JP2020511386A - 銀及び亜鉛系バリア層を有する赤外線（ＩＲ）反射系を有する低放射率（Ｌｏｗ−Ｅ）コーティングを有するコーティングされた物品 - Google Patents

Abstract

コーティングされた物品は、低放射率（Low-E）コーティングの化学的耐久特性を改善するために、少なくとも１つの、金属製又は実質的に金属製の亜鉛（Ｚｎ）を含むバリア層に隣接しかつ接触して設けられる、ガラス基材上の銀（Ａｇ）系赤外線（ＩＲ）反射層を含む。特定の例示的実施形態では、銀系層は、ともに亜鉛からなる又は亜鉛（Ｚｎ）を含む、金属製の又は実質的に金属製の第１のバリア層と第２のバリア層との間に挟まれてもよい。ＩＲ反射層及び亜鉛系バリア層は、低放射率（Ｌｏｗ−Ｅ）コーティングの一部である。

Description

本出願は、低放射率（Ｌｏｗ−Ｅ）コーティングの化学的耐久特性を改善するために、少なくとも１つの金属製又は実質的に金属製の亜鉛（Ｚｎ）系バリア層に隣接して提供され、接触する銀（Ａｇ）系赤外線（ＩＲ）反射層を含むコーティングされた物品に関する。特定の例示的実施形態では、銀系層は、ともに亜鉛（Ｚｎ）からなる又は亜鉛（Ｚｎ）を含む、第１及び第２の金属製又は実質的に金属製のバリア層どうしの間に挟まれてもよい。ＩＲ反射層及び亜鉛系バリア層は、Ｌｏｗ−Ｅコーティングの一部であり、少なくとも透明な誘電体層どうしの間に挟まれてもよい。このようなＬｏｗ−Ｅコーティングは、モノリシック窓、絶縁ガラス（ＩＧ）窓ユニットなどの用途に使用することができる。

コーティングされた物品は、絶縁ガラス（ＩＧ）ユニット、車両用窓、モノリシック窓、及び／又は同様の窓用途で使用することが当該技術分野において知られている。特定の例示的な事例では、コーティングされた物品の設計者は、多くの場合、高い可視透過率、実質的に中性の色、低い放射率（又は放射力）、低いシート抵抗（Ｒ_ｓ）、ＩＧ窓ユニットの状況における低いＵ値、及び／又は低い比抵抗の組み合わせを得ようと努力している。高い可視透過率及び実質的に中性の色は、コーティングされた物品を、建築用窓用途又は車両用窓用途などのように、こうした特性が所望される用途で使用することを可能にする一方で、低い放射率（Ｌｏｗ−Ｅ）、低いシート抵抗及び低い比抵抗といった特性により、かかるコーティングされた物品が著しい量のＩＲ放射を遮断して、例えば車両又は建物内部が望ましくない程度に加熱されるのを低減することが可能になる。

少なくとも１つの銀系赤外線（ＩＲ）反射層を有するＬｏｗ−Ｅコーティングは、当該技術分野において既知である。例えば、参照により本明細書に組み込まれる特許文献１〜８を参照されたい。ガラス上のＬｏｗ−Ｅコーティングは、エネルギーを節約するために商業用及び住宅用建物に広く使用されている。二重銀（Ａｇ）Ｌｏｗ−Ｅコーティングは、その優れた低放射率特性及び優れた太陽熱利得の制御により、有力なＬｏｗ−Ｅ製品である。

しかしながら、銀ＩＲ反射層を有する従来のＬｏｗ−Ｅコーティングは、化学的耐久性及び／又は環境耐久性に関連する問題を有し、そのためそれらの用途は制限されてしまう。その理由は、銀ＩＲ反射層、特に、二重銀タイプのＬｏｗ−Ｅコーティングがあまり安定的ではないことがその一因である。銀（Ａｇ）が腐食又は損傷すると、銀の光学的、電気的、及び熱的（放射率）特性は劣化する。例えば、ガラス／Ｓｉ_３Ｎ_４／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／Ｓｉ_３Ｎ_４の積層体を有する太陽光制御Ｌｏｗ−Ｅコーティングは、効率的な太陽光制御を提供するが、塩酸（ＨＣｌ酸）環境条件などの化学的環境には、合理的に耐えることができない。市場にはいくつかの耐久性のあるＬｏｗ−Ｅコーティングが存在するが、それらの性能は乏しいものであり、特に、その光透過率と太陽熱利得係数との比（ｌｉｇｈｔ−ｔｏ−ｓｏｌａｒ ｇａｉｎ ｒａｔｉｏ、ＬＳＧ）は、約１．０以下の望ましくないほど低い値である。ＬＳＧ値が高いほど、より多くのエネルギーが節約される。ＬＳＧはＴ_ｖｉｓ／ＳＨＧＣとして計算され、ＳＨＧＣはＮＲＦＣ ２００１に準拠する。

米国特許第５，３４４，７１８号明細書 米国特許第６，５７６，３４９号明細書 米国特許第８，９４５，７１４号明細書 米国特許第９，３７１，６８４号明細書 米国特許第９，０２８，９５６号明細書 米国特許第９，５５６，０７０号明細書 米国特許第８，９４５，７１４号明細書 米国特許第９，０２８，９８３号明細書

本発明の例示的な実施形態は、高いＬＳＧ値を維持しながら銀の耐久性（例えば、化学的耐久性）を改善した、低反射率（Low-E）コーティングを提供することによってこれらの問題を解決する。本発明の例示的実施形態は、Ｌｏｗ−Ｅコーティングの化学的耐久特性を改善するために、少なくとも１つの金属製又は実質的に金属製の亜鉛（Ｚｎ）系バリア層に隣接してかつ接触して提供される銀（Ａｇ）系赤外（ＩＲ）反射層を含む、コーティングされた物品に関する。特定の例示的実施形態では、銀系層は、ともに亜鉛（Ｚｎ）からなる又は亜鉛（Ｚｎ）を含む、金属製の又は実質的に金属製の第１及び第２のバリア層どうしの間に挟まれてもよい。ＩＲ反射層及び亜鉛系バリア層は、低放射率（Ｌｏｗ−Ｅ）コーティングの一部であり、少なくとも、透明な誘電体層どうしの間に挟まれていてもよい。驚くべきことに、ともに亜鉛からなる又は亜鉛を含む、金属製又は実質的に金属製の第１及び第２のバリア層間に直接、隣接させて銀系ＩＲ反射層を設けることにより、銀系ＩＲ反射層及び全体コーティングの耐腐食性及び化学耐久性が改善され、他方で、少なくとも１．１０（より好ましくは少なくとも１．２０、場合によっては少なくとも１．３０）の高いＬＳＧ値などの、良好な光学特性及び放射率特性を維持することができることが判明した。

