KR101515005B1 - 기판 적재용 카세트의 서포트바 및 이 서포트바의 제조 방법 - Google Patents

기판 적재용 카세트의 서포트바 및 이 서포트바의 제조 방법 Download PDF

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허원석
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(주)상아프론테크
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Abstract

본 발명은, 디스 플레이에 이용되는 유리 기판을 운반 보관하는 카세트의 백프레임에 다층으로 조립되며, 상기 유리 기판이 얹혀 지도록 하는 서포트바로써,
CFRP 필름을 성형하여 하부 지지대와 상부 안착대 그리고, 양측 경사면으로 이루어진 사다리꼴 형상의 성형물을 구비하고, 이 성형물의 안착대 상면 양측 가장 자리에 완충 돌부가 열융착되며, 상기 성형물의 일측 단부에 상기 백프레임에 조립될 수 있도록 조립 부재가 끼워맞춤된 것을 포함하는 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.

Description

기판 적재용 카세트의 서포트바 및 이 서포트바의 제조 방법{A support bar for the substrate-loading cassette and the manufacturing method thereof}
본 발명은 서포트바에 관한 것이다.
더 상세하게는, 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판을 보관, 운반하는 카세트에 설치되어, 상기 유리 기판이 안착되도록 하는 서포트바 및 이 서포트바를 제작하는 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 제조에 사용되는 (유리)기판은 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 있어 간격을 두고 수납할 수 있는 기판 적재용 카세트(이하 카세트라 약칭함)에 의해 보관되거나 운반된다.
이러한 카세트는 프레임을 이용하여 사각 형태로 구성하여, 이 프레임의 안쪽에 기판이 안착 보관되는 서포트바가 격층으로 설치된 구성이다.
즉 종래의 카세트는, 격자구조를 갖는 수평상의 바텀프레임, 상기 바텀프레임의 직상방에 나란하게 배치되며 격자구조를 갖는 수평상의 탑프레임, 상기 바텀프레임과 탑프레임의 측방을 연결하는 수직상의 사이드프레임, 상기 탑프레임과 바텀프레임의 후방을 연결하는 수직상의 백프레임, 상기 백프레임의 내면 길이방향을 따라 일정간격으로 결합되는 다수의 서포트바, 상기 사이드프레임의 내면에 상기 각 서포트바와 동일 레벨 상에 놓이도록 결합되는 다수의 서포트 핑거로 이루어진 것을 기본 구성으로 한다.
그런데, 최근에는 평판 디스플레이가 대형화되면서 기판의 중량이 증가하고 따라서 이를 운반하는 카세트도 보완이 이루어지고 있다.
예를 들어, 본 출원인에 의해 개발된, 등록특허 10-1279941호의 카세트는, 보강부재를 구비하여 하향 처침, 좌우 틀어짐, 전방 쏠림 등의 변형을 미연에 방지할 수 있도록 한 것으로, 상술한 기본적인 구성에 더하여,
판상의 처짐 방지용 보강부재를 구비하고, 백프레임 및 바텀프레임과 결합되는 부위를 제외한 나머지 부위 중, 일부 부위에 천공부가 형성되며, 상기 처짐방지용 보강부재의 가장자리 전체 또는 일부분에는, 외향 또는 내향으로 1단 또는 1단 이상 절곡된 절곡단부가 형성되며, 상기 탑 프레임은 소정 간격으로 배치되는 탑 가로 프레임, 상기 탑 가로 프레임의 사이 사이를 연결하는 탑 세로 프레임, 상기 탑 가로 프레임의 양쪽 단부를 각각 연결하는 탑 외곽 프레임으로 구성되되, 상기 탑 가로 프레임 중 최후방측 탑 가로프레임의 내측과 상기 탑 외곽프레임의 내측을 가로질러 만곡변형방지용 보강부재가 구비되며, 상기 탑 프레임의 후방 양측에 상단이 결합되고, 상기 바텀프레임의 중방 양측에 하단이 결합되는 사선방향의 쏠림방지용 보강부재를 포함하는 구성으로 이루어진다.
