KR101476387B1 - 소수성 표면 코팅을 갖는 미니어처 마이크로폰 어셈블리 - Google Patents

소수성 표면 코팅을 갖는 미니어처 마이크로폰 어셈블리 Download PDF

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Abstract

미니어처 마이크로폰 어셈블리는 용량성 마이크로폰 변환기(transducer), 마이크로폰 캐리어, 및 집적 회로 다이를 포함한다. 상기 용량성 마이크로폰 변환기는 마이크로폰-전기적 접촉부 또는 단자를 포함한다. 상기 마이크로폰 캐리어는 캐리어 전기적 접촉부 또는 단자를 포함하는데, 이는 상기 마이크로폰 캐리어의 첫 번째 표면에 형성된다. 집적 회로 다이는 다이 전기 단자를 포함하고 이는 집적 회로 다이의 신호 증폭 또는 신호 조절 회로에 동작적으로 결합된다. 상기 마이크로폰 캐리어의 상기 첫 번째 표면은 소수성 층 또는 코팅을 포함한다. 상기 집적 회로 다이 및/또는 상기 용량성 마이크로폰 변환기의 측 표면들은 또한 상기 소수성 층 또는 코팅을 포함할 수 있다.

Description

소수성 표면 코팅을 갖는 미니어처 마이크로폰 어셈블리{MINIATURE MICROPHONE ASSEMBLY WITH HYDROPHOBIC SURFACE COATING}
본 발명은 소수성 표면 코팅을 갖는 마이크로폰 캐리어 및/또는 소수성 표면 코팅을 갖는 집적 회로 다이(die)를 포함하여, 이들 구성요소들 중 하나 또는 모두의 전기적 절연 특성들을 향상시키는 미니어처 마이크로폰 어셈블리에 관한 것이다.
미니어처 마이크로폰 어셈블리들은 일반적으로 적합한 신호 증폭 및 조절(conditioning) 회로를 포함하는 집적된 회로 다이에 전기적으로 결합된 용량성 마이크로폰 변환기(transducer)를 포함한다. 이 신호 증폭 및 조절 회로는, 다른 형태의 신호 조절 또는 발생을 증폭/버퍼링, 필터링 또는 수행하도록 된 저-잡음 전치 증폭기 또는 버퍼, 주파수 선택적 필터들, DC 바이어스 전압 발생기 등을 포함할 수 있다. 집적 회로 다이는 하나 이상의 다이 전기적 단자(들)를 포함할 수 있는데, 예를 들어 신호 입력 신호 단자 또는 DC 바이어스 전압 단자를 포함할 수 있고, 이들은 용량성 마이크로폰 변환기에 전기적으로 결합되어 있다. 이들 다이 전기적 단자(들)의 하나 또는 여러 개에서 매우 높은 입력 임피던스를 제공하는 것이 크게 바람직하고 이득이 되는데, 이는 예를 들어 잡음 특성들을 최적화하거나 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 DC 바이어스 전압의 안정을 보장하기 위한 것이다. 신호 입력 단자에서의 매우 높은 입력 임피던스는 약 1pF의 커패시턴스에 대응되는 발생기 임피던스를 종종 갖는 용량성 마이크로폰 변환기의 부하가 최소화되어 충돌(impinging) 사운드에 대한 응답으로 용량성 마이크로폰 변환기에 의해 생성되는 약하고 깨지기 쉬운 오디오 신호들의 감쇠를 방지하는 것을 보장한다.
따라서, 집적 회로 다이의 이 신호 입력 단자는 용량성 마이크로폰 변환기에 대해 1TΩ(1012Ω)보다 크거나 심지어는 수 TΩ인 것과 같이, 100GΩ보다 큰 입력 임피던스를 나타내도록 설계된다. 이 입력 임피던스는 집적 회로 다이 상의 독립적 바이어스 네트워크에 의해 종종 결정되는데, 신호 입력 단자에 동작적으로 연결된 앞서-언급된 증폭 및 조절 회로와 결합하는 역 바이어스 다이오드 쌍이 그 예가 된다.
그러나, 본 발명의 발명자들에 의해 수행되는 실험적인 작업은, 예컨대 습기에의 노출, 싸이클릭 히트(cyclic heat), 및/또는 오염 물질에의 노출을 포함하는 환경 조건들과 같은 현실적인 동작 조건들 하에서, 다이 전기적 단자(들)에 필요한 매우 높은 입력 임피던스를 유지하는 것이 어려움을 보여준다. 그러한 좋지 않은 조건들 하에서, 집적 회로 다이의 단자들에서의 입력 임피던스는, 캐리어 전기적 접촉부 및 다이 전기적 단자 주위에 있는 또는 인접한 집적 회로 다이 및/또는 마이크로폰 캐리어의 표면들 위의 물기 또는 습기 있는 얇은 전기적 전도 층의 형성 또는 병합(absorption)에 의해 많이 감소할 수 있다. 이 습기 있는 얇은 전기적 전도 층의 형성 또는 병합은 일정하게 높은 습도 또는 응결(condensation)에 의해 유발된 것일 수 있다. 그 효과는 병렬 저항성 경로 또는 전류 누설 경로의 형성인데, 이는 다이 전기적 단자(들) 또는 캐리어 전기적 접촉부와, 캐리어 및/또는 집적 회로 다이의 다른 전기적 단자 사이에서 형성된다. 상기 다른 전기적 단자는 접지 단자 또는 DC 전압 공급 단자일 수 있다. 이는 다이 전기적 단자(들)에서의 입력 임피던스의 해로운 그리고 잠재적으로 매우 큰 감소를 일으킨다. 집적 회로 다이의 신호 입력 단자의 경우, 입력 임피던스는 100GΩ 이상의 바람직한 범위로부터 수 GΩ 미만의 범위로 감소하거나, MΩ 범위로까지 감소할 수도 있다.
