KR101443016B1 - 서보 모터 및 인코더 - Google Patents

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히로시 나가타
도시카즈 사토네
마사노리 니무라
하지메 나카지마
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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

인코더는 모터의 회전축의 1회전분의 회전을 나타내는 회전 신호를 이용하여 회전축의 회전수를 카운트한 다회전 데이터와, 회전축의 회전 각도를 나타내는 각도 신호 이용하여 회전 각도를 누적해 회전축이 1회전할 때마다 회전축의 회전수를 카운트한 누적 다회전 데이터를 생성하고, 회전 신호를 이용하여 제1 다회전 데이터를 생성하는 제1 다회전 카운터와, 회전 신호를 이용하여 제2 다회전 데이터를 생성하는 제2 다회전 카운터와, 각도 신호를 이용하여 제1 누적 다회전 데이터를 산출하는 제1 누적수 산출부와, 각도 신호를 이용하여 제2 누적 다회전 데이터를 산출하는 제2 누적수 산출부와, 제1 다회전 데이터와, 제2 다회전 데이터와, 제1 누적 다회전 데이터와, 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교함으로써, 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 제1 비교 진단부를 가진다.

Description

서보 모터 및 인코더{SERVOMOTOR AND ENCODER}
본 발명은 고장을 검지하면서 회전축의 회전 각도 및 회전수를 검출하는 서보 모터 및 인코더에 관한 것이다.
회전축의 회전 각도 및 회전수를 검출하면서 모터를 제어하는 서보 시스템의 분야에서는, 안전성을 확보하는 것이 중요해지고 있다. 이 때문에, 서보 시스템의 구성 부품인 인코더에 있어서도, 고장 검지율을 향상시키는 것에 의해서 신뢰성을 확보하는 것이 중요해지고 있다.
예를 들면, 특허 문헌 1 ~ 4에 기재된 서보 시스템은, 회전 위치에 관련된 복수의 신호(회전축의 회전수 등)를 비교함으로써, 서보 시스템이 구비하는 인코더의 이상을 검출하고 있다.
[특허 문헌 1] 일본국 특개 2003－315099호 공보 [특허 문헌 2] 일본국 특개 2007－114032호 공보 [특허 문헌 3] 일본국 특개 2010－19575호 공보 [특허 문헌 4] 일본국 특개 2005－12997호 공보
그렇지만, 상기 제1 ~ 제4 종래 기술에서는, 고장 검지의 신뢰도가 낮다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 신뢰도가 높은 고장 검지를 행할 수 있는 서보 모터 및 인코더를 얻는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하여, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 회전축을 가지는 모터와, 상기 회전축의 1회전분의 회전을 나타내는 회전 신호를 이용하여 상기 회전축의 회전수를 카운트한 다회전 데이터와, 상기 회전축의 회전 각도를 나타내는 각도 신호를 이용하여 산출한 1회전 내의 회전 각도를 나타내는 1회전 데이터와, 상기 각도 신호를 이용하여 상기 회전 각도를 누적해 상기 회전축이 1회전할 때마다 상기 회전축의 회전수를 카운트한 누적 다회전 데이터를 생성함과 아울러, 상기 다회전 데이터 및 상기 누적 다회전 데이터 중 한쪽과, 상기 1회전 데이터를 모터 제어 장치에 송신하는 인코더를 구비하고, 상기 인코더는, 상기 회전축의 회전 위치를 검출하는 회전 검출부와, 상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 제1 다회전 데이터를 생성하는 제1 다회전 카운터와, 상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 제2 다회전 데이터를 생성하는 제2 다회전 카운터와, 상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제1 누적 다회전 데이터를 산출하는 제1 누적수 산출부와, 상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제2 누적 다회전 데이터를 산출하는 제2 누적수 산출부와, 상기 제1 다회전 데이터와, 상기 제2 다회전 데이터와, 상기 제1 누적 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교함으로써, 상기 회전 신호를 이용하여 생성된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값과, 상기 각도 신호를 이용하여 산출된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값으로 이루어진 적어도 4개의 값이 같은 값인지를 비교하고, 비교 결과에 기초하여 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 제1 비교 진단부를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 신뢰도가 높은 고장 검지를 행하는 것이 가능해 진다고 하는 효과를 달성한다.
도 1은 실시 형태 1에 따른 인코더를 구비한 서보 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 고장 판정의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 실시 형태 2에 따른 인코더를 구비한 서보 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 실시 형태 3에 따른 인코더를 구비한 서보 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
이하에, 본 발명의 실시 형태에 따른 서보 모터 및 인코더를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 이들 실시 형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
실시 형태 1.
도 1은 실시 형태 1에 따른 인코더를 구비한 서보 시스템의 구성을 나타내는 도면이다. 서보 시스템(1A)은 서보 모터(모터(2) 및 인코더(3A))와, 모터 제어 장치(서보 앰프)(4)를 구비하고 있다.
본 실시 형태의 서보 시스템(1A)은, 복수의 다회전 데이터와 복수의 누적 다회전 데이터로 이루어진 복수의 데이터를 비교함으로써 인코더(3A)의 고장 개소를 진단(고장 위치를 특정)한다. 본 실시 형태에 있어서의 다회전 데이터는 회전축의 회전수가 카운트되는 것에 의해 얻어진 데이터(카운트치)이며, 누적 다회전 데이터는 회전축의 1회전분의 회전 각도를 누적하여 회전축이 1회전할 때마다 카운트된 데이터(카운트치)이다.
모터(2)는 회전축(51)을 회전시킴으로써, 인코더(3A) 내의 펄스 원판(50)을 회전시킨다. 회전축(51)은 한쪽 단부(端部)가 펄스 원판(50)에 접속되고, 다른 쪽 단부가 로봇의 암 등에 접속되어 있다. 모터(2)는 모터 제어 장치(4)에 의해서 전류 제어된다.
