチャックの問題の約６０％は、大抵の場合ハードウェアの問題ではなく、“不良レシピ”の結果である。不都合なことに、問題の発生源の可能性があるとして処理システムが取り外され、レシピが問題の発生源であると特定されるまでに相当な時間とコストとが既に発生している。

本発明は１実施形態においてはレシピ診断を実行するコンピュータ利用法に関する。

このコンピュータ利用法は複数のデータソース（データ源）を単体のレシピレポートカードフレームワークに統合するステップを含む。このレシピレポートカードフレームワークは複数のデータソースと相互作用するエディタを含む。このコンピュータ利用法は複数のグラフィカルディスプレーを表示するステップも含む。それら複数のグラフィッカルディスプレーのそれぞれは、少なくとも１体の基板のために信号パラメータセット中の１つの信号パラメータを表示するように設定されている。このコンピュータ利用法はさらに、信号パラメータセットのそれぞれに対して複数の規準を提供するステップを含む。このコンピュータ利用法は信号パラメータセットのそれぞれに対する複数の範囲を提供するステップも含む。加えて、このコンピュータ利用法は、レシピの分析におけるガイダンスを提供するように設計されている専門ガイドを提供するステップも含む。

上記の発明の概要は本明細書において解説する本発明の多数の実施形態の１つにのみ関係しており、発明を限定するものではない。発明の真の範囲は「特許請求の範囲」で定義されている。本発明のこれら及び他の特徴は添付図面を利用した以下の詳細な説明においてさらに詳細に解説されている。

本発明を非限定的例示として、以下の添付図面を利用して説明する。

本発明の１実施例によるレシピレポートカードフレームワークの概略図である。 本発明の１実施例によるレシピレポートカードインターフェースの主要面である。 本発明の１実施例による信号トレースの詳細図である。 本発明の１実施例によるレシピレポートカードインターフェースの補助図である。 レシピレポートカードエディタが共同作業を実行するためにどのように利用されるかを示す本発明の１実施例である。 レシピレポートカードエディタがレシピの作成及び修正のためにどのように利用されるかを示す本発明の１実施例である。 レシピレポートカードエディタが問題解決のためにどのように利用されるかを示す本発明の１実施例である。

本発明を添付の図面で図示した幾つかの実施例に基づいて詳細な解説をする。以下の詳細な説明では本発明の完全な理解のために多数の細部が解説されている。しかしながら、専門家であればそれらの細部の一部または全部を排除しても本発明が実施可能であることを理解しよう。また、本発明の説明を複雑化することがないよう、良く知られた方法及び/又は構造は詳細には解説されていない。

方法と技術を含んで本発明の様々な実施形態が以下において解説されている。本発明は、本発明の技術の実施形態を実行に移すために、コンピュータが読取可能な命令（インストラクション）が記録されているコンピュータ読取可能媒体を含む製品にも関する。このコンピュータ読取可能媒体とは、例えばコンピュータ読取可能コードを記録するための半導体、磁性、光磁性、光学または他の形態のコンピュータ読取可能媒体、等々である。さらに本発明は本発明の実施形態を実施する装置にも関する。このような装置には本発明の実施形態に関係する動作を実行する回路（専用及び/又はプログラム式）が含まれる。このような装置の例は、汎用コンピュータ及び/又は好適にプログラムされた専用計算装置、並びに本発明の実施形態に関する様々な動作に適応されたコンピュータ/計算装置及び専用/プログラム式回路の組み合わせが含まれる。

本発明の１特徴によれば、発明者はレシピが決して“隔絶環境”で作成されないことに気付いた。レシピ（特に良質レシピ）は知識、技術、及び複数の可変要素（例：レシピ、処理データ、履歴データ、等々）からのデータソースの一体化を必要とする。また、良質レシピは、ツール製造業者、基板製造業者、等々の会社内外の協調努力並びに資金を必要とする。