본 발명에 따르면, 바람직하지 않은 전류 누설 경로(들)의 형성에 관련된 문제점들은 높은 임피던스를 갖는 하나 이상의 캐리어 전기적 단자들을 지지하거나 고정하는 마이크로폰 캐리어의 표면에 소수성 코팅 또는 소수성 층을 증착시킴에 의해 해결된다. 또한, 소수성 코팅 또는 소수성 층은 높은 임피던스의 전기적 단자들 또는 패드들을 고정하는 집적 회로 다이의 표면(들)에 유리하게 증착될 수 있다. 소수성 코팅들 또는 소수성 층들은 여러 목적들을 위한 것이었는데, 이들 중 일부는 WO2007/112743, US2006/237806, EP1821570, WO2006/096005, 그리고 "Application of adhesives in MEMS and MOEMS assembly: a review"; Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, 2002. POLYTRONIC 2002. 2nd International IEEE Conference on June 23-26,2002,20020623; 20020623-20020626 Piscataway, NJ, USA, IEEE, XP010594226에서 찾아볼 수 있다.
본 발명의 제 1 실시형태에 따르면, 용량성 마이크로폰 변환기, 마이크로폰 캐리어, 및 집적 회로 다이를 포함하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리가 제공된다. 상기 용량성 마이크로폰 변환기는 마이크로폰 전기적 접촉부 또는 단자를 포함한다. 상기 마이크로폰 캐리어는 상기 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면에 형성된 캐리어 전기적 접촉부 또는 단자를 포함한다. 상기 집적 회로 다이는 상기 집적 회로 다이의 신호 증폭 또는 신호 조절 회로에 동작적으로(operatively) 결합된 다이 전기적 단자를 포함한다. 상기 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면은 소수성 코팅 또는 소수성 층을 포함하고/포함하거나, 상기 집적 회로 다이의 표면은 소수성 코팅 또는 소수성 층을 포함한다.
본질적으로, 여러 가지 유형의 변환기가 사용될 수 있다. 바람직하게는, 상 기 용량성 마이크로폰 변환기는 MEMS(micro-electromechanical) 콘덴서 구성요소와 같은 콘덴서 구성요소 또는 일렉트릿(electret) 구성요소를 포함한다.
상기 소수성 층은 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 각 구성요소들의 하나 이상의 표면들에 증착될 수 있거나, 마이크로폰 캐리어와 같은 단일 구성요소에만 증착될 수도 있는데, 이는 적절한 제조 방법 및 단계들의 선택에 따른다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 1000에서 5000에 이르는 어셈블리들과 같은 미니어처 마이크로폰 어셈블리들에 기반한 복수의 MEMS는 지지 테이프에 부착된 실리콘 웨이퍼에서 어셈블될(assembled) 수 있다. 이 실리콘 웨이퍼는 다이싱(diced)되고, 이 다이싱된 웨이퍼는 여전히 MEMS 마이크로폰 어셈블리들을 지지하는데, 이는 증착 챔버로 이동된다. 모든 MEMS 미니어처 마이크로폰 어셈블리들의 노출된 표면들을 세정(rinse)하기 위해 상기 다이싱된 웨이퍼를 플라스마 처리한다. 그 이후에, 모든 MEMS 미니어처 마이크로폰 어셈블리들의 노출된 표면의 일괄(batch) 코팅을 수행하기 위해 기체 상 증착(gas phase deposition)에 의해 상기 다이싱된 웨이퍼에 적합한 소수성 코팅 약품 또는 물질이 도포될 수 있다. 상기 MEMS 미니어처 마이크로폰 어셈블리들의 특정 전기적 단자들 예컨대, 외부적으로 액세스 가능한 SMD 호환성 전기적 단자들 또는 접촉부들에서의 소수성 코팅 물질의 증착을 피하는 것이 바람직할 수 있다. 이 차폐(shielding)는, 상기 외부적으로 액세스 가능한 SMD 전기적 접촉 패드들이 상기 소수성 층의 증착 단계 도중에 위치되는 상기 마이크로폰 캐리어들의 표면 부분들을 차폐시키거나 지지 테이프가 덮도록 함으로써 제공될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 미니어처 MEMS-기반 마이크로폰 어셈블리는 각 마이크로폰 어셈블리의 마이크로폰 캐리어만이 소수성 층으로 코팅되는 형태로 제공된다. 상기 마이크로폰 캐리어는 실리콘 타입 또는 세라믹 타입 기판을 포함할 수 있다. 다이싱되거나 다이싱되지 않은 세라믹-타일(ceramic-tile) 마이크로폰 캐리어, 또는 다이싱되거나 다이싱되지 않은 실리콘 마이크로폰 캐리어는 증착 챔버로 이동된다. 일괄 프로세스의 모든 캐리어들의 노출된 표면을 세정하기 위해, 다이싱되거나 다이싱되지 않은 캐리어 타일 또는 웨이퍼를 플라스마 처리할 수 있다. 그 이후에, 상기 노출된 표면들의 일괄 코팅을 수행하기 위해, 기체 상 증착에 의해 적합한 소수성 코팅 약품 또는 물질이 상기 다이싱되거나 다이싱되지 않은 타일들 또는 웨이퍼들에 도포될 수 있다. 용량성 마이크로폰 변환기와 집적 회로 다이는 바람직하게는 상기 마이크로폰 캐리어의 소수성으로 코팅된 표면에 후속적으로 납땜되는데, 예를 들어 플립-칩(flip-chip) 어셈블리 프로세스 또는 와이어-본딩(wire-bonding) 프로세스에 의해 납땜된다.
