KR101510496B1 - 절연체층과 금속층의 쌍을 이용하는 광학 필터 - Google Patents

절연체층과 금속층의 쌍을 이용하는 광학 필터 Download PDF

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Abstract

광학 필터의 '부식' 성능은 상대적으로 두꺼운 아연계 필름(30, 32, 34)이 나중에 형성되는 은계 필름(18, 20, 22)을 위한 시드층으로서 기능할 때에 향상된다. 절연체층과 금속층의 적어도 2개의 쌍(12, 14, 16)이 광학 필터에 포함되고, 아연계 필름은 절연체층의 제2 필름이고 은계 필름은 금속층이다. 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 갖고, 적어도 15 nm의 두께를 갖는다. 부식 성능을 더 향상시키기 위하여, 금이 은계 필름에 통합될 수 있다.

Description

절연체층과 금속층의 쌍을 이용하는 광학 필터{ROBUST OPTICAL FILTER UTILIZING PAIRS OF DIELECTRIC AND METALLIC LAYERS}
본 발명은 전반적으로 광학 장치를 제공하는 것으로서, 보다 구체적으로는 목표 광학 특성과 능력 저하에 대한 높은 내성을 갖는 비용 효율적인 광학 필터를 제공하는 것에 관한 것이다.
광의 여러 주파수 범위에서 윈도우의 반사 및 투과 수준을 제어하는 필름의 용도는 당업계에 널리 알려져 있다. 차량 윈도우와 빌딩 및 주택의 많은 윈도우들의 경우에, 가시광 범위의 파장(400 nm 내지 700 nm) 내에서 투과도와 반사도를 제어함으로써, 눈부심이 감소된다. 동일한 윈도우 용례들에 있어서, 태양광선 스펙트럼의 가시 부분 또는 근적외선 부분(700 nm 내지 1200 nm) 중 어느 하나에서 또는 양자에서 태양광선 투과를 부분적으로 차단함으로써 열 부하가 감소될 수 있다.
태양광선 제어를 제공하기 위한 필름의 한가지 공지된 순서도가 본 발명의 양수인에게 양도된 Woodard 등의 미국 특허 제6,034,813호에 기술되어 있다. 태양광선 제어 장치는 페브리-페로 간섭 필터(Fabry-Perot interference filter)와, 접착제를 이용하여 윈도우에 순차적으로 부착될 수 있는 가요성 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 기판 상의 그레이 금속층을 포함한다. 페브리-페로 간섭 필터는 특정 파장에서 광을 우선적으로 통과시키고 다른 파장에서 광을 반사시킴으로써 태양광선 열 부하를 감소시킨다.
윈도우를 통해 태양광선 제어를 제공하는 것과 관련된 광학적 고려 사항 외에, 구조적 고려 사항을 처리해야 한다. 구조적 안정성과 관련하여, 제조, 설치 또는 장기간 사용 중에 크래킹에 대한 광학 장치의 민감성을 감소시키는 것이 중요한 목적이다. 다른 형태의 "부식"을 감소시키는 것은 최소한 중요하다. 전술한 Woodard 등의 특허에 기술된 바와 같이, 하드코트층이 보호를 제공하도록 흔히 추가된다. 그러나, 하드코트층은 제조 공정 중에 발생하는 부식에 대해서는 보호하지 못하고, 광학 장치의 에지로부터 유도되는 부식에 대해서는 효율성이 제한된다.
광학 필터의 향상된 "부식 성능"은 상대적으로 두꺼운 아연계 필름을 나중에 형성되는 은계 필름을 위한 시드 필름으로서 제공함으로써 달성되며, 아연계 필름은 2 필름 절연체층의 제2 필름이고, 은계 필름은 금속층이다. 결과적인 광학 필터는 절연체층과 금속층의 이들 쌍을 적어도 2개 포함한다. 상대적으로 두꺼운 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 갖고 적어도 15 nm의 두께를 갖는다. 바람직한 실시예는 내부식성을 더 제공하도록 은계 필름이 금을 포함하는 것이다.