그러나, 이 발명은 기판이 올려지는 서포트바의 제작이 어려운 문제가 있다. 즉 상기 카세트를 비롯한 통상의 서포트바는 금형을 이용하여 직사각형상으로 성형 제작되는데, 성형 후 서포트바의 측면이 수직면으로 구성되어 금형으로부터 빼내기 어렵고, 강제로 인출하는 경우에는 고가인 서포트바가 훼손되어 그에 따른 경제적인 손실이 발생하는 문제가 있으며, 생산성도 크게 떨어지는 문제가 있다.
본 출원인은 서포트바를 개발한 바도 있다. 국내 실용신안등록 제0417929호의 이 서포트바는, 내마모성 재료를 사용하여 얇은 판으로 제작된 상판 및 하판과, 강성 재료를 사용하여 상부과 하부에 각각 플랜지부를 갖도록 제작되어 상기 상판과 하판 사이의 양측단에 끼워 부착되는 한 쌍의 측판을 포함하며, 상기 내마모성 재료는 탄소섬유 강화 플라스틱이고, 강성 재료는 알루미늄 재로 구성된다.
상기 한 쌍의 측판은 폭이 좁고 긴 알루미늄 판재를 길이방향으로 절곡하여 수직 횡단면이 ㄷ자형으로 되게 형성된 것으로서, 상기 상판과 상기 하판 사이에 안쪽 부분이 서로 마주보게 배치되되 바깥 부분이 상판과 하판의 양측단부와 동일 평면으로 되게 배치되는 것이다.
그러나, 이와 같은 서포트바는 역시 측판과 하판, 상판이 별도로 제작되는 단점이 있고, 조립 시간이 오래 걸리는 문제가 있다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 탄소섬유강화플라스틱을 이용하여 가벼우면서도 강성이 뛰어난 서포트바를 구성하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 맨드릴의 외측면을 필름 형태의 탄소섬유강화플라스틱을 감아, 열과 압력을 이용하여 서포트바를 제작하는 것으로, 제작성은 물론 성형성이 우수하고, 카세트의 전체 무게를 감소시킬 수 있는 서포트바를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 적층 형태로 서포트바를 구성하되, 알루미늄 심재와, 탄소섬유강화플라스틱과, 카본 원단 그리고, 보강층 및 아라미드로 적층 구성하여, 강성이 우수하고, 원가를 절감하며, 처짐을 방지할 수 있는 서포트바를 제공하는 데 있다.
본 발명은, 디스 플레이에 이용되는 유리 기판을 운반 보관하는 카세트의 백프레임에 다층으로 조립되며, 상기 유리 기판이 얹혀 지도록 하는 서포트바로써,
CFRP 필름을 성형하여 하부 지지대와 상부 안착대 그리고, 양측 경사면으로 이루어진 사다리꼴 형상의 성형물을 구비하고, 이 성형물의 안착대 상면 양측 가장 자리에 완충 돌부가 열융착되며, 상기 성형물의 일측 단부에 상기 백프레임에 조립될 수 있도록 조립 부재가 끼워맞춤된 것을 포함하는 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.
또한 본 발명은 디스 플레이에 이용되는 유리 기판을 운반 보관하는 카세트의 백프레임에 다층으로 조립되며, 상기 유리 기판이 얹혀 지도록 하는 서포트바를 제작하는 방법으로써, 알루미늄을 가공하여 사다리꼴 형상의 맨드릴을 준비하는 단계; 상기 맨드릴의 외측면에 CFRP 필름을 적어도 3회 이상 감는 권취 단계; 프레스에 하부 금형을 고정 설치하고, 이 하부 금형 상면에 CFRP 필름이 권취된 상기 맨드릴을 안착시키며, 상부 금형을 덮어 성형을 준비하는 단계; 상기 상부 금형을 가열하고, 상부 금형이 성형 온도에 도달하면 프레스를 동작시켜 상부 금형을 가압하되, 100 ∼ 130분간 가압력을 유지하여 성형이 이루어지도록 하는 성형 단계; 성형 단계 후 상부 금형으로부터 열원을 제거하고, 냉각 과정을 거쳐 크레인을 이용하여 상부 금형을 들어올려 성형물을 인출하고, 상기 성형물에서 맨드릴을 빼내 서포트바를 완성하는 단계;로 구성된 특징이 있다.
