KR101446460B1 - A display substrate supporting device - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a display substrate supporting device which comprises: a plate for supporting a substrate; and a plurality of adhesive chucks for providing adhesiveness to attach the substrate. The adhesive chuck includes a base portion secured to the plate; a through-hole provided so that a lift pin which performs a dechucking role by being provided in the base portion can pass through; and adhesive protrusions arranged around the through-hole in multiple columns spaced apart from the center of the through-hole at different distances. Adhesiveness of the adhesive chucks are reduced toward the center from the outside of the plate.

Description

디스플레이 기판 지지장치{A display substrate supporting device}[0001] The present invention relates to a display substrate supporting device,

본 발명은 디스플레이 기판 지지장치에 관한 것으로서, 상세하게는 유리 기판을 평평하게 붙잡아 줄 수 있고, 점착 영역에 따라서 서로 다른 점착력을 제공함으로써, 기판의 점착해제가 보다 원활하게 이루어질 수 있는 디스플레이 기판 지지장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a display substrate supporting apparatus, and more particularly, to a display substrate supporting apparatus capable of holding a glass substrate flat and providing different adhesive forces along an adhesive region, .

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diode)는 유기EL이라고도 불리는데, 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다.In general, OLED (Organic Light Emitting Diode) is also referred to as organic EL, which refers to a self-emitting organic material that emits light by using an electroluminescence phenomenon that emits light when a fluorescent organic compound is energized.

OLED를 활용해 TV나 휴대전화의 디스플레이를 만들거나 조명 기구를 생산할 때 필요한 장비가 OLED 증착 장비이다.OLED deposition equipment is the equipment required to make displays of TVs or mobile phones using OLEDs or to produce lighting fixtures.

OLED 증착 장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는데 사용되는 장비로서, OLED 생산을 위한 핵심장비이다.OLED deposition equipment is a device used to deposit organic materials on a substrate to form a thin film, which is a key equipment for OLED production.

OLED 제조용 증착 장비는 주로 진공 열 증착장비(Thermal evaporation system)가 이용되는데, 일반적으로 증착 챔버의 상부에 기판이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 공간부가 마련되고, 그 하부에 증착 물질을 공급하는 소스(source) 및 소스를 가열하는 가열 장치 등이 구비된다.In general, a substrate is introduced into an upper portion of a deposition chamber to form a deposition space, and a source for supplying an evaporation material is provided at a lower portion of the deposition chamber. And a heating device for heating the source and the like.

이와 같은 진공 열 증착장비는 증착 공간부에 기판이 위치된 상태에서 소스에서 증발된 유기물(무기물도 가능)이 제공되어 기판에 유기물질을 증착할 수 있도록 구성되는 것이다.Such a vacuum thermal vapor deposition apparatus is configured to deposit an organic material evaporated from a source (possibly an inorganic material) in a state that a substrate is positioned in a deposition space portion, thereby depositing an organic material on the substrate.

특히 기판은 마스크와 합착된 상태에서 증착이 이루어지는데, 증착 챔버 내에 마스크가 세팅되어 있는 조건에서 기판만 투입하는 방식, 증착 챔버 외부에서 기판과 마스크를 합착하여 증착 챔버 내에 투입하는 방식 등이 있다.Particularly, the substrate is deposited in the state of being attached to the mask. In this case, only the substrate is loaded under the condition that the mask is set in the deposition chamber, and a method of putting the substrate and the mask together in the deposition chamber outside the deposition chamber.

어느 경우든 기판은 이를 지지하는 모듈에 세팅된 상태에서 증착 챔버 내에 투입되는 것이 일반적이다.In either case, the substrate is generally placed in a deposition chamber with the module being set in a support.

기판을 모듈에 세팅하는 방식은 여러 가지 방식이 있는데, 그 중 하나가 점착 플레이트를 이용한 방식으로, 점착 플레이트에 기판을 고정한 상태로 증착 챔버 내에 투입하고, 증착 챔버 내의 고진공 환경에서 기판에 유기물질을 증착하게 된다.One of the methods of setting the substrate on the module is to introduce the organic substance into the deposition chamber in a high vacuum environment in the deposition chamber in such a manner that the substrate is fixed to the adhesion plate in the method using the adhesion plate, Respectively.

이러한 점착 플레이트를 이용하여 기판을 고정하고 지지하는 방식에서는, 기판이 대형화됨에 따라 보다 안정적으로 기판을 지지할 필요성이 요구되고 있다.In a method of fixing and supporting a substrate using such an adhesive plate, there is a need to more stably support the substrate as the substrate becomes larger.

점착 플레이트를 이용해서 기판을 지지하는 장치는 한국공개특허 10-2012-0106091에 개시되고 있다. An apparatus for supporting a substrate using an adhesive plate is disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2012-0106091.

