KR101500949B1 - 유리 기판의 이송 모듈 - Google Patents

유리 기판의 이송 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR101500949B1
KR101500949B1 KR1020130056135A KR20130056135A KR101500949B1 KR 101500949 B1 KR101500949 B1 KR 101500949B1 KR 1020130056135 A KR1020130056135 A KR 1020130056135A KR 20130056135 A KR20130056135 A KR 20130056135A KR 101500949 B1 KR101500949 B1 KR 101500949B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
carrier
support
receiving groove
supporting means
Prior art date
Application number
KR1020130056135A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140136541A (ko
Inventor
권오철
김현수
서보익
김형준
김병국
Original Assignee
주식회사 비아트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 비아트론 filed Critical 주식회사 비아트론
Priority to KR1020130056135A priority Critical patent/KR101500949B1/ko
Publication of KR20140136541A publication Critical patent/KR20140136541A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101500949B1 publication Critical patent/KR101500949B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B65G49/069—Means for avoiding damage to stacked plate glass, e.g. by interposing paper or powder spacers in the stack
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
    • C03B35/18—Construction of the conveyor rollers ; Materials, coatings or coverings thereof
    • C03B35/183—Construction of the conveyor rollers ; Materials, coatings or coverings thereof specially adapted for thermal adjustment of the rollers, e.g. insulating, heating, cooling thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/20—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 판상으로 형성되는 캐리어 및 상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈을 개시한다.
본 발명의 유기 기판의 이송 모듈은 유리 기판과 캐리어가 직접적으로 접촉되지 않도록 함으로써 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 유리 기판의 이송 모듈은 유리 기판과 캐리어 사이에 그라파이트 시트를 위치시켜 유리 기판이 그라파이트에 의하여 지지되도록 함으로써 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키는 효과가 있다.

Description

유리 기판의 이송 모듈{Transportation Module of Glass Substrate}
본 발명은 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판의 열처리 공정에서 유리 기판을 이송하는 유리 기판의 이송 모듈에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판은 열처리 공정중에 유리 기판의 면적보다 큰 면적을 가지는 캐리어(carrier) 또는 세터(setter)에 안착되어 이송된다. 상기 캐리어는 고온에서 사용 가능하며, 내열충격성(thermal shock resistance)가 높고, 열팽창계수(thermal expansion coefficient)가 작으며, 기계적 특성(mechanical properties)가 높은 소재로 형성되며, 예를 들면, 쿼츠(Quartz)과 같은 소재로 형성된다.
상기 유리 기판은 열처리 공정 중에 캐리어에 안착되어 이송되면서 다양한 원인에 의하여 세터와 접촉하는 후면에 스크래치가 발생하게 된다. 상기 스크래치는 캐리어 표면의 거칠기(roughness), 캐리어와 유리 기판의 열팽창 계수 및 강도 차이, 열처리 공정에서의 유리 기판의 슬립(slip) 현상, 유리 기판의 슬립 방지를 위한 진공 적용시 캐리어에 의한 유리 기판 찍힘 현상, 유리 기판의 위치 정렬시 슬립 또는 진동 현상, 캐리어와 유기 기판 사이에 존재하는 공기의 팽창에 의한 유리 기판의 국부적인 휨(warpage) 현상, 열처리 온도 변화에 따른 유리 기판의 급속 팽창 및 수축에 의하여 발생한다. 상기 스크래치는 발생 원인에 따라 대략 일정한 위치에 일정한 형상으로 형성된다. 예를 들면, 상기 스크래치가 캐리어 표면의 거칠기에 의하여 발생되는 경우에는, 스크래치는 유기 기판 후면에 점 형태로 전체적으로 분포되어 형성된다. 또한, 상기 스크래치가 열처리 공정 중 유리 기판의 슬립 현상에 의하여 형성되는 경우에, 스크래치는 일정 길이의 직선 형태로 형성된다.
상기 유리 기판은 스크래치가 형성되는 경우에, 투명도가 저해되고 디스플레이 장치의 화면 선명도를 저하시키는 문제가 있다.
본 발명은 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판의 열처리 과정에서 유리 기판의 후면에 스크래치가 형성되는 것을 감소시킬 수 있는 유리 기판의 이송 모듈을 제공한다.
본 발명의 유리 기판의 이송 모듈은 판상으로 형성되는 캐리어 및 상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단은 상기 유리 기판의 열처리 공정 온도 이상의 온도에서 프리-컴팩션된 판상의 유리 재질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단은 열처리되는 상기 유리 기판과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단은 그라파이트 시트로 형성될 수 있다. 이때, 상기 그라파이트 시트는 표면에서 내부로 연장되는 홈 또는 홀이 형성되며, 100℃∼120℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 큐어링되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 그라파이트 시트는 압축 롤링되어 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단은 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸는 지지바를 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 지지바는 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 대응되는 형상으로 형성되어 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 전체적으로 접촉되도록 결합되는 지지홈을 구비할 수 있다.