일실시예에서, 상이한 쌍의 아연계 필름의 두께는 불균일하다. 이 불균일에 대한 바람직한 실시예는 광학 필터가 형성되는 기판에 인접한 쌍을 위해 보다 얇은 아연계 필름을 형성하는 것이다. 예컨대, 절연체층과 금속층의 쌍을 3개 갖는 광학 필터에 있어서, 제1 아연계 필름의 두께는 15 nm일 수 있지만, 나중에 형성되는 각각의 아연계 필름의 두께는 30 nm(최대 40 nm)일 수 있다. 아연계 필름의 기능은 은계 필름의 성장을 촉진시키는 것이다. 아연계 필름이 충분히 높은 함량의 아연을 갖는다면, 필름은 나중에 형성되는 금속층을 위한 시드층으로서 기능한다. 그러나, 이 기능이 기판에 가장 가까운 층 쌍에서 중요하지만, 중요도는 더 멀리 있는 절연체층과 금속층의 쌍에서 더 크다는 것이 판명되었다. 아연계 필름의 아연 함량은 적어도 50 퍼센트이고 바람직하게는 80 퍼센트보다 크다. 가장 바람직한 실시예에서, 아연 함량은 대략 90 퍼센트이다. 유사하게, 아연계 층의 최소 두께는 15 nm인 것으로서 판명되었지만, 최소 두께는 바람직하게는 20 nm이고 가장 바람직한 실시예에서는 25 nm이다.
아연계 필름은 아연 주석의 산화물(ZnSn)일 수 있지만, 다른 재료가 선택될 수 있다. 아연 주석의 대체물은 아연 알루미늄이다. 아연계 필름은 스퍼터 증착될 수 있지만, 필름이 절연체이도록 산화를 허용해야 한다. 몇몇의 실시예에서, 재료는 아연계 필름들 중 적어도 하나의 두께에 걸쳐 일정하지 않다. 예컨대, 스퍼터링된 아연계 필름은 처음에 ZnSn일 수 있고, ZnAl로 천이되고 ZnSn으로 복귀된다. 아연 함량(예컨대, 90 퍼센트)은 천이 중에 일정하게 유지될 수 있다. 필름 두께를 따른 이 재료 또는 대안적인 재료 편차는 추가의 부식 성능 이점을 제공하도록 결정될 수 있다.
전술한 바와 같이, 금속층은 내부식성을 증가시키기 위해 바람직하게는 금을 포함하는 은계 필름이다. 아연계 필름들이 상이한 층 쌍들 사이에 상이한 두께를 가질 수 있는 것처럼, 금의 비율은 상이한 층 쌍들에서 상이할 수 있다. 광학 필터의 능력 저하(부식)가 기판의 표면에 평행한 주표면으로부터 발생할 것 같은 용례의 경우에, 마지막 은계 필름에 보다 큰 비율의 금이 통합된다. 다른 한편으로, 보다 심각한 고려 사항이 에지로부터의 공격이고 가장 민감한 층 쌍이 기판에 가장 가까운 것인 윈도우 용례가 있을 수 있다. 그러한 용례에서는, 기판에 가장 가까운 은계 필름 내에 보다 큰 비율의 금을 포함하는 것이 유리하다.
바람직한 실시예에 있어서, 투명 절연체 필름은 인듐 산화물(InOx)과 같은 인듐계이다. 절연체층의 최초의 필름은 특히, 아래에 있는 층이 은계 필름들 중 하나인 경우에 이전에 형성된 층을 보호한다. 높은 함량의 수소 흐름을 갖는 인듐계 필름을 형성함으로써, 아래에 있는 은계 필름이 산화로부터 보호되고 공정이 보다 안정적이 된다. 필름은 1.1 내지 2.5 범위 내의 굴절률을 갖지만, 바람직하게는 굴절률은 1.3 내지 2.1 범위 내이다. 바람직한 재료는 In2O3이지만, 투명 절연체 필름은 대안적인 산화 금속, 예컨대 주석, 티타늄, 지르코늄, 탄탈, 니오븀 또는 하프늄을 기초로 할 수 있다.
바람직한 실시예를 또 참조하면, 광학 필터는 윈도우 용례, 예컨대 차량, 주택 또는 빌딩의 윈도우에 사용하도록 설계된다. 층 쌍은 절연체층과 금속층의 교호 쌍을 갖는 페브리-페로 필터를 제공하도록 연속적으로 형성된다.
본 발명에 따르면, 목표 광학 특성과 능력 저하에 대한 높은 내성을 갖는 비용 효율적인 광학 필터를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 상의 층 스택의 측면도.
도 2는 본 발명이 통합된 필터 장치의 측면도.