인코더(3A)는 펄스 원판(50)과, 발광부(11)와, 수광부(12)와, 다회전 카운터(13X, 13Y)와, 연산부(10X, 10Y)와, 전원 전환 회로(16)와, 배터리 전원(21)과, 제어 전원(22)을 가지고 있다.
발광부(11)는 펄스 원판(50)의 한쪽 주면(主面)측으로부터 광을 조사한다. 수광부(12)는 펄스 원판(50)의 다른 쪽 주면측에 배치되어, 회전축(51)의 회전 위치를 광학적으로 검출하는 회전 검출부이다. 수광부(12)는 발광부(11)로부터 조사된 광 중 펄스 원판(50)을 통과한 광을 광학 신호로서 수광함으로써, 회전축(51)의 회전 상황(회전 위치)을 검출한다. 이 구성에 의해, 발광부(11) 및 수광부(12)를 가진 광학계에서, 회전축(51)의 회전 위치가 검출된다.
수광부(12)는, 회전축(51)의 회전 상황을 파형(정현파(正弦波) 및 여현파(余弦波))으로서 다회전 카운터(13X, 13Y) 및 연산부(10X, 10Y)에 보낸다. 수광부(12)에서 생성된 파형(회전 위치를 나타내는 수광파(受光波))은, 도시하지 않은 콤퍼레이터에 보내진다. 콤퍼레이터는 정현파로부터 구형파 신호를 생성함과 아울러, 여현파로부터 구형파 신호를 생성한다. 콤퍼레이터는 생성한 각 구형파 신호를, 다회전 카운터(13X, 13Y)에 보낸다. 또, 수광부(12)는 검출한 광의 파형을 아날로그 신호로서 연산부(10X)의 누적수 산출부(14X)와, 연산부(10Y)의 누적수 산출부(14Y)에 보낸다.
다회전 카운터(13X, 13Y)는 구형파 신호에 기초하여, 회전축(51)의 회전수를 카운트한다. 정현파로부터 생성된 구형파 신호와 여현파로부터 생성된 구형파 신호의 조합(組合)이, 회전축(51)의 1회전분의 회전을 나타내는 신호(회전 신호)이다. 따라서 다회전 카운터(13X, 13Y)는, 회전축(51)의 1회전분의 회전을 나타내는 신호를 이용하여 회전축(51)의 회전수를 카운트한다.
다회전 카운터(13X)는 카운트한 회전수를 다회전 데이터(Mx)로서 연산부(10X)의 비교 진단부(15X)에 보낸다. 다회전 카운터(13Y)는 카운트한 회전수를 다회전 데이터(My)로서 연산부(10Y)의 비교 진단부(15Y)에 보낸다.
연산부(10X)는 누적수 산출부(14X)와 비교 진단부(15X)를 구비하고 있다. 누적수 산출부(14X)는 수광부(12)로부터 보내져 오는 아날로그 신호를 수신한다. 아날로그 신호는 회전축(51)의 회전 각도(0도 ~ 360도)를 나타내는 신호(각도 신호)이다. 누적수 산출부(14X)는 아날로그 신호에 기초하여 회전축(51)의 회전 각도를 산출한다.
누적수 산출부(14X)는 회전 각도를 누적하여 회전축(51)이 1회전할 때마다 회전축(51)의 회전수를 1개 카운트업한다. 누적수 산출부(14X)는 카운트한 회전수(합계수)를 누적 다회전 데이터(Ax)로서 비교 진단부(15X)에 보낸다.
비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와 누적 다회전 데이터(Ax)를 비교함으로써, 다회전 데이터(Mx)와 누적 다회전 데이터(Ax)가 같은지 여부를 판정한다. 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와 누적 다회전 데이터(Ax)가 동일한지의 판정 결과(이하, 판정 결과 MAx라고 함)를 유지해 둔다.
또, 비교 진단부(15X)는 연산부(10Y)로부터 보내져 오는 판정 결과(후술하는 판정 결과 MAy), 다회전 데이터(My) 및 후술하는 누적 다회전 데이터(Ay)를 수신한다.
비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와, 다회전 데이터(My)와, 판정 결과 MAx와, 누적 다회전 데이터(Ax)와, 누적 다회전 데이터(Ay)와, 판정 결과 MAy에 기초하여, 인코더(3A)의 고장 진단을 행한다.
비교 진단부(15X)가 인코더(3A)에 고장 개소가 없다고 판정했을 경우, 누적수 산출부(14X)는 회전축(51)의 회전 각도를 나타내는 데이터를 1회전 데이터(Ox)로서 모터 제어 장치(4)에 보낸다. 또, 비교 진단부(15X)는 인코더(3A)에 고장 개소가 없다고 판정했을 경우, 다회전 데이터(Mx)를 모터 제어 장치(4)에 보낸다. 또한, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx) 대신에, 다회전 데이터(My), 누적 다회전 데이터(Ax) 및 누적 다회전 데이터(Ay) 중 어느 것을 모터 제어 장치(4)에 보내도 좋다.
연산부(10Y)는 누적수 산출부(14Y)와 비교 진단부(15Y)를 구비하고 있다. 누적수 산출부(14Y)는 수광부(12)로부터 보내져 오는 아날로그 신호를 수신한다. 누적수 산출부(14Y)는 아날로그 신호에 기초하여 회전축의 회전 각도(0도 ~ 360도)를 산출한다.
누적수 산출부(14Y)는 회전 각도를 누적하여 회전축(51)이 1회전할 때마다 회전축(51)의 회전수를 1개 카운트업한다. 환언하면, 누적수 산출부(14Y)는 회전축(51)의 회전 각도를 나타내는 1회전 데이터(Ox)를 이용하여 회전축(51)의 회전수를 카운트한다. 누적수 산출부(14Y)는 카운트한 회전수(합계수)를 누적 다회전 데이터(Ay)로서 비교 진단부(15Y)에 보낸다.
