KR20170002536U - 기판 운반 카세트 - Google Patents

기판 운반 카세트 Download PDF

Info

Publication number
KR20170002536U
KR20170002536U KR2020170003208U KR20170003208U KR20170002536U KR 20170002536 U KR20170002536 U KR 20170002536U KR 2020170003208 U KR2020170003208 U KR 2020170003208U KR 20170003208 U KR20170003208 U KR 20170003208U KR 20170002536 U KR20170002536 U KR 20170002536U
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
support bar
substrate
cap
frame
Prior art date
Application number
KR2020170003208U
Other languages
English (en)
Other versions
KR200487579Y1 (ko
Inventor
이이원
황정이
최용수
Original Assignee
이이원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이이원 filed Critical 이이원
Priority to KR2020170003208U priority Critical patent/KR200487579Y1/ko
Publication of KR20170002536U publication Critical patent/KR20170002536U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200487579Y1 publication Critical patent/KR200487579Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H01L21/67309—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements characterized by the substrate support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Abstract

본 고안은 기판 운반 카세트에 관한 것이다. 상기 카세트는, 전면이 개방된 박스형 프레임 어셈블리로 이루어진 기판 운반 카세트로서, 상기 프레임 어셈블리는, 기판의 측단을 지지하기 위해 등간격으로 돌설된 서포트 리브가 형성된 복수의 수직 프레임; 배면측에 제공되는 복수의 스토퍼 프레임; 상기 복수의 수직 프레임 및 상기 복수의 스토퍼 프레임의 상단이 고정되는 상부 프레임; 및 상기 복수의 수직 프레임 및 상기 복수의 스토퍼 프레임의 하단이 고정되는 하부 프레임을 포함하고, 상기 스토퍼 프레임의 내측을 따라 등간격으로 고정되어 상기 프레임 어셈블리의 배면에서 전면까지 전체 길이에 걸쳐 연장되도록 설치되는 복수의 서포트 바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 카세트는 경량으로 제작이 가능하면서도 대면적 박형 기판을 변형 또는 파손 없이 적재할 수 있고, 적재 및 운반시 작업성이 향상될 수 있다.

