KR101469997B1 - 다층 기판 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다층 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
실시예에 따른 다층 기판은 글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3. Zn2SiO4, CaAl2Si2O8,CaSiO3, CaTi(SiO4)O, CaB2O4 중 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되는 구속 기판; 및 상기 구속 기판과 함께 적층되고 도전막 및 도전 비아가 형성된 LTCC 기판이 포함된다.
다층 기판

Description

다층 기판 및 그 제조방법{MULTI-LAYER BOARD AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}
본 발명은 다층 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
칩 부품의 소형화 및 경량화에 따라 칩 부품을 실장하는 회로 기판에 대해서도 소형화 및 경량화가 요구되고 있다.
대표적으로, 다층 회로 기판으로 유리-세라믹 다층 회로 기판이 사용되는데, 유리-세라믹 다층 회로 기판은 고밀도 배선 및 박층화가 가능하며 소형화 및 경량화를 도모할 수 있다.
한편, 유리-세라믹 다층 회로 기판은 소결 공정을 통해 형성되는데, 소결 공정에서 기판이 기판의 주면에 평행한 수평 방향으로 수축되어 정확한 치수로 제작될 수 없는 문제점을 갖는다.
실시예는 다층 기판 및 그 제조방법을 제공한다.
실시예는 소결 공정에서 기판의 수평 방향 수축을 감소시킬 수 있는 다층 기판 및 그 제조방법을 제공한다.
실시예에 따른 다층 기판은 글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3. Zn2SiO4, CaAl2Si2O8,CaSiO3, CaTi(SiO4)O, CaB2O4 중 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되는 구속 기판; 및 상기 구속 기판과 함께 적층되고 도전막 및 도전 비아가 형성된 LTCC 기판이 포함된다.
실시예에 따른 다층 기판 제조방법은 글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3. Zn2SiO4, CaAl2Si2O8,CaSiO3, CaTi(SiO4)O, CaB2O4 중 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되는 구속 층이 준비되는 단계; 도전막 및 도전 비아가 형성된 그린 시트가 준비되는 단계; 상기 구속 층과 그린 시트를 적층하고 압착하는 단계; 및 상기 구속 층과 그린 시트를 소성하는 단계가 포함된다.
실시예는 다층 기판 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.
실시예는 소결 공정에서 기판의 수평 방향 수축을 감소시킬 수 있는 다층 기판 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "위/상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "위/상(on)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위/상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
본 발명의 실시예에 따른 다층 기판은 구속 기판과 LTCC 기판을 포함한다. 상기 구속 기판을 형성하기 위한 구속 층과 상기 LTCC 기판을 형성하기 위한 그린 시트는 압착된 상태에서 소성 공정이 진행된다.
상기 구속 층은 상기 그린 시트의 소성 온도보다 낮은 온도에서 소성되고, 상기 구속 층의 소성이 완료된 후 상기 그린 시트의 소성이 이루어진다.
따라서, 상기 구속 층이 소성되는 동안 상기 그린 시트는 상기 구속 층의 수평 방향의 수축을 억제하고, 상기 그린 시트가 소성되는 동안 이미 소성이 완료된 상기 구속 층이 상기 그린 시트의 수평 방향의 수축을 억제한다.
결과적으로, 실시예에 따른 다층 기판은 소성 공정에서 수평 방향의 수축이 감소될 수 있다.
도 1 내지 도 3은 실시예에 따른 다양한 형태의 다층 기판의 단면이 예시되어 있다. 그러나, 도 1 내지 도 3에 도시된 다층 기판의 예가 본 발명을 제한하는 것은 아니다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 다층 기판은 구속 기판(20)과 LTCC 기판(10)이 포함된다.
상기 구속 기판(20)는 상기 LTCC 기판(10)들 사이에 다양한 형태로 배치될 수 있으며, 다층 기판의 단면의 중심(30)을 기준으로 수직 방향이 대칭을 이루도록 상기 구속 기판(20)과 LTCC 기판(10)이 배치된다. 이는 상기 구속 층 및 그린 시트 가 소성 공정에서 수평방향 및 수직 방향으로 불균일하게 수축되는 문제를 해결하기 위한 것이다.