비교 진단부(15Y)는 다회전 데이터(My)와 누적 다회전 데이터(Ay)를 비교함으로써, 다회전 데이터(My)와 누적 다회전 데이터(Ay)가 동일한지 여부를 판정한다. 비교 진단부(15Y)는 다회전 데이터(My)와 누적 다회전 데이터(Ay)가 동일한지의 판정 결과 MAy와, 다회전 데이터(My)와, 누적 다회전 데이터(Ay)를 연산부(10X)의 비교 진단부(15X)에 보낸다.
전원 전환 회로(16)는 배터리 전원(21)과, 제어 전원(22)과, 배터리(41)와, 전원 공급부(42)에 접속되어 있다. 배터리(41) 및 전원 공급부(42)는, 모터 제어 장치(4)에 배치되어 있다.
전원 전환 회로(16)는 모터 제어 장치(4)의 전원이 ON인 동안에, 전원 공급부(42)로부터 배터리 전원(21) 및 제어 전원(22)에 전원이 공급되도록, 회로를 전환한다. 반면에, 전원 전환 회로(16)는 모터 제어 장치(4)의 전원이 OFF인 동안은, 배터리(41)에 저장되어 있는 전원이 배터리 전원(21)에 공급되도록, 회로를 전환한다. 환언하면, 모터 제어 장치(4)의 전원이 ON인 동안에, 제어 전원(22)이 ON으로 되고, 모터 제어 장치(4)의 전원이 ON 및 OFF인 동안에, 배터리 전원(21)이 ON으로 된다.
이것에 의해, 모터 제어 장치(4)의 전원이 ON인 동안은, 전원 공급부(42)로부터 배터리 전원(21) 및 제어 전원(22)에 전원이 공급된다. 또, 모터 제어 장치(4)의 전원이 OFF인 동안은, 배터리(41)로부터 배터리 전원(21)에 전원이 공급된다.
인코더(3A) 내에서는, 제어 전원(22)이 연산부(10X, 10Y)에 접속되어 있다. 또, 인코더(3A) 내에서는, 배터리 전원(21)이 발광부(11), 수광부(12) 및 다회전 카운터(13X, 13Y)에 접속되어 있다.
이 구성에 의해, 모터 제어 장치(4)의 전원이 ON인 동안은, 다회전 카운터(13X, 13Y)에서 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My)가 생성됨과 아울러, 누적수 산출부(14X, 14Y)에서 누적 다회전 데이터(Ax) 및 누적 다회전 데이터(Ay)가 생성된다.
한편, 모터 제어 장치(4)의 전원이 OFF인 동안은, 다회전 카운터(13X, 13Y)에서 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My)가 생성되고, 누적수 산출부(14X, 14Y)에서는 누적 다회전 데이터(Ax) 및 누적 다회전 데이터(Ay)가 생성되지 않는다. 또한, 여기에서는 배터리 전원(21)을 이용하는 경우에 대해서 설명했지만, 배터리 전원(21) 대신에 제어 전원(22)을 이용해도 좋다.
모터 제어 장치(4)는 인코더(3A) 및 모터(2)에 접속되어 있다. 모터 제어 장치(4)는 인코더(3A)로부터 보내져 오는 1회전 데이터(Ox) 및 다회전 데이터(Mx)에 기초하여, 모터(2)를 제어한다.
다음으로, 인코더(3A)의 고장 진단 처리에 대해서 설명한다. 또한, 비교 진단부(15X)에 의한 고장 진단 처리와, 비교 진단부(15Y)에 의한 고장 진단 처리는, 마찬가지의 처리이므로, 여기에서는 비교 진단부(15X)에 의한 고장 진단 처리에 대해서 설명한다.
(고장 진단예 1)
도 2는 고장 판정의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와, 다회전 데이터(My)와, 판정 결과 MAx와, 누적 다회전 데이터(Ax)와, 누적 다회전 데이터(Ay)와, 판정 결과 MAy에 기초하여, 인코더(3A)의 고장 진단을 행한다.
비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와 다회전 데이터(My)가 동일한지를 판정한다(비교 진단 1). 또, 비교 진단부(15X)는 판정 결과 MAx가 동일 판정(Mx=Ax)인지 여부와, 판정 결과 MAy가 동일 판정(My=Ay)인지 여부를 확인한다(비교 진단 2). 여기서의 비교 진단 1은 다회전 데이터의 비교 진단이고, 비교 진단 2는 누적 다회전 데이터의 비교 진단이다.
비교 진단부(15X)는 (Mx=My)인 경우에, 판정 결과 MAx 및 판정 결과 MAy가 동일 판정이면, (Mx=My=Ax=Ay)여서, 인코더(3A)에는 이상이 없다고 판정한다.
또, 비교 진단부(15X)는 (Mx=My)인 경우에, 판정 결과 MAx가 비동일 판정(Mx≠Ax)이고, 또한 판정 결과 MAy가 동일 판정(My=Ay)이면, (Mx=My=Ay)여서, 누적 다회전 데이터(Ax)가 비정상이라고 판정한다. 환언하면, 누적 다회전 데이터(Ax)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정된다.
또, 비교 진단부(15X)는 (Mx=My)인 경우에, 판정 결과 MAy가 비동일 판정(My≠Ay)이고, 또한 판정 결과 MAx가 동일 판정(Mx=Ax)이면, (Mx=My=Ax)여서, 누적 다회전 데이터(Ay)가 비정상이라고 판정한다. 환언하면, 누적 다회전 데이터(Ay)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정된다.
또, 비교 진단부(15X)는 (Mx≠My)인 경우에, 판정 결과 MAx가 비동일 판정(Mx≠Ax)이고, 또한 판정 결과 MAy가 동일 판정(My=Ay)이면, (Ax=My=Ay)여서, 다회전 데이터(Mx)가 비정상이라고 판정한다. 환언하면, 다회전 데이터(Mx)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정된다.