Description

기판 운반 카세트{CASSETTE FOR CARRYING GLASS SUBSTRATE}
본 고안은 액정표시장치, 유기발광다이오드(OLED) 등과 같은 디스플레이에 사용되는 일정한 크기로 절단된 판형 기판을 복수로 적재하여 운반하기 위한 기판 운반 카세트에 관한 것이다.
일반적으로 기판 운반 카세트는 박스형 프레임 에셈블리와, 프레임 어셈블리 중 양측 수직 프레임 내부에 등간격으로 돌설된 서포트 리브로 이루어진 구조를 가지며, 복수의 기판 각각은 서로 대향된 서포트 리브 쌍의 양측 단부가 지지되는 방식으로 하여 상하 방향으로 적재된다. 이 경우, 프레임 에셈블리의 전면은 외부 픽업장치의 기판의 적재 또는 인출이 가능하도록 완전 개방된 구조이고, 배면은 또 다른 수직 프레임 등을 이용해 적재된 기판의 배면측으로의 이탈을 방지하기 위해 스토퍼용 프레임 등이 구비되어 있다.
종래 이러한 구조의 운반 케세트에서는 기판의 양측 단부만이 상대적으로 짧은 길이의 서포트 리브에 의해 지지되기 때문에 대면적의 기판을 지지해야 하는 경우 기판의 중간 영역이 쳐져 적재 불량, 기판의 변형 내지 파손 등의 문제가 있다.
이러한 문제로 서포트 리브의 길이를 길게 형성하는 방안이 제시되어 있으나, 서포트 리브가 연장된 방향과 기판의 적재 또는 인출방향이 서로 수직하기 때문에 외부 픽업장치를 이용한 기판에 대한 작업성이 현저히 떨어지는 문제가 있다. 이러한 이유로 양측 서포트 리브의 길이를 단순히 길게 하는데 있어서 한계가 있고, 제한된 길이의 서포트 리브의 경우 기판으로부터 집중 하중으로 인해 반복 사용시 쉽게 파손이 일어나고 손상된 서포트 리브에 대한 선택적인 부분 교체 및 보수가 어려워 카세트 전체를 폐기하는 등 비용의 낭비가 수반되는 문제가 상존하고 있다. 또한 서포트 리브는 지지력 확보를 위해 경질의 매끄러운 재질로 이루어지기 때문에, 기판에 대한 충분한 접촉 면적을 갖는다 하여도 적재된 기판의 슬립이 일어나는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 문제는 특히 OLED와 같은 플렉서블 디스플레이에 이용되는 수지와 같은 가요성 기판의 대면적 박형화 추세에 따라 더욱 심각하게 대두되고 있는 실정이다.
본 고안은 경량으로 제작이 가능하면서도 대면적 박형 기판을 변형 또는 파손 없이 적재할 수 있고, 적재 및 운반시 작업성이 향상된 기판 운반 카세트를 제공하는 것이다.
본 고안자 등은 상기 해결과제와 관련된 기판 운반 카세트를 연구 및 개발하는 과정에서, 기판에 대한 지지 요소로서 종래 서포트 리브에 더하여 프레임 어셈블리의 배면에서 전면까지 전체 길이에 걸쳐 연장되는 외팔보 형태의 서포트 바를 복수로 제공하는 방안을 통해 적재 및 운반시 작업성을 용이하게 확보하면서도 대면적 박형 기판에 대한 지지력을 보충하는 방안에 착안하고, 이러한 서포트 바를 중공형으로 제작하여 경량화하되 중공형 서포트 바의 가변성을 고려하여 가스배출구를 형성하는 한편, 긴 길이의 서포트 바가 쳐짐에 따라 혹은 카세트 취급 과정에서의 급제동 또는 급가동으로 인해 기판의 슬립되는 것을 방지할 수 있도록 마찰부재에 의한 미끄럼 방지 기능을 서포트 바에 직접 구현하거나 착탈 가능한 후크를 매개로 구현하는 방안을 도출한 후, 관련된 기구적 설계를 더욱 구체화함으로써 본 고안에 도달하게 되었다. 상기한 해결과제에 대한 인식 및 지견에 기초한 본 고안의 요지는 아래와 같다.
(1) 전면이 개방된 박스형 프레임 어셈블리로 이루어진 기판 운반 카세트로서, 상기 프레임 어셈블리는, 기판의 측단을 지지하기 위해 등간격으로 돌설된 서포트 리브가 형성된 복수의 수직 프레임; 배면측에 제공되는 복수의 스토퍼 프레임; 상기 복수의 수직 프레임 및 상기 복수의 스토퍼 프레임의 상단이 고정되는 상부 프레임; 및 상기 복수의 수직 프레임 및 상기 복수의 스토퍼 프레임의 하단이 고정되는 하부 프레임을 포함하고, 상기 스토퍼 프레임의 내측을 따라 등간격으로 고정되어 상기 프레임 어셈블리의 배면에서 전면까지 전체 길이에 걸쳐 연장되도록 설치되는 복수의 서포트 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
(2) 상기 서포트 바는 중공형이고 하나 이상의 가스배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 기판 운반 카세트.
(3) 상기 서포트 바에는 소정 간격을 따라 복수의 마찰부재가 구비된 것을 특징으로 하는 상기 (1) 또는 (2)의 기판 운반 카세트.
(4) 상기 마찰부재는 서포트 바의 둘레방향으로 장착되는 링인 것을 특징으로 하는 상기 (3)의 기판 운반 카세트.
(5) 상기 링의 내측에는 정렬돌기가 구비되고, 상기 서포트 바에는 상기 정렬돌기가 삽입되는 정렬홈이 구비된 것을 특징으로 하는 상기 (4)의 기판 운반 카세트.