또한, 상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈을 포함하며, 상기 지지 수단은 기둥 형상으로 형성되며 상기 수용 홈에 결합되는 지지 몸체를 포함하며, 상기 지지 몸체의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 캐리어는 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며, 상기 지지 수단은 상기 지지 몸체의 상부 외측면에서 수평 방향으로 연장되는 지지 연장부를 포함하며, 상기 지지 연장부의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성될 수 있다. 이때, 상기 수용 홈은 상기 격자 형상 배열에서 외측에 위치하는 수용 홈이 상기 캐리어의 외측단으로부터 100mm ∼ 150mm로 이격되도록 형성되며, 서로 인접한 수용 홈 사이의 이격 거리가 120mm ∼ 350m가 되도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮은 그라파이트 또는 보론나이트라이드 재질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈 및 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며, 상기 지지 수단은 상기 수용 홈에 삽입되며 상부에 반구 형상의 상부 수용 홈을 구비하는 하부 지지체와, 상기 상부 수용 홈에 수용되어 상기 유리 기판의 하면을 지지하는 메인 볼과, 상기 상부 수용 홈과 상기 메인 볼 사이에 위치하는 구동 볼 및 상기 하부 지지체의 외측을 감싸며 상기 수용 홈에 삽입되는 상부 캡을 포함하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 메인 볼은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮도록 형성될 수 있다.또한, 상기 메인 볼은 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 하부 지지체는 인코넬(incornel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz), 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 유리 기판의 이송 모듈은 유리 기판과 캐리어가 직접적으로 접촉되지 않도록 함으로써 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 유리 기판의 이송 모듈은 유리 기판과 캐리어 사이에 그라파이트 시트를 위치시켜 유리 기판이 그라파이트에 의하여 지지되도록 함으로써 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수직 단면도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수식 단면도를 나타낸다.
도 3은 도 2에서 캐리어의 평면도를 나타낸다.
도 4는 도 2의 지지 수단에 대한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 부분 수직 단면도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 적용된 다른 구조의 지지수단의 단면도를 나타낸다.
도 7은 기존의 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 열처리된 유리 기판을 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 그라파이트 시트를 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 그라파이트 핀을 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 볼-트랜스퍼를 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수직 단면도를 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(100)은, 도 1을 참조하면, 캐리어(110) 및 지지 수단(120)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 지지바(130)를 더 포함하여 형성될 수 있다.
상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 캐리어(110)의 상면에 지지 수단(120)이 안착되며, 지지 수단(120)의 상부에 안착되는 유리 기판(a)을 이송하게 된다. 상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 지지 수단(120)이 유리 기판(a)을 지지하도록 하여 유리 기판(a)이 캐리어(110)와 직접 접촉되지 않게 함으로써, 유리 기판(a)의 후면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시키게 된다.
상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 캐리어 이송 모듈(10)에 안착되어 캐리어 이송 모듈(10)의 상부에 형성되는 롤러(20)에 의하여 이송된다. 또한, 상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 유리 기판(a)의 프리-컴팩션(pre-compaction) 공정, 열처리 공정을 진행하는 열처리 장치에 설치되어 사용될 수 있다. 또한, 상기 유리 기판(a)은 LCD, PDP, OLED와 같은 평판 디스플레이 장치에 사용될 수 있다.
상기 캐리어(110)는 지지 수단(120) 및 유리 기판(a)보다 큰 면적을 갖는 판상으로 형성된다. 또한, 상기 캐리어(110)는 고온에서 사용 가능하며, 내열충격성(thermal shock resistance)이 높고, 열팽창계수(thermal expansion coefficient)가 작으며, 기계적 특성(mechanical properties)이 우수한 수정(quartz)으로 형성될 수 있다. 한편, 상기 캐리어(110)는 일반적인 유리 기판의 열처리 장치에 사용되는 캐리어로 형성될 수 있다.
상기 지지 수단(120)은 상면에 안착되는 유리 기판(a)보다 큰 면적을 가지는 판상으로 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 바람직하게는 열처리 되는 유리 기판과 동일 또는 유사한 유리 재질로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)과 열팽창 계수가 동일 또는 유사하게 되어, 유리 기판의 열처리 공정에서 열팽창 계수의 차이에 의하여 유리 기판(a)의 후면에 발생될 수 있는 스크래치를 감소시키게 된다.