물론, 설계에 따라 상기 구속 기판(20)을 복수개 배치하고, 그 특성을 달리하거나 두께를 달리함으로써, 물리적으로는 단면의 중심(30)을 기준으로 수직 방향이 대칭을 이루지 않으나, 실질적으로 소성 공정에서 균일하게 수축되도록 할 수 있다.
비록 도시되지는 않았지만, 상기 LTCC 기판(10)에는 회로 패턴으로 도전막이 형성될 수 있으며, 상기 LTCC 기판(10)의 상하에 배치된 회로 패턴과 회로 패턴의 전기적인 연결을 위한 도전 비아가 형성될 수 있다.
구속 층의 준비
실시예에 따른 다층 기판에서, 구속 층은 글래스와, 상기 글래스의 결정 형성을 위한 결정 핵이 포함되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 구속 층은 상기 글래스의 특성 개선을 위해 글래스의 기본 조성에 더하여 추가 조성이 포함되어 형성될 수도 있다. 또한, 상기 구속 층은 상기 결정 핵으로부터의 결정 성장을 촉진하기 위한 결정 소스가 포함되어 형성될 수도 있다.
상기 글래스는 기본 조성으로 ZnO 0~80 중량%, B2O3 0~50 중량%, SiO2 0~80 중량%가 포함되고, 상기 글래스의 특성 개질을 위해 추가 조성으로 Al2O3, SnO2, ZrO2, CaO, P2O5, TiO2, MgO, BaO, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 사용될 수 있다.
예를 들어, 추가 조성으로 Al2O3 0~30 중량%, SnO2 0~20 중량%, ZrO2 0~20 중량%, CaO 0~60 중량%, P2O5 0~70 중량%, TiO2 0~70 중량%, MgO 0~40 중량%, BaO 0~30 중량%, Li2O 0~10 중량%, Na2O 0~10 중량%, K2O 0~15 중량%, Cs2O 0~10 중량%가 사용될 수도 있다.
다만, 상분리 및 결정 성장을 위해 상기 추가 조성 중 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되도록 한다.
상기 글래스의 기본 조성으로 ZnO 0~80 중량%, B2O3 0~50 중량%, SiO2 0~80 중량%와 상기 추가 조성을 첨가하여 Pt 합금 고가니를 이용하여 1100~1500℃에서 1~3시간 유지하여 상기 글라스가 완전히 녹으면, 상온으로 급냉하여 볼밀 등과 같은 밀링 장비를 이용하여 0.5~10㎛의 크기의 글래스 파우더를 준비한다. 글래스 파우더의 바람직한 입도는 1~5㎛이나 후 공정에서 다시 분쇄될 수 있으므로 초기 입도는 중요하지 않다.
또한, 상기 글래스 파우더에 글래스의 결정 형성을 위한 결정 핵으로써, BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3. Zn2SiO4, CaAl2Si2O8,CaSiO3, CaTi(SiO4)O, CaB2O4 중 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합 물을 0.3~5㎛ 크기의 파우더로 0.1~50 중량% 첨가할 수 있다.
또한, 상기 글래스 파우더에 글래스의 결정 성장을 촉진하기 위한 결정 소스로써, Ba, Al, P, Zr, Ti, Li, Ca, Zn, B, Na, Cs, Sr 중 어느 하나 또는 둘 이상을 산화물 형태로 0.3~5㎛ 크기의 파우더로 0.1~50 중량% 첨가할 수 있다.
상기 구속 층은 시트 형태로 제조될 수 있으며, 시트 형태의 구속 층의 제조는 슬러리 제조가 선행된다. 상기 글래스 파우더 30~80 중량%를 분산제 0.1~3 중량% 정도 첨가하여, 톨루엔, 이소프로필알콜, 에탄올, MEK(메틸에틸케톤) 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상의 솔벤트 3~50 중량%와 볼 밀링 등의 혼합 및 분쇄 장비를 사용하여 30분~4시간 분산시키고, PVB계 또는 아크릴레이트 및 메타크릴레이트의 바인더 3~20 중량%와 가소제 0.5~3 중량%를 추가하여 1~24시간 혼합 및 분쇄한다. 최종 고형분의 입도는 0.5~8㎛ 정도가 적당하다.
이렇게 제조된 슬러리는 닥터 브레이드를 이용한 테잎 케스팅 방법으로 캐스팅하여 시트(sheet) 형태로 준비된다. 이때 시트의 두께는 10~300㎛ 까지 다양하게 준비 가능하다.