(6) 상기 마찰부재는 상기 서포트 바의 상면에 탈장착되는 후크; 및 후크 본체을 감싸는 캡;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 (4)의 기판 운반 카세트.
(7) 상기 후크 본체 및 캡의 중심에는 가스배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 상기 (6)의 기판 운반 카세트.
(8) 상기 후크 본체에는 상하 방향으로 관통되는 복수의 연결홀이 구비되고, 상기 캡의 내부에는 상기 홀에 대응하여 결합되는 복수의 연결로드가 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 (6)의 기판 운반 카세트.
(9) 상기 후크 본체의 주연부에는 복수의 체결돌기가 구비되고, 상기 캡의 주연에는 상기 체결돌기가 삽입되는 체결홀이 구비된 것을 특징으로 하는 상기 (6)의 기판 운반 카세트.
(10) 상기 캡의 상부에는 조립홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 (6)의 기판 운반 카세트.
(11) 상기 후크 본체의 상면 중심부에는 상기 조립홀의 내경보다 큰 외경을 갖는 지지단차부가 구비된 것을 특징으로 하는 상기 (10)의 기판 운반 카세트.
(12) 상기 복수의 수직프레임에 대각 방향으로 상호 연결 고정하는 보강프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 기판 운반 카세트.
본 고안의 기판 운반 카세트에 따르면, 프레임 어셈블리의 내부에 배면에서 전면까지 전체 길이을 걸쳐 연장되는 중공형 외팔보 형태의 복수의 서포트 바를 지지요소로 보강함으로써, 적내 및 운반시 작업성을 해치지 않으면서도 특히 대면적 박형의 가요성 기판에 대해 변형 또는 손상없이 우수한 적재능력을 구현할 수 있고, 경량화가 가능하다.
또한 상기 기판 운반 카세트는, 상기 중공형 서포트 바에 대해 가스배출구를 형성하여 온도 편차가 큰 공정분위기에서도 경량 중공형 서포트 바에 대한 변경 가능성을 최소화할 수 있고, 링 또는 후크팁을 마찰부재를 서포트 바에 적용함으로써 긴 길이의 서포트 바의 쳐짐으로 인한 대면적 박형 기판의 슬립 가능성을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한 상기 기판 운반 카세트는, 기판과 슬립 방지에 필요한 최소한의 접촉 면적으로 사용될 수 있고, 접촉 마모된 부품 요소에 대한 선택적 부분 교체가 가능하여 사용연한이 연장되고 유지보수도 용이하다.
도 1은 본 고안의 실시예에 따른 기판 운반 카세트의 사시도.
도 2은 본 고안의 실시예에 따른 마찰부재가 구비된 서포트 바 및 후크/캡 조립체의 사시도.
도 3 내지 5는 본 고안의 변형 실시예에 따른 후크/캡 조립체의 사시도.
도 6는 본 고안의 다른 실시예에 따른 마찰부재가 구비된 서포트 바 및 링의 사시도.
이하, 실시예를 통하여 본 고안을 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 고안자는 그 자신의 고안을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 고안의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예의 구성은 본 고안의 가장 바람직한 하나의 실시예에 불과할 뿐이고 본 고안의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 고안의 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있는 것으로 이해되어야 한다. 한편, 도면에서 동일 또는 균등물에 대해서는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하였으며, 또한 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 고안의 실시예에 따른 기판 운반 카세트(1)(이하, '카세트(1)'로 약칭함)의 사시도를 나타내며, 일부 부품 요소는 분리 전개되어 도시되어 있다. 상기 카세트(1)는 전면이 개방된 박스형 프레임 어셈블리로 이루어지며, 그 취급 대상 기판의 재질은 글래스, 수지 등 특별히 제한되지는 않으나, 플라스틱과 같이 플렉서블한 기판으로서 대면적 박형의 가요성 기판에 특히 유용하게 적용될 수 있다. 프레임 어셈블리는 양 측면측 복수의 수직 프레임(10); 배면측 복수의 스토퍼 프레임(20); 상부 프레임(30); 및 하부 프레임(40)을 포함하고, 수직 프레임(10) 및 스토퍼 프레임(20)의 상단 및 하단은 상부 프레임(30) 및 하부 프레임(40) 각각에 고정된다. 상기 수직 프레임(10)은 작업 대상인 기판의 측단을 지지하기 위해 서포트 리브(12)를 구비하고 있다. 서포트 리브(12)는 각각의 수직 프레임(10)의 길이 방향을 따라 등간격으로 용이한 탈부착을 위해 볼트 등을 이용해 설치된다. 이 경우 서포트 리브(12) 상호간 간격은 외부 픽업장치(도면 미도시)가 입출입과정에서 상하 글라스 기판에 의해 간섭되지 않는 적절한 높이로 결정된다. 프레임 어셈블리의 양측면에서 서로 대향된 수직 프레임(10)에서 동일 높이에 있는 서포트 리브(12)들을 따라 기판의 측단이 안내되어 지지된다. 기판은 외부 픽업장치에 의해 운반되어 프레임 어셈블리의 개방된 전면을 통해 적재 및 반출된다. 이 과정에서, 스토퍼 프레임(20)의 기본적인 역할은 프레임 어셈블리의 전면을 통해 투입 적재되는 기판의 후방 이탈을 방지하는 것이다.