本発明の例示的実施形態では、ガラス基材で支持されたコーティングを含むコーティングされた物品の製造方法が提供され、この方法は、ガラス基材上に第１の誘電体層を堆積させることと、ガラス基材上に、少なくとも第１の誘電体層の上方に位置する、銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層を堆積させることと、ガラス基材上に、銀を含むＩＲ反射層の上方に位置し、ＩＲ反射層に直接接触している、金属製又は実質的に金属製である、亜鉛を含むバリア層を堆積させることと、ガラス基材上に、少なくとも赤外線（ＩＲ）反射層及び亜鉛を含むバリア層の上方に位置する、第２の誘電体層を堆積させることとを含み、コーティングは、１１Ω／ｓｑ．以下のシート抵抗（Ｒ_ｓ）と、０．２以下の垂直放射率（Ｅ_ｎ）とを有する。

本発明の例示的実施形態では、ガラス基材で支持されたコーティングを含むコーティングされた物品が提供され、このコーティングは、ガラス基材上の第１の誘電体層と、ガラス基材上の、少なくとも第１の誘電体層の上方に位置する、亜鉛を含む、金属製又は実質的に金属製の第１のバリア層と、ガラス基材上の銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層であって、亜鉛を含む第１のバリア層の上方に位置し、第１のバリア層に直接接触しているＩＲ反射層と、ガラス基材上の、銀を含むＩＲ反射層の上方に位置し、ＩＲ反射層に直接接触している、亜鉛を含む金属製の又は実質的に金属製の第２のバリア層であって、銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層が、ともに亜鉛を含む第１のバリア層と第２のバリア層との間に位置し、第１のバリア層と第２のバリア層とに直接接触するようになっている第２のバリア層と、ガラス基材上の第２の誘電体層であって、少なくとも第１及び第２のバリア層並びにＩＲ反射層の上方に配置されている第２の誘電体層とを備え、コーティングが、１１Ω／ｓｑ．以下（より好ましくは１０Ω／ｓｑ．以下、最も好ましくは９Ω／ｓｑ．以下）のシート抵抗（Ｒ_ｓ）と、０．２以下（より好ましくは０．１５以下、最も好ましくは０．１１以下）の垂直放射率（Ｅ_ｎ）とを有する。

本発明の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。 本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。

ここで図面を参照すると、同様の参照番号は、いくつかの図全体を通して同様の部分を示す。
本発明の例示的実施形態は、Ｌｏｗ−Ｅコーティングを支持するガラス基材１を含む、コーティングされた物品に関する。Ｌｏｗ−Ｅコーティングは、高いＬＳＧ値を維持しながら、銀の耐久性（例えば、化学的耐久性）を改善するように設計されている。本発明の例示的実施形態は、低反射率（Low-E）コーティングの化学的耐久特性を改善するために、少なくとも１つの金属製又は実質的に金属製の亜鉛（Ｚｎ）系バリア層１０ａ及び／又は１０ｂに隣接して、かつ接触するように提供された少なくとも１つの銀（Ａｇ）系赤外（ＩＲ）反射層９を含むコーティングされた物品に関する。特定の例示的実施形態では、銀系ＩＲ反射層９は、ともに亜鉛（Ｚｎ）からなる又は亜鉛（Ｚｎ）を含む、金属製又は実質的に金属製の第１のバリア層１０ａと第２のバリア層１０ｂとの間に挟まれていてもよい。ＩＲ反射層９及び亜鉛系バリア層１０ａ、１０ｂは、低放射率（Ｌｏｗ−Ｅ）コーティングの一部であり、層２、１３、及び／又は１５などの、少なくとも、透明な誘電体層どうしの間に挟まれていてもよい。驚くべきことに、ともに亜鉛からなる又は亜鉛を含む、金属製又は実質的に金属製の第１のバリア層１０ａ及び第２のバリア層１０ｂ間に直接、隣接させて銀系ＩＲ反射層９を設けることにより、銀系ＩＲ反射層９及び全体Ｌｏｗ−Ｅコーティングの耐腐食性及び化学耐久性が改善され、他方で、少なくとも１．１０（より好ましくは少なくとも１．２０、場合によっては少なくとも１．３０）の高いＬＳＧ値などの、良好な光学特性及び放射率特性を維持することができることが判明した。これらのＬＳＧ値は、モノリシック状態で測定される。このようなコーティングされた物品は、モノリシック窓、絶縁ガラス（ＩＧ）窓ユニットなどの用途で使用することができる。

図１は、本発明の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。コーティングされた物品は、ガラス基材１（例えば、厚さ約１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍの透明、緑色、青銅、又は青緑色のガラス基材）、及び基材１上に直接又は間接的に提供される多層Ｌｏｗ−Ｅコーティング（又は層組織）２５を含む。図１に示すように、Ｌｏｗ−Ｅコーティング２５は、窒化ケイ素（例えば、Ｓｉ_３Ｎ_４又は他の何らかの好適な化学量論的組成物）からなるか又はそれを含む透明誘電体層２と、酸化亜鉛（例えば、ＺｎＯ_ｘ（例えば、「ｘ」は約１であってもよい）又はＺｎＡｌＯ_ｘ）を含む透明誘電体層７と、銀からなる又は銀を含む、金属又は実質的に金属のＩＲ（赤外線）反射層９と、銀系赤外線（ＩＲ）反射層９上に直接提供され、その両サイドで銀系赤外線（ＩＲ）反射層９に接触している、亜鉛系バリア層１０ａ及び１０ｂと、Ｎｉ及び／又はＣｒの酸化物及び／又は窒化物（例えば、ＮｉＣｒＯ_ｘ）からなる又はそれを含むバリア層１１と、酸化スズを含む透明誘電体層１３及び窒化シリコンを含む透明誘電体層１５からなる又はそれらを含むオーバーコートとからなるか又はそれらを含む。窒化シリコンを含む層２及び／又は１５は、アルミニウム、酸素などを更に含んでもよく、同様に酸化スズ層１３は、窒素、亜鉛などの他の材料を更に含んでもよい。本発明の特定の例示的実施形態では、他の層及び／又は材料がコーティングに提供されてもよく、特定の例示的事例では特定の層が除去又は分割され得ることも可能である。例えば、本発明の特定の例示的実施形態では、酸化ジルコニウムオーバーコート層（図示せず）が層１５の上方に設けられてもよい。別の例として、層１０ａ又は層１０ｂは、本発明の特定の例示的実施形態において省略されてもよい。更に、上記の層のうちの１つ以上は、本発明の特定の例示的実施形態において、他の材料でドープされてもよい。