도 3은 도 1의 광학 필터를 형성하기 위한 단계들의 순서를 보여주는 플로우 챠트.
도 1을 참조하면, 가요성 폴리머 기판(10) 상에 교호 패턴의 층들이 형성된다. 폴리머 기판은 두께가 25 내지 100 미크론인 PET일 수 있다. 도 1에 도시하지는 않았지만, 층 스택의 반대쪽에 있는 기판의 측면에는 접착제층과 이형 스트립을 포함할 수 있다. 이형 스트립은 접착제로부터 용이하게 제거되어, 기판을 여과가 요망되는 부재에 결합하는 데에 접착제층을 사용할 수 있게 한다. 예컨대, 여과 장치는 윈도우에 부착될 수 있다. 변경예에 있어서, 층 스택은 여과가 요망되는 부재 상에 직접 형성된다. 그러한 용례에 있어서는, 층들을 형성하는 재료를 증착하기 위해 윈도우 패널을 스퍼터 챔버에 통과시킬 필요가 있을 수 있다.
도 1은 유전체층과 금속층의 교호 패턴 내에 3개의 층 쌍(12, 14, 16)이 있는 바람직한 실시예를 도시하고 있다. 각 금속층(18, 20, 22)은 은 또는 은 합금의 단일 필름이다. 이들 금속층은 먼저 은계 필름(silver based film)을 스퍼터링한 다음 얇은 티타늄 캡층을 스퍼터링함으로써 형성될 수 있는데, 티타늄 캡층은 이어서 어닐링과 산화를 받는다. 금속을 어닐링함으로써, 층의 표면 저항을 0.8 ohms/sq 로 감소시킬 수 있다는 것이 판명되었다. 허용 가능한 은 합금은 AgAu와 AgPd를 포함한다. 그러나, 바람직한 재료는 AgAu인데, 그 이유는 금 함량이 다양한 유형의 부식을 저지하는 역할을 하기 때문이다. 층 내의 은 함량은 적어도 50 퍼센트이어야 하고, 바람직하게는 적어도 85 퍼센트이다. 바람직한 실시예의 설명으로 돌아가면, 금속층은 대략 85 퍼센트의 은과 대략 15 퍼센트의 금이다.
각 절연체층은 투명 절연체 필름(24, 26, 28)과 아연계 필름(30, 32, 34)을 포함하는 2 필름 층이다. 투명 절연체 필름은 인듐 산화물로 구성될 수 있다. 도 1에서, 제4 절연체층은 제4 투명 절연체 필름(36)과 제4 아연계 필름(38)에 의해 형성되는 것으로 도시되어 있다. 이 실시예에서, 교호 패턴을 갖는 3개의 층 쌍은 제1 절연체층이 아니라 제1 금속층[은계 필름(30)]에서 시작하는 것으로서 고려될 수도 있다.
각 절연체층의 제1 필름(24, 26, 28)은 바람직하게는 InOx이고, 가장 바람직하게는 In2O3이다. 높은 수소 함량의 흐름을 이용하여 인듐계 필름을 스퍼터링함으로써, 아래에 있는 재료가 산화에 대해 보호된다. 이는 상부 절연체층에 특히 유용한데, 그 이유는 아래에 있는 은계 필름(18, 20, 22)이 산화에 대해 보호되기 때문이다. 더욱이, 인듐계 필름의 형성은 스퍼터 증착에서 안정적이다. 그렇지만, 이 절연체층의 제1 필름이 주석계 대신에, 티타늄계, 지르코늄계, 탄탈계, 니오븀계 또는 하프늄계이면 이점이 또한 있다는 것이 판명되었다.
절연체층의 아연계 필름(30, 32, 34)은 은계 필름(18, 20, 22)의 성장을 촉진시키는 데에 사용된다. 각 아연계 필름의 두께는 적어도 15 nm이다. 상대적으로 두꺼운 아연계 "시드" 필름은 최종 광학 필터의 "부식" 성능을 향상시킨다. 필름은 주로 아연이고 바람직하게는 적어도 80 퍼센트의 아연이지만, 필름이 절연체인 것을 보장하도록 산화되어야 한다. 도 1은 필름이 90 퍼센트의 아연과 10 퍼센트의 주석을 포함하는 가장 바람직한 실시예를 도시하고 있다. 그러나, 이전에 언급한 바와 같이, 아연계 필름들 중 하나 이상은 그 두께를 따라 재료의 변동(예컨대, ZnSn에서 ZnAl, ZnSn으로의 복귀)을 포함하도록 스퍼터링될 수 있다. (바람직한 실시예에서처럼) 상이한 필름들을 제공하도록 스퍼터링 기법이 사용되면, 비율은 스퍼터링 목표의 함량을 가리키므로, "비율"에 대한 지시는 산화에 관련된 것이 아니다.