本発明の実施形態によれば、このコンピュータ利用形態は単体のレシピレポートカードフレームワークのもとで複数のデータソース（例：レシピ、ツールデータ、良く知られた方法、等々）を一体化するように設計され、利用が容易なシステムを提供する。また、このレシピレポートカードフレームワークはレシピ評価を可能にする双方向の（インタラクティブ）基準セクションを含む。さらにこのレシピレポートカードフレームワークはレシピ分析においてガイダンスを提供するために補助セクションのような専門ガイダンスを含む。さらに、このレシピレポートカードフレームワークは、レシピの作成、修正、及び/又は有効化のための共同インフラを提供する。

本発明の１実施形態では、このレシピレポートカードフレームワークはレシピレポートカードエディタを提供する。このレシピレポートカードエディタで複数の機能が実行できる。これら機能にはグレーディング機能、ガイダンス機能及び共同作業機能が含まれるが、これらに限定されない。

グレーディング（等級づけ）機能に関しては、特殊ツールに対してレシピがいかに機能を発揮するかに基づき、レシピは等級付け（グレーディング）される。この分野で良く知られているようにレシピは全ツールに対して常に同様に機能するとは限らない。性能の違いはレシピの狭い有効範囲のためである。また、レシピの性能の発揮は、設備の相違、基板の相違、ツールの相違、等々の多様な処理環境により影響される。よって、レシピレポートカードエディタは、例えばツール環境及び/又は処理環境の変化に対応するためにレシピをいかに修正すべきかを決定する際に、ユーザを補助するレシピの等級（グレード）についてのガイドを提供する。

レシピレポートカードエディタが実行する別機能はガイダンス機能である。１実施例では、レシピレポートカードは信号パラメータを決定するために工業基準、最も良く知られた方法、専門知識及び/又は過去の経験並びにレシピ実行の成功に影響を及ぼす各信号パラメータの基準を記録している。レシピレポートカードエディタはレシピを分析するための重要要素を特定しているので、経験のないユーザは分析のためにガイダンスを提供するレシピレポートカードエディタを利用する。さらにレシピレポートカードエディタは補助セクションを含むことでガイダンスをさらに提供する。補助セクションは、例えば、失敗基準、失敗基準を解決する解決案、基準の説明、等々の解説を含む。

さらに、レシピレポートカードエディタは共同作業機能をサポートする。一般的にレシピ作成、修正及び/又は有効化のプロセスは一人では実施されず、チームワークである。さらにチームは会社内外の構成員（メンバー）を含む。１実施形態ではレシピレポートカードエディタは、複数のユーザよってデータが記録され、閲覧され、分析され、操作される１つのフレームワークを提供する。１例では、地理的に分散しており、及び/又は異なる時間領域に存在するユーザは、全構成員が同一フレームワーク内で作業しているため、共同作業をすることができる。よって各構成員は共通の前提要素に基づいてデータを分析していることになる。

前述の諸機能を実行するため、レシピレポートカードエディタは複数の入力データソース（例：レシピ、ツールデータ、プロセスデータ、最も良く知られた方法、等々）を単一の指定区域（location）において一体化することができる。１実施例においては、入力データソースはレシピレポートカードフレームワークにアップロードされる。データをレシピレポートカードエディタにアップロードすることで、そのデータは分析のために容易に利用が可能になる。別実施例では、レシピレポートカードエディタは様々なデータソースと接続され、分析に必要なデータが抽出される。適時にデータを抽出することでレシピレポートカードエディタに必要なメモリは最少化される。

本発明の１実施形態ではレシピレポートカードエディタは信号パラメータ、信号パラメータのそれぞれの基準と範囲及び専門ガイド（例：補助セクション）のグラフィカルディスプレーを含む。１実施形態では提供された抽出データは、ツール製造業者、履歴データ及び/又は工業基準から収集された専門知識に基づいて選択されるが、それらに限定はされない。１例としては、レシピレポートカードエディタはレシピの実行の成功に影響を及ぼす選択数の信号パラメータを表示する。さらに詳細な分析が必要な状況ではレシピレポートカードエディタはデータのスライスアンドダイス（slicing and dicing）のためにインターフェースも提供する。