본 발명은 첫째, 알루미늄 맨드릴과 탄소섬유강화플라스틱으로 서포트바를 구성하여 경량이면서도, 강성이 뛰어난 서포트바를 얻을 수 있는 발명이다.
둘째, 본 발명은 맨드릴의 외측면에 탄소섬유강화플라스틱을 감는 방법으로 제작이 이루어지도록 함으로써, 제작성이 뛰어나고 성형성이 우수한 효과를 갖는 발명이다.
셋째, 본 발명은 탄소섬유강화플라스틱, 카본, 아라미드 및 금속 보강재를 선택하여 제작함으로써, 원가를 절감하고, 강성이면서도, 제작이 용이하고, 또한 일단에 조립 부재를 구비하여, 조립이 용이하도록 한 발명이다.
도 1은 본 발명에 따른 금형 모듈이 장착된 카세트의 사시도,
도 2a,b는 본 발명에 따른 서포트바의 사시도 및 조립 부재의 단면도,
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 서포트바의 일측면도,
도 5는 본 발명에 따른 서포트바를 성형하는 금형 모듈의 일측면도,
도 6은 본 발명에 따른 서포트바의 다른 실시 예의 단면도.
이하에서는 본 발명의 실시 예가 개시된다.
개시되는 실시 예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
먼저 본 발명에 첨부된 도 1은 본 발명에 따른 금형 모듈이 장착된 카세트의 사시도이고, 도 2a, b는 본 발명에 따른 서포트바 및 조립 부재의 사시도 및 단면도이며, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 서포트바의 일측면도를 도시한 것이다. 또한 첨부된 도 5는 본 발명에 따른 서포트바를 성형하는 금형 모듈의 일측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 서포트바의 다른 실시 예의 단면도를 도시한 것이다.
도면에서, 본 발명의 서포트바(10)는 디스플레이 제작에 사용되는 유리 기판을 적재, 운반하는 카세트에 조립되어, 기판이 올려지도록 하는 것이다.
상기 카세트는 도 1과 같이, 격자구조를 갖는 수평상의 바텀프레임(120)과, 상기 바텀프레임의 직상방에 나란하게 배치되며 격자구조를 갖는 수평상의 탑프레임(140)과, 상기 바텀프레임과 탑프레임의 측방을 연결하는 수직상의 사이드프레임과, 상기 탑프레임과 바텀프레임의 후방을 연결하는 수직상의 백프레임(160) 및 상기 백프레임의 내면 길이방향을 따라 일정간격으로 결합되는 다수의 서포트바(10) 그리고 상기 사이드프레임의 내면에 상기 각 서포트바와 동일 레벨 상에 놓이도록 결합되는 다수의 서포트 핑거(180)로 이루어진 구성이다.
본 발명의 서포트바(10)는 탄소섬유강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic)(이하 CFRP로 약칭함) 또는 CFRP, 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막으로 구성되며, 단층 또는 다층으로 구성되고, 일단에 카세트에 조립되는 조립 부재(60)가 갖추어진 구성이다.
양측면이 경사진 사다리꼴 형상으로 구성되는 상기 서포트바(10)는 양측 경사면(20)과, 하단의 지지대(30) 그리고 상부의 안착대(40)로 구성되며, 상부 안착대(40)의 상면 양측 가장자리에 기판을 보호하는 완충 돌부(42)가 갖추어진 구성이고, 내부가 중공된 관 형상이다.