図２は、本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。図２の実施形態では、層７及び層１１がＮｉＣｒ及び／又はＮｉＣｒＯ_ｘであり、図１にはある層１３が省略されている点を除いて、図２は図１と同じである。図１及び図２の実施形態の両方において、Ｌｏｗ−Ｅコーティング２５は、Ｌｏｗ−Ｅコーティングの化学的耐久性を改善するために、少なくとも１つの、金属製又は実質的に金属製の、亜鉛系バリア層１０ａ及び／又は１０ｂに隣接し、バリア層１０ａ及び／又は１０ｂに接触して提供される、少なくとも１つの銀系ＩＲ反射層９を含む。

従来の銀系Ｌｏｗ−Ｅコーティングは、ＨＣｌ及びＣＡＳＳ溶媒中で起こるもののような、上述したような化学的耐久性の問題を有する。腐食の起こるメカニズムは、ガルバニック腐食であり、異なる電位を有する２つの金属が、導電性のある腐食性液体中で互いに電気的に接触しているときに生じる異種金属接触腐食である。２つの金属の効果はともにアノードの腐食速度を増加させ、かつカソードの腐食を低減させ又は抑制しさえする。したがって、アノード材料ははるかに速く腐食され、カソードの腐食が抑制される。本発明の例示的実施形態では、銀ＩＲ反射層９はカソードのポジションにあり、カソードの銀９がアノード材料１０ａ、１０ｂによって保護されるようになっている。金属製又は実質的に金属製の亜鉛１０ａ、１０ｂは、本発明の例示的実施形態によるＬｏｗ−Ｅ積層体における化学腐食から銀を保護するために、銀９に直接隣接して提供される。

なお、「実質的に」金属製とは、原子百分率で１０％以下の酸素含有量、より好ましくは５％以下の酸素含有量を有する金属製であることを意味する。Ｚｎ系の実質的に金属層１０ａ及び１０ｂは、本発明の例示的実施形態においては、原子百分率で０〜１０％の酸素及び／又は窒素、より好ましくは０〜５％の酸素及び／又は窒素を含有していてよい。

モノリシックの例では、コーティングされた物品は、ガラス基材１などの１つの基材のみを含む（図１〜２を参照）。しかしながら、本明細書のモノリシックコーティング物品は、複数のガラス基材を含む、例えば、ＩＧ窓ユニットなどのデバイスにおいて使用されてもよい。例示的なＩＧ窓ユニットは、例えば、米国特許第５，７７０，３２１号、同第５，８００，９３３号、同第６，５２４，７１４号、同第６，５４１，０８４号、及び米国特許出願公開第２００３／０１５０７１１号に図示及び説明されており、これらの開示は全て参照により本明細書に組み込まれる。例示的なＩＧ窓ユニットは、例えば、図１及び図２に図示されているコーティングされたガラス基材１を含み得るが、そのガラス基材１は、スペーサ、シーラント等を介して別のガラス基材に連結され、それらの間に間隙が画定されている。ＩＧユニットの実施形態における基材間のこの間隙は、特定の事例では、アルゴン（Ａｒ）などのガスで充填され得る。例示的なＩＧ単位は、それぞれ約３〜４ｍｍの厚さの一対の、互いに離間した実質的に透明なガラス基材を含んでもよく、そのうちの１つは、特定の例示的事例では本明細書におけるコーティングでコーティングされ、基材間の間隙は、約５〜３０ｍｍであってもよく、より好ましくは約１０〜２０ｍｍ、最も好ましくは約１２〜１６ｍｍであってよい。特定の例示的事例では、コーティングは、内側又は外側ガラス基材１の、間隙に面する側面上に提供されていてもよい。

図１及び図２を参照すると、窒化ケイ素を含む透明誘電体層２は、反射防止目的のために提供され、色ずれを低減することが判明している。窒化ケイ素層２は、Ｓｉ_３Ｎ_４からなっていてもよく、又はＳｉ_３Ｎ_４を含んでいてもよい。あるいは、窒化ケイ素層２は、Ｓｉ−リッチ型（完全に化学量論的ではない）のものであってもよい。更に、窒化ケイ素層２及び／又は１５の一方又は両方は、アルミニウム又はステンレス鋼などのドーパント、及び／又は少量の酸素を更に含んでもよい。これらの層は、特定の例示的実施形態ではスパッタリングによって、又は任意の他の好適な技術を介して堆積されてもよい。酸化チタン、スズ酸亜鉛、又は酸化スズなどの他の材料を、透明誘電体層２及び／又は１５に使用することもできる。