상기 구속 층은 페이스트 형태로 제조될 수 있으며, 페이스트 형태의 구속 층의 제조는 상기 결정 핵 및/또는 결정 소스가 포함될 수도 있는 글래스 파우더 50~80 중량%를 페이스트용 바인더 수지와 혼합한다. 이때 사용하는 바인더는 페이스트용 바인더 수지로서 에폭시수지, 폴리에스터 수지, 알키드 수지 중 어느 하나 또는 둘 이상 사용하며, 상기 에폭시수지의 경화제로는 디시안디아마이드(DicyanDiamide), 이미다졸(Imidasol), 포리아민(Polyamine), 아민(Amine) 중 어 느 하나 또는 둘 이상 사용되며, 폴리에스터 수지와 알키드 수지는 용제형으로서 이때 사용되는 용제로서는 타피놀, 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 초산셀로솔브, 부틸초산셀로솔브, 부틸카비톨, 부틸초산카비톨 중 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물에서 선택된 것을 사용하여 제조한다.
그린 시트의 준비
상기 LTCC 기판을 형성하기 위한 그린 시트는 글래스-세라믹 재질을 사용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 그린 시트는 SiO2-CaO-Al2O3계 글래스, SiO2-MgO-Al2O3계 글래스, SiO2-B2O3-CaO-R2O계 글래스(여기서, R은 Li, Na, K 중 적어도 어느 하나) 중 적어도 어느 하나가 사용되어 형성될 수도 있다. 실시예에서는 SiO2-CaO-Al2O3계 글래스가 사용된 것이 개시되어 있다.
또한, 상기 그린 시트는 필러(Filler)로써, Al2O3, BaTiO3, TiO2, SiO2, ZrO2, ZrSiO4 중 적어도 어느 하나가 50중량% 이하로 포함될 수도 있다.
상기 그린 시트의 제조는 슬러리 제조가 선행된다. 글래스 파우더(예를 들어, SiO2-CaO-Al2O3계 유리 파우더) 30~80 중량%에 분산제 0.1~3 중량% 첨가하여, 톨루엔, 이소프로필알콜, 에탄올, MEK(메틸에틸케톤) 중 적어도 어느 하나를 솔벤트로 하여 3~50 중량%을 혼합한다. 그리고 볼밀과 같은 혼합 및 분쇄 장비를 사용하여 30분~4시간 분산시키고, PVB계, 아크릴레이트, 메타아크릴레이트 중 적어도 어느 하나의 바인더 3~20 중량%와 Phthalate계 가소제 0.5~3%를 추가하여1~24시간 혼합 및 분쇄한다. 최종 고형분의 입도는 0.5~8㎛가 적당하다. 이렇게 제조된 슬러리는 닥터 브레이드를 이용한 테이프 캐스팅 방법으로 캐스팅하여 그린 시트로 준비한다. 그린 시트의 두께는 10~300㎛ 까지 다양하게 선택될 수 있다.
상기 그린 시트에 Ag, Ag-Pd, Pd, Pt, Cu, Ni 중 적어도 어느 하나의 도전체를 이용하여 스크린 인쇄법을 통해 도전막의 형성을 위한 회로 패턴을 형성한다. 또한, 도전 비아 형성을 위해 비아를 형성시키고 상기 도전체를 필링(filling)한다. 본 발명의 실시예에서는 Ag를 사용하여 도전막 및 도전 비아를 형성하였다.
구속 층과 그린 시트의 소성
상기 구속 층과 그린 시트들은 적층된 상태로 배치되어, 50~500kgf/㎠ 으로 압착하여 소성한다. 소성온도는 400~600℃까지 탈지하고, 분당 5~10℃로 승온하여 820~900℃에서 10~60분 유지한 후 상온으로 냉각한다.
도 4는 구속 층과 그린 시트의 소성 공정에서 온도 증가에 따른 수축 정도를 설명하는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 소성 온도가 500℃ 이상으로 증가됨에 따라 상기 구속 층이 우선적으로 수축된다. 대략 소성 온도가 600℃를 넘기 시작하면서 상기 구속 층의 수축이 시작되고, 대략 소성 온도가 700℃가 넘기 전에 상기 구속 층의 수축이 완료된다.