OLED 제조용 증착 챔버는 고진공 상태 및 고온 환경에서 증착이 이루어지는바, 점착 플레이트에 구비된 모든 점착 부재(또는 점착척)가 동일한 점착력을 갖도록 구성되기 때문에 점착력이 전체적으로 너무 크거나 약할 경우에 기판이 점착 플레이트로부터 쉽게 분리되지 않거나, 반대로 기판이 점착 플레이트에서 떨어지면서 기판이 파손될 수 있는 문제점이 있다.Since the evaporation chamber for OLED manufacturing is formed in a high vacuum and high temperature environment, since all the adhesive members (or the adhesive chucks) provided on the adhesive plate are configured to have the same adhesive force, when the adhesive force is excessively large or weak as a whole, There is a problem that the substrate may be broken as the substrate is detached from the adhesive plate.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판에 대한 핸들링이 정밀하게 이루어질 수 있고, 전체적으로 기판에 대한 점착해제가 용이하게 이루어질 수 있는 디스플레이 기판 지지장치를 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a display substrate supporting apparatus capable of precisely handling a substrate and easily releasing adherence to the substrate as a whole.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판을 지지하는 플레이트와; 상기 플레이트 상에 구비되어 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며, 상기 점착척은; 상기 플레이트 상에 고정되는 베이스부와; 상기 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과; 상기 관통홀 주위에 배치되되, 상기 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하되, 상기 플레이트의 외곽에서 중심으로 갈수록 점착척의 점착력이 감소하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 기판 지지장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a plasma display panel comprising: a plate for supporting a substrate; And a plurality of adhesive chucks provided on the plate to provide adhesive force so that the substrate can be adhered thereto, wherein the adhesive chuck comprises: A base portion fixed on the plate; A through hole provided in the base for allowing a lift pin to perform a dechucking function; And a plurality of rows of adhesive ribs arranged around the through holes so as to be spaced apart from each other by a distance different from the center of the through holes. The substrate supporting apparatus for a display.

상기 점착돌기는 상기 관통홀의 중심으로부터 제1거리만큼 이격되어 있는 제1열의 점착돌기와, 상기 제1거리보다 상대적으로 먼 제2거리만큼 이격되어 있으며 상기 제1열의 점착돌기의 수량보다 많은 제2열의 점착돌기를 포함하며, 상기 플레이트의 외곽에서 중심으로 갈수록 상기 점착척에 마련되는 상기 점착돌기의 수량이 줄어드는 것을 특징으로 한다. Wherein the adhesive projection has a first row of adhesive projections spaced a first distance from the center of the through hole and a second row of adhesive rows spaced apart by a second distance relatively farther than the first distance and greater than the quantity of adhesive projections of the first row And the number of the adhesive protrusions provided on the adhesive chuck decreases from the outer periphery of the plate toward the center.

상기 플레이트 상에서 상기 점착척은 그 외곽에서 중심방향으로 복수의 사각형 모양을 형성하는 제1영역 내지 제4영역에 배치되되, 상기 플레이트의 최외곽에 형성되는 상기 제1영역에 배치되는 상기 점착척의 상기 점착돌기의 수량이 가장 많게 형성되고, 제2영역에 배치되는 점착척 및 제3영역에 배치되는 점착척 중, 각 모서리에 배치되는 점착척의 점착돌기의 수량은 같은 영역 내에 있는 다른 점착척의 점착돌기의 수량보다 많은 것을 특징으로 한다. Wherein the adhesive chuck on the plate is disposed in a first region to a fourth region that form a plurality of square shapes in a center direction at an outer periphery of the plate, The quantity of the adhesive protrusions is the largest and the quantity of the adhesive protrusions of the adhesive chuck disposed at each corner among the adhesive chucks disposed in the second area and the third area is the same as the quantity of the adhesive protrusions By weight.

상기 플레이트 상의 중심 부분인 상기 제4영역에 배치되는 점착척의 점착돌기는 상기 제1열에만 배치되는 것을 특징으로 한다. And the adhesive protrusions of the adhesive chuck disposed in the fourth region which is the central portion of the plate are disposed only in the first row.