또한, 상기 지지 수단(120)이 유리 재질로 형성되는 경우에, 사전에 열처리되어 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 바람직하게는 열처리 되는 유리 기판(a)의 열처리 공정 온도 이상의 온도에서 미리 열처리되어 형성될 수 있다. 상기 지지 수단(120)은 열처리를 통하여 프리-컴팩션될 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)의 열처리 과정에서는 변형과 수축이 감소되어 유리 기판(a)과 동일 또는 유사한 열팽창 계수를 갖게 된다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 열처리 공정중에 유리 기판(a)과 동일 또는 유사하게 팽창(승온 구간) 또는 수축(냉각 구간)되어 유리 기판(a)의 하면에 스크래치 유발을 최소화하게 된다.
상기 지지 수단(120)은 유리 재질로 형성되는 경우에 유리 기판(a)의 하면과 접촉되는 상면이 별도의 에칭 처리될 수 있다. 또한 상기 지지 수단(120)은 상면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 하면의 표면 조도보다 낮도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 에칭 처리에 의하여 Ra 10-100nm의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 표면 조도가 조정되어, 상면에 안착되는 유리 기판(a)과 서로 붙는(sticky) 현상이 감소될 수 있다.
상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)을 상승시키기 위한 리프트 핀이 관통되는 리프트 핀 홀(도시하지 않음), 진공을 형성하기 위한 진공 홀(도시하지 않음)이 형성되는 경우에, 홀 주변에 열처리를 행하여 홀 가공시 홀 주변에 형성되는 마이크로 크랙(micro crack)이 제거되도록 한다.
상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)보다 표면 경도가 낮은 재질로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)과 접촉시에도 유리 기판(a)의 하면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키게 된다. 예를 들면, 상기 지지 수단(120)은 그라파이트(graphite) 시트로 형성될 수 있다. 이때, 상기 그라파이트 시트는 내부에 존재할 수 있는 수분이 제거되도록 100℃∼120℃의 온도에서 1∼2시간 큐어링(curing) 또는 열처리될 수 있다. 상기 그라파이트 시트는 내부에 존재하는 수분 또는 습기등에 의하여 에어 버블(air bubble)이 발생될 수 있으며, 에어 버블에 의하여 유리 기판의 하면에 스크래치가 유발되거나 유리 기판에 손상을 유발할 수 있다. 따라서, 상기 그라파이트 시트는 큐어링 과정을 통하여 내부에 존재하는 수분 또는 습기가 제거되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지 수단(120)은 표면에서 내부로 연장되며, 직경이 1mm이하인 홈 또는 홀(도면에 도시하지 않음)로 형성되는 배출부(도면에 도시하지 않음)가 형성될 수 있다. 상기 홈 또는 홀은 10∼20mm 간격으로 형성될 수 있다. 상기 홈 또는 홀은 레이저 가공, 핀 또는 송곳에 의한 기계 가공에 의하여 형성될 수 있다. 상기 배출부는 그라파이트 시트가 큐어링 또는 열처리 과정에서 수분 또는 에어 버블이 신속하게 제거되도록 한다. 따라서, 상기 배출부는 유리 기판(a)의 열처리 공정 중에 수분에 의해서 유리 기판의 하면에 발생될 수 있는 스크래치를 감소시키게 된다.
또한, 상기 그라파이트 시트는 표면에 배출부가 형성된 후에 추가로 압축 롤링 공정을 통하여 압축됨으로써 홈 또는 홀의 직경을 감소시켜 유리 기판(a)과의 접촉시 스크래치의 유발이 더욱 더 감소되도록 할 수 있다. 또한, 상기 그라파이트 시트는 압축 롤링 공정을 통하여 기계적 강도가 증가될 수 있다.
또한, 상기 그라파이트 시트는 표면에 산화 방지 및 이물 생성 방지를 위하여 유리 기판(a)보다 표면 경도가 높지 않은 실리콘 옥사이드 코팅층과 같은 세라믹 재질에 의한 표면 코팅막이 형성될 수 있다.
상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)의 표면 조도보다 낮은 표면 조도를 가지도록 형성될 수 된다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)과 접촉시에도 유리 기판(a)의 하면에 스크래치를 유발하는 정도를 감소시키게 된다. 또한, 상기 지지 수단(120)은 표면 조도가 캐리어(110)의 표면 조도보다 낮은 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 바람직하게는 Ra 100nm 이하의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 또한, 상기 지지 수단(120)은 Ra 10nm 이상의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 표면 조도가 너무 높게 되면 유리 기판(a)에 스크래치를 유발하게 된다.
상기 지지 수단(120)은 0.5 ∼ 3.0mm의 두께를 가지도록 형성되며, 바람직하게는 유리 기판(a)의 두께보다 큰 두께를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 두께가 너무 얇으면, 사용 횟수에 따라 변형이 유발되어 상면에 안착되는 유리 기판(a)에 변형을 초래하게 된다. 또한, 상기 지지 수단(120)의 두께가 너무 두꺼우면, 유리 기판(a)이 공정 시간 대비 충분히 가열되디 않을 수 있다. 또한, 상기 이송 모듈의 무게 증가로 인하여 롤러 및 세터의 균일이 발생할 수 있으며, 균열에 의하여 파티클(particle)이 발생될 수 있다.