本発明の特徴と利点は添付図面と以下の説明からさらに明確に理解されるであろう。

図１は本発明の１実施例によるレシピレポートカードフレームワーク１００の概略図である。レシピレポートカードフレームワーク１００はレシピレポートカードエディタ１０２と、複数の入力データソース１０４と、複数のデータ/タスクアウトプット１０６とを含む。分析がユーザ（例：プロセスエンジニア、技術者、等々）の知識、経験及びアクセス能力に限定されている従来技術の場合とは異なり、本発明のレシピレポートカードフレームワーク１００は単一フレームワーク内に複数のインプットデータソース１０４を一体化させるための単純構造のインフラを提供する。

本発明の１実施例では、複数のインプットデータソース１０４はレシピレポートカードエディタ１０２内にアップロードされる。複数のインプットデータソース１０４の例には、実行されたレシピ１０８、プロセスシステムコンポーネント（例：センサー、計測ツール、処理モジュール、等々）によって収集された処理データ１１０、最も良く知られた方法１１２（例：レシピ作成のための最良方法）、専門知識１１４、処理環境データ１１６（例：ツールＩＤ、ウェハＩＤ、チャンバＩＤ、電圧、等々）等々が含まれる。

レシピレポートカードエディタ１０２を採用することで、複数のアウトプット１０６を発生させるために複数のインプットデータソース１０４が表示され、分析され及び/又は操作される。複数のアウトプット１０６はレシピ修正１１８、レシピ作成１２０、問題解決１２２、最も良く知られた方法の修正１２４、等々において補助するレポート並びにデータ分析を含む。

本発明の１実施形態では、レシピレポートカードエディタ１０２は３種の機能を発揮する。まず、レシピレポートカードエディタはグレーディング機能を実行する。１例ではレシピレポートカードエディタは特定ツールを利用してレシピの実行に関する詳細を提供する。

次に、レシピレポートカードエディタ１０２はガイダンス機能を実行する。１例では、レシピレポートカードエディタは問題が発生するとその問題を特定し、問題の原因を探り及び/又はその問題を解決する可能な解決策を提示することでガイダンスを提供する。このガイダンス機能はレシピレポートカードエディタ内へ統合される経験や専門知識の集積により可能である。

最後に、レシピレポートカードエディタ１０２は共同作業機能を提供する。１例では、レシピの実行のためにレシピレポートカードを完成できないユーザはレシピレポートカードエディタを介して他のチーム構成員と共同作業することができる。よってレシピレポートカードエディタは、地理的距離や時間領域の相違にも拘わらず共同作業を可能にする共通フレームワークを提供する。

続く幾枚かの図面は、レシピレポートカードエディタが本発明の１実施例においてどのようにそれら３つの機能を果たすかを示す。特に、図２から図４にかけてはレシピレポートカードインターフェースの実施例を示しており、図５から図７にかけてはレシピレポートカードエディタが前記の３つの機能を達成させるのにどのように利用されるかの実施例を示す。

図２は本発明の１実施例におけるレシピレポートカードインターフェースの１例を示す。この主要図ではインターフェース２００は１以上のグラフィカルディスプレー（２０２、２０４、２０６、２０８、２１０）を含む。それぞれのグラフィカルディスプレーは信号トレースを表す。ここで解説する信号トレースとはレシピの全処理中に信号パラメータのために集められる大量のデータのことである。本発明の１実施例では各グラフィカルディスプレーは１以上の基板からの信号トレースを含む。

レシピ実行中に何百もの信号パラメータ（例：バイアス電圧、ガス圧、ＲＦ、等々）が採取される。従来技術では多量のデータをチェックするには相当な時間、経費及び経験を必要とした。よって経験不足のエンジニアには知識と経験が不足しているハンディがある。さらに、エンジニアに技術と知識があろうと、エンジニアは一般的に関与する信号パラメータを迅速に特定する処理ツール知識を持たないであろう。その結果、殆どのエンジニアは問題が発生するまでデータ分析を回避する。