본 고안의 특징 중 하나는, 기판의 중앙부를 지지하기 위한 요소로서 복수의 서포트 바(50)가 프레임 어셈블리의 전후 방향으로 연장되어 제공되는 것이다. 기판에 대해 충분한 지지력을 확보하기 위해, 서포트 바(50)는 배면에서 전면에 걸쳐 전체 길이에 걸쳐 연장되는 것이 바람직하다. 서포트 바(50) 각각은 스토퍼 프레임(20)에 일단이 고정되어 외팔보를 형성한다. 복수의 서포트 바(50)는 스토퍼 프레임(20)의 길이방향을 따라 등간격으로 용이한 탈부착을 위해 볼트 등을 이용해 설치되며, 서포트 바(50)의 설치 간격은 상기 서포트 리브(12)가 수직 프레임(10)에 설치되는 간격과 동일하다. 서포트 바(50)/스토퍼 프레임(20) 조립체는 복수로 제공되며, 프레임 어셈블리의 배면측에서 소정 간격을 두고 평행하게 배치되어 상부 프레임(30) 및 하부 프레임(40)에 양단이 고정된다. 이 경우, 서포트 바(50)/스토퍼 프레임(20) 조립체 간 이격간격은 외부 픽업장치의 암(arm)이 간섭되지 않는 한편 글라스 기판 중앙부에 대한 서포트 바(50)에 의한 지지력이 적절히 확보되어 균일한 하중 분산을 달성하기에 충분하도록 소정의 간격으로 결정된다.
이러한 서포트 바(50)의 도입으로 기판, 특히 대면적 박형의 기판의 중앙부가 효과적으로 지지되어 하중이 분산됨으로써, 기판이 카세트(1)에 적재된 상태에서 장시간 보존된다 하더라도 변형 또는 파손의 위험은 현저히 감소한다. 또한 외부 픽업장치의 동작 방향은 설치된 복수의 서포트 바(50)의 연장 방향과 마찬가지로 프레임 어셈블리의 전후 방향이기 때문에, 기판의 적재 및 반출시 외부 픽업장치의 암이 인접한 서포트 바(50) 사이로 도입되면 서포트 바(50) 자체에 의해 간섭되는 현상은 효과적으로 억제되어 작업성 또한 양호하다.
선택적으로, 상기 서포트 바(50)는 휨변형에 대한 저항력과 이와 양립되는 기판에 대한 충분한 지지력을 동시에 만족시킬 수 있도록, 속이 빈 구조의 중공형으로 제작되는 것이 바람직하다. 즉, 기판을 장경간을 프레임 어셈블리의 전후 방향으로 정렬하여 적재하는 경우 이에 비례하여 서포트 바(50)의 길이는 길어지기 때문에, 외팔보 형태의 서포트 바(50)는 자유단측, 즉 프레임 어셈블리의 전방측으로 갈수록 하방향으로 자체 하중에 의해 처질 수 있는 문제가 있고, 지지력 확보를 위해 서포트 바(50)의 단면적을 크게 설계하는 경우 자체 하중이 증가하여 처짐 현상 및 이에 따른 지지력 감소는 피할 수 없는 문제가 있지만, 서포트 바(50)를 중공형으로 함으로써 이러한 문제를 효과적으로 해소할 수 있고 서포트 바(50) 부가에 따른 카세트(1) 중량이 증가되는 것을 최소화하여 제품 경량화에 유리하다. 이러한 기판의 지지력을 서포트 리브(12) 및 서포트 바(50)로 분산시킴으로써, 장시간 반복 사용에 따라 기판과 접촉되는 부품 요소의 마모에 의한 손상 가능성도 현저히 줄어들어 제품의 내구성 측면에서도 유리하다. 또한 중공형 서포트 바(50)의 경우 그 내부에 고체 재질 대비 열팽창율이 큰 기체가 수용된 상태이기 때문에 온도 편차가 큰 공정분위기에서도 경량 중공형 서포트 바(50)에 해나 변형 가능성이 있지만, 서포트 바(50)의 길이 방향으로는 소정 간격을 두고 선택적으로 형성되는 가스배출구(52; 도 2 참조)에 의해 열팽창 된 가스의 배출을 유도함으로써 열악한 공정 분위기에서도 상대적으로 긴 길이를 가지며 외팔보 형태로 제공되더라도 서포트 바(50)의 열변형에 의한 손상 가능성도 효과적으로 억제될 수 있다.
본 고안의 다른 특징 중 하나로서, 상기 서포트 바(50)는 소정 간격을 따라 선택적으로 제공되는 복수의 마찰부재를 구비함으로써, 기판의 슬립과 이에 따른 스크래치나 충격으로 인한 손상을 억제하는 것이 바람직하다. 즉, 기판이 경면 또는 경질로 이루어진 서포트 바(50)에 직접 접촉하는 경우, 공정 중 비상정지, 전원차단 등으로 카세트 운반 동작이 급제동되거나 급가동되는 경우에 기판의 슬립이 쉽게 일어날 위험이 있고 더군다나 외팔보 형태의 서포트 바(50)는 처짐으로 인해 이러한 슬립이 더욱 쉽게 일어날 수 있다. 이러한 슬립으로 인한 기판의 손상은 글래스와 같은 경질 기판에서도 문제되지만 특히 대면적 박형의 가요성 기판에서 더욱 문제될 수 있다. 상기한 마찰부재는 서포트 바(50)에 대한 기판의 직접적인 접촉 및 슬립 변위가 억제됨으로써 기판을 적재한 카세트(1)의 취급이 용이해질 뿐만 아니라 기판의 스크래치 또는 충격으로 인한 손상이 효과적으로 방지될 수 있다.