용량성 마이크로폰 변환기는 MEMS 콘덴서 구성요소와 같은 콘덴서 구성요소 또는 일렉트릿 구성요소를 포함할 수 있다. 상기 마이크로 변환기의 에어 갭 높이는 바람직하게는 청각 장치 또는 텔레콤 어플리케이션을 위한 전통적인 미니어처 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰(ECM)과 같은 비-MEMS 마이크로폰들에 대한 15-50㎛ 사이의 범위에 있다. 이 ECM들은 일렉트릿 다이크로폰 변환기에 근거하는데 이 변환기는 전기적으로 사전-충전된 층을 포함하고, 이 층은 백-플레이트(back-plate) 구성요소 또는 다이아프램(diaphragm) 구성요소에 증착된 것이다. 마이크로폰 변환기 에 기반한 MEMS의 에어 갭 높이는 바람직하게는 1㎛에서 10㎛ 사이이다. 미니어처 마이크로폰 어셈블리들에 있어서, 상기 용량성 마이크로폰 변환기의 커패시턴스는 바람직하게는 20pF보다 작고, 예컨대 10pF보다 작거나, 5pF보다 작을 수 있으며, 심지어 2pF보다 작기도 하다.
상기 용량성 마이크로폰 변환기는 다이아프램 부재와 그에 인접하게 위치한 백-플레이트 부재를 포함할 수 있는데, 이들은 협소한 에어 갭에 의해 격리되어 있다. 상기 백-플레이트 부재는 바람직하게는 수십만 개의 음향 홀(acoustic hole)과 같이 복수의 음향 홀 또는 개구들을 갖는 매우 천공된(perforated) 구조이다. 상기 다이아프램 부재는 다이아프램 부재 및 백-플레이트 부재 아래의 백 챔버 내에 트랩된 공기를 위한 DC 벤트(bent) 또는 정압 릴리프로서 동작하는 관통하는(through-going) 개구 또는 틈(aperture)을 포함할 수 있다. 상기 관통하는 다이아프램 개구는 예를 들어 용량성 마이크로폰 변환기들에 기반한 미니어처 MEMS에 대해 1㎛에서 4㎛ 사이의 직경과 같은 치수들을 가질 수 있다. 상기 관통하는 다이아프램 개구는 앞서-언급한 용량성 마이크로폰 변환기들에 기반한 일렉트릿을 갖는 미니어처 ECM들에 대해서는 예컨대, 10㎛에서 50㎛ 사이의 직경과 같은 치수들을 가질 수 있다.
다이아프램 부재 내의 관통하는 개구는 소수성 층의 분자들이 다이아프램 개구 및 천공된 백-플레이트 구조를 통해 이동할 수 있게 한다. 이로써, 소수성 층이 마이크로폰 캐리어 표면들에 증착될 수 있는데 이 표면들은 소수성 층이 증착되지 아니할 경우 마이크로폰 어셈블리의 어셈블된 상태에서 용량성 마이크로폰 변환기 밑면에 그 표면들이 배치됨에 의해 액세스되기 어려울 수 있다. 이러한 표면들은 마이크로폰 캐리어 내에 형성된 백 챔버(back chamber)의 코너 구조들과 측벽을 포함할 수 있다. 마이크로폰 캐리어는 1000㎛ 미만의 거리, 예컨대 500㎛ 미만 또는 250㎛ 미만과 같은 거리만큼 격리되어 있는 제 1 캐리어 전기적 접촉부 와 제 2 캐리어 전기적 접촉부를 포함할 수 있다. 상기 제 1 캐리어 전기적 접촉부, 제 2 캐리어 전기적 접촉부는 다이 전기적 단자에 전기적으로 연결된 제 1 접촉부와, 접지 라인 또는 DC 전압 공급 라인에 전기적으로 연결된 제 2 접촉부를 포함한다. 캐리어 전기적 접촉부들 간의 격리는 종종, 본 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 소위 CSP(Chip Scale Package) 실시예들에 필요하다. CSP 패키지에서, 용량성 마이크로폰 변환기와 집적 회로 다이는 인접하게 배치되며, 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면 위에서 "아래로 내려다보는(face-down)" 방향으로 위치하여, 변환기 및 다이의 개별적인 전기적 단자들은 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면을 마주보게 된다. 마이크로폰 캐리어와 집적 회로 다이의 개별적인 전기적 단자들은 제 1 캐리어 전기적 접촉부와 제 2 캐리어 전기적 접촉부에 맞게 정렬되어 있으며, 전기적으로 그리고 기계적으로 이 접촉부들에 연결되어 있다. 용량성 마이크로폰 변환기와 집적 회로 다이의 전기적 단자들은 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면 위에 형성되는 전기적 트레이스(trace)들에 의해 전기적으로 상호접속된다.
마이크로폰 캐리어에서의 이 전기적 상호접속들의 형성은 또한 전통적인 마이크로폰 패키지들에서 이용될 수 있는데, 전통적 마이크로폰 패키지들에서는 용량성 마이크로폰 변환기와 집적 회로 다이가 위로 마주보는 각 개별적 전기적 단자들 또는 패드들과 함께 서로 인접하게 위치된다. 이러한 경우에, 전기적 단자들은 제 1 캐리어 전기적 접촉부와 제 2 캐리어 전기적 접촉부에 와이어-본딩함으로써 연결될 수 있는데, 이 접촉부들은 각각 아래에 있는 마이크로폰 캐리어에 위치한다. 본 발명의 이러한 실시예에서, 마이크로폰 캐리어는 단일 층 또는 다중-층이 인쇄된 회로 기판 또는 세라믹 기판을 포함할 수 있다.
제 1 캐리어 전기적 접촉부와 제 2 캐리어 전기적 접촉부는 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 동작 상태에서 0.5 볼트보다 크거나 1.5 또는 1.8볼트보다도 큰 DC 전압 차이를 가질 수 있다. 제 1 캐리어 전기적 접촉부와 제 2 캐리어 전기적 접촉부 중 하나가 DC 바이어스 전압을 용량성 마이크로폰 변환기에 공급하는데 사용된다면, 이 전기적 접촉부는 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 동작 상태에서 다른 캐리어 전기적 접촉부에 관계되는 5볼트에서 20볼트 사이의 DC 전압을 가질 수 있다.