何百もの信号パラメータが採取されようとも、レシピの実施を確実に成功させるためには、全部の信号パラメータを必要とするわけではない。本発明の１実施形態においてはグラフィカルディスプレーとして現れる信号パラメータは、工業基準、ツール製造業者の推奨及び/又は経験豊富な会社技術者/エンジニアによる専門知識に基づいて予め設定される。１例では１００の信号パラメータがレシピ実行中に採取される。しかしながら、これら１００の信号パラメータの中で１８パラメータのみが、レシピの実行の成功を特定するのに重要であるとして特定されたものである。よってレシピレポートカードインターフェースはこれら１８の重要な信号パラメータのみを示す。１８の信号パラメータが重要であると特定されているが、信号パラメータのためにデータが採取されていなければ信号パラメータのグラフィカルディスプレーは表示されないままでよい。さらに、１実施形態では、選択された小数の信号パラメータのみがグラフィカルディスプレーされたとしても、ユーザがさらに詳細な分析の実行を希望する場合にはレシピレポートカードインターフェースを介して、採取された残りの信号パラメータも分析に利用が可能になる。

１実施例では、インターフェース２００は基準表示セクション２１４も含む。これはプロセスレポートカードセクション２１６、ステータスセクション２１８、ノートセクション２２０及びヘルプセクション２２２を含む。プロセスレポートカードセクション２１６は複数の基準、質問及び/又は採取した信号パラメータに関係するレシピの分析のためにユーザにガイドラインを提供する水準を含む。１実施形態ではプロセスレポートカードセクション２１６は最も良く知られた方法に基づいてツール製造業者により予め確立されている。別実施形態ではプロセスレポートカードセクション２１６はエンジニアの知識、経験並びに会社が確立した基準に基づいて会社のエンジニアにより確定及び/又は修正される。

さらに基準セクション２１４は、プロセスレポートカードセクション２１６の状態を定義するのに利用されるステータスセクション２１８を含む。１実施形態ではステータスセクション２１８はステータス（現況）を定義する範囲を組み入れることができる。１実施形態ではこの範囲は最適な方法に基づいて定義される。別実施形態ではこの範囲は会社の実務により確立されたガイドラインに基づいて定義される。１実施形態ではステータスセクション２１８は自動的及び/又は手動式に入力される。１実施形態ではレシピレポートカードモジュールは、レシピ実行時に採取されたデータを分析することでプロセスレポートカードセクション２１６のそれぞれの基準のためのステータスを導き出すことができる知能を有する。別実施形態では、１以上の基準が人の介在を必要とする。

１実施形態では、フェールステータス（状況）はユーザに、例えばノートセクション２２０にて失敗の説明をさせることを必要とする。１例では、基準２２４は“フェール（失敗）”のステータスを有する。その結果、ユーザは基準２２４のためにノートセクション２２０を完了させねばならない。別例では、基準２２６が“パス（合格）”のステータスを有しているため、ノートセクション２２０がオプションである。ノートセクション２２０は基準のステータスの説明を提供するだけでなく、将来の分析のためにガイドラインも提供する。１例ではレシピは修正されている。過去のレシピ実行からのノートはレシピの最良の修正法に関するガイダンスを提供する。

データ分析を補助するため、補助セクション２２２が提供される。補助セクション２２２は補助セグメントセットを含む。これらセグメントはプロセスレポートカードセクション２１４のそれぞれの基準と関係する。１実施形態では補助セクション２２２は各基準に対するガイダンスを提供するように利用される。例えば、補助セクション２２２は、どのように基準２２４が失敗したかの理由を提供する。さらに、補助セクション２２２は特定された問題をどのように訂正するかの命令を提供する。

前述したように、レシピレポートカードインターフェースは１以上のグラフィカルディスプレーを表示する。それぞれのグラフィカルインターフェースに対してユーザは信号パラメータのさらに徹底的な分析を実行する。図３は本発明の１実施例による信号トレースのさらに詳細な図である。

レシピレポートカードインターフェース３００は信号トレースの複数のグラフィカルディスプレーを含む。例えば、ユーザはグラフィカルディスプレー３０２に表示されている信号トレースのさらに徹底的な分析を希望しているとする。１実施形態ではユーザは詳細図３０４を表示するためにグラフィカルディスプレー３０２を選択する。詳細図３０４はグラフィカルディスプレー３０２の拡大図を提供している。また、詳細図はグラフィカルディスプレー３０２に現れる信号トレースのそれぞれをも定義する。１例では拡大グラフィカルディスプレー３０６は与えられた信号パラメータのために２５の信号トレースを示す。各信号トレースに対して信号の説明文３０８が提供される。例えば、信号トレース３１０は信号の説明文３０８のキー３１２と関連する。本発明の１実施形態では信号トレースのために採取された実際のデータが表示される。１例として、拡大グラフィカルディスプレー３０６で信号トレースを選択し、信号の説明文３０８でキーを選択し、及び/又はデータ表示ボタン３１４を選択することで採取データは表示される。