상기 지지바(130)는 바 형상으로 형성되며, 판상으로 형성되는 지지 수단의 상면 모서리 부분을 감싸게 된다. 상기 지지바(130)는 바람직하게는 지지 수단이 그라파이트 쉬트로 형성되는 경우에 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸도록 형성된다. 상기 그라파이트 시트는 모서리 부분이 상대적으로 취약하여 유리 기판의 열처리 과정에서 파티클(particle)을 발생시킬 수 있다. 따라서, 상기 지지바(130)는 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸서 유리 기판(a)의 열처리 과정에서 외부로 노출되지 않도록 한다.
상기 지지바(130)는 바람직하게는 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분의 형상에 대응되는 지지홈(132)을 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분이 "ㄱ"자 형상의 직각으로 형성되는 경우에, 지지홈(132)도 "ㄱ"자 형상의 홈으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분이 라운드 형상으로 형성되는 경우에, 지지홈(132)도 호 형상의 홈으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 지지홈(132)은 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분과 전체적으로 접촉되도록 결합되어 파티클이 발생되는 것을 최소화할 수 있다.
다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수식 단면도를 나타낸다. 도 3은 도 2에서 캐리어의 평면도를 나타낸다. 도 4는 도 2의 지지 수단에 대한 측면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(200)은, 도 2와 도 3 및 도 4를 참조하면, 캐리어(210) 및 지지 수단(220)을 포함하여 형성된다. 상기 유리 기판의 이송 모듈(200)은 도 1에 도시된 유리기판의 이송 모듈(100)과 동일하게 캐리어 이송 모듈(10)에 안착되어 이송된다. 이하에서는 도 1의 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(100)과 다른 부분을 중심으로 설명하며, 동일한 부분에 대하여는 설명을 생략한다.
상기 캐리어(210)는, 도 3을 참조하면, 복수의 수용 홈(212) 및 수용 연장턱(214)를 포함하여 형성된다.
상기 수용 홈(212)는 복수 개로 형성되며, 캐리어(210)의 상면에 격자 형상으로 배열되도록 형성된다. 상기 수용 홈(212)은 바람직하게는 x축 방향과 y축 방향으로 서로 일정 간격으로 이격되어 형성된다. 상기 수용 홈(212)은 각각 지지 수단(220)을 수용하게 된다.
상기 수용 홈(212)은 캐리어(210)의 상면에서 캐리어(210)의 내측 하부 방향으로 연장되어 형성되고, 캐리어(210)의 하면을 관통하지 않게 된다. 상기 수용 홈(212)은 캐리어(210)의 하부에서 유리 기판(a)의 하면으로 국부적인 열 유입이 이루어지지 않도록 한다. 따라서, 상기 유리 기판(a)은 국부적인 가열에 의한 변형이 발생하지 않게 된다.
상기 수용 홈(212)은 격자 형상 배열에서 외측에 위치하는 수용 홈(212)이 캐리어(210)의 외측단으로부터 100mm ∼ 150mm 이격되도록 형성된다. 상기 수용 홈(212)이 캐리어(210)의 외측단으로부터 100mm 보다 작은 거리로 이격되면, 유리 기판(a)의 외측단에서 발생되는 모멘텀(중력)에 대한 응력이 유리 기판(a)의 온도차에 의해 발생되는 응력보다 작게 되어 외측단 부분이 상부로 들뜨는 현상이 발생될 수 있다. 또한, 상기 수용 홈(212)이 캐리어(210)의 외측단으로부터 너무 이격되는 경우에 불필요하게 캐리어(210)의 면적이 증가될 수 있다.
상기 수용 홈(212)은 서로 인접한 수용 홈 사이의 이격 거리가 120mm ∼ 350mm가 되도록 형성될 수 있다. 상기 수용 홈(212)은 유리 기판(a)의 두께에 따라 적정한 이격 거리를 가지도록 형성된다. 상기 수용 홈(212)의 이격 거리가 크게 되면, 열처리 과정에서 유리 기판(a)에 발생되는 변형(warpage)량이 유리 기판(a)과 캐리어(210)의 이격 거리를 초과하게 된다. 따라서, 상기 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면과 접촉하게 되어 스크래치가 발생될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판(a)의 두께가 0.5mm 이고 수용 홈(212)의 이격 거리가 350mm 보다 크게 되면, 열처리 과정에서 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면에 접촉될 수 있다.
상기 수용 연장턱(214)은 수용 홈(212)의 상부에서 수용 홈(212)의 외측 방향으로 연장되어 형성되며, 캐리어(210)의 상면에서 수용 홈(212)의 하부 방향으로 단차지도록 형성된다. 상기 수용 연장턱(214)은 지지 수단(220)의 상부가 안착되어 지지되도록 한다.