은과 높은 비율의 아연을 갖는 아연 산화물 간에는 바람직한 격자 매치가 있다. 따라서, 아연계 필름(30, 32, 34)은 은계 필름(18, 20, 22)의 핵형성과 에피텍셜 성장을 촉진시킨다. 스퍼터링된 아연 산화물의 두께가 증가됨에 따라, 결정 그레인의 크기가 또한 증가된다. 이로 인해, 그 두께에 따라 아연계 산화물 필름은 비결정의 얇은 필름으로부터 상당히 결정화된 필름으로 변한다. 언급한 바와 같이, 각 아연계 필름(30, 32, 34)의 두께는 적어도 15 nm(바람직하게는 적어도 20 nm, 가장 바람직하게는 25 nm)이고 절연체층의 전체 두께보다 작다[그 이유는 절연체층이 투명 절연체 필름(24, 26, 28)을 또한 포함하기 때문이다]. 15 nm의 최소 두께로 인해 보다 우수한 결정질 필름이 생기고 이후에 스퍼터링되는 은계 필름에 보다 양호한 시드층을 제공하는데, 그 이유는 계면이 "보다 강해지고" 분리 및 부식에 대한 내성이 더 우수하기 때문이다. 바람직하게는, 아연계 필름의 두께는 40 nm 미만이다. 가장 바람직한 실시예에서, 아연계 필름의 두께는 25 nm보다 크지만 40 nm보다 크지는 않다.
본 발명의 몇몇 실시예에 있어서, 아연계 필름(30, 32, 34)의 두께는 균일하지 않다. 기판(10)에 인접한 아연계 필름(30)의 두께는 기판으로부터 더 멀리 있는 필름(32, 34)의 두께보다 그 역할이 덜 중요하다고 판명되었다. 제4 아연계 필름(38)도 물론 틀림없다. 제1 아연계 필름(30)의 두께는 25 nm일 수 있지만, 나머지 필름들의 두께는 30 nm이다.
은계 층(18, 20, 22) 내에 금의 함량에는 불균일성이 또한 적용될 수 있다. 금 함량은 다양한 고려 사항, 주로 비용과 내부식성을 기초로 하여 맞춰질 수 있다. 최상의 용례에 있어서, 광학 필터의 보전성은 도 1의 배향에서 보았을 때에 위쪽으로부터 공격을 받는다. 그러한 용례에서, 상단의 은계 필름(22)의 금 함량은 하부의 필름(18, 20)보다 커지게 된다. 이는 금 함량을 맞추는 것을 포함하는 용례에 바람직한 실시예이다. 그러나, 가장 큰 고려 사항인 부식 원인이 광학 필터의 제조 중에 받는 것인 몇몇의 용례가 있을 수 있다. 그렇다면, 형성되는 제1 은계 필름(18)에 보다 큰 금 함량을 갖는 것이 유리할 수 있다. 이 변경예는 또한 가장 큰 고려 사항인 부식 원인이 광학 필터의 에지로부터 공격하는 용례에 바람직할 수 있다.
도 2는 본 발명이 이용되는 보다 복잡한 조립체를 도시하고 있다. 층 스택(40)은 도 1의 기판(10) 상에 스퍼터링된 층을 나타낸다. 조립체를 광학 여과가 요망되는 윈도우에 접합하기 위해 마운트 접착제(42)가 사용된다. 조립체가 윈도우에 부착할 준비가 될 때까지 이형 라이너(44)가 마운트 접착제와 접촉 상태로 적소에 유지된다. 박판 모양의 접착제(46)는 하드코트층(50)을 갖는 제2 PET 기판(48)을 조립체의 다른 구성요소들에 대해 고착시킨다.