도 2은 본 고안의 실시예에 따른 마찰부재가 구비된 서포트 바(50) 및 후크(80)/캡(90) 조립체의 사시도를 타낸다. 도 2에서, 마찰부재는 서포트 바(50)의 상면에 탈장착되는 후크(80); 및 후크(80) 본체를 감싸는 캡(90);을 포함하고, 기판은 서포트 바(50) 대신 캡(90)에만 선택적으로 직접 접촉하게 된다. 캡(90)의 재질은 도 6의 링(70)과 마찬가지로 연질이면서 소정의 마찰력을 갖는 실리콘 재질이 바람직하다. 후크(80)는 본체 및 끼움핀(81)으로 구성되고, 끼움핀(81)은 서포트 바(50)의 끼움홀(51)을 통해 탈장착된다. 한편, 이러한 끼움홀(51)은 도면에 도시된 바와 같이 중공형 서포트 바(50)에 선택적으로 구비되는 가스배출구(52)를 전용하는 방식일 수 있고, 이 경우 후크(80) 본체 및 캡(90)의 중심에는 서포트 바(50)의 가스배출구(52)에 대응되는 가스배출구(82,92) 가 선택적으로 형성될 수 있다. 가스 배출구(52)가 끼움홀(51)과 별도로 제공될 수 있고, 이 경우 후크(80) 본체 및 캡(90)에서의 가스배출구(82, 92)는 불필요할 수 있다. 도 2의 후크(80)/캡(90) 조립체는, 별도 제작된 캡(90)을 후크(80) 상방으로부터 삽입하여 조립될 수 있다. 이에 따라 기판에 직접 접촉되는 캡(90)이 후크(80)를 매개로 서포트 바(50)에 보다 견고히 결합 유지될 수 있고, 개별 후크(80)/캡(90)에 대한 선택적 접근이 용이하여 특정 후크(80)/캡(90)의 마모 손상시 교체 및 유지보수가 용이하다.
도 3은 본 고안의 후크(80)/캡(90) 조립체의 변형 실시예에 관한 사시도를 나타낸다. 도 2와 마찬가지로, 도 3의 후크(80)/캡(90) 조립체는 후크(80) 본체를 감싼 캡(90)만이 기판에 접촉될 수 있고 끼움편 및 끼움홀(51)을 이용해 서포트 바(50)의 상면에 탈장착되는 구조로서, 개별 후크(80)/캡(90) 조립체를 서포트 바(50)에 보다 견고히 결합시킬 수 있고 손상된 후크(80)/캡(90) 조립체에 대한 선택적 접근과 교체 및 유지 보수가 용이하다. 또한 끼움홀(51)이 가스배출구(52)를 전용하는 방식인 경우, 후크(80) 본체 및 캡(90)의 중심에 가스배출구(82, 92)가 선택적으로 형성되는 구조에 있어서도 도 2와 동일하다. 도 3의 경우, 후크(80) 본체에는 상하 방향으로 관통되는 복수의 연결홀(84)이 구비되고, 상기 캡(90)의 내부에는 상기 홀에 대응하여 결합되는 복수의 연결로드(94)가 구비됨으로써, 도 2 대비 사용과정에서 후크(80)와 캡(90) 간 분리가 효과적으로 억제될 수 있다. 구체적으로 실리콘 재질의 캡(90)은 가압 및 고온의 공정에서 상대적으로 높은 열팽창률로 팽창하였다가 가압 및 고온 공정 분위기가 해소된 후속 공정에서 수축시 흡착력으로 인해 이탈될 가능성이 있는데 도 3의 후크(80)/캡(90) 조립체에서는 이러한 현상이 효과적으로 억제될 수 있다. 도 3의 후크(80)/캡(90) 조립체는, 캡(90)을 상부와 하부를 분리 제작 한 후 캡(90) 상부(90a) 및 하부(90b)를 후크(80) 본체의 상하방향에서 결합시켜 열융착하는 방식으로 제조할 수 있다. 이 경우 연결로드(94)는 캡(90) 상부 및 하부 중 어느 일방에 제공될 수 있다. 또는 연결홀(84)이 구비된 후크(80) 본체를 금형에 삽입된 상태에서 실리콘 등의 수지재질을 이용해 인서트 사출하여 후크(80)/캡(90) 조립체를 제조할 수 있다.
도 4는 본 고안의 후크(80)/캡(90) 조립체의 다른 변형 실시예에 관한 사시도를 나타낸다. 도 4의 후크(80)/캡(90) 조립체도 기본적으로 앞서 도 2 및 도 3의 실시예에서와 동일하지만, 상기 후크(80) 본체의 주연부에는 복수의 체결돌기(88)가 구비되고 상기 캡(90)의 주연에는 상기 체결돌기(88)가 삽입되는 체결홀(98)이 구비된 것을 특징으로 하며 이에 따라 도 3에서와 유사하게 사용과정에서 후크(80)와 캡(90) 간 분리가 효과적으로 억제될 수 있다. 도 4의 후크(80)/캡(90) 조립체는 도 2와 유사하게 별도 제작된 캡(90)을 후크(80) 상방으로부터 삽입하면서 체결홀(98)이 후크(80)의 체결돌기(88)에 삽입하는 방식으로 조립될 수 있다.