또한, 본 발명은 기판을 지지하는 플레이트와; 상기 플레이트 상에 구비되어 상기 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며, 상기 점착척은; 상기 플레이트 상에 고정되는 베이스부와; 상기 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과; 상기 관통홀 주위에 배치되되, 상기 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하되, 상기 플레이트의 외곽에서 중심으로 갈수록 점착척의 점착력이 감소하도록 마련되고, 상기 점착돌기는 상기 관통홀의 중심으로부터 제1거리만큼 이격되어 있는 제1열의 점착돌기와, 상기 제1거리보다 상대적으로 먼 제2거리만큼 이격되어 있는 제2열의 점착돌기들을 포함하며, 상기 플레이트의 외곽에서 중심으로 갈수록 상기 점착척에 마련되는 상기 점착돌기의 수량이 줄어들며, 상기 플레이트 상에서 상기 점착척은 그 외곽에서 중심방향으로 복수의 사각형 모양을 형성하는 제1영역 내지 제4영역에 배치되되, 상기 플레이트의 최외곽에 형성되는 제1영역에 배치되는 점착척의 점착돌기의 수량이 가장 많게 형성되고, 제2영역에 배치되는 점착척 및 제3영역에 배치되는 점착척 중, 각 모서리에 배치되는 점착척의 점착돌기의 수량은 같은 영역 내에 있는 다른 점착척의 점착돌기의 수량보다 많은 것을 특징으로 하는 디스플레이용 기판 지지장치를 제공한다.The present invention also provides a plasma processing apparatus comprising: a plate for supporting a substrate; And a plurality of adhesive chucks provided on the plate to provide adhesive force so that the substrate can be adhered thereto; A base portion fixed on the plate; A through hole provided in the base for allowing a lift pin to perform a dechucking function; And a plurality of rows of adhesive protrusions arranged around the through holes and spaced apart from each other by a distance from the center of the through holes so that the adhesive force of the adhesive chuck decreases toward the center toward the center of the plate, Wherein the projection includes a first row of adhesive projections spaced a first distance from a center of the through hole and a second row of adhesive projections spaced a second distance relatively farther than the first distance, The number of the adhesive protrusions provided on the adhesive chuck is reduced, and the adhesive chuck on the plate is disposed in a first region to a fourth region that form a plurality of square shapes in the center of the outer periphery thereof, The number of the adhesive protrusions of the pressure-sensitive adhesive chuck disposed in the first area formed at the outermost area is the largest And the number of the adhesive protrusions of the adhesive chuck disposed at the corners of the adhesive chuck disposed in the second area and the adhesive chuck disposed in the third area is greater than the quantity of the adhesive protrusions of the other adhesive chucks in the same area The substrate supporting apparatus for a display.

이러한 본 발명에 의하면, 개별적인 점착척에 마련되는 점착돌기들이 모두 관통홀의 중심으로부터 동일한 거리만큼 이격되는 것이 아니라, 서로 다른 거리만큼 이격되므로 기판에 대한 디척킹이 일어나는 경우, 관통홀에서 가까운 점착돌기부터 떨어지게 된다.According to the present invention, not only the adhesive protrusions provided on the individual adhesive chucks are spaced by the same distance from the center of the through holes but are spaced apart from each other by a distance different from each other, Fall off.

특히, 관통홀에서 가까운 점착돌기의 수량보다 관통홀에서 먼 점착돌기의 수량이 많기 때문에, 디척킹시 관통홀에서 가까움 점착돌기에서 먼저 떨어질 수 있어서, 기판의 효과적인 디척킹을 수행할 수 있다.In particular, since the number of the adhesive protrusions farther from the through holes than the number of the adhesive protrusions close to the through holes is large, the adhesive can be detached from the adhesive protrusions close to the through holes at the time of dechucking, and effective dechucking of the substrate can be performed.

또한, 본 발명의 지지장치를 구성하는 플레이트 상에 복수의 영역에 따라서 점착척이 배열되며, 그 점착력은 외곽에서 중심으로 갈수록 약해진다.In addition, an adhesive chuck is arranged along a plurality of regions on a plate constituting the support device of the present invention, and the adhesive force becomes weaker toward the center from the outer periphery.

따라서, 기판에 대한 디척킹시 기판의 중심부터 떨어지기 시작하므로, 보다 정밀한 기판 제어가 가능해진다. Therefore, when dechucking with respect to the substrate starts to fall from the center of the substrate, more precise substrate control becomes possible.

도1은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치가 구비된 기판 제조용 장비의 개략도이다.
도2는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 평면도이다.
도3은 본 발명에 의한 점착척의 평면도 및 측단면도이다.
도4는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제1영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도5는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제2영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도6는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제3영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도7은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제4영역에 마련된 점착척의 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a substrate having a substrate supporting apparatus for a display according to the present invention.
2 is a plan view of a substrate supporting apparatus for a display according to the present invention.
3 is a plan view and a side sectional view of the pressure-sensitive adhesive chuck according to the present invention.
4 is a plan view of an adhesive chuck provided in a first region of a substrate support for a display according to the present invention.
5 is a plan view of an adhesive chuck provided in a second region of a substrate support for a display according to the present invention.
6 is a plan view of a pressure-sensitive adhesive chuck provided in a third region of a substrate support for a display according to the present invention.
7 is a plan view of an adhesive chuck provided in a fourth region of a substrate support for a display according to the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and the manner of achieving them, will be apparent from and elucidated with reference to the embodiments described hereinafter in conjunction with the accompanying drawings. However, it is to be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. It is intended that the disclosure of the present invention be limited only by the terms of the appended claims.

또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 이외의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.Also, terms used herein are for the purpose of illustrating embodiments and are not intended to limit the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. &Quot; comprises "and / or" comprising "used in the specification do not exclude the presence or addition of components other than the components mentioned. Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치가 구비된 기판 제조용 장비의 개략도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a substrate having a substrate supporting apparatus for a display according to the present invention.

