JP2003341784A - 基板カセット - Google Patents
基板カセットInfo
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- JP2003341784A JP2003341784A JP2002154434A JP2002154434A JP2003341784A JP 2003341784 A JP2003341784 A JP 2003341784A JP 2002154434 A JP2002154434 A JP 2002154434A JP 2002154434 A JP2002154434 A JP 2002154434A JP 2003341784 A JP2003341784 A JP 2003341784A
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- substrate cassette
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- glass substrate
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 基板と中央支持部との接触によって生じた異
物を下段の基板に付着させない基板カセットを提供す
る。 【解決手段】 中央支持部５を支持すると共に、外部の
排気ポート７に連通する管路６ｄが設けられた支持部材
６と、中央支持部５の周囲に設けられると共に、前記管
路６ｄに連通する吸引口Ｋとからなる異物除去補助手段
Ｊを備える。
物を下段の基板に付着させない基板カセットを提供す
る。 【解決手段】 中央支持部５を支持すると共に、外部の
排気ポート７に連通する管路６ｄが設けられた支持部材
６と、中央支持部５の周囲に設けられると共に、前記管
路６ｄに連通する吸引口Ｋとからなる異物除去補助手段
Ｊを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種基板、例えば
液晶表示板等に用いるガラス基板収納用の基板カセット
に関する。
液晶表示板等に用いるガラス基板収納用の基板カセット
に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】特開２
０００−７１４８号公報には、ガラス基板を水平状態で
収納するに際して、大型のガラス基板を撓ませることな
く収納するガラス基板カセットが開示されている。この
ガラス基板カセットは、ガラス基板の端部を支持する端
部支持部に加えて、ガラス基板の中央部を複数の支持点
で支持し、かつ搬送アームと干渉しない中央支持部を備
えることを構造上の特徴としている。また、このガラス
基板カセットは、複数のガラス基板を所定間隔をあけて
上下方向に多段収納するように構成されている。
０００−７１４８号公報には、ガラス基板を水平状態で
収納するに際して、大型のガラス基板を撓ませることな
く収納するガラス基板カセットが開示されている。この
ガラス基板カセットは、ガラス基板の端部を支持する端
部支持部に加えて、ガラス基板の中央部を複数の支持点
で支持し、かつ搬送アームと干渉しない中央支持部を備
えることを構造上の特徴としている。また、このガラス
基板カセットは、複数のガラス基板を所定間隔をあけて
上下方向に多段収納するように構成されている。
【０００３】しかしながら、このようなガラス基板カセ
ットを用いた場合、ガラス基板が中央支持部と接触する
ため、下段に収納されたガラス基板上に異物が落下・付
着するという問題がある。このように異物が付着する
と、パターン欠陥が発生し易くなる。
ットを用いた場合、ガラス基板が中央支持部と接触する
ため、下段に収納されたガラス基板上に異物が落下・付
着するという問題がある。このように異物が付着する
と、パターン欠陥が発生し易くなる。
【０００４】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、基板と中央支持部との接触によって生じた異
物を下段の基板に付着させないことを目的とする。
たもので、基板と中央支持部との接触によって生じた異
物を下段の基板に付着させないことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、第１の手段として、複数枚の基板を水
平姿勢で上下方向に多段収納する基板カセットであっ
て、基板と中央支持部との接触によって生じた異物を除
去する異物除去補助手段を備えるという構成を採用す
る。
に、本発明では、第１の手段として、複数枚の基板を水
平姿勢で上下方向に多段収納する基板カセットであっ
て、基板と中央支持部との接触によって生じた異物を除
去する異物除去補助手段を備えるという構成を採用す
る。
【０００６】第２の手段として、上記第１の手段におい