前述のように補助セクションはユーザにガイダンスを提供するように利用される。図４は本発明の１実施例によるレシピレポートカードインターフェースの補助図である。例えば、ユーザは、基準４０２が“フェール”ステータス４０４を有する理由を理解できないとする。補助セクション４０８の補助セグメント４０６をクリックすることでユーザは補助ダイアログボックス４１０を引き出し、基準のガイダンス及び/又はフェールステータスの説明が提供される。１実施形態では補助ダイアログボックス４１０に表示される知識は工業基準、ツール製造業者及び/又は社内エンジニアの専門知識の採取データである。

従来では異なった場所に保存されていた複数のデータソースを、レシピレポートカードフレームワークを使用した分析及び/又は共同作業を促進する方法について、以下で提示し、確立する。続く数図は、共同作業、レシピの作成及び/又は修正、問題解決、等々を可能にするようにレシピレポートカードフレームワークがどのように利用されるかを本発明の１実施例により示す。

図５は共同作業を実行させるためにどのようにレシピレポートカードエディタが利用されるかを示す本発明の１実施例によるフロー図である。第１ステップ５０２においてレシピレポートカードインターフェースが起動される。例えば、技術者等であるユーザがレシピの実行を完了した状況を考える。

ステップ５０４で、基準が欠落ステータスを有するか否かを知るため、ユーザはレシピレポートカードインターフェースの基準セクションをチェックする。１実施形態では、レシピレポートカードエディタは、１以上のインプットデータソース（例：レシピ、レシピ実行時に採取されたデータ、専門知識、最適な方法、等々）に基づいて１以上の基準を自動更新させることができる知能を有する。１実施形態では１以上の基準はステータスを更新するために人の介在を必要とする。

もし基準が欠落ステータスによって特定されたら、次のステップ５０６にて欠落ステータスを更新するユーザ能力に関する決定が為される。１実施形態では、ユーザのログインステータスは、ユーザが所定の基準フィールドを更新できることを限定する。別実施形態ではユーザは自身が欠落ステータスを更新する知識に欠けていると判断する。

もしユーザが欠落ステータスを更新することができれば、次のステップ５０８でユーザはその更新を実行する。１実施形態では補助セクションがユーザに欠落ステータスの更新の補助を提供する。

しかし、もしユーザが欠落ステータスの更新をすることができなければ、次のステップ５１０でユーザはデータをエクスポートし、１以上のチーム構成員にファイルを送ることができる。１実施形態では、エクスポートファイルとはデータノート、各基準のステータス、等々を含むものである。従来では、仲間のチーム構成員からのレスポンスの品質は問題を解説するユーザ能力に依存していた。従来とは異なり、欠落ステータスを更新するための分析を実行するのに必要なデータソースはレシピレポートカードのエクスポートファイル内に既に組み込まれていた。従って、レシピレポートカードエディタは、異なる地理的領域で異なる時間帯に存在するチーム構成員が共同作業することができる共通フレームワークを提供することでチーム共同作業を達成させる。

エクスポートファイルを受領すると、チーム構成員はそのエクスポートファイルをレシピレポートカードエディタの自身のバージョンにインポートする。１実施形態では、レシピレポートカードエディタはチーム構成員のレシピレポートカードエディタ内にエクスポートファイルをインポートするインポート能力を提供する。ファイルをインポート/エクスポートするこの能力はチーム共同作業を管理する管理業務を最少化する。

レシピレポートカードエディタはインフラを提供するので、レシピレポートカードエディタを介した共同作業の方法は、Ｅメールのみを介した共同作業と比してさらに優れた通信及び共同作業ツールを提供する。レシピレポートカードエディタはレシピの実行中に採取されたデータの中央保管所を提供するだけではなく、データが比較できる実際のレシピも提供する。さらにレシピレポートカードはユーザにガイダンスを提供するために専門知識及び過去の経験の蓄積も提供する。