한편, 상기 수용 연장턱(214)이 형성되는 경우에, 상대적으로 수평 면적이 더 작은 수용 홈(212)을 깊게 형성할 수 있게 된다. 따라서, 상기 캐리어(210)가 가공이 상대적으로 어려운 수정으로 형성되는 경우에 가공 공정을 단축할 수 있게 된다.
상기 지지 수단(220)은, 도 4를 참조하면, 지지 몸체(222) 및 지지 연장부(224)를 포함하는 핀 형상으로 형성된다. 상기 지지 수단(220)은 캐리어 상부에 위치하는 유리 기판(a)의 하면을 지지하여 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면에 직접 접촉되지 않도록 한다. 한편, 상기 지지 수단(220)은 지지 몸체(222)만으로 유리 기판(a)의 지지가 충분한 경우에 지지 연장부(224)가 형성되지 않을 수 있다. 이 경우에, 상기 캐리어(210)는 지지 연장부(224)를 수용하기 위한 수용 연장턱(214)이 형성되지 않을 수 있다. 또한, 상기 지지 수단(220)은 캐리어(210)에 수용 연장턱(214)이 형성되지 않는 경우에 지지 연장부(224)가 형성되지 않을 수 있다.
상기 지지 수단(220)은 고온에서 사용가능하며, 유리 기판(a)의 표면 경도보다 경도가 낮은 고순도 그라파이트(graphite), 보론나이트라이드(boron nitride)와 같은 재질로 형성된다.
또한, 상기 지지 수단(220)이 그라파이트로 형성되는 경우에 그라파이트 표면에 산화 방지 및 이물 생성 방지를 위하여 유리 기판(a)보다 표면 경도가 높지 않은 실리콘 산화물과 같은 세라믹 재질에 의한 표면 코팅막이 형성될 수 있다.
또한, 상기 지지 수단(220)은 유리 기판(a)의 하면과 직접 접촉되는 표면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 표면 조도보다 낮으며, 바람직하게는 Ra 100nm 이하의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(220)은 유리 기판(a)의 하면과 직접 접촉되는 표면을 폴리싱(polishing) 또는 경면 연마 처리하여 유리 기판(a)의 하면에 스크래치가 발생되지 않도록 한다. 상기 지지 수단(220)은 표면 조도가 너무 높게 되면 유리 기판(a)의 하면에 스크래치를 유발하게 된다.
또한, 상기 지지 수단(220)는 캐리어(210)의 상면으로부터 0.5mm ∼ 3.0mm로 돌출되도록 형성된다. 상기 지지 수단(220)의 돌출 높이가 너무 낮게 되면 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면과 접촉될 가능성이 증가된다. 또한, 상기 지지 수단(220)의 돌출되는 높이가 너무 높게 되면 이송되는 유리 기판(a)이 불안정하게 지지될 수 있다
상기 지지 몸체(222)는 기둥 형상으로 형성되며, 수평 단면이 원형으로 형성된다. 상기 지지 몸체(222)는 수평 단면이 삼각형, 사각형, 오각형 또는 육각형과 같은 다각형인 기둥 형상으로 형성될 수 있다.
상기 지지 몸체(222)는 캐리어(210)의 수용 홈(212)에 안착되어 고정된다. 또한, 상기 지지 몸체(222)는 상면이 유리 기판(a)의 하면과 접촉되며, 유리 기판(a)을 지지하게 된다. 상기 지지 몸체(222)는 상면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 하면의 표면 조도보다 낮게 된다.
상기 지지 연장부(224)는 지지 몸체(222)의 상부 외측면에서 수평 방향으로 연장되어 형성되며, 상면이 지지 몸체(222)의 상면과 동일 평면을 이루도록 형성된다. 상기 지지 연장부(224)는 지지 몸체(222)와 일체로 형성될 수 있다. 상기 지지 연장부(224)는 상면이 유리 기판(a)의 하면에 접촉되며, 지지 몸체(222)와 함께 유리 기판(a)을 지지하게 된다. 상기 지지 연장부(224)는 상면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 하면의 표면 조도보다 낮게 된다.
다음은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 부분 수직 단면도를 나타낸다. 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 적용된 다른 구조의 지지수단의 단면도를 나타낸다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(300)은, 도 5를 참조하면, 캐리어(310) 및 지지 수단(320)을 포함하여 형성된다. 이하에서는 도 2와 도 3 및 도 4의 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(200)과 다른 부분을 중심으로 설명하며, 동일한 부분에 대하여는 설명을 생략한다.