그리고, 상기 구속 층의 수축이 완료된 후, 소성 온도가 대략 750℃를 넘기 시작하면서 상기 그린 시트의 수축이 시작되고 소성 온도가 대략 900℃가 넘기 전에 수축이 완료된다.
실시예
아래 표 1은 구속 층으로 사용될 수 있는 9가지 실시예가 기재되어 있으며, 각각의 실시예에서의 조성들이 중량%로 기재되어 있다.
또한, 각각의 실시예에서 핵 형성 온도(Crystallization Nucleation temp) 및 핵 성장 온도(Crystal growth temp)가 기재되어 있다. 아울러, 각각의 실시예에서 사용될 수 있는 결정 핵이 예시되어 있다.
ZnO P2O5 Al2O3 TiO2 SiO2 ZrO2 B2O3 CaO 핵 성장 온도 결정 성장
온도		 결정 핵
1 54.5 1 4 20 0.5 20 658℃ 721℃ α-ZnOB2O3
2 36 3 21.8 1 8.4 29.8 650℃ 712℃ CaSiO3
3 60 3 2 5 5 25 602℃ 668℃ α-ZnOB2O3
4 62 2 5 6.5 1.5 23 583℃ 652℃ α-ZnOB2O3
5 45 26 2 5 10 2 10 560℃ 593℃ Zn2(PO3)2
6 55 16 2 5 10 2 10 489℃ 605℃ Zn2(PO3)2
7 60 11 2 5 10 2 10 488℃ 542℃ Zn2P2O7
8 50 21 2 5 10 2 10 477℃ 585℃ Zn2(PO3)2
9 52 16 5 24 24 515℃ 594℃ α-ZnOB2O3
표 1의 실시예 3에 기재된 조성, 즉 기본 조성으로 ZnO 60 중량%, B2O3 25 중량%, SiO2 5 중량%을 포함하고 추가 조성으로 P2O5 3 중량%, Al2O3 2 중량%, TiO2 5 중량%를 배합하고, Pt 도가니를 이용하여 1300℃에서 1시간 유지하여 용융시켜, 용융액을 증류수에 부어 급냉시킨 후 150℃에서 수분이 완전히 건조시켜 볼밀(ball mill)을 이용하여 1차 분쇄하고 제트밀(Jet mill)을 이용하여 2차 분쇄하여 전체의 50% 이상의 입도가 2.7㎛인 글래스 파우더를 얻었다.
상기 글래스 파우더 80 중량%와, 결정 핵으로써 입도 3㎛인α-ZnOB2O3 20 중량% 혼합한 후, 볼밀로 분쇄하여, 혼합 파우더를 준비하고, 이를 고형분 함량이 85 중량%되는 시트 형태로 제작하였다.
이와 같이 제작된 시트 형태의 구속 층과 SiO2-CaO-Al2O3계 글래스를 사용한 그린 시트를 도 2에 도시된 바와 같이 배치하였다. 이때, 전체 두께에 대해 구속 층의 두께 비율을 6%로 하였다.
도 2에 도시된 바와 같은 적층 구조에 대해 70℃에서 400kgf/㎠의 압력으로 10분간 압착하였다. 이를 450℃에서 30분 유지하여 탈지하고, 다시 분당 10℃로 승온하여 870℃에서 20분 유지한 후 상온으로 냉각시켜 다층 기판 제조 공정을 완료하였다. 이때의 수축거동은 소성전과 비교하여 0.1%±0.05%의 수축거동을 보여 소성 전후의 차가 크게 없는 것으로 관찰되었다.
한편, 도 5는 결정 핵이 포함된 구속 층(With α-ZnOB2O3로 표시됨)과, 결정 핵이 포함되지 않고 글래스 파우더만 포함된 구속 층(Only Glass로 표시됨)의 소성 공정에서 온도 증가에 따른 수축 정도를 설명하는 도면이다.
결정 핵이 포함되지 않고 글래스 파우더만 포함된 구속 층은 860℃에서 재 수축이 발생하나, 결정 핵이 포함된 구속 층은 900℃까지 수축이 관찰되지 않았다.
따라서, 결정 핵이 포함된 구속 층을 사용함으로써, 그린 시트의 소성 온도가 900℃까지 증가되더라도 구속 층의 기능이 구현될 수 있어 다양한 재질의 그린 시트가 적용될 수 있다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1 내지 도 3은 실시예에 따른 다양한 형태의 다층 기판의 단면이 예시된 도면.