본 발명의 선호되는 실시예에 따르면, 마이크로폰 캐리어 표면에 위치한 전기적 접촉부들 중 하나는, 용량성 마이크로폰 변환기와 마이크로폰 캐리어 중간에 위치한 전기적으로 전도성인 실링(sealing) 링을 포함한다. 이 실링 링은 음향적으로 마이크로폰 백 챔버를 실링하는데 사용되고, 이 백 챔버는 마이크로폰 캐리어 내에 형성되며 용량성 마이크로폰 변환기의 백 플레이트 부재 아래로 확장된다.
마이크로폰 캐리어는 소수성 층 형성 프로세스들과 호환가능한 다양한 유형의 기판 물질을 포함할 수 있다. 이 기판 물질은 인쇄 회로 기판, LTCC 또는 HTCC와 같은 세라믹, 도핑되거나 도핑되지 않은 실리콘, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물의 그룹으로부터 선택될 수 있다. 바람직하게는, 마이크로폰 캐리어의 표면은 중간정도로 산화된 캐리어 표면 또는 표면들을 제공하기 위해 플라스마 처리된다. 그 이후에, 소수성 층이 산화된 표면의 상부에 증착된다. 대안으로, 소수성 층의 증착 이전의 중간 프로세스 단계로서, 플라스마 처리 이후에 실리콘-산화물과 같은 접착(adhesion) 층이 증착될 수 있다.
소수성 층은 바람직하게는 화학적 본딩에 의해 집적 회로의 다이 표면(들) 및/또는 마이크로폰 캐리어의 표면(들)에 부착된다. 이 화학적 본딩은 온도의 안정성을 보장하고 마이크로폰 캐리어 또는 집적 회로 다이의 표면(들)과 소수성 층 사이의 기계적으로 강한 접착을 보장한다. 소수성 층/코팅은 화학적으로 본딩된 물질과 같은 물질을 유리하게 포함할 수 있는데, 이 물질은 alkylsilane, perfluoralkylsilane, perhaloalkylsilane, perfluorodecyltrichlorosilane(FDTS)의 그룹으로부터 선택된다. 대안으로, 소수성 층은 물리적으로 본딩된 파릴렌(parylene) 또는 실리콘과 같은 소수성 층을 포함할 수 있다.
소수성 층 물질과 그것의 증착 방법이 바람직하게 선택되어 관련 마이크로폰 캐리어 또는 집적 회로 다이 표면 또는 표면들의 컨포멀한 코팅을 생성하여, 각 처리된 표면이 바람직하게는 물에 대해 90°에서 130°사이의 접촉 각(contact angle)을 갖도록 한다. 본 발명의 선호되는 실시예에서, 소수성 층 또는 코팅은 자체-어셈블된 분자 모노 층을 포함한다.
제 1 변환기 전기적 접촉부와 제 2 변환기 전기적 접촉부는 각각 다이아프램 부재와 백-플레이트 부재에 전기적으로 결합될 수 있다. 앞서 언급한 바와 같이, 전기적 접촉부들 중 하나는 환형의(annular) 전기적으로 전도성인 실링 링으로 형성될 수 있는데 이는 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면 위에 위치한 대응되는 외형의 전기적 단자와 쌍을 이룬다.
일 실시예에서, 용량성 마이크로폰 변환기는 다이아프램 부재와 백-플레이트 부재를 포함하고, 이 다이아프램 부재와 백-플레이트 부재에 각각 전기적으로 결합된 제 1 변환기 전기적 단자 및 제 2 변환기 전기적 단자를 포함한다. 이러한 경우에, 백-플레이트 부재는 바람직하게는 다이아프램 부재에 인접하게 위치한 천공된 백-플레이트 부재를 포함하고, 다이아프램 부재는 관통하는 개구를 포함하는데 이 개구는 소수성 층의 분자들이 이 개구와 천공된 백-플레이트 구조를 통해 이동할 수 있게 한다.
다른 실시예에서는, 용량성 마이크로폰 변환기와 집적 회로 다이는 마이크로폰 캐리어에 부착되고 전기적으로 연결되며, 마이크로폰 캐리어 위에 또는 내부에 형성되는 전기적 트레이스에 의해 전기적으로 상호접속된다. 이러한 경우에, 용량성 마이크로폰 변환기는 바람직하게는 마이크로폰 전기적 접촉부를 갖는 마이크로폰 캐리어 위에 위치하는데, 마이크로폰 전기적 접촉부는 제 1 캐리어 전기적 접촉부에 맞게 정렬되고, 선택적으로, 집적 회로 다이는 용량성 마이크로폰 변환기에 인접하게 위치하며 제 2 캐리어 전기적 접촉부에 정렬된 다이 전기적 단자를 갖는다.
또 다른 실시예에서, 마이크로폰 캐리어는 제 1 표면의 반대편에 배치된 실질적으로 평면인 제 2 표면을 포함하는데, 이 제 2 표면은 복수의 마이크로폰 전기적 접촉부들을 포함하며, 이 접촉부들은 외부 회로 기판에 콘덴서 마이크로폰 어셈블리의 표면 실장(mounting)을 가능하게 한다.
본 발명의 선호되는 실시예에 따르면, 미니어처 마이크로폰 어셈블리는 SMD 호환가능한 제조 기술들에 맞는 것이다. 마이크로폰 캐리어는 실질적으로 평면인 제 2 표면을 포함하는데 이는 제 1 표면에 반대되게 배치되어 있으며 이 제 2 표면은 복수의 마이크로폰 전기적 접촉부를 포함하고, 이 접촉부들은 외부 회로 기판에 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 표면 실장 부착을 가능하게 한다. 복수의 마이크로폰 전기적 접촉부들은 납땜 패드들 또는 범프(bump)들로서 형성되고 DC 전압 또는 전력 공급 패드, 디지털 또는 아날로그 출력 신호 패드, 접지 패드, 클럭 신호 입력 패드 등을 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 미니어처 마이크로폰 어셈블리는 마이크로폰 캐리어와 용량성 마이크로폰 변환기 사이의 공간에 증착되는 언더필(underfill) 물질을 포함한다. 이 언더필 물질은 바람직하게는, 마이크로폰과 캐리어 전기적 단자들을 선택적으로는, 집적 회로 다이의 다이 전기적 단자를 둘러싸고 캡슐화하도록 증착된다. 이 언더필 물질의 존재는 마이크로폰 어셈블리의 신뢰성을 더욱 향상시켜서, 충격, 습기, 물기, 오염 물질 또는 사이클릭 히트(cyclic heat)와 같은 불리한 환경에서도 어셈블리는 더욱 잘 버틸 수 있게 하는 역할을 한다.