또, 비교 진단부(15X)는 (Mx≠My)인 경우에, 판정 결과 MAy가 비동일 판정(My≠Ay)이고, 또한 판정 결과 MAx가 동일 판정(Mx=Ax)이면, (Mx=Ax=Ay)여서, 다회전 데이터(My)가 비정상이라고 판정한다. 환언하면, 다회전 데이터(My)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정된다.
비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ax)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정했을 경우, 수광부(12)로부터 누적수 산출부(14X)까지의 개소에 고장이 발생해 있다고 판단한다. 예를 들면, 비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ax)에 관련된 개소로서, 누적수 산출부(14X) 자체에 고장이 발생해 있다고 판단한다.
또, 비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ay)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정했을 경우, 수광부(12)에서부터 누적수 산출부(14Y)까지의 개소에 고장이 발생해 있다고 판단한다. 예를 들면, 비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ay)에 관련된 개소로서, 누적수 산출부(14Y) 자체에 고장이 발생해 있다고 판단한다.
또, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정했을 경우, 수광부(12)에서부터 다회전 카운터(13X)까지의 개소에 고장이 발생해 있다고 판단한다. 예를 들면, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)에 관련된 개소로서, 다회전 카운터(13X) 자체에 고장이 발생해 있다고 판단한다.
또, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(My)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정했을 경우, 수광부(12)에서부터 다회전 카운터(13Y)까지의 개소에 고장이 발생해 있다고 판단한다. 예를 들면, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(My)에 관련된 개소로서, 다회전 카운터(13Y) 자체에 고장이 발생해 있다고 판단한다.
연산부(10X)는 비교 진단부(15X)가 인코더(3A)에는 이상이 없다고 판정했을 경우, 회전 데이터(Ox) 및 다회전 데이터(Mx)의 모터 제어 장치(4)로의 송신을 계속한다. 이것에 의해, 서보 시스템(1A)은 동작을 계속한다.
한편, 연산부(10X)는 비교 진단부(15X)가 인코더(3A)에 이상이 있다고 판정했을 경우, 회전 데이터(Ox) 및 다회전 데이터(Mx)의 모터 제어 장치(4)로 송신을 정지한다. 이것에 의해, 서보 시스템(1A)은 동작을 정지한다. 환언하면, 인코더(3A)는, 인코더(3A)에 이상이 있다고 판정되었을 경우, 인코더(3A)의 동작을 정지시킨다.
(고장 진단예 2)
또한, 비교 진단부(15X)는 상술한 고장 진단 순서에 한정하지 않고, 어느 순서로 고장 진단해도 좋다. 예를 들면, 비교 진단부(15Y)에서의 판정을 생략하고, 비교 진단부(15X)가 누적 다회전 데이터(Ax), 누적 다회전 데이터(Ay), 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My)를 이용하여, 고장 진단을 행해도 좋다.
(고장 진단예 3－1)
또, 비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ax), 누적 다회전 데이터(Ay), 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My) 중 3개의 데이터를 이용하여, 고장 진단을 행해도 좋다. 예를 들면, 비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ax)와, 누적 다회전 데이터(Ay)와, 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My) 중 한쪽으로 이루어진 3개의 데이터를 이용하여, 고장 진단을 행해도 좋다.
(고장 진단예 3－2)
또, 비교 진단부(15X)는 누적 다회전 데이터(Ax)와, 비교 진단부(15Y)에서의 판정 결과 MAy를 이용하여, 고장 진단을 행해도 좋다. 또, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와, 비교 진단부(15Y)에서의 판정 결과 MAy를 이용하여 고장 진단을 행해도 좋다.
(고장 진단예 4)
또, 비교 진단부(15Y)가 비교 진단부(15X)와 마찬가지의 처리에 의해서 고장 진단을 행해도 좋다. 이 경우, 비교 진단부(15X)는 다회전 데이터(Mx)와 누적 다회전 데이터(Ax)가 동일한지의 판정 결과 MAx와, 다회전 데이터(Mx)와, 누적 다회전 데이터(Ax)를 연산부(10Y)의 비교 진단부(15Y)에 보낸다.
그리고 비교 진단부(15Y)는 비교 진단부(15X)와 마찬가지의 처리에 의해서 고장 진단을 행한다. 그 후, 비교 진단부(15Y)는 비교 진단 결과를 비교 진단부(15X)에 보낸다. 이것에 의해, 비교 진단부(15X)는 비교 진단부(15X)에 의한 비교 진단 결과와 비교 진단부(15Y)에 의한 비교 진단 결과를 비교한다.
이 경우에 있어서, 비교 진단부(15X)에 의한 비교 진단 결과와, 비교 진단부(15Y)에 의한 비교 진단 결과가, 다른 경우, 비교 진단부(15X)는 비교 진단부(15X,15Y) 중 어느 한쪽이 고장나 있다고 판단한다.
예를 들면, 비교 진단부(15X)에 의한 비교 진단 결과에서 인코더(3A)에 이상이 있다고 판단되었을 경우, 비교 진단부(15X)는, 비교 진단부(15X)가 고장나 있다고 판단한다. 또, 비교 진단부(15Y)에 의한 비교 진단 결과에서 인코더(3A)에 이상이 있다고 판단되었을 경우, 비교 진단부(15X)는, 비교 진단부(15Y)가 고장나 있다고 판단한다.
비교 진단부(15X, 15Y) 양쪽 모두에서 인코더(3A)에는 이상이 없다고 판정되고 있으면, 연산부(10X)는 회전 데이터(Ox) 및 다회전 데이터(Mx)의 모터 제어 장치(4)로의 송신을 계속한다. 이것에 의해, 서보 시스템(1A)은 동작을 계속한다.