透明誘電体シード層７は、図１の実施形態における酸化亜鉛（例えば、ＺｎＯ）からなるか又はそれを含む。層７の酸化亜鉛は、特定の例示的実施形態において、他の材料、例えばＡｌ（例えば、ＺｎＡｌＯ_ｘを形成するため）を含有してもよい。例えば、本発明の特定の例示的実施形態では、酸化亜鉛層７は、約１〜１０％Ａｌ（又はＢ）、より好ましくは約１〜５％のＡｌ（又はＢ）、最も好ましくは約２〜４％のＡｌ（又はＢ）をドープされてもよい。層９における銀の下での酸化亜鉛７の使用は、銀の優れた品質を実現するのを可能にする。特定の例示的実施形態（例えば、以下で説明する）において、酸化亜鉛を含む層７は、セラミックＺｎＯ又は金属の回転マグネトロンスパッタリングターゲットをスパッタリングすることによって形成されてもよい。特定の例示的実施形態におけるセラミックターゲットの使用（例えば、Ａｌ、ＦなどでドープされていてもされていなくてもよいＺｎＯ）は、高品質の銀が提供されるのを可能にし、それによってより低い放射率のコーティングをもたらすことが判明した。セラミックターゲット中のＺｎ：Ｏは、特定の例示的実施形態においては化学量論的であってもよいが、ＺｎＯｘ（例えば、０．２５≦ｘ≦０．９９、より好ましくは０．５０≦ｘ≦０．９７、更により好ましくは０．７０≦ｘ≦０．９６）を含む少なくとも１つの準化学量論的セラミックターゲットを、特定の例において化学量論的であり得る酸化亜鉛を含む層７をスパッタ堆積させるのに使用してもよい。本発明の代替実施形態では、亜鉛スズ酸塩、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｒＮ_ｘ、ＮｉＣｒＭｏＮ_ｘ、又はＮｉＣｒＯ_ｘなどの他の材料を層７に使用してもよい。図１の実施形態においては、シード層７は、酸化亜鉛からなるか又はそれを含むが、この層は、スズ酸亜鉛、ＮｉＣｒ、又はＮｉＣｒＯ_ｘなどの他の材料からなるか又はそれを含んでもよく、図２は、層７がＮｉＣｒ及び／又はＮｉＣｒＯ_ｘからなるか又はそれを含む、例示的な実施形態を示している。

透明な赤外線（ＩＲ）反射層９は、好ましくは導電性を有し、かつ金属製又は実質的に金属製であり、好ましくは銀（Ａｇ）を含むか又は銀（Ａｇ）から本質的になるものである。ＩＲ反射層９は、低放射力、低シート抵抗などのＬｏｗ−Ｅ及び／又は良好な太陽制御特性を有することを可能にするのに役立つ。特定の例示的実施形態では、銀（Ａｇ）ＩＲ反射層９は、図１〜２に示されるように、金属製又は実質的に金属製の、亜鉛（Ｚｎ）ベースの層１０ａ及び１０ｂの間に位置し、それらの層１０ａ及び１０ｂに直接接触する。バリア層１０ａ及び１０ｂは、本発明の特定の例示的実施形態では、その全部が亜鉛を堆積したものであってもよく、又は所望により１〜２０％のＡｌをドープされた、より好ましくは１〜１０％のＡｌをドープされた亜鉛を堆積したものであってもよい。したがって、層１０ａ及び１０ｂは、本発明の特定の例示的実施形態ではＺｎ製であってもよく、又は本発明の他の例示的実施形態ではＺｎＡｌ、ＺｎＡｇ、又はＺｎＡｌＡｇ製であってもよい。スパッタ堆積などを介して堆積される亜鉛系バリア層１０ａ及び／又は１０ｂは、好ましくは、原子百分率で１０％以下の酸素を含有する金属製又は実質的に金属製のものであり、より好ましくは５％以下の酸素を含有する金属製又は実質的に金属製のものである。バリア層１０ｂの上方に、ＮｉＣｒＯ_ｘなどの酸化物層１１がスパッタリングにより堆積される場合、バリア層１０ｂは、その上方に層１１を堆積させる間に、ある程度酸化され得る可能性がある。しかしながら、層１１が酸化物層ではなく、その代わりに窒化物層である場合には、その堆積により、バリア層１０ｂの有意な程度の酸化を引き起こすことはないはずである。本明細書で説明されるように、驚くべきことに、ともに亜鉛からなる又は亜鉛を含む、金属製又は実質的に金属製の第１のバリア層１０ａ及び第２のバリア層１０ｂ間に直接、隣接させて銀系ＩＲ反射層９を設けることにより、銀系ＩＲ反射層９及び全体Ｌｏｗ−Ｅコーティングの耐腐食性及び化学耐久性が改善され、他方で、高いＬＳＧ値などの、良好な光学特性及び放射率特性を維持することができることが判明した。バリア層の一方又は両方は、本発明の特定の例示的実施形態では、１〜１５％のＡｇをドープされた亜鉛などの、ＺｎＡｇで形成されてもよい。更に、層１０ａは、本発明の特定の例示的実施形態では省略されてもよい。

なおも図１〜２を参照すると、二次バリア層１１は、Ｎｉ及び／又はＣｒの酸化物からなる又はそれを含んでいてもよく、あるいは、金属製でありかつ、Ｎｉ及び／又はＣｒからなる又はＮｉ及び／又はＣｒを含むものであってよく、かつ、例えば窒化物であってもよい。特定の例示的実施形態では、バリア層７及び／又は１１はそれぞれ、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｒＮ_ｘ、ＮｉＣｒＭｏ、ＮｉＣｒＭｏＯ_ｘ、ＮｉＣｒＭｏＮ_ｘ、ＮｉＴｉＮｂＯ_ｘ、ニッケル（Ｎｉ）酸化物、クロム／クロム（Ｃｒ）酸化物、ＴｉＯ_ｘ、又はニッケルクロム酸化物（ＮｉＣｒＯ_ｘ）などのニッケル合金酸化物、あるいは他の好適な材料からなっていてもよく、又はそれを含むものであってよい。層７及び１１は、本発明の特定の例示的実施形態において、約０〜２０％の窒素、より好ましくは約１〜１０％の窒素を含有していてもよい。層１１（例えば、Ｎｉ及び／又はＣｒの酸化物からなる又はそれを含むもの）は、本発明の異なる実施形態では、酸化等級付けされてもよく、又はされていなくてもよい。酸化等級付けとは、層の酸化度が層の厚さ方向に沿って変化することを意味するが、その結果、例えば、ある接触層は、その直接隣接する亜鉛系層との接触界面において、赤外線（ＩＲ）反射層からより遠く／最も遠くにあるその一部よりも、酸化の程度がより低いと等級付けされ得る。