상기 언더필 물질은 에폭시 베이스 레진 및/또는 시안산염 에스테르(cyanate ester) 레진과 같은 유기 폴리머-베이스 접착성 성분을 갖는 제 1 물질을 포함할 수 있다. 이 언더필 물질은 지르코늄 텅스텐산염(zirconium tungstate)과 같이 음의 열팽창계수(CTE)를 갖는 필러(filler) 물질을 포함하는 제 2 물질을 유리하게 포함할 수 있다. 상기 제 1 물질 및 제 2 물질의 적절한 혼합을 선택함으로써, 본 명세서에 참조로서 그 전체가 통합되어 있는 계류중인 특허 출원 PCT/EP2007/011045에 상세하게 기술된 바와 같이 언더필 혼합물의 CTE를 넓은 범위의 목적 값들로 매치시키는 것이 가능하다.
제 2 실시형태에서, 본 발명은 선행하는 실시예들 중 어느 것에 따른 미니어처 마이크로폰 어셈블리를 포함하는 휴대용 통신 장치에 관련된다. 이 휴대용 통신 장치는 모바일 폰, 헤드-셋, 인-이어 모니터, 보청기 또는 청각 보철물, 게임 콘솔, 휴대용 컴퓨터, 및 그것들의 어느 조합으로 구성되는 그룹으로부터 선택된다.
본 발명의 제 3 실시형태에 따르면, 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 제조방법이 제공된다. 이 제조방법은 다음의 단계를 포함한다: 마이크로폰 캐리어를 제공하는 단계와, 상기 마이크로폰 캐리어는 그것의 제 1 표면에 형성된 캐리어 전기적 단자를 포함하고; 변환기 전기적 단자를 포함하는 용량성 마이크로폰 변환기를 제공하는 단계; 집적 회로 다이를 제공하는 단계와, 상기 집적 회로 다이는 그것의 신호 증폭 또는 신호 조절 회로에 동작적으로 결합된 다이 전기적 단자를 포함하며; 상기 용량성 마이크로폰 변환기와 상기 집적 회로 다이를 상기 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면에 부착하는 단계와; 상기 마이크로폰 캐리어 위에 또는 내부에 형성된 전기적 트레이스를 통해 상기 변환기 전기적 단자와 상기 다이 전기적 단자를 전기적으로 상호접속하는 단계. 이에 뒤이어, 상기 미니어처 마이크로폰 어셈블리는 증기 상 증착 챔버 또는 액체 상 증착 컨테이너 내에 위치되고, 소수성 층 또는 코팅이 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면에 증착된다.
상기 프로세스 동안에, 상기 소수성 층 또는 코팅은 마이크로폰 캐리어 및/또는 용량성 마이크로폰 변환기 및/또는 집적 회로 다이의 추가로 노출된 표면들에 자연스럽게 적용된다. 이 다른 노출된 표면들이 코팅되는 정도는 마이크로폰 어셈블리 패키지의 특성과 앞서 기술된 마이크로 어셈블리의 특정 표면 부분들 위에 미리 위치한 차폐 또는 커버 부재들의 특성에 의존한다.
본 제조 방법론의 선호되는 실시예에 따르면, 용량성 마이크로폰 변환기는 천공된 백-플레이트 부재와 그에 인접하게 위치한 다이아프램 부재를 포함한다. 상기 다이아프램 부재는 관통하는 개구를 포함하는데 이 개구는 소수성 층의 분자들이 상기 개구 및 상기 천공된 백-플레이트 부재를 통해 이동할 수 있게 한다. 이 실시예는 용량성 마이크로폰 변환기의 밑면에 위치한 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면의 부분이 소수성으로 코팅되게 한다는 점에서 특히 유리하다. 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면의 이 부분은 전기적 트레이스(trace) 또는 단자들을 받칠(hold) 수 있는데 이 단자들은 마이크로폰 캐리어의 전압과는 다른 DC 전압을 가져서 캐리어 표면 부분의 전기적 절연이 향상되는 이점을 가질 수 있다.
제조 방법의 선호되는 실시예에 따르면, 소수성 층은 1000에서 5000 개에 이르는 마이크로폰 어셈블리들과 같은 복수의 MEMS 마이크로폰 어셈블리들을 수반하는 배스(bath) 프로세스에 의해 증착된다. 상기 복수의 MEMS 마이크로폰 어셈블리들은 실리콘 웨이퍼에서 어셈블된다. 이 실리콘 웨이퍼는, 또는 어느 다른 적합한 캐리어는 지지 테이프에 부착된다. 실리콘 웨이퍼는 다이싱되고, 여전히 복수의 MEMS 마이크로폰 어셈블리들을 지지하는 다이싱된 웨이퍼는 증착 챔버로 이동된다.