도 4는 구속 층과 그린 시트의 소성 공정에서 온도 증가에 따른 수축 정도를 설명하는 도면.
도 5는 결정 핵이 포함된 구속 층과, 결정 핵이 포함되지 않고 글래스 파우더만 포함된 구속 층의 소성 공정에서 온도 증가에 따른 수축 정도를 설명하는 도면.

Claims (12)

  1. 다층 기판에 있어서,
    글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3. Zn2SiO4, CaAl2Si2O8,CaSiO3, CaTi(SiO4)O, CaB2O4 중 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되는 구속 기판; 및
    상기 구속 기판 상에 배치되고, 상면 및 하면에 각각 도전막이 형성되어 있으며, 상기 상면 및 하면에 각각 형성된 도전막을 전기적으로 연결하는 도전 비아를 포함하는 LTCC 기판이 포함되는 다층 기판.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 구속 기판에는 결정 성장을 촉진하기 위한 결정 소스로 Ba, Al, P, Zr, Ti, Li, Ca, Zn, B, Na, Cs, Sr 중 어느 하나 또는 둘 이상이 산화물 형태로 포함되는 다층 기판.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 LTCC 기판은 SiO2-CaO-Al2O3계 유리, SiO2-MgO-Al2O3계 유리, SiO2-B2O3-CaO-R2O계 유리(여기서, R은 Li, Na, K 중 적어도 어느 하나) 중 적어도 어느 하나가 포함되어 형성된 다층 기판.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 LTCC 기판은 필러로써, Al2O3, BaTiO3, TiO2, SiO2, ZrO2, ZrSiO4 중 적어도 어느 하나가 포함되는 다층 기판.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 다층 기판의 중심을 기준으로 상기 다층 기판의 상부 영역과 상기 다층 기판의 하부 영역이 대칭이 되도록 상기 구속 기판과 LTCC 기판이 배치되는 다층 기판.
  6. 다층 기판의 제조 방법에 있어서,
    글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3. Zn2SiO4, CaAl2Si2O8,CaSiO3, CaTi(SiO4)O, CaB2O4 중 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되는 구속 층이 준비되는 단계;
    상면 및 하면에 각각 형성된 도전막과, 상기 상면 및 하면에 각각 형성된 도전막을 전기적으로 연결하는 도전 비아를 포함하는 그린 시트가 준비되는 단계;
    상기 구속 층 위에 그린 시트를 적층하고 압착하는 단계; 및
    상기 구속 층과 그린 시트를 소성하는 단계가 포함되는 다층 기판 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 구속 층에는 결정 성장을 촉진하기 위한 결정 소스로 Ba, Al, P, Zr, Ti, Li, Ca, Zn, B, Na, Cs, Sr 중 어느 하나 또는 둘 이상이 산화물 형태로 포함되는 다층 기판 제조방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 그린 시트는 SiO2-CaO-Al2O3계 유리, SiO2-MgO-Al2O3계 유리, SiO2-B2O3-CaO-R2O계 유리(여기서, R은 Li, Na, K 중 적어도 어느 하나) 중 적어도 어느 하나가 포함되는 다층 기판 제조방법.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 그린 시트는 필러로써, Al2O3, BaTiO3, TiO2, SiO2, ZrO2, ZrSiO4 중 적어도 어느 하나가 포함되는 다층 기판 제조방법.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 다층 기판의 중심을 기준으로 상기 다층 기판의 상부 영역과 상기 다층 기판의 하부 영역이 대칭이 되도록 상기 구속 층과 그린 시트가 배치되는 다층 기판 제조방법.
  11. 제 6항에 있어서,
    상기 구속 층과 그린 시트를 소성하는 단계에서, 상기 구속 층은 상기 그린 시트가 용융되기 전에 수축이 완료되는 다층 기판 제조방법.
  12. 제 6항에 있어서,
    상기 구속 층과 그린 시트를 소성하는 단계에서, 400~600℃에서 탈지하고 온도를 점진적으로 증가시켜 상기 구속 층이 소결되도록 하고, 온도를 증가시켜 820~990℃에서 상기 그린 시트가 소결되도록 하는 다층 기판 제조방법.
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