상기 캐리어(310)는 복수의 수용 홈(312) 및 수용 연장턱(314)를 포함하여 형성된다. 상기 수용 홈(312) 및 수용 연장턱(314)은 도 2 및 도 3의 실시예에 따른 수용 홈(212) 및 수용 연장턱(214)와 동일한 작용을 하며 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 수용 홈(312) 및 수용 연장턱(314)은 지지 수단(320)의 형상에 따라 수용 홈(212) 및 수용 연장턱(214)에 비하여 직경 또는 높이가 다르게 형성될 수 있다. 따라서, 여기서는 구체적인 설명은 생략한다.
상기 지지 수단(320)은 하부 지지체(322)와 메인 볼(324)과 구동 볼(326) 및 상부 캡(328)을 포함하여 형성된다. 즉, 상기 지지 수단(320)은 일반적으로 사용되는 볼-트랜스퍼(ball-transfer)로 형성된다. 또한, 상기 볼 트랜스퍼는 도 5에 도시된 구조외에도 유리 기판과 같은 평판을 이송하는데 사용되는 다양한 구조의 볼-트랜스퍼로 형성될 수 있다. 따라서, 이하에서는 상기 지지 수단(320)의 구조에 대한 구체적인 설명을 생략하고 일반적인 볼-트랜스퍼와 차이가 있는 부분을 중심으로 설명한다.
상기 하부 지지체(322)는 상부에 메인 볼(324)과 구동 볼(326)을 수용하는 반구 형상의 상부 수용 홈(322a)를 포함하여 형성된다. 상기 하부 지지체(322)는 캐리어의 수용 홈(312)에 삽입된다. 상기 하부 지지체(322)는 다른 금속 재질에 비하여 고온에서 열팽창계수가 상대적으로 낮고 부식에 강한 인코넬(inconel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz), 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3) 또는 실리콘카바이드(SiC) 재질로 형성될 수 있다.
도 5에서 미설명 부호인 329a와 329b는 하부 지지체(322)의 상부에 형성되는 상부 수용 홈(322a)에 결합되는 차단링이다.
상기 메인 볼(324)은 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3) 또는 실리콘카바이드(SiC) 재질로 형성될 수 있다. 상기 메인 볼(324)은 회전하면서 유리 기판(a)의 하면을 지지하게 된다. 상기 메인 볼(324)은 표면 조도가 유리 기판(a)의 표면 조도보다 낮으며, 바람직하게는 Ra 100nm 이하의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 또한, 상기 메인 볼(324)은 Ra 10nm 이상의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 메인 볼(324)은 표면 조도가 너무 높게 되면 유리 기판(a)에 스크래치를 유발할 수 있다.
또한, 상기 메인 볼(324)은 유리 기판(a)의 하면과 점 접촉을 하게 되어 유리 기판(a)의 하면과 접촉되는 면적을 최소화함으로써 유리 기판(a)의 하면에 형성될 수 있는 스크래치를 감소시키게 된다.
상기 구동 볼(326)은 메인 볼(324)과 동일한 재질로 형성되며, 회전하면서 메인 볼이 원활하게 회전할 수 있도록 한다.
상기 상부 캡(328)은 하부 지지체(322)의 외측을 감싸며, 수용 홈(312)에 삽입되도록 형성된다. 상기 상부 캡(328)은 하부 지지체(322)와 동일 또는 유사한 재질로 형성될 수 있다. 즉, 상기 상부 캡은 인코넬(inconel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz) 또는 세라믹 재질로 형성될 수 있다.
한편, 상기 지지수단(420)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 하부 지지체(422)와 메인 볼(424)과 구동 볼(426) 및 상부 캡(428)을 포함하여 형성된다. 상기 하부 지지체(422)와 메인 볼(424)과 구동 볼(426) 및 상부 캡(428)은 각각의 구조 및 결합관계가 도 5의 지지수단(320)을 구성하는 하부 지지체(322)와 메인 볼(324)과 구동 볼(326) 및 상부 캡(328)과 유사하게 형성될 수 있다. 상기 지지 수단(420)은 도 5의 지지 수단(320)과 같이 캐리어(310)의 수용 홈(312)에 하부 지지체(422)가 삽입되어 결합되며, 메인 볼(424)이 구동되어 유리 기판(a)의 후면을 지지하게 된다.
도 6에서 미설명 부호인 429a와 429b는 하부 지지체(422)의 상부에 형성되는 상부 수용 홈(422a)에 결합되는 차단링이다. 또한, 미설명 부호인 422c는 하부 지지체(422)와 상부 캡(428)을 고정하는 핀(미도시)이 결합되는 통로이다.