て、異物除去補助手段は、中央支持部を支持すると共
に、外部の排気ポートに連通する管路が設けられた支持
部材と、中央支持部の周囲に設けられると共に、前記管
路に連通する吸引口とを備えるという構成を採用する。
て、異物除去補助手段は、中央支持部を支持すると共
に、外部の排気ポートに連通する管路が設けられた支持
部材と、中央支持部の周囲に設けられると共に、前記管
路に連通する吸引口とを備えるという構成を採用する。
【０００７】第３の手段として、上記第１または第２の
手段において、支持部材は中空管から形成され、吸引口
は、当該中空管に形成された穴から当該穴の形状よりも
小さな形状の中央支持部を突出させることにより形成さ
れるという構成を採用する。
手段において、支持部材は中空管から形成され、吸引口
は、当該中空管に形成された穴から当該穴の形状よりも
小さな形状の中央支持部を突出させることにより形成さ
れるという構成を採用する。
【０００８】第４の手段として、上記第１〜第３いずれ
かの手段において、基板は液晶表示板等に用いるガラス
基板であるという構成を採用する。
かの手段において、基板は液晶表示板等に用いるガラス
基板であるという構成を採用する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わる基板カセットの一実施形態について説明する。
係わる基板カセットの一実施形態について説明する。
【００１０】図１は、本実施形態の概要構成を示す斜視
図である。この図において、符号Ａは基板カセット、１
は底板、２Ａ〜２Ｆは角柱、３は天板、Ｊは異物除去補
助機構（異物除去補助手段）、またＳはガラス基板であ
る。方形状の底板１の４つの角には角柱２Ａ〜２Ｄが立
設され、角柱２Ａと角柱２Ｂとの間には角柱２Ｅが、ま
た角柱２Ｃと角柱２Ｄとの間には角柱２Ｆがそれぞれ立
設されている。
図である。この図において、符号Ａは基板カセット、１
は底板、２Ａ〜２Ｆは角柱、３は天板、Ｊは異物除去補
助機構（異物除去補助手段）、またＳはガラス基板であ
る。方形状の底板１の４つの角には角柱２Ａ〜２Ｄが立
設され、角柱２Ａと角柱２Ｂとの間には角柱２Ｅが、ま
た角柱２Ｃと角柱２Ｄとの間には角柱２Ｆがそれぞれ立
設されている。
【００１１】これら各角柱２Ａ〜２Ｆは、同一長さに設
定されており、その各上端部には天板３が固定されてい
る。すなわち、本基板カセットＡは、上記底板１、角柱
２Ａ〜２Ｆ及び天板３によって箱形に構成されている。
また、底板１の１辺１ａに沿って角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂ
が配置され、当該１辺１ａに平行な他辺１ｂには、上記
角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂと対向するように角柱２Ｃ，２
Ｆ，２Ｄが配置されることにより、底板１、角柱２Ａ〜
２Ｆ及び天板３によって内部空間が形成されており、こ
の内部空間にガラス基板Ｓが収納される。
定されており、その各上端部には天板３が固定されてい
る。すなわち、本基板カセットＡは、上記底板１、角柱
２Ａ〜２Ｆ及び天板３によって箱形に構成されている。
また、底板１の１辺１ａに沿って角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂ
が配置され、当該１辺１ａに平行な他辺１ｂには、上記
角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂと対向するように角柱２Ｃ，２
Ｆ，２Ｄが配置されることにより、底板１、角柱２Ａ〜
２Ｆ及び天板３によって内部空間が形成されており、こ
の内部空間にガラス基板Ｓが収納される。
【００１２】また、各角柱２Ａ〜２Ｆには、３カ所（下
段，中段、上段）に円筒形状の端部支持部４，４，４が
水平姿勢で備えられている。上記１辺１ａに沿って配置
された角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂの各端部支持部４，４，４
は、他辺１ｂに沿って配置された角柱２Ｃ，２Ｆ，２Ｄ
に向けて突出するように、また上記他辺１ｂに沿って配
置された角柱２Ｃ，２Ｆ，２Ｄの各端部支持部４，４，
４は、１辺１ａに沿って配置された角柱２Ａ，２Ｅ，２
Ｂに向けて突出するように、それぞれ設けられている。
段，中段、上段）に円筒形状の端部支持部４，４，４が
水平姿勢で備えられている。上記１辺１ａに沿って配置
された角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂの各端部支持部４，４，４
は、他辺１ｂに沿って配置された角柱２Ｃ，２Ｆ，２Ｄ
に向けて突出するように、また上記他辺１ｂに沿って配
置された角柱２Ｃ，２Ｆ，２Ｄの各端部支持部４，４，