제조 방법은 마이크로폰 캐리어와 용량성 마이크로폰 변환기 사이의 공간 내에 언더필(underfill) 물질을 증착하는 단계를 포함할 수 있고, 선택적으로, 상기 언더필 물질을 용량성 마이크로폰 변환기와 집적 회로 다이의 각 측벽들 사이의 공간에 증착시키는 추가적인 단계를 포함할 수 있다. 상기 언더필 물질 증착 단계는 바람직하게는 소수성 층 또는 코팅의 증착 이전에 수행된다. 이 프로세스 시퀀스는 마이크로폰 어셈블리의 노출된 표면들에 언더필 물질의 접착력을 향상시키는 이점을 갖는 것으로 판명되었다. 이러한 순서의 제조 단계들은 또한 소수성 층이 언더필 물질 내의 의도되지 않은 관통 구멍(perforation)들 또는 보이드(void)들을 커버 할 수 있다.
본 발명에 따른 미니어처 마이크로폰 어셈블리들은 셀룰러 폰(모바일 폰), 보청기, PDA, 게임 콘솔, 휴대용 컴퓨터 등과 같은 휴대용 통신 장치들을 포함하는 다양한 범위의 어플리케이션들에 매우 적합하다.
도 1a와 1b는 선행 기술 MEMS 또는 실리콘-기반 마이크로폰 어셈블리(1)를 포함하는데, 이는 MEMS 용량성 변환기 다이(5) 및 집적 회로 다이(7)를 포함하고, ASIC(Application Specific Integrated Circuit)의 형태에 있으며, 이들 다이는 서로 인접하게 실장(mounting)되어 있고, 이들 모두는 플립-칩 본딩 또는 실장에 의해 마이크로폰 캐리어(3)의 상부 표면에 기계적으로 부착되어 있다. 상기 MEMS 용량성 변환기 다이(5)와 상기 집적 회로 다이(7)는 다이 전기적 접촉부(9)의 개별 세트와 변환기 전기적 접촉부(11)의 개별 세트를 통해 대응되는 정렬된 캐리어 전기적 접촉부들 세트들에 전기적으로 결합되어 있다. 상기 마이크로폰 어셈블리(1)는 이에 따라 소위 CSP 장치로서 형성된다. CSP 패키지 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 외형 치수들은 약 1.6mm * 2.4mm * 0.9mm(W*L*H)이거나 이보다 작다. 이들 작은 치수들의 본질적 결과물은 상기 마이크로폰 캐리어 위에서 근접하게 이격된(spaced) 전기적 패드들 또는 단자들이고, 상기 캐리어는 상기 마이크로폰 어셈블리(1)가 기생 전류 누설 경로들에 영향받기 쉽게 하며, 예컨대 도 1b에 예시된 바와 같이 접지 전기적 단자(11)와 높은 임피던스 신호 입력(또는 출력) 단자(9) 사이에 생성된 누설 경로(15)가 그 예가 된다. 상기 전류 누설 경로는 물기, 습기 또는 어느 다른 오염 약품의 얇은 전기적 전도 층의 형성 또는 병합에 의해 생성될 수 있는데, 이 전기적 전도 층은 상기 예시된 접지 단자(11)와 입력 신호 단자(9) 중간의 상기 마이크로폰 캐리어의 표면에 증착된다. 상기 집적 회로 다이(7)의 관계된 회로의 전기적 특성들과 상기 전류 누설 경로(15)의 저항적 특성들에 의존하여, 상기 MEMS-기반 마이크로폰 어셈블리(1)는 그것의 전기적 사양들에 따라 동작을 중지시키거나, 심지어는 완전히 동작을 멈추게 할 수도 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 도 2에 예시된 MEMS-기반 마이크로폰 어셈블리(1)는, 도 1a와 1b의 MEMS-기반 마이크로폰 어셈블리(1)에 대응되고, 그 대응되는 구성들은 동일한 참조 번호들을 부여받는데, 도 2에는 예시된 소수성 층(10)이 포함된다. 상기 소수성 층(10)(스케일링되지 않음)은 마이크로폰 캐리어(3), 집적 회로 다이(7)의 각 표면들과 측벽들에 증착되고 심지어는 MEMS-기반 용량성 변환기 다이(5) 위에도 증착된다. 상기 소수성 층(10)은 바람직하게는 마이크로폰 캐리어(14)의 적어도 상부 전체 표면을 덮는(전기적 패드들 제외) 컨포멀하며 매우 소수성인 층을 형성하는 알킬실란(alkylsilane)에 기반한 SAM(자체-어셈블된 분자 모노 층)을 포함할 수 있다. 상기 마이크로폰 캐리어 표면의 소수성 특성은 도 2에서 코팅된 캐리어 표면(14) 위에 형성된, 뚜렷이 정의되고 거의 구형인 형태(spherical shape)이거나 작은 물방울들(droplet) 윤곽인 것으로 예시되어 있다. 상기 거의 구형인 형태는 친수성 표면들 위의 물기/습기 방울과 맞닿아 있는데, 이 방울은 퍼져나가서 얇은 연속적인(전기적으로 전도성인) 필름을 형성하는 경향이 있고, 이 필름은 바람직하지 않은 전류 누설 경로를 절연된 전기적 단자들 또는 패드들 중간에 생성한다.
도 3a-3c는 본 발명의 제 2 실시예에 따라 MEMS-기반 미니어처 마이크로폰 어셈블리(1) 또는 MEMS 마이크로폰(1)의 3개의 각 제조 상태들을 예시하고 있다. 이 제조 프로세스는 바람직하게는 일괄 프로세스로서 구현되는데, 1000에서 5000에 이르는 어셈블리들과 같은 복수의 MEMS-기반 미니어처 마이크로폰 어셈블리들이 지지 테이프에 부착된 실리콘 웨이퍼에 제공된다. 상기 제조 프로세스는 마이크로폰 캐리어(3), MEMS-기반 용량성 마이크로폰 변환기 또는 MEMS 변환기(5), 집적 회로 다이(7)의 준비와 함께 시작된다.