도1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치는 기판(S)이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 챔버(20)가 구비된다.As shown in FIG. 1, the substrate supporting apparatus for a display according to the present invention includes a deposition chamber 20 in which a substrate S is introduced and deposited.

여기서 디스플레이용 기판은 OLED용 유리기판이 대표적이나, 이에만 한정되지 않는다. Here, the display substrate is typically a glass substrate for OLED, but is not limited thereto.

증착 챔버(20)의 내부에는 상측 공간에 기판(S)이 위치되고, 하측 공간에 유기물 또는 무기물로 이루어진 증착 물질을 공급하는 증착물질 공급장치(30)가 위치되게 구성되는 것이 바람직하다. It is preferable that the substrate S is positioned in the upper space and the deposition material supplying device 30 that supplies the deposition material made of the organic material or the inorganic material to the lower space is disposed in the deposition chamber 20.

하지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 하측 공간에 기판(S)이 위치되고 상측 공간에 증착물질 공급장치(30)가 위치되게 구성되거나, 기판(S)이 수직 또는 경사 방향으로 배치된 상태에서 기판(S)의 앞쪽에 증착물질 공급장치(30)가 위치되게 구성되는 것도 가능하다.The substrate S may be positioned in the lower space and the deposition material supply device 30 may be positioned in the upper space or the substrate S may be arranged in the vertical or oblique direction, The deposition material supply device 30 may be disposed in front of the deposition material supply device 30.

또한, 증착 챔버(20)는 내부에 유기물이 기판(S)에 증착되는 두께의 정도를 측정할 수 있는 두께 측정 센서(40)를 포함할 수 있고, 상부 양쪽에 게이트 밸브(50)를 포함할 수 있다.The deposition chamber 20 may also include a thickness measurement sensor 40 capable of measuring the degree of thickness of the organic material deposited on the substrate S and may include a gate valve 50 .

이러한 기판(S) 및 증착물질 공급장치(30)의 배치 구성은 실시 조건에 따라 공지의 구조를 이용하여 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.The arrangement of the substrate S and the deposition material supply device 30 can be variously modified by using a known structure in accordance with the conditions of operation.

기판(S)은 디스플레이용 기판 지지장치(10)에 일체로 세팅된 상태로 증착 챔버(20) 내에 투입되는 것이 바람직하고, 이때 기판(S)은 마스크와 합착된 상태로 투입되거나 또는 증착 챔버(20) 내에서 마스크와 합착이 이루어진다. 본 실시예의 도면에서는 마스크는 생략하고 도시하였다.The substrate S is preferably introduced into the deposition chamber 20 while being integrally set in the substrate support apparatus 10 for display, wherein the substrate S is put in a state adhered to the mask, 20). In the drawings of this embodiment, the mask is omitted.

또한, 디스플레이용 기판 지지장치(10)는 증착 챔버(20) 내에서 이송 구조물 또는 지지 구조물에 지지된 상태로 위치되는 것이 바람직하다.Further, the substrate supporting apparatus 10 for display is preferably positioned in the deposition chamber 20 in a state of being supported by the transfer structure or the support structure.

도2는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 평면도이다.2 is a plan view of a substrate supporting apparatus for a display according to the present invention.

도2에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치(10)는 소정의 면적을 갖는 플레이트(11)와, 플레이트 상에 상호 이격되게 배열되는 복수의 점착척(100)을 구비한다.2, the display substrate support apparatus 10 according to the present invention includes a plate 11 having a predetermined area and a plurality of adhesive chucks 100 arranged on the plate so as to be spaced apart from each other .

복수의 점착척(100)은 행과 열을 맞추어 플레이트(11) 상에 배열된다.A plurality of adhesive chucks (100) are arranged on the plate (11) by aligning rows and columns.

한편, 점착된 기판이 보다 효과적으로 디척킹(dechucking) 되도록 점착척(100)의 점착력은 플레이트(11)의 외곽에서 중심으로 갈수록 작아지는 할 수 있다.On the other hand, the adhesive force of the adhesive chuck 100 can be made smaller toward the center of the outer periphery of the plate 11 so that the adhered substrate is more effectively dechucked.

이는 특정 디스플레이용 기판 지지장치(10)에 포함되는 점착척(100)이 구비하는 점착돌기의 수량(개수)를 중심부에 배치되는 점착척(100)에는 적게 포함되고, 중심부에서 바깥쪽에 배치되는 점착척(100)에는 더 많이 포함되게 하여, 디스플레이용 기판 지지장치(10)에 사용되는 점착돌기의 숫자를 줄이고, 기판의 디척킹도 쉽게 할 수 있는 효과가 있다. This is because the number (number) of the adhesive protrusions provided in the adhesive chuck 100 included in the specific display-use substrate supporting apparatus 10 is less included in the adhesive chuck 100 disposed at the center, The number of the adhesive protrusions used in the display substrate supporting apparatus 10 can be reduced and dechucking of the substrate can be easily performed.