상기 서포트바(10)는, 일직선으로 구성된 직선부와, 저면에 경사진 경사부로 구성되며, 직선부의 단부에 상기 조립 부재(60)가 구비되어 카세트의 백프레임에 조립되는 구성이다.
본 발명에서 서포트바(10)를 속이 빈 관체 형태로 구성하는 것은, 원자재를 절감하는 역할을 하기도 하지만, 제작성을 향상시키기 위한 효과도 있다. 이에 대해서는 후술한다.
본 발명에 사용되는 상기 CFRP는, 탄소섬유(Carbon Fiber) 330 ∼ 370 g/㎡, 수지(Resin) 220 ∼ 286g/㎡의 중량으로 구성되고, 비중은 1.8∼2.6 g/㎥이다. 바람직하게 수지의 비율은 38∼42%이다. 즉 본 발명에 적용되는 CFRP는 무거운 기판을 지지하여 운반 및 보관이 이루어지도록 하는 것으로, 수지의 비율이 너무 높으면 강도가 저하되기 때문에 상기 비율을 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 적용되는 아라미드 필름은 비중 1.4 g/㎥인 고강도 특히 고탄성이며, 양측면 모두 또는 어느 일면에 접착층이 구비될 수 있다.
한편, 서포트바(10)의 양측면을 구성하는 경사면(20)은 5∼30°의 경사각으로 구성된다. 이 경사면(20)은 무거운 기판을 지지하기 위한 것으로, 안착대(40)에 가해지는 힘을 상대적으로 폭이 넓은 지지대(30)로 분산시켜 안정적인 지지가 가능하도록 하고, 처짐을 줄이기 위함이다. 더불어 본 발명의 형상은 성형 후 금형으로부터 쉽게 빼낼 수 있다는 장점도 있다.
즉, 본 발명은 후술하는 바와 같이, 금형 모듈을 통해 성형이 이루어지고, 성형 후 양측면이 경사지게 구성되어 고가인 서포트바를 쉽게 빼낼 수 있다는 장점이 있다.
도면 중 부호 100은 성형에 따른 중심을 이루는 맨드릴(100)이다.
또한 본 발명에 사용되는 금형 모듈(300)은 프레스에 설치되어 서포트바를 성형한다. 상기 프레스(200)는 유압식으로, 상부 금형이 승강하며, 압착이 이루어지는 구성이다. 다른 형태 예를 들어 공압식 또는 크랭크식 등 어떠한 구동 방식을 갖는 프레스에도 설치되어 사용될 수 있음은 당연하다.
상기 조립 부재(60)는, 사각의 육면체로 구성되고, 재질은 알루미늄 합금 또는 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 구성된다. 조립 부재(60)의 전면에는 서포트바(10)가 끼워질 수 있도록 절취 요홈부(62)가 형성되고 이 절취 요홈부의 안쪽으로 서포트바(10)의 내측으로 끼워지는 돌출부(68)가 마련되며, 측면 및 상,하면에는 상기 절취 요홈부(62)까지 관통하는 암나사부(64)가 형성되어, 이에 끼워지는 볼트가 서포트바를 관통하여 체결됨으로써, 고정되는 구성이다.
상기 조립 부재(60)의 후면에는 볼트 삽입공(미도시)이 형성되고, 상기 카세트의 백프레임(160)과 맞닿은 상태에서 백프레임을 관통하는 볼트가 상기 볼트 삽입공에 끼워져 조립되는 것이다.
한편 상기 조립 부재(60)의 돌출부 내측에는 구멍(66)이 형성되며, 이 구멍에 쇄기(80)가 삽입된다.