상기 MEMS 변환기(5)는 약 5㎛의 높이를 갖는 협소한 에어 갭에 의해 격리되어 있는 치환가능한 다이아프램 부재(20)와 그에 인접하게 위치한 백-플레이트 부재(24)를 포함한다. 상기 백-플레이트 부재(20)는 복수의 음향 홀들을 갖는 매우 천공된(perforated) 부재 또는 구조이다. 상기 다이아프램 부재(20)는 관통하는 부분인 DC 벤트(bent)(21) 또는 정압 릴리프 개구를 포함한다. MEMS 변환기(5)의 백 챔버(22)는 마이크로폰 캐리어(3) 내부로 들어와 있고 다이아프램/백-플레이트 어셈블리 아래에 배치되어 있으며 이들과 정렬되어 있다.
MEMS 변환기(5)와 집적 회로 다이(7)는 플립-칩 호환가능한 전기적 패드들 또는 단자들의 개별적인 세트들을 제공받는다. MEMS 변환기(5)와 집적 회로 다이(7)는 이후에 바람직하게는 납땜 또는 용접에 의해 본딩되어, 보편적인 플립-칩 어셈블리 기술들에 따라 마이크로폰 캐리어(3)의 상위 표면(14)에 배치된 플립-칩 호환가능한 전기적 패드들 또는 단자들에 대응된다. 이 제조 프로세스의 상태에 있어서, 일군의 MEMS 마이크로폰 각각은 도 3a에 예시된 바와 같이 CPS 포맷으로 패키지화된다. MEMS 변환기(5)의 전기적 단자들 중 하나는 MEMS 변환기(5)와 마이크로폰 캐리어(3)의 상위 표면(14) 중간에 놓이는 전기적으로 전도성인 납땜 실링(sealing) 링(11)으로서 형성된다. 이 실링 링(11)은 마이크로폰 백 챔버(22) 주위에 있으며 마이크로폰 팩 챔버를 음향적으로 실링하고 MEMS 변환기(5)와 마이크로폰 캐리어(3) 사이의 기계적/전기적 상호접속을 설립하도록 동작한다.
그 이후에, 에폭시 베이스 레진을 포함하는 언더필 물질(underfill agent)(25)은 마이크로폰 캐리어(3)의 상위 표면(14)과 MEMS 변환기(5)의 하위 표면 사이의 공간에 증착되고, MEMS 변환기(5)와 집적 회로 다이(7)의 마주보는 측벽 부분들 중간에도 증착되며, 마이크로폰 캐리어(3)의 상위표면과 집적 회로 다이(7)의 하위 표면 사이의 공간에도 증착된다. 상기 언더필 물질(25)의 증착은 바람직하게는 언더필 물질의 매우 작은 방울(droplets)을 잘-제어된 방식으로 분배할 능력이 있는 제트 분배 장치에 의해 수행될 수 있다. 언더필 증착이 완료된 후에, MEMS 마이크로폰(1)은 도 3b에 예시된 상태에 도달한다.
이에 후속되어, 일군의 MEMS 마이크로폰들이 가스 또는 증기 상 증착 챔버에 위치되고 소수성 층이 백 챔버(22)의 노출된 벽 부분들을 포함하는 마이크로폰 캐리어(3)의 상위 표면(14)에 증착된다. 실험적인 작업은 일군의 MEMS 마이크로폰들이 2시간에서 24시간 사이와 같은 수~수십 시간의 주기 동안에 소수성 층 물질을 포함하는 실질적으로 포화된 가스를 갖는 가스 증착 챔버에 위치하는 때에 만족할만한 코팅 결과물을 얻을 수 있음을 보여주었다. 이 증착 시간은 소수성 층 물질이 도 3c의 오른쪽 도면인 부분 확대 도면에 의해 예시된 바와 같이 MEMS 변환기(5) 밑면에 위치한 마이크로폰 캐리어 표면들뿐만 아니라 전체 MEMS 마이크로폰(1)의 직접적으로 노출된 모든 표면 부분들을 덮는 SAM 코팅을 형성하게 한다. 이들 표면들은 예시된 제 2 변환기 전기적 단자(12)와 같은 전기적 트레이스(trace) 또는 단자들을 받치고 있을 수 있는데, 상기 단자들은 마이크로폰 캐리어(3)의 벌크 전압과는 다른 DC 전압을 갖거나 인접한 전기적 단자의 전압과는 다른 DC 전압을 가져서, 캐리어 표면의 전기적 절연을 향상시키는 이점을 갖는다.
본 발명의 특정 실시예들 및 응용들이 예시되고 기술되었지만, 본 발명은 본 명세서에 개시된 간결한 구조 및 구성에 국한되는 것이 아니며, 다양한 수정안들, 변경, 및 변형물들이 첨부된 특허청구범위에 정의된 바와 같은 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않은 한도에서 상기의 상세한 설명들로부터 자명할 것임을 이해해야 한다.
이제, 본 발명은 첨부된 도면들을 참조로 하여 더욱 상세하게 설명된 것이다.
도 1a는 선행 기술 MEMS-기반 미니어처 마이크로폰 어셈블리에 대한 단순화된 예시이다.
도 1b는 도 1a의 MEMS-기반 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 지시된 부분에 대한 부분적인, 확대된 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따라 MEMS-기반 미니어처 마이크로폰 어셈블리를 예시하고 있는바, 소수성 표면 코팅이 노출된 표면들 위에 증착된다.
도 3a-c는 본 발명의 제 2 실시형태에 따라 MEMS-기반 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 3 개의 상이한 제조 상태들을 예시하고 있다.
본 발명은 다양하게 수정될 수 있고 여러 대안적인 형태들 또한 가능하며, 특정 실시예들은 도면들에서 단지 예로서 도시된 것이고 상기의 상세한 설명에서 에서 더욱 상세히 기술되었다. 그러나, 본 발명은 개시된 특정 형태들에 국한되지 아니하는 것임을 이해해야 한다. 오히려, 본 발명은 첨부된 특허청구범위에 의해 정의되는 바와 같은 본 발명의 범위와 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서의 모든 수정안들, 균등물들 및 대안들을 포괄하는 것이다.