オーバーコートは、特定の例示的実施形態では、透明誘電体層１３及び／又は１５からなるか、又は透明誘電体層１３及び／又は１５を含む。図１〜図２を参照されたい。誘電体層１３は、本発明の特定の例示的実施形態では、酸化スズなどの金属酸化物からなるか、又はそれを含んでいてもよい。酸化スズ又はスズ酸亜鉛などの金属酸化物を含む層１３は、反射防止目的のために提供され、また、コーティングされた物品の放射率及び製造プロセスの安定性及び効率性も改善する。酸化スズを含む層１３は、本発明の特定の例示的実施形態において、窒素及び／又は亜鉛などの他の材料をドープされてもよい。酸化スズ系層１３は、良好な耐久性をもたらし、光透過性を改善する。誘電体層１５は、窒化ケイ素（例えば、Ｓｉ_３Ｎ_４又は他の好適な化学量論的組成物）からなるか又はそれを含んでいてよく、あるいは本発明の特定の例示的実施形態においては、シリコンオキシナイトライドなどの任意の他の好適な材料であるか、又はそれを含んでいてもよい。窒化ケイ素層１５は、本発明の特定の例示的実施形態において、ドーパントとしてアルミニウムなどの他の材料、又は少量の酸素を更に含んでもよい。特定の例の例において、所望により、酸化ジルコニウムオーバーコートなどの他の層が、オーバーコート中の層１５の上方に設けられてもよい。層１５は、耐久性向上のために提供され、下にある層を保護するために提供される。特定の例示的実施形態では、窒化ケイ素系層１５は、約１．９〜２．２、より好ましくは約１．９５〜２．０５の屈折率（ｎ）を有し得る。特定の例示的実施形態では、Ｚｒが、層１５（又は層２若しくは層５）の窒化ケイ素に提供されてもよい。したがって、本発明の特定の例示的実施形態では、層２及び／又は１５のうちの１つ以上は、ＳｉＺｒＮ_ｘ及び／又は酸化ジルコニウムからなるか、又はそれ（ら）を含んでいてもよい。

図示されたコーティングの下方又は上方の他の層も提供され得る。したがって、層組織又はコーティングが基材１「の上にある」か、又は基材１「により支持されている」（直接的又は間接的に）が、他の層を、それらの間に提供することが可能であり得る。したがって、例えば、図１のコーティングは、他の層が層３と基材１との間に提供されていても、基材１「の上にあり」かつ基材１「により支持されている」と考えることができる。更に、特定の実施形態では、図示されたコーティングの特定の層が除去され得る一方で、他の実施形態では、本発明の特定の実施形態の全体的な趣旨から逸脱することなく、他の層が様々な層間に追加され得るか、又は様々な層が分割部分間に追加された他の層とともに分割され得る。

様々な厚さが本発明の異なる実施形態で使用され得るが、図１の実施形態におけるガラス基材１上のそれぞれの層の厚さ及び材料の例は、ガラス基材から外側に向かって以下のとおりである（例えば、特定の例において、酸化亜鉛層及び窒化ケイ素層中のＡｌ含有量は約１〜１０％、より好ましくは約１〜３％であり得る）：

様々な厚さが本発明の異なる実施形態で使用され得るが、図２の実施形態におけるガラス基材１上のそれぞれの層の厚さ及び材料の例は、ガラス基材から外側に以下のとおりである（例えば、特定の例示的事例においては、酸化亜鉛層及び窒化ケイ素層中のＡｌ含有量は、約１〜１０％、より好ましくは約１〜３％であり得る）。

驚くべきことに、及び予想外に、第１のバリア層１０ａ及び第２のバリア層１０ｂをそれぞれ、厚さ１５〜４０Å、より好ましくは厚さ１７〜３３Åの物理的厚さで提供することは、有利にも、熱焼戻しなどの任意の熱処理の際に、熱安定性を改善することが見出された。層１０ａ、１０ｂの厚さが４０Åを超えると、熱安定性が低下し、熱処理による過度の色ずれ及び／又はコーティング損傷を示し、１５Å未満しか厚さがなければ、化学的耐久性が不十分なものとなり得ることが判明した。したがって、上記の厚さ範囲は、特に有利であることが判明している。

また驚くべきことに、層７及び１１の存在は、耐久性にとって特に重要であることも判明した。以下の実施例１〜３は、ＮｉＣｒ層７及び１１がＺｎ層と組み合わせて存在することで、Ｌｏｗ−Ｅコーティングの化学的耐久性が予想外に改善されているという驚くべき事実を示す。ＮｉＣｒ層が存在しない場合（以下の実施例３を参照）、化学試験時に層間剥離が生じた。

本発明の特定の例示的実施形態では、本明細書のコーティングされた物品（例えば、図１及び図２を参照）は、熱焼戻しなどの任意の熱処理の前及び／又は後に、モノリシックに測定されたときに、表３に示されるＬｏｗ−Ｅ（低放射率）、太陽光及び／又は光学特性を有し得る。

本明細書で論じられる本発明の特定の例示的実施形態では、ＩＲ反射層９とＺｎ系バリア層１０ａ、１０ｂとの組み合わせは、図１及び図２のコーティングに使用される。他方で、ＩＲ反射層９とＺｎ系バリア層１０ａ、１０ｂとの組み合わせのうちの１つ以上を、他のＬｏｗ−Ｅコーティングにおいて使用することが可能である。例えば、限定するものではないが、米国特許第５，３４４，７１８号、同第６，５７６，３４９号、同第８，９４５，７１４号、同第９，３７１，６８４号、同第９，０２８，９５６号、同第９，５５６，０７０号、同第８，９４５，７１４号、及び／又は同第９，０２８，９８３号（全て参照により本明細書に組み込まれる）のいずれかにおけるＬｏｗ−Ｅコーティング中の銀系ＩＲ反射層のそれぞれは、本発明の例示的実施形態では、本明細書で論じられるＩＲ反射層９及びＺｎ系バリア層１０ａ、１０ｂの組み合わせと置き換えられてもよい。換言すれば、例えば、米国特許第５，３４４，７１８号、同第６，５７６，３４９号、同第８，９４５，７１４号、同第９，３７１，６８４号、同第９，０２８，９５６号、同第９，５５６，０７０号、同第８，９４５，７１４号及び／又は同第９，０２８，９８３号のいずれかの銀系赤外線（ＩＲ）反射層は、本明細書で論じられるように、銀系赤外線（ＩＲ）反射層９及びＺｎ系バリア層１０ａ、１０ｂと置き換えられてもよい。