즉 서포트바(10)에 조립 부재가 끼워지면, 서포트바의 단부는 절취 요홈부(62)에 끼워지고, 돌출부(68)는 서포트바의 안쪽으로 끼워진다. 이 상태에서 통공 내측으로 쇄기(80)를 박아 끼워넣으면, 돌출부(68)가 모서 부위에 형성된 절취부(68a)를 중심으로 벌어지면서 서포트바에 완전히 고정되는 것이다.
상기, 절취 요홈부(62)는 내경이 서포트바(10)의 두께와 동일하거나 또는 약간 작게 구성되어 억지끼워맞춤으로 조립될 수 있다.
다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명 서포트바의 제작 과정을 설명한다.
- 맨드릴 준비 단계
본 발명에서, 성형 중심을 이루는 맨드릴(100)은 알루미늄(Al)으로 제작된다. 이 맨드릴(100)은 도면과 같이 내부가 중공되고, 외형은 사다리꼴 형상으로 구성되며, 사출 성형 또는 각 면을 가공하여 융착하여 제작하는 방법도 있다.
- CFRP 권취 단계
CFRP는 필름으로써, 롤에 감아진 CFRP 필름을 풀어 상기 맨드릴 외측면에 감는다. 권취되는 횟수는 서포트바(10)의 두께에 따라 결정되며, 적어도 3회 이상이 감겨진다.
- 성형 단계
본 발명에서 서포트바(10)의 성형은 압축 프레스에 의해 이루어지며, 프레스에 하부 금형을 고정 설치하고, 상부 금형은 하부 금형 위에 올려진 상태에서, 이들 사이에 상기 CFRP가 감겨진 맨드릴을 끼워 넣거나, 상부 금형이 올려지기 이전에 하부 금형에 상기 맨드릴을 올려놓고, 상부 금형을 덮는 방식이 있다.
맨드릴이 설치되면, 상부 금형에는 열이 가해지고, 이 열이 성형 온도, 예컨대 100℃에 도달하면 프레스를 동작시켜 상부 금형을 가압한다. 가압 시간은 100 ∼ 130분간 계속되며, 이때의 상부 금형은 CFRP와 맨드릴을 가열하여 성형이 이루어지도록 하는 것이다.
- 냉각 단계 및 맨드릴 제거 단계
가압 후, 상부 금형에 공급된 열원 제거하고, 크레인을 이용하여 상부 금형을 들어올려 해체한 다음, 자연 냉각 방식으로 서포트바 성형물을 냉각시킨다. 서포트바 성형물이 냉각되면 금형으로부터 성형물을 빼내게 되는데, 이때 본 발명의 서포트바 성형물이 사다리꼴 형상으로 구성되어 금형에서 쉽게 빼낼 수 있으며, 마지막으로, CFRP 서포트바에서 맨드릴을 빼내 서포트바를 완성하는 것이다.
물론 상기 맨드릴은 재사용하게 된다.
- 조립 단계
서포트바의 조립은, 먼저 서포트바의 일단에 조립 부재(60)를 끼워넣고, 이 조립 부재를 백프레임에 맞대어 볼트를 체결하는 것으로 조립을 완료한다.
본 발명의 다른 실시 예로, 여러 겹으로 구성될 수 있다.
상기한 서포트바(10)는 고가인 CFRP로 구성된 것이나, 본 발명에서 원가 절감을 위해 카본 필름, 아라미드 필름, 금속 필름이 사용된다.
- 맨드릴 준비 단계
성형 중심을 이루는 맨드릴(100)은 알루미늄(Al)으로 제작된다. 이 맨드릴(100)은 내부가 중공되고, 외형은 사다리꼴 형상으로 구성된다.
- 필름 권취 단계
제 1 실시 예
상기 맨드릴에 필름을 권취하는 것이다. 맨드릴의 외측면에 CFRP 필름이 권취되어 내부층을 구성한다. 내부층의 외측면에 카본 필름이 감아지며, 카본 필름의 외측에 다시 아라미드 필름이 감아지는 중간층을 구성한다.