４は、１辺１ａに沿って配置された角柱２Ａ，２Ｅ，２
Ｂに向けて突出するように、それぞれ設けられている。
【００１３】すなわち、角柱２Ａ，２Ｅ，２Ｂ及び角柱
２Ｃ，２Ｆ，２Ｄには、同一高さで互いに対峙するよう
に突出した円筒状の端部支持部４，４，４が各３つ設け
られており、当該各端部支持部４，４，４の周面は、図
示しないロボットハンドによって矢印方向Ｘ1から水平
姿勢で挿入されるガラス基板Ｓの各端部（６カ所）を下
方から支持する。
２Ｃ，２Ｆ，２Ｄには、同一高さで互いに対峙するよう
に突出した円筒状の端部支持部４，４，４が各３つ設け
られており、当該各端部支持部４，４，４の周面は、図
示しないロボットハンドによって矢印方向Ｘ1から水平
姿勢で挿入されるガラス基板Ｓの各端部（６カ所）を下
方から支持する。
【００１４】さて、本基板カセットＡの特徴的構成要素
である異物除去補助機構Ｊは、図２の断面図にも示すよ
うに、円筒形状の中央支持部５を支持する中空状の支持
部材６と、中央支持部５の周囲に支持部材６との隙間と
して形成される円形の吸引口Ｋとから構成されている。
上記支持部材６は、角柱２Ｂと角柱２Ｃとの中間位置に
立設する柱部６ａと、該柱部６ａによって所定間隔を隔
てて水平状態に支持される３つの梁部６ｂ，６ｂ，６ｂ
とから構成されている。
である異物除去補助機構Ｊは、図２の断面図にも示すよ
うに、円筒形状の中央支持部５を支持する中空状の支持
部材６と、中央支持部５の周囲に支持部材６との隙間と
して形成される円形の吸引口Ｋとから構成されている。
上記支持部材６は、角柱２Ｂと角柱２Ｃとの中間位置に
立設する柱部６ａと、該柱部６ａによって所定間隔を隔
てて水平状態に支持される３つの梁部６ｂ，６ｂ，６ｂ
とから構成されている。
【００１５】各梁部６ｂ，６ｂ，６ｂには、丸穴６ｃ，
６ｃ，６ｃが一定間隔で３カ所に形成されており、上記
中央支持部５は、この円口６ｃから上方に突出するよう
に各梁部６ｂ，６ｂ，６ｂに設けられている。上記吸引
口Ｋは、丸穴６ｃと中央支持部５との隙間として形成さ
れている。また、中央支持部５の先端部は、上記端部支
持部４の周面と同一高さに設定されており、当該端部支
持部４の周面と同様にガラス基板Ｓの中央部分を下方か
ら支持する。
６ｃ，６ｃが一定間隔で３カ所に形成されており、上記
中央支持部５は、この円口６ｃから上方に突出するよう
に各梁部６ｂ，６ｂ，６ｂに設けられている。上記吸引
口Ｋは、丸穴６ｃと中央支持部５との隙間として形成さ
れている。また、中央支持部５の先端部は、上記端部支
持部４の周面と同一高さに設定されており、当該端部支
持部４の周面と同様にガラス基板Ｓの中央部分を下方か
ら支持する。
【００１６】また、中空状の支持部材６内には管路６ｄ
が形成されている。この管路６ｄは、上記吸引口Ｋに連
通すると共に、下部において外部の排気ポート７に連通
している。外部のエア吸引装置の作動によって排気ポー
ト７を介して管路６ｄ内の空気が吸引（排気）される
と、吸引口Ｋから周囲の空気を管路６ｄ内に引き込む。
が形成されている。この管路６ｄは、上記吸引口Ｋに連
通すると共に、下部において外部の排気ポート７に連通
している。外部のエア吸引装置の作動によって排気ポー
ト７を介して管路６ｄ内の空気が吸引（排気）される
と、吸引口Ｋから周囲の空気を管路６ｄ内に引き込む。
【００１７】次に、このように構成された本基板カセッ
トＡの作用について詳説する。
トＡの作用について詳説する。
【００１８】本基板カセットＡによれば、中央支持部５
によってガラス基板Ｓの中央部分を下方から支持するの
で、ガラス基板Ｓが比較的大型、例えば1680mm×1380mm
サイズの大型液晶表示板用であっても、中央部を下方に
大きく撓ませることなく収納することができる。ガラス
基板Ｓの中央部を下方から支持しない場合、当該中央部
が下方に大きく撓むので、ガラス基板Ｓが破損したり、
ガラス基板Ｓの収納枚数が制限されたり、あるいは収納
状態のガラス基板Ｓをロボットハンドで取り出す際にロ
ボットハンドの上下方向の移動ストロークを大きく設定
する必要がある等の不具合が生じるが、本基板カセット
Ａでは、このような不具合が生じない。
によってガラス基板Ｓの中央部分を下方から支持するの
で、ガラス基板Ｓが比較的大型、例えば1680mm×1380mm
サイズの大型液晶表示板用であっても、中央部を下方に
大きく撓ませることなく収納することができる。ガラス
基板Ｓの中央部を下方から支持しない場合、当該中央部
が下方に大きく撓むので、ガラス基板Ｓが破損したり、
ガラス基板Ｓの収納枚数が制限されたり、あるいは収納
状態のガラス基板Ｓをロボットハンドで取り出す際にロ
ボットハンドの上下方向の移動ストロークを大きく設定
する必要がある等の不具合が生じるが、本基板カセット
Ａでは、このような不具合が生じない。