さらに、問題及びその解決策は、今後の参考用に保存される。よってレシピレポートカードエディタは知識の共有を促進させるフレームワークを提供する。その結果、小人数によって経験された知識は共有され、類似した状況が将来発生した時に、その得られた知識から便宜を受ける。

図５は基準に対するステータスの更新に関して説明したが、レシピレポートカードフレームワークの共同作業能力はこの例には限定されない。図５はレシピレポートカードフレームワークがどのように共同作業ツールとして利用されるかの説明用の実施形態を示す。従ってレシピレポートカードフレームワークは、地理的に離れており、時間的に異なる条件で共同作業を促進させる経費的に優れたツールを提供する。レシピレポートカードフレームワークは同一会社内のチーム構成員間の共同作業を可能にするだけではなく、デバイス製造業者のエンジニアとツール製造業者のエンジニアとの間の会社間の構成員共同作業をも可能にする。

図６はレシピの作成/修正を可能にするために利用されるレシピレポートカードエディタの利用例を示す、本発明の１実施例によるフロー図を示す。例えばツール製造業者によってレシピが開発された状況を考えてみる。デバイス製造業者の生産現場でそのレシピが同一結果を出すことができないとする。

ステップ６０２でレシピレポートカードエディタは起動される。従来においてはレシピの修正はエンジニアの技術や経験に依存するだけではなく、異なるデータソースを突き止めて分析するエンジニアの能力及び/又は意欲にも依存していた。従来とは異なり、本発明のレシピレポートカードエディタは複数のデータソース（例：レシピ、プロセスデータ、等々）を集積し、種々に異なるデータソースの検索および位置特定の面倒な仕事からエンジニアを解放する。さらに、経験が浅いエンジニアも経験豊富なエンジニアもレシピレポートカードエディタに記録された専門知識、最も良く知られた方法及び/又は産業水準から恩恵を受ける。

次のステップ６０４でユーザは１つの信号パラメータに対する１以上の信号トレースを分析する。１例として、ユーザはレシピの変化の影響を決定するために信号パラメータのための１以上の信号トレースを分析するオプションを有する。例えば、ユーザは、ハードウェアの変化が基準を失敗に導いたか否かを決定するために信号トレースを分析する。別例では、ユーザは信号トレースのバッチを分析し、どの信号トレースが大部分から逸脱しているかを決定する。

続くステップ６０６ではユーザは他のチーム構成員と共同作業する。レシピの修正プロセスは通常は単独行動ではないので、ユーザは自身の見解（finding）をエクスポートし、他のチーム構成員と共有することができる。図５で示すようにレシピレポートカードエディタは発明の共有を可能にする共通フレームワークを提供する。このレシピレポートカードフレームワークは、どうすれば最良にレシピを修正できるか決定するために、多数の人々を協調的に働かせることができる。レシピレポートカードフレームワーク内でレシピ修正を実行することで、レシピは本発明のレシピレポートカードフレームワークを特徴付ける共有知識の恩恵を受ける。

次のステップ６０８で現行レシピは修正を伴って更新される。レシピの修正プロセスはレシピレポートカードエディタによって単純化される。なぜならレシピレポートカードエディタは複数のインプットデータソースを１つのデータソースに集約するからである。さらにレシピレポートカードインターフェースは最も良く知られた方法と専門知識とを一体化した補助セッションを含むので、レシピ修正プロセスは特定のエンジニアの知識と技術に依存する必要がなくなる。よってレシピレポートカードフレームワークを利用することでレシピは拡張され、異なるチーム構成員による実施された分析と専門知識に基づいたさらに多く結果（scenario）の収容が可能となる。

図７はレシピレポートカードエディタがどのように問題解決を実行するかを示す本発明の１実施例によるフロー図を示す。例えば、処理問題が生産工程で発生したとする。従来では、このような場合には処理ツールがその問題の原因であると考えられることが多かった。その結果、処理ツールの問題を特定するために時間と経費を必要とした。しかしこのような問題はハードウェアの問題とは限らず、利用されたレシピ及び/又は設備に関係することがあった。