３つの実施例のコーティングされた物品、本発明の実施形態による実施例１〜３、及び比較例（ＣＥ）を作製して試験したが、各々は、ＣＥにおいて、Ｚｎ層１０ａ及び１０ｂは存在しなかったという点を例外として、同じＬｏｗ−Ｅコーティングを有していた。したがって、本発明の実施例による３つの実施例では、銀ＩＲ反射層９は、Ｚｎ層１０ａと１０ｂとの間に、両層と接するように位置し、一方、ＣＥにおいては、層１０ａ及び１０ｂは存在しなかった。比較例（ＣＥ）は、ガラス／Ｓｉ_３Ｎ_４／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／Ｓｉ_３Ｎ_４の、Ｌｏｗ−Ｅコーティングを有していた。一方、本発明の実施形態による第１及び第２の実施例は、ガラス／Ｓｉ_３Ｎ_４／ＮｉＣｒ／Ｚｎ／Ａｇ／Ｚｎ／ＮｉＣｒ／Ｓｉ_３Ｎ_４の積層体を有した。実施例１は、ガラス／Ｓｉ_３Ｎ_４（２７２Å）／ＮｉＣｒ（１０Å）／Ｚｎ（２０Å）／Ａｇ（１２５Å）／Ｚｎ（２０Å）／ＮｉＣｒ（１０Å）／Ｓｉ_３Ｎ_４（５１０Å）の積層体を有した。実施例３は、ガラス／Ｓｉ_３Ｎ_４（２７２Å）／Ｚｎ（３０Å）／Ａｇ（１２５Å）／Ｚｎ（２０Å）／Ｓｉ_３Ｎ_４（５１０Å）の層積層体を有した。したがって、実施例３では、ＮｉＣｒ層７及び１１が省略されていた。本発明の実施形態による実施例１及び実施例２からのデータを以下に示す。なお、以下の「垂直」とは、垂直放射率／放射力（Ｅ_ｎ）を表す。

それぞれの化学的耐久特性を試験するために、実施例１及び実施例２及び比較例（ＣＥ）に対して、化学試験を実施した。全ての３つの試料を、ＨＣｌ（８０％）及びＣＡＳＳの溶媒中において６５℃で１時間浸漬した。結果は驚くべきものであった。

しかしながら、化学試験では、驚くべきことに、銀ＩＲ反射層にＳｉ及びＡｌをドーピングすると、化学的耐久性が向上することが判明した。溶媒中にこれらを浸漬後、わずかなエッチングが実施例１及び実施例２の非常に外側の縁部でも見ることができたが、溶媒への浸漬によって、ＣＥ試料中には、より多くの欠陥が引き起こされていた。換言すれば、実施例１及び実施例２は実質的に欠陥がないが、ＣＥは、溶媒への浸漬後に、有意な数の欠陥を有することとなった。したがって、驚くべきことに、Ｚｎ層１０ａと１０ｂとの間に、それらに直接接触するように銀系ＩＲ反射層９を設けることによって、Ｌｏｗ−Ｅコーティングの化学的耐久性が著しく改善されることが判明した。

また、驚くべきことに、及び予想外に、第１バリア層１０ａ及び第２バリア層１０ｂをそれぞれ、厚さ１５〜４０Å、より好ましくは１５〜４０Å厚の物理的厚さで設けることにより、有利なことに、熱焼戻しなどの所望により行われる熱処理の際に、熱安定性が改善されることも判明した。実施例１及び実施例２を約６５０℃で約１２分間熱処理したところ、４０Åを超える厚さの層１０ａ、１０ｂの場合には、熱安定性が低下し、熱処理による過度の色ずれ及び／又はコーティング損傷を示し、１５Å未満の厚さの層１０ａ、１０ｂの場合には、不十分な化学的耐久性となり得ることが判明した。したがって、上記の厚さ範囲は、有利であることが判明している。

また驚くべきことに、層７及び１１の存在は、耐久性にとって特に重要であることも判明した。上記に説明したように、実施例１及び実施例２は、わずかに窒化され、約５％の窒素を含んだＮｉＣｒバリア層７及び１１を有していたが、実施例３では、ＮｉＣｒ層７及び１１は省略されていた。実施例３は、上記のＨＣｌ及びＣＡＳＳソーキング／浸漬試験に供されたときには層間剥離したが、実施例１及び実施例２は、同じこれらの試験に供したときにも優れた耐久性を示した。したがって、Ｚｎ層と組み合わせたＮｉＣｒ又はＮｉＣｒＮ_ｘバリア層７及び１１の存在によって、Ｌｏｗ−Ｅコーティングの化学的耐久性は、予想外に、驚くほど改善した。

本発明の例示的実施形態では、ガラス基材で支持されたコーティングを含むコーティングされた物品が提供され、このコーティングは、ガラス基材上の第１の誘電体層と、ガラス基材上の、少なくとも第１の誘電体層の上方に位置し、亜鉛を含む金属製又は実質的に金属製の第１のバリア層と、ガラス基材上の、亜鉛を含む第１のバリア層の上方に位置し、第１のバリア層に直接接触している銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層と、ガラス基材上の、銀を含むＩＲ反射層の上方位置し、ＩＲ反射層に直接接触している亜鉛を含む、金属製の又は実質的に金属製の第２のバリア層であって、銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層が、第１のバリア層と第２のバリア層との間に配置され、ともに亜鉛を含む第１のバリア層と第２のバリア層との間に、両者に直接接触して配置されるようになっている第２のバリア層と、ガラス基材上の、少なくとも第１及び第２のバリア層、並びにＩＲ反射層の上方に位置している、第２の誘電体層とを備え、コーティングが、１１Ω／ｓｑ．以下（より好ましくは１０Ω／ｓｑ．以下、最も好ましくは９Ω／ｓｑ．以下）のシート抵抗（Ｒ_ｓ）と、０．２以下（より好ましくは０．１５以下、最も好ましくは０．１１以下）の垂直放射率（Ｅ_ｎ）とを有する。

直前の段落に記載のコーティングされた物品では、赤外線（ＩＲ）反射層は銀からなってもよく、又は銀から本質的になっていてもよい。
先行する２つの段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、ＩＲ反射層は、金属製又は実質的に金属製であってよい。