이를 위한 점착척(100)의 배열상태에 대한 상세한 설명은 후술한다.A detailed description of the arrangement state of the adhesive chucks 100 for this purpose will be described later.

도3은 본 발명에 의한 점착척의 평면도 및 측단면도이다.3 is a plan view and a side sectional view of the pressure-sensitive adhesive chuck according to the present invention.

도3에서 도시한 바와 같이, 각각의 점착척(100)은 아래와 같은 구성을 갖는다.As shown in Fig. 3, each of the adhesive chucks 100 has the following configuration.

점착척(100)은 플레이트(11)에 배치되는 베이스부(110)와, 베이스 부(110) 상에 마련되어 디척킹을 수행하는 리프트 핀(미도시)이 관통하는 관통홀(120)과, 베이스부(110)를 플레이트(11)에 고정시키는 고정나사(130)와, 관통홀(120) 및 고정나사(130)가 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역에 배열되는 점착돌기(140)를 포함한다.The adhesive chuck 100 comprises a base portion 110 disposed on the plate 11, a through hole 120 provided on the base portion 110 and through which a lift pin (not shown) for performing dechucking passes, A fixing screw 130 for fixing the part 110 to the plate 11 and an adhesive protrusion 140 arranged in a region other than the area where the through hole 120 and the fixing screw 130 are disposed.

베이스부(110)는 그 표면을 아노다이징(anodizing)하여 구성할 수 있다.The base 110 may be formed by anodizing its surface.

한편, 점착돌기(140)는 점착력 제공을 위하여, 실리콘 러버(silicon rubber) 또는 점착력을 갖는 아크릴(acrylic) 소재 등 공지의 점착력을 갖는 모든 소재를 이용하여 구성할 수 있다. Meanwhile, the adhesive protrusion 140 may be formed of any material having a known adhesive force, such as silicon rubber or acrylic material having adhesive strength, in order to provide an adhesive force.

관통홀(120)은 십자 형태로 마련되는 것을 도시하였으나, 이에만 한정되는 것은 아니며 원형 형태로 될 수도 있다.Although the through hole 120 is illustrated as being formed in a cross shape, it is not limited thereto but may be a circular shape.

고정나사(130)는 베이스부 상에 상호 이격되어 복수개로 마련되는 것이 바람직하며, 그 높이는 점착돌기(140)보다 낮게 배치된다.It is preferable that the fixing screws 130 are spaced apart from each other on the base portion, and the height of the fixing screws 130 is lower than that of the adhesive protrusions 140.

점착돌기(140)는 복수 개로 마련된다. 특히, 베이스부(110) 표면을 제1사분면 내지 제4사분면으로 구분하는 경우, 각 사분면에는 하나 또는 그 이상의 점착돌기들이 상호 이격되게 마련된다.A plurality of the adhesive protrusions 140 are provided. Particularly, when the surface of the base 110 is divided into the first to fourth quadrants, one or more adhesive protrusions are spaced apart from each other in each quadrant.

도3(a)에서는 각 사분면의 점착돌기(140)들이 관통홀(120)의 중심으로부터 서로 다른 거리를 갖도록 배열되는 것을 도시하였다.3 (a), the adhesive protrusions 140 of the respective quadrants are arranged to have different distances from the center of the through hole 120.

즉, 상기 관통홀(120)에 가장 인접한 제1거리인 제1열에 점착돌기(141)가 마련되고, 그보다 먼거리인 제2거리의 제2열에 점착돌기(142)가 또 마련된다. 이때, 제1열의 점착돌기(141)와 제2열의 점착돌기(142) 각각의 점착력은 동일하다.In other words, the adhesive protrusion 141 is provided in the first row which is the first distance closest to the through-hole 120, and the adhesive protrusion 142 is further provided in the second row of the second distance which is longer. At this time, the adhesive force of the adhesive projections 141 of the first row and the adhesive projections 142 of the second row are the same.

그리고, 제1열에 마련되는 점착돌기(141)의 수량보다 제2열에 마련되는 점착돌기(142)의 수량이 더 많을 수 있다.The number of the adhesive protrusions 142 provided in the second row may be larger than the quantity of the adhesive protrusions 141 provided in the first row.

이는 먼 거리에 있는 점착돌기의 점착력을 높이게 함으로써, 디척킹시 제1열의 점착돌기(141)로부터 먼저 기판이 떨어지고, 순차적으로 제2열의 점착돌기(142)로부터 기판이 떨어지게 하기 위함이다. This is to increase the adhesive force of the adhesive protrusion at a long distance so that the substrate is first dropped from the adhesive protrusions 141 of the first row during dechucking and the substrate is sequentially separated from the adhesive protrusions 142 of the second row.