반면, 비교 진단부(15X, 15Y) 중 적어도 한쪽에서 인코더(3A)에 이상이 있다고 판정되고 있는 경우, 연산부(10X)는 회전 데이터(Ox) 및 다회전 데이터(Mx)의 모터 제어 장치(4)로 송신을 정지한다. 이것에 의해, 서보 시스템(1A)은 동작을 정지한다.
(고장 진단예 5)
또한, 비교 진단부(15Y)에서 행해지는 다회전 데이터(My)와 누적 다회전 데이터(Ay)의 비교 처리를, 비교 진단부(15Y) 및 비교 진단부(15X) 양쪽 모두가 실행해도 좋다. 이 경우, 비교 진단부(15X)는, 비교 진단부(15X)에 의한 판정 결과 MAy와 비교 진단부(15Y)에 의한 판정 결과 MAy를 추가로 비교한다. 이 경우에 있어서, 비교 진단부(15X)에 의한 판정 결과 MAy와 비교 진단부(15Y)에 의한 판정 결과 MAy가 다른 경우, 비교 진단부(15X)는 비교 진단부(15X) 및 비교 진단부(15Y) 중 어느 한쪽이 고장나 있다고 판단한다.
이 경우, 비교 진단부(15X)는 회전 데이터(Ox) 및 다회전 데이터(Mx)의 모터 제어 장치(4)로 송신을 정지한다. 이것에 의해, 서보 시스템(1A)은 동작을 정지한다.
(고장 진단예 6)
또, 인코더(3A)는 상술한 (고장 진단예 1) ~ (고장 진단예 5) 중 적어도 2개를 조합함으로써, 인코더(3A)의 고장 진단을 행해도 좋다. 이 경우에 있어서, 인코더(3A)는 (고장 진단예 1) ~ (고장 진단예 5) 중 적어도 1개에서 인코더(3A)에 이상이 있다고 판단되었을 경우, 인코더(3A)의 동작을 정지시킨다.
(고장 개소의 특정을 생략)
또한, 비교 진단부(15X)는 판정 결과 MAx, MAy 중 적어도 한쪽이 비동일 판정인 경우에, 고장 개소가 어느 개소인지를 특정하는 처리를 생략하고 인코더(3A)의 동작을 정지시켜도 좋다. 이 경우, 다회전 데이터(Mx)와 다회전 데이터(My)가 동일한지의 판정 처리 등이 생략되게 된다. 또, 비교 진단부(15X)는 (Mx≠My)인 경우에, 고장 개소가 어느 개소인지를 특정하는 처리를 생략하고 인코더(3A)의 동작을 정지시켜도 좋다.
(정상 개소를 이용하여 동작 계속)
또한, 연산부(10X)는 비교 진단부(15X, 15Y) 중 적어도 한쪽에서 인코더(3A)에 이상이 있다고 판정되고 있는 경우에 있어서도, 비정상이 아니라고 판정된 개소에서 검출된 데이터를 이용하여 서보 시스템(1A)의 동작을 계속시켜도 좋다.
예를 들면, 비교 진단부(15X)에서 추정한 고장 개소와, 비교 진단부(15X)에서 추정한 고장 개소가 같은 경우, 연산부(10X)는 추정된 고장 개소 이외의 데이터를 이용하여 서보 시스템(1A)의 동작을 계속시킨다. 이 경우에 있어서, 추정된 고장 개소에서의 데이터 생성을 정지시켜도 좋다.
예를 들면, 비교 진단부(15X, 15Y)가 누적 다회전 데이터(Ax)에 관련된 개소가 고장 개소인 것으로 추정했을 경우, 연산부(10X)는 누적수 산출부(14Y)에서 생성된 1회전 데이터(Ox)를 모터 제어 장치(4)에 보낸다. 이때, 비교 진단부(15X)는 다회전 카운터(13X)에서 생성된 다회전 데이터(Mx), 다회전 카운터(13Y)에서 생성된 다회전 데이터(My) 및 누적수 산출부(14Y)에서 생성된 누적 다회전 데이터(Ay) 중 어느 쪽을 모터 제어 장치(4)에 보낸다.
이와 같이, 본 실시 형태의 인코더(3A)는 다회전 데이터(Mx)와, 다회전 데이터(My)와, 누적 다회전 데이터(Ax)와, 누적 다회전 데이터(Ay)가 같은 값인지를 비교하고 있다. 이것에 의해, 인코더(3A)는 회전축(51)의 1회전분의 회전을 나타내는 신호를 이용하여 산출된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값과, 회전축(51)의 회전 각도를 나타내는 신호를 이용하여 생성된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값으로 이루어진 적어도 4개의 값이 같은 값인지를 비교하고 있다. 그리고 인코더(3A)는 비교 결과에 기초하여 인코더(3A)가 고장나 있는지 여부를 진단하고 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 서보 시스템(1A)이 2개의 연산부와, 2개의 다회전 카운터를 구비하는 경우에 대해서 설명했지만, 연산부 및 다회전 카운터 중 적어도 한쪽은 3개 이상이어도 좋다.
이와 같이, 실시 형태 1에 의하면, 누적 다회전 데이터(Ax), 누적 다회전 데이터(Ay), 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My)의 4개의 데이터를 이용하여 인코더(3A)의 고장 진단을 행하므로, 신뢰도가 높은 고장 검지를 행하는 것이 가능해진다.
또, 누적 다회전 데이터(Ax), 누적 다회전 데이터(Ay), 다회전 데이터(Mx) 및 다회전 데이터(My)의 4개의 데이터를 이용하여 인코더(3A)의 고장 진단을 행하므로, 고장 개소를 진단(추정)하는 것이 가능해진다.
또, 모터 제어 장치(4)의 전원 OFF(배터리 백업)시에도 다회전 데이터를 복수개 가질 수 있으므로, 신뢰도가 높은 고장 검지를 행하는 것이 가능해진다. 또, 인코더(3A)가 복수의 비교 진단부(연산부)를 구비하고 있으므로, 비교 진단부 자체의 이상시에도 신뢰성을 확보하는 것이 가능해진다.