도 3은 도 1과 도 2의 광학 필터를 형성하기 위한 단계들의 순서를 도시하고 있다. 처음에, 단계 52에서 기판이 제공된다. 기판은 PET와 같이 투명한 가요성 재료의 웹일 수 있다. 별법으로서, 기판은 윈도우일 수 있어, 다양한 층들이 윈도위 상에 직접 형성된다.
단계 54에서, 절연체층의 제1 필름이 형성된다. 바람직한 실시예에서, 스퍼터링 기법을 이용하여 인듐 산화물층이 형성된다. 제1 필름이 증착된 후에, 아연계 필름이 단계 56에서 형성된다. 이 필름은 적어도 15 nm의 두께를 갖고 제1 필름과 결합하여 절연체층을 형성한다. 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 갖는다. 바람직한 실시예에서, 아연계 필름은 대략 90 퍼센트의 아연과 10 퍼센트의 주석을 포함하도록 결합되는 스퍼터 목표를 이용하여 증착된다. 별법으로서, 아연 알루미늄이 형성된 다음 산화될 수 있다.
아연계 필름은 단계 58에서 형성되는 은계 필름을 위한 시드층을 제공한다. 은계 필름은 페브리-페로 필터를 달성할 때에 금속층을 포함한다. 은계 필름은 적어도 50 퍼센트가 은이고, 바람직하게는 적어도 85 퍼센트가 은이다. 내부식성은 금이 금속층에 통합되면 향상된다.
단계 60의 결정시에, 절연체층과 금속층의 추가 쌍이 포함될 필요가 있는지의 여부가 판명된다. 본 발명에 따른 광학 필터는 반응이 단정적인 것이 되도록 적어도 2개의 층 쌍을 포함한다. 따라서, 공정은 단계 64로 계속되고, 여기서, 필름의 맞춤이 제2 층 쌍을 위해 제공되어야 하는지의 여부가 판명된다. 즉, 제2 층 쌍 내의 3개의 필름이 제1 쌍과 동일하거나 상이해야 하는지의 여부가 결정된다. 전술한 바와 같이, 제1 층 쌍의 아연계 필름은 후속 층 쌍들을 위해 필적한 필름보다 얇을 수 있다. 은계 필름 내에 금 함량의 가능한 맞춤이 또한 설명되어 있다. 단계 60과 64에서의 결정시에, 3개의 필름의 순서가 단계 54, 56 및 58에서 반복된다.
단계 54, 56 및 58에서 필름 형성의 제2 실행의 완료시에, 결정 단계 60은 제2 시간과 조우한다. 절연체층과 금속층의 2개의 쌍이 충분하면, 공정은 단계 62에서 종료된다. 그러나, 바람직한 실시예는 결정 단계 64와 선택 단계 66이 다시 도달되고 추가의 필름이 형성되도록 3개의 층 쌍을 포함하는 것이다. 제3 층 쌍의 형성 후에, 공정은 단계 62에서 종료될 수 있다. 그러나, 도 1의 필름(36, 38)의 선택적 포함을 위해, 단계 66에서 파라미터의 선택은 단계 54로의 복귀시에 은계 층의 삭제를 포함한다.
도 3의 단계들의 공정도에 도시하지 않았지만, 광학 필터는 윈도우에 부착될 수 있지만, 도 2의 하드코트(50)와 같이 다른 구성요소들을 포함하는 것은 흔히 일반적이다.