따라서, 관통홀(120)이 십자로 배치되거나, 원형으로 배치되고 리프트핀이 구동하여 디척킹하는 경우, 각 사분면에 마련되는 제1열의 점착돌기(141)들에 균등한 해제력을 제공하기 때문에 각 제1열의 점착돌기(141)로부터 기판이 떨어지고, 그 후, 제2열의 점착돌기(142)로부터 기판이 떨어질 수 있다.Accordingly, when the through holes 120 are arranged in a cruciform arrangement, a circle, and a lift pin is driven and dechucked, since it provides an equal release force to the first row of adhesive projections 141 provided in each quadrant, The substrate may be dropped from the first row of adhesive projections 141 and then dropped from the second row of adhesive projections 142. [

즉, 하나의 점착척의 점착돌기로부터 기판이 동시에 떨어지는 것이 아니라, 순차적으로 떨어지도록 함으로써, 기판의 디척킹이 보다 정밀하게 이루어질 수 있다.That is, the substrates are not simultaneously dropped from the adhesive projections of one adhesive chuck, but sequentially fall off, so that dechucking of the substrate can be performed more precisely.

이때, 리프트 핀의 실시예로, 리프트 핀이 기판을 디척팅하기 위해서 기판에 접촉하는 단부는 중심이 볼록하게 형성됨으로써 기판에 닿는 부분에 하중이 집중될 수 있게 하여 위와 같이 순차적인 디척킹이 일어나게 하는 것도 가능하다.At this time, in the embodiment of the lift pin, the end portion of the lift pin contacting the substrate for de-energizing the substrate is formed with a convex center, so that the load can be concentrated on the portion contacting the substrate, It is also possible to do.

도4 내지 도7은 도2에서 나타난 플레이트(11)의 각 영역에 따른 점착척의 배치 상태를 도시한 것이다.Figs. 4 to 7 show the arrangement of the adhesive chucks along the respective regions of the plate 11 shown in Fig.

여기서 점착척은 플레이트의 복수 영역에 따라서 배열되며, 그 외곽에서 중심으로 갈수록 점착력이 감소하도록 한다.Here, the adhesive chuck is arranged along a plurality of regions of the plate, and the adhesive force is decreased from the outer periphery to the center.

본 발명에서는 설명의 편의상 도4와 같은 플레이트(11)에서 최외곽 영역을 제1영역(11-1), 도5와 같이 제1영역(11-1) 내부의 영역을 제2영역(11-2), 도6과 같이 제2영역(11-2) 내부의 영역을 제3영역(11-3), 도7과 같이 제3영역(11-3)의 내부의 영역을 제4영역(11-4)이라고 하여 설명한다. 본 발명은 적어도 2개 이상의 영역을 포함하는 플레이트(11)에 적용 가능하다.In the present invention, the outermost region of the plate 11 as shown in FIG. 4 is referred to as a first region 11-1 and the region inside the first region 11-1 as shown in FIG. 5 is referred to as a second region 11- 6, the region inside the second region 11-2 is referred to as a third region 11-3, and the region inside the third region 11-3 as shown in FIG. 7 is referred to as a fourth region 11 -4). The present invention is applicable to the plate 11 including at least two regions.

도4는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제1영역에 마련된 점착척의 평면도이다.4 is a plan view of an adhesive chuck provided in a first region of a substrate support for a display according to the present invention.

도4에서 도시한 바와 같이, 제1영역(11-1)은 큰 사각형 모양을 형성한다.As shown in Fig. 4, the first region 11-1 forms a large rectangular shape.

제1영역(11-1)에 배치되는 점착척(100a)의 점착돌기의 배치상태는 도3과 같다. 즉, 베이스부(110)의 모든 사분면에 제1열의 점착돌기(141)와 제2열의 점착돌기(142)가 마련되고, 제1열의 점착돌기(141)의 수량보다 제2열의 점착돌기(142)의 수량이 많다.The arrangement state of the adhesive protrusions of the adhesive chuck 100a disposed in the first region 11-1 is the same as that in Fig. That is, the first row of adhesive projections 141 and the second row adhesive projections 142 are provided in all the quadrants of the base 110, and the number of the adhesive projections 142 of the second row ).

도5는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제2영역에 마련된 점착척의 평면도이다.5 is a plan view of an adhesive chuck provided in a second region of a substrate support for a display according to the present invention.

도5에서 도시한 바와 같이, 제2영역(11-2)은 제1영역(11-1)이 형성하는 사각형보다 작은 사각형을 형성한다. As shown in Fig. 5, the second region 11-2 forms a quadrangle smaller than the quadrangle formed by the first region 11-1.

제2영역(11-2)에 마련되는 점착척(100b)의 각 사분면 중 플레이트(11)의 중심방향과 인접한 사분면에는 점착돌기가 배치되지 않는다. In the quadrants of the adhesive chuck 100b provided in the second region 11-2, the adhesive protrusions are not disposed in the quadrants adjacent to the center of the plate 11.