또, 다회전 카운터(13X, 13Y)는 공통의 수광부(12)로부터 구형파(矩形波) 신호를 수신하고 있으므로, 인코더(3A)가 간이(簡易)한 구성이 된다. 환언하면, 공통 검출계(광학계)를 이용함으로써 시스템 구성의 간략화가 가능해진다.
실시 형태 2.
다음으로, 도 3을 이용하여 본 발명의 실시 형태 2에 대해서 설명한다. 실시 형태 2에서는, 자기 센서를 이용하여 검출한 펄스 신호를 다회전 카운터에 송신한다. 그리고 다회전 카운터는 펄스 신호에 기초하여, 다회전 데이터를 생성한다.
도 3은 실시 형태 2에 따른 인코더를 구비한 서보 시스템의 구성을 나타내는 도면이다. 도 3의 각 구성 요소 중 도 1에 도시된 실시 형태 1의 서보 시스템(1A)과 동일 기능을 달성하는 구성 요소에 대해서는 동일 번호를 부여하고 있고, 중복하는 설명은 생략한다.
서보 시스템(1B)은 서보 모터(모터(2) 및 인코더(3B))와, 모터 제어 장치(4)를 구비하고 있다. 인코더(3B)는 인코더(3A)와 비교하여, 다회전 카운터(13X, 13Y) 대신에 다회전 카운터(33X, 33Y)를 가지고 있다. 또, 인코더(3B)는 인코더(3A)와 비교하여, 펄스 원판(50) 대신에 펄스 원판(30)과 자기 센서(32)를 가지고 있다.
그리고 인코더(3B)에서는, 다회전 카운터(33X)가 비교 진단부(15X)에 접속되고, 다회전 카운터(33Y)가 비교 진단부(15Y)에 접속되어 있다. 또, 인코더(3B)에서는, 수광부(12)가 누적수 산출부(14X, 14Y)에 접속되어 있다. 본 실시 형태의 수광부(12)는 아날로그 신호를 누적수 산출부(14X, 14Y)에 보낸다.
펄스 원판(30)은 원판상 부재의 중심부 근방에 자석(31)을 구비하고 있다. 자기 센서(32)는 펄스 원판(30)의 다른 쪽 주면(主面)측에 배치되어, 회전축(51)의 회전 위치를 자기적으로 검출하는 회전 검출부이다. 자기 센서(32)는 자석(31)의 자력(磁力)을 검출한다.
회전축(51)이 회전하면, 펄스 원판(30)이 회전하고, 이것에 의해 자석(31)이 회전한다. 자기 센서(32)는 자석(31)이 회전함으로써 변화하는 자력을 검출하여, 검출 결과를 펄스 신호로 변환한다. 자기 센서(32)는 펄스 신호를 다회전 카운터(33X, 33Y)에 보낸다.
본 실시 형태의 다회전 카운터(33X, 33Y)는 펄스 신호에 기초하여, 회전축의 회전수를 카운트한다. 여기서의 펄스 신호는, 회전축(51)의 1회전분의 회전을 나타내는 신호(회전 신호)이다. 따라서 다회전 카운터(33X, 33Y)는 회전축(51)의 1회전분의 회전을 나타내는 신호를 이용하여 회전축(51)의 회전수를 카운트한다.
다회전 카운터(33X)는 카운트한 회전수를 다회전 데이터(Mx)로서 연산부(10X)의 비교 진단부(15X)에 보낸다. 다회전 카운터(33Y)는 카운트한 회전수를 다회전 데이터(My)로서 연산부(10Y)의 비교 진단부(15Y)에 보낸다. 또한, 인코더(3B)는 인코더(3A)와 마찬가지의 처리에 의해서 고장 진단, 고장 개소의 특정 및 정상 개소를 이용한 동작 계속 등을 행하므로, 그 설명은 생략한다.
이와 같이, 실시 형태 2에 의하면, 실시 형태 1과 마찬가지로 신뢰도가 높은 고장 검지 및 고장 개소의 진단을 행하는 것이 가능해진다. 또, 광학적 회전 검출에 의해서 누적 다회전 데이터(Ax), (Ay)가 생성되고, 자기적인 회전 검출에 의해서 다회전 데이터(Mx), (My)가 생성되므로, 회전축(51)의 회전 위치를 비공통 검출계로 검출할 수 있다. 따라서 한층 더 신뢰도가 높은 고장 검지를 행하는 것이 가능해진다.
실시 형태 3.
다음으로, 도 4를 이용하여 본 발명의 실시 형태 3에 대해서 설명한다. 실시 형태 3에서는, 자기 센서를 이용하여 검출한 펄스 신호를 한쪽의 다회전 카운터에 송신한다. 또, 수광부(12)를 이용하여 검출한 아날로그 신호를 다른 쪽의 다회전 카운터에 송신한다. 이것에 의해, 한쪽의 다회전 카운터는 펄스 신호에 기초하여 다회전 데이터를 생성하고, 다른 쪽의 다회전 카운터는 아날로그 신호에 기초하여 다회전 데이터를 생성한다.
도 4는 실시 형태 3에 따른 인코더를 구비한 서보 시스템의 구성을 나타내는 도면이다. 도 4의 각 구성 요소 중 도 1에 도시된 실시 형태 1의 서보 시스템(1A) 및 도 3에 도시된 실시 형태 2의 서보 시스템(1B)과 동일 기능을 달성하는 구성 요소에 대해서는 동일 번호를 부여하고, 중복하는 설명은 생략한다.
서보 시스템(1C)은 서보 모터(모터(2) 및 인코더(3C))와, 모터 제어 장치(4)를 구비하고 있다. 인코더(3C)는 인코더(3B)와 비교하여, 다회전 카운터(33X) 대신에 다회전 카운터(13X)를 가지고 있다.