도 5은 본 고안의 후크(80)/캡(90) 조립체의 또 다른 변형 실시예에 관한 사시도를 나타낸다. 도 5의 후크(80)/캡(90) 조립체도 기본적으로 앞서 도 2, 3 및 4의 실시예에서와 동일하지만, 상기 캡(90)의 상부에는 조립홀(96)이 구비되는 것을 특징으로 하며 이에 따라 별도 제작된 캡(90)이 후크(80) 본체의 하방으로부터 도입되어 양자간 조립을 보다 용이하게 하는 측면에서 도 2 내지 도 4와 차이가 있고, 캡(90) 재료비 절감 측면에서도 유리하다. 특히 도 2에서 별도 제작된 캡(90)은 후크(80) 본체의 상방으로부터 도입되어 조립되는데, 이 경우 후크(80)의 체결핀이 삽입되는 홀을 크기를 크게 하여 후크(80) 본체와의 조립을 용이하게 할 수 있지만, 체결핀이 삽입되는 캡(90) 하면의 홀의 크기가 클수록 사용과정에서 캡(90)이 후크(80)로부터 상방향으로 일탈될 가능성이 있다. 이에 대해 도 5의 경우, 후크(80)와의 조립을 위해 조립홀(96)을 상대적으로 크게 함에도 불구하고 체결핀이 삽입되는 캡(90) 하면의 홀의 크기를 체결핀 직경에 대응하여 가능한 한 작게 할 수 있기 때문에, 상면에 조립홀(96)을 상대적으로 크게 하더라도 캡(90)이 후크(80)로부터 상방향으로 이탈되지 않는다. 캡(90) 상부에 조립홀(96)이 구비되는 경우에 있어서 선택적으로, 상기 후크(80) 본체의 상면 중심부에는 상기 조립홀(96)의 내경보다 큰 외경을 갖는 지지단차부(86)가 구비될 수 있다. 지지단차부(86)는 조립홀(96)의 외연을 지지하여 조립된 캡(90)을 소정 부피 두께로 유지하면서도 이와 동시에 후크(80) 본체의 지지단차부(86)를 제외한 영역에서 살빼기를 가능케 하여 후크(80)에 대한 재료비 절감을 가능케 할 수 있다.
도 6는 본 고안의 다른 실시예에 따른 마찰부재가 구비된 서포트 바(50) 및 링(70) 각각에 대한 사시도를 나타낸다. 도 6에서, 마찰부재는 서포트 바(50)의 둘레방향으로 장착되는 링(70)으로 예시되어 있고, 기판은 서포트 바(50) 대신 링(70)의 표면에만 선택적으로 직접 접촉하게 된다. 링(70)의 재질은 연질이면서 소정의 마찰력을 갖는 실리콘 재질이 유리하게 적용될 수 있다. 링(70)은 탄성적으로 결합함으로써 서포트 바(50)에 장착된 상태에서 슬라이딩이 억제될 수 있지만, 기판의 반복적인 적재 및 반출과정에서 이러한 슬라이딩을 보다 효과적으로 억제하기 위해 상기 링(70)의 내측에는 정렬돌기(74)가 선택적으로 돌설될 수 있고 이에 대응하여 상기 서포트 바(50)에는 상기 정렬돌기(74)가 삽입되는 정렬홈(54)이 구비되는 것이 바람직하다. 한편 도면에 도시되지는 않았지만, 이러한 정렬홈(54)은 중공형 서포트 바(50)에 선택적으로 구비되는 가스배출구(52)를 전용하는 방식일 수 있고 이 경우 링(70)의 정렬돌기(74) 위치에는 서포트 바(50)의 가스배출구(52)에 대응되는 가스배출구가 형성될 수 있다.
이상과 같은 본 고안의 카세트(1)에 따르면, 프레임 어셈블리의 내부에 배면에서 전면까지 전체 길이을 걸쳐 연장되는 중공형 외팔보 형태의 복수의 서포트 바(50)를 지지요소로 보강함으로써, 적내 및 운반시 작업성을 해치지 않으면서도 대면적 박형 기판에 대해 변형 또는 손상없이 우수한 적재능력을 구현할 수 있고, 경량화가 가능하다. 또한 상기 카세트(1)는, 상기 중공형 서포트 바(50)에 대해 가스배출구(52)를 형성하여 온도 편차가 큰 공정분위기에서도 경량 중공형 서포트 바(50)에 대한 변경 가능성을 최소화할 수 있고, 링(70) 또는 후크(80)팁을 마찰부재를 서포트 바(50)에 적용함으로써 긴 길이의 서포트 바(50)의 쳐짐으로 인한 대면적 박형 기판의 슬립 가능성을 효과적으로 억제할 수 있다. 또한 카세트(1)는, 기판과 슬립 방지에 필요한 최소한의 접촉 면적으로 사용될 수 있고, 접촉 마모된 부품 요소에 대한 선택적 부분 교체가 가능하여 사용연한이 연장되고 유지보수도 용이하다.
이상의 설명은, 본 고안의 구체적인 실시예에 관한 것이다. 상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 상기 실시예는 설명의 목적으로 개시된 사항이나 본 고안의 범위를 제한하는 것으로 이해되지는 않으며, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 고안의 본질을 벗어나지 아니하고 아래와 같은 다양한 변경 및 수정이 가능한 것으로 이해되어야 한다. 예컨대, 실시예에서 프레임 어셈블리를 구성하는 수직 프레임, 스토퍼 프레임, 상부 프레임 및 하부 프레임은 선형 부재가 복수로 제공된 예를 나타냈으나 각각은 단일의 면 부재로 구현하는 것도 가능하다. 따라서, 이러한 모든 수정과 변경은 특허청구범위에 개시된 고안의 범위 또는 이들의 균등물에 해당하는 것으로 이해될 수 있다.
1: 기판 운반 카세트 10: 수직 프레임
12: 서포트 리브 20: 스토퍼 프레임
30: 상부 프레임 40: 하부 프레임
50: 서포트 바 51: 끼움홀
52: 가스배출구 54: 정렬홈
60: 보강 프레임 70: 링
74: 정렬돌기 80: 후크
81: 끼움핀 82: 가스배출구
84: 연결홀 86: 지지단차부
88: 체결돌기 90: 캡
92: 가스배출구 94: 연결로드
96: 조립홀 98: 체결홀