先行する３段落のいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングされた物品は、少なくとも４０％の、より好ましくは少なくとも５０％の可視透過率を有してもよい。

先行する４段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングされた物品は、少なくとも１．１０の、より好ましくは少なくとも１．２０の、最も好ましくは少なくとも１．３０の光対太陽利得比（ＬＳＧ）を有してもよい。

先行する５段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、第１及び／又は第２の誘電体層は、窒化ケイ素を含んでもよい。
先行する６段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、亜鉛を含む第１及び／又は第２のバリア層は、アルミニウムを更に含んでもよい。

先行する７段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングは、ともに亜鉛若しくは亜鉛アルミニウムからなるか又はそれを含む、金属製又は実質的に金属製の第３及び第４のバリア層との間に配置されている、銀を含む第２の赤外線（ＩＲ）反射層を更に含んでもよい。

先行する８段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、亜鉛を含む第１及び／又は第２のバリア層はそれぞれ、その厚さが１５〜４０Å、より好ましくはその厚さが１７〜３３Åであってもよい。

先行する９段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングは、亜鉛を含む第１のバリア層の下方に位置し、第１のバリア層に直接接触する、酸化亜鉛を含む誘電体層又はＮｉ及び／又はＣｒを含む層を更に含んでもよい。

先行する１０段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングは、亜鉛を含む第２のバリア層の上方に位置し、第２のバリア層に直接接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む層を更に含んでもよい。

先行する１１段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、第１及び／又は第２のバリア層の金属成分は、少なくとも９０％亜鉛であってもよい。
先行する１２段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングは、第２の誘電体層の上方に位置する、酸化ジルコニウムからなる又はそれを含むオーバーコートを更に含んでもよい。

先行する１３段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、コーティングは、亜鉛を含む第１のバリア層の直下に位置しかつそれに接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む第１の層と、亜鉛を含む第２のバリア層の真上に配置されかつそれに接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む第２の層とを更に含んでもよい。

先行する１４段落のうちのいずれかに記載のコーティングされた物品において、バリア層の一方又は両方は、銀を更に含んでもよい。
本発明は、現在最も実用的で好ましい実施形態と考えられるものと関連して説明されたが、本発明は、開示される実施形態に限定されるものではなく、寧ろ、添付の特許請求の範囲の趣旨及び範囲内に含まれる様々な修正及び同等の構成を網羅することを意図するものであることを理解されたい。

Claims (40)