한편, 상기의 설명에서는 유리 기판의 이송 모듈의 지지 수단이 핀 형상의 지지 수단(220) 또는 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)의 어느 하나만으로 형성되는 구성에 대하여 설명하였다. 그러나, 상기 유리 기판의 이송 모듈은 핀 형상의 지지 수단(220)과 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)이 함께 사용되도록 형성될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 유리 기판의 이송 모듈은 캐리어의 외측 모서리에 형성되는 수용 홈(도 3에서 212a로 표시되는 수용 홈)에는 핀 형상의 지지 수단(220)이 위치하고, 다른 부분에는 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)이 위치하도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 핀 형상의 지지 수단(220)은 상대적으로 면적이 넓어 유리 기판(a)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있으므로 유리 기판(a)의 외측 모서리 부분을 지지하도록 위치하고, 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)은 유리 기판(a)의 다른 부분을 지지하도록 위치할 수 있다.
다음은 본 발명의 각 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈들의 스크래치 발생 정도에 대한 평가 결과를 설명한다.
도 7은 기존의 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다. 도 8 내지 도 11은 각각 본 발명의 실시예에 따라, 열처리된 유리 기판, 그라파이트 시트, 그라파이트 핀, 볼트랜스퍼를 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
유리 기판은 LCD 또는 OLED와 같은 평판 표시 장치에 사용되는 0.5t, 730mm x 920mm를 사용하였다. 상기 유리 기판의 열처리는 평판 표시 장치에 사용되는 유리 기판을 열처리하는 조건으로 실시하였다. 보다 구체적으로는, 상기 유리 기판은 RT(Room Temperature) - T1(650℃, 10min) - T2(650℃, 10min) - T3((550℃, 5min) - T4(50℃, 5min) - T5(500℃, 5min) - T6(400℃, 2.5min) - RT(Cooling Plate)의 조건으로 열처리되었다. 상기 유리 기판을 이송하는 이송 모듈은 본 발명의 실시예에 따른 지지 수단인 사전 열처리된 유리 기판, 그라파이트 시트, 그라파이트 핀 및 볼 트랜스퍼를 각각 구비하는 이송 모듈을 사용하였다. 또한, 비교 평가를 위하여, 별도의 지지 수단을 구비하지 않은 이송 모듈을 사용하여 열처리를 진행하였다.
상기 유리 기판의 후면에 형성된 스크래치는 열처리 된 후에 파티클 카운터를 사용하여 평가하였다. 도 7 및 도 8 내지 도 11에서 X축과 Y축의 숫자는 유리 기판의 크기를 나타낸다. 또한, 도 7 및 도 8 내지 도 11에서 도시되는 원들은 유리 기판의 하면에 형성되는 스크래치의 위치 및 크기를 나타낸다.
기존의 이송 모듈을 사용하여 열처리한 경우에는, 도 7을 참조하면, 후면에 전체적으로 스크래치가 발생되는 것을 볼 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예에 따른 이송 모듈을 사용하여 열처리한 경우는, 도 8 내지 도 11을 참조하면, 전체적으로 스크래치가 국부적으로 발생되고 있으며, 스크래치의 개수와 크기로 현저히 감소되는 것을 알 수 있다. 특히, 그라파이트 시트를 포함하는 이송 모듈을 사용하여 열처리한 경우에는, 스크래치가 발생되지 않는 것을 알 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 이송 모듈은 유리 기판의 열처리 과정에서 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 것을 현저히 감소시키거나 발생시키지 않는 것을 알 수 있다.
본 명세서에 개시된 실시예는 여러 가지 실시 가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함 물론, 균등한 다른 실시예의 구현이 가능하다.
100, 200, 300: 유리 기판의 이송 모듈
110, 210, 310: 캐리어
120, 220, 320, 420: 지지 수단

Claims (18)

  1. 판상으로 형성되는 캐리어 및
    상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하며,
    상기 지지 수단은 상기 유리 기판의 열처리 공정 온도 이상의 온도에서 프리-컴팩션된 판상의 유리 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮은 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮은 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 수단은 열처리되는 상기 유리 기판과 동일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  6. 판상으로 형성되는 캐리어 및
    상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하며,
    상기 지지 수단은 그라파이트 시트로 형성되며,
    상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸는 지지바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 그라파이트 시트는 표면에서 내부로 연장되는 홈 또는 홀이 형성되며, 100℃∼120℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 큐어링되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 그라파이트 시트는 압축 롤링되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  9. 삭제
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 지지바는 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 대응되는 형상으로 형성되어 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 전체적으로 접촉되도록 결합되는 지지홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  11. 판상으로 형성되는 캐리어 및
    상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하며,
    상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈을 포함하며,
    상기 지지 수단은 기둥 형상으로 형성되며 상기 수용 홈에 결합되는 지지 몸체를 포함하며,
    상기 지지 몸체의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며,
    상기 지지 수단은 상기 지지 몸체의 상부 외측면에서 수평 방향으로 연장되는 지지 연장부를 포함하며,
    상기 지지 연장부의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 수용 홈은
    상기 격자 형상 배열에서 외측에 위치하는 수용 홈이 상기 캐리어의 외측단으로부터 100mm ∼ 150mm로 이격되도록 형성되며,
    서로 인접한 수용 홈 사이의 이격 거리가 120mm ∼ 350m가 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮은 그라파이트 또는 보론나이트라이드 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  15. 판상으로 형성되는 캐리어 및
    상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하며,
    상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈 및 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며,
    상기 지지 수단은 상기 수용 홈에 삽입되며 상부에 반구 형상의 상부 수용 홈을 구비하는 하부 지지체와, 상기 상부 수용 홈에 수용되어 상기 유리 기판의 하면을 지지하는 메인 볼과, 상기 상부 수용 홈과 상기 메인 볼 사이에 위치하는 구동 볼 및 상기 하부 지지체의 외측을 감싸며 상기 수용 홈에 삽입되는 상부 캡을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 메인 볼은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮은 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 메인 볼은 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 하부 지지체는 인코넬(inconel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz), 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.