最初のステップ７０２で問題が特定される。

次のステップ７０４でレシピレポートカードエディタが起動される。

次のステップ７０６でデータが分析される。従来においてはデータ分析のためにはユーザが多量のデータ点を含むデータファイルを分析する必要があった。知識と経験がない経験不足のエンジニアは問題の原因を突き止めるのに何週間または何ヶ月ではないまでも何日も費やした。エンジニアが経験豊かであっても、データ量はデータ分析のためにエンジニアに相当な時間と経費を費やさせるほど多量であった。

しかし、レシピレポートカードエディタはレシピを失敗させる信号パラメータを既に特定している。レシピレポートカードエディタを利用すれば、ユーザは分析を必要とする１以上の信号パラメータを迅速に特定できる。さらに、問題の信号パラメータが特定されると、ユーザはさらに詳細な分析のために１以上の基板からデータを引き出すことができる。１例として、信号パラメータ用の２５の信号トレースが分析される。これら２５の信号トレースの中で１つの信号トレースは他の信号トレースとは大きく相違する。

次のステップ７０８で１以上の可能性のある原因が特定される。１例では半端な信号トレースが特定されている。実行される即座の分析は様々な異なる基板間でレシピコンテンツを比較することである。もし半端な信号トレースが他の信号トレースと同じレシピを有しているなら、そのレシピは問題の原因の可能性があるものとして排除される。しかし、もし半端な信号トレースがレシピ内に１以上の相違を有していたら、そのレシピが問題の原因であるか否かを決定するためにさらなる分析が実施される。

別実施形態では、もしレシピに問題はなく、基板も良好であると決定されたら、問題の原因の可能性は、ツール及び/又は施設にあることになる。そのレシピと処理データによりレシピレポートカードエディタは、データを精査し、詳細な分析と問題原因の特定とを実行する分析ツールとして利用される。

本発明の１以上の実施形態から理解されようが、このレシピレポートカードフレームワークはレシピに対する分析を実行するための１つのインターフェースを提供する。このレシピレポートカードフレームワークを利用して、複数のインプットデータソースが１つのデータソース内に吸収される。また、このレシピレポートカードフレームワークは専門知識を輸出し、レシピ開発および保守のあらゆる面でエンジニアを専門家とする必要性を低減させる。よって、レシピ作成、修正、保守及び問題解決を１つのフレームワークに集中させることでレシピレポートカードフレームワークは、地理的に離れており、時間的に異なっている条件下においても共同作業を可能にする費用的に高効率なツールを提供する。

本発明をいくつかの実施形態を利用して解説したが、本発明の範囲内で、いくつかの別形態、改良形態および均等形態が存在する。本明細書において様々な実施形態を説明したが、それらは本発明を説明するためのものであり、本発明の限定は意図されていない。

また、本明細書における「発明の名称」および「発明の概要」は本発明の理解に便宜を与えるものであり、本発明を限定するように理解されるべきではない。さらに、「発明の要約」は便宜上のものであり、本発明を限定するように解釈されるべきものではない。本発明の定義は「請求の範囲」に記載されたものである。本発明の方法および装置を利用する多数の別形態が存在する。本明細書の「請求の範囲」は、本発明の精神と範囲に属するそのような全ての別形態、変更および均等物を包含するように解釈されるべきものである。

Claims (8)