1. ガラス基材によって支持されたコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、
   前記ガラス基材上の第１の誘電体層と、
   前記ガラス基材上で、少なくとも前記第１の誘電体層の上方に位置し、亜鉛を含む金属製又は実質的に金属製の第１のバリア層と、
   ガラス基材上の、銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層であって、亜鉛を含む前記第１のバリア層の上方に位置し、前記第１のバリア層に直接接触する赤外線（ＩＲ）反射層と、
   ガラス基材上の、銀を含む前記ＩＲ反射層の上方に位置し、前記ＩＲ反射層と直接接触している、亜鉛を含む金属製の又は実質的に金属製の第２のバリア層であって、前記銀を含むＩＲ反射層が、ともに亜鉛を含む前記第１のバリア層と前記第２のバリア層との間に、前記第１のバリア層と前記第２のバリア層とに直接接触して位置する第２のバリア層と、
   前記ガラス基材上の、第２の誘電体層であって、少なくとも前記第１のバリア層、前記第２のバリア層、及び前記赤外線（ＩＲ）反射層の上方に位置する第２の誘電体層とを含み、
   前記コーティングが１１Ω／ｓｑ．以下のシート抵抗（Ｒ_ｓ）及び０．２以下の垂直放射率（Ｅ_ｎ）を有する、コーティングされた物品。
2. 前記ＩＲ反射層が、銀から本質的になる、請求項１に記載のコーティングされた物品。
3. 前記ＩＲ反射層が、金属製又は実質的に金属製である、請求項１又は２に記載のコーティングされた物品。
4. 前記コーティングされた物品が、少なくとも４０％の可視光透過率を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
5. 前記コーティングされた物品が、少なくとも５０％の可視光透過率を有する、請求項４に記載のコーティングされた物品。
6. 前記コーティングされた物品が、少なくとも１．１０の光対太陽利得比（ｌｉｇｈｔ−ｔｏ−ｓｏｌａｒ ｇａｉｎ ｒａｔｉｏ、ＬＳＧ）を有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
7. 前記コーティングされた物品が、少なくとも１．２０の光対太陽利得比（ＬＳＧ）を有する、請求項６に記載のコーティングされた物品。
8. 前記コーティングされた物品が、少なくとも１．３０の光対太陽利得比（ＬＳＧ）を有する、請求項７に記載のコーティングされた物品。
9. 前記第１の誘電体層が、窒化ケイ素を含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
10. 亜鉛を含む前記第１のバリア層が、アルミニウムを更に含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
11. 亜鉛を含む前記第２のバリア層が、アルミニウムを更に含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
12. 前記第２の誘電体層が、窒化ケイ素を含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
13. 前記コーティングが、９Ω／ｓｑ．以下のシート抵抗（Ｒ_ｓ）、及び／又は０．１１以下の垂直放射率（Ｅ_ｎ）を有する、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
14. 前記コーティングが、ともに亜鉛を含む金属製又は実質的に金属製の、第３及び第４のバリア層の間に位置する、銀を含む第２の赤外線（ＩＲ）反射層を更に含む、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
15. 前記コーティングが、亜鉛を含む前記第１のバリア層の下方に位置し、前記第１のバリア層に直接接触する、酸化亜鉛を含む誘電体層を更に含む、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
16. 前記コーティングが、亜鉛を含む前記第１のバリア層の下方に位置し、前記第１のバリア層に直接接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む層を更に含む、請求項１〜１５のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
17. 前記コーティングが、亜鉛を含む前記第２のバリア層の上方に位置し、前記第２のバリア層に直接接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む別のバリア層を更に含む、請求項１〜１６のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
18. 前記第１及び第２のバリア層の金属成分が、少なくとも９０％亜鉛である、請求項１〜１７のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
19. 亜鉛を含む前記第１及び第２のバリア層がそれぞれ、１５〜４０Åの厚さを有する、請求項１〜１８のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
20. 亜鉛を含む前記第１及び第２のバリア層がそれぞれ、１７〜３３Åの厚さを有する、請求項１〜１９のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
21. 前記コーティングが、亜鉛を含む前記第１のバリア層の直下に位置し、前記第１のバリア層に接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む第１の層と、亜鉛を含む前記第２のバリア層の真上に位置し、前記第２のバリア層に接触する、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む第２の層と、を更に含む、請求項１〜２０のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
22. ガラス基材によって支持されたコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、
    前記ガラス基材上の第１の誘電体層と、
    前記ガラス基材上の銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層であって、少なくとも前記第１の誘電体層の上方に位置する赤外線（ＩＲ）反射層と、
    前記ガラス基材上の亜鉛を含む金属又は実質的に金属であるバリア層であって、銀を含む前記ＩＲ反射層の上方に位置し、前記ＩＲ反射層に直接接触するバリア層と、
    前記ガラス基材上の、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む別のバリア層であって、亜鉛を含む前記バリア層の上方に位置し、前記バリア層に直接接触する別のバリア層と、
    前記ガラス基材上の第２の誘電体層であって、少なくとも前記ＩＲ反射層、亜鉛を含む前記バリア層、及びＮｉ及び／又はＣｒを含む前記バリア層の上方に位置する、第２の誘電体層とを含み、
    前記コーティングが、１１Ω／ｓｑ．以下のシート抵抗（Ｒ_ｓ）及び０．２以下の垂直放射率（Ｅ_ｎ）を有する、コーティングされた物品。
23. 前記バリア層の金属成分が、少なくとも９０％亜鉛である、請求項２２に記載のコーティングされた物品。
24. 前記コーティングされた物品が、少なくとも４０％の可視透過率及び／又は少なくとも１．１０の光対太陽利得比（ＬＳＧ）とを有する、請求項２２又は２３に記載のコーティングされた物品。
25. 亜鉛を含む前記バリア層が、アルミニウムを更に含む、請求項２２〜２４のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
26. 亜鉛を含む前記バリア層が、１５〜４０Åの厚さを有する、請求項２２〜２５のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
27. 亜鉛を含む前記バリア層が、１７〜３３Åの厚さを有する、請求項２２〜２６のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
28. Ｎｉ及び／又はＣｒを含む前記バリア層が窒化される、請求項２２〜２７のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
29. 前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１の誘電体層上方に位置する、亜鉛を含む層であって、前記ＩＲ反射層の下方に位置し、前記ＩＲ反射層に直接接触する層を更に含む、請求項２２〜２８のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
30. ガラス基材によって支持されたコーティングを含むコーティングされた物品の製造方法であって、前記方法が、
    前記ガラス基材上に第１の誘電体層を堆積させることと、
    前記ガラス基材上に、亜鉛を含む金属製又は実質的に金属製である第１のバリア層を、少なくとも前記第１の誘電体層の上方に堆積させることと、
    前記ガラス基板上に、亜鉛を含む前記第１のバリア層の上に位置し、前記第１のバリア層に直接接触する、銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層を堆積させることと、
    前記ガラス基板上に、亜鉛を含む金属製又は実質的に金属製の第２のバリア層を、銀を含む前記ＩＲ反射層の上方に、前記ＩＲ反射層に直接接触させて堆積させることであって、銀を含む前記ＩＲ反射層が、ともに亜鉛を含む前記第１のバリア層と前記第２のバリア層との間に位置し、前記第１のバリア層と前記第２のバリア層とに直接接触するようにすることと、
    前記ガラス基材上に、少なくとも前記第１及び第２のバリア層及び前記赤外線（ＩＲ）反射層の上方に位置する第２の誘電体層を堆積させることとを含み、
    前記コーティングが１１Ω／ｓｑ．以下のシート抵抗（Ｒ_ｓ）及び０．２以下の垂直放射率（Ｅ_ｎ）を有する、方法。
31. 前記層のそれぞれがスパッタリングによって堆積される、請求項３０に記載の方法。
32. 亜鉛を含む前記第１及び第２のバリア層のうちの少なくとも１つが、１５〜４０Åの厚さを有する、請求項３０又は３１に記載の方法。
33. 亜鉛を含む前記第１及び第２のバリア層が、それぞれ１７〜３３Åの厚さを有する、請求項３０〜３２のいずれか一項に記載の方法。
34. ガラス基材によって支持されたコーティングを含むコーティングされた物品の製造方法であって、前記方法が、
    前記ガラス基材上に第１の誘電体層を堆積させることと、
    前記ガラス基材上に、少なくとも前記第１の誘電体層の上方に位置する、銀を含む赤外線（ＩＲ）反射層を堆積させることと、
    前記ガラス基材上に、銀を含む前記ＩＲ反射層の上方に、前記ＩＲ反射層に直接接触させて、亜鉛を含む金属製又は実質的に金属製のバリア層を堆積させることと、
    前記ガラス基材上、少なくとも前記赤外線（ＩＲ）反射層と亜鉛を含む前記バリア層との上方に、第２の誘電体層を堆積させることとを含み、
    前記コーティングが１１Ω／ｓｑ．以下のシート抵抗（Ｒ_ｓ）及び０．２以下の垂直放射率（Ｅ_ｎ）を有する、方法。
35. 前記バリア層の金属成分が、少なくとも９０％亜鉛である、請求項３４に記載の方法。
36. 前記コーティングされた物品が、少なくとも４０％の可視透過率及び／又は少なくとも１．１０の光対太陽利得比（ＬＳＧ）を有する、請求項３４又は３５に記載の方法。
37. 亜鉛を含む前記バリア層が、アルミニウムを更に含む、請求項３４〜３６のいずれか一項に記載のコーティングされた物品。
38. 亜鉛を含む前記バリア層の上方に、前記バリア層に直接接触させて、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む別のバリア層を堆積させることを更に含む、請求項３４〜３７のいずれか一項に記載の方法。
39. 前記別のバリア層が、ＮｉＣｒの窒化物を含む、請求項３８に記載の方法。
40. 亜鉛を含む前記バリア層が銀を更に含む、請求項３４〜３９のいずれか一項に記載の方法。