특히, 제2영역(11-2) 중 모서리 부분에 마련되는 점착척(100b)은 그 외의 점착척에 비해서 점착돌기가 많이 형성되는데, 모서리 부분에서의 점착력을 높이기 위해서이다.In particular, the adhesive chuck 100b provided at the corner of the second area 11-2 has a larger number of adhesive protrusions than the other adhesive chucks, in order to increase the adhesive force at the corner.

따라서, 모서리 부분에 마련되는 점착척에는 4개의 사분면 중 3개의 사분면에 점착돌기가 형성된다. 그 외의 점착척에는 4개의 사분면 중 2개의 사분면에만 점착돌기가 형성된다.Therefore, in the adhesive chuck provided at the corner portion, the adhesive protrusions are formed in three quadrants of the four quadrants. In the other adhesive chucks, adhesive projections are formed on only two quadrants of the four quadrants.

점착돌기가 형성되는 사분면상에는 여전히 제1열의 점착돌기(도3참조, 141)와, 제2열의 점착돌기(도3참조, 142)가 있고, 제2열의 점착돌기(142)의 수량이 제1열의 점착돌기의 수량보다 많다.(See Fig. 3, 141) and a second row of adhesive projections (see Fig. 3, 142), and the quantity of the adhesive projections 142 of the second row is larger than that of the first Is larger than the quantity of the heat-sensitive adhesive protrusions.

도6는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제3영역에 마련된 점착척의 평면도이다.6 is a plan view of a pressure-sensitive adhesive chuck provided in a third region of a substrate support for a display according to the present invention.

도6에서 도시한 바와 같이, 제3영역(11-3)은 제2영역(1102)이 형성하는 사각형보다 작은 사각형을 형성한다. As shown in FIG. 6, the third region 11-3 forms a rectangle smaller than the rectangle formed by the second region 1102. As shown in FIG.

제3영역(11-3)에 배치되는 점착척(100c) 하나하나의 세부적 특징은 제2영역(11-2)의 점착척의 특징과 동일하므로 구체적인 설명은 제2영역(11-2) 점착척의 설명으로 대체한다.The details of each of the adhesive chucks 100c disposed in the third region 11-3 are the same as those of the second region 11-2, Replace with description.

도7은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제4영역에 마련된 점착척의 평면도이다.7 is a plan view of an adhesive chuck provided in a fourth region of a substrate support for a display according to the present invention.

도7에서 도시한 바와 같이, 플레이트(11)의 중심부인 제4영역(11-4)에 배치되는 점착척(100d)은 사각형 모양이 아닌 일자 형태로 마련된다.As shown in Fig. 7, the adhesive chuck 100d disposed in the fourth region 11-4, which is the center portion of the plate 11, is provided in a non-rectangular shape.

제4영역(11-4)에 마련되는 점착척(100d)의 점착돌기는 제1열에만 배열되고, 제2열에는 배열되지 않는 것이 바람직하다.It is preferable that the adhesive protrusions of the adhesive chuck 100d provided in the fourth region 11-4 are arranged only in the first row and not arranged in the second row.

이는 제4영역에 마련되는 점착척(100d)의 점착력이 최소한도로 필요하기 때문이다. This is because the adhesive force of the adhesive chuck 100d provided in the fourth region is required to a minimum.

따라서, 제1영역(11-1) 내지 4영역(11-4)에 마련되는 점착척(100)을 포함하는 디스플에이 기판 지지장치에 기판이 부착된 상태에서, 리프트 핀이 동작하여 기판을 미는 경우, 제4영역(11-4), 제3영역(11-3), 제2영역(11-2), 제1영역(11-1) 순으로 기판이 쉽게 떨어질 수 있다. 이는 디스플에이 기판 지지장치에서 기판을 쉽게 떨어지게 하여 보다 정밀하고, 효과적인 기판의 제어가 가능해진다. Therefore, in a state where the substrate is attached to the display substrate supporting apparatus including the adhesive chuck 100 provided in the first area 11-1 to the fourth area 11-4, the lift pin operates to push the substrate The substrate can easily fall in the order of the fourth region 11-4, the third region 11-3, the second region 11-2, and the first region 11-1. This makes it easy for the substrate to be detached from the display substrate supporting apparatus, thereby enabling more precise and effective control of the substrate.