KR1020130056135A 2013-05-20 2013-05-20 유리 기판의 이송 모듈 KR101500949B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130056135A KR101500949B1 (ko) 2013-05-20 2013-05-20 유리 기판의 이송 모듈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130056135A KR101500949B1 (ko) 2013-05-20 2013-05-20 유리 기판의 이송 모듈

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140136541A KR20140136541A (ko) 2014-12-01
KR101500949B1 true KR101500949B1 (ko) 2015-03-10

Family

ID=52456726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130056135A KR101500949B1 (ko) 2013-05-20 2013-05-20 유리 기판의 이송 모듈

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101500949B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010062581A (ko) * 1999-12-21 2001-07-07 추후제출 기상 박막 성장 장치에 있어서의 웨이퍼 반송 방법 및 이방법에 사용되는 웨이퍼 지지 부재
KR20080002372A (ko) * 2006-06-30 2008-01-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 서셉터 및 이를 구비한 기판이송장치
KR20100100270A (ko) * 2009-03-06 2010-09-15 주식회사 코미코 지지 유닛 및 이를 포함하는 웨이퍼 이송 장치
KR20120023063A (ko) * 2009-05-06 2012-03-12 코닝 인코포레이티드 유리 기판의 캐리어

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010062581A (ko) * 1999-12-21 2001-07-07 추후제출 기상 박막 성장 장치에 있어서의 웨이퍼 반송 방법 및 이방법에 사용되는 웨이퍼 지지 부재
KR20080002372A (ko) * 2006-06-30 2008-01-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 서셉터 및 이를 구비한 기판이송장치
KR20100100270A (ko) * 2009-03-06 2010-09-15 주식회사 코미코 지지 유닛 및 이를 포함하는 웨이퍼 이송 장치
KR20120023063A (ko) * 2009-05-06 2012-03-12 코닝 인코포레이티드 유리 기판의 캐리어

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140136541A (ko) 2014-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6910299B2 (ja) ガラス基板およびそれを備えたディスプレイ装置
JP4317871B2 (ja) 熱処理装置
US7625205B2 (en) Heat treatment apparatus and method of manufacturing substrates
JP2004088077A (ja) 半導体ウエハ処理用部材
TWI430391B (zh) 低熱質量半導體晶圓支撐
JP4386837B2 (ja) 熱処理装置、半導体装置の製造方法及び基板の製造方法
JP5071217B2 (ja) 縦型熱処理用ボートおよびそれを用いたシリコンウエーハの熱処理方法
US20080041798A1 (en) Wafer Platform
WO2006013808A1 (ja) 熱処理装置及び基板の製造方法
JP5241223B2 (ja) ガラス板の製造方法及び製造設備
KR101500949B1 (ko) 유리 기판의 이송 모듈
JP2008254962A (ja) セッターの平坦化処理方法
KR101479302B1 (ko) 기판 소성 장치
JP2007084379A (ja) 板ガラスの熱処理方法及び熱処理装置並びに熱処理用治具
JP2007073865A (ja) 熱処理装置
JP2003324106A (ja) 熱処理装置、半導体デバイスの製造方法及び基板の製造方法
JP2005203648A (ja) シリコンウエーハの熱処理用縦型ボート及び熱処理方法
KR20160046357A (ko) 유리 면취 방법
KR101769670B1 (ko) 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판
JP2009298697A (ja) ガラス基板熱処理用セッター
WO2016068069A1 (ja) ガラス基板の熱処理方法およびガラス基板の製造方法
JP4370822B2 (ja) 半導体基板の熱処理ボートおよび熱処理方法
JP6598071B2 (ja) ガラス基板の熱処理方法
JP6548993B2 (ja) ガラス基板の熱処理方法およびガラス基板の製造方法
JP2005252042A (ja) 基板保持装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180306

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190305

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200304

Year of fee payment: 6