Claims (17)

  1. 광학 필터의 제조 방법으로서,
    절연체층과 금속층의 쌍을 포함하도록 기판 상에 층 스택을 형성하는 것을 포함하고, 상기 각각의 쌍을
    상기 절연체층의 제1 필름으로서 인듐계의 투명 절연체 필름을 형성하는 단계와,
    상기 절연체층의 제2 필름으로서 아연계 필름을 형성하는 단계와,
    상기 금속층으로서 은계 필름을 형성하는 단계에 의해 각각 형성하는 것을 포함하며, 상기 투명 절연체 필름의 굴절률은 적어도 1.1이고, 상기 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 가지며 적어도 15 nm의 두께를 갖고, 상기 아연계 필름은 상기 인듐계 투명 유전체 필름과 접촉하며, 상기 은계 필름은 상기 아연계 필름과 접촉하는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 쌍을 포함하도록 층 스택을 형성하는 것은 상기 기판에 인접한 쌍의 아연계 필름을 상기 기판으로부터 멀리 있는 각 쌍의 아연계 필름보다 얇게 형성하는 것을 포함하는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 은계 필름의 형성 단계는 은과 금의 합금을 증착하는 것을 포함하고, 상기 금은 상기 층 스택의 부식을 조절하도록 포함되는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  4. 광학 필터의 제조 방법으로서,
    절연체층과 금속층의 쌍을 포함하도록 기판 상에 층 스택을 형성하는 것을 포함하고, 상기 각각의 쌍을
    상기 절연체층의 제1 필름으로서 투명 절연체 필름을 형성하는 단계와,
    상기 절연체층의 제2 필름으로서 아연계 필름을 형성하는 단계와,
    상기 금속층으로서 은계 필름을 형성하는 단계에 의해 각각 형성하는 것을 포함하며, 상기 투명 절연체 필름의 굴절률은 적어도 1.1이고, 상기 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 가지며 적어도 15 nm의 두께를 갖고, 상기 은계 필름은 상기 아연계 필름과 접촉하며,
    상기 은계 필름의 형성 단계는 은과 금의 합금을 증착하는 것을 포함하고, 상기 금은 상기 층 스택의 부식을 조절하도록 포함되고,
    상기 합금의 증착은 은계 필름들 간에 상이한 비율의 금을 혼입시키는 것을 포함하는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판으로부터 가장 멀리 있는 은계 필름은 상기 기판에 가장 가까운 은계 필름보다 높은 비율의 금을 갖도록 형성되는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 절연체층과 금속층의 쌍의 인듐계 투명 절연체 필름을 형성하는 것은 인듐계 투명 절연체 필름을 증착하도록 스퍼터링 기법을 이용하는 것을 포함하는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 아연계 필름을 형성하는 단계는 15 nm 내지 40 nm 범위의 필름 두께를 제공하는 것인 광학 필터의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판이 윈도우인 광학 필터의 제조 방법.
  10. 필터링 장치로서,
    투명한 기판과,
    상기 기판 상의 층 스택을 포함하고, 상기 층 스택은 절연체층과 금속층의 쌍을 포함하며, 상기 각각의 쌍은
    상기 절연체층의 제1 필름으로서의 인듐계 투명 절연체 필름과,
    상기 절연체층의 제2 필름으로서의 아연계 필름과,
    상기 금속층으로서의 은과 금의 합금 필름에 의해 형성되며, 상기 투명 절연체 필름의 굴절률은 적어도 1.1이고, 상기 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 갖고 15 nm 내지 40 nm의 두께를 가지며, 상기 아연계 필름은 상기 인듐계 투명 절연체 필름과 접촉하고, 상기 은과 금의 합금 필름은 상기 아연계 필름과 접촉하는 것인 필터링 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기판에 인접한 절연체층과 금속층의 쌍의 아연계 필름은 다른 쌍의 아연계 필름보다 얇은 것인 필터링 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 각각의 아연계 필름은 아연 주석(ZnSn)의 산화물 또는 아연 알루미늄(ZnAl)의 산화물이고, 상기 아연 함량은 90 퍼센트인 것인 필터링 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 각각의 인듐계 투명 절연체 필름은 인듐 산화물인 것인 필터링 장치.
  14. 필터링 장치로서,
    투명한 기판과,
    상기 기판 상의 층 스택을 포함하고, 상기 층 스택은 절연체층과 금속층의 쌍을 포함하며, 상기 각각의 쌍은
    상기 절연체층의 제1 필름으로서의 투명 절연체 필름과,
    상기 절연체층의 제2 필름으로서의 아연계 필름과,
    상기 금속층으로서의 은과 금의 합금 필름에 의해 형성되며, 상기 투명 절연체 필름의 굴절률은 적어도 1.1이고, 상기 아연계 필름은 적어도 80 퍼센트의 아연 함량을 갖고 15 nm 내지 40 nm의 두께를 가지며, 상기 은과 금의 합금 필름은 상기 아연계 필름과 접촉하고, 상기 기판으로부터 가장 멀리 있는 절연체층과 금속층의 쌍의 은과 금의 합금 필름은 다른 쌍의 은과 금의 합금 필름보다 높은 금 함량을 갖는 것인 필터링 장치.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 기판은 윈도우에 부착되는 것인 필터링 장치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 절연체층과 금속층의 쌍을 3개 포함하는 필터링 장치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 투명 절연체 필름은 In2O3인 것인 필터링 장치.
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