1. コンピュータを利用するレシピの評価方法であって、
   複数のデータソースと相互作用させるためのエディタを含んだ１体のレシピレポートカードフレームワーク内に複数のデータソースを統合させるステップと、
   それぞれのグラフィカルディスプレーが、少なくとも１体の基板のための信号パラメータセット内の１信号パラメータを提供すべく設定されている複数のグラフィカルディスプレーを表示するステップと、
   前記信号パラメータセット内のそれぞれのための複数の基準を提供するステップと、
   前記信号パラメータセット内のそれぞれのための複数の範囲を提供するステップと、
   レシピの分析に際してガイダンスを提供すべく設定されている専門ガイドを提供するステップと、を含み、
   前記信号パラメータは基板の信号トレースであり、該信号トレースは該基板のためのレシピ実行中に採取され、
   前記複数の範囲はパスステータス又はフェールステータスとして表示され、
   レシピレポートカードフレームワークはノートセクションを含んでおり、該ノートセクションはユーザに対してパスステータス又はフェールステータスに対する説明を提供するための指定区域を提供するように設定されており、
   前記レシピレポートカードフレームワークは、ユーザ間の共同作業を可能にする共同作業機能を提供するように設定されており、
   当該共同作業機能は、フェールステータスの更新をするために、ステータスを含むエクスポートファイルを、他のユーザのレシピレポートカードエディタに送信し、
   当該他のユーザのレシピレポートカードエディタは、受領した前記エクスポートファイルを自身にインポートすることを特徴とする方法。
2. 専門ガイドは複数の基準内のそれぞれの基準に対する問題を処理するための命令を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
3. レポートを含む複数のデータアウトプットを提供するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
4. レシピ評価を実行するように設定されているコンピュータが読取可能なコードを内蔵するプログラム記録媒体を含んだ製品であって、
   複数のデータソースから信号パラメータセットの複数のグラフィカルディスプレーを表示するためのコードと、
   該信号パラメータセットのそれぞれに対する複数の基準を提供するためのコードと、
   該信号パラメータセットのそれぞれに対する複数の範囲を提供するためのコードと、
   レシピを評価する際にガイダンスを提供するように設定されている専門ガイドを提供するためのコードと、を含み
   前記信号パラメータは基板の信号トレースであり、該信号トレースは該基板のためのレシピ実行中に採取され、
   前記複数の範囲はパスステータス又はフェールステータスとして表示され、
   レシピレポートカードフレームワークはノートセクションを提供するためのコードを含んでおり、該ノートセクションはユーザに対してパスステータス又はフェールステータスに対する説明を提供するための指定区域を提供するように設定されており、
   前記レシピレポートカードフレームワークは、ユーザ間の共同作業を可能にする共同作業機能を提供するように設定されており、
   当該共同作業機能は、フェールステータスの更新をするために、ステータスを含むエクスポートファイルを、他のユーザのレシピレポートカードエディタに送信し、
   当該他のユーザのレシピレポートカードエディタは、受領した前記エクスポートファイルを自身にインポートすることを特徴とする製品。
5. 専門ガイドは複数の基準内のそれぞれの基準に対する問題を処理するための命令を含んでいることを特徴とする請求項４記載の製品。
6. レポートを含む複数のデータアウトプットを提供するためのコードをさらに含んでいることを特徴とする請求項４記載の製品。
7. レシピレポートカードフレームワークであって、
   複数のデータソースと、
   該複数のデータソースの表示、分析及び操作のうち少なくとも１つの作業をユーザに実行させるべく該複数のデータソースと相互作用するように設定されているエディタと、
   を含んで成り、前記エディタは、
   それぞれが少なくとも１つの基板のための信号パラメータセットの信号パラメータを提供すべく設定されている複数のグラフィカルディスプレーと、
   前記信号パラメータのための複数の基準と、
   前記信号パラメータのための複数の範囲と、
   レシピ分析の際にガイダンスを提供すべく設定されている専門ガイドとを含み、
   前記信号パラメータは基板の信号トレースであり、該信号トレースは該基板のためのレシピ実行中に採取され、
   前記複数の範囲はパスステータス又はフェールステータスとして表示され、
   ユーザに対してパスステータス又はフェールステータスに対する説明を提供するための指定区域を提供するように設定されてノートセクションをさらに含んでおり、
   前記レシピレポートカードフレームワークは、ユーザ間の共同作業を可能にする共同作業機能を提供するように設定されており、
   当該共同作業機能は、フェールステータスの更新をするために、ステータスを含むエクスポートファイルを、他のユーザのレシピレポートカードエディタに送信し、
   当該他のユーザのレシピレポートカードエディタは、受領した前記エクスポートファイルを自身にインポートすることを特徴とするレシピレポートカードフレームワーク。
8. 専門ガイドは複数の基準内のそれぞれの基準に対する問題を処理するための命令を含んでいることを特徴とする請求項７記載のレシピレポートカードフレームワーク。

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