그리고 다회전 카운터(13X)가 수광부(12)에 접속되고, 다회전 카운터(33Y)가 자기 센서(32)에 접속되어 있다. 또, 인코더(3C)에서는, 다회전 카운터(13X)가 비교 진단부(15X)에 접속되고, 다회전 카운터(33Y)가 비교 진단부(15Y)에 접속되어 있다.
본 실시 형태의 자기 센서(32)는, 펄스 신호를 다회전 카운터(33Y)에 보낸다. 그리고 다회전 카운터(33Y)는 펄스 신호에 기초하여, 회전축의 회전수를 카운트한다. 다회전 카운터(33Y)는 카운트한 회전수를 다회전 데이터(My)로서, 연산부(10Y)의 비교 진단부(15X)에 보낸다.
또, 다회전 카운터(13X)는 카운트한 회전수를 다회전 데이터(Mx)로서 연산부(10X)의 비교 진단부(15X)에 보낸다. 또한, 인코더(3C)는 인코더(3A)와 마찬가지의 처리에 의해서 고장 진단, 고장 개소의 특정 및 정상 개소를 이용한 동작 계속 등을 행하므로, 그 설명은 생략한다.
또한, 인코더(3C)에 있어서, 다회전 카운터(13X) 및 다회전 카운터(33Y) 대신에 다회전 카운터(13Y) 및 다회전 카운터(33X)를 이용해도 좋다. 이 경우, 수광부(12)에 다회전 카운터(33X)가 접속되고, 다회전 카운터(33X)에 비교 진단부(15X)가 접속된다. 또, 자기 센서(32)에 다회전 카운터(13Y)가 접속되고, 다회전 카운터(13Y)에 비교 진단부(15Y)가 접속된다.
이와 같이, 실시 형태 3에 의하면, 실시 형태 1과 마찬가지로 신뢰도가 높은 고장 검지 및 고장 개소의 진단을 행하는 것이 가능해진다. 또, 광학적 회전 검출에 의해서 누적 다회전 데이터(Ax), (Ay) 및 다회전 데이터(Mx)가 생성되고, 자기적인 회전 검출에 의해서 다회전 데이터(My)가 생성되므로, 간이한 구성으로 신뢰도가 높은 고장 검지를 행하는 것이 가능해진다.
[산업상의 이용 가능성]
이상과 같이, 본 발명에 따른 서보 모터 및 인코더는, 인코더의 고장 검지에 적합하다.
1A ~ 1C: 서보 시스템, 2: 모터,
3A ~ 3C: 인코더, 4: 모터 제어 장치,
10X, 10Y: 연산부, 12: 수광부,
13X, 13Y, 33X, 33Y: 다회전 카운터, 14X, 14Y: 누적수 산출부,
15X, 15Y: 비교 진단부, 16: 전원 전환 회로,
21: 배터리 전원, 22: 제어 전원,
30, 50: 펄스 원판, 32: 자기 센서,
41: 배터리, 42: 전원 공급부,
51: 회전축.

Claims (12)

  1. 회전축을 가지는 모터와,
    상기 회전축의 1회전분의 회전을 나타내는 회전 신호를 이용하여 상기 회전축의 회전수를 카운트한 다회전 데이터와, 상기 회전축의 회전 각도를 나타내는 각도 신호를 이용하여 산출한 1회전 내의 회전 각도를 나타내는 1회전 데이터와, 상기 각도 신호를 이용하여 상기 회전 각도를 누적해 상기 회전축이 1회전할 때마다 상기 회전축의 회전수를 카운트한 누적 다회전 데이터를 생성함과 아울러, 상기 다회전 데이터 및 상기 누적 다회전 데이터 중 한쪽과, 상기 1회전 데이터를 모터 제어 장치에 송신하는 인코더를 구비하고,
    상기 인코더는,
    상기 회전축의 회전 위치를 검출하는 회전 검출부와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 제1 다회전 데이터를 생성하는 제1 다회전 카운터와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 제2 다회전 데이터를 생성하는 제2 다회전 카운터와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제1 누적 다회전 데이터를 산출하는 제1 누적수 산출부와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제2 누적 다회전 데이터를 산출하는 제2 누적수 산출부와,
    상기 제1 다회전 데이터와, 상기 제2 다회전 데이터와, 상기 제1 누적 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교함으로써, 상기 회전 신호를 이용하여 생성된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값과, 상기 각도 신호를 이용하여 산출된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값으로 이루어진 적어도 4개의 값이 같은 값인지를 비교하고, 비교 결과에 기초하여 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 제1 비교 진단부를 가지는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 비교 진단부는 상기 제1 다회전 데이터와, 상기 제2 다회전 데이터와, 상기 제1 누적 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터 중 어느 데이터가 다른 데이터와 다른 값인지에 기초하여, 당해 인코더 내에서의 고장 개소를 추정하는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 회전 검출부는, 상기 인코더 내에 1개 배치됨과 아울러, 상기 회전축의 회전 위치를 광학적으로 검출하는 제1 회전 검출부이고,
    상기 회전 신호 및 상기 각도 신호는, 상기 제1 회전 검출부에서 검출된 회전 위치에 기초하여 생성되는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 회전 검출부는
    상기 회전축의 회전 위치를 광학적으로 검출하는 제1 회전 검출부와,
    상기 회전축의 회전 위치를 자기적으로 검출하는 제2 회전 검출부를 구비하고,
    상기 각도 신호는 상기 제1 회전 검출부에서 검출된 회전 위치에 기초하여 생성되고,
    상기 회전 신호는 상기 제2 회전 검출부에서 검출된 회전 위치에 기초하여 생성되는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 회전 검출부는
    상기 회전축의 회전 위치를 광학적으로 검출하는 제1 회전 검출부와,
    상기 회전축의 회전 위치를 자기적으로 검출하는 제2 회전 검출부를 구비하고,
    상기 각도 신호는 상기 제1 회전 검출부에서 검출된 회전 위치에 기초하여 생성되고,
    상기 회전 신호 중 한쪽의 회전 신호는, 상기 제1 회전 검출부에서 검출된 회전 위치에 기초하여 생성되고, 상기 회전 신호 중 다른 쪽의 회전 신호는 상기 제2 회전 검출부에서 검출된 회전 위치에 기초하여 생성되는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 인코더는