또한, 실시예에 따라서는, 제1영역(11-1) 내지 4영역(11-4)에 마련되는 점착척(100)에 기판이 부착된 상태에서, 리프트 핀이 동작하여 기판을 미는 경우, 제4영역(11-4)의 점착척(100d)에서 제일 먼저 떨어지고, 그 다음 제3영역의 점착척(100c), 제2영역의 점착척(100b), 제1영역의 점착척(100a)으로부터 순차적으로 떨어질 수 있다. 이는 디스플에이 기판 지지장치에서 기판의 중심으로부터 외곽 방향으로 순차적으로 떨어지게 되므로 보다 정밀하고, 효과적인 기판의 제어가 가능해진다. According to the embodiment, when the lift pin is operated to push the substrate in a state where the substrate is attached to the adhesive chuck 100 provided in the first area 11-1 to the fourth area 11-4, The adhesive chuck 100c of the third area, the adhesive chuck 100b of the second area, the adhesive chuck 100a of the first area, and the adhesive chuck 100b of the second area are removed first from the adhesive chuck 100d of the fourth area 11-4, As shown in Fig. This makes it possible to control the substrate more precisely and effectively because the display substrate support apparatus sequentially drops away from the center of the substrate toward the outermost periphery.

이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be appreciated that one embodiment is possible. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the claims.

10: 디스플레이 기판 지지장치
11: 플레이트
11-1: 제1영역
11-2: 제2영역
11-3: 제3영역
11-4: 제4영역
20: 증착 챔버
30: 증착물질 공급장치
40: 두께 측정 센서
50: 게이트 밸브
100: 점착척
110: 베이스부
120: 관통홀
130: 고정나사
140: 점착돌기10: Display board support device
11: Plate
11-1: First area
11-2: second region
11-3: Third area
11-4: fourth region
20: Deposition chamber
30: deposition material supply device
40: Thickness sensor
50: Gate valve
100: Adhesive chuck
110: Base portion
120: Through hole
130: Set screw
140: Adhesive projection

Claims (5)

기판을 지지하는 플레이트와;
상기 플레이트 상에 구비되어 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며,
상기 점착척은;
상기 플레이트 상에 고정되는 베이스부와;
상기 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과;
상기 관통홀 주위에 배치되되, 상기 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하되,
상기 플레이트의 외곽에서 중심으로 갈수록 점착척의 점착력이 감소하도록 마련되고,
상기 점착돌기는 상기 관통홀의 중심으로부터 제1거리만큼 이격되어 있는 제1열의 점착돌기와, 상기 제1거리보다 상대적으로 먼 제2거리만큼 이격되어 있으며 상기 제1열의 점착돌기의 수량보다 많은 제2열의 점착돌기를 포함하며,
상기 제1열의 점착돌기와 상기 제2열의 점착돌기는 각각의 점착력이 동일하고,
상기 플레이트의 외곽에서 중심으로 갈수록 상기 점착척에 마련되는 상기 점착돌기의 수량이 줄어들며,
상기 플레이트 상에서 상기 점착척은 그 외곽에서 중심방향으로 복수의 사각형 모양을 형성하는 제1영역 내지 제4영역에 배치되되,
상기 플레이트의 최외곽에 형성되는 상기 제1영역에 배치되는 상기 점착척의 상기 점착돌기의 수량이 가장 많게 형성되고,
제2영역에 배치되는 점착척 및 제3영역에 배치되는 점착척 중, 각 모서리에 배치되는 점착척의 점착돌기의 수량은 같은 영역 내에 있는 다른 점착척의 점착돌기의 수량보다 많은 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 지지장치. A plate for supporting the substrate;
And a plurality of adhesive chucks provided on the plate to provide adhesive force for attaching the substrate,
The tacky chuck comprises:
A base portion fixed on the plate;
A through hole provided in the base for allowing a lift pin to perform a dechucking function;
And an adhesive projection disposed around the through hole and arranged in a plurality of rows so as to be spaced apart from each other by a distance from the center of the through hole,
The adhesive force of the pressure-sensitive adhesive chuck decreases toward the center of the outer periphery of the plate,
Wherein the adhesive projection has a first row of adhesive projections spaced a first distance from the center of the through hole and a second row of adhesive rows spaced apart by a second distance relatively farther than the first distance and greater than the quantity of adhesive projections of the first row And an adhesive projection,
Wherein the adhesive projections of the first row and the adhesive projections of the second row have the same adhesive force,
The number of the adhesive protrusions provided on the adhesive chuck decreases from the outer periphery of the plate to the center,
Wherein the adhesive chuck is disposed in a first region to a fourth region that form a plurality of square shapes in a center direction on an outer periphery thereof,
The number of the adhesive protrusions of the adhesive chuck disposed in the first region formed at the outermost portion of the plate is formed to be the largest,
Characterized in that the number of adhesive protrusions of the adhesive chuck disposed at each corner of the adhesive chuck disposed in the second area and the adhesive chuck disposed in the third area is larger than the number of the adhesive protrusions of the other adhesive chucks in the same area Supporting device. 제1항에 있어서,
상기 플레이트 상의 중심 부분인 상기 제4영역에 배치되는 점착척의 점착돌기는 제1열에만 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 지지장치.


The method according to claim 1,
Wherein the adhesive projection of the adhesive chuck disposed in the fourth region which is the center portion of the plate is disposed only in the first row.


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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120106092A (en) * 2011-03-17 2012-09-26 엘아이지에이디피 주식회사 Adhesive plate for manufacturing oled device

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