마지막으로 아라미드 필름의 외측면에 CFRP 필름을 감아 외부층 구성된다.
한편, 상기 중간층은 일측 단부가 내부층과 외부층보다 폭이 작게 구성되어 후술하는 성형 단계에서, CFRP로 이루어진 내부층과 외부층의 단부가 융착될 수 있도록 한다.
바람직하게는 상기 조립 부재(60)가 끼워지는 끝부분은 각 층이 맞춰지고, 타단부에서 카본과 아라미드 필름으로 이루어진 중간층의 폭을 작게 하여 내, 외부층이 융착되어 마무리될 수 있도록 한다.
제 2 실시 예
상기 중간층이 선택적으로 감아질 수 있다는 것이다. 즉 CFRP 필름의 내부층 - 카본 필름, 아라미드 필름, 금속 박막, 유리섬유강화 필름 중 어느 하나 또는 2개 이상으로 이루어진 중간층 - CFRP 필름의 외부층으로 서포트바가 구성되도록 하는 것이다.
제 3 실시 예
또한 본 발명은, 아라미드 필름을 내부층으로 구성하고, 중간층에 CFRP 필름이 감아질 수 있으며, 다시 외부층을 아라미드 필름이 감아지는 적층하는 방법도 가능하다.
- 성형 단계
성형은 압축 프레스에 의해 이루어진다. 프레스에 하부 금형을 고정 설치하고, 상부 금형은 하부 금형 위에 올려진 상태에서, 이들 사이에 상기 CFRP가 감겨진 맨드릴을 끼워 넣거나, 상부 금형이 올려지기 이전에 하부 금형에 상기 맨드릴을 올려놓고, 상부 금형을 덮는 방식이 있다.
맨드릴이 설치되면, 상부 금형에는 열이 가해지고, 이 열이 성형 온도, 예컨대 100℃에 도달하면 프레스를 동작시켜 상부 금형을 가압한다. 가압 시간은 100 ∼ 130분간 계속되며, 이때의 상부 금형은 CFRP와 맨드릴을 가열하여 성형이 이루어지도록 하는 것이다.
- 가압 후, 상부 금형에 공급된 열원 제거하고, 크레인을 이용하여 상부 금형을 들어올려 해체한 다음, 자연 냉각 방식으로 서포트바 성형물을 냉각시킨다. 서포트바 성형물이 냉각되면 금형으로부터 성형물을 빼내게 되는데, 이때 본 발명의 서포트바 성형물이 사다리꼴 형상으로 구성되어 금형에서 쉽게 빼낼 수 있으며, 마지막으로, CFRP 서포트바에서 맨드릴을 빼내 서포트바를 완성하는 것이다.
물론 상기 맨드릴은 재사용하게 된다.
이러한 본 발명은 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함을 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.
10 : 서포트바 20 : 경사면
40 : 안착대 60 : 조립 부재
80 : 쇄기

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  5. 디스 플레이에 이용되는 유리 기판을 운반 보관하는 카세트의 백프레임에 다층으로 조립되며, 상기 유리 기판이 얹혀 지도록 하는 서포트바로서,
    하부 지지대와 상부 안착대 그리고, 양측 경사면으로 이루어진 사다리꼴 형상으로 이루어진 성형물로 구성되며,
    상기 성형물의 내부층과 외부층 각각은 CFRP로 구성되고, 이들 내, 외부층 사이에 아라미드 필름으로 이루어진 중간층이 갖추어진 것을 포함하며,
    상기 내부층과 외부층의 일단이 융착되어, 이들 사이에 중간층이 매립되도록 하는 것을 포함하는 기판 적재용 카세트의 서포트바.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 중간층이 카본 필름으로 구성된 것을 포함하는 기판 적재용 카세트의 서포트바.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 중간층이 금속 박막 또는 유리강화섬유로 구성된 것을 포함하는 기판 적재용 카세트의 서포트바.
  8. 삭제
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