    상기 제1 다회전 데이터와, 상기 제2 다회전 데이터와, 상기 제1 누적 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교함으로써, 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 제2 비교 진단부를 추가로 가지고,
    상기 제1 또는 제2 비교 진단부는, 상기 제1 비교 진단부에 의한 고장 진단의 진단 결과와, 상기 제2 비교 진단부에 의한 고장 진단의 진단 결과를 비교함으로써, 상기 제1 및 제2 비교 진단부가 고장나 있는지 여부를 진단하는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 인코더는
    상기 제2 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교하는 제2 비교 진단부를 추가로 가지고,
    상기 제2 비교 진단부는 비교 결과를 상기 제1 비교 진단부에 보내고,
    상기 제1 비교 진단부는 상기 비교 결과를 이용하여, 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 인코더는
    상기 모터 제어 장치의 전원이 ON인 동안에, 전원을 공급하는 제어 전원과,
    상기 모터 제어 장치의 전원이 ON 및 OFF인 동안에, 전원을 공급하는 배터리 전원을 추가로 가지고,
    상기 제1 누적수 산출부, 상기 제2 누적수 산출부 및 상기 제1 비교 진단부는, 상기 제어 전원에 접속되고,
    상기 회전 검출부, 상기 제1 및 제2 다회전 카운터는, 상기 배터리 전원에 접속되는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  9. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 인코더는
    상기 제1 비교 진단부가, 당해 인코더는 고장나 있다고 판정했을 경우, 서보 모터의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  10. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 인코더는
    상기 제1 비교 진단부가 당해 인코더는 고장나 있다고 판정했을 경우, 상기 제1 다회전 데이터, 상기 제2 다회전 데이터, 상기 제1 누적 다회전 데이터 및 상기 제2 누적 다회전 데이터 중 정상인 데이터를 상기 모터 제어 장치에 송신함으로써, 서보 모터의 동작을 계속시키는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  11. 회전축을 가지는 모터와,
    상기 회전축의 1회전분의 회전을 나타내는 회전 신호를 이용하여 상기 회전축의 회전수를 카운트한 다회전 데이터와, 상기 회전축의 회전 각도를 나타내는 각도 신호를 이용하여 산출한 1회전 내의 회전 각도를 나타내는 1회전 데이터와, 상기 각도 신호를 이용하여 상기 회전 각도를 누적해 상기 회전축이 1회전할 때마다 상기 회전축의 회전수를 카운트한 누적 다회전 데이터를 생성함과 아울러, 상기 다회전 데이터 및 상기 누적 다회전 데이터 중 한쪽과, 상기 1회전 데이터를 모터 제어 장치에 송신하는 인코더를 구비하고,
    상기 인코더는
    상기 회전축의 회전 위치를 검출하는 회전 검출부와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 상기 다회전 데이터를 생성하는 다회전 카운터와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제1 누적 다회전 데이터를 산출하는 제1 누적수 산출부와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제2 누적 다회전 데이터를 산출하는 제2 누적수 산출부와,
    상기 다회전 데이터와, 상기 제1 누적 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교함으로써, 상기 회전 신호를 이용하여 생성된 회전수에 관련된 적어도 1개의 값과, 상기 각도 신호를 이용하여 산출된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값으로 이루어진 적어도 3개의 값이 같은 값인지를 비교하고, 비교 결과에 기초하여 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 비교 진단부를 가지는 것을 특징으로 하는 서보 모터.
  12. 회전축을 가지는 모터의 상기 회전축의 1회전분의 회전을 나타내는 회전 신호를 이용하여 상기 회전축의 회전수를 카운트한 다회전 데이터와, 상기 회전축의 회전 각도를 나타내는 각도 신호를 이용하여 산출한 1회전 내의 회전 각도를 나타내는 1회전 데이터와, 상기 각도 신호를 이용하여 상기 회전 각도를 누적해 상기 회전축이 1회전할 때마다 상기 회전축의 회전수를 카운트한 누적 다회전 데이터를 생성함과 아울러, 상기 다회전 데이터 및 상기 누적 다회전 데이터 중 한쪽과, 상기 1회전 데이터를 모터 제어 장치에 송신하고,
    상기 회전축의 회전 위치를 검출하는 회전 검출부와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 제1 다회전 데이터를 생성하는 제1 다회전 카운터와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 회전 신호를 이용하여, 제2 다회전 데이터를 생성하는 제2 다회전 카운터와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제1 누적 다회전 데이터를 산출하는 제1 누적수 산출부와,
    상기 회전 위치에 기초하여 생성된 상기 각도 신호를 이용하여, 제2 누적 다회전 데이터를 산출하는 제2 누적수 산출부와,
    상기 제1 다회전 데이터와, 상기 제2 다회전 데이터와, 상기 제1 누적 다회전 데이터와, 상기 제2 누적 다회전 데이터가 같은 값인지를 비교함으로써, 상기 회전 신호를 이용하여 생성된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값과, 상기 각도 신호를 이용하여 산출된 회전수에 관련된 적어도 2개의 값으로 이루어진 적어도 4개의 값이 같은 값인지를 비교하고, 비교 결과에 기초하여 당해 인코더가 고장나 있는지 여부를 진단하는 제1 비교 진단부를 가지는 것을 특징으로 하는 인코더.
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