Claims (12)

  1. 전면이 개방된 박스형 프레임 어셈블리로 이루어진 기판 운반 카세트로서,
    상기 프레임 어셈블리는, 기판의 측단을 지지하기 위해 등간격으로 돌설된 서포트 리브가 형성된 복수의 수직 프레임; 배면측에 제공되는 복수의 스토퍼 프레임; 상기 복수의 수직 프레임 및 상기 복수의 스토퍼 프레임의 상단이 고정되는 상부 프레임; 및 상기 복수의 수직 프레임 및 상기 복수의 스토퍼 프레임의 하단이 고정되는 하부 프레임을 포함하고,
    상기 스토퍼 프레임의 내측을 따라 등간격으로 고정되어 상기 프레임 어셈블리의 배면에서 전면까지 전체 길이에 걸쳐 연장되도록 설치되는 복수의 서포트 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 서포트 바는 중공형이고 하나 이상의 가스배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 서포트 바에는 소정 간격을 따라 복수의 마찰부재가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  4. 제3항에 있어서, 상기 마찰부재는 서포트 바의 둘레방향으로 장착되는 링인 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  5. 제4항에 있어서, 상기 링의 내측에는 정렬돌기가 구비되고, 상기 서포트 바에는 상기 정렬돌기가 삽입되는 정렬홈이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  6. 제4항에 있어서, 상기 마찰부재는 상기 서포트 바의 상면에 탈장착되는 후크; 및 후크 본체을 감싸는 캡;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  7. 제6항에 있어서, 상기 후크 본체 및 캡의 중심에는 가스배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  8. 제6항에 있어서, 상기 후크 본체에는 상하 방향으로 관통되는 복수의 연결홀이 구비되고, 상기 캡의 내부에는 상기 홀에 대응하여 결합되는 복수의 연결로드가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  9. 제6항에 있어서, 상기 후크 본체의 주연부에는 복수의 체결돌기가 구비되고, 상기 캡의 주연에는 상기 체결돌기가 삽입되는 체결홀이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  10. 제6항에 있어서, 상기 캡의 상부에는 조립홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  11. 제10항에 있어서, 상기 후크 본체의 상면 중심부에는 상기 조립홀의 내경보다 큰 외경을 갖는 지지단차부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
  12. 제1항에 있어서, 상기 복수의 수직프레임에 대각 방향으로 상호 연결 고정하는 보강프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반 카세트.
KR2020170003208U 2017-06-21 2017-06-21 기판 운반 카세트 KR200487579Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020170003208U KR200487579Y1 (ko) 2017-06-21 2017-06-21 기판 운반 카세트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020170003208U KR200487579Y1 (ko) 2017-06-21 2017-06-21 기판 운반 카세트