Claims (22)

  1. 변환기 전기 단자를 포함하는 용량성 마이크로폰 변환기와;
    마이크로폰 캐리어와, 상기 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면에는 캐리어 전기 단자가 형성되어 있으며; 그리고
    집적 회로 다이를 포함하여 구성되며, 상기 집적 회로 다이는 상기 집적 회로 다이의 신호 증폭 또는 신호 조절 회로에 동작적으로(operatively) 결합된 다이 전기 단자를 포함하고,
    상기 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면은 소수성 층(hydrophobic layer) 또는 코팅을 포함하고,
    상기 소수성 코팅은 자체-어셈블된(self-assembled) 분자 모노층을 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 집적 회로 다이는 소수성 코팅을 갖는 다이 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기는 콘덴서 소자 또는 일렉트릿(electret) 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이크로폰 캐리어는 1000㎛ 미만의 거리로 격리되어 있는 제 1 캐리어 전기 접촉부와 제 2 캐리어 전기 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 캐리어 전기 접촉부와 제 2 캐리어 전기 접촉부는 상기 미니어처 마이크로폰 어셈블리의 동작 상태에서 0.5 볼트보다 큰 DC 전압 차를 갖는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 캐리어 전기 접촉부와 제 2 캐리어 전기 접촉부는:
    상기 집적 회로 다이의 상기 다이 전기 단자에 전기적으로 연결된 제 1 단자와;
    접지 라인 또는 DC 전압 공급 라인에 전기적으로 연결된 제 2 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 단자는 상기 용량성 마이크로폰 변환기와 상기 마이크로폰 캐리어 중간에 배치된 전기적으로 전도성인 실링(sealing) 링을 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기의 커패시턴스는 20 pF 미만인 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 소수성 코팅은 상기 마이크로폰 캐리어의 상기 표면 및/또는 상기 집적 회로의 다이 표면에 화학적으로 화합되어(bound) 있는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 소수성 코팅은 물에 대해 90°에서 130°사이의 접촉 각(contact angle)을 갖는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기는 다이아프램(diaphragm) 부재와 백-플레이트(back-plate) 부재, 그리고 상기 다이아프램 부재와 상기 백-플레이트 부재에 각각 전기적으로 결합된 제 1 변환기 전기 단자 및 제 2 변환기 전기 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 백-플레이트 부재는 상기 다이아프램 부재에 인접하게 위치한 천공된(perforated) 백-플레이트 부재를 포함하고, 상기 다이아프램 부재는 관통하는(through-going) 개구를 포함하는데, 상기 개구는 상기 소수성 층의 분자들이 상기 개구와 상기 천공된 백-플레이트 구조를 통해 이동할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기와 상기 집적 회로 다이는 상기 마이크로폰 캐리어에 부착되고, 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 마이크로폰 캐리어 상에 또는 내에 형성되는 전기적 트레이스(trace)들에 의해 전기적으로 상호접속되는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기는 상기 마이크로폰 캐리어 위에 위치하며, 상기 마이크로폰 전기 접촉부는 제 1 캐리어 전기 접촉부와 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이크로폰 캐리어는:
    상기 제 1 표면의 반대편에 배치된 실질적으로 평면인 제 2 표면을 포함하고, 상기 제 2 표면은 외부 회로 기판에 콘덴서 마이크로폰 어셈블리를 표면 실장(mounting)할 수 있게 하는 복수의 마이크로폰 전기 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이크로폰 캐리어와 상기 용량성 마이크로폰 변환기 사이의 공간에 증착(deposition)되는 언더필(underfill) 물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리.
  17. 제 1 항에 따른 미니어처 마이크로폰 어셈블리를 포함하는 휴대용 통신 장치로서,
    상기 휴대용 통신 장치는 모바일 폰, 헤드-셋, 인-이어 모니터(in-ear monitor), 보청기 또는 청각 보철물, 게임 콘솔, 휴대용 컴퓨터, 및 이들의 어느 조합으로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 휴대용 통신 장치.
  18. 미니어처 마이크로폰 어셈블리 제조방법으로서:
    마이크로폰 캐리어를 제공하는 단계와, 상기 마이크로폰 캐리어는 상기 마이크로폰 캐리어의 제 1 표면에 형성된 캐리어 전기 단자를 포함하고;
    변환기 전기 단자를 포함하는 용량성 마이크로폰 변환기를 제공하는 단계와;
    집적 회로 다이를 제공하는 단계와, 상기 집적 회로 다이는 상기 집적 회로 다이의 신호 증폭 또는 신호 조절 회로에 동작적으로 결합된 다이 전기 단자를 포함하며;
    상기 용량성 마이크로폰 변환기와 상기 집적 회로 다이를 상기 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면에 부착하는 단계와;
    상기 마이크로폰 캐리어 상에 또는 내부에 형성된 전기적 트레이스를 통해 상기 변환기 전기 단자와 상기 다이 전기 단자를 전기적으로 상호접속하는 단계와;
    증기 상(vapor phase) 증착 챔버 또는 액체 상 증착 컨테이너 내에 상기 미니어처 마이크로폰 어셈블리를 위치시키는 단계; 및
    상기 마이크로폰 캐리어의 상기 제 1 표면에 소수성 층 또는 코팅을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리 제조방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 마이크로폰 캐리어와 상기 용량성 마이크로폰 변환기 사이의 공간에 언더필 물질을 증착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리 제조방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기와 상기 집적 회로 다이의 각 측벽들 사이의 공간에 상기 언더필 물질을 증착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로폰 어셈블리 제조방법.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 용량성 마이크로폰 변환기는 천공된 백-플레이트 부재와 그에 인접하게 위치한 다이아프램 부재를 포함하며;
    상기 다이아프램 부재는 관통하는 개구를 포함하고, 상기 개구는 상기 소수성 층의 분자들이 상기 개구와 상기 천공된 백-플레이트 부재를 통해 이동할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 미니어처 마이크로 어셈블리 제조방법.
  22. 삭제
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