【００１９】また、本基板カセットＡによれば、異物除
去補助機構Ｊを備えているので、図２に示すように、中
央支持部５とガラス基板Ｓとの接触によって生じた異物
Ｘを効果的に除去する。すなわち、中央支持部５とガラ
ス基板Ｓとの接触によって生じた異物Ｘは、ガラス基板
Ｓの下面に付着した塵や中央支持部５とガラス基板Ｓと
の摺動によって発生した中央支持部５の削り粉等である
が、図２（ｂ）に示すように、その殆どが中央支持部５
の周囲近傍領域に落下する。
去補助機構Ｊを備えているので、図２に示すように、中
央支持部５とガラス基板Ｓとの接触によって生じた異物
Ｘを効果的に除去する。すなわち、中央支持部５とガラ
ス基板Ｓとの接触によって生じた異物Ｘは、ガラス基板
Ｓの下面に付着した塵や中央支持部５とガラス基板Ｓと
の摺動によって発生した中央支持部５の削り粉等である
が、図２（ｂ）に示すように、その殆どが中央支持部５
の周囲近傍領域に落下する。
【００２０】このような異物Ｘに対して、異物除去補助
機構Ｊの吸引口Ｋは上記周囲近傍領域を包含する位置に
設けられているので、殆どの異物Ｘは、吸引口Ｋ内、つ
まり各梁部６ｂ，６ｂ，６ｂの管路６ｄ内に落下する。
そして、この管路６ｄ内に落下した異物Ｘは、エア吸引
装置の作動によって管路６ｄを順次移動し排気ポート７
を介してエア吸引装置に回収される。また、吸引口Ｋ内
に落下しない少数の異物Ｘについても、エア吸引装置の
作動によって吸引口Ｋ近傍の空気が当該吸引口Ｋから管
路６ｄ内に引き込まれるので、同様にして排気ポート７
を介してエア吸引装置に回収される。
機構Ｊの吸引口Ｋは上記周囲近傍領域を包含する位置に
設けられているので、殆どの異物Ｘは、吸引口Ｋ内、つ
まり各梁部６ｂ，６ｂ，６ｂの管路６ｄ内に落下する。
そして、この管路６ｄ内に落下した異物Ｘは、エア吸引
装置の作動によって管路６ｄを順次移動し排気ポート７
を介してエア吸引装置に回収される。また、吸引口Ｋ内
に落下しない少数の異物Ｘについても、エア吸引装置の
作動によって吸引口Ｋ近傍の空気が当該吸引口Ｋから管
路６ｄ内に引き込まれるので、同様にして排気ポート７
を介してエア吸引装置に回収される。
【００２１】したがって、上段の中央支持部５とガラス
基板Ｓとの接触によって生じた異物Ｘが下段に収納され
たガラス基板Ｓ上に落下することを防止することができ
るので、当該下段のガラス基板Ｓに異物Ｘが付着し、後
工程においてパターン欠陥等が生じること等を抑制する
ことが可能となる。
基板Ｓとの接触によって生じた異物Ｘが下段に収納され
たガラス基板Ｓ上に落下することを防止することができ
るので、当該下段のガラス基板Ｓに異物Ｘが付着し、後
工程においてパターン欠陥等が生じること等を抑制する
ことが可能となる。
【００２２】さらに、本基板カセットＡの異物除去補助
機構Ｊは、エア吸引装置を備えるものではなく、支持部
材６内の管路６ｄの他端を外部の排気ポート７に装着す
る構成と採用している。このような構成は、基板カセッ
トＡの構成を簡単化すること、また基板カセットＡの使
用環境にエア吸引装置が設備されていることを考慮した
ものである。また、上記管路６ｄの他端は排気ポート７
に対して容易に着脱できるように構成されているので、
基板カセットＡを移動させる場合に、移動元のエア吸引
装置との接続を容易に乖離し、かつ移動先に備えられた
エア吸引装置に容易に接続することが可能である。
機構Ｊは、エア吸引装置を備えるものではなく、支持部
材６内の管路６ｄの他端を外部の排気ポート７に装着す
る構成と採用している。このような構成は、基板カセッ
トＡの構成を簡単化すること、また基板カセットＡの使
用環境にエア吸引装置が設備されていることを考慮した
ものである。また、上記管路６ｄの他端は排気ポート７
に対して容易に着脱できるように構成されているので、
基板カセットＡを移動させる場合に、移動元のエア吸引
装置との接続を容易に乖離し、かつ移動先に備えられた
エア吸引装置に容易に接続することが可能である。
【００２３】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、種々の変形が考えられる。例えば、ガ
ラス基板Ｓの収納段数や中央支持部５の個数等は、上記
実施形態に限定されるものではない。また、必要に応じ
て、エア吸引装置をも備える構成を採用しても良い。
るものではなく、種々の変形が考えられる。例えば、ガ
ラス基板Ｓの収納段数や中央支持部５の個数等は、上記
実施形態に限定されるものではない。また、必要に応じ
て、エア吸引装置をも備える構成を採用しても良い。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板と中央支持部との接触によって生じた異物を除去す
る異物除去補助手段を備えているので、上記異物が下段
に収納された基板に付着することを防止できる。
基板と中央支持部との接触によって生じた異物を除去す
る異物除去補助手段を備えているので、上記異物が下段
に収納された基板に付着することを防止できる。
【図１】 本発明の一実施形態に係わる基板カセット
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】 本発明の一実施形態に係わる基板カセット
の要部断面図である。
の要部断面図である。
Ａ……基板カセット
１……底板
２Ａ〜２Ｆ……角柱
３……天板
Ｊ……異物除去補助機構（異物除去補助手段）
４……端部支持部
５……中央支持部
６……支持部材
６ａ……柱部
６ｂ……梁部
６ｃ……丸穴
６ｄ……管路
７……排気ポート
Ｋ……吸引口
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA30 HA01 MA20
2H090 JB02 JC00
3E096 AA06 BA20 BB05 CA02 CA08
CB03 DA01 DA23 DA30 DB06
FA03 GA20
5F031 CA05 DA01 EA19 PA18 PA23
Claims (4)
- 【請求項１】 複数枚の基板（Ｓ）を水平姿勢で上下
方向に多段収納する基板カセット（Ａ）であって、 基板（Ｓ）と中央支持部（５）との接触によって生じた
異物を除去する異物除去補助手段（Ｊ）を備えることを
特徴とする基板カセット。 - 【請求項２】 異物除去補助手段は、 中央支持部（５）を支持すると共に、外部の排気ポート
（７）に連通する管路（６ｄ）が設けられた支持部材
（６）と、 中央支持部（５）の周囲に設けられると共に、前記管路
（６ｄ）に連通する吸引口（Ｋ）とを備えることを特徴
とする請求項１記載の基板カセット。 - 【請求項３】 支持部材は中空管から形成され、吸引
口は、当該中空管に形成された穴（６ｃ）から当該穴の
形状よりも小さな形状の中央支持部を突出させることに
より形成されることを特徴とする請求項１または２記載
の基板カセット。 - 【請求項４】 基板（Ｓ）は、液晶表示板等に用いる
ガラス基板であることことを特徴とする請求項１〜３い
ずれかに記載の基板カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002154434A JP2003341784A (ja) | 2002-05-28 | 2002-05-28 | 基板カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002154434A JP2003341784A (ja) | 2002-05-28 | 2002-05-28 | 基板カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003341784A true JP2003341784A (ja) | 2003-12-03 |
Family
ID=29771242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002154434A Pending JP2003341784A (ja) | 2002-05-28 | 2002-05-28 | 基板カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003341784A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170002536U (ko) * | 2017-06-21 | 2017-07-12 | 이이원 | 기판 운반 카세트 |
| KR101904238B1 (ko) | 2018-03-27 | 2018-10-04 | (주)상아프론테크 | 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트 |
-
2002
- 2002-05-28 JP JP2002154434A patent/JP2003341784A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170002536U (ko) * | 2017-06-21 | 2017-07-12 | 이이원 | 기판 운반 카세트 |
| KR200487579Y1 (ko) | 2017-06-21 | 2018-11-28 | 이이원 | 기판 운반 카세트 |
| KR101904238B1 (ko) | 2018-03-27 | 2018-10-04 | (주)상아프론테크 | 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트 |
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