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170002536U true KR20170002536U (ko) 2017-07-12
KR200487579Y1 KR200487579Y1 (ko) 2018-11-28

Family

ID=59315798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020170003208U KR200487579Y1 (ko) 2017-06-21 2017-06-21 기판 운반 카세트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200487579Y1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200032511A (ko) * 2018-09-18 2020-03-26 (주)상아프론테크 사이드 지지구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
KR20210007151A (ko) * 2019-07-10 2021-01-20 내일시스템주식회사 그라스 적재용 카세트

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003341784A (ja) * 2002-05-28 2003-12-03 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板カセット
KR200358807Y1 (ko) * 2004-06-01 2004-08-11 케이 이엔지(주) 평판 디스플레이용 초대형 합착 글라스 카세트 사이드슬롯
JP4216029B2 (ja) * 2002-09-24 2009-01-28 株式会社日立プラントテクノロジー 薄板搬送装置
KR20100046431A (ko) * 2008-10-27 2010-05-07 (주)케이엠 기판 적재 카세트용 서포트바 및 그 제조방법
KR101279941B1 (ko) * 2013-02-08 2013-07-05 (주)상아프론테크 변형 방지용 보강구조를 갖는 유리기판 적재 카세트
KR101465644B1 (ko) * 2013-11-27 2014-11-28 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 수용 용기를 지지하기 위한 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체
KR101515005B1 (ko) * 2014-02-27 2015-07-02 (주)상아프론테크 기판 적재용 카세트의 서포트바 및 이 서포트바의 제조 방법
KR20160002191A (ko) * 2014-06-30 2016-01-07 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 방법
KR101725264B1 (ko) * 2015-10-16 2017-04-10 (주)상아프론테크 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
KR101725263B1 (ko) * 2015-10-16 2017-04-10 (주)상아프론테크 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003341784A (ja) * 2002-05-28 2003-12-03 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板カセット
JP4216029B2 (ja) * 2002-09-24 2009-01-28 株式会社日立プラントテクノロジー 薄板搬送装置
KR200358807Y1 (ko) * 2004-06-01 2004-08-11 케이 이엔지(주) 평판 디스플레이용 초대형 합착 글라스 카세트 사이드슬롯
KR20100046431A (ko) * 2008-10-27 2010-05-07 (주)케이엠 기판 적재 카세트용 서포트바 및 그 제조방법
KR101279941B1 (ko) * 2013-02-08 2013-07-05 (주)상아프론테크 변형 방지용 보강구조를 갖는 유리기판 적재 카세트
KR101465644B1 (ko) * 2013-11-27 2014-11-28 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 수용 용기를 지지하기 위한 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체
KR101515005B1 (ko) * 2014-02-27 2015-07-02 (주)상아프론테크 기판 적재용 카세트의 서포트바 및 이 서포트바의 제조 방법
KR20160002191A (ko) * 2014-06-30 2016-01-07 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 방법
KR101725264B1 (ko) * 2015-10-16 2017-04-10 (주)상아프론테크 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
KR101725263B1 (ko) * 2015-10-16 2017-04-10 (주)상아프론테크 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200032511A (ko) * 2018-09-18 2020-03-26 (주)상아프론테크 사이드 지지구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
KR20210007151A (ko) * 2019-07-10 2021-01-20 내일시스템주식회사 그라스 적재용 카세트

Also Published As

Publication number Publication date
KR200487579Y1 (ko) 2018-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR200487579Y1 (ko) 기판 운반 카세트
JP5336157B2 (ja) 板状物品搬送用トレイ
US10745184B2 (en) Cushioning device, display screen storage device, and display screen storage box
WO2013048161A2 (ko) 도광판의 열팽창을 완충할 수 있는 백라이트 장치
KR101944718B1 (ko) 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
US9758298B2 (en) Packing box for liquid crystal glass panel
US20130205927A1 (en) Engagement chain type device for forward and backward movement operation
US20160001964A1 (en) A Package Box Device for Liquid Crystal Panels
CN103979185B (zh) 具有防止变形用加强结构的玻璃基板装载盒
BRPI1001049A2 (pt) dispositivo de roletes modular para o transporte de artigos
JP5186340B2 (ja) 板材搬送用トレイの緩衝部材、およびその緩衝部材が取付けられた板材搬送用トレイ
KR20140044514A (ko) 도광판의 열팽창을 완충할 수 있는 백라이트 장치
US9322983B2 (en) Backlight frame and backlight module
KR20150044473A (ko) 엘리베이터 보호패드용 고정장치
KR102304976B1 (ko) 기판 카세트
KR200323636Y1 (ko) 판유리 운반용 적재대
CN105702599A (zh) 反应腔室的上盖结构和反应腔室
JP2021004045A (ja) 板状体支持装置
KR102096960B1 (ko) 차량용 적재 장치
TWI604556B (zh) 基板承載裝置
KR100900962B1 (ko) 기판 처리 장치
CN217805899U (zh) 一种便于组装熏蒸托盘
JP2021004044A (ja) 板状体支持装置
CN215154835U (zh) 一种便于定量装卸的尼龙轮生产用转运装置
CN212556802U (zh) 物流装置和无人机

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G15